JPS60182735A - ウエ−ハの配列ピツチ変更装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （利用分野） 本発明は、ウェーハの配列ピッチ変更装置に関するもの
であり、特に、一方のキャリア内に、ある一定のビッヂ
で収納されたウェーハを、その任意の倍数のピッチで他
方のキャリア内へ移換えて収納する、自動ウェーハ移換
機に用いるのに適したウェーハの配列ピッチ変更装置に
関するものである。

〈従来技術） 半導体製造二［程においては、半導体ウェーハに種々の
熱処理や化学処理、洗滌などが実施されることは周知の
とｄ３りである。ウェーハに各種処理を施す場合、従来
は、該処理の能率をはかるために、つ１−ハをキャリア
内に多数収納して行なっている。

前記キｔ？リアは、ウェーハ収納用の溝が一定ピッチで
形成されているウェーハ収納用の箱である。

前記キャリア内に収納するウェーハの枚数をなるべく多
くした方が、処理の効率が良くなることは当然である。

しかし、処理の内容にＪ：つでは、−たとえば、熱処理
を施すか、エツチング処理を施すかによっては、該処理
の正常な効果を得るために、前記キャリア内に収納され
た各々のウェーハの間隔を異ならけることが必要である
。

例えば、熱処理は、その効率を上げるためにつ１−ハの
間隔を狭くして行ない、一方、ＣＶ　ｌ）やエツチング
処理などは、これらの処理のむらを防ぐＩこめに、前記
ウェーハの間隔を熱処理時に比しＣ大きくして行なうの
である。

また、前記したような処理の違いによって、前記キャリ
アの材質も変えな（プればならない。つまり、熱処理は
ウェーハを石英製等のキャリアに収納して行ない、一方
、エツチング処理は、前記つ工−ハをテフロン等の樹脂
性キ“ヤリアに収納して行なうのである。

したがっＣ、ウェーハをある処理工程から別の処理工程
へ移り場合には、ある物質により形成された第１のキャ
リア内の、あるピッチで形成された溝部に配置されたウ
ェーハを、別の物質により形成された他のキ１１リア内
の、別のピッチで形成された溝部に移換える操作を行な
わなりればならない。

従来、前述の操作は、一枚一枚のウェーハを放械にＪ、
す、あるいは真空ビンセット等を用いて、直接人の手で
行なうものであった。

あるいは、ウェーハの間隔は一定で、キャリアの祠貿だ
けを変えたい場合は、該ウェーハが第１のキャリア内に
水平方向に収納された状態にして、前記第１のキトリア
に、第２のキャリアを、各々のウェーハ挿入面どうしが
対向するように密着させ、その後、第２のキャリアが下
にくるようにして、前・記ウェーハを第１のギヤリアか
ら第２のキャリアへ移動させるものであった。この場合
の操作も、人が前記キャリアを手で持って行４にってい
ｌこ　。

しかし、前述の従来例ぐは、ウェーハを第１のキ１７リ
アから第２の−１：１７リアへ移換える時、該つ１−八
を汚したり、またウェーハが前記第１および第２のキャ
リアと接触して、該ウェーハに傷が付いたり、欠Ｅノた
り、あるいは該ウェーハを床面に落とし、破ＩＱする等
の欠点があった。

特に、拘〕１おＪζひ第２のキ１７リアを、各々のつ１
−ハ挿人面どうしが対向するように密着させる操作の場
合は、傷やチッピング等を生じ、また（２）塵を発生し
てウェーハの）１１染が発生する原因となっていた。

また、ウコ、−ハを一枚一枚移換えな【プればならず、
さらに人が直接操作をする場合もあるので移換えに長時
間を要し、したがってその効率が悪く、半導体製作費の
上昇等の欠点もあった。

（目的） 本発明は、前述の欠点を除去ザるためになされたもので
あり、その目的は、第１のキャリア内に所定のピッチで
配置されたウェーハを、第２のキャリア内に、前記ピッ
チの任意の倍数のピッチで゛配列されるように移換える
自動ウェーハ移換（幾に用いるウェーハの配列ピッチ変
更装置を提供することにある。

く１既要） 前記の目的を達成づるために、本発明は、Ｈいに平行に
配置された、円柱状の一対の円筒１ｊ４カムと、前記一
対の円筒溝カムの周面に、互いに対称形となるように、
かつ前記円ｉｎ溝カムの回転につれてその中心軸方向へ
各々異なる所望の割合で移動し、前記円筒溝カムの任意
の母線との交点のピッチが各々同一となるように形成さ
れた複数の円筒溝と、前記一対の円筒溝カムの間に互い
に対向するように配置され、それぞれの円筒溝カムの円
筒溝に嵌合り′るビンを右する複数対の移動子ど、前記
移動子を前記一対の円筒ｉｊへカムの中心軸方向のみで
移動可能に保持する一対の手段ど、前記一対の円筒溝カ
ムを互いに逆方向に、所定の角度だけ回動さゼる円ｆｔ
ｌ満カム駆動装置と、前記移動子の対向面に形成され、
その下部にウェーハを係止させるための段状部を有する
主溝と、前記一対の円筒溝カムＪ３よび前記一対の手段
をそれぞれ保持づる一対の支持架枠ど、前記一対の支持
架枠の相対距離を変化させる支持架枠移動装置とにより
構成した点に特徴がある。

（実施例） 以下に、図面を参照し−Ｃ１本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例を適用した自動ウェーハ移
換（幾の１度略正面図である。

第１図において、本発明の一実施例であるウェーハの配
列ピッチ変更装置２００（よ、左および右円筒溝カム１
△、１Ｂ１円筒満１０．左および右移動子２△、２Ｂ１
ピン２０Δ、２０［３，つｌ−ハ係止片２２△、２２Ｂ
、すべり軸３△、３Ｂ、ならびに左Ｊ３よび右支持架枠
７Ａ、７Ｂにより（１°４成されている。

左円間）ｔ１カム１ΔＪＪ　Ｊ、び右円筒）１１Ｘカム
１Ｂは、円柱状であり、互いに平行に配置されている。

前記左ｉＪ３よび右円筒溝カム１Ａ、１Ｆ３の両端の中
心には、軸８が突出し、また外周には、後述するような
各々異なるリード角を右づ−る複数の円筒Ｒ１’ｉ１０
が形成されでいる。

前記左内筒渦カム１Ａの端部に突出した軸８　ＩＬｉ！
、左支持架枠７Ａに形成された穴に、回動自在に挿入さ
れている。ｆｆ１Ｊ様に、前記右円筒溝カム１Ｂの端部
に突出した軸８は、右支持架枠７Ｂに形成された穴に、
回動自在に挿入されている。

さらに、前記軸８は、図示されない円筒溝カム駆動装置
に接続されている。前記円筒溝カム駆動装置の駆動によ
り、前記左および右円筒溝カム１Ａ、ＩＢは、互いに逆
方向に−すなわち、矢印へ方向あるいは矢印Ｂ方向に、
各々同一、かつ任意の角度回転することができる。

前記左および右支持架枠７Ａ、７Ｂには、各々矩形柱状
のすべり軸３Ａ、３Ｂが、前記左および右円筒溝カム１
Ａ、ＩＢと平行に固着されて（Ｘる。

また、前記すべり軸３△、３Ｂは、左移動子２Ａおよび
右移動子２Ｂに形成された、前記Ｊベリ軸３Ａ、３Ｂの
断面形状よりも若干大型の穴を、貫通している。

前記すべり軸３Ａ、３Ｂは、左および右移動子２Ａ、２
Ｂの回転を阻止するものであるから、前記左および右支
持架枠７Ａ、７Ｂに対して各々２本ずつ設けることがで
きれば、円柱状であってもかまわない。また、他の手段
ににるものであってもかまわない。

前記左および右移動子２Ａ、２Ｂは、前記左Ｊ３にび右
円筒満カムＩＡ、ＩＢに形成された円筒溝１０の数と同
数だけ配置されていて、該左および右移動子２Ａ、２Ｂ
から突出し７ｊピン２０Ａ。

２０Ｂにより、前記円筒溝１０と嵌合している。

前記１ｒ　Ａ３よび右移動子２Ａ、２Ｂの互いに対向す
る部分には、後述するような、ウェーハ１００を係止す
るための主）Ｒ２１を右づ゛るウェーハ係止片２２Ａ、
２２Ｂが固着されている。

前記左および右支持架枠７Ａ、７Ｂは、図示されない支
持架枠移動装置に接続されていて、該左および右支］、
１架枠７Δ、７Ｂが互いに遠ざかるＪ、うに（矢印Ｃ方
向）、あるいは近づくように（矢Ｅｌ　［）方向）移動
ザることかでき、さらに、テーブル４に対して上１・動
く矢印Ｅ方向）することができる。

第１のキＩ７リア３０および第２のキャリア４０は、前
記テーブル４に設置されている。前記テーブル４は、図
示されないテーブル移動装置に接続されていて、左右（
矢印Ｆ方向）に移動り−ることかできる。

また、前記テーブル４の下方には、ブッシレ５が設置さ
れている。前記ブツシャ５は、図示されないプツシｔ・
昇降装置に接続されていて、上下に移動することができ
、さらに、前記テーブル４ならびに前記第１およびｖ８
２のキレリア３０．４０の底面に形成されたブツシャ穴
を通して、前記第１および第２のキャリア３０．４０内
に進入することができる。

前記テーブル４の下方には、円柱状のローラ６が設置さ
れている。前記ローラ６は、図示されないローラ駆動装
置に接続されていて、回転Ｊ３よび上下に移動すること
ができる。

第２図は、第１図におけるウェーハの配列ピッヂ変更装
置２００の概略平面図である。

図において、第１図と同一の符号は、同一まｌζは同等
部分をあられしている。また、図を見易すくするために
、円筒溝１０は、左円筒）ｂＳカム１Ａの約半分たり描
かれていて、他は、一点鎖線で簡略化して示しである。

第２図にＪ５いて、左円ｎ　ｉ７＋）カム１ＡＪ５よび
右円筒溝カムＩＢには、それぞれ１５本の円筒）Ｒ１０
が形成されている。前記円筒ｈ”ｉ　１０の本数は、特
に１５木に限定されることはなく、何本であっても良い
が、当該ウェーハの配列ピッヂ変更装首２００のウェー
ハ移換え可能枚数は、前記円筒溝１０の本数にＪ：り決
定される。

また、左円筒Ｍカム１Ａに形成される円筒溝１０と、右
円筒満カム１Ｂに形成される円筒溝１０とは、互いに対
称形である。

前記左円筒溝カム１Ａに形成される円筒溝１０は、図よ
り明らかなように、前記左円筒溝カム１Δの外周表面上
に、該左円Ｌ）　ｆＭカム１Ａの中心軸方向の移動距離
と該中心軸のまわりの回転角との比が常に一定であるＪ
：うな点が描く軌跡−ずなわち、つる巻き線に沿って形
成されている。しかし前記比は、各々の円筒溝１０の配
置順に対して所定の割合で変化り゛るように設定されて
いる。

換言すれば、ｆｉｆ記左同左円筒溝カム１Ａ心線に垂直
な面と、前記つる巻き線とのなす角度（リード角）は、
前記１５木の円筒溝１０の配置順にしたがって、それぞ
れ所定の；’＋’１合で変化するＪ、うに設定されてい
るので、左円筒溝カム１Ａを任意の角度回転さゼても、
前記左移動子２Ａの配列ピッチは変化するが、常に、互
いに等しい値となる。

また、以上の説明により明らかなように、前記円筒溝１
０は、前記左円筒溝カム１Ａの中心線を中心に、３６０
度の範囲内でしか形成することができない。第２図にお
いても、はぼ３６０度に近い角度で、前記円筒溝１０が
形成されている。

前記円筒溝１０のつる巻き線に沿って、前記左円ｎ溝カ
ム１Ａの中心軸のまわりをほぼ１周するときに、該中心
軸の方゛向に進む距離をリードとすると、前記リード角
は各々の円筒溝１０に対して異なっているため、前記リ
ードも前記円筒溝１０の各々に対して異なる。

第２図においては、前記外おＪ、び右円筒溝カムＩＡ、
ＩＢに形成された各１５本の円筒溝１０のうち、中央の
円筒溝１０は、前記リードが零であり、前記中火の円Ｅ
　ｉｆ／ｊ　１０の両側に形成された円筒溝１０は、核
外ｄ３　Ｊ：び右円筒満カム１Ａ、ＩＢの両端近くに形
成されたものほど前記リードが大きくなる。

したがって、前記外および右円筒溝カムＩＡ。

１Ｂを矢印へ方向に回転されることにより、円筒溝１０
に憤；合したビン２ＯＡ、２０Ｂを右する各々１５個の
左および右移動子２Ａ、２Ｂは、中央に配買された左お
よび右移動子２Ａ、２Ｂを基準として、各々のピッチが
大きくなるように−すなわち、矢印Ｇ方向へ拡がること
になる。

さて、前述のように、前記外および右移動子２Ａ、２Ｂ
の互いに対向する部分には、ウェーハ１００を係止づる
ための主溝２１を右づるウェーハ係止片２２Ａ、２２Ｂ
が固着されているが、これ【よ次のＪ、うな理由にＪ、
るものである。

ウェーハ１００は、周知のように小型円板状であり、こ
れを複数枚集めて各種処理を施１″場合に必要な該つ１
−ハコ００間のビッヂは、最小で１（ｍｍ）程度である
。

どころが、前記外ならびに右円筒溝カム１Δ。

１１３および左おＪζび右移動子２Δ、２Ｂはある程度
の精密さを要求されるものであるから、あまり小さく製
作１′ることができない。

したがって、前記外おＪ、び右移動子２Δ、２Ｉ３に、
第２図に示されるような直線状あるいは各種クランク状
に屈曲されたウェーハ係止片２２Ａ。

２２Ｂを固着す゛ることにより、つ■−ハ１００のピッ
チを小さくすることができるようにしたものである。

もちろん、前記外および右円筒溝カムＩＡ。

１Ｂならびに左および右移動子２Ａ、２Ｂを小型に製作
することができる場合や、ウェーハ１００の最小ピッチ
を小ざく−りる必要のない場合には、前記ウェーハ係止
片２２Ａ、２２Ｂは取付ける必要がないのは当然のこと
であり、また、この場合には、前記外Ｊ′３よび右移動
子２△、２１３の互いに対向′りる部分に、ウェーハ１
００を係止するための主溝２１８：直接設ければ良い。

ま７ｊ　、身１２図において、円筒溝１０のＶＪｉ面形
状は台形に描かれているが、特にこれに限定されず、ど
のようなものであってｂよい。

第３図は、第２図におりる１相の・ウェーハ係止片２２
Ａ、２２Ｂに形成された主溝２１を示り拡大図である。

図において、第２図と同一の符号は、同一または同等部
分をあられしている。また、ウェーハ係止片２２Ａ、２
２Ｂは主溝２１が形成された部分以外は省略して示しで
ある。

ウェーハ係止片２２Ａ、２２Ｂの互いに対向でる部分に
は、断面が矩形状の主溝２１が形成されている。また、
前記主溝２１は、ウェーハ係由片２２Δ、２２Ｂの一ト
方部において、その深さが浅くなるＪ、うに段差が設（
）られＣいる。また、前記主溝２１の幅は、ウェーハ１
００よりも若干人きく形成されている。

したがって、前記ウェーハ係止片２２Ａ。

２２１３をＵいに矢印Ｃ方向あるいは矢印１〕方向に移
動さけることにより、前記主溝２１は、つ１−ハ１００
を通過さけたり、あるいは該主１ｉＩ′＋２１の段差部
分においてウェーハ１００を係止したりづることができ
る。

第４図（ａ　）は、第１図にお（）るテーブル４ならび
に第１　Ｊ３よび第２のキャリア３０．４０の詳細正面
図、第４図（ｂ）は、同図（ａ）の詳細平面図である。

図にｄ３いて、第１図と同一の首号は、同一または同等
部分をあられしている。

第４図（ａ　）および（１））において、第１および第
２のキトリア３０．／１０は、その断面が凹形をなして
Ｊ′３す、該凹形内部にウェーハを収納することかでさ
るように、その側面様の対向りる内面の距離は、ウェー
ハ１００の外形りよりも大きくなっている。

前記第１１１３Ｊ、ひ第２のキャリア３０．４０の底面
には、それぞれ矩形状の第１のブツシャ穴３１（１３Ｊ
、び第２のプッシレ穴／１１が形成されている。

また、前記第１および第２のキャリア３０゜／１０の側
面板ど平行な、前記第１および第２のブツシャ穴３１．
／１１の対向する辺には、それぞれ第１のウェーハ係什
ｆｆ４３０１および第２のウェーハ係止！ｆ＋７４０１
が形成されている。

前記第１および第２のブツシャ穴３１．．４１の各々の
辺に形成される前記第１および第２のつ工−ハ係止溝３
０１，４０１は、前記第１　Ｊ’＞よび第２のキせリア
３０．／１０に収納されるべきウェーハ１００の数だけ
形成されている。

したがって、左および右円筒溝カムＩＡ、１Ｂに形成さ
れる円筒溝１０の数が、前述のように各々１５本である
とづるならば、前記第１および第２のつ」、−ハ係止溝
３０１．４０１も、各々１５紺り゛つ形成される。

第４図（ｂ）においては、第１のウェーハ係止ｔＭ　３
０１のピッチは、第２のウェーハ係止溝４０１のピッチ
よりも小さく形成されている。前記ピッチは、ウェーハ
１００の処理１稈の）Ｒいにより、各々任意のピッチに
決定されるものであるが、前記左および右円筒溝カム１
Δ、ＩＢの回転によりＩ？られる主溝２１のピッチの範
囲内にＪ３いて設定される。

前述のように、前記第１おＪ、び第２のプツシ１７穴３
１．４−１の対向Ｊ゛る辺の各々に形成される第１おＪ
：び第２のウェーハ係止溝３０１．４０１の数をそれぞ
れ１５個どするど、第４図においては、その中央に配置
されるウェーハ係止溝−すなわち、第４図（ａ　）にＪ
３いて一番手前に係止されるウェーハを１００−１とし
た場合に、８番目のつ゛コ、−ハｉ　ｏｏ−ｓを係止Ｊ
゛べき第１Ｊ５Ｊζび第２のウェーハ係止溝３０１，４
０１は、同一直線上に、かつ第１おＪ、び第２のキャリ
ア３０．４０の中火に形成されている。

これは、第２図にお【プる左および右円筒：ｔＩＩＩノ
Ｊム１Δ、　Ｉ　Ｅ３に形成された中央の円’（＝；Ｉ
　１ｉｌｊ　１０が、そのリードがマｉどなるように形
成されたことに対応覆るものである。

つまり、前記左おＪ：ひ右円筒満カムＩＡ、１Ｂを任意
の角庶回転させて、主溝２１の各々のピッチを変化さけ
ても、その中央に配置された主）＾１２１の位首は全く
変化しないので、この場合は、テーブル４を単に矢印「
方向にのみ移動させることににす、各々の主！ｉ／＋　
２１の位置は、各々の第２のウェーハ係止溝あるいは第
１のつ１−ハ係止溝３３０１の上方に配置されることに
なる。

したがって、テーブル４を第１図の紙面に対して垂直に
移動さゼる４１４成をとることができれば、前記中央に
形成される第１のウェーハ係に満３０１　Ｊ３よび第２
のウェーハ係止Ｒ／ｒ　４０１は、必ずしも同一直線上
に、かつ第１および第２のキ１１リア３０．４０の中央
に形成される必要はない。

また、前記第１および第２のつ〕−−ハ係止溝３０１．
４０１ｔよ、つｌ−ハ１０．０をそこ（ご挿入した場合
に、該ウェーハ１００が倒れないように支持するための
５のであるので、ぞの人きさ、形状は、ウェーハ１００
の大きさにより、慎重に定められるものである。

前記第１および第２のキャリア３０．４０は、テーブル
４上に固着されているが、該テーブル４には、前記第１
おにび第２のキャリア３０゜４０に形成される第１おＪ
：び第２のブツシャ穴３１．４１と同形状のブツシャ穴
３１Ｔ、４１”丁が形成され（いる。

前記第１　Ｊ３よび第２のキャリア３０．４０の固着は
、前記第１および第２のブツシャ穴３１゜４１どブッシ
ト穴３１１’、　４１　”ｒどが一致覆るように行なわ
れている。

次に、第１図にお（］る自動ｒクエーハ移換機のつ工−
ハの移換えの手順を説明する。

前述の第１図は、つ１−ハ移換えの最初の状態をあられ
している。第１のキャリア３０に形成された第１のウェ
ーハ係止溝３０１には１５枚のウェーハ１００が、それ
ぞれ係止されている。

さらに、１５組のウェーハ係止片２２Ａ。

２２Ｂに形成された主溝２１のピッチは、左および右円
筒溝カム１Ａ、１Ｂを回転させることにより、前記第１
のキャリア３０に係止されたウェーハ１００のピッチと
同一になるＪ：うに設定されている。

さらにまた、前記ウェーハ係止片２２Ａに形成された主
ｒＦ；　２１と、前記ウェーハ係止片２２　Ｂに形成さ
れた主！ｉｉ’ｆ　２１どの間を、ウェーハ１００が通
過できるように、左ｄ３　、Ｊ：び右支持架枠７△。

７］３の位置が設定されている。

第５図（ａ　＞〜第５図（ｄ　）は該移し換えの手順を
示す説明図である。これらの図において、第１図と同一
の符号は、同一または同等部分をあられしている。

まず、第５図（ａ　）にＪ３いて、左おにび６支１．１
架枠７△、７Ｂは、図示されない支持架枠移動装置にＪ
、す、矢印「２方向に下降し、つ１−ハ係止片２２Ａ、
２２Ｂが、第１のキャリア３０の側面様に接近したとこ
ろで、前記外ｊＪ３　Ｊ、び右支持架枠７Ａ、７Ｂは停
止する。

第１のキ＼？リア３０の下方に配置されていたブツシャ
５は、図示されないプツシ１７背降装置により、矢印Ｅ
１方向に上がする。前記ブツシャ５は、前記１５枚のウ
ェーハ１００に接触して該ウェーハ１００を−にｙ１さ
せる。

前記ブツシャ５は、前記ウェーハ１００が前記つ１−ハ
係止片２２△、２２Ｂに形成された上溝２１内へ准人し
、さらに前記主！ｆ’ｌ＋２１の段部」一方に達したと
ころで停止づる。

つき゛に、第５図（１〕）において、前記外および右支
持架枠７△、７Ｂは、相互に接近するように、それぞれ
矢印り方向へ移動する。前記移動は、前記主：ｉ’４２
１段部下方の各々対向ザる部分の距離が、ウェーハ１０
０の直径よりも小さくなるまで行なわれる。

前記外および右支持架枠７Ａ、７Ｂの矢印り方向への移
動が終了したら、プツシ１７５を矢印Ｅ２方向へ下降さ
ゼる。さらに、前記外おＪ：び右支持架枠７△、７Ｂも
、矢印Ｆ１方向へ上昇させる。

これにＪ、す、つ１−ハ１００は主溝２１に係止される
。

′Ｐ４５図（Ｃ）においては、テーブル４は、図示され
ないテーブル移動装置により矢印Ｆ１方向へ移動り゛る
。前記移動は、テーブル４十に設置ｖｊされた第２のキ
レリア４０が、前記ウェーハ係止片２２Ａ、２２Ｂに係
止されたウェーハ１００の真下にくるまで行なわれる。

つぎに、左および６円間溝カムＩＡ、ＩＢは、図示され
ない円筒溝カム駆動装置により、各々矢印Δ７’Ｊ向へ
回１／ｉ　’！Ｊる。前記回転は、前記ウェ−ハ係止溝
２２Ａ、２２Ｂに係止されたウェーハ１００のビッヂが
、第２のキレリア４０に形成された１５組の第２のウェ
ーハ係止溝４０１のピッチと同一になるまで行なわれる
。

前記第４図の説明においては、第２のギヤリア４０に形
成される第２のウェーハ係止溝４０１のピッチは、第１
のギヤリア３０に形成される第１のウェーハ係止溝３０
１のピッチよりも人きいものとしたが、前記第１のウェ
ーハ係止溝３０１のピッチＪ、りも小さいものであって
もかまわない。

この場合には、前記左および右円筒溝カムＩＡ。

１Ｂは、各々矢印１３方向へ回転させれば良い。

第５図（（１）においては、前記左および右支持架枠７
Ａ、’７Ｂは、図示されない支持架枠移動装置の駆動に
にす、矢印ＩＥ　２方向へ下降し、前記ウェーハ係止片
２２Ａ、２２Ｂが前記第２のキャリノア４０の側面仮に
接近したところで停止する。

さらに、前述したテーブル４の、左方への移動により、
前記第２のキレリア４０の下方に位置することとなった
前記ブツシャ５は、図示されないプツシＶ昇降装置によ
り上昇する。

そして、前記第２のキＶ７リア４０の底面に形成された
第２のプツシ１７穴４１　、ｄ３よび前記テーブル４に
形成されたブツシャ穴４１Ｔを通り、前記ウェーハ係止
片２２Ａ、２２Ｂに形成された主溝２１に係止された前
記１５枚のウェーハ１００の下部に接触する。

前記ブッシレ５は、さらに上昇し、前記ウェーハ１００
を、該ウェーハ１００を係止させている前記主溝２１の
段部よりもやや上方へ押し上げた後、その上界を停止す
る。

その後、左および右支持架枠７Δ、７］３は、図示され
ない支持架枠移動装置の駆動により、各々矢印Ｃ方向へ
移動づる。前記移動は、第す図（］））の場合とは逆に
、前記主溝２１段部下方の各々対向′ツる部分の距１ｉ
が、ウェーハ１００の直径よりも大きくなるまで行なわ
れる。

そして、前記左および右支持架枠７Ａ、７１３の矢印Ｃ
方向への移動が終了したら、プツシ１７５を矢印Ｅ２方
向へ下降さける。さらに、前記ノＩＥ　ｄ３　Ｊ、び右
支持架枠７Ａ、７Ｂも、矢印Ｅ１方向へ上界さＵる。

以上の操作により、第１のキャリア３ｏに収納された複
数のウェーハ１００が、そのピッチを変えて、第２のギ
ヤリア４０に収納されたことになる。

また、第５図（ａ　）〜第５図（ｄ　）にｉＪＨノる操
作の逆の操作、つまり第２のキャリア４０内に収められ
たつ王−ハ１００を、第１のギ１７リア３０内へ移換え
る操作も、前述した操作を全く逆の手順にＪ：り行えば
容易に達成できる。

さて、テーブル４上に第１のキャリア３０および第２の
キレリア７′ＩＯを設けたが、このほかに、前記第１お
よび第２のウェーハ係止溝３０１゜４０１と異なるピッ
チを右するつＪ−ハ係止ＲＩＳを備えたキＡ・リアを、
必要数配置してもよいのは当然である。

本発明の一実施例では、第１まｌζは第２のキ１７リア
３０．４０に形成された第１または第２のつ■−ハ係止
渦３０１，４０１士に係止されたつ工−ハ１００の移換
えの手段として、ウェーハ係止片２２△、２２Ｂに形成
されたそれぞれの主満２１内にウェーハ１００を挿入あ
るいは係止する手段を用いている。

前記第１および第２のウェーハ係止溝３０１゜４０１、
および主溝２１は、前記ウェーハ１００を係止あるいは
保持ザるための溝であるから、該溝の幅はあまり広くは
できないが、適度な遊びは必要である。

ところが、前記第１あるいは第２のつＬ−ハ係止溝３０
１，４０１に係止されたつ１−ハ１００は、該ウェーハ
係止ｉＭの前記遊びのために、キ１２リアの底面に対し
て垂直に立つことができない。

したがって、前記キレリアの底面の垂直面に対して若干
の傾斜角度をなして、あるウェーハは該垂直面の手前側
、また、他のウェーハは反対側に傾斜して立つことにな
る。

これににす、キ１７リア内での各ウェーハ１００間の上
部のビッヂが異なり、この状態では、つ工−ハ係止片２
２Ａ、２２Ｂに形成された主溝２１内に、該ウェーハ１
００を円滑に挿入することがむずかしくなる。はなはだ
しい場合には、ｆ、ｌ述の移換え動作に支障を生じたり
、ウェーハを損傷したりすることがある。

上記欠点のＭ決策として、図示されない手段により、前
記デープル４を、該テーブル４と前記ウェーハ１００ど
の交線ど平行な仮想軸のまわりに傾斜させてやることが
考えられる。前記テーブル４の傾斜により、前記のづべ
てのウェーハ１００は同一方向に傾斜するので、該つ１
−ハ１００間のピッチは、そのキ１７リアごとに同じに
なる。

なお、前記傾斜を大ぎくする場合には、前記第１および
第２のキャリア３０．４０に形成された第１および第２
のウェーハ係止溝３０１．４０１と、前記ウェーハ係止
片２２Ａ、２２Ｂに形成された主溝２１との相対位置を
調整する必要がある。

また、前述のように、ウェーハ係止片２２Ａ。

２２Ｂに形成された主溝２１も、前記ウェーハ１００が
挿入された時に適度な遊びが生ずるように形成されてい
る。

前記遊びは、前記ｆウェーハ係止溝に係１ｊ二されたウ
ェーハ１００を、プツシ１−５ににり上昇さＵる際、前
記上ｉｆ／＋２１に挿入しやずくする為のものである。

しかし、前記）ｎびのために、前記ウーＩ、−ハ１００
が、それぞれ平行に保持されなくなるおそれがある。し
たがって、この状態では、前記つ工−ハ係止片２２Ａ、
２２Ｂにより保持されたつＴ−ハ１００を、前記第１あ
るいは第２のウェーハ係止溝３０１．４０１内へ挿入、
係止さＵることはむずかしくなる。

上記欠点の解決のためには、前記主溝２１を、その断面
が矩形ではなく、該溝の底面部が該つ工−ハ１００の幅
と同じで、該溝の開口部が前記底面部の幅よりも広くな
るような台形であるような形状とづるのがよい。

前記主溝２１の断面を台形にすると、第１あるいは第２
のウェーハ係止溝３０１．４０１内に係止された９１−
ハ１００を、前記主溝２１内へ挿入Ｊる揚台は、その断
面を矩形状どし遊びを大きくした場合と同様に、挿入を
容易に行なうことができ、また該つ土−ハ１００を保持
り−る場合は、該ウェーハ係止溝の底面部にて、前記ウ
ェーハ１００が保持されるので、該ウェーハ１００と該
の主溝２１との間に、遊びは生じない。

さて、前記一実施例においては、左および右円筒満カム
ＩＡ、１Ｂに形成された１５本の円筒溝１０のうり、中
火に配置される円ｔ：３　ｔＭ　Ｉ　Ｑのリードは零で
あるものとして説明したが、特にこれに限定されること
【よなく、前記外ａ＞　Ｊ：び右円筒渦カムＩＡ、１Ｂ
の側面側に配回される円筒溝１０を、そのリードが零と
なるＪ：うに設定しても良い。

また、前述のように、複数組の円筒溝１０のうちの１組
のリードを零とすることにより、ウエーハ１００のピッ
チを拡大、あるいは縮小させる割合が高くなることは明
白であるが、特にこれに限定されること−６ない。

ざらに、各々の内筒溝１０は、３６０度の範囲内にＪ３
い−で形成されることは前述したが、この範囲内にａ３
いて、リード角が常に一定Ｃ°ある必要はない。たとえ
ば、ウェーハ１００のピップを小さく設定η−る場合に
、該設定を非常に正確に行なわなりればならない必要が
あるとぎは、ある範囲の角度にＪ′３いてはリード角を
小さく設定し、その後リード角を大きくづるように−ず
なわら、１本の円筒溝１０が２種類以上のリード角を有
覆るように該円筒溝１０を１１４成しても良い。

円筒溝１０１Ｊ＜複数のリード角を有する場合には、前
記リード角が変化りる境界部にｄ３いて、リード角が零
となる部分を設けても良い。

前記リード角が零となる部分は、ウェーハ１００のｅツ
チ変化には何ら影響を及ぼさないが、左および右円筒溝
カムＩＡ、１Ｂの回転を、マイクロコンピュータににり
制御する場合には、マイクロコンピュータに前記リード
角が零となる部分を検出りる手段を設りることにより、
リード角が変化する位置く角ａ）を正確に検知すること
ができ、さらに正確なウェーハ１００のピッチ制御を行
なうことができる。

さらにまｌｃ、円筒溝１０が複数のリード角を右すると
いう考察を１１ム張すれば、無限のリード角を右−する
Ｊ、うな、一つまり、円筒！Ｉ／１１０を平面上に展開
した場合に、直線あるいは直線の組み合せではなく、曲
線により構成されるような円筒溝１０をも、考えること
ができる。

このように、円筒溝１０の形状としては、種々のものを
考えることができるが、いずれの場合にａ３いても適用
され、また重要なことは、前）ホのように左円筒溝カム
１Ａに形成される円筒溝１０と、心円ｆｉ　Ｈ７ｒ、カ
ム１Ｂに形成される円筒溝１０とは、対称形でなくては
ならず、また前記左および右円筒溝カム１△、ＩＢの回
転位置にかかわらず、常に左Ｊ３よび右移動子２Ａ、２
１３をＨいに等しいピッチ℃配直させなければならない
ということである。

また、前述の説明においては、ウェーハ１００の移換え
の際に、テーブル４を移動さＵるものとしたが、左Ｊｊ
よび右支持架枠７Ａ、７Ｂ′ＩｃＫらびにブツシャ５を
、前記テーブル４に対して相対移動させてし良いことは
当然である。

（効果） 以上の説明から明らかなように、本発明にｊ、れば、つ
ぎのような効果が達成される。

（１）　複数対の主）１／Ｉにより保持された複数のつ
Ｉ−ハのピッチを、互いに等しい任意のビッヂに変換り
ることがでさるのひ、該つ１−ハを汚したり、傷つりた
り、あるいは破損することなく、複数のウェーハの移換
えを同時に行なうことができる。したがって、ウェーへ
の移換えが効率よく、かつ短時間に行なわれ、経済的で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を適用した自動つ１−ハ移換
機の概略正面図、第２図は第１図におけるウェーハの配
列ピッチ変更装置の概略平面図、第３図は第２図にお（
）るウェーハ係止片に形成された主溝を示Ｊ−拡大図、
第４図（ａ　）は、テーブルならびに第１および第２の
キ１７リアの詳細正面図、第４図（１））は同図（ａ　
）の詳細平面図、第５図（１）−・第５図（（１）はつ
ｆ−ハの移換えの手順を示Ｊ説明図である。 １Δ・・・ノに円筒）１−１カム、１Ｂ・・・右円筒）
ｂ１カム、２Ａ・・・ｈ−移動子、２Ｂ・・・右移動子
、３Ａ、３Ｂ・・・づべり軸、４・・・テーブル、５・
・・ブツシャ、６・・・ローラ、７Ａ・・・左支持架枠
、７Ｂ・・・右支持架枠、８・・・軸、１０・・・円筒
溝、２ＯＡ、２０Ｂ・・・ビン、２１・・・主溝、２２
Ａ、２２Ｂ・・・ウエーハ係止片、３０・・・第１のキ
１７リア、３１・・・第１のプツシＶ穴、４０・・・第
２のキ１７リア、４１・・・第２のブツシャ穴、１００
・・・ウェーハ、２００・・・つ↓−ハの配列ピッヂ変
更装置、３０１・・・第１のつ１−ハ係止溝、４０１・
・・第２のつ１−ハ係止？Ｍ 代理人弁理士　平木通人　外１名 第１図 第３図 第２図 第４図 第５図（０） 不埒 ：ｊＳ　Ｓ　図（ｂ） 第５図（Ｃ） 手続補正内（自発） 昭和５９年１１月７日 特許庁長官　志　賀　学　殿 １、事件の表示 特願昭５９−３８４３８号 ２、発明の名称 ウェーハの配列ピッチ変更装置 ３．７ｆｌｉ正をする者 ４、代理人 ””　’　！Ｊ９１　’ｌ　ｊ・（′。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）Ｈいに平行に配置され、それぞれの周面上に複数
   の円筒溝を有する一対の円筒溝カムと、前記一対の円筒
   溝カムの間に互いに対向するように配置され、それぞれ
   の円筒溝カムの円筒溝に嵌合するビンを有する複数対の
   移動子ど、前記移動子を前記一対の円筒溝カムの中心軸
   方向のみで移動可能に保持づる一対の手段と、前記一対
   の円筒溝カムを互いに逆方向に、所定の角度だけ回動さ
   せる円筒１７４カム駆動装置と、前記移動子の対向面に
   形成され、その下部にウェーハを係止させるための段状
   部を有づ−る主溝と、前記一対の円筒溝カムおよび前記
   一対の保持手段をそれぞれ保持覆る一対の支持架枠と、
   前記一対の支持架枠の相対距離を変化さぼる支持架枠移
   動装置とを具備したウェーハの配列ピッチ変更装置であ
   って、前記円筒溝は、それぞれの円筒溝７Ｊムの周面に
   、互いに対称形となるように、かつ前記円筒溝カムの回
   転につれてその中心軸方向へ各々異なる所望のυ］合で
   移動し、前記円筒ｔ７ＩＩ＋カムの任意の母線との交点
   のピッチが各々同一となるように形成されたことを特徴
   とＪるウェーハの配列ピッチ変更装置。
2. （２）　前記主）Ｈの断面形状は、台形であることを特
   徴とする特許 ェーハの配列ピッチ変更装置。 （３１　Ｔｉ−いに平行に配置され、それぞれの周面上
   に複数の円ＩＣＩ　ｔＭを有する一対の円筒溝カムと、
   前記一対の円筒溝カムの間に互いに対向ずるように配置
   され、それぞれの円筒溝カムの円筒溝に１■合するビン
   をイｉ’？ｌ−る複数対に移動子と、前記移動子を前記
   一対の円筒溝カムの中心軸方向のみで移動可能に保持す
   る一対の手段と、前記一対の円筒溝カムを互いに逆方向
   に、所定の角度だけ回動させる円筒溝カム駆動装置と、
   前記移動子の対向面に固着され、各々の対向部のピッチ
   が前記移動子のビッヂに比べて小ざくなるように形成さ
   れた複数対のウェーハ係止片と、前記ウェーハ係止片の
   対向面に形成され、その下部にウェーハを係止させるた
   めの段状部を右する主溝と、前記一対の円筒溝カムおよ
   び前記一対の保持手段をそれぞれ保持づる一対の支持架
   枠と、前記一対の支持架枠の相対距離を変化させる支持
   架枠移動装置とを具備したつ１−ハの配列ピッチ変更装
   置であって、前記円筒溝は、それぞれの円筒溝カムの周
   面に、互いに対称形となるように、かつ前記円筒溝カム
   の回転につれてその中心軸方向へ各々異なる所望の割合
   で移動し、前記円筒溝カムの任意の母線との交点のビッ
   ヂが各々同一となるように形成され！こことを特徴とす
   るウェーハの配列ピッチ変更装置。