JPS6114854A - 研磨治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、主として半導体ウェーハ（以下、単にウェー
ハと略称する。）のボリシングに用いられる研磨治具に
関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

従来、例えばシリコン（８４）などのウェーハをポリシ
ング加工によシ最終的に仕上げ加工するＫは。

第４図に示すように、ウェーハ（Ａ）・・・を金属、ガ
ラス、セラミックスなどからなシ１回転自在かつ昇降自
在が支持体（Ｃ）　Ｋ固着されたリファレンス・プレー
）　（Ｂ）に接着し、さらに、支持体（Ｃ）を回転中の
ラップ盤（Ｄ）に押圧することＫより行っている。この
ときの接着方法として最も一般的なものは、ワックスに
よる接着である。

しかし、このワックスを介しての接着は、接着層厚さの
不均一性がそのままウェー／・の平面度。

平行度等に反映する。したがって、接着層厚さを均一に
する必要があるが、この作業はすこぶる困難で熟練を必
要とする。他方、近時、集積回路素子の高密度化にとも
ない、ウェーノ・の精度もますます厳しく々っている。

しかし、ワックスの塗布を人手でやる以上、接着層厚さ
の均一性と再現性に社自ずと限界がある。しかもワック
スを用いる接着は、後処理としてワックス除去作業が不
可欠であり、自動化を妨げる一因となっていた。

〔発明の目的〕

本発明は、上記事情を参酌してなされたもので。

接着剤を用いることなくウエーノ・を強固に保持して研
磨加工を高精度に行うことのできる研磨治具を提供する
ことを目的とする。

〔発明の概要〕

基体に装着され板体状の被加工物を直接保持する弾性部
材の平坦な表面に孔を分散させたものである。

〔発明の実施例〕

以下１本発明の一実施例を図面を参照して詳述する。

まず、第２図のようＫ、内部がスポンジ状の空隙（Ｖ）
・・・となっていて、かつ表面が平坦面（Ｓ）となって
いる厚さ０．３〜１關糧度の吸水性を有する発泡ウレタ
ンシート（１）を基台（２）上に展着する。この発泡ウ
レタンシート（１）の表面には孔はにとんどおいていな
い。ついで、レーザ光（３）を発泡ウレタンシート（１
）の表面に照射して１発泡ウレタンシート（工）を貫通
しない小孔（４）・・・を穿設する（第３図参照）。

これら小孔（４）・・・の開口部における直径は、２０
〜５００μｍ１）１好ましい。また、小孔（４）の分布
密度は。

例えば１個／闘＝である。しかして、第１図に示すよう
に小孔（４）・・・が穿設された発泡ウレタンシート（
１）を雨間テープ（５）を介して金属製のり７〒レンス
・プレート（６）に貼着する。かくして、この実施例の
研磨治具（Ｊ）が製造された。す力わち、この研磨治具
（Ｊ）は、リファレンス・プレート（６）と、このリフ
ァレンス・ブＶ−）　（６）に貼着された発泡ウレタン
シート（１）とからなっている。この発泡ウレタンシー
ト（１）の一方の表面には、小孔（４）・・・が穿設さ
れている。

つぎに、この研磨治具（Ｊ）の使い方について述べると
１発泡ウレタンシート（１）に水を供給して。

小孔（４）・・・を介して、内部の空隙（Ｖ）・・・に
水を含有させる。この状態で、圧縮空気を水を含有して
いる発泡ウレタンシート（１）に吹き付け、この発泡ウ
レタンシート（１）の上層部の余分の水を除去する。

ついで１発泡ウレタンシート（１）Ｋウエーノ・（力を
押しつける。すると１発泡ウレタンシート（１）の内部
に貯えられている水は、小孔（４）・・・から浸出する
。

その結果１発泡ウレタンシート（１）とウエーノ・（力
との平坦面（Ｓ）部分との間は、水で均一に満たされ。

この水と発泡ウレタンシート（１）Ｋ対するウェー／・
（７）の適度の摩擦抵抗との協働作用によシウエーノ・
（７）は発泡ウレタンシー１）Ｋ強固に密着する。そし
て、このウェーハ（７）が保持されたリファレンス・プ
レート（６）を図示せぬ支持体に固定し、この支持体を
図示せぬラップ盤に押圧したのち、ラップ盤を回転させ
る。かくて、す７アレンス・プレート（６）に発泡ウレ
タンシート（１）を介して固着されているウェーハ（７
）は研磨加工される。そして、研磨加工終了後は、リフ
ァレンス・プレート（６）とラップ盤とを離隔させる。

このとき、研磨加工されたウェーハ（７）は、リファレ
ンス・プレー）　（６）　Ｋ強固に保持されているので
、ラップ盤側に残ることがない。

このように、この実施例の研磨治具は、表面平坦な発泡
ウレタンシート（１）の表面に小孔（４）・・・が分散
して形成されているので１発泡ウレタンシート（１）に
含有される水の量を制御することができる。

したがって、ウェーハ（力と発泡ウレタンシート（１）
の平坦面（Ｓ）との間に適量の水が介在することにより
、この介在している水と発泡ウレタンシート（１）に対
するウェーハ（７）の適度の摩擦抵抗との協働作用によ
りウェーハ（７）の発泡ウレタンシー）　（１）への密
着がより強固となる。それゆえ、研磨加工中に、ウェー
ハ（力がラップ盤とともに回転することによりウェーハ
（力を損傷することがなくなる。また、研磨終了後、ウ
ェーハ（７）がリファレンス・プレート（６）から剥離
することがなくなるので、自動化が容易となる。また、
十分な量の水が発泡ウレタンシート（１）とウェーハ（
７）との間に介在しているので、ウェーハの発泡ウレタ
ンシート（１）に対する密着性がよくなり、ウェーハ（
力の裏面に浸入した研磨剤がウェーハ（７）に付着乾燥
し、洗浄が困難となるようなことがなくなる。以上の諸
効果が相俟って、ウェーハ（７）の研磨精度の向上に寄
与することができる。

なお、上記実施例においては、小孔（４）・・・の形成
をレーザ光によシ行っているが１例えば針などを用いて
穿設してもよい。また発泡ウレタンシート（１）の製造
工種中において、最初から小孔（４）・・・を設けるよ
うにして吃よい。さらに１発泡ウレタンシー　）　（１
）に限ることなく１表面が平坦で孔が穿設され適度の摩
擦抵抗を有する弾性部材であるならば特にスポンジ状の
空隙を有する必要はなく、例えばシリコーンゴム、天然
ゴムなどのゴム類、ポリエチレン等どのような材質のも
のでもよい。この場合の孔は、水を保持するものであれ
ば、盲孔でも貫通孔でもよい。さらに発泡ウレタンシー
ト（１）のリファレンス・プレート（６）への接着は、
接着剤により行ってもよい。

〔発明の効果〕

本発明の研磨治具は５弾性部の平坦な表面に孔を分散し
て層成したので、板状の被加工物と弾性部材との間に適
度の水を介在させることができる。

したがって、被加工物を強固に保持することができるの
で、被加工物が、研磨加工中に動いたり、研磨終了後に
、研磨治具から剥離したりすることがなくなる。その結
果、被加工物の研磨加工を。

被加工物を損傷することなく、高精度で行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の研磨治具の断面図、第２図
は発泡ウレタンシートの断面図、第３図はレーザ光によ
る発泡ウレタンシートへの小孔の穿設を示す図、第４図
は従来におけるウヱーハの接着方法を説明するだめの図
である。 （１）二発泡ウレタンシート（弾性部ｔｔ）（４）：小
　孔（孔） （６）　：リファレンス・プレート（基体）代理人　弁
理士　　則　近　憲　佑 （ほか１名） 第３図 第　■　図 俤４図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基体と、この基体に装着され被加工物を直接保持する板
   状の弾性部材とを具備し、上記弾性部材の基体に対して
   反対側の表面は平坦面に形成され且つとの平坦面には孔
   が分散して形成されていることを特徴とする研磨治具。