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JPS59177929A - サツクバツクポンプ - Google Patents

サツクバツクポンプ

Info

Publication number
JPS59177929A
JPS59177929A JP58050506A JP5050683A JPS59177929A JP S59177929 A JPS59177929 A JP S59177929A JP 58050506 A JP58050506 A JP 58050506A JP 5050683 A JP5050683 A JP 5050683A JP S59177929 A JPS59177929 A JP S59177929A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
chamber
pump
pipe
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP58050506A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0220135B2 (ja
Inventor
Terukuni Tano
田野　輝邦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TOKYO SHIIRING KK
Canon Inc
Canon Marketing Japan Inc
Original Assignee
TOKYO SHIIRING KK
Canon Inc
Canon Hanbai KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TOKYO SHIIRING KK, Canon Inc, Canon Hanbai KK filed Critical TOKYO SHIIRING KK
Priority to JP58050506A priority Critical patent/JPS59177929A/ja
Priority to US06/593,704 priority patent/US4597719A/en
Publication of JPS59177929A publication Critical patent/JPS59177929A/ja
Publication of JPH0220135B2 publication Critical patent/JPH0220135B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Details Of Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、液体を定量排出させた後、余分の液体がパイ
プ等の先端から滴下するのを防止するために用いられる
サックバックポンプに関するものである。
各種液体を定量だけ排出させるということは種々の分野
で要求される機能であるが、この場合特に解決しなけれ
ばならないことの一つに定量排出後の余剰滴下の防止と
いうことがある。例えばＩＣ製造技術においては、シリ
コンウェハー表面に微細パターンを形成するにあたり、
フォトエツチング技術が利用されているが、このために
はウェハー表面にフォトレジストを均一な厚さに塗布す
る必要がある。この塗布には、ウェハーにフォトレジス
トを所定量滴下し、ウェハーの回転による遠心力を利用
してフォトレジストを均一に広げる方法が用いられてい
る。このような回転塗布法では、所定量のフォトレジス
トをウェハーに滴下させた後に、余剰分のフォトレジス
トが滴下した場合には膜厚のムラが発生し、後の処理中
で不要なトラブルが発生することになる。
前述したフォトレジストの余剰滴下を防ぐためには、定
量送り出し後にその送シ出し系路内で若干の吸引力を生
じさせ、送り出しノズルからフォトレジストを引き込む
方法が用いられている。このような方法を実施するにあ
たり、従来では、例エバテフロンチューブなどのような
弾性をもつチューブに、その径方向から圧力を加えて若
干押しつぶした状態で定量のフォトレジストを送り出し
、その後チューブに加えていた圧力を解いてチューブが
弾性で後締する際に生ずる吸引力を利用したり、捷た送
シ出し径路内にベローズポンプを設け、定量送シ出し後
にベローズポンプを作動して、ベローズ内に液体を吸い
戻したりしている。しかしながら、上述の従来技術では
いずれにしても、装置の劣化が著しい。すなわち、弾性
チューブを繰シ返し変形させていると、その変形部位の
劣化が避けられず、またベローズポンプを利用する場合
もベローズの折り曲は部の変形量が大きいために、その
劣化が避けられず、たとえステンレス製ベローズを用い
ても耐久性が充分なものとは言えない。
本発明は上記欠点に鑑み、液体の定量送り出し後の余剰
液体の滴下を確実に防止し、しかも耐久性に富むサック
バックポンプを提供することを目的とするものである。
このために本発明では、液体の流入口と流出口との間に
、交互に作動される２つの弁、すなわち液体の流路を迩
ぎる閉止弁と、流出口側の液体を吸い込むだめの吸引弁
とが設けられている。また、望ましい態様によれば、前
述の閉止弁に定量送シ出し作用をももたせている。
以下、添付した図面に従って本発明の一実施例につき詳
述する。
第１図は本発明を用いたフォトレジストの塗布装置の概
略を示すものである。タンク１はその内部にフォトレジ
ストが貯留されており、パイプ２を介してサックバック
ポンプ８に接続されている。
このパイプ２の途中に定量送り出しポンプ４が設けられ
ており、一定量のフォトレジストを間欠的にサックバッ
クポンプ８に送る。このサックバックポンプ８は、流入
口にパイプ２が接続されており、流入口から入ったフォ
トレジストがその内部を素通りして流出口に達する。こ
の流出口にはパイプ５が接続されており、その先端から
一定量のフォトレジストがウェハー６上に滴下される。
このウェハー６は、モータ７で回転されるテーブル８上
に装着されており、滴下されたフォトレジストが遠心力
によって均一の厚みに広げられる。
前記サックバックポンプ８は、ウェハー６上に一定量の
フォトレジストを滴下した後、パイプ５の先端からフォ
トレジストが余分にウェハー６上に滴下しないようにす
るために、パイプ５内に残っているフォトレジストの一
部を吸い戻す。これにより、パイプ５の先端から膨出し
ていたフォトレジストの液面は、パイプ５内へ入シ込む
ため、フォトレジストの滴下が防止される。
前記サックバックポンプ８は、第２図に詳細に示すよう
に、加圧空気で作動されるようになっており、このため
に加圧空気を作るエアーポンプ９と、加圧空気をサック
バックポンプ３へ送るためのパイプ１０と、パイプ１０
の途中に設けられた切換弁１１とが設けられている。こ
の切換弁１１は、定量送り出しポンプ４に連動して作動
し、エアーポンプ９からの加圧空気をザックバックポン
プ３に送ったり、サックバックポンプ３内の加圧空気を
外部へ逃がしたりする。
第２図は本発明のサックバックポンプを示すものである
。サックバックポンプ３は、パイプ２が接続される流入
口１２と、パイプ５が接続される流出口１８と、パイプ
１０が接続されるエアー人口１４とを備えている。流入
口１２からサックバックポンプ８内に送られたフォトレ
ジストは、ボール１５とスプリング１６とからなる逆止
弁を経て第１室１７に入る。この第１室１７は、連通路
１８を介して第２室１９に連通しており、第２室１９に
入ったフォトレジストは流出口１３から排出される。
前記第１室１７内には周縁の可撓部に穴を有し、下降し
た時に連通路１８を閉鎖する閉止弁２０が収納されてい
る。捷だ第２室１９内には、周端縁がその室内壁に水密
に止着され、かつ室内を仕切るとともに、仕切られた区
画内の容積を増減するように移動する吸引弁２１が設け
られている。これらの弁２０．２１には例えば５ＬＩＳ
ステンレス、ゴムなどが利用できる。また閉止弁２０．
吸引弁２１はそれぞれ加圧空気で作動されるピストン２
２゜２３に連結されている。これらのピストン２２゜２
３はそれぞれバネ２４．２５により、図示の初期状態に
向かってゆ帰習性が与えられている。
２６．２７はそれぞれのピストン２２．２８を受容する
シリンダであり、第１図に示すエアーポンプ９から加圧
空気が供給される。ピストンの作動及びその復帰に寄与
するエアー流通路は図示のとおりで、流路８１，８２は
シリンダ２６．２７を連通させており、流路３１にはニ
ードル弁３４が、また流路３２にはボール弁８５がそれ
ぞれ設けられている。このニードル弁８４ばつ才み３６
をまわすことによって流路３１に沿って移動する。
なお、閉止弁２０．吸引弁２１、ピストン２２゜２８の
移動を容易にするために、シリンダ２６゜２７及び第２
室１９にエアー抜き用の流路が設けられている。捷たピ
ストン２２．２８の工程路に面する適宜個所にはＯＩＪ
ング８８が設けられている。
以上の構成になるサックバックポンプの作動は以下に従
ってなされる。まず第２図の初期状態ではそれぞれのピ
ストン２２．２８は図示実線位置にあり、パイプ２．５
と第１室１７及び第２室１９内はフォトレジストによシ
満たされているものとする。定量送シ出しポンプ４によ
り一定量のフォトレジストが送り出された直後に、エア
ーポンプ９から加圧空気がシリンダ２６内に送り込まれ
る。
この加圧空気によりピストン２２がバネ２４に抗して押
し下けられ、よって閉止弁２０は図中破線位置へと移動
してゆき、連通路１８を閉鎖する。
この閉止弁２０の可撓部には穴が形成されているので、
閉止弁２０が下降する時には、フォトレジストが閉止弁
２０の背後へ逃げるために、フォトレジストが加圧され
てサックバックポンプ８から押し出されることはない。
前記ピストン２２が下降してゆくと、エアー流路８１が
開かれ、加圧空気がシリンダ２７内へ送り込捷れる。こ
の際、エアー流路８１にはニードル弁３４が設けられて
いるから、ピストン２３が適当に調整された速さで序々
に作動されてゆく。
そしてピストン２８と吸引弁２１は図中破線位置へと下
降してゆくことになる。これにより第２室１９の容積が
増加することになシ、パイプ５内にあるフォトレジスト
は第２室１９へ向かって吸引されることに彦り、定量送
り出し後の余剰フォトレジストの滴下が未然に防止でき
る。なおこの工程中においてはシリンダ２６側の作用力
の方がシリンダ２７側の作用力よりも若干高いので、ボ
ール弁３５が作用してエアー流路８２を閉じる。
前記定量送り出しポンプ４が再び作動する直前に、切換
弁１１が作動してパイプ１０をエアーポンプ９から切シ
離して外気へ開放する。これによりシリンダ２６内の加
圧空気は外部へ放出され、上部ピストン２２がバネ２４
の畜勢力によって直ちに上昇して初期位置へ戻る。一方
、上部シリンダ２６内の圧力低下により、下部シリンダ
２７内の加圧空気が通路８２内を通り、ボール弁８５を
持ち上げて上部シリンダ２６内へ入ることができる。し
たがって、下部ピストン２３も上部ピストン２２と一緒
に上昇して直ちに初期位置へ戻ることができる。この上
部ピストン２２の上昇によって閉止弁２０が開かれ、ま
た下部ピストン２３の上昇によって吸引弁２１が初期位
置へ戻る。
前記実施例では、閉止弁２ｏの可撓性部分に穴を設けで
あるが、この穴をなくして吸引弁２１と同じ構成にすれ
ば、閉止弁２ｏの下降時にフォトレジストを流出口１８
がら押し出すことができる。
この場合には、閉止弁２ｏが定量送り出しポンプとして
も機能するから、第１図に示す定量送シ出しポンプ４を
省略することができる。
上記構成を有する本発明は、変形が少ないダイヤフラム
式の弁を用いたから、ベローズ等を用いた従来の装置に
比較して、耐久性、作動の確実性が格段に向上する。し
かも上述のよう彦弁の採用により、その作動を加圧空気
あるいは油圧などで駆動されるピストンにより行なうこ
とが容易となるため、駆動制御の自動化が行ない易くな
り、多数回の繰り返し作業が必要とされる場合などでは
特に有効となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明装置を用いたフォトレジストの塗布装置
を示す概略図、第２図は本発明の実施例を示す断面図で
ある。 １・・・タンク ３・＠−サックバックポンプ ４・・・定量送シ出しポンプ ６・・・ウェハー　　　７・参・モータ８・・・テーブ
ル　　　９・・・エアーポンプ１１・・・切換弁　　　
１７・・・第１室１８・・・連通路　　　１９・・・第
２室２０・・・閉止弁　　　２１・・・吸引弁２２・・
　ｅピストン　　　２３・　・・ピストン８４・・・ニ
ードル弁。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）流入口と流出口とを有し、この流出口に接続され
    たパイプ内に存在する液体を吸い戻してパイプの先端か
    らの液体の滴下及び硬化を防止するサックバックポンプ
    において、 前記流入口に接続された第１室と、前記流出口に接続さ
    れた第２室と、前記第１室と第２室とを接続する連通路
    と、この連通路を閉鎖する移動自在な閉止弁と、前記第
    ２室内の容積を増減させる移動自在な吸引弁と、前記閉
    止弁の作動後に吸引弁が作動するように吸引弁の作動を
    遅延させる手段とからなることを特徴とするサックバッ
    クポンプ。
  2. （２）前記閉止弁及び吸引弁とをエアーピストンによっ
    てそれぞれ移動させるようにしたことを特徴とする特許
    請求の範囲第１項記載のサックバックポンプ。
  3. （３）前記閉止弁用エアーピストンが嵌合するシリンダ
    と、前記吸引弁用エアーピストンが嵌合するシリンダと
    を連通し、前記閉止弁用エアーピストンが一定量移動し
    た時に、加圧空気が閉止弁用シリンダを介して吸引弁用
    エアーシリンダに供給され乞ようにしたことを特徴とす
    る特許請求の範囲第２項記載のサックバックポンプ。
  4. （４）前記閉止弁用シリンダと吸引弁用シリンダとを連
    通するエアー流路内にニードル弁を設け、吸引弁用シリ
    ンダに供給される加圧空気の流量を制御することによっ
    て吸引弁用ピストンの作動を調整するようにしたことを
    特徴とする特許請求の範囲第３項記載のサックバックポ
    ンプ。
  5. （５）前記流入口と第１室との間に逆止弁を設けると共
    に、閉止弁の移動によシ第１室内の容積が増減するよう
    構成し、前記閉止弁の連通路を閉じる方向への移動によ
    って第１室内の容積を減少させ、第２室を介して一定量
    の液体を流出口から排出させるようにしたことを特徴と
    する特許請求の範囲第４項記載のサックバックポンプ。
JP58050506A 1983-03-28 1983-03-28 サツクバツクポンプ Granted JPS59177929A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58050506A JPS59177929A (ja) 1983-03-28 1983-03-28 サツクバツクポンプ
US06/593,704 US4597719A (en) 1983-03-28 1984-03-26 Suck-back pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58050506A JPS59177929A (ja) 1983-03-28 1983-03-28 サツクバツクポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59177929A true JPS59177929A (ja) 1984-10-08
JPH0220135B2 JPH0220135B2 (ja) 1990-05-08

Family

ID=12860840

Family Applications (1)

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JP58050506A Granted JPS59177929A (ja) 1983-03-28 1983-03-28 サツクバツクポンプ

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