JPS6019037U - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JPS6019037U JPS6019037U JP11132883U JP11132883U JPS6019037U JP S6019037 U JPS6019037 U JP S6019037U JP 11132883 U JP11132883 U JP 11132883U JP 11132883 U JP11132883 U JP 11132883U JP S6019037 U JPS6019037 U JP S6019037U
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- exposure
- photomask
- cylindrical
- slit
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
第１図は従来の装置の説明図、第２図は同じ〈従来の装
置における光学系の説明図、第３図、第４図、第５図は
この考案の各実施例を示す説明図、第６図は第５図の要
部を示す斜面図である。 図中符号、１はフォトマスク、２は光ｉ、：Ｈｔ。 被露光物、４は露光スリット、５は透明ローラー、６は
送りローラーを示す。
置における光学系の説明図、第３図、第４図、第５図は
この考案の各実施例を示す説明図、第６図は第５図の要
部を示す斜面図である。 図中符号、１はフォトマスク、２は光ｉ、：Ｈｔ。 被露光物、４は露光スリット、５は透明ローラー、６は
送りローラーを示す。
Claims (3)
- （１）円棒状の光源の軸を中心として回転する円筒状に
形成されたフォトマスクと、シート状の被露光物を該フ
ォトマスクの外周部に近接して連続的に走行させる機構
とからなる露出装置。 - （２）該披露光物は可撓性長尺シーＩ・であって、前記
被露光物走行機構は、該円筒状フォトマスクの回転軸と
平行な軸を中心として回転しその外周面に沿って被露光
物を走行させる送りローラーである実用新案登録請求の
範囲第１項の露光装置。 - （３） 該円筒状フォトマスクと送りローラーとの間
に露光スリットが介設され、該スリットを通して露光す
るようにした実用新案登録請求の範囲第２項の露光装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11132883U JPS6019037U (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11132883U JPS6019037U (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6019037U true JPS6019037U (ja) | 1985-02-08 |
Family
ID=30258540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11132883U Pending JPS6019037U (ja) | 1983-07-18 | 1983-07-18 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6019037U (ja) |
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