JPS6094661U - レジスト塗布装置 - Google Patents
レジスト塗布装置Info
- Publication number
- JPS6094661U JPS6094661U JP18594583U JP18594583U JPS6094661U JP S6094661 U JPS6094661 U JP S6094661U JP 18594583 U JP18594583 U JP 18594583U JP 18594583 U JP18594583 U JP 18594583U JP S6094661 U JPS6094661 U JP S6094661U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist coating
- substrate
- fixing means
- coating equipment
- substrate fixing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のレジスト塗布装置を表わす断面図、第２
図Ａ及びＢは第１図の装置によりレジスト塗布を行な？
た基板を表わす平面図及びエツジ部断面図、第３図は本
考案の一実施例を表わす断面図、第４図Ａ及びＢは第３
図の装置によりレジネト塗布を行なった基板を表わす平
面図及び断面図である。 ２・・・回転軸、３・・・基板、４・・・基板固着板、
５・・・レジスト溶剤用ノズル、１０・・・光ファイバ
ー、１１・・・光源、１２・・・現像液用ノズル、１３
・・・洗浄水用ノズル。
図Ａ及びＢは第１図の装置によりレジスト塗布を行な？
た基板を表わす平面図及びエツジ部断面図、第３図は本
考案の一実施例を表わす断面図、第４図Ａ及びＢは第３
図の装置によりレジネト塗布を行なった基板を表わす平
面図及び断面図である。 ２・・・回転軸、３・・・基板、４・・・基板固着板、
５・・・レジスト溶剤用ノズル、１０・・・光ファイバ
ー、１１・・・光源、１２・・・現像液用ノズル、１３
・・・洗浄水用ノズル。
Claims (1)
- 回転軸の上端に基板固着手段を有し、該基板固着手段の
上方にレジスト溶液滴下用のノズルを備えたスピンナ方
式のレジスト塗布装置において、前記基板固着手段に固
着される基板の上方に、その基板エツジ部を露光する手
段と、露光された基板エツジ部上のレジストを現像する
手段とを備えたことを特徴とするレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18594583U JPS6094661U (ja) | 1983-12-01 | 1983-12-01 | レジスト塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18594583U JPS6094661U (ja) | 1983-12-01 | 1983-12-01 | レジスト塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6094661U true JPS6094661U (ja) | 1985-06-27 |
Family
ID=30401770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18594583U Pending JPS6094661U (ja) | 1983-12-01 | 1983-12-01 | レジスト塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6094661U (ja) |
-
1983
- 1983-12-01 JP JP18594583U patent/JPS6094661U/ja active Pending
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