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JPS5945123B2 - 線状照明法 - Google Patents

線状照明法

Info

Publication number
JPS5945123B2
JPS5945123B2 JP52081751A JP8175177A JPS5945123B2 JP S5945123 B2 JPS5945123 B2 JP S5945123B2 JP 52081751 A JP52081751 A JP 52081751A JP 8175177 A JP8175177 A JP 8175177A JP S5945123 B2 JPS5945123 B2 JP S5945123B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
linear illumination
laser
laser beam
cylindrical lens
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP52081751A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5417744A (en
Inventor
正根 鈴木
賢司 安田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujinon Corp
Original Assignee
Fuji Photo Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Optical Co Ltd filed Critical Fuji Photo Optical Co Ltd
Priority to JP52081751A priority Critical patent/JPS5945123B2/ja
Priority to US05/921,974 priority patent/US4192578A/en
Publication of JPS5417744A publication Critical patent/JPS5417744A/ja
Publication of JPS5945123B2 publication Critical patent/JPS5945123B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレーザー光による線状照明法に関し、さらに詳
細にはシリンドリカルレンズで広げられたレーザー光を
その中心で２分割し、これを物体上で重ね合わせること
によつて強度の均一な線状照明を行なうようにした照明
法に関するものである。
ウェブの厚みムラ等を検査するために、走行中のウェブ
の幅方向に線状の照明光を照射することが行なわれてい
る。
ウェブが幅方向に平坦であれば、ウェブからの反射光を
スクリーン上に結ばせた像は直線となる。一方平坦でな
い場合は、その表面形状に応じた像が結ばれるから、こ
の像の形状からウェブの表面形状を知ることができる。
この照明光としてレーザー光を用いて線状照明を行なう
方法が知られている。従来のレーザー光を用いた線状照
明法は、レーザー光源から放出されたレーザー光をコリ
メーターレンズで平行光とし、この平行光をシリンドリ
カルレンズで広げて物体を照明している。ところでレー
ザー光は、その強度が断面において第１図に示すような
ガウス分布をしている。
これをシリンドリカルレンズで幅方向に広げると、第２
図に示すような裾の広がつた山形状の強度分布となる。
したがつて物体上に照射された線状照明光は、その中央
部の強度が最も高く、その両端が最も低くなつている。
このようにレーザー光をシリンドリカルレンズで広げて
線状照明を行なうものにあつては、均一な線状照明を行
なうことができないという欠点がある。本発明は上記欠
点に鑑み、レーザー光の強度が均一となるようにした線
状照明法を提供することを目的とするものである。
本発明の線状照明法は、シリンドリカルレンズによつて
広げられたレーザー光が、山形の強度分布をもつている
ことに着目し、これをその中心で２分割して重ね合わせ
たことを特徴とするものである。
これにより、分割された一方のレーザー光は、強度が最
も低い部分が、他方のレーザー光の最も高い部分に重ね
られる。また他の部分でも一方のレーザー光に他方のレ
ーザー光が重畳されて強度補正されるから、全体に亘つ
て強度が均一となる。以下図面を参照して本発明を請細
に説明する。
第３Ａ図ないし第３Ｄ図は本発明の方法による照明光の
形成方法の原理を示すものである。シリンドリカルレン
ズで広げられたレーザー光１は、線状照明された物体上
において第３Ａ図のような強度分布になつている。そこ
でシリンドリカルレンズと物体との間でレーザー光１を
２分割する。すなわち強度分布の対称軸である分割線２
でレーザー光１を分割してレーザー光１ａ，１ｂとする
。次に第３Ｂ図のように分割されたレーザー光１ａ，１
ｂをミラー等によつて反転させる。そして第３Ｃ図のよ
うに反転されたレーザー光１ａ，１ｂを重ね合わせれ（
Ｆ．第３Ｄ図のように強度が均一なレーザー光３となる
。このレーザー光３で物体を線状に照明すれば、均一な
線状照明が行なえる。なお厳密には、中央部の強度が僅
か小さくなつた強度分布になつている。前記分割された
レーザー光１ａ，１ｂ（丸反転後に重ね合わせているが
、これは、分割されたレーザー光１ａ，１ｂをミラーで
重ね゛合わせているからである。
したがつてミラーを使用しないでも重ね合わせが行なえ
るならば、レーザー光１ａ，１ｂを相対的にずらして第
３Ｄ図のようにしてもよい。またレーザー光１ａ，１ｂ
は全体を重ねなくとも、その一部だけを重ね、この重ね
た部分を取り出して線状照明を行なうこともできる。こ
のときは、この重ねた部分が均一な線状照明光になつて
いる。第４図は本発明に用いられる光学系を示すもので
ある。レーザー光源１０から放出されたレーザー光は、
レンズ１１で光束が円形に広げられる。この光束が広げ
られたレーザー光は、コリメーターレンズ１２で平行光
に変換され、シリンドリカルレンズ１３に入射する。こ
のシリンドリカルレンズ１３によつてレーザー光は、楕
円状に一方向に広げられる。シリンドリカルレンズ１３
の前方に、該レンズ１３の軸１３ａと平行でしかも光軸
を通る位置に断面の頂点すなわち稜１４ａがくるように
、プリズムミラー１４が配されている。
このプリズムミラー１４は、その２つの斜面が反射面１
４ｂ，１４ｃに形成されている。したがつてこのプリズ
ムミラー１４の反射面１４ｂ，１４ｃによつて、第３Ｂ
図に示すようにレーザー光が２分される。反射面１４ｂ
，１４ｃで反射されて２分されたレーザー光は、ミラー
１５，１６に人射し、後方に反射される。これらのミラ
ー１５，１６によつて反射されたレーザー光は、物体１
７土で重ね合わされる。この物体１７はシリンドリカル
レンズ１３から離れた位置にあるため、物体１７上のレ
ーザー光はシリンドリカルレンズによつて光束の形状が
円形から楕円状に広げられたものが、さらに潰されて線
状となつている。ミラー１５，１６で重ね合わされたレ
ーザー光は、前述のようにその強度が均一となつている
から、物体１７は全体に亘つて均一に照明される。この
光学系ではミラー１５，１６で後方に反射して重ね合わ
せるようになつているが、これは前方に反射する構成で
あつてもよい。
以上説明したように、本発明はレーザー光を強度が対称
となる分割線で２分し、これを重ね合わせて物体を照明
するものであるから、均一な線状照明を行なうことがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第１図はレーザー光の強度分布を示す特性図、第２図は
シリンドリカルレンズで広げられたレーザー光の強度分
布を示す特性図、第３図は本発明による照明光の形成方
法を示す図、第４図は本発明に用いる光学系を示す斜視
図である。 １・・・・・・レーザー光、１ａ，１ｂ・・・・・・分
割されたレーザー光、２・・・・・・分割線、３・・・
・・・合成されたレーザー光、１０・・・・・・レーザ
ー光源、１３・・・・・・シリンドリカルレンズ、１４
・・・・・・プリズムミラー１５，１６・・・・・・ミ
ラー １７・・・・・・物体。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ レーザー光源から放出されたレーザー光を、シリン
    ドリカルレンズによつて該レンズの軸に直角な方向に広
    げ、この広げられたレーザー光をその光軸を通り前記シ
    リンドリカルレンズの軸とほぼ平行な分割線によつて２
    分し、この２分されたそれぞれのレーザー光を物体上に
    重ね合わせて強度の均一な線状照明を行なうようにした
    ことを特徴とする線状照明方法。
JP52081751A 1977-07-08 1977-07-08 線状照明法 Expired JPS5945123B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP52081751A JPS5945123B2 (ja) 1977-07-08 1977-07-08 線状照明法
US05/921,974 US4192578A (en) 1977-07-08 1978-07-05 Method of projecting a line image of uniform brightness

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP52081751A JPS5945123B2 (ja) 1977-07-08 1977-07-08 線状照明法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5417744A JPS5417744A (en) 1979-02-09
JPS5945123B2 true JPS5945123B2 (ja) 1984-11-05

Family

ID=13755132

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP52081751A Expired JPS5945123B2 (ja) 1977-07-08 1977-07-08 線状照明法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4192578A (ja)
JP (1) JPS5945123B2 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
JPS5417744A (en) 1979-02-09
US4192578A (en) 1980-03-11

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