JPS60137113A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS60137113A JPS60137113A JP24882783A JP24882783A JPS60137113A JP S60137113 A JPS60137113 A JP S60137113A JP 24882783 A JP24882783 A JP 24882783A JP 24882783 A JP24882783 A JP 24882783A JP S60137113 A JPS60137113 A JP S60137113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- holding frame
- piezoelectric
- vibration
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0595—Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1035—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は圧電振動子に関する。
従来の拡がり振動子を用いる電子部品としてたとえば第
１図に示すものがある。第１図に示されたものはセラミ
ック圧電共振子である。この図において、１はケースで
あり、このケース１内にはその開口部２′を介して拡が
り振動モードの圧電素子３が収納される。この圧電素子
３はその振動ノード点において１対の端子板４で挟持さ
れる。
１図に示すものがある。第１図に示されたものはセラミ
ック圧電共振子である。この図において、１はケースで
あり、このケース１内にはその開口部２′を介して拡が
り振動モードの圧電素子３が収納される。この圧電素子
３はその振動ノード点において１対の端子板４で挟持さ
れる。
ケース１の開口部２′は、密封用ベース板５と密封用樹
脂６とによって密封される。ところが、この従来のもの
には、機械的な振動やショックにより圧電振動素子３の
位置がずれ、特性が狂い易いこと、組立精度をきわめて
厳しくせねばならず、周波数の高い小型のものでは実際
上正確にノード点を端子板で挟持できない場合があるこ
と等の欠点がある。
脂６とによって密封される。ところが、この従来のもの
には、機械的な振動やショックにより圧電振動素子３の
位置がずれ、特性が狂い易いこと、組立精度をきわめて
厳しくせねばならず、周波数の高い小型のものでは実際
上正確にノード点を端子板で挟持できない場合があるこ
と等の欠点がある。
本発明は、上述に鑑み、振動、衝撃による振動特性の狂
いが生ぜず、組立精度を粗くでき、小型のものでも十分
良好な振動特性が得られるようにすることを目的とする
。
いが生ぜず、組立精度を粗くでき、小型のものでも十分
良好な振動特性が得られるようにすることを目的とする
。
本発明は、前記の目的のために、ケースを備え、該ケー
ス内に恒弾性金属で作られた振動基板と圧電薄膜と振動
電極膜とを有する拡がり振動モードの圧電素子を収納し
た圧電振動子において、前記振動基板と一体成形された
結合子を介して保持枠に支持させ、前記結合子の長さを
、前記圧電素子の容量比が極小となる長さに設定してな
る圧電振動子である。
ス内に恒弾性金属で作られた振動基板と圧電薄膜と振動
電極膜とを有する拡がり振動モードの圧電素子を収納し
た圧電振動子において、前記振動基板と一体成形された
結合子を介して保持枠に支持させ、前記結合子の長さを
、前記圧電素子の容量比が極小となる長さに設定してな
る圧電振動子である。
以下、本発明を図示の実施例に基づき詳細に説明する。
第２図は本発明の一実施例に係る圧電共振子を示す断面
図であり、第３図はその分解斜視図である。これらの図
において、１１はケースであり、このケース１１は１対
のハーフケース１２・１２からなる。各ハーフケース１
２・１２は、互いの対向面を開口させた浅箱形に形成さ
れる。両ハーフケース１２・１２をその対向面で突合わ
せた状態で形成されるケース１１の内部空間に拡がり振
動モードの圧電素子１３が後述の如くに収納される。＄
４図に示すように、この圧電素子１３は１辺の長さ２Ｌ
の正方形に形成され、その各端縁の中央部が長さＬｃの
結合子１４・・・を介して正４辺形の保持枠１５に支持
されている。また、この圧電素子１３の基板１３ａ、結
合子１４・・・および保持枠１５ トは、エリンバ−、
アンバー、インバー、コニリンバーなどの恒弾性金属板
をプレス、エツチング等の手法により一体枠１６として
形成される。そして、この一体枠１６の一面に、ＺｎＯ
などよりなる圧電薄膜１３１〕が所定の領域、すなわち
、基板１．３ ａの全面と、ここから所定の結合子１４
を経て保持枠１５の所定の隅部に至る領域にスパッタリ
ングなどの手法により固着されるａさらに基板１３ａに
対向する電極１７および該電極１７カ・ら前記所定の結
合子１４！！−ｃ経て保持枠１５の前記所定の隅部に至
るリード部１８が圧電薄膜１３１）上に蒸着される。こ
の一体枠１６は引出線１９・１９のうち一方がリード部
１８の先端に、また他方が保持枠１５に着けられてから
その両面が前記両ハーフケース１２・１２で包み覆われ
、その後、両ハーフケース１２・１２の接合部が接着、
融着などにより密封される。ケース１１の内部空間に挿
入された一体枠１６は、保持枠１５の４隅を各ハーフケ
ース１２・１２の内面に突設された各突起２０・・・で
点接触状に挟持することにより、ケース１１内の所定の
位置に保持される。
図であり、第３図はその分解斜視図である。これらの図
において、１１はケースであり、このケース１１は１対
のハーフケース１２・１２からなる。各ハーフケース１
２・１２は、互いの対向面を開口させた浅箱形に形成さ
れる。両ハーフケース１２・１２をその対向面で突合わ
せた状態で形成されるケース１１の内部空間に拡がり振
動モードの圧電素子１３が後述の如くに収納される。＄
４図に示すように、この圧電素子１３は１辺の長さ２Ｌ
の正方形に形成され、その各端縁の中央部が長さＬｃの
結合子１４・・・を介して正４辺形の保持枠１５に支持
されている。また、この圧電素子１３の基板１３ａ、結
合子１４・・・および保持枠１５ トは、エリンバ−、
アンバー、インバー、コニリンバーなどの恒弾性金属板
をプレス、エツチング等の手法により一体枠１６として
形成される。そして、この一体枠１６の一面に、ＺｎＯ
などよりなる圧電薄膜１３１〕が所定の領域、すなわち
、基板１．３ ａの全面と、ここから所定の結合子１４
を経て保持枠１５の所定の隅部に至る領域にスパッタリ
ングなどの手法により固着されるａさらに基板１３ａに
対向する電極１７および該電極１７カ・ら前記所定の結
合子１４！！−ｃ経て保持枠１５の前記所定の隅部に至
るリード部１８が圧電薄膜１３１）上に蒸着される。こ
の一体枠１６は引出線１９・１９のうち一方がリード部
１８の先端に、また他方が保持枠１５に着けられてから
その両面が前記両ハーフケース１２・１２で包み覆われ
、その後、両ハーフケース１２・１２の接合部が接着、
融着などにより密封される。ケース１１の内部空間に挿
入された一体枠１６は、保持枠１５の４隅を各ハーフケ
ース１２・１２の内面に突設された各突起２０・・・で
点接触状に挟持することにより、ケース１１内の所定の
位置に保持される。
このように、圧電素子１３を結合子１４・・・を介して
保持枠１５に保持させ、この保持枠１５をケース１１に
支持させるので、その支持点を圧電素子１３のノード点
に正確に合わせずに済むという意味で組立精度を必要と
しなくなり、小型化しても組立て易い。また、外部から
加えられる機械的振動や衝撃により一体枠１６が移動し
にくいうえ、たとえ一体枠１６が変位させられ、保持枠
１５が支持点以外の箇所でケース１１に接触することが
あったとしても圧電素子１３自体はケース１１に接触せ
ず、したかって、機械的に拘束されないので、その振動
特性が変わるおそれがない。
保持枠１５に保持させ、この保持枠１５をケース１１に
支持させるので、その支持点を圧電素子１３のノード点
に正確に合わせずに済むという意味で組立精度を必要と
しなくなり、小型化しても組立て易い。また、外部から
加えられる機械的振動や衝撃により一体枠１６が移動し
にくいうえ、たとえ一体枠１６が変位させられ、保持枠
１５が支持点以外の箇所でケース１１に接触することが
あったとしても圧電素子１３自体はケース１１に接触せ
ず、したかって、機械的に拘束されないので、その振動
特性が変わるおそれがない。
第５図はこの圧電共振子の特性線図であり、前記圧電素
子１３の１辺の半分の長さしに対する結合子１４・・・
の長さＬｃの比率を横軸にとり、容量比γ（−Ｃ８／Ｃ
ｏ）を縦軸にとっである。この図がら明らかなように、
前記該結合子の長さＬｃの前記圧電素子１３の１辺の半
分の長さＬに対する比率が、振動子の１辺の半分の長さ
しに対して、Ｌｃ＝［１＋”（ｎ−１）］Ｌ（ただし、
ｎは自然数）となる１、８／３およびその近傍範囲で容
量比γ（＝ｃＤ、／Ｃｏ）が極小となり、共振周波数と
反共振周波数との偏差ΔＦが大きい良好な特性が得られ
上述のように、本発明に係る圧電振動子は、圧電素子の
振動基板を結合子を介して保持枠に支持させるので、圧
電素子をノード点１点で支持する従来品に比べて、外部
から加えられる機械的振動や衝撃によって圧電素子が変
位させられにくいうえ、たとえ変位させられても圧電素
子がケースに接触させられないので、圧電素子の振動特
性が変化するおそれがない。また、このように保持枠の
支持点のずれが振動特性に影響しないことから、支持点
を正確に７一ド点に合わせる必要があった従来品に比べ
て、組立精度を粗くでき、小型の圧電素子でもその振動
特性を狂わせることなくケース内に組み込むことがで静
る。さらに、前記結合子の長さを、前記圧電素子の容量
比が極小となる長さに設定するので、きわめて良好な特
性を得られる等の効果を奏する。
子１３の１辺の半分の長さしに対する結合子１４・・・
の長さＬｃの比率を横軸にとり、容量比γ（−Ｃ８／Ｃ
ｏ）を縦軸にとっである。この図がら明らかなように、
前記該結合子の長さＬｃの前記圧電素子１３の１辺の半
分の長さＬに対する比率が、振動子の１辺の半分の長さ
しに対して、Ｌｃ＝［１＋”（ｎ−１）］Ｌ（ただし、
ｎは自然数）となる１、８／３およびその近傍範囲で容
量比γ（＝ｃＤ、／Ｃｏ）が極小となり、共振周波数と
反共振周波数との偏差ΔＦが大きい良好な特性が得られ
上述のように、本発明に係る圧電振動子は、圧電素子の
振動基板を結合子を介して保持枠に支持させるので、圧
電素子をノード点１点で支持する従来品に比べて、外部
から加えられる機械的振動や衝撃によって圧電素子が変
位させられにくいうえ、たとえ変位させられても圧電素
子がケースに接触させられないので、圧電素子の振動特
性が変化するおそれがない。また、このように保持枠の
支持点のずれが振動特性に影響しないことから、支持点
を正確に７一ド点に合わせる必要があった従来品に比べ
て、組立精度を粗くでき、小型の圧電素子でもその振動
特性を狂わせることなくケース内に組み込むことがで静
る。さらに、前記結合子の長さを、前記圧電素子の容量
比が極小となる長さに設定するので、きわめて良好な特
性を得られる等の効果を奏する。
第１図は従来例の断面図、第２図ないし第４図は本発明
の一実施例を示し、第２図は縦断面図、第３図は分解斜
視図、第４図はその一体枠の平面図、第５図はその特性
線図である。 １１・・・ケース、１３・・・圧電素子、１３ａ・・・
振動基板、１３ｂ・・・圧電薄膜、１４・・・結合子、
１５・・・保持枠。 特許出願人 株式会社村田製作所 代理人弁理士岡１）和秀 第３図 ＺＵ 第５図 Ｌｃ／Ｌ
の一実施例を示し、第２図は縦断面図、第３図は分解斜
視図、第４図はその一体枠の平面図、第５図はその特性
線図である。 １１・・・ケース、１３・・・圧電素子、１３ａ・・・
振動基板、１３ｂ・・・圧電薄膜、１４・・・結合子、
１５・・・保持枠。 特許出願人 株式会社村田製作所 代理人弁理士岡１）和秀 第３図 ＺＵ 第５図 Ｌｃ／Ｌ
Claims (1)
- （１）ケースを備え、該ケース内に恒弾性金属でヂ１ら
れた振動基板と圧電薄膜と振動電極膜とを有する拡がり
振動モードの圧電素子を収納した圧電振動子において、
前記振動基板と一体成形された結合子を介して保持枠に
支持させ、前記結合子の長さを、前記圧電素子の容量比
が極小となる長さに設定してなる圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24882783A JPS60137113A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24882783A JPS60137113A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60137113A true JPS60137113A (ja) | 1985-07-20 |
| JPH0241206B2 JPH0241206B2 (ja) | 1990-09-17 |
Family
ID=17184008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24882783A Granted JPS60137113A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60137113A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5548179A (en) * | 1994-10-17 | 1996-08-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip-type piezoelectric resonance component |
| US5548180A (en) * | 1993-04-14 | 1996-08-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator resonator and resonance component utilizing width expansion mode |
| US5621263A (en) * | 1993-08-09 | 1997-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonance component |
| US5627425A (en) * | 1992-07-03 | 1997-05-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating unit |
| US5635882A (en) * | 1993-08-17 | 1997-06-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Laterally coupled piezo-resonator ladder-type filter with at least one bending mode piezo-resonator |
| US5644274A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked piezoelectric resonator ladder-type filter with at least one bending mode resonator |
| US5701048A (en) * | 1993-05-31 | 1997-12-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip-type piezoelectric resonance component |
| US5839178A (en) * | 1993-02-01 | 1998-11-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of making a energy-trapped type piezoelectric resonator |
-
1983
- 1983-12-26 JP JP24882783A patent/JPS60137113A/ja active Granted
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5627425A (en) * | 1992-07-03 | 1997-05-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating unit |
| US5839178A (en) * | 1993-02-01 | 1998-11-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of making a energy-trapped type piezoelectric resonator |
| US5548180A (en) * | 1993-04-14 | 1996-08-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator resonator and resonance component utilizing width expansion mode |
| US5701048A (en) * | 1993-05-31 | 1997-12-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip-type piezoelectric resonance component |
| US5621263A (en) * | 1993-08-09 | 1997-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonance component |
| US5635882A (en) * | 1993-08-17 | 1997-06-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Laterally coupled piezo-resonator ladder-type filter with at least one bending mode piezo-resonator |
| US5644274A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked piezoelectric resonator ladder-type filter with at least one bending mode resonator |
| US5648746A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked diezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| US5684436A (en) * | 1993-08-17 | 1997-11-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder-type filter with laterally coupled piezoelectric resonators |
| US5689220A (en) * | 1993-08-17 | 1997-11-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Laterally coupled piezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| US5696472A (en) * | 1993-08-17 | 1997-12-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked ladder-type filter utilizing at least one shear mode piezoelectric resonator |
| US5548179A (en) * | 1994-10-17 | 1996-08-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Chip-type piezoelectric resonance component |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0241206B2 (ja) | 1990-09-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |