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JPS61140041A - マルチスペクトルｘ線発生管 - Google Patents

マルチスペクトルｘ線発生管

Info

Publication number
JPS61140041A
JPS61140041A JP59261435A JP26143584A JPS61140041A JP S61140041 A JPS61140041 A JP S61140041A JP 59261435 A JP59261435 A JP 59261435A JP 26143584 A JP26143584 A JP 26143584A JP S61140041 A JPS61140041 A JP S61140041A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
target
deflection
rays
generating tube
ray generating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59261435A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichiro Oba
大庭　弘一郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamamatsu Photonics KK filed Critical Hamamatsu Photonics KK
Priority to JP59261435A priority Critical patent/JPS61140041A/ja
Priority to DE19853543598 priority patent/DE3543598A1/de
Priority to FR858518314A priority patent/FR2574591B1/fr
Publication of JPS61140041A publication Critical patent/JPS61140041A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/06—Cathodes
    • H01J35/065—Field emission, photo emission or secondary emission cathodes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/02—Details
    • H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
    • H01J35/153—Spot position control
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes
    • H01J35/22—X-ray tubes specially designed for passing a very high current for a very short time, e.g. for flash operation

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は単一のＸ線発生管で複数の特性Ｘ線を発生する
ことのできるマルチスペクトルＸ線発生管に関する。
本発明によるマルチスペクトルＸ線発生管は結晶回折に
よる結晶構造の時間的変化の解析とか、高時間分解の計
測等に利用できる。
（従来の技術） 通常のＸ線発生装置はカソードをヒータで加熱し、熱電
子を発生させ、静電集束系で細い電子ビームを形成し、
ターゲットを照射してＸ線を発生させるように構成され
ている。
熱陰極形の電極は高い周波数応答に通していないので鋭
いパルス状のＸ線を得たいという要請に応えることがで
きない。
この要請に応えるために本件発明者は光電陰極を電子源
とするＸ線発生管（特願昭５８−１５３６６３）をすで
に提案している。
この提案によれば、光電子銃から発生した電子ビームは
、光電子銃に対向した他端側に配置されたＸ線ターゲッ
トに衝突させられ、そのターゲット材料から固有の特性
Ｘ線を発生させる。チタン（Ｔ　ｉ　）をターゲ・ノド
としたときに発生する特性Ｘ線の例を第４図に示す。
前記提案に係るＸ線発生管は、光電子銃（光電陰極）を
使用しているから、前記光電陰極をレーザ光源等によっ
て励起することにより、鋭いパルス伏の特性Ｘ線を得る
ことができるという優れた特徴がある。
ところが近時、数種類の特性Ｘ線を利用して測定を行い
たいという要請があり、そのような場合にはクーゲット
のｆ！類の異なる前記Ｘ線発生管を複数本用意する必要
がある。
（発明の目的） 本発明の目的は、一本のＸ線発生管で多数の特性Ｘ線を
発生できるようにしたマルチスペクトルＸ線発生管を提
供することにある。
（発明の構成） 前記目的を達成するために、本発明によるマルチスペク
トルＸ線発生管は、真空容器と、前記真空容器内に形成
された光電子放出層と、前記光電子放出層の発生した光
電子を収束して、電子ビームとして一定方向に投射する
電子レンズと、前記電子ビームの到来する方向に向けて
複数種類のターゲット要素金属を配列して形成したＸ線
ターゲットと、前記電子ビームの投射方向を制御して前
記Ｘ線ターゲットの任意の要素金属を照射するように前
記電子ビームを偏向する偏向器とから構成されている。
（実施例） 以下、図面等を参照して本発明をさらに詳しく説明する
。
第１図は本発明によるマルチスペクトルＸ線発生管の第
１の実施例を示す断面図、第２図は前記実　　　　　１
施例の偏向電極とターゲット要素金属との関係を示す断
面図である。
直空容器１の内面には光電子放出層２が形成されている
。
光電子放出層照射光源からの光束１０で照射されて、前
記光電子放出層２から放出された光電子は、集束電極４
によって発生させられている集束電界により集束されて
偏向空間に進む。前記光電子放出層２の形成されている
面に対向する面にＸ線を透過させるベリリウム（Ｂｅ）
Ｎｉのマルチターゲツト面５が設けられている。
この面にはターゲット要素金属６ａ、６ｂ、５ｃが図示
のように１列に配列されている。
偏向電極３ａ、３ｂ間には偏向電圧源７から偏向電圧が
印加されている。集束電極４によって集束された電子ビ
ームは、偏向電極３ａ、３ｂ間で偏向させられる。
偏向電圧源７の偏向電圧を変更することにより、任意の
要素金属に電子ビームを向けることができる。電子ビー
ムで照射された要素金属はその金属固有の特性Ｘ線を放
出する。
この実施例は以下の金属中から３種類を選んで使用して
いる。それぞれの金属の特性Ｘ線のエネルギーを示しで
ある。
チタン（Ｔｉ）　　　　４．５　　ＫｅＶバナジュウム
（Ｖ）　　　４．９６ＫｅＶクロム（Ｃｒ）　　　　５
．４２ＫｅＶ鉄（Ｆｅ）　　　　６．４０ＫｅＶ コバルト　（Ｃｏ）　　　　６．９２ＫｅＶ二ｙ’ｒル
（Ｎｉ）　　　７．４７ＫｅＶａｉｌ　（Ｃｕ）　　　
　　　　８．０４ＫｅＶこの特性Ｘ線の時間幅は、光電
子放出層を照射する光のパルス幅の程度に短くできる。
したがって、超短レーザ光を使った場合の超短Ｘ線パル
スから、直流光を照射した時の直流Ｘ線まで、任意にコ
ントロールが可能である。
第３図は本発明によるマルチスペクトルＸ線発生管の第
２の実施例の偏向電極と金属ターゲット要素との関係を
示す断面図である。
この実施例は垂直偏向電極３ａ、３ｂと、水平偏向電極
３ｃ、３ｄを用い、電子ビームを２次元的に偏向できる
ようにしたものである。
Ｘ線を透過させるヘリリウム（Ｂｅ）板のマルチターゲ
ツト面５には要素金属６ｅ〜６ｐが図示のように平面的
に配列されている。
偏向電極３３〜３ｄ間には図示を省略した偏向電圧源７
から偏向電圧が印加されており、電子ビームは２次元的
に偏向させられる。
これにより、任意の要素金属を逐次選択して異なる特性
Ｘ線を得ることができる。
（変形例） 以上詳しく説明した実施例につき本発明の範囲内で種々
の変形を施すことができる。
前記各実施例は、静電偏向形の偏向器を用いたが、良く
知られている電磁偏向形の偏向器を用いることもできる
。
（発明の効果） 以上詳しく説明したように、本発明によるマルチスペク
トルＸ線発生管では、多数の異なった特性Ｘ線が、一本
のＸ線管で得られる。
偏向器により逐次界なる要素金属を高速で選択すること
ができるから、従来不可能であった高い時間分解の計測
が可能゛となる。
また結晶回折による結晶構造の時間的変化の解析等にも
利用できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明によるマルチスペクトルＸ線発生管の第
１の実施例を示す断面図である。 第２図は前記実施例の偏向電極とターゲット要素金属と
の関係を示す断面図である。 第３図は本発明によるマルチスペクトルＸ線発生管の第
２の実施例の偏向電極とターゲット要素金属との関係を
示す断面図である。 第４図は特性Ｘ線スペクトルの１例を示すグラフである
。 １・・・真空容器 ２・・・光電子放出層 ３・・・偏向器 ３ａ、３ｂ、３ｄ、３ｅ−−・偏向電極　　　　　　　
　　　　　１４・・・集束電極 ５・・・マルチターゲツト面 ６ａ−ｃ、５　ｅ　−ｐ・・・ターゲット要素金属７・
・・偏向電源

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）真空容器と、前記真空容器内に形成された光電子
    放出層と、前記光電子放出層の発生した光電子を収束し
    て、電子ビームとして一定方向に投射する電子レンズと
    、前記電子ビームの到来する方向に向けて複数種類のタ
    ーゲット要素金属を配列して形成したＸ線ターゲットと
    、前記電子ビームの投射方向を制御して前記Ｘ線ターゲ
    ットの任意の要素金属を照射するように前記電子ビーム
    を偏向する偏向器とから構成したマルチスペクトルＸ線
    発生管。
  2. （２）前記偏向器は静電偏向器または電磁偏向器である
    特許請求の範囲第１項記載のマルチスペクトルＸ線発生
    管。
  3. （３）前記偏向器は１次元または２次元偏向器である特
    許請求の範囲第１項記載のマルチスペクトルＸ線発生管
    。
  4. （４）前記ターゲット要素金属はＴｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｆｅ
    、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕから選択されたものである特許請求
    の範囲第１項記載のマルチスペクトルＸ線発生管。
JP59261435A 1984-12-11 1984-12-11 マルチスペクトルｘ線発生管 Pending JPS61140041A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59261435A JPS61140041A (ja) 1984-12-11 1984-12-11 マルチスペクトルｘ線発生管
DE19853543598 DE3543598A1 (de) 1984-12-11 1985-12-10 Multispektrum-roentgenstrahler
FR858518314A FR2574591B1 (fr) 1984-12-11 1985-12-11 Tube a rayons x a spectres multiples

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JP59261435A JPS61140041A (ja) 1984-12-11 1984-12-11 マルチスペクトルｘ線発生管

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JPS61140041A true JPS61140041A (ja) 1986-06-27

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JP59261435A Pending JPS61140041A (ja) 1984-12-11 1984-12-11 マルチスペクトルｘ線発生管

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DE (1) DE3543598A1 (ja)
FR (1) FR2574591B1 (ja)

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Publication number Publication date
FR2574591A1 (fr) 1986-06-13
DE3543598C2 (ja) 1987-07-16
DE3543598A1 (de) 1986-06-12
FR2574591B1 (fr) 1990-01-19

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