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JPS60183154A - インクジエツト記録ヘツド - Google Patents

インクジエツト記録ヘツド

Info

Publication number
JPS60183154A
JPS60183154A JP59037303A JP3730384A JPS60183154A JP S60183154 A JPS60183154 A JP S60183154A JP 59037303 A JP59037303 A JP 59037303A JP 3730384 A JP3730384 A JP 3730384A JP S60183154 A JPS60183154 A JP S60183154A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
supply chamber
recording head
ink supply
passage
Prior art date
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Pending
Application number
JP59037303A
Other languages
English (en)
Inventor
Susumu Ito
進 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Priority to US06/702,680 priority patent/US4635077A/en
Priority to DE19853507112 priority patent/DE3507112A1/de
Priority to GB08505334A priority patent/GB2157232B/en
Publication of JPS60183154A publication Critical patent/JPS60183154A/ja
Priority to SG346/91A priority patent/SG34691G/en
Priority to HK397/91A priority patent/HK39791A/xx
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、インクジェット記録ヘッド、詳しくは、イン
クの小滴を発生させ、それを紙などの被記録材に付着さ
せて記録を行なうインクジェット記録方式に用いるイン
ク小滴発生用の記録ヘッドに関する。
インクの小滴を発生させ、それを紙などの被記録材に付
着させて記録を行なうインクジェット記録方式は、記録
時の騒音の発生が無視できる程度に極めて小さく、かつ
高速記録が可能であり、しかも普通紙に定着などの特別
な処理を必要とせずに記録を行なうことのできる記録方
式として注目され、最近種々のタイプのものが活発に研
究されている。
インクジェット記録方式に用いられる記録装置の記録ヘ
ッド部は、一般にインクを吐出するためのオリフィスと
、該オリフィスに連通しインクを吐出するためのエネル
ギーがインクに作用する部分を有するインク通路と、該
インク通路に供給するインクを貯留するためのインク供
給室と、該インク供給室に記録ヘッド外部からインクを
供給するためのインク供給孔とを有している。
記録の際のインクを吐出するためのエネルギーは、イン
ク通路の一部を構成するインクに前記エネルギーを作用
させる部分（エネルギー作用部）の所定に位置に配設さ
れた発熱素子、圧電素子等の種々のタイプのエネルギー
発生素子によって発生される。
このような構成のインクジェット記録ヘッドのなかでも
、精度良く、量産可能な記録ヘッドとして、インク吐出
エネルギー発生素子の配置しである基板上に感光性樹脂
膜からなるインク通路及びインク供給室を構成する壁を
形成し、その後前記通路及び供給室の覆いを付設した構
成を有するものが知られている。
このような構造のインクジェット記録ヘッド主要部の典
型的な従来例を第１図に示す。
第１図は従来のインクジェット記録ヘッドの模式的斜視
図である。
ｌはインクの小滴を吐出するためのオリフィス、２はオ
リフィスｌに連通した基板５上に配置された吐出エネル
ギー発生素子６から発生された吐出エネルギーがインク
に作用する部分（不図示）を有するインク通路、３はイ
ンク通路２に速やかにインクを供給するインク供給室、
４は記録へンド外部からインクをインク供給室３に供給
するためのインク供給孔、５は吐出エネルギー発生素子
６がインク通路２に対応して配設されている基板、７は
覆いである。
高解像度画像の高速記録には、複数のオリフィスを高密
度に配列したものを集積化した、いわゆるフルマルチ化
された記録ヘッドが好適であるが、第１図に示したよう
な構造のインクジェット記録ヘッドをフルマルチ化して
高速記録を行なった場合、記録ヘッドの外部から内部へ
のインクのりフィル（再充填）が不充分となり、安定し
たインク吐出や吐出信号に対する高度な応答性が得られ
ない等の欠陥が認められた。
このような欠陥は、上記の記録ヘッドの有する構造に起
因するものと考えられる。特にインク通路２とインク供
給室３が一体成形されるので、インク供給室３の深さは
インク通路２の深さと同じになり、この深さが、主にイ
ンク通路２及びオリフィスｌの大きさを優先させて規定
されるために、インク供給室３の容量として、複数のイ
ンク通路２へのインクの高速補充供給に対応できるほど
のインク貯留量を得ために充分な容量を得ることができ
ないことが前記欠陥の大きな要因となっていた。
そこで、そのような構造上の問題を解決する１つの手段
として、インク通路とインク供給室のそれぞれの機能を
満足させる大きさに、これらを別々に形成することによ
って、充分な容量のインク供給室を形成する方法が挙げ
られる。
このような記録ヘッドの典型的な一例を第２図の模式的
斜視図に示す。
第２図に示した記録ヘッドは、まず基板５上にインク通
路２を構成する壁を感光性樹脂を用いて形成し、これに
覆い７としての天板を積層してインク通路２を形成し、
次に別にセラミック、ガラス、樹脂等を用いて形成した
インク供給室３が接合されて形成される。従って、イン
ク通路２とインク供給室３は、それぞれの機能を満足さ
せるのに充分な大きさに形成されており、インク供給室
３の前述したような容量不足は解消された。しかしなが
ら、このような構造の記録ヘッドに於いては、インク供
給室３とインク通路２が別々に形成され、更にインク供
給室３が基板５上に接着剤等を用いて接合されて記録ヘ
ッドが形成されるために、工程数が増加し、かつこれら
の接合の際の精密な位置合わせ、あるいは接着剤によっ
て微細なインク通路２が塞がれないように接合するため
には、熟練した技術及びより多くの時間を要するため、
このような構造の記録ヘッドは、量産性に劣るという問
題があった。
本発明は、これらの問題に鑑みなされたものであり、フ
ルマルチ化した際に、良好なインクリフィルの行なわれ
る構造を有するインクジェット記録ヘッドを提供するこ
とにある。
本発明の他の目的は、精度良く、量産可能な構造を有す
るインクジェット記録ヘッドを提供することにある。
本発明の他の目的は、コンパクト化に好適な構造を有す
るインクジェット記録ヘッドを提供することにある。
上記の目的及び他の目的は以下の本発明によって達成す
ることができる。
すなわち、基板と、該基板面にインク通路及びインク供
給室を形成する感光性樹脂硬化膜と、前記通路及び供給
室の覆いとを積層してなり、前記覆いが平板からなり、
該平板の前記供給室を構成する部分に四部が設けられて
いることを特徴とする。
以下、図面に基づいて本発明のインクジェット記録ヘッ
ドを詳細に説明する。
第３図は１本発明のインクシエンド記録ヘッドの一例の
構造を説明するための記録ヘッドの断面部分を含む外観
斜視図である。
■はオリフィス、２はインク通路、３はインク供給室、
４はインク供給孔、５は基板、７は覆いである。
これら各構成部分の機能は、第１ＴｇＪに示した従来の
記録ヘッドのものと同様である。
なお、図示されてはいないが、基板５上には、オリフィ
ス１からインクの小滴を吐出させるためのエネルギーを
発生するエネルギー発生素子と、該素子に接続され、該
素子に吐出だめの信号を与える電極が配線されている。
このような本発明の記録ヘッドに於いては、インク通路
２とインク供給室３を構成する覆い７のインク供給室３
の天井部分に四部が設けられており、インク供給室３内
での良好なインク吐出性を得るのに充分なインク貯留量
が得られるようにインク供給室３の容量が増大されてい
る。
このような構造の本発明のインクジェット記録ヘッドの
形成は以下のような方法により行なうことができる。
第４図〜第１θ図は、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドを形成する方法の一例を説明するための本発明のイン
クジェット記録ヘッドを形成するには、まず所定の位置
に吐出エネルギー発生素子６が配設されているガラス、
セラミック、樹脂、金属等の材料からなる基板５上に、
第４図に示すようにドライフィルムフォトレジスト８（
膜厚、約２５ｕ　〜１００　ｐ　）を０．５〜０．４　
ｆ　／＋ｉｉｎ、の速度、１〜３　Ｋｇ／　ｃｍ３の加
圧条件下でラミネートする。
続いて、第５図に示すように、基板５上に設けたドライ
フィルムフォトレジスト８上に、オリフス１、インク通
路２及びインク供給室３の形状に対応した光を透過しな
いパターン３ｐを有するフォトマスク９を重ね合わせた
後、このフォトマスク９のに部から露光（図中、矢印）
を行なう。なお、」―記パターン８Ｐのインク通路に相
当する部分は、基板５」二に配設された吐出エネルギー
発生素子６の設置領域を充分覆い、露光、現像処理の後
に形成されるインク通路中に上記素子６が設けられるよ
うにＬ記パターン９Ｐが形成され、かつフォトマスク９
と基板５との位置合わせが行なわれる。
このように露光を行うと、パターン８Ｐに覆われた領域
以外、すなわちフォトレジスト８の露光された部分が重
合硬化し、露光されなかった部分が溶剤可溶性のままで
あるのに対して、溶剤不溶性となる。
次に、これを揮発性有機溶剤、例えばトリクロルエタン
中に浸漬し、溶剤可溶性であるドライフィルムフォトレ
ジスト８の未重合（未硬化）部分が基板５上から溶解除
去され、基板５上に硬化フォトレジスト膜８Ｈが第６図
に示すように残される。次に基板５上の硬化フォトレジ
スト膜８Ｈを、該膜８Ｈの耐溶剤性を向上させる目的で
更に硬化させる。フォトレジスト膜８Ｈを更に硬化させ
る方法としては、１３０℃〜１８０℃で硬化フォトレジ
スト１ｆｉ８ＨをｌＯ分〜ＧＯ分程度加熱して熱重合さ
せる、あるいは紫外線を照射する等の方法を挙げること
ができるが、これらの方法を併用するのが望ましい。
このようにして、硬化フォトレジスト膜８Ｈからなるイ
ンク通路２及びインク供給室３の側壁が第７図に示すよ
うに形成される。
これとは別に、覆い７が以下のように形成される。
まず、第８図に示したように、所定の位置にインク供給
孔４が設けられた、ガラス、樹脂等からなる所定の形状
及び大きさの平板７ａ上に、ドライフィルムフォトレジ
ストＩＯを前述したのと同様の方法を用いて積層する。
次に、第９図に示すように、平板７ａ上に設けたドライ
フィルムフォトレジストｌＯ上に、インク供船室３の形
状に対応した光を透過しないパターン１１Ｐを有するフ
ォトマスク１１を重ね合わせた後、このフォトマスク１
１の上部から露光（図中、矢印）を行なう、なお、上記
パターンＩＩＰのインク供給室に相当する部分は、イン
ク供給孔４の設けられた平板７ａを覆い、露光、現像処
理の後に形成されるインク供給室の天井に上記供給孔４
が設けられるように上記パターンＩＩＰが形成され、か
つフォトマスク１１と平板７ａとの位置合わせが行なわ
れる。
続いて、前述した基板５上にインク通路等の側壁を設け
た時と同様にして、溶剤でドライフィルムフォトレジス
ト１１１１ＩＯを処理し、第１Ｏ図に示すような四部１
２を有する覆い７が形成される。
この覆い７は、第１１図に示すように、先に形成した基
板５上に設けられた硬化フォトレジスト膜９Ｈ上に、覆
い７の四部１２がインク供給室の上部を構成するように
、貼着される。その後、覆い７を構成する硬化フォトレ
ジスト膜１０Ｈを、該フォトレジスト膜１０１（と前記
フォトレジスト＠８Ｈとの貼着部分の接着力及び該フォ
トレジスト膜１０Ｈの耐溶剤性を向上させる目的で、前
述したような加熱処理及び／または紫外線処理によって
更にに硬化させる。
最後に、第１１図に示したＡ−Ｂ一点鎖線に添って切断
し、インク供給孔４に、不図示の記録ヘッド外部にある
インクタンクと連結するインク供給管（不図示）を取り
付けて第３図に示したような本発明の記録ヘッドが完成
される。
この最後に行なわれる切断は、吐出エネルギー発生素子
６とオリフィス１との距離を最適化するために行なわれ
るものであり、その距離は記録ヘッドの設計に応じて適
宜選択される。
上記の例に於いては、平板上にフォトレジスト膜を積層
し、これをパターンニングして凹部が形成されたが、エ
ツチング用溶液等を用いて平板の所定の部分をエツチン
グして形成しても良く、更にこのようにしてエツチング
処理された平板上にフォトレジスト膜を積層し、これを
パターンニングして第１２図に示すように、更に深い凹
部を有する覆いを有する記録ヘッドとしても良い。
また、覆いの凹部は、１つの四部としてではなく、２つ
以北の、あるいは数本の溝として形成しても良い。
以」−のような構造の本発明のインクジェット記録ヘッ
ドに於ては、覆いのインク供給室の天井部分に四部が設
けられているために、インク供給室の容量が、従来の基
板上に感光性樹脂膜からなるインク通路及びインク供給
室のを構成する壁を一体成形してなる記録ヘッドに対し
て、増大されており、本発明のインクジェット記録ヘッ
ドは、記録ヘッドをフルマルチ化した場合に良好なイン
クリフィルの行なわれるような構造を有するものとなっ
た。
更に、本発明のインクジェット記録ヘッドのインク通路
及びインク供給室の構成する壁は、感光性樹脂によって
一体成形できるので、別に形成したインク供給室を基板
に接合して形成していたタイプの従来の記録ヘッドと比
較して、成形工程が簡易化され、本発明の記録ヘッドは
精度良く、量産可能な構造を有し、かつコンパクト化に
好適な構造を有するものとなった。
【図面の簡単な説明】
第五図及び第２図は従来のインクジェット記録ヘッドの
主要部の模式的斜視図、第３図は本発明のインクジェッ
ト記録ヘッドの一例の構造を説明するための記録ヘッド
の断面部分を含む外観斜視図、第４図〜第１１図は本発
明のインクジェット記録ヘッドを形成する方法の一例を
説明するためのための模式図、第１２図は本発明のイン
クジェット記録ヘッドの他の例の構造を説明するための
記録ヘッドの断面図である。 １ニオリフイス ２：インク通路 ３：インク供給室 ４：インク供給孔 ５：基板 ６：吐出エネルギー発生素子 ７：覆い ７ａ：平板 ８．１０：　ドライフィルムフォトレジスト膜８Ｈ，Ｉ
ＯＨ：硬化フォトレジスト膜 ９．１１：フォトマスク ９Ｐ、ＩＩＰ：パターン １２：四部 特許出願人　キャノン株式会社 第１図 第　３　図 す 第　４　図 ｆＢ５　区 す 第　６　図 第　７Ｅ１ ４ 第　８　図 第　９　図 第１１図 第　１２　図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）基板と、該基板面にインク通路及びインク供給室
    を形成する感光性樹脂硬化膜と、前記通路及び供給室の
    覆いとを積層してなり、前記覆いが平板からなり、該平
    板の前記供給室を構成する部分に凹部が設けられている
    ことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
JP59037303A 1984-03-01 1984-03-01 インクジエツト記録ヘツド Pending JPS60183154A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59037303A JPS60183154A (ja) 1984-03-01 1984-03-01 インクジエツト記録ヘツド
US06/702,680 US4635077A (en) 1984-03-01 1985-02-19 Ink jet recording head
DE19853507112 DE3507112A1 (de) 1984-03-01 1985-02-28 Tintenstrahlaufzeichnungskopf
GB08505334A GB2157232B (en) 1984-03-01 1985-03-01 A method of making an ink jet recording head
SG346/91A SG34691G (en) 1984-03-01 1991-05-07 A method of making an ink jet recording head
HK397/91A HK39791A (en) 1984-03-01 1991-05-23 A method of making an ink jet recording head

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59037303A JPS60183154A (ja) 1984-03-01 1984-03-01 インクジエツト記録ヘツド

Publications (1)

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JPS60183154A true JPS60183154A (ja) 1985-09-18

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ID=12493933

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JP59037303A Pending JPS60183154A (ja) 1984-03-01 1984-03-01 インクジエツト記録ヘツド

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Country Link
US (1) US4635077A (ja)
JP (1) JPS60183154A (ja)
DE (1) DE3507112A1 (ja)
GB (1) GB2157232B (ja)
HK (1) HK39791A (ja)
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