[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JPS61104551A - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

Info

Publication number
JPS61104551A
JPS61104551A JP59225765A JP22576584A JPS61104551A JP S61104551 A JPS61104551 A JP S61104551A JP 59225765 A JP59225765 A JP 59225765A JP 22576584 A JP22576584 A JP 22576584A JP S61104551 A JPS61104551 A JP S61104551A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
electron microscope
reflecting mirror
electronic microscope
observe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59225765A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuo Nishii
西伊　一生
Shuji Kokubu
国分　修治
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP59225765A priority Critical patent/JPS61104551A/ja
Publication of JPS61104551A publication Critical patent/JPS61104551A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
    • H01J37/226—Optical arrangements for illuminating the object; optical arrangements for collecting light from the object
    • H01J37/228—Optical arrangements for illuminating the object; optical arrangements for collecting light from the object whereby illumination or light collection take place in the same area of the discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
    • H01J37/226—Optical arrangements for illuminating the object; optical arrangements for collecting light from the object

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は電子顕微鏡の試料及び試料周辺装置を容易にａ
ｌｌ察する装置に関する。
〔発明の背景〕
従来の試料部のａ察法を第２図に示す。
電子顕微鏡の光軸８上に試料１を置き、電子顕微鏡像を
観察后、光学顕微鏡の光軸９まで試料移動機構で試料１
を移動する。光源ランプ１０で試料ｌを照らし、光学レ
ンズ３で拡大して電子顕微鏡像と同じ場所を観察する。
この方式では、付属装置を使用しているとき、試料の同
じ箇所を観察することは可能でも、同時に観察出来ない
ため、同条件での観察が困難である。又、付属装置の動
作ｗＡ察が出来ないという欠点がある。
〔発明の目的〕
本発明の目的は試料及び試料周辺で動作する付属装置を
、像観察の状態で監視する装置を提供するにある。
〔発明の概要〕
本発明は試料近傍に設置した反射鏡に目的の箇所を写し
、これを光学レンズで拡大して、テレビカメラでｉｎす
るようにしたものである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。方向
と位置の調節可能な反射鏡２を対物磁路５の側面より対
物ポールピース４内に設置する。
反射鏡２の反射像が見える別の穴に光学レンズ３を設け
、これを通してテレビカメラ６が設けられている。観察
したい箇所が写るように反射鏡２の位置と方向を調節す
る。この反射像を光学レンズ３で拡大してテレビカメラ
６でＣＲＴモニター７に写し観察する。
本実施例によれば電子顕微鏡像観察の状態で、試料及び
試料周辺装置の細部まで観察できる効果がある。
〔発明の効果〕
本発明によれば、試料周辺での付属装置の動作が細かく
確認できるので、付属装置の誤動作を無くし、効率向上
の効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の電子顕微鏡試料部近傍の縦断面図、第
２図は従来技術を説明する構成図である。 １・・・試料、２・・・反射鏡、３・・・光学レンズ、
４・・・対物ポールピース、５・・・対物磁路、６・・
・テレビカメラ、７・・・ＣＲＴモニター、８・・・電
子顕微鏡の光軸、９・・・光学顕微鏡の光軸、１０・・
・光源ランプ、１１・・・試料移動機構。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、電子顕微鏡の試料及び試料周辺を観察する装置にお
    いて、前記試料近傍に反射鏡を設け前記反射鏡の反射像
    を拡大して前記電子顕微鏡の像観察状態で観察する装置
    を設けたことを特徴とする電子顕微鏡。
JP59225765A 1984-10-29 1984-10-29 電子顕微鏡 Pending JPS61104551A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59225765A JPS61104551A (ja) 1984-10-29 1984-10-29 電子顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59225765A JPS61104551A (ja) 1984-10-29 1984-10-29 電子顕微鏡

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61104551A true JPS61104551A (ja) 1986-05-22

Family

ID=16834453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59225765A Pending JPS61104551A (ja) 1984-10-29 1984-10-29 電子顕微鏡

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61104551A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0641011A3 (en) * 1993-08-26 1995-04-19 Hitachi Ltd Electron beam device.
JP2008192616A (ja) * 2007-02-05 2008-08-21 Fei Co 粒子ビーム及び光を用いる顕微鏡で試料を観察する装置
EP2419215A4 (en) * 2009-04-15 2013-12-25 Nanofactory Instruments Ab OPTICAL PROBATION IN ELECTRONIC MICROSCOPES
WO2016037198A1 (de) * 2014-09-12 2016-03-17 Technische Universität Wien Vorrichtung und system zur weiterleitung und messung von kathodolumineszenz-licht in einem transmissionselektronenmikroskop

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0641011A3 (en) * 1993-08-26 1995-04-19 Hitachi Ltd Electron beam device.
US5598002A (en) * 1993-08-26 1997-01-28 Hitachi, Ltd. Electron beam apparatus
JP2008192616A (ja) * 2007-02-05 2008-08-21 Fei Co 粒子ビーム及び光を用いる顕微鏡で試料を観察する装置
EP2419215A4 (en) * 2009-04-15 2013-12-25 Nanofactory Instruments Ab OPTICAL PROBATION IN ELECTRONIC MICROSCOPES
WO2016037198A1 (de) * 2014-09-12 2016-03-17 Technische Universität Wien Vorrichtung und system zur weiterleitung und messung von kathodolumineszenz-licht in einem transmissionselektronenmikroskop

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5539656A (en) Crack monitoring apparatus
US20020041438A1 (en) Inverted microscope
JPS61104551A (ja) 電子顕微鏡
JP3489275B2 (ja) 硬度計
JP2005216645A (ja) 透過電子顕微鏡
JPH0580255A (ja) 光学顕微鏡システム装置
JP3753044B2 (ja) 光コネクタ端面検査装置
JP3981376B2 (ja) 拡大撮像アダプタ
JP3933715B2 (ja) 撮像具
JPH10227738A (ja) ケージド試薬開裂用光照射装置
JP2950944B2 (ja) 拡大観察装置
JPH1081209A (ja) 車輌底面検視方法及び装置
JP2007052972A (ja) 荷電粒子線装置システム
JPH06241760A (ja) 円筒内面状態検査カメラ装置
JP3469330B2 (ja) 透過型電子顕微鏡
JP3078645B2 (ja) 走査型ｒｈｅｅｄ顕微鏡装置によるｒｈｅｅｄ像の観察方法
JPS59181448A (ja) 電子顕微鏡
JPH08298090A (ja) 電子顕微鏡用試料自動検索装置
JP3987636B2 (ja) 電子顕微鏡
JP2913807B2 (ja) 電子線照射型分析装置
JP2007179081A (ja) 拡大撮像アダプタ
JPH05118843A (ja) 走査型プローブ顕微鏡
JPH08223727A (ja) ケーブル絶縁体表面検査装置
JPH02291649A (ja) 荷電粒子線装置
JPS634662B2 (ja)