JPS60117386A

JPS60117386A - 情報伝達カ−ド

Info

Publication number: JPS60117386A
Application number: JP58224911A
Authority: JP
Inventors: Nobushi Suzuki; 鈴木　悦四
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1983-11-29
Filing date: 1983-11-29
Publication date: 1985-06-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は、生産管理システムで使用される情報伝達カー
ドの改良に関する。

〔発明の技術的背景〕

近年、例えば半導体装置の生産ラインでは、多稀少量生
産を能率良く行なう必要から、複数種の半導体ウェーを
混在して収容した搬送？ツクスに、半導体ウェー・の品
種やウェー・処理の履歴等の生産情報を記入した管理シ
ートを付帯させてこのシートを見ることによシ生産を管
理することが行なわれている。ところが、このような管
理シートを用いる手法は、各工程毎にオペレータが視認
して生産情報を製造装置にセットしなければならないた
め、生産性の向上をはかシ難い欠点がある。

そこで従来、上記管理シートに代わってマイクロプロセ
ッサとメモリとを内蔵した情報伝達カードを付帯させる
ことが提唱されている。この情報伝達カードは、外部接
続端子としてのコンタクトピンを備え、各工程毎に設置
されたカードリーグから上記コンタクトピンを介して電
源の供給を受けて動作し、かつカードリーグからの指示
に従ってメモリに予め記憶しである生産情報をマイクロ
プロセッサによシ読出して上記コンタクトピンを介して
カードリーグに送出するように構成されたものである。

したがって、このような情報伝達カードを用いれば、生
産ラインの全自動、化が可能となシ、これによシ生産性
を大幅に高めることができる。

〔背景技術の問題点〕

ところが、このような従来のカードは、生産情報を固定
的に記憶したものであるため、例えば生産ライン中で品
種番号の変更や製造条件および工程の順序の変更等を行
なう必要が生じた場合にこれに対応することができない
。また、生産ライン中で生産履歴を確認したくても容易
に知ることができない。このため、完全自動化が困難々
例えば多種少量生産ラインでは適用することが難かしか
った。

〔発明の目的〕

本発明は、生産情報の書き換え等を可能として全自動ラ
インばかυでなく半自動ラインでも適用可能とし、適用
範囲が広く、如伺なる生産ラインでも生産性を大幅に向
上させ得る情報伝達カードを提供することを目的とする
。

〔発明の概要〕

本発明は、上記目的を達成するために、生産情報を記憶
する記憶回路と、表示回路と、生産情報の書込みおよび
読出しに係わる指示を発生するキー入力回路と、外部の
入出力装置との間の情報の入出力動作を行なう入出力回
路と、制御回路と、以上の各回路を駆動するための電源
回路とを設け、上記制御回路によシ、上記キー入力回路
からの指示および上記外部入出力装置からの指示に従っ
て記憶回路に対し生産情報の書込みおよび読出し各制御
を行なうとともに、生産情報を表示回路に表示せしめる
ようにしたものである。

〔発明の実施例〕

第１図は、本発明の一実施例における情報伝達カードの
外観を示すもので、平板状筐体１０表面に液晶表示器２
、キー入力回路の操作キー３、光通信ユニットの入出力
端子４をそれぞれ配設したものとなっている。なお５は
、上記操作キー３の操作許可を与える切換スイッチであ
る。

一方第２図は、同情報伝達カードの回路構成を示すもの
である。すなわち、このカードは、制御手順を示すプロ
グラムを記憶したリード・オンリー・メモリ（ＲＯＭ　
）　１１と、生産情報を記憶するランダム・アクセス・
メモリ（ＲＡＭ　）１２と、このＲＡＭ　１２に対する
生産情報の書込みおよび読出しに関する各種指示を入力
するキー入力回路１３と、上記生産情報を液晶表示器２
に表示するための表示駆動回路１４と、外部入出力装置
（図示せず）との間で生産情報の授受を行なう光通信ユ
ニット１５と、制御回路５− （ＣＰＵ　）　１６と、以上の各回路に電源出力を供給
するための電源回路１７とから構成されている。上記Ｃ
ＰＵ　１６は、マイクロプロセラサラ備えており、前記
ＲＯＭ　１１に記憶されているプログラムに従って各回
路を制御し、これによシ生産情報の変更や新規書込み、
読出し、表示等を制御するものである。

次に、以上のように構成されたカードの作用を説明する
。なお、ここでは同カードを半導体装置の生産ラインに
適用した場合を例にとって説明する。

生産開始前に、カードのＲＡＭ　Ｉ　２には、生産工程
の順序、半導体ウエノ・の品種、各品種毎の加工条件等
の生産情報が予め記憶される。そして、このカードは、
半導体ウエノ〜を収容した搬送がックス８に例えば第３
図に示す如く固定されて各工程間を搬送される。

さて、任意の工程に到着し、例えば産業用ロデット等に
よシカードを搬送デックス８から取り外して生産工程制
御装置に接続されている外６一部入出力装置にセットする。そうすると、カードのＣＰ
Ｕ　７６は、自己の制御モードが自動モード（全自動ラ
インにおいての通常動作モード）に設定されていること
を確認したのち、第４図（ａ’）に示す制御子１１＠に
従って制御動作を開始する。

すなわち、先ず外部入出力装置からの読出指示を待ち、
光通信ユニット１５を介して読出指示が到来するとＲＡ
Ｍ　１２に記憶されている生産情報を順次読出し、この
生産情報を光通信ユニット１５を介して外部入出力装置
へ送出する。なお、この読出しは、外部入出力装置によ
シ指定された読出領域をＣＰＵ　７　ｅから順次アドレ
スＡＤＨを発生してＲＡＭ　７２をアクセスすることに
よりなされる。上記生産情報を受け取った外部入出力装
置は、この生産情報を生産工程制御装置に転送する。生
産工程制御装置は、上記生産情報により品種やその型造
条件、製造履歴等を判別し、これらの情報に従って予め
定められている製造制御を行なう。そして、製造終了後
新たな製造履歴を外部入出力装置に送シ、この装置によ
多情報伝達カードへ転送させる。この情報の書込指示が
到来するとカードのＣＰＵ　１６は、第４図（、）に示
す如く到来した生産情報をＲＡＭ　１２の所定の領域に
書込み、初期状態に戻る。そうして、この工程での製造
が終了した半導体ウェハが口＆ツ）によシ再び搬送デッ
クス８内に収容されると、情報伝達カードはロゲットに
よシ外部入出力装置から取り外されて上記搬送がツクス
８に第３図のように再び装着され、半導体ウェーととも
に次の工程へ送られる。

一方、半自動のラインにおいて、情報伝達カードの生産
情報をオ硬レータが手動で生産工程制御装置に入力する
場合には、情報伝達カードのモードを手動モードに設定
する。このモード設定は操作キー３により行なう。そし
て、操作キー３を操作して該当する生産情報の表示を入
力する。そうすると、カードのＣＰＵ　１６は、第４図
（ｂ）に示す制御手順に従ってＲＡＭ　１２の指定され
た領域の生産情報を読出させ、この情報を表示駆動回路
１４に出力して液晶表示器２に表示せしめる。したがっ
て、オペレータは、この表示器２に表示された生産情報
を視認して、この情報を生産工程制御装置に設定し、こ
れによシ所定の製造処理を行々わせることかできる。

また、生産情報を変更したシ、あるいは新たに書込む場
合には、オペレータは操作キー３によりその変更する情
報あるいは新たな情報を入力する。そうするとＣＰＵ　
Ｊ　６は、第４図（ｂ）に示す制御手順に従って、先ず
書込指示を認識したのち入力された生産情報をＲＡＭ　
１２の指定領域に書込む。そして、上記生産情報を表示
駆動回路１４に出力して液晶表示器２に表示させ、しか
るのち初期状態に戻る。

このように、本実施例であれば、情報伝達カードに表示
器２、操作キー３等を設けて生産情報の表示およびオペ
レータの指示による情報の入出力が可能となったので、
オペレータが生産情報を生産工程制御装置に入力する必
要がある半自動ラインの場合や、生産途中で生産情報の
変更や新たな情報を書込む必要がある場合にも、９− 客月に対応することができる。また、本実施例であれば
、外部入出力装置との間の情報授受用に光通信ユニット
１５を設けたので、コンタクトピン等を用いる場合に比
べて情報を誤まりなく正確に授受することができ、動作
信頼性を高めることができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない。

例えば、外部入出力装置への生産情報の伝送を接続端子
を介して行なう以外に、表示器の表示内容を工業用テレ
ビジ、ン（ＩＴＹ　）カメラで読取ることにより外部入
出力装置側へ伝えるようにしてもよい。その他、ＣＰＵ
の制御手順や制御内容、表示器、キー人力手段および回
路構成等についても、本発明の要旨を逸脱しない範囲で
種々変形して実施できる。

〔発明の効果〕

以上詳述したように本発明によれば、表示回路、キー入
力回路、外部との情報授受用入出力回路、制御回路およ
び電源回路をそれぞれ設け、制御回路によシ、上記キー
入力回路からの指示１０− および上記外部からの指示に従って記憶回路に対し生産
情報の書込みおよび読出しの各制御を行なうとともに、
生産情報を表示回路に表示させるようにしたことによっ
て、生産情報の書き換え等を可能として全自動ラインば
かシでなく半自動ラインでも適用することができ、適用
範囲が広く如何なる生産ラインでも生産性を大幅に向上
させ得る情報伝達カードを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示すもので、第１図は情報伝達
カードの外観を示す平面図、第２図は同カードの回路ブ
ロック図、第３図はカードを搬送デックスに取着した状
態を示す斜視図、第４図（ａ）、　（ｂ）は制御手順を
示すフローチャートである。１・・・筐体、２・・・液晶表示器、３・・・操作キー
、４・・・光通信ユニットの入出力端子、５・・・切換
スイッチ、１１・・・ＲＯＭ１１２・・・ＲｋＭ、、１
ｇ・・・キー入力回路、１４・・・表示駆動回路、１５
・・・光通信ユニット、１６・・・ＣＰＵ、１７・・・
電源回路。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）製品に付帯して搬送され、生産ラインのの各工程に設置された入出力装置との間で情報〃授受を行
なって各工程に生産情報を与える情報伝達カードにおい
て、前記生産情報を記憶する記憶回路と、表示回路と、
生産情報の書込みおよび読出しに係わる指示を発するキ
ー入力回路と、前記入出力装置との間の情報の入出力動
作を行なう入出力回路と、この入出力回路を経て到来す
る前記入出力装置からの指示および前記キー入力回路の
指示に従って前記記憶回路に対し生産情報の書込みおよ
び読出し各制御を行なうとともに、生産情報を前記表示
回路に表示せしめる制御回路と、これらの各回路に電源
出力を供給する電源回路とを具備したことを特徴とする
情報伝達カード。
（２）入出力回路は、入出力装置との間の情報の授受を
光結合によシ行なうものである特許請求の範囲第（１）
項記載の情報伝達カード。