JPS5866001A - 磁気スケ−ル装置 - Google Patents
磁気スケ−ル装置Info
- Publication number
- JPS5866001A JPS5866001A JP56163476A JP16347681A JPS5866001A JP S5866001 A JPS5866001 A JP S5866001A JP 56163476 A JP56163476 A JP 56163476A JP 16347681 A JP16347681 A JP 16347681A JP S5866001 A JPS5866001 A JP S5866001A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- case
- housing
- outside
- reading head
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
- G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
- G01D11/245—Housings for sensors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/001—Constructional details of gauge heads
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気ヌケール装置の改良に関する。
周知の二うに磁気ヌケール装置は磁気格子と読取ヘッド
とで構成でれ、両者間の相対移動量に対応するスケール
信号を読取るようになっている。
とで構成でれ、両者間の相対移動量に対応するスケール
信号を読取るようになっている。
また本装置は本質的にインクリメンタル１１１ ’ｚＥ
ｌノＪノ、をとるため、その短所を補完するための基準
点発磁体及びその読取ヘッドを必要に応じて備えている
。そしてこれら磁気格子、読取ヘッドは本装置が設置さ
れる工作機械等からの切削油、切粉、塵埃等から保護し
ないと短時間で、その機能を失なってしまうので、従来
は下記のような構成をとっていた。
ｌノＪノ、をとるため、その短所を補完するための基準
点発磁体及びその読取ヘッドを必要に応じて備えている
。そしてこれら磁気格子、読取ヘッドは本装置が設置さ
れる工作機械等からの切削油、切粉、塵埃等から保護し
ないと短時間で、その機能を失なってしまうので、従来
は下記のような構成をとっていた。
例えば第１図に示すように、磁気格子と読取ヘッドを同
一筐体Ｈ内に収容し、該ヘッドを筐体Ｈに灯して相対移
動可能な構造とするため、ヘッド保持金具下の一端に取
り付け、他端を筐体Ｈの開口から外部に導出し、また上
記金具ｖＣＧつて検出信号取出用ケーブルＣを取り出し
ている。筐体Ｈの開口には前記の保諌とヘッド保持金具
下の可動目的のためシールＳが施される。
一筐体Ｈ内に収容し、該ヘッドを筐体Ｈに灯して相対移
動可能な構造とするため、ヘッド保持金具下の一端に取
り付け、他端を筐体Ｈの開口から外部に導出し、また上
記金具ｖＣＧつて検出信号取出用ケーブルＣを取り出し
ている。筐体Ｈの開口には前記の保諌とヘッド保持金具
下の可動目的のためシールＳが施される。
しかし上述した構造ではたとえシールＳが施でれていて
も、筐体Ｈの開口部での防水、防塵が不充分となるのは
避は難い。
も、筐体Ｈの開口部での防水、防塵が不充分となるのは
避は難い。
そこで前記の保護を更ＶＣよくするため、筐体の外部に
対する開口部を小さくする構造の装置として第２図乃至
第４図に示すものが提案されている。
対する開口部を小さくする構造の装置として第２図乃至
第４図に示すものが提案されている。
第２図において、筐体Ｈ内ｖｃはスピンドルＳＰ。
磁気格子Ｍ及び読取ヘッドＤが、直線状に配列され、磁
気格子Ｍはヌビンドル８Ｐｖｃ取付られ、読取ヘッドＤ
に筐体に固定されている。筐体Ｈの開口部はスピンドル
ＳＰの軸受Ｒを形成していて、スピンドルＳＰが摺動す
るようになっている。
気格子Ｍはヌビンドル８Ｐｖｃ取付られ、読取ヘッドＤ
に筐体に固定されている。筐体Ｈの開口部はスピンドル
ＳＰの軸受Ｒを形成していて、スピンドルＳＰが摺動す
るようになっている。
第３図においては筐体Ｈな短かくするためスピンドルＳ
Ｐと磁気格子Ｍとを、一定圧離隔てて平行に配列してい
る。
Ｐと磁気格子Ｍとを、一定圧離隔てて平行に配列してい
る。
第４図では、装置全体を短かくする目的で、固定筐体Ｈ
な可動筐体Ｈ内に内挿し、一方に磁気１
２ 格子Ｍ、他方に読取ヘッドＤを夫々固定している。
な可動筐体Ｈ内に内挿し、一方に磁気１
２ 格子Ｍ、他方に読取ヘッドＤを夫々固定している。
なお、Ｐはシール又はパツキンである。
而して上述した従来の装置は、何れも磁気格子と読取ヘ
ッドとを同一筐体内に収納しているので、構造が複雑で
、特に磁気格子や基準点発磁体の配置が制約され、また
前記の保護の点でも、末だ充分とは言えない。
ッドとを同一筐体内に収納しているので、構造が複雑で
、特に磁気格子や基準点発磁体の配置が制約され、また
前記の保護の点でも、末だ充分とは言えない。
本発明はかかる従来技術の欠点を改良するためになされ
たもので、非磁性材から成る筐体内に読取ヘッドを設け
、該筐体の外側に磁気格子及び又は基準点発磁体を配設
し、上記読取ヘッドと磁気格子との相対移動量に対応す
るスケール信号を読取るように構成したことを特徴とす
る。
たもので、非磁性材から成る筐体内に読取ヘッドを設け
、該筐体の外側に磁気格子及び又は基準点発磁体を配設
し、上記読取ヘッドと磁気格子との相対移動量に対応す
るスケール信号を読取るように構成したことを特徴とす
る。
以下図面に示す実施例を参照して本発明を説明すると、
第５図ａ、ｂにおいて、筐体Ｈにアルミニウム、ステン
レス等の非磁性材から成り、該筐体内には読取ヘッドＤ
が設けられ、該ヘッドはホルダーＧの先端に固定されて
いる。ホルダーＧは筐体Ｈの可及的に小さい開口部を介
して外部から可動に構成され、またホルダー内の開口路
を通って読取ヘッドＤからのケーブルＣが外部に導出さ
れている。
第５図ａ、ｂにおいて、筐体Ｈにアルミニウム、ステン
レス等の非磁性材から成り、該筐体内には読取ヘッドＤ
が設けられ、該ヘッドはホルダーＧの先端に固定されて
いる。ホルダーＧは筐体Ｈの可及的に小さい開口部を介
して外部から可動に構成され、またホルダー内の開口路
を通って読取ヘッドＤからのケーブルＣが外部に導出さ
れている。
筐た必要に応じて第６因に示す如く基準点発磁体Ｍ８を
筐体Ｈの外側に配置してもよく、磁気格子及び基準点発
磁体、又はその何れか一方を筐体・。
筐体Ｈの外側に配置してもよく、磁気格子及び基準点発
磁体、又はその何れか一方を筐体・。
外に配ｆｌＩｉするのも自由である。
なお、筐体Ｈに必らずしも全てが非磁性材で形成しなく
ともよく、少くとも磁気格子又は基準点発磁体と読取ヘ
ッドとの相互作用が働く部分を非磁性材で形成すればよ
い。またその厚さに上記相互作用が可能な間隔を保てる
程度とする。
ともよく、少くとも磁気格子又は基準点発磁体と読取ヘ
ッドとの相互作用が働く部分を非磁性材で形成すればよ
い。またその厚さに上記相互作用が可能な間隔を保てる
程度とする。
外部に設けた磁気格子又は基準点発磁体の保論は簡単な
カバーな核種するだけでよい。
カバーな核種するだけでよい。
第７図及び第８図は本発明の磁気スケール装置を具体化
したー構成例で、１は第１の外側筒体、２は第２の内側
筒体、３は第３の内側筒体、４は同軸型スケール（磁気
格子）、５は摺動部材、６はスケール信号検出素子（読
取ヘッド）、７はリングマグネット、８は基準点信号検
出素子、９は軸受、１０にオイルシニル、１１及び１２
は取付ブラケット、１３及び１４はパツキン、１５及び
１６にサイドカバー、１７はタイロッド、１８にリード
線、１９は端子板、２０はケーブル、２１に防水シール
、２２は取付ボルトである。
したー構成例で、１は第１の外側筒体、２は第２の内側
筒体、３は第３の内側筒体、４は同軸型スケール（磁気
格子）、５は摺動部材、６はスケール信号検出素子（読
取ヘッド）、７はリングマグネット、８は基準点信号検
出素子、９は軸受、１０にオイルシニル、１１及び１２
は取付ブラケット、１３及び１４はパツキン、１５及び
１６にサイドカバー、１７はタイロッド、１８にリード
線、１９は端子板、２０はケーブル、２１に防水シール
、２２は取付ボルトである。
第１の外側筒体ｌは非磁性材で形成され、その内部には
中心から長平方向に同軸型スケール４が位置するように
サイドカバー１５に取付けられ、また該スケールが挿脱
可能な工う［第２の内側筒体２がサイドカバー１６に軸
受９で支承され、後部は外部に露出している。
中心から長平方向に同軸型スケール４が位置するように
サイドカバー１５に取付けられ、また該スケールが挿脱
可能な工う［第２の内側筒体２がサイドカバー１６に軸
受９で支承され、後部は外部に露出している。
サイドカバー１５，１６はタイロッド１７により第１の
外側筒体１に固定され、また取付プラケット１２によっ
て被測定側に取付られている。
外側筒体１に固定され、また取付プラケット１２によっ
て被測定側に取付られている。
第２の内側筒体２の一端には摺動部材５がネジ ・止
めされていて、該部材には中空部２３が形成されており
、該中空部内にスケール信号検出素子が配設され、ま比
摺動部材５の中空部先端にば基準点信号検出素子８が設
けられている。
めされていて、該部材には中空部２３が形成されており
、該中空部内にスケール信号検出素子が配設され、ま比
摺動部材５の中空部先端にば基準点信号検出素子８が設
けられている。
リングマグネット７は基準点信号形成手段であり、第１
の外側筒体１の外周に沿って同心状に配設される。
の外側筒体１の外周に沿って同心状に配設される。
基準点検出素子８及びスケール信号検出素子６からの検
出信号にリードｆｊｆ１８とこれに接続されたケーブル
２０を弁して外部の構出回路に送られる。
出信号にリードｆｊｆ１８とこれに接続されたケーブル
２０を弁して外部の構出回路に送られる。
この場合、本装置はかなり長尺なものとなし得るので、
リード線１８も長くなり、前記相対移動時に障害となら
ないように、図示の如く第３の内側筒体３を、ｊｔ（２
の内側筒体内に配設し、両筒体間にリード線１８を配線
するのが好適である。
リード線１８も長くなり、前記相対移動時に障害となら
ないように、図示の如く第３の内側筒体３を、ｊｔ（２
の内側筒体内に配設し、両筒体間にリード線１８を配線
するのが好適である。
外部に露出している第２の内側筒体２の後部には取付ボ
ルト２２が装着されていて被測定側のすット等がこれに
螺合するようになっている。
ルト２２が装着されていて被測定側のすット等がこれに
螺合するようになっている。
本装置は以上のような構造であって、夫々被測定側に固
定された第１の外側筒体１と第２の内側筒体２間の相対
移動に伴なって、スケール４とスケール信号検出素子６
とが相対移動して、その移動量に対応するスケール信号
が外部に取出され、またこの時基準点信号検出素子８が
リングマグネット７内を通過すると、基準点信号が得ら
れる。
定された第１の外側筒体１と第２の内側筒体２間の相対
移動に伴なって、スケール４とスケール信号検出素子６
とが相対移動して、その移動量に対応するスケール信号
が外部に取出され、またこの時基準点信号検出素子８が
リングマグネット７内を通過すると、基準点信号が得ら
れる。
なお、本装置においても、スケールを第１の外側筒１の
外側に設けてもよいこと勿論である。
外側に設けてもよいこと勿論である。
以上説明したように本発明によれば、切削油、切粉、塵
埃等が非常に多い悪環境下でも使用可能な磁気スケール
装置を構成することができ、また磁気格子、基準点発磁
体を随時任意の場所に容易に設定することが可能となる
。
埃等が非常に多い悪環境下でも使用可能な磁気スケール
装置を構成することができ、また磁気格子、基準点発磁
体を随時任意の場所に容易に設定することが可能となる
。
第１図乃至第４図は夫々従来の磁気スケール装置を示す
概略図、第５図ａ、ｂ及び第６図は本発明の一実施例を
示す概略図、第７図及び第８図に本発明の実施例に基く
具体的構成例を示す構造でＨ・・・筺体、Ｃ・・・ケー
ブル、Ｍ・・・磁気格子、Ｄ・・・読取ヘッド。 特許出願人 ソニーマグネスケール 株式会社 代理人 弁理士 永 １）武三部 手続補正書（方式） 昭和 ５７Ｉ＠ 電力ｌ 日 特許庁長官 島 １）春 樹 殿 １ 事件の表示 昭和％年特許劇 第１６３４７６号 ２、発明の名称 磁気スケール装置 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスケール株式会社４代理人〒１
０５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル
図面及び委任状 各１通 ７ 補正の内容 別紙の通り 願畳、明細沓及び図面の浄書（内容に変更なし）手続補
正書 １、事件の表示 昭和５６年脣許願 第１６Ｂ４７＠号 ２、尭−の名称 磁気スケール装置 ３、 補正をする者 事件との関係 特許ａｉｓｉｔ人 住所 名称 ソニーマグネスケール株式会社４、代理人〒１
０５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ピル
（１１本願明細書第７頁第１θ行と第１１行との間に「
また必費に応じて磁気シールドカッ（−別を設けてもよ
い。」を加入する。 （２）第７−及び第８図を別紙の辿り補正する。
概略図、第５図ａ、ｂ及び第６図は本発明の一実施例を
示す概略図、第７図及び第８図に本発明の実施例に基く
具体的構成例を示す構造でＨ・・・筺体、Ｃ・・・ケー
ブル、Ｍ・・・磁気格子、Ｄ・・・読取ヘッド。 特許出願人 ソニーマグネスケール 株式会社 代理人 弁理士 永 １）武三部 手続補正書（方式） 昭和 ５７Ｉ＠ 電力ｌ 日 特許庁長官 島 １）春 樹 殿 １ 事件の表示 昭和％年特許劇 第１６３４７６号 ２、発明の名称 磁気スケール装置 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 ソニーマグネスケール株式会社４代理人〒１
０５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ビル
図面及び委任状 各１通 ７ 補正の内容 別紙の通り 願畳、明細沓及び図面の浄書（内容に変更なし）手続補
正書 １、事件の表示 昭和５６年脣許願 第１６Ｂ４７＠号 ２、尭−の名称 磁気スケール装置 ３、 補正をする者 事件との関係 特許ａｉｓｉｔ人 住所 名称 ソニーマグネスケール株式会社４、代理人〒１
０５ 住 所 東京都港区芝３丁目２番１４号芝三丁目ピル
（１１本願明細書第７頁第１θ行と第１１行との間に「
また必費に応じて磁気シールドカッ（−別を設けてもよ
い。」を加入する。 （２）第７−及び第８図を別紙の辿り補正する。
Claims (1)
- 少くとも一部が非磁性材から成る筐体内に読取ヘッドを
設け、該筐体の外側の非磁性材部分に磁気格子及び又は
基準点発磁体を配設し、上ｎｒＬＷＪｉ気ヘッドと磁気
格子との相対移動量に対応するスケール信号を読取るよ
うに構成したことを特徴とする磁気４ケール装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56163476A JPS5866001A (ja) | 1981-10-15 | 1981-10-15 | 磁気スケ−ル装置 |
| US06/434,575 US4484391A (en) | 1981-10-15 | 1982-10-15 | Magnetic scaling device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56163476A JPS5866001A (ja) | 1981-10-15 | 1981-10-15 | 磁気スケ−ル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5866001A true JPS5866001A (ja) | 1983-04-20 |
Family
ID=15774592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56163476A Pending JPS5866001A (ja) | 1981-10-15 | 1981-10-15 | 磁気スケ−ル装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4484391A (ja) |
| JP (1) | JPS5866001A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62163704U (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-17 | ||
| JPH04232804A (ja) * | 1990-07-10 | 1992-08-21 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 目盛板 |
| CN103900457A (zh) * | 2014-03-18 | 2014-07-02 | 广东工业大学 | 微纳级电磁栅尺及其制造装置及制造方法及位移检测系统 |
| CN104697428A (zh) * | 2015-03-11 | 2015-06-10 | 武汉静磁栅机电制造有限公司 | 基于磁感应传感器的高精度直线位移检测装置 |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61209303A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-17 | Sony Magnescale Inc | 磁気スケ−ルの記録並に検出方法及び装置 |
| JPH0236683Y2 (ja) * | 1985-04-30 | 1990-10-04 | ||
| DE3522010C3 (de) * | 1985-06-20 | 1999-09-09 | Wabco Gmbh | Wegsensor |
| DE3536201A1 (de) * | 1985-10-10 | 1987-04-16 | Wabco Westinghouse Fahrzeug | Einrichtung zum erfassen der relativen position von zwei relativ zueinander bewegbaren teilen |
| DE3627079C1 (de) * | 1986-08-09 | 1987-10-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengenmesseinrichtung |
| JP3134590B2 (ja) * | 1993-05-13 | 2001-02-13 | ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 | スケール装置 |
| JP3269232B2 (ja) * | 1993-12-16 | 2002-03-25 | ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 | 磁気式平面型リニアスケール |
| US6044571A (en) * | 1997-08-13 | 2000-04-04 | Climax Portable Machine Tools, Inc. | Bore measurement apparatus and method |
| DE19813375B4 (de) * | 1998-03-26 | 2007-07-19 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmeßeinrichtung und Verfahren zur Montage eines Referenzelementes mittels einer Montagehilfe |
| US6528026B2 (en) | 1998-08-13 | 2003-03-04 | Symyx Technologies, Inc. | Multi-temperature modular reactor and method of using same |
| US6787112B1 (en) * | 1998-08-13 | 2004-09-07 | Symyx Technologies, Inc. | Parallel reactor with internal sensing and method of using same |
| US6548026B1 (en) | 1998-08-13 | 2003-04-15 | Symyx Technologies, Inc. | Parallel reactor with internal sensing and method of using same |
| JP3292709B2 (ja) * | 1999-07-01 | 2002-06-17 | エスエムシー株式会社 | 計測機能付きエアチャック |
| DE10313676A1 (de) * | 2003-03-26 | 2004-10-07 | Imi Norgren-Herion Fluidtronic Gmbh & Co. Kg | Positionsmeßvorrichtung für fluidische Zylinder-Kolben-Anordnungen |
| EP2159549B1 (de) * | 2008-08-27 | 2015-10-07 | SICK STEGMANN GmbH | Vorrichtung zur Messung der Relativposition zwischen einer Massverkörperung und einem Lesekopf |
| DE102013213003A1 (de) * | 2013-07-03 | 2015-01-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Abtasteinheit zur Abtastung eines Maßstabs und Positionsmesseinrichtung |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB791902A (en) * | 1954-09-09 | 1958-03-12 | Johannes Heidenhain | Improvements in means for measuring lengths with great accuracy |
| US3332009A (en) * | 1963-11-04 | 1967-07-18 | United States Steel Corp | Apparatus for detecting the relative location of a member in a selected coordinate direction |
| US3582769A (en) * | 1970-02-24 | 1971-06-01 | Philips Corp | Device for the noncontact gauging the displacement of objects moved in a straight line |
| US3777255A (en) * | 1972-10-26 | 1973-12-04 | Westinghouse Electric Corp | Position sensor utilizing a primary and secondary shielded from one another by a ferromagnetic shield and a magnet whose position relative to the shield changes the shielding |
| SE409243B (sv) * | 1978-01-30 | 1979-08-06 | Westerberg Gerhard | Klave for metning av tredstammars diameter |
-
1981
- 1981-10-15 JP JP56163476A patent/JPS5866001A/ja active Pending
-
1982
- 1982-10-15 US US06/434,575 patent/US4484391A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62163704U (ja) * | 1986-04-09 | 1987-10-17 | ||
| JPH04232804A (ja) * | 1990-07-10 | 1992-08-21 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 目盛板 |
| CN103900457A (zh) * | 2014-03-18 | 2014-07-02 | 广东工业大学 | 微纳级电磁栅尺及其制造装置及制造方法及位移检测系统 |
| CN103900457B (zh) * | 2014-03-18 | 2017-05-03 | 广东工业大学 | 微纳级电磁栅尺及其制造装置及制造方法及位移检测系统 |
| CN104697428A (zh) * | 2015-03-11 | 2015-06-10 | 武汉静磁栅机电制造有限公司 | 基于磁感应传感器的高精度直线位移检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4484391A (en) | 1984-11-27 |
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