JPS6116007A - 垂直磁気記録ヘツドの製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS6116007A JPS6116007A JP13638884A JP13638884A JPS6116007A JP S6116007 A JPS6116007 A JP S6116007A JP 13638884 A JP13638884 A JP 13638884A JP 13638884 A JP13638884 A JP 13638884A JP S6116007 A JPS6116007 A JP S6116007A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- magnetic
- face
- film
- magnetic pole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(al 産業上の利用分野
本発明は垂直磁気記録装置に装備され、情報の記録/再
生を司る垂直磁気記録ヘッドの製造方法に関するもので
ある。
生を司る垂直磁気記録ヘッドの製造方法に関するもので
ある。
最近の磁気記録装置は、益々高速化されつつあり、この
ため装置性能のキーポイントとなる9I気ヘツドの高性
能化と低コスト化技術の開発が強(要望されている。
ため装置性能のキーポイントとなる9I気ヘツドの高性
能化と低コスト化技術の開発が強(要望されている。
(b) 従来の技術
第2図は垂直磁気記録ヘッドの従来例構成を説明する為
の側断面図であって、fa)は基本構成を示す図、(b
lは実施構造例を示す図である。
の側断面図であって、fa)は基本構成を示す図、(b
lは実施構造例を示す図である。
第2図(a)に示す如〈従来の垂直磁気記録へ・7ドは
、磁性体部4上に直立して設けられた主磁極1と、該主
磁極1を取り巻くように配設されたコイル2とで構成さ
れている。
、磁性体部4上に直立して設けられた主磁極1と、該主
磁極1を取り巻くように配設されたコイル2とで構成さ
れている。
そしてコイル2に励磁され記録媒体3の記録面3”に対
して垂直方向から作用する主磁極1の情報信号によって
、媒体3への記録/再生が行なわれるようになっている
。
して垂直方向から作用する主磁極1の情報信号によって
、媒体3への記録/再生が行なわれるようになっている
。
ところが前述した従来の構成を実現する場合、実施面に
おいて下記の問題点があった。
おいて下記の問題点があった。
■主磁極1は、厚さが18m以下5幅が100〜200
μmというように非常に薄い帯状の磁性薄膜で構成され
る。薄膜形成方法としては第2図(blに示す如く一対
の非磁性体5の一方の端面に磁性体の薄膜を形成させ、
もう一方の端面でこれを保護する方法が一般に知られて
いるが、その製造方法が特に難しい。
μmというように非常に薄い帯状の磁性薄膜で構成され
る。薄膜形成方法としては第2図(blに示す如く一対
の非磁性体5の一方の端面に磁性体の薄膜を形成させ、
もう一方の端面でこれを保護する方法が一般に知られて
いるが、その製造方法が特に難しい。
■上記方法で形成された主磁極1と、それを支え且つ該
主磁極1と磁気的に接続される磁性体4との接続方法が
難しく現在未だその技術が確立されていない。
主磁極1と磁気的に接続される磁性体4との接続方法が
難しく現在未だその技術が確立されていない。
fc) 発明が解決しようとする問題点本発明は上記
の各問題点を解決するために為されたもので、主磁極及
び主磁極と磁性体部とを接続する磁性膜を一工程で同時
に形成し得る垂直磁気記録ヘソi−の製造方法を提供す
ることを目的とするものである。
の各問題点を解決するために為されたもので、主磁極及
び主磁極と磁性体部とを接続する磁性膜を一工程で同時
に形成し得る垂直磁気記録ヘソi−の製造方法を提供す
ることを目的とするものである。
fdl 問題点を解決するだめの手段そしてこの目的
は、互いに端面が電接する状態で配置された非磁性基板
の何れか一方の基板の端面に凹型の切欠き部を設り、該
切欠き部によって露出する他方の基板の端面とそれに連
続する基板面に磁性薄膜を被管し、側基板を一体化した
前記基板面の磁性薄膜が磁性基板に接する形で上記側基
板を一体的に結合して前記他方の基板端面の磁性9N9
で主磁極を構成するようにしたことを特徴とする垂直磁
気記録ヘッドの製造方法を提供することによって達成さ
れる。
は、互いに端面が電接する状態で配置された非磁性基板
の何れか一方の基板の端面に凹型の切欠き部を設り、該
切欠き部によって露出する他方の基板の端面とそれに連
続する基板面に磁性薄膜を被管し、側基板を一体化した
前記基板面の磁性薄膜が磁性基板に接する形で上記側基
板を一体的に結合して前記他方の基板端面の磁性9N9
で主磁極を構成するようにしたことを特徴とする垂直磁
気記録ヘッドの製造方法を提供することによって達成さ
れる。
tel 作用
上記手段の実施により、凹型の切欠き部によって露出さ
ゼられた端面には主磁極が、そして双方の基板面には該
主磁極と磁性体部とを接続するための接続部とが同時に
形成される為、前記の問題点■、■は一挙に解決される
。
ゼられた端面には主磁極が、そして双方の基板面には該
主磁極と磁性体部とを接続するための接続部とが同時に
形成される為、前記の問題点■、■は一挙に解決される
。
(fl 実施例
以下本発明の実施例を図面によって詳述する。
第1図は本発明による垂直磁気記録ヘッドの形成方法を
加工工程に従って説明するだめの図であって、各工程に
おLJる加工内容を図(al〜(elで示している。
加工工程に従って説明するだめの図であって、各工程に
おLJる加工内容を図(al〜(elで示している。
第1図(alは、一対の非磁性基板20を構成する切欠
き形成側基板6と、主磁極形成側基板7の形状例を示す
斜視図であって、基板6の端面6゛には主磁極形成用の
切欠き部8が設けられており、基板7の端面7゛は主磁
極を形成するために平lnな直線状の平面に仕上げられ
ている。
き形成側基板6と、主磁極形成側基板7の形状例を示す
斜視図であって、基板6の端面6゛には主磁極形成用の
切欠き部8が設けられており、基板7の端面7゛は主磁
極を形成するために平lnな直線状の平面に仕上げられ
ている。
同図fblは、前図fatに示したα1!1面6゛と7
゛とが接合され、切欠き形成側基板6に設けられたり欠
き部8によって、主磁極形成側基板7の端面7“が露出
サセられた状態を示している。
゛とが接合され、切欠き形成側基板6に設けられたり欠
き部8によって、主磁極形成側基板7の端面7“が露出
サセられた状態を示している。
同図fC1は、切欠き部8の斜め後方から矢印A方向に
磁性材料が蒸着され、主磁極形成側基板7の端面7゛及
び該基板7と切欠き形成側基板6の上面に磁性薄膜9が
形成された状態を示している。
磁性材料が蒸着され、主磁極形成側基板7の端面7゛及
び該基板7と切欠き形成側基板6の上面に磁性薄膜9が
形成された状態を示している。
尚ごのように切欠き部8の斜め後方から磁性材料が蒸着
されるため、切欠き部8の端面8゛には磁性薄膜9が付
着しない。
されるため、切欠き部8の端面8゛には磁性薄膜9が付
着しない。
同図(cllは、前図+c+の工程が完了した基板6.
7より成る非磁性基板20を裏返して、コイル2が付設
されている磁性基板4上に接着して一体化した後、磁性
薄膜9を覆うように保護膜12が苺着された状態を示ず
B−B’断面図であり、該保護膜12によって磁性薄膜
9が安全に保護される。
7より成る非磁性基板20を裏返して、コイル2が付設
されている磁性基板4上に接着して一体化した後、磁性
薄膜9を覆うように保護膜12が苺着された状態を示ず
B−B’断面図であり、該保護膜12によって磁性薄膜
9が安全に保護される。
同図telは、不要部分の保護膜12が研磨によって削
除され、磁性al膜9で形成された主磁極1の高さtl
が調整されて、垂直磁気記録ヘッド構造1oが完成した
状芒を示す図である。
除され、磁性al膜9で形成された主磁極1の高さtl
が調整されて、垂直磁気記録ヘッド構造1oが完成した
状芒を示す図である。
第3図は本発明の量産化を目的とした加工方法の一実施
例を説明するだめの斜視図であって、fatは切欠き形
成側基板6を複数枚重ねて一度に研削加工を行う方法を
示した図、lb)は切欠き部8の形状の−・例を〃゛ず
拡大図である。
例を説明するだめの斜視図であって、fatは切欠き形
成側基板6を複数枚重ねて一度に研削加工を行う方法を
示した図、lb)は切欠き部8の形状の−・例を〃゛ず
拡大図である。
第3図のように切欠き部8の形成を行うことによって、
生産の効率化が達成される。
生産の効率化が達成される。
(g) 発明の効果
以上詳細に説明したように、本発明による垂直磁気記録
ヘッドの製造方法は、主磁極形成部に簡単な形状の切欠
き部を設けることによって安全且つ確実に、しかも能率
良く垂直磁気記録ヘッドを生産し得るといった効果大な
るものである。
ヘッドの製造方法は、主磁極形成部に簡単な形状の切欠
き部を設けることによって安全且つ確実に、しかも能率
良く垂直磁気記録ヘッドを生産し得るといった効果大な
るものである。
第1図は本発明による垂直磁気記録ヘッドの製造方法を
加工工程に従って説明する為の図、第2図は垂直磁気記
録へ、ノドの従来例構成を説明する為の例断面図、第3
図は本発明の量産化を目的とした加工方法の−・実施例
を説明する為の♀゛l視図Cある。 図中、1は主磁極、1゛は接続部、2はコイル、3は記
録媒体、4は磁性体部、5は非磁性体部、6は切欠き形
成側基板、6゛は切欠き形成側基板の端面、7は主磁極
形成側基板、7°は主磁極形成側基板の端面、8は切欠
き部、8゛は切欠き部の端面9は磁性薄膜、10は1−
及び1゛で形成された垂直磁気記録ヘット措造、12は
保護膜、20は一対の基板6及び7で構成した非磁性基
板。 第1121 第2図 (Q) 1J311!1
加工工程に従って説明する為の図、第2図は垂直磁気記
録へ、ノドの従来例構成を説明する為の例断面図、第3
図は本発明の量産化を目的とした加工方法の−・実施例
を説明する為の♀゛l視図Cある。 図中、1は主磁極、1゛は接続部、2はコイル、3は記
録媒体、4は磁性体部、5は非磁性体部、6は切欠き形
成側基板、6゛は切欠き形成側基板の端面、7は主磁極
形成側基板、7°は主磁極形成側基板の端面、8は切欠
き部、8゛は切欠き部の端面9は磁性薄膜、10は1−
及び1゛で形成された垂直磁気記録ヘット措造、12は
保護膜、20は一対の基板6及び7で構成した非磁性基
板。 第1121 第2図 (Q) 1J311!1
Claims (1)
- 互いに端面が密接する状態で配置された非磁性基板の何
れか一方の基板の端面に凹型の切欠き部を設け、該切欠
き部によって露出する他方の基板の端面とそれに連続す
る基板面に磁性薄膜を被着し、両基板を一体化した前記
基板面の磁性薄膜が磁性基板に接する形で上記両基板を
一体的に結合して前記他方の基板端面の磁性薄膜で主磁
極を構成するようにしたことを特徴とする垂直磁気記録
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13638884A JPS6116007A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 垂直磁気記録ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13638884A JPS6116007A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 垂直磁気記録ヘツドの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6116007A true JPS6116007A (ja) | 1986-01-24 |
Family
ID=15173987
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13638884A Pending JPS6116007A (ja) | 1984-06-29 | 1984-06-29 | 垂直磁気記録ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6116007A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1087381A2 (en) * | 1999-09-24 | 2001-03-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic head, fabrication method therefor and perpendicular magnetic storage device |
-
1984
- 1984-06-29 JP JP13638884A patent/JPS6116007A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1087381A2 (en) * | 1999-09-24 | 2001-03-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic head, fabrication method therefor and perpendicular magnetic storage device |
EP1087381A3 (en) * | 1999-09-24 | 2003-11-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic head, fabrication method therefor and perpendicular magnetic storage device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH01501105A (ja) | 記録/再生用の薄膜磁気ヘッドとその製造方法 | |
JPS60229210A (ja) | 磁気ヘツド | |
JPH0785289B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
JPS60157711A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
JPS6116007A (ja) | 垂直磁気記録ヘツドの製造方法 | |
JPS62200517A (ja) | 垂直磁気記録用磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
JP2707758B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
JPS645367B2 (ja) | ||
JPS5856163B2 (ja) | 浮動式の垂直磁気記録再生用ヘツド | |
JP2707760B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
JPS61284814A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
JPH0743770Y2 (ja) | 磁気ヘッドチップ | |
JPS62298908A (ja) | 磁気ヘツド | |
JPH03252909A (ja) | 垂直磁気記録再生薄膜ヘッド用溝構造磁性基板 | |
JPS58215713A (ja) | 垂直磁気記録用薄膜ヘツド | |
JPS6212906A (ja) | 磁気ヘツド | |
JPS60246012A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
JPH03147507A (ja) | 垂直磁気薄膜ヘッドとその製造方法 | |
JPH0589414A (ja) | 磁気ヘツドとその製造方法 | |
JPS62264412A (ja) | 垂直磁化型薄膜ヘツド | |
JPS62246112A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
JPS60136004A (ja) | 垂直磁化記録用ヘツドの製造方法 | |
JPH05282619A (ja) | 磁気ヘッド | |
JPS5919216A (ja) | 磁気ヘツド | |
JPH05174318A (ja) | 磁気ヘッドコアの製造方法 |