JPS5979110A - 数値制御工作機械又は測定装置の幾何学的精度を検査する方法及びその装置 - Google Patents
数値制御工作機械又は測定装置の幾何学的精度を検査する方法及びその装置Info
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- JPS5979110A JPS5979110A JP58172304A JP17230483A JPS5979110A JP S5979110 A JPS5979110 A JP S5979110A JP 58172304 A JP58172304 A JP 58172304A JP 17230483 A JP17230483 A JP 17230483A JP S5979110 A JPS5979110 A JP S5979110A
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
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- G—PHYSICS
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37207—Verify, probe, workpiece
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
- Drilling And Boring (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Numerical Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は工作機械の精度の決定のための試験方法及びこ
の方法の実施のための装置に関する。
の方法の実施のための装置に関する。
機械が最初に運転される前及び運転開始後一定の時間間
隔をおいて、工作機械が規格化され従って比較可能な測
定方法によって真の運転値及び幾何学的精度の検査が行
われる。
隔をおいて、工作機械が規格化され従って比較可能な測
定方法によって真の運転値及び幾何学的精度の検査が行
われる。
例えば幾何学的精度のだめに使用される受入れ及び管理
方法は測定及び検査仕様及び規格の形で存在する。これ
らの規格は義務づけられかつ画一的な測定及び検査手順
を得るために特に相異なる情報源からの測定結果の比較
可能性を得るために使用される。これに関連して、「切
削工作機械の受入れ条件」西独間工業規格DIN860
1;西独国技術−■D1.のガイドライン及び・・「・
・工作機械の加工精度及び位置決め精度の静的試験」の
基礎となる西独同品質協会DGQ、ガイドラインA65
441が参照される。
方法は測定及び検査仕様及び規格の形で存在する。これ
らの規格は義務づけられかつ画一的な測定及び検査手順
を得るために特に相異なる情報源からの測定結果の比較
可能性を得るために使用される。これに関連して、「切
削工作機械の受入れ条件」西独間工業規格DIN860
1;西独国技術−■D1.のガイドライン及び・・「・
・工作機械の加工精度及び位置決め精度の静的試験」の
基礎となる西独同品質協会DGQ、ガイドラインA65
441が参照される。
この技術分野の他の規格は米国航空宇宙規格NAS98
5r画一アラ・fンメント試験」及びNAS979「画
−切削試j険」及び特に前記技術分野に関するものがあ
る。
5r画一アラ・fンメント試験」及びNAS979「画
−切削試j険」及び特に前記技術分野に関するものがあ
る。
念のために世界的な第三の規格、即ちTS○/D工83
07010とに発行された国際規格り工S草案「水平ス
ピンドルを備えだ中ぐり及びフライス盤の検査条件−精
度検査条件」が参照される。
07010とに発行された国際規格り工S草案「水平ス
ピンドルを備えだ中ぐり及びフライス盤の検査条件−精
度検査条件」が参照される。
前記技術分野の先行技術に属するこれらの方法は工作機
械の実際状態を決定するだめの多数の相異なる仕様及び
規格を使用し、そして従来機械受入及び幾何学的精度の
検査のだめに次のようなものが使用された。
械の実際状態を決定するだめの多数の相異なる仕様及び
規格を使用し、そして従来機械受入及び幾何学的精度の
検査のだめに次のようなものが使用された。
レーザ干渉計、電子水準器、オートテリメタ等による個
々の機械成分の測定は、装置及び測定の観点から複雑か
つコス)!である上記測定手段は工作機械の全ての成分
誤差の結果として三次元的誤差分野の詳細を提供しない
、何故ならば従来全ての成分誤差を同時に測定すること
が不可能であることが実証されたからである。
々の機械成分の測定は、装置及び測定の観点から複雑か
つコス)!である上記測定手段は工作機械の全ての成分
誤差の結果として三次元的誤差分野の詳細を提供しない
、何故ならば従来全ての成分誤差を同時に測定すること
が不可能であることが実証されたからである。
検査さね九工作機械で加工物が加工され、この加工物た
る試j険片が測定機にかけられて測定される。この間接
的方法は試験片上の欠陥の原因との間の関係について明
らかなかつ正確な因果関係を提供しない。結論は明白で
ある。加工物と工作機械又は測定機という異なる組合せ
のため及び常には再生可能でない材料の状態のために機
械の測定結果に予測してない要因が入シ込んで来るから
である。
る試j険片が測定機にかけられて測定される。この間接
的方法は試験片上の欠陥の原因との間の関係について明
らかなかつ正確な因果関係を提供しない。結論は明白で
ある。加工物と工作機械又は測定機という異なる組合せ
のため及び常には再生可能でない材料の状態のために機
械の測定結果に予測してない要因が入シ込んで来るから
である。
工作機械での試験加工物の測定は工作機械に取付けられ
たままの加工物で行うべきである。
たままの加工物で行うべきである。
工具の位置には種々の寸法のプローブ又はセンサが設置
され、加工やプローブ等の偏位が測定される。工作機械
の座標上の計算は工作機械の幾何学的精度のばらつきを
量的に決定することを可能にする。このことは種々の材
料の前記の問題及び工具の状態を明らかにする。しかし
ながら追加的問題は工作機械の座標上のセンサ又はプロ
ーブの偏位の修正の問題である。このため一般的に工作
機械の座標は手動的に修正されなければならない。
され、加工やプローブ等の偏位が測定される。工作機械
の座標上の計算は工作機械の幾何学的精度のばらつきを
量的に決定することを可能にする。このことは種々の材
料の前記の問題及び工具の状態を明らかにする。しかし
ながら追加的問題は工作機械の座標上のセンサ又はプロ
ーブの偏位の修正の問題である。このため一般的に工作
機械の座標は手動的に修正されなければならない。
もしも工作機械が一つ又は複数の幾何学的誤差又は欠陥
を有すると、正確な円を描かない。
を有すると、正確な円を描かない。
幾何学的寸法からの(ゐいは円形からの種々の歪で表わ
される。円形試験は一つの平面内の機械精度の完全な情
報を与える。センサが工作機械の測定に使用される場合
、加エエ桿への影響又は効果は即ち材料と工具との間の
相関関係は打消される。しかし工作機械座標についての
前記(センサーの偏位)問題は尚残る。前記問題は一般
的にセンサ座標について最短時間内に手動的に補正され
ねばならない。
される。円形試験は一つの平面内の機械精度の完全な情
報を与える。センサが工作機械の測定に使用される場合
、加エエ桿への影響又は効果は即ち材料と工具との間の
相関関係は打消される。しかし工作機械座標についての
前記(センサーの偏位)問題は尚残る。前記問題は一般
的にセンサ座標について最短時間内に手動的に補正され
ねばならない。
本発明の実施例を図面に基いて詳しく説明する。
後に述べる方法に使用される第1図及び第2図に示され
た標準円筒30は外径DNを有する。
た標準円筒30は外径DNを有する。
標準円筒の少なくとも一端面上の基準平面51は工作機
械の運動と基準との平行な方向づけに使用される。第3
a図によれば前記標準に関して、補助円Hが特定され、
かつ工作機械運動平面における誤差の決定のための目標
経路として使用される。第2図によれば、補助円の中心
は即ち2Dセンサを使用する4つの感知操作1〜4によ
って決定される。座標系は測定されるべき工作機械の選
択された運動平面と一致している。補助円Hの直径け2
R01標準円の直径DIN=2RNであり、一方両円の
中心は同心である。
械の運動と基準との平行な方向づけに使用される。第3
a図によれば前記標準に関して、補助円Hが特定され、
かつ工作機械運動平面における誤差の決定のための目標
経路として使用される。第2図によれば、補助円の中心
は即ち2Dセンサを使用する4つの感知操作1〜4によ
って決定される。座標系は測定されるべき工作機械の選
択された運動平面と一致している。補助円Hの直径け2
R01標準円の直径DIN=2RNであり、一方両円の
中心は同心である。
補助口H上の点の座標はデータとしてコンピュータに入
力されるか、或は測定中対応したプログラムによって連
続的に発生される。
力されるか、或は測定中対応したプログラムによって連
続的に発生される。
第6a図と第3b図はこれらの関係を示し、これらの関
係は感知ボール11とセンサ偏位△Rの円を備えたXY
記録計20によって展開拡大され即ち、センサ偏位△R
のプロットは△R2゜であり、このプロットは当然全て
の機械的及び′成気的増巾又はゲイン・ファクタArT
OTを含み、これら(は共にグラフの尺度を決定する
。
係は感知ボール11とセンサ偏位△Rの円を備えたXY
記録計20によって展開拡大され即ち、センサ偏位△R
のプロットは△R2゜であり、このプロットは当然全て
の機械的及び′成気的増巾又はゲイン・ファクタArT
OTを含み、これら(は共にグラフの尺度を決定する
。
式は次の如くである。
△R20=△1RVTOT=△RVセyすVブo7り三
独立座標系でなければならず、かつこの方法の実施のた
めに修正されねばなら方い。
独立座標系でなければならず、かつこの方法の実施のた
めに修正されねばなら方い。
−工作機械の座標X。+ YOr zQ−2Dセンサの
感知方向の座標UIn +UIO−ブロッタの座標Ut
o +U20 工作機械上に・標準円筒が正しく整直されるけれども、
工作機械の一つの可能な運動平面と一致する基準平面5
1、即ち工作機械の一つの平面内の円運動と一致する基
準平面は標準によって提供されかつ感知機構によって標
準から取出されかつ電気的に変換される。
感知方向の座標UIn +UIO−ブロッタの座標Ut
o +U20 工作機械上に・標準円筒が正しく整直されるけれども、
工作機械の一つの可能な運動平面と一致する基準平面5
1、即ち工作機械の一つの平面内の円運動と一致する基
準平面は標準によって提供されかつ感知機構によって標
準から取出されかつ電気的に変換される。
外部から感知されるべき標準による検査方法が個々のス
テップについて説明され、かつ第3a図と第3b図に関
連して説明される。
テップについて説明され、かつ第3a図と第3b図に関
連して説明される。
補助円経路に相応した直径φ= 2Roの目標円経路は
試験ぎわ、るべき工作機械毎に特定されている。数値制
御装置Noに入力される曲率半径Ro及びRwz (工
具半径)は次の関係式から得られることができる。
試験ぎわ、るべき工作機械毎に特定されている。数値制
御装置Noに入力される曲率半径Ro及びRwz (工
具半径)は次の関係式から得られることができる。
Ro==RN−1−RT−8八;R,N□=0..1.
(1a)ここでRNは標準円筒の曲率半径、 RTは感知ボールの曲率半径、そして SAは感知ボールの目標偏位である。
(1a)ここでRNは標準円筒の曲率半径、 RTは感知ボールの曲率半径、そして SAは感知ボールの目標偏位である。
次式は内径上で感知されるべき標準円筒に関して適用さ
り、る。
り、る。
Ro=Rn−RT+SA; RW□=O−、−1,(
Ib)Ro=RNの場合 Rwzは RW□−RT−8A 、・・・・(2)によって決定
されうる。
Ib)Ro=RNの場合 Rwzは RW□−RT−8A 、・・・・(2)によって決定
されうる。
目標偏位は殆んどセンサ測定範囲の1/2、かつ目標内
からの予期される偏位の2倍である。
からの予期される偏位の2倍である。
これらのことは補助口の決定のだめに推奨される。
工作機械上の標準は工作機械の目標運動平面に平行な基
準平面を有し、その結果予期される偏位は目標運動平面
内にある。
準平面を有し、その結果予期される偏位は目標運動平面
内にある。
センサ即ち2pセンサは機材の工具の位置に取付けらえ
している。センサの出力信号ばX−Yプロッタ(記録計
)に導かれる。
している。センサの出力信号ばX−Yプロッタ(記録計
)に導かれる。
センサによる標準円筒周囲の相双なる点での数回の感知
によって、標準の円形横断面の中心を決定するための値
が得られる。こうして決定さり、だ中心は目標内の中心
として使用される。
によって、標準の円形横断面の中心を決定するための値
が得られる。こうして決定さり、だ中心は目標内の中心
として使用される。
予め目標とさノまた円経路は工作機械によって追従され
、センサは標準との接触を中断さtない。
、センサは標準との接触を中断さtない。
欠陥のない機械は円経路に?会って正しく運動し、従っ
て目標内のどの点(Cおいても正しく合致し、センサは
目標偏位SAと、半径方間に一定の方法で偏位される。
て目標内のどの点(Cおいても正しく合致し、センサは
目標偏位SAと、半径方間に一定の方法で偏位される。
このように、第6b図に示されたような座標記鏡計はセ
ンサ偏位R又はそのプロンi−R2[]の円を描く。実
際偏位と最終プロットとの間の対応ゲインファクタば1
固々のゲインの掛nによって得られることができる。
ンサ偏位R又はそのプロンi−R2[]の円を描く。実
際偏位と最終プロットとの間の対応ゲインファクタば1
固々のゲインの掛nによって得られることができる。
△プロット=△WZM vToT5へWZ)vini
=I Vi。
=I Vi。
この式で△WZM = El八へ誤差
一般にn=2〜6、即ちセンサのゲイン、ブロック及び
何か中間接続された増「1コ器によって定まる数である
。
何か中間接続された増「1コ器によって定まる数である
。
欠陥のある機械は円経路及びセンサの半径偏位を正しく
はカバーせず、このセンサけ2Dセンサであって、本発
明の実施例では目標偏位と全ての点で一致しない。第4
図に示すように、記録用スペースRBからのへだたりが
ある。目標内は補助口Hに対応せず、一方記禄基準は半
径SAゲインの円であり、標準の曲率半径と関連しない
。円の追従に従って、結果はコンピュータ又は何らかの
特別の評価装置の使用なしに、及び工作機械と何らかの
関連なしに報告として1σちに記録される。記録ベース
(円)は必要ならば同一報告に記録されることができる
。
はカバーせず、このセンサけ2Dセンサであって、本発
明の実施例では目標偏位と全ての点で一致しない。第4
図に示すように、記録用スペースRBからのへだたりが
ある。目標内は補助口Hに対応せず、一方記禄基準は半
径SAゲインの円であり、標準の曲率半径と関連しない
。円の追従に従って、結果はコンピュータ又は何らかの
特別の評価装置の使用なしに、及び工作機械と何らかの
関連なしに報告として1σちに記録される。記録ベース
(円)は必要ならば同一報告に記録されることができる
。
第4図は工作(幾械の位置決め精度が測定の反復として
種々示されるという結果に対する評価の意味で表示され
ることができる。幾何学的誤差は円からの形状誤差とし
て現われ、かつ測定中に発生する振動は記録曲線の歪曲
によって示されている。
種々示されるという結果に対する評価の意味で表示され
ることができる。幾何学的誤差は円からの形状誤差とし
て現われ、かつ測定中に発生する振動は記録曲線の歪曲
によって示されている。
第5図は曲線であって点毎のベース上の工作機械の制御
によって決定された。標準は上記の同形方法ステップと
は異なる点状方法で感知される。例えばNo又はNON
プログラムは検査されるべき機械で発生され、工作機械
は適当な方法において測定点まで動かすことができる。
によって決定された。標準は上記の同形方法ステップと
は異なる点状方法で感知される。例えばNo又はNON
プログラムは検査されるべき機械で発生され、工作機械
は適当な方法において測定点まで動かすことができる。
これはNo又はNONプログラムにおいて個々の点まで
動かすことによって行われ、そして使用されるセンサは
対応した点で標準円筒と接触している。
動かすことによって行われ、そして使用されるセンサは
対応した点で標準円筒と接触している。
グラフの点状、配@はプロッタスクイラスを下げること
によって行われる。一般的に座標プロッタはスタイラス
制御系に対して入力を有さない。紙へのスタイラスの下
降及び紙からの上昇は各測定点で自動的に行われる。N
c制御系によって適当なボートが記録計のスタイラス制
御系に接続されておシ、その結果点プロットが自動的に
行われる。
によって行われる。一般的に座標プロッタはスタイラス
制御系に対して入力を有さない。紙へのスタイラスの下
降及び紙からの上昇は各測定点で自動的に行われる。N
c制御系によって適当なボートが記録計のスタイラス制
御系に接続されておシ、その結果点プロットが自動的に
行われる。
第5図は第4図より幾分広い、中心円はゼロを示し、二
つの円は±10μmの尺度を示す。内部分1〜3は特別
に説明されねばならない面積を表わす。三つの相異なる
試験測定が挿入された形で示されている。第5図は本発
明による方法を使用する機械試験と関連した測定報告の
だめの模範的提案を示す。
つの円は±10μmの尺度を示す。内部分1〜3は特別
に説明されねばならない面積を表わす。三つの相異なる
試験測定が挿入された形で示されている。第5図は本発
明による方法を使用する機械試験と関連した測定報告の
だめの模範的提案を示す。
測定中、部分1,2を探しかつ部分6を通過する長い位
置が存在する。
置が存在する。
記録「IJlはじめに機械が50〜100μmの距離に
よって加工物の方向に動かされることを検出可能である
。形状誤差は実際の川内状の曲線によってより明確にさ
れる。
よって加工物の方向に動かされることを検出可能である
。形状誤差は実際の川内状の曲線によってより明確にさ
れる。
第6図は本発明による方法を実施するだめの装置のブロ
ックダイヤグラムを示す。機械的に測定された値Mは座
標に依存した電気信号へXとA7への、感知ボール11
を備えたセンサ111において変換される。偏位信号A
x 、 Ayは内方回路Sに送られ、偏位デスプレー4
0及び記録計20に送られる。記録計はセンサが作動状
態にない時に偏位を記録しないという方法で設定されて
いる、即ちスタイラスは4−矩形座標系のはじめに位j
皆する。座標系と共に記録ペースは記録計のためにつく
られた試験報告上にプリントさtすることかできる。は
じめはXY記録計に設定されつつ円形が測定される。
ックダイヤグラムを示す。機械的に測定された値Mは座
標に依存した電気信号へXとA7への、感知ボール11
を備えたセンサ111において変換される。偏位信号A
x 、 Ayは内方回路Sに送られ、偏位デスプレー4
0及び記録計20に送られる。記録計はセンサが作動状
態にない時に偏位を記録しないという方法で設定されて
いる、即ちスタイラスは4−矩形座標系のはじめに位j
皆する。座標系と共に記録ペースは記録計のためにつく
られた試験報告上にプリントさtすることかできる。は
じめはXY記録計に設定されつつ円形が測定される。
第1図は本発明による測定方法に使用されうる標準円筒
の断面図。 第2図は円の中心の決定のだめの4点感知作用における
同一標準円筒の平面図、 第3a図及び第6b図は本発明による測定装置、第4図
は経路制御された工作機械に関して本発明の方法を使用
した測定結果の例、 第5図は、点状に制御される工作機械の測定結果の例、
そして 第6図は装置のブロックダイヤグラムである。 FIG、 I FIG、 2 FIG、 3b
の断面図。 第2図は円の中心の決定のだめの4点感知作用における
同一標準円筒の平面図、 第3a図及び第6b図は本発明による測定装置、第4図
は経路制御された工作機械に関して本発明の方法を使用
した測定結果の例、 第5図は、点状に制御される工作機械の測定結果の例、
そして 第6図は装置のブロックダイヤグラムである。 FIG、 I FIG、 2 FIG、 3b
Claims (11)
- (1) 標準と走査器の使用の下に、数値制御工作機
械及び数値制御測定機械の幾何学的精度を検査するため
の測定方法にして、その際標準の幾何学的大きさが機械
制御部において特定された経路と比較さり、るものにお
いて、機械の経路の特定された運動平面に配設された標
準は少なくとも二つの方向に走査され、そして得られた
、幾何学情報又は極情報を含む測定値は機械制御部から
の幾何学的目標値と1七泌さhることを特徴とする測定
方法。 - (2)機械制御部における同経路の特定、機械の特定の
同経路に対応する運動平面における標準用の配置、 機械制御部によって特定された運動平面における少なく
とも二方向における機械制御部に発生した電気的走査信
号を、制御信号を発生するため同一の幾何学的経路値の
電気的目標値信号と比較することを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の測定方法。 - (3)機械制御部における同経路の特定、特定された同
経路に対応する機械の運動平面における標準用の配置、
機械制御部によって特定された運動平面における少なく
とも二方向に機械制御部によって標準内f市査すること
、レジスタベースにおける幾何学的経路値の直接的比較
のための、円形レジスタベースを介して座標記録計によ
って■気的走査tM号に対応した図表を描くことを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の測定方法。 - (4) 標準円筒の円横断面中心に相当する、電流の
ないレベルを備えた補助臼を表わす電気的信号レベルの
特定、 機械の幾何学的値と関連した電気信号の発生のための、
機械の運動平面に向けらヵだ標準円筒の機械的走査、 機械の幾何学的値を形成する新たな信号レベルの取得の
ため、検出装竜の機械的値に和尚する信号レベルと走査
によって発生した電気信号の結合とを特徴とする特許請
求の範囲第2項記載の測定方法、 - (5)円形レジスタベースが同心の参照円(RB)と測
定反日(±μm)を有する、特許請求の範囲第3項記載
の測定方法。 - (6)標準円が標準内円筒及び又は標準外円筒又は標準
段付円筒又は標準円又は標準円錐である、特許請求の範
囲第2項から第4項までのうちの測定方法。 - (7)円形グラフレジスタベース(RB )と、これに
関連した機械の幾何学的値の測定曲線とを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の測定方法。 - (8) レジスタベース(RB)K対して同心に配役
さハた測定反日(±μm)を特徴とする特許請求の範囲
第7項記載の測定方法。 - (9)機械の運動平面に同けられた標準(100)の組
合せ、運動平面内に位置する方向において標準を走査す
る装置(jll)及び装置によって与えられる走査信号
の評価機器とを特徴とする標準と走査器の使用下に、数
値制御工作機械及び数値制御測定機械の幾何学的精度を
検査するための測定方法にして、その際標準の幾何学的
太き富が機械制御部において特定された経路と比較され
るものであって機械の経路の特定された運動平面に配設
された標準は少なくとも二つの方向に走査され、そして
得られた、幾何学情報又は他情報を含む測定@は機械制
御部からの幾何学的目標値と比較される測定方法を実施
するための装置。 - (10)標準(100)が標準内円筒及び又は標準外円
筒の標準円、標準段付円筒、標準球又は標準円錐である
、特許請求の範囲第9項記載の測定装置。 - (11)走査装置(111)が二次元(2D)の検出器
である特許請求の範囲第9項又は第10項記載の装置准
。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH553882 | 1982-09-20 | ||
CH5538/82-1 | 1982-09-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5979110A true JPS5979110A (ja) | 1984-05-08 |
JPH0322922B2 JPH0322922B2 (ja) | 1991-03-27 |
Family
ID=4295278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58172304A Granted JPS5979110A (ja) | 1982-09-20 | 1983-09-20 | 数値制御工作機械又は測定装置の幾何学的精度を検査する方法及びその装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4662074A (ja) |
EP (1) | EP0106181B1 (ja) |
JP (1) | JPS5979110A (ja) |
AT (1) | ATE45422T1 (ja) |
DE (1) | DE3380363D1 (ja) |
IL (1) | IL69732A0 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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