JPS588661A - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents
液体噴射記録ヘツドInfo
- Publication number
- JPS588661A JPS588661A JP10741781A JP10741781A JPS588661A JP S588661 A JPS588661 A JP S588661A JP 10741781 A JP10741781 A JP 10741781A JP 10741781 A JP10741781 A JP 10741781A JP S588661 A JPS588661 A JP S588661A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- pattern
- exposed
- photoresist
- solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、インクジェットヘッド（液体噴射記録ヘッド
）、詳しくは、所謂、インクジェット記録方式に用いる
記録用インク小滴を熱エネルギ゛−によって発生する為
のインクジェットヘッドに関する。
）、詳しくは、所謂、インクジェット記録方式に用いる
記録用インク小滴を熱エネルギ゛−によって発生する為
のインクジェットヘッドに関する。
インクジメットは、一般に微細なインク液体吐へ
出口（オリフィス）、インク液流電路及びこのインク液
流路の一部に設けられるインク液吐出力作用部（熱作用
部）及び発熱体とを具えている０ 従来、この様なインクジェットヘッドを作成する方法と
して、例えば、ガラスや金属の坂に切削やエツチング等
により、微細な溝を形成した後、この溝を形成した板を
他の板に吐出口を形成した板と接合して液流偽路の形成
を行なう方法が知られている。
流路の一部に設けられるインク液吐出力作用部（熱作用
部）及び発熱体とを具えている０ 従来、この様なインクジェットヘッドを作成する方法と
して、例えば、ガラスや金属の坂に切削やエツチング等
により、微細な溝を形成した後、この溝を形成した板を
他の板に吐出口を形成した板と接合して液流偽路の形成
を行なう方法が知られている。
しかし、斯かる従来法によって作成されるヘッドでは、
切削加工される液流路内壁面の荒れが太き過ぎたり、エ
ツチング率の差から液流路に歪が生じたりして、流路抵
抗の一定した液流路が得難く、製作後のインクジェット
ヘッドのインク吐出特性にバラツキが出易い。又、切削
加工の際に、板の欠けや割れが生じ易く、製造歩留りが
悪いと言う欠点もある。そして、エッチック加工を行な
う場合は、製造工程が多く、製造コストの上昇をまねく
と言う不利がある。
切削加工される液流路内壁面の荒れが太き過ぎたり、エ
ツチング率の差から液流路に歪が生じたりして、流路抵
抗の一定した液流路が得難く、製作後のインクジェット
ヘッドのインク吐出特性にバラツキが出易い。又、切削
加工の際に、板の欠けや割れが生じ易く、製造歩留りが
悪いと言う欠点もある。そして、エッチック加工を行な
う場合は、製造工程が多く、製造コストの上昇をまねく
と言う不利がある。
更に、上記した従来法に共通する欠点としては、液流路
となる溝を形成した溝付板と、液体インクに作用する熱
エネルギーを発生する発熱素子（発熱体）が設けられた
蓋板との貼合せの際に夫々の位置合せが困難であって量
産性に欠ける点が挙げられる。
となる溝を形成した溝付板と、液体インクに作用する熱
エネルギーを発生する発熱素子（発熱体）が設けられた
蓋板との貼合せの際に夫々の位置合せが困難であって量
産性に欠ける点が挙げられる。
これ等の点は殊に液流路が直線的ではなく、設計の上か
ら曲折された部分を有するタイプのインクジェットヘッ
ドの場合には一層深刻な問題として浮上されるものであ
る。従って、これ等の欠点が解決される構成を有するイ
ンクジェットヘッドの開発が熱望されている。
ら曲折された部分を有するタイプのインクジェットヘッ
ドの場合には一層深刻な問題として浮上されるものであ
る。従って、これ等の欠点が解決される構成を有するイ
ンクジェットヘッドの開発が熱望されている。
本発明は、上記欠点に鑑み成されたもので、精密であり
、しかも、耐久性があって信頼性の高いインクジェット
ヘッドを提供することを目微細加工された構成を有する
インクジェットヘッドを提ｔｉｔすることも本発明の目
的である。
、しかも、耐久性があって信頼性の高いインクジェット
ヘッドを提供することを目微細加工された構成を有する
インクジェットヘッドを提ｔｉｔすることも本発明の目
的である。
更には、簡略な手法によりマルチアレイ型式の細密なイ
ンク吐出ノズルを有するインクジェットを提供すること
も本発明の他の目的である。
ンク吐出ノズルを有するインクジェットを提供すること
も本発明の他の目的である。
そして以上の諸口的を達成する本発明のインクジェット
ヘッドは液体の流れる方向の終端に、液体を吐出させて
飛翔的液滴を形成する為の吐出口を有し、途中に於いて
曲折されている液流路と該液流路の少なくとも一部を構
成し、その内部を満たす液体が熱作用を受けて状態変化
を起すところである熱作用部と、該熱作用部を満たす液
体に伝達する為の熱を発生する発熱体と歩 を有し、前記液流路の壁面へ妻部分を感光性樹脂を硬化
させて形成した事を特徴とする。
ヘッドは液体の流れる方向の終端に、液体を吐出させて
飛翔的液滴を形成する為の吐出口を有し、途中に於いて
曲折されている液流路と該液流路の少なくとも一部を構
成し、その内部を満たす液体が熱作用を受けて状態変化
を起すところである熱作用部と、該熱作用部を満たす液
体に伝達する為の熱を発生する発熱体と歩 を有し、前記液流路の壁面へ妻部分を感光性樹脂を硬化
させて形成した事を特徴とする。
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細にヘッドの構
成とその製作手順を説明する為の模式図である。
成とその製作手順を説明する為の模式図である。
先ず、第１図に示す様に、ガラス、セラミックス、グラ
スチック或は金属２等、適当な基板１上に劣襦≠↑噴液
吐出力発生素子としての発熱素子（電気熱変換素子）２
を所望の個数、配設する気（図に於ては、２個）、前記
液吐出力発生素子としての発熱素子２が近傍のインク液
体を加熱することによシ、液吐出力を発生させる。
スチック或は金属２等、適当な基板１上に劣襦≠↑噴液
吐出力発生素子としての発熱素子（電気熱変換素子）２
を所望の個数、配設する気（図に於ては、２個）、前記
液吐出力発生素子としての発熱素子２が近傍のインク液
体を加熱することによシ、液吐出力を発生させる。
尚鉱これ等の素子２には図示されていない信号入力用電
極ｉ５接続しである。
極ｉ５接続しである。
次に、素子２を設けた基板１表面を清浄化すると共に乾
燥させた後、素子２を設けた基板面ＩＡに、第２図（ａ
）、（ｂ）に示す如く８０℃〜１５０、づ ℃程度に加湿された形状を有する感光性樹脂であるドラ
イフィルムフォトレジスト３（膜厚、約２５μ〜１００
μ）をｈＯ，５〜０．４ｆ／ｆ’ｊ−（Ｄ速度、１〜３
（包の加圧条件下でラミネートする。
燥させた後、素子２を設けた基板面ＩＡに、第２図（ａ
）、（ｂ）に示す如く８０℃〜１５０、づ ℃程度に加湿された形状を有する感光性樹脂であるドラ
イフィルムフォトレジスト３（膜厚、約２５μ〜１００
μ）をｈＯ，５〜０．４ｆ／ｆ’ｊ−（Ｄ速度、１〜３
（包の加圧条件下でラミネートする。
尚、第２図（ｂ）は第２図（ａ）に於けるｘ、ｘ’線線
切印 画に相当する切断面である。
切印 画に相当する切断面である。
△
このとき、ドライフィルムフォトレジスト３は基板面Ｉ
Ａに圧着し固定され、以後、多少の加圧が加わった場合
にも基板面ＩＡから剥離することはない。
Ａに圧着し固定され、以後、多少の加圧が加わった場合
にも基板面ＩＡから剥離することはない。
続いて、第３図に示す様に、基板面ＩＡに設けたドライ
フィルムフォトレジスト３上に所定フ のパターン４Ｐを有するフォトマスタ４を重ねフ 合せた後、このフォトマスタ４の上部から光源７によっ
て露光（図中、矢印）を行う。このとき、上記パターン
４Ｐは、基板１上の発熱素子２の領域を十分に覆うもの
で、このパターン４Ｐは光源７の光を透過しない。従っ
て、パターン４Ｐで覆われている領域のドライフィルム
フォトレジスト３は露光されない。又、このとき発熱素
子２の設置位置と上記パターン４Ｐの位取上の如く露光
を行うと、パターン４Ｐ領域外のフォトレジスト３が重
合反応を起して硬化し、溶剤不溶性になる。他方、露光
されなかった図中、破線で囲われているフォトレジスト
３は硬化せず、溶剤可溶性のま＼残こる。露光操作を経
た後、ドライフィルムフォトレジスト３を揮発性有機溶
剤、例えば、トリクロルエタン中に浸漬して、未重合（
未硬化）の７オトレジストを溶解除去すると、基板１上
には硬化フォれた硬化フォトレジスト膜３Ｈの耐溶剤性
を向上させる目的でこれを更に硬化させる。その方法と
しては、熱重合（１３０℃〜１６０℃でｈ＼ １０分〜６０分程度、加熱）させるか、紫外線照射を行
うか、これ゛等両者を併用するのが良い。
フィルムフォトレジスト３上に所定フ のパターン４Ｐを有するフォトマスタ４を重ねフ 合せた後、このフォトマスタ４の上部から光源７によっ
て露光（図中、矢印）を行う。このとき、上記パターン
４Ｐは、基板１上の発熱素子２の領域を十分に覆うもの
で、このパターン４Ｐは光源７の光を透過しない。従っ
て、パターン４Ｐで覆われている領域のドライフィルム
フォトレジスト３は露光されない。又、このとき発熱素
子２の設置位置と上記パターン４Ｐの位取上の如く露光
を行うと、パターン４Ｐ領域外のフォトレジスト３が重
合反応を起して硬化し、溶剤不溶性になる。他方、露光
されなかった図中、破線で囲われているフォトレジスト
３は硬化せず、溶剤可溶性のま＼残こる。露光操作を経
た後、ドライフィルムフォトレジスト３を揮発性有機溶
剤、例えば、トリクロルエタン中に浸漬して、未重合（
未硬化）の７オトレジストを溶解除去すると、基板１上
には硬化フォれた硬化フォトレジスト膜３Ｈの耐溶剤性
を向上させる目的でこれを更に硬化させる。その方法と
しては、熱重合（１３０℃〜１６０℃でｈ＼ １０分〜６０分程度、加熱）させるか、紫外線照射を行
うか、これ゛等両者を併用するのが良い。
以上の工程を経て形成された中間品の外観を第４図に斜
視図で示す。
視図で示す。
次に、第４図示の中間品の硬化フォトレジスト膜３Ｈ面
を清浄化すると共に乾燥させた後、この膜３Ｈの表面に
従前の工程と同様、８０℃〜１５０℃程度に加温された
ドライフィルムフォトレジスト５（膜厚、約２５１μ〜
ｉｏｏμ）を０．５〜０．４ ｆ／分の速度、０．１１
ｖ／ｄ以下の加圧条件下でラミネートする）（第５図）
。この工程に於て、硬化レジスト膜３Ｈ面にドライフィ
ルムフォト２の設けである液流路にフォトレジスト５が
だれ込まないようにすることである。そのため、従前の
工程で示したラミネート圧ではフォトレジスト５のたれ
込みが起るので、ラミネート圧を０．１階伺以下に設定
する。
を清浄化すると共に乾燥させた後、この膜３Ｈの表面に
従前の工程と同様、８０℃〜１５０℃程度に加温された
ドライフィルムフォトレジスト５（膜厚、約２５１μ〜
ｉｏｏμ）を０．５〜０．４ ｆ／分の速度、０．１１
ｖ／ｄ以下の加圧条件下でラミネートする）（第５図）
。この工程に於て、硬化レジスト膜３Ｈ面にドライフィ
ルムフォト２の設けである液流路にフォトレジスト５が
だれ込まないようにすることである。そのため、従前の
工程で示したラミネート圧ではフォトレジスト５のたれ
込みが起るので、ラミネート圧を０．１階伺以下に設定
する。
又、別の方法としては、予め前記レジスト膜３Ｈの厚さ
分のクリアランスを設けて圧着する。
分のクリアランスを設けて圧着する。
このとき、ドライフィルムフォトレジスト５は硬化膜３
Ｈ面に圧着して固定され、以後、多少の外圧が加わった
場合にも剥離することはない。
Ｈ面に圧着して固定され、以後、多少の外圧が加わった
場合にも剥離することはない。
続いて、第６図に示す様に、新たに設けたドライフィル
ムフォトレジスト５上に所定のパターン６Ｐを有するフ
ォトマスク６を重ね合せた後、このフォトマスク６の上
部から露光を行う。尚上記パターン６Ｐは、後に吐出口
を構成する領域に相当しており、このパターン６Ｐは光
を透過しない。従って、パターン６Ｐで覆われている領
域のドライフィルムフォトレジスト５は露光されない。
ムフォトレジスト５上に所定のパターン６Ｐを有するフ
ォトマスク６を重ね合せた後、このフォトマスク６の上
部から露光を行う。尚上記パターン６Ｐは、後に吐出口
を構成する領域に相当しており、このパターン６Ｐは光
を透過しない。従って、パターン６Ｐで覆われている領
域のドライフィルムフォトレジスト５は露光されない。
又、このとき、基板１上に設けられた不図示の発熱素子
の設置位置と上記パターン６Ｐの位置合せを周知の手法
で行っておく必要がある。
の設置位置と上記パターン６Ｐの位置合せを周知の手法
で行っておく必要がある。
以上の如く、フォトレジスト５を露光するとパターン６
Ｐ領域外のフォトレジスト５が重合反応を起して硬化し
、溶剤不溶性になる。他方、露光されなかったフォトレ
ジスト５は硬化せず、溶剤可溶性のま＼残こる。
Ｐ領域外のフォトレジスト５が重合反応を起して硬化し
、溶剤不溶性になる。他方、露光されなかったフォトレ
ジスト５は硬化せず、溶剤可溶性のま＼残こる。
露光操作を経た後、ドライフィルムフォトレジスト５を
揮発性有機溶剤、例えば、トリクロルエタン中に浸漬し
て、未重合（未硬化）の７に示す凹部が形成される。そ
の後、先のレジスト膜３Ｈ上に残された硬化フォトレジ
スト膜５Ｈの耐溶剤性を向上させる目ｊ的でこれを更に
硬化させる。その方法としては、熱重合（１３０℃〜１
６０℃で１０分〜６０分程度、加熱）させるか、紫外線
照射を行うか、これ等両者を併用するのが良い。
揮発性有機溶剤、例えば、トリクロルエタン中に浸漬し
て、未重合（未硬化）の７に示す凹部が形成される。そ
の後、先のレジスト膜３Ｈ上に残された硬化フォトレジ
スト膜５Ｈの耐溶剤性を向上させる目ｊ的でこれを更に
硬化させる。その方法としては、熱重合（１３０℃〜１
６０℃で１０分〜６０分程度、加熱）させるか、紫外線
照射を行うか、これ等両者を併用するのが良い。
この様にして硬化フォトレジスト膜５Ｈに形成された孔
は液吐出ロアとなる。そして液供給口８に所定の液供給
管を接続しヘッド製作工程は完了する。
は液吐出ロアとなる。そして液供給口８に所定の液供給
管を接続しヘッド製作工程は完了する。
以上に詳しく説明した本発明の効果としては次のとおり
、種々、列楢することができる。
、種々、列楢することができる。
１、ヘッド製作の主要＝［程が、所謂、印写技術に因る
為、所望のパターンでヘッド細密部の形成が極めて簡単
に行なえる。しかも、同構成のヘッドを多数、同時加工
することもできる０ ２、製作工程数が比較的少ないので、生産性が良好であ
る。
為、所望のパターンでヘッド細密部の形成が極めて簡単
に行なえる。しかも、同構成のヘッドを多数、同時加工
することもできる０ ２、製作工程数が比較的少ないので、生産性が良好であ
る。
３、主要構成部位の位置合せを容易にして確実に為すこ
とができ、寸法精度の高いヘッドが歩留り良く得られる
。
とができ、寸法精度の高いヘッドが歩留り良く得られる
。
）
４、高密度マルチアレイイン気ジェットヘッドが簡略な
方法で得られる。
方法で得られる。
５、連続、且つ大量生産が可能である。
６． エツチング液（フッ化水素酸等の強酸剤）を使用
する必要がないので、安全衛生の面でも優れている。
する必要がないので、安全衛生の面でも優れている。
７、接着剤を使用する必要がないので、接着剤が流動し
て溝が塞がれたシ、液吐出力発生素子に付着して、機能
低下を引き起こすことがない。
て溝が塞がれたシ、液吐出力発生素子に付着して、機能
低下を引き起こすことがない。
８、 インクジェットヘッドの細密な主要構成部位の形
成がフォトリングラフィによって行なわれ、又このフォ
トリングラフィの実施は一般に半導体産業で使用される
クリーンルームで行なわれるためインクジェットヘッド
の組立途中でインク路内部にゴミが侵入することを最小
限に押えることが出来る。
成がフォトリングラフィによって行なわれ、又このフォ
トリングラフィの実施は一般に半導体産業で使用される
クリーンルームで行なわれるためインクジェットヘッド
の組立途中でインク路内部にゴミが侵入することを最小
限に押えることが出来る。
第１図乃至第７図（ｂ）は、本発明の液体噴射記録ヘッ
ドの構成とその製作手順を説明する為の模式・図であっ
て、第１図は第１工程を説明する為の模式的斜視図、第
２図（ａ）は第２工程を説明する為の模式的斜視図、第
２図（ｂ）は第２図（ａ）に示す一点鎖線ＸＸ′での切
断面部分図、第３図は第３工程を説明する為の模式的斜
視図、第４図は第４工程を説明する為の模式的斜視図、
第５図は第５工程を、第６図は第６エ程を各々説明する
為の模式的斜視図、第７図（ａ）は作成完了したヘッド
の構造を示す模式的斜視図、第７図（ｂ）は第７図（ａ
）に一点鎖線ＹＹ’で示す位置で切断した場合の切断面
図である。 １・・・基板 ２・・・発熱素子出願人 キ
ャノン株式会社
ドの構成とその製作手順を説明する為の模式・図であっ
て、第１図は第１工程を説明する為の模式的斜視図、第
２図（ａ）は第２工程を説明する為の模式的斜視図、第
２図（ｂ）は第２図（ａ）に示す一点鎖線ＸＸ′での切
断面部分図、第３図は第３工程を説明する為の模式的斜
視図、第４図は第４工程を説明する為の模式的斜視図、
第５図は第５工程を、第６図は第６エ程を各々説明する
為の模式的斜視図、第７図（ａ）は作成完了したヘッド
の構造を示す模式的斜視図、第７図（ｂ）は第７図（ａ
）に一点鎖線ＹＹ’で示す位置で切断した場合の切断面
図である。 １・・・基板 ２・・・発熱素子出願人 キ
ャノン株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 の 液体拠流れる方向の終端に、液体を吐出させて飛翔的液
滴を形成する為の吐出口を有し、途中に於いて曲折され
ている液流路と、該液流路の少なくとも一部を構成し、
その内部を満たす液体が熱作用を受けて状態変化を起す
ところである熱作用部と、該熱作用部を満たす液体に伝
達する為の熱を発生する発熱体とを有し、前記液流路の
壁面の主要部分を感光性樹脂を硬化させて形成した事を
特徴とする液体噴射記録ヘッド０
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10741781A JPS588661A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 液体噴射記録ヘツド |
| US06/394,787 US4558333A (en) | 1981-07-09 | 1982-07-02 | Liquid jet recording head |
| GB08219601A GB2104453B (en) | 1981-07-09 | 1982-07-07 | Liquid jet recording head |
| DE3225578A DE3225578C2 (de) | 1981-07-09 | 1982-07-08 | Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopfs |
| DE3250115A DE3250115C2 (de) | 1981-07-09 | 1982-07-08 | Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopf |
| DE3250114A DE3250114C2 (de) | 1981-07-09 | 1982-07-08 | Flüssigkeitsstrahl-Aufzeichnungskopf |
| HK321/91A HK32191A (en) | 1981-07-09 | 1991-04-25 | Liquid jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10741781A JPS588661A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 液体噴射記録ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS588661A true JPS588661A (ja) | 1983-01-18 |
| JPH0224220B2 JPH0224220B2 (ja) | 1990-05-28 |
Family
ID=14458615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10741781A Granted JPS588661A (ja) | 1981-07-09 | 1981-07-09 | 液体噴射記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS588661A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59138469A (ja) * | 1983-01-28 | 1984-08-08 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッド |
| JPH02500584A (ja) * | 1987-09-09 | 1990-03-01 | スペクトラ インコーポレーテッド | インクジェット配列体 |
| KR100470592B1 (ko) * | 2002-08-08 | 2005-03-08 | 삼성전자주식회사 | 모노리식 버블 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5517848B2 (ja) | 2010-09-08 | 2014-06-11 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5559977A (en) * | 1978-10-31 | 1980-05-06 | Canon Inc | Liquid injection recorder |
| JPS5743876A (en) * | 1980-08-29 | 1982-03-12 | Canon Inc | Ink jet head |
| JPS6259672A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-16 | Toagosei Chem Ind Co Ltd | 離型用コ−テイング剤 |
-
1981
- 1981-07-09 JP JP10741781A patent/JPS588661A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5559977A (en) * | 1978-10-31 | 1980-05-06 | Canon Inc | Liquid injection recorder |
| JPS5743876A (en) * | 1980-08-29 | 1982-03-12 | Canon Inc | Ink jet head |
| JPS6259672A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-16 | Toagosei Chem Ind Co Ltd | 離型用コ−テイング剤 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59138469A (ja) * | 1983-01-28 | 1984-08-08 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘッド |
| JPH0530629B2 (ja) * | 1983-01-28 | 1993-05-10 | Canon Kk | |
| JPH02500584A (ja) * | 1987-09-09 | 1990-03-01 | スペクトラ インコーポレーテッド | インクジェット配列体 |
| KR100470592B1 (ko) * | 2002-08-08 | 2005-03-08 | 삼성전자주식회사 | 모노리식 버블 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0224220B2 (ja) | 1990-05-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1169472A (en) | Ink jet head | |
| US4666823A (en) | Method for producing ink jet recording head | |
| JPH0551458B2 (ja) | ||
| JPS58220754A (ja) | インクジエツト記録ヘツド | |
| JPS5919168A (ja) | インクジエツト記録ヘツド | |
| JP2007237450A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH0435345B2 (ja) | ||
| US4570167A (en) | Ink jet recording head | |
| JPS58224760A (ja) | インクジエツト記録ヘツド | |
| JPH0649373B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JPS588661A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPH0422700B2 (ja) | ||
| JPH0459144B2 (ja) | ||
| JPS588658A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPS60190363A (ja) | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 | |
| JP2000255072A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド | |
| JPS588660A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPS5811172A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH0225335B2 (ja) | ||
| JP3120341B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH0327384B2 (ja) | ||
| JPS6344067B2 (ja) | ||
| JPH0242668B2 (ja) | ||
| JPH05338163A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0520274B2 (ja) |