JPS5865403A - Optical coating suitable for high temperature application - Google Patents
Optical coating suitable for high temperature applicationInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は一般にオプチカルコーティングに関し、特に高
温で使用されるオプチカルコーティングに関する。より
詳しく述べれば、本発明はエネルギ効率を改善するため
オプチカルコーティング(薄膜)で覆れた高温、省エネ
ルギーランプに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION This invention relates generally to optical coatings, and more particularly to optical coatings used at high temperatures. More particularly, the present invention relates to high temperature, energy saving lamps covered with optical coatings to improve energy efficiency.
屈折率を異にする2つの材料を使用する干渉フィルター
型の、オプチカルコーティングで形成した薄膜はコーテ
イング膜が500℃を越える温度の空気に長時間さらさ
れるような高温環境では一般に使用することができない
。通常、オプチカルコーティングされた薄膜は上述した
ような使用環境に耐えることができないが、この使用不
能は以下に述べる理由の一つにその原因がある。すなわ
ち、オプチカルコーテイング膜のその支持体に対する接
着力の低下、コーテイング膜を形成する高屈折率の層と
低屈折率の層の材料同志の相互拡散、aつの材料の屈折
率の、比が減少すること、薄膜層の材料が蒸発すること
、及びコーテイング膜による吸収が許容できない程に増
大することである。Interference filter type optical coating thin films that use two materials with different refractive indexes cannot generally be used in high-temperature environments where the coating film is exposed to air at temperatures over 500°C for long periods of time. . Normally, optically coated thin films cannot withstand the above-mentioned usage environment, and this inability to use is due to one of the reasons described below. Namely, the adhesion of the optical coating film to its support decreases, the materials of the high refractive index layer and the low refractive index layer forming the coating film interdiffuse, and the ratio of the refractive index of one material decreases. the material of the thin film layer evaporates, and the absorption by the coating film increases unacceptably.
オプチカルコーティング(薄膜)の応用の−っに白熱ラ
ンプの照明効率の改善がある。熱反射鏡タイプのオプチ
カルコーティングを白熱電球の管球部分に施すと電球の
エネルギー効率が増大するということはよく知られてい
る。熱反射鏡は電球のフィラメントから放出さハた赤外
線エネルギーを反射してフィラメント処戻す一方、フィ
ラメントから放出された電磁波ス被りトルの可神1光線
の部分を透過する。このためフィラメントの動作温度を
維持するため供給すべき電気エネルギーの量は少なくな
る。たとえば、米国特許第3.9’192!;9号、第
’1,0/’17!;g号、第% / A O,9,2
9号及び第11.22’l//3号には、種々のタイプ
の熱反射鏡を白熱電球の管球部分の全体またはその一部
分に使用することが開示されている。しかしながら、5
00℃を概ね越える温度の空気中で働くオプチカルコー
ティングをランプの管球部分の表面に形成するような応
用を開示しているものはこれら引用特許のうちで一つと
して無い。One of the applications of optical coatings (thin films) is to improve the lighting efficiency of incandescent lamps. It is well known that applying a thermally reflective optical coating to the bulb of an incandescent light bulb increases the energy efficiency of the light bulb. The thermal reflector reflects the infrared energy emitted by the filament of the light bulb back into the filament, while transmitting a small portion of the electromagnetic radiation emitted by the filament. This reduces the amount of electrical energy that must be supplied to maintain the filament's operating temperature. For example, US Patent No. 3.9'192! ;No. 9, '1,0/'17! ;G No., No. % / A O, 9,2
No. 9 and No. 11.22'l//3 disclose the use of various types of heat reflectors in the whole or part of the bulb section of an incandescent lamp. However, 5
None of these cited patents disclose the application of forming an optical coating on the surface of a lamp bulb portion that operates in air at temperatures generally exceeding 0.000°C.
米国特許第11,0/z7!;1号には、ラングのフィ
ラメント胴部に一番近い位置に形成された金属酸化物の
厚くドープされたフィルターとこの厚くドープされた金
属酸化物に接触して配置されるが、それともランプの管
球部分の外表面に配置される多層膜干渉フィルターとの
複合フィルターから成るオプチカルコーティングによる
熱反射鏡の使用が教示されている。たとえば、この米国
特許第9θ/’17!ig号は両フィルターをランプの
管球部分の内壁に配置できること、両フィルターを外壁
に配置できること、あるいはフィルターの一方を内壁に
他方を外壁にそれぞれ配置できることを示唆している。U.S. Patent No. 11,0/z7! No. 1 has a heavily doped metal oxide filter formed closest to the filament body of the rung and is placed in contact with this heavily doped metal oxide; The use of a thermal reflector with an optical coating consisting of a composite filter with a multilayer interference filter placed on the outer surface of the bulb section is taught. For example, this US Patent No. 9θ/'17! No. ig suggests that both filters can be placed on the inside wall of the bulb portion of the lamp, both filters can be placed on the outside wall, or that one filter can be placed on the inside wall and the other on the outside wall.
この米国特許はまた二重壁式ランプ管球部分を使用する
特定の実施態様を開示していて、この実施態様において
ランプの管球部分の壁面に干渉フィルターとドープした
金属酸化物フィルターを組合わせて種々に配置するため
の方法を示唆している。この米国特許は同特許に開示の
複合フィルターをハロゲンランプに使用することについ
て特に言及しているけれども、ハロゲンランプの管球部
分の表面の動作温度に耐えることのできる干渉フィルタ
ーについては何も例示していない。この米国特許が言及
している高屈折率材料はセレン化亜鉛、硫化亜鉛及び二
酸化チタンだけである。すなわち、この米国特許は干渉
フィルターのコーティング薄膜中の低屈折率層として二
酸化シリコンを使用することについて言及しているし、
また二酸化シリコンが高tAFJffliに耐えること
は周知の事実であるが、同特許で言及されている高屈折
率材料はハロゲンランプの管球部分の外表面((おける
gθo0を越える高温環境に耐えることができない。This U.S. patent also discloses a particular embodiment using a double-walled lamp bulb section in which an interference filter and a doped metal oxide filter are combined on the wall of the lamp bulb section. It suggests various ways of arranging them. Although this U.S. patent makes specific reference to the use of the composite filter disclosed in the patent in halogen lamps, it does not exemplify an interference filter that can withstand the operating temperatures of the surface of the bulb portion of the halogen lamp. Not yet. The only high refractive index materials mentioned in this US patent are zinc selenide, zinc sulfide and titanium dioxide. That is, this US patent refers to the use of silicon dioxide as a low refractive index layer in a thin coating of an interference filter;
Furthermore, it is a well-known fact that silicon dioxide can withstand high tAFJffli, but the high refractive index material mentioned in the patent cannot withstand a high temperature environment exceeding gθo0 on the outer surface of the bulb portion of a halogen lamp. Can not.
したがって、本発明の目的は低屈折率の材料層と高屈折
率の材料層から成る光学的コーテイング膜であって、3
00℃を越える高温環境に耐え得る薄膜を提供すること
にある。Therefore, an object of the present invention is to provide an optical coating film consisting of a material layer with a low refractive index and a material layer with a high refractive index, the film comprising:
The purpose of the present invention is to provide a thin film that can withstand high temperature environments exceeding 00°C.
本発明の仙の目的は高温環境に耐えることの回部な多層
膜光学干渉フィルターを提供することにある。The main object of the present invention is to provide a multilayer optical interference filter that can withstand high temperature environments.
本発明の他の目的は高温環境において使用可能な熱反射
鏡であるオプチカルコーティングを提供することにある
。Another object of the present invention is to provide an optical coating that is a heat reflecting mirror that can be used in high temperature environments.
本発明のその上の目的はハロゲンサイクルランプ管球部
分であってその動作温度に耐える光学干渉フィルターを
その外表面に形成されて有するようなハロケ゛ンランゾ
管球部分を提供することにある。A further object of the present invention is to provide a halogen cycle lamp bulb section having an optical interference filter formed on its outer surface that withstands the operating temperatures thereof.
本発明のその上の目的社ランプ管球部分の外表面上に形
成された省エネルギー型光学干渉フィルターを有するハ
ロゲンランプを提供することにある0
本発明は少なくとも二酸化シリコンから主として成る第
1の組の層と五酸化タンタルから主として成る第一の組
の層から構成されたオプチカルコーティングは同オプチ
カルコーティングが空気中の高温環境で相当の期間作動
されるような場合にも高温環境に耐え得るという発見に
基いている。A further object of the invention is to provide a halogen lamp having an energy-saving optical interference filter formed on the outer surface of the lamp bulb portion. and a first set of layers consisting primarily of tantalum pentoxide, the discovery that the optical coating can withstand high temperature environments even when the optical coatings are operated in high temperature environments in air for significant periods of time. It is based.
低屈折率材料としての二酸化シリコンと二酸化チタンの
ような他の耐熱型高屈折率材料の組合わせは類似の高温
動作環境に耐えることができない。Combinations of silicon dioxide as a low refractive index material and other refractory high refractive index materials such as titanium dioxide cannot withstand similar high temperature operating environments.
本発明のオプチカルコーティングは小さい曲率半径を有
するハロケ゛ンランプ管球部分の外表面の高流環坤に耐
え得るということがまた見出されたが、それは熱の不釣
合によるコーティングの応力の間顕が曲率半径の小さい
ことによって強調されることに因る。It has also been found that the optical coating of the present invention can withstand high flow embedding on the outer surface of a halo tube lamp bulb section having a small radius of curvature, since the stress in the coating due to thermal imbalance is This is due to the fact that it is emphasized by being small.
したがって、本発明の特孕の−っは概ねso。Therefore, the term "-" in the special pregnancy of the present invention is generally so.
℃を越える高温環境で有効な、コーティングを施された
物品にあり、この特徴ある物品は高温環境に耐え得る材
料で形成された概ね透明な支持体とこの支持体の一方の
表面上に形成されると共に少なくとも二酸化シリコンか
ら主として成る第1の絹の層及び少な(とも五酸化タン
タルから主として成る第一の組の層で構成されたオプチ
カルコーティングとを包含する。このオプチカルコーテ
ィングは、たとえば、・その第1の組及び第一の組の交
互層で形成された干渉フィルターを包含する。A coated article that is effective in high temperature environments exceeding 30°F (°C) is characterized by a generally transparent support made of a material that can withstand high temperature environments and a coating formed on one surface of the support. and an optical coating comprising at least a first silk layer consisting primarily of silicon dioxide and a first set of layers consisting primarily of tantalum pentoxide. An interference filter formed of a first set and a first set of alternating layers is included.
この干渉フィルターは予め選択された駆/の波長を有す
る帯域中に含まれる輻射を透過させ隣接する波長領域中
に含まれる輻射を反射させるように設計された帯域透過
型フィルターを包含する。かかる帯域透過型フィルター
の特定の例としては可視光線に対する高い反射率と高い
赤外線反射率を有する熱反射鏡がある。別の例として、
帯域透過型フィルターは可視光線のスペクトルの予め選
択された部分に対しては高透迦率をまた隣接するスペク
トル領域に対しては高反射率を有するカラーフィルター
であってもよい。オプチカルコーティングが形成された
支持体は少なくとも約g o o ’cの、ラング管球
部分の外表面の温度で作動するハロケ3ン再生循環式白
熱ラングに使用するに適した溶融石英ランプ管球部分で
あってその外表面上に形成された干渉フィルターを有す
るようなランプ管球部分を包含する。The interference filter includes a bandpass filter designed to transmit radiation contained in a band having a preselected wavelength and reflect radiation contained in an adjacent wavelength range. A specific example of such a bandpass filter is a thermal reflector that has a high reflectance for visible light and a high reflectance for infrared light. As another example,
The bandpass filter may be a color filter having high transmittance for a preselected portion of the visible light spectrum and high reflectance for adjacent spectral regions. The optically coated support is a fused silica lamp bulb suitable for use in a haloke recirculating recirculating incandescent lamp operating at a temperature of the outer surface of the lamp bulb of at least about g o 'c. and includes a lamp bulb portion having an interference filter formed on an outer surface thereof.
本発明の別の特徴によれば概ね500℃を越え、る高温
環境で有効な物品が提供され、この物品は高温環境に耐
え得る材料で形成された概ね透明な支持体と、この支持
体の一方の表面上に形成されると共に赤外線輻射に対す
る高い反射率と可視光線に対する高い散乱特性を有する
多重層干渉フィルターとを包含する。この干渉フィルタ
ーは少なくとも二酸化シリコン及び五酸化タンタルがら
それぞれが主として成る交互層で構成された多重層誘電
体の積層を前記支持体の上に付着させ、ついで積層を付
着された支持体を空気中で少なくとも7100℃の温度
で冒焼付けることによって形成さ、hる。Another feature of the invention provides an article useful in high temperature environments, generally above 500° C., which article includes a generally transparent support formed of a material capable of withstanding high temperature environments; It includes a multilayer interference filter formed on one surface and having high reflectivity for infrared radiation and high scattering properties for visible light. The interference filter consists of depositing a multilayer dielectric stack consisting of alternating layers each consisting primarily of at least silicon dioxide and tantalum pentoxide on the support, and then exposing the support with the stack applied to the support in air. Formed by baking at a temperature of at least 7100°C.
本発明の別の特徴によればエネルギー効率の改善サレタ
ハロヶ゛ンランプが供給さハる。コノハロケ゛ンランプ
は焦点、焦直線または焦平面が内部に配管されるような
配置を有すると共に少なくとも約g00℃以下の動作温
奪に耐え得る概ね透明な材料で形成されたランプ管球部
分を包含する。高融点余積製のフィラメントがランプ管
球部分内で、しかも概ね焦点、焦直線または焦平面上に
配設され、管球部分を充填するためハロヶ゛ンガスが備
えられる。干渉フィルターがランプ管球部分の外表面上
に形成されるが、この干渉フィルターは少なくとも二酸
化シリコンと五酸化タンタルからそれぞれが主として成
る交互層で構成される。ハロゲンランプに形成された干
渉フィルターは可初光線に対する高い透過率と赤、外線
輻射に対する高い反射率を有する帯域透過型フィルター
であってもよい。あるいはまた、干渉フィルターは可視
光線ス被りトルの予め選択された部分に含まれる輻射に
対しては高透過率をまた隣接する波長領域に含まれる輻
射に対しては高反射率を有し、その結果予め選択された
色の光出力を有するランプが得られるような帯域透過型
フィルターを包含するものであってもよい。According to another feature of the invention, an energy efficient Sareta Halogan lamp is provided. Conohalophone lamps include a lamp bulb portion formed of a generally transparent material having an arrangement such that the focal point, focal line, or focal plane is plumbed therein and capable of withstanding an operating temperature of at least about 00° C. or less. . A filament of high melting point volume is disposed within the lamp bulb section and generally on the focal point, focal line or focal plane, and a halogen gas is provided to fill the bulb section. An interference filter is formed on the outer surface of the lamp bulb section and is comprised of alternating layers each consisting primarily of at least silicon dioxide and tantalum pentoxide. The interference filter formed on the halogen lamp may be a bandpass filter having high transmittance for initial light and high reflectance for red and external radiation. Alternatively, the interference filter has a high transmittance for radiation contained in a preselected portion of the visible light spectrum and a high reflectance for radiation contained in an adjacent wavelength range, and that It may also include a band-pass filter such that the result is a lamp with a light output of a preselected color.
ハロゲンランプに形成された干渉フィルターはまた二酸
化シリコンと五酸化タンタルの層からそれぞれが主とし
て構成された多重層積層であって、可視光線に対する高
い透過率と赤外線に対する高い反射率を有する誘電体の
多重層積層をランプ管球部分の外表面上に付着させ、つ
いでフィルターを可視光線透過フィルターから可視光線
を大体において散乱させるフィルターに変化させるため
にフィルターを付着された管球部分を空気中で少なくと
も約/10θ℃の温度で焼付けることによって形成され
た可視光線を散乱させ赤外線を反射するフィルターを包
含するものであってもよい。Interference filters formed in halogen lamps are also multilayer stacks of dielectric materials, each consisting primarily of layers of silicon dioxide and tantalum pentoxide, with high transmittance for visible light and high reflectance for infrared light. The multilayer laminate is deposited on the outer surface of the lamp bulb section, and the bulb section to which the filter is attached is then exposed to at least approximately The filter may include a filter that scatters visible light and reflects infrared rays, which is formed by baking at a temperature of /10θ°C.
本発明によるハロゲンランプはランプ管球部分の中で端
面反射鋳として使用される支持体の上に形昨された多重
層干渉フィルターを使用することもできる。The halogen lamp according to the invention can also use a multilayer interference filter cast on a support which is used as an end reflector in the lamp bulb section.
本発明は約goθ℃の温度で通常は動作する、ハロケ゛
ンランゾ管球部分の外表面上に光学的干渉性コーティン
グを直かに形成するのを可能にすることによりエネルギ
ー効率の改善をハロダン再生循環式ランプに対して適切
なしかたで行なうことを初めて可能にした。本発明を適
用した/S00ワットのハロゲン再循環式ランプについ
て、約2S%乃至30%の範囲内の性能向上が達成され
たのを測定した。この改善度はコーティングの動作温度
を下げるため赤外線反射コーティングをランプ管球の外
表面ををり囲み、しかもこの外表面から離れた表面に施
したとすれば実rには実現し得なかったに違、いない。The present invention improves energy efficiency by allowing the formation of an optically coherent coating directly on the outer surface of the halodane bulb section, which normally operates at temperatures of about 0.degree. C. For the first time, it became possible to do this in an appropriate way for lamps. Performance improvements in the range of about 2S% to 30% have been measured for /S00 watt halogen recirculation lamps incorporating the present invention. This degree of improvement would not have been possible in practice if an infrared reflective coating had been placed around the outer surface of the lamp bulb, and on a surface remote from this outer surface, in order to lower the operating temperature of the coating. Must.
本発明のオゾチカルコーティングは炉に使用する熱反射
窓、レーザのポンピング用うンノ、及び劇場の映写装置
などに使用されるアータラ/グの類の放電灯のような種
々の仙の高温環境においてもまた有効に適用されよう。The ozotic coating of the present invention can be used in various high-temperature environments such as heat-reflecting windows used in furnaces, laser pumping holes, and discharge lamps of the Artara/G type used in theater projection equipment. could also be effectively applied.
一般に、本発明は光学干渉フィルター型のオゾチカルコ
ーティングの性能がコーティングを施された装置の動作
効率やその他の動作上の状況の改善をもたらすような任
意の高温環境において使用できるオゾチカルコーティン
グの製作に適用可能である。In general, the present invention relates to the fabrication of ozotic coatings that can be used in any high temperature environment where the performance of the optical interference filter-type ozotic coating results in improvements in the operating efficiency or other operational conditions of the coated equipment. Applicable to
本発明のその他の目的、特徴及び利点はこれから述べる
詳細な説明を添付図面と共に読めば明らかとなる。Other objects, features, and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description, taken in conjunction with the accompanying drawings.
第1図を参照して、本発明の原理をノ・ロダン再生循環
式タングステンランf10への応用について述べる。し
かしながら、本発明の原理はオゾチカルコーティングが
有用であると認められた環境であればどんな高温環境に
も適用可能であると解すべきである。ハロダン再生循環
式ランプ10はランプ管球部分11を包含し、管球部分
は溶融石英管12と/対の端密閉・接続用構造物13を
含む。溶融石英管12の中心軸にそって、コイル状タン
グステンフィラメント15が複数個の支持用構造部材1
6によって支持される。端面反射鏡17をタングステン
フィラメント15の両端に備えることができる。製造工
程において、ハロケ9ンサイクルランプは封止端区画1
3を用いて石英管12を封止し、ついで管12を排側し
、最後に間管を適当な反応性ハロケ゛ン零囲側で再介壜
することにより形成される。With reference to FIG. 1, the application of the principle of the present invention to the No. Rodan regenerative circulation type tungsten run f10 will be described. However, it should be understood that the principles of the present invention are applicable to any high temperature environment in which ozotic coatings have been found useful. Halodan recirculating lamp 10 includes a lamp bulb section 11 that includes a fused silica tube 12 and/or a pair of end sealing and connecting structures 13 . Along the central axis of the fused silica tube 12, a plurality of coiled tungsten filaments 15 are attached to the supporting structural member 1.
Supported by 6. End reflectors 17 can be provided at both ends of the tungsten filament 15. In the manufacturing process, the Haloke 9 cycle lamp has sealed end section 1.
3 by sealing the quartz tube 12, then draining the tube 12, and finally refilling the tube with a suitable reactive halogen free side.
ハロゲンランプ10の動作中、ハロダンガスはフィラメ
ントから蒸発しているタングステンと反応する。反応ガ
スはタングステンフィラメントの高温表面上で化学反応
により分解され、したがってガス中のタングステン原子
はフィラメント上に堆積するが、ハロゲンは解放されて
追加の放出タングステン原子を捕捉する。ハロゲン再循
環式ランプが正常に動作するためには、石英管12をざ
θO0近辺の高温杯維持しなければならないが、一般に
これは石英管12の直径を比較的小さく保つことによっ
て達成される。たとえば、代表的なランプの場合、長さ
が約70インチ(−!ilIcIrL)で直径が約%イ
ンチ(qJsl+1りである。。During operation of the halogen lamp 10, the halodane gas reacts with the tungsten evaporating from the filament. The reactant gas is decomposed by a chemical reaction on the hot surface of the tungsten filament, so the tungsten atoms in the gas are deposited on the filament, while the halogens are liberated to capture additional released tungsten atoms. In order for a halogen recirculating lamp to operate properly, the quartz tube 12 must remain hot near θO0, which is generally accomplished by keeping the diameter of the quartz tube 12 relatively small. For example, a typical lamp has a length of about 70 inches (-!ilIcIrL) and a diameter of about % inches (qJsl+1).
本発明に従えば、オプチカルコーテイング膜14が石英
管12の外表面に堆積される。このオプチカルコーテイ
ング膜は少なくとも二酸化シリコンから主として成る第
1の組の層と少なくとも五酸化タンタルから主として成
る第コ、の組の層とから構成される。オプチカルコーテ
ィング14の設計はそのコーティングにとって望ましい
スペクトル特性に応じて多数の形態のうちの一つを取り
得る。一般に、オプチカルコーティング14は二酸化シ
リコンと五酸化タンタルの交互層が形成されて干渉フィ
ルターを形成するような7層以上の誘電体の積層から成
る。In accordance with the present invention, an optical coating film 14 is deposited on the outer surface of the quartz tube 12. The optical coating is comprised of at least a first set of layers consisting primarily of silicon dioxide and a second set of layers consisting primarily of at least tantalum pentoxide. The design of optical coating 14 can take one of a number of forms depending on the spectral properties desired for the coating. Generally, optical coating 14 consists of a stack of seven or more dielectric layers, such as alternating layers of silicon dioxide and tantalum pentoxide to form an interference filter.
便宜上、光学フィルタ一層は二酸化シリコン層とか五酸
化タンタル層と呼ばれるけれども、二酸化シリコン層は
二酸化シリコンだけから成るものではなく、同様にして
五酸化タンタル層も五酸化タンタルだけから成るもので
ないという点に留意すべきである。どちらの層の場合に
も、他の誘電体膜の構成成分が若干量存在しているので
ある。For convenience, one layer of an optical filter is called a silicon dioxide layer or a tantalum pentoxide layer, but the silicon dioxide layer is not made only of silicon dioxide, and similarly, the tantalum pentoxide layer is not made only of tantalum pentoxide. It should be kept in mind. In both layers, some components of other dielectric films are present.
たとえば、五酸化タンタルは二酸化チタンのような耐熱
性“の酸化物をも小さな百分率で含み得る。For example, tantalum pentoxide may also contain small percentages of refractory "oxides" such as titanium dioxide.
また留意すべき点は、オゾチカルフィルター14は幾つ
かの形態のうちの一つを取り得るが、かかる形態はその
どれもが次に述べる一般原理を具体化したものであると
(・うことである。その一般原理とは、かかる形態の一
つを取ったオゾチカルフィルターは選択反射性コーテイ
ング膜であるということ、すなわちかかる膜はランプ1
0が輻射を放出するのが望ましいようなスペクトル領域
における輻射に対しては概ね透明であるが、スペクトル
の残りの部分であって熱フィラメントにより電磁輻射の
放出が実質的に行なわれているスペクトルの部分にわた
っては概ね放出輻射を反射するということである。It should also be noted that the ozotic filter 14 can take one of several forms, each of which embodies the general principles described below. The general principle is that an ozotic filter in one of these forms is a selectively reflective coating, i.e. such a film is
0 is largely transparent to radiation in those regions of the spectrum where it is desirable to emit radiation, but in the remainder of the spectrum where the emission of electromagnetic radiation is substantially carried out by hot filaments. This means that the emitted radiation is generally reflected over the area.
オプチカルコーティング14の取ることのできる選択可
能な形態の一つがコーティングの設計14Aとして第2
図に描かれているが、その設計ノクラメータは添付の第
1表に記されている。このコーティングの全体特性が第
を図に描かれている。One of the selectable forms that optical coating 14 can take is a second coating design 14A.
As depicted in the figure, the design noclameter is listed in the attached Table 1. The overall properties of this coating are depicted in Figure.
破線のカーブ22が示すように、コーティング14Aは
’I 00 nm からg 00 nm までの電磁輻
射スペクトルの可視域において高い透過率を有すると共
にス4クトルの残りの部分にわたって、特にランプの熱
フィラメントからの電磁輻射の相当大きな放出が有る近
赤外領域においては第9図のカーブ21の示すように高
い反射率を有する。As the dashed curve 22 shows, the coating 14A has a high transmittance in the visible range of the electromagnetic radiation spectrum from I 00 nm to g 00 nm and is highly transparent over the remainder of the spectrum, especially from the hot filament of the lamp. In the near-infrared region, where there is a considerable amount of electromagnetic radiation emitted, the reflectance is high, as shown by curve 21 in FIG.
第3図は3,0θQ OK の黒体温度にあるケルビン
(にelvin) の黒体から放出された輻射エネル
ギースにクトルを示す。第3図によればハロダン再生循
環式ランプのフィラメントから放出された全輻射のうち
の僅かの百分率の部分しか’100 n−・ら700n
mにわたる可視光の領域には存在しないということが分
かる。放出された輻射の大部分はスペクトルの可視光線
の領域の長波長側に位置する赤外領域に存在する。ラン
プが加熱と照明の両目的に使用(・されるのでなければ
、ランプからの赤外線輻射の放出はエネルギーを無駄に
消費することになり、成る種の応用においては周囲環境
の望ましくない加熱を生じることになる。たとえば、強
力照明が要求される劇場や舞台の照明の場合、高輝度ラ
ンプによる加熱効果は歓迎されないが、それは照明され
る区域を過熱することに因る。可視光線を透し、赤死線
を反射するオプチカルコーティング14をランプ10に
施すことによって、放出輻射のうちの赤外線領域にある
部分は反射後にフィラメント15に戻され、このフィラ
メントの所でフィラメントの加熱を維持するという有用
な役目を果たすのみならず、加えてフィラメントにより
放出された可視光の主要部分はランプを通り抜けて周囲
環境を照明するという有用な作用を行なう。FIG. 3 shows the radiant energy emitted from a Kelvin blackbody at a blackbody temperature of 3,0θQ OK . According to FIG. 3, only a small percentage of the total radiation emitted by the filament of a Halodan recirculating lamp is between '100 n and 700 n.
It can be seen that it does not exist in the visible light region spanning m. Most of the emitted radiation is in the infrared region of the spectrum, located on the longer wavelength side of the visible region. Unless the lamp is used for both heating and illumination purposes, the emission of infrared radiation from the lamp wastes energy and, in some applications, results in undesirable heating of the surrounding environment. For example, in the case of theater or stage lighting where intense illumination is required, the heating effect of high-intensity lamps is unwelcome because it overheats the illuminated area. By providing the lamp 10 with an optical coating 14 that reflects the dead red rays, the part of the emitted radiation in the infrared region is reflected back to the filament 15, where it serves the useful role of maintaining the heating of the filament. In addition, a major portion of the visible light emitted by the filament passes through the lamp and performs the useful function of illuminating the surrounding environment.
第2図と第1表を参照して、第9図に描かれている全フ
ィルター特性は、この例では、3つの型の誘電体の積層
を組合わせて1つの全体としての干渉フィルター14A
にすることによって得られるということが分かる。第1
表に示すように、21−27の標識を付された層は(L
/2 HL/2 )3 として表現された誘電体の積
層の一般設計式を有する第1の誘電体積層lを形成する
が、この積層Iは? o onmの設計波長を有する短
波長透過型干渉フィルターを構成する。この短波長透過
型積層フィルターの分光反射率は第S図に描かれている
。With reference to FIG. 2 and Table 1, the overall filter characteristics depicted in FIG.
You can see that it can be obtained by doing. 1st
As shown in the table, the layers labeled 21-27 are (L
/2 HL/2 )3 Form a first dielectric stack l having the general design formula for a dielectric stack expressed as HL/2 )3 , where is this stack I? A short wavelength transmission interference filter having a design wavelength of o onm is constructed. The spectral reflectance of this short wavelength transmission multilayer filter is depicted in FIG.
この誘電体積層フィルターは短波長透過型積層フィルタ
ーと見做されるが、それはこのフィルターが?QQnm
の設計波長よりも短かい波長においては非常に低い
反射率を有し、9000m よりも長い波長においては
相当に高い反射率の区域を有することに因る。第2の誘
電体積層■はios。This dielectric laminated filter is considered to be a short wavelength transmission type laminated filter, but is that what it is? QQnm
This is due to the fact that it has a very low reflectivity at wavelengths shorter than the design wavelength of , and has areas of considerably higher reflectance at wavelengths longer than 9000 m 2 . The second dielectric stack ■ is ios.
nm の設計波長を有する2:/誘電体積層であって、
(LHL)4 として表現された誘電体積層の一般設
計式を有する。この2:/積層の分光反射率は第6図に
カーブ24として描かれている。2:/dielectric stack having a design wavelength of nm,
We have a general design formula for the dielectric stack expressed as (LHL)4. The spectral reflectance of this 2:/layer is depicted as curve 24 in FIG.
コーティング14Aに使用された第3の誘電体積層■は
/ / 00nmの設計波長を有する短波長透過型フィ
ルターであって、(L/2HL/2 )5 として表現
された誘電体積層の一般設計式を有する。誘電体積層I
、II、及びlの上記各設計式において、rLJは設計
波長において174波長の光学的厚さを有する低屈折率
材料(すなわち、この場合は二酸化シリコン)の層を指
す。同様にして、標示rHJは設計波長において174
波長の光学的厚さを有する高屈折率材料(すなわち、こ
の場合は二階化タンタル)の層を指す。設計式が(L/
2HL、/2)3である短波長透過型積層Iについて説
明するに、式中のV2層は皆設計波長において178波
長に等しい光学的、厚さを有する層であるということが
分かる。この物理的フィルターの実施態様において、積
層lの最初と最後の層、すなわち第1表の層21と27
は低屈折率材料である二酸化シリコンの正味の178波
長層である。これに反して、層23と25は174波長
層になるが、それはこの2つの層が同時に形成された2
つの178波長層から成ることに因る。同じ分析が(L
/2 HL/2 )の設計式の構成要素をSつ使用する
短波長透過型積層■に対しても当てはまる。層1と層1
1は1/8波長層であるのに対して、層3.5.7、及
び9は物理的に174波長層になり、これは2つの17
8波長層の和である。その上、実際にフィルターを構築
する際に、層11.11’、及び12は物理的に7つの
層となり、層20.20′及び21は′低屈折率の材料
である二酸化シリコンの物理的単一層となる。第2図の
右側の各層の名称は次のように解釈すべきである。すな
わち、HとLは前にも述べたように高屈折率材料と低屈
折率材料〜をそれぞれ指すのに対して、下に記した添え
字A、B、及びCは3つの異なる設計波長を指し、ここ
にAは900nmの設計波長を、Bは/ 0 !; O
nmの設計波長を、Cは/ / 00 nm の設計波
長を示す。The third dielectric stack ■ used in coating 14A is a short wavelength transmission filter with a design wavelength of / / 00 nm, and the general design formula for the dielectric stack is expressed as (L/2HL/2)5. has. Dielectric laminate I
, II, and l, rLJ refers to a layer of low index material (ie, silicon dioxide in this case) that has an optical thickness of 174 wavelengths at the design wavelength. Similarly, the label rHJ is 174 at the design wavelength.
Refers to a layer of high refractive index material (i.e., in this case tantalum bilayer) that has an optical thickness of a wavelength. The design formula is (L/
2HL, /2) 3, it can be seen that the V2 layers in the formula are all layers with an optical thickness equal to 178 wavelengths at the design wavelength. In this embodiment of the physical filter, the first and last layers of the stack l, i.e. layers 21 and 27 of Table 1,
is a net 178 wavelength layer of silicon dioxide, a low refractive index material. In contrast, layers 23 and 25 are 174-wavelength layers because they are formed at the same time.
This is due to the fact that it consists of two 178 wavelength layers. The same analysis is (L
This also applies to the short-wavelength transmission type stacked structure (2) that uses S components of the design formula of /2 HL/2). layer 1 and layer 1
1 is a 1/8 wavelength layer, whereas layers 3, 5, 7, and 9 physically become 174 wavelength layers, which are two 174 wavelength layers.
It is the sum of 8 wavelength layers. Moreover, when actually constructing the filter, layers 11, 11', and 12 are physically seven layers, and layers 20, 20', and 21 are 'physical layers of silicon dioxide, which is a low refractive index material. It becomes a single layer. The names of the layers on the right side of FIG. 2 should be interpreted as follows. That is, as mentioned earlier, H and L refer to high refractive index material and low refractive index material, respectively, whereas the subscripts A, B, and C below refer to three different design wavelengths. where A is the design wavelength of 900 nm and B is / 0! ; O
C indicates the design wavelength of / / 00 nm.
第1図に描かれているへログンサイクルランプ10に使
用して有用な他の型のオプチカルコーティングも有る。There are also other types of optical coatings that are useful for use in the Helogne cycle lamp 10 depicted in FIG.
たとえば、オプチカルコーティング18をラングの端面
反射鏡17の上に形成することができる。この場合、オ
プチカルコーティング18はフィラメント15から放出
された輻射の全成分を反射するように設計することがで
きるが、それはこのオプチカルコーティングは管球部分
12の空所内で端面反射鏡の方向に放出されたエネルギ
ーを維持しようとする傾向があり、ランプの管球部分1
2の空所内でこのオプチカルコーティング18はフィラ
メントを加熱するという有用な仕事を行ない、しかもも
しそうでないとしてもランプの内部温度を維持するよう
にするからである。For example, an optical coating 18 can be formed on the end face reflector 17 of the rung. In this case, the optical coating 18 can be designed to reflect all the components of the radiation emitted by the filament 15, since this optical coating is emitted in the cavity of the bulb part 12 in the direction of the end reflector. The bulb of the lamp tends to maintain its energy.
2, this optical coating 18 performs the useful job of heating the filament and, if not, maintaining the internal temperature of the lamp.
オプチカルフィルター14の他の設計が望ましいような
応用がまた有る。たとえば、ある種の応用においては、
ラングから出る着色光の出力が望まれることが有る。着
色光出力を得るための−っの方法はランプから放出され
た可視光を可視光スペクトルの所望成分だけを透す吸収
型カラーフィルターによってP光することである。しか
しながら、かかる吸収フィルターはランプから放出され
たエネルギーを浪費して、このエネルギをフィルターそ
れ自体の中で散逸させる。本発明によれば、オプチカル
コーティング14は可視スペクトルの選択された部分の
みを含む透過帯域を有するように設計することができ、
そのだめランプにより放出された輻射の前記部分だけが
ランプから出て行き、可視光と赤外線の部分を含む隣接
波長の輻射は皆反射してランプに戻されフィラメントに
達し、その結果ランプ全体としてのエネルギー効率が増
すことになる。ランプから放出して慾しい色に対応した
、可視光のスペクトルの部分においてだけ高い透過率を
有する狭帯域透過フィルターの設計は当業者に周知のこ
とであって、たとえば、エッチ、 ニー、 vりL/オ
ード氏(H−A−MacLeod)の1”Th1n F
ilm 0ptical Filters (薄膜光学
フィルター) J 、American Elsevi
er PublishingCmp’any、New
York (/ 9乙ヲ年)の第7章に記載されている
一般的教示を参照され度い。かがるフィルターはまだ7
962年10月に米国の国防総省から出版された、MI
L H8に’; /1lttの第20章に述べられて
いる概念にしだがって設計することもできる。第、20
章はApplication ofThin Film
Coatings (薄膜コーティングの応用)″
という題で、著者はPh1lip Baumeisfe
r (フィリップ バオマイスター氏)である。上記
画引用文献は本発明の原理を用いる、全誘電体光学フィ
ルターの設計及び設計概念を教示するものとして参考の
ため本明細書の中に含ませである。換言すれば、本発明
はあらゆる型のオプチカルフィルター、特に帯域透過型
まだはエツジ型のオプチカルフィルターに適用可能であ
ることに留意すべきである。There are also applications where other designs of optical filter 14 are desirable. For example, in some applications,
Colored light output from the rungs may be desired. One method for obtaining colored light output is to convert the visible light emitted by the lamp into P-light through an absorptive color filter that transmits only the desired components of the visible light spectrum. However, such absorption filters waste the energy emitted by the lamp and dissipate this energy within the filter itself. According to the invention, optical coating 14 can be designed to have a transmission band that includes only selected portions of the visible spectrum;
Instead, only that part of the radiation emitted by the lamp leaves the lamp; all the radiation of adjacent wavelengths, including the visible and infrared parts, is reflected back into the lamp and reaches the filament, so that the lamp as a whole Energy efficiency will increase. The design of narrowband transmission filters with high transmission only in that part of the visible light spectrum corresponding to the desired color emitted by the lamp is well known to those skilled in the art, and includes, for example, etch, knee, v-ray, etc. L/Mr. Ord (HA-MacLeod) 1” Th1n F
ilm Optical Filters J, American Elsevi
er PublishingCmp'any, New
Please refer to the general teachings contained in Chapter 7 of York (/9/2012). Kagaru filter is still 7
MI, published by the US Department of Defense in October 1962.
It can also be designed according to the concepts described in Chapter 20 of LH8';/1ltt. No. 20
The chapter is Application of Thin Film
Coatings (Application of thin film coating)''
The author is Ph1lip Baumeisfe.
r (Mr. Philippe Baomeister). The references cited above are incorporated herein by reference as teaching the design and design concepts of all-dielectric optical filters employing the principles of the present invention. In other words, it should be noted that the invention is applicable to all types of optical filters, especially band-pass and edge-type optical filters.
一般に、第1図に示すオプチカルコーティング14は標
準的な真空蒸着技術を利用して真空蒸着室中に置いたラ
ング管球部分110表面に形成される。たとえば1.直
径の小さなランプの管球部分へのオプチカルコーティン
グは、標準的な遊星歯車装置型の真空蒸着室中で、石英
ランプ管球部分の外表面の全部分が蒸着室内の蒸着源に
一様にさらされるように各石英ランプ管球部分自身もそ
の中心軸のまわりに回転するという回転の自由度を各ラ
ンプ管球部分が蒸着源のまわりに回転する自由度に追加
しでやることによって行なわれる。一般に、コーテイン
グ膜の二酸化シリコン層と五酸化タンタル層の両層が、
ガス反応様式で、少なくとも約27!;Cの温度に維持
されたコーテイング膜支持体の表面に蒸着される。電子
ビーム蒸着源と抵抗加熱型蒸着源のどちらかが使用され
る。ガス反応式蒸着は蒸着作業中に酸素ガスを蒸着室の
中に流入させる工程を包含する1曲率半径の小さなラン
プ管球部分の表面に施されるオプチカル7コーテイング
の歩留りをよくするため、蒸着源の石英管支持体に対す
る相対配置を蒸着材料の支持体に対する進入角が約35
0を越えないように行なうのが好ましいということが分
かった。Generally, the optical coating 14 shown in FIG. 1 is formed on a Lang tube section 110 placed in a vacuum deposition chamber using standard vacuum deposition techniques. For example 1. Optical coating of small diameter lamp bulbs is carried out in a standard planetary gear type vacuum deposition chamber, with the entire outer surface of the quartz lamp bulb uniformly exposed to the deposition source within the chamber. This is accomplished by adding a rotational degree of freedom in which each quartz lamp tube section itself rotates about its central axis to the degree of freedom in which each lamp tube section rotates around the deposition source. Generally, both the silicon dioxide layer and the tantalum pentoxide layer of the coating film are
In gas reaction mode, at least about 27! ; the coating film is deposited on the surface of the support maintained at a temperature of C; Either electron beam evaporation sources or resistance heated evaporation sources are used. Gas reaction deposition involves the process of flowing oxygen gas into the deposition chamber during the deposition process.In order to improve the yield of the optical 7 coating applied to the surface of the lamp tube section with a small radius of curvature, the deposition source is The approach angle of the vapor deposition material to the support is approximately 35
It has been found that it is preferable to do this so that the value does not exceed 0.
本発明の原理及び材料を用いたオプチカルコーティング
が製作され、l10OCまでの諸温度においてテストさ
れた。/10θC以下の温度では、フィルターの光学的
性能は概ね一定のままであって、コーティングの接着の
不具合、コーティングの吸収の増加、コーティングを構
成する層同志の相互拡散などの兆候は認められなかった
。コーティングを/ 10OCで長時間にわたって空気
中で焼付けると、コーティングは可視光を透し赤外線を
反射するフィルターから可視光を大体において散乱させ
赤外線を反射するフィルターに変えられるということを
見つけた。かがるフィルターの分光特性が第3図に描か
れている。オプチカルコーティングが空気中でこの高さ
の温度に相当の期間さらされると、コーティングは割れ
てスペクトルの可視光の部分では光をよく反射するが赤
外領域の輻射に対しては連続反射膜として現れるような
多数の小さい島に細分化される。第3図に示す分□
光特性は前述の表/に記した設計によるオプチカルコー
ティングに対するもので返る。可視域における散乱を最
適化し、しかも別な方法でフィルターの分光透過率、分
光反射率及び散乱応答特性を変更するような他の設計に
よってコーティングをこしらえることも可能である。Optical coatings using the principles and materials of the present invention have been fabricated and tested at temperatures up to 110°C. At temperatures below /10θC, the optical performance of the filter remained largely constant, with no signs of coating failure, increased coating absorption, or interdiffusion between the layers that make up the coating. . We have found that baking the coating at /10 OC for an extended period of time in air transforms the coating from a filter that transmits visible light and reflects infrared light to a filter that largely scatters visible light and reflects infrared light. The spectral characteristics of the filter are depicted in FIG. When an optical coating is exposed to temperatures of this temperature in air for a significant period of time, the coating cracks and appears as a continuous reflective film that reflects well in the visible part of the spectrum but reflects radiation in the infrared region. It is subdivided into many small islands. The optical properties shown in FIG. 3 are for an optical coating according to the design described in the table above. Other designs of coatings are possible that optimize scattering in the visible range, yet otherwise modify the spectral transmittance, spectral reflectance, and scattering response characteristics of the filter.
第2図に描かれ、かつ添付の第り表に記されたオプチカ
ルコーティングの設計を採用した実際のハロゲン再生循
環式ランプを製作し試験して、オプチカルコーティング
を施されたランプのエネルギー効率が改善されているこ
とを確認した。An actual halogen regeneration recirculating lamp employing the optical coating design depicted in Figure 2 and listed in the attached table was constructed and tested to improve the energy efficiency of optically coated lamps. I confirmed that it was.
/!f;00ワットのランプを試験して、2S%乃至3
0%の範囲の性能向上が実証された。この実証された性
能改善は30%乃至33%の範囲内にあるものとして計
算された百分率理論改善値とよい相関を示す。/! f;00 watt lamp tested, 2S% to 3
Performance improvements in the range of 0% were demonstrated. This demonstrated performance improvement correlates well with the calculated percentage theoretical improvement value, which is within the range of 30% to 33%.
前に指摘したように、本発明の原理は励起されたプラズ
マが種々の波長の光を放出するアーク放電灯のような他
の型のランプを使用する環境にも適用可能である。プラ
ズマ中には多数の自由電子が存在することに起因して、
プラズマは輻射のよい放射体であると同時によい吸収体
でもある。したがって、プラズマから放出された光の望
ましくない成分を反射させてプラズマに戻すという概念
は捷だ同様にしてアーク放電灯のエネルギー効率を改善
するはずである。本発明の原理はキャビティ内に配置さ
れたルビーロッドを取囲む複数個のフラッシュランプま
たは連続点灯の白熱ランプを光ポンピングのため使用す
る、レーザのポンピンク用ランプに適用可能である。ル
ビーレーザロッドはスペクトルのある特定の部分の光し
か透さないため、有用な光だけをレーザロッドに透すよ
うにするオプチカルコーティングを光ポンピング用ラン
フの表面に施すことによってランプのエネルギー効率の
改善を達成することが可能である。望捷しくない光は反
射してポンピング用ランプに戻されてランプの効率を改
善する。As previously pointed out, the principles of the present invention are also applicable to environments using other types of lamps, such as arc discharge lamps, where an excited plasma emits light of various wavelengths. Due to the presence of a large number of free electrons in plasma,
Plasma is both a good radiator and a good absorber. Therefore, the concept of reflecting undesirable components of light emitted from the plasma back into the plasma should similarly improve the energy efficiency of arc discharge lamps. The principles of the invention are applicable to laser pumping lamps that use a plurality of flash lamps or continuously lit incandescent lamps surrounding a ruby rod placed in a cavity for optical pumping. Since the ruby laser rod only transmits light in a certain part of the spectrum, the lamp's energy efficiency can be improved by applying an optical coating to the surface of the optical pumping lamp that allows only useful light to pass through the laser rod. It is possible to achieve this. Unwanted light is reflected back to the pumping lamp to improve lamp efficiency.
以−L本発明の原理をいくつかの選択的実施態様につい
て説明してきたけれども、本発明の種々の他の応用が当
技術分野の通常の知識を有する者にとっては自明である
ことは理解されよう。したがって、本発明は以上に記載
の特に例示した応用に限定されるものではなくて、コー
ティングが施された装置の特性のうちのある特徴を改善
するためにオプチカルコーティングが使用できるような
高温コーティング環境であればどんな環境にも本発明は
適用可能である。Although the principles of the invention have been described in terms of several selective embodiments, it will be appreciated that various other applications of the invention will be apparent to those of ordinary skill in the art. . Accordingly, the present invention is not limited to the specifically exemplified applications described above, but includes applications in high temperature coating environments where optical coatings can be used to improve certain features of the properties of the coated device. The present invention is applicable to any environment.
空気 1000 / lグsg バーg ss。Air 1000 / lg sg bar g ss.
2 2、/30 l29支持 /1003
i11!;g 1gg、kA //θθl
12./30 ’/29// /10034
41!;g/ざg!;6 /1006 2
、/30 /、29!//
/1007 1’1.!;g 1gg
、kA 1100g 2./3θ l29支
持 /100q l’13g 1gg31
./10010 2、/、30 /29.//
/100、/ i’l!;g 9’12g
k!;0、/l i’l!;g 9
’1.2g !;!;θ/、2 1’13g
/gO,00/θg。2 2, /30 l29 support /1003
i11! ;g 1gg, kA //θθl
12. /30'/29// /10034
41! ;g/zag! ;6 /1006 2
, /30 /,29! ///
/1007 1'1. ! ;g 1gg
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.. /10010 2, /, 30 /29. ///
/100, /i'l! ;g 9'12g
k! ;0, /l i'l! ;g 9
'1.2g! ;! ;θ/, 2 1'13g
/gO,00/θg.
/32./30 /23.211 /θSO
/9 1’l!g 31..000 .210
0Ig 2./30 /23.21j 1
0!;0/4 111kg 34θ00 .2
10017 2、/30 /23.211 1
0!r0」L む1 二皿ユ1とヒml 釦しユ
米/g l’lsg 360.00
2100/9 2,13o /aj、、:al
IiθSθ、20 にダ!;g /gO,00
3!;0.20’ l’13g 9’/、、2
g 3!;0.2/ /、’l!;g
77、/’I ’I!;022 2
、/30 10!;、A3 900.23
111!;g /3’1.2g
9002り 2./30 10左乙3
9゜02S /ニゲ!;g /!;ダコ
g 9θθ2t 2./30 1
0!;、1.3 900、!7 イ’I!
;g 77/’I ll30支持体
III乙O
来QWOT(すなわち、その波長において層が174波
長の光学的厚さをもつような基準波長)/32. /30 /23.211 /θSO
/9 1'l! g31. .. 000. 210
0Ig 2. /30 /23.21j 1
0! ;0/4 111kg 34θ00. 2
10017 2, /30 /23.211 1
0! r0"L Mu1 Two-plate Yu1 and Himl Button Shiyu rice/g l'lsg 360.00
2100/9 2,13o /aj,,:al
IiθSθ, 20 ni da! ;g/gO,00
3! ;0.20'l'13g 9'/,,2
g3! ;0.2/ /,'l! ;g
77, /'I 'I! ;022 2
, /30 10! ;, A3 900.23
111! ;g /3'1.2g
9002ri 2. /30 10 left side 3
9°02S / Nige! ;g/! ; Octopus g 9θθ2t 2. /30 1
0! ;, 1.3 900,! 7 I'I!
;g 77/'I ll30 support III O 2 QWOT (i.e., the reference wavelength at which the layer has an optical thickness of 174 wavelengths)
第1図は本発明によるオプチカルコーティングを施され
たハロゲンランプの部分断面立面図である。
第2図は本発明の原理を採用した設計による熱反射鏡コ
ーティングの部分立面図である。
第3図は黒体輻射の放出ス(クトルを示す。
第9図は本発明による例示のオプチカルコーティングの
、可視光線を透過し、赤外線を反射する特性を示す。
第S図は第2図に示す全オプチカルコーティングの溝成
成分である短波長透過型誘電体積層の分光反射特性のグ
ラフである。
第6図は第2図に描かれているオプチカルコーティング
の一構成成分として用いられた2:l誘電体積層の分光
反射特性のグラフである。
第7図は第2図に描かれているオプチカルコーティング
の一構成成分として使用された別の短波長透過型誘電体
積層の分光反射特性のグラフである。
第S図は本発明にしたがって作られた可視光線を散乱し
、赤外線を反射するオプチカルコーティングの分光゛透
過率、分光反射率及び散乱窓。答特性のグラフである。
10 ・・ ハロダン再生循環式ランプ11=・・・
管状部分
12・・・・溶融石英、同筒の容器、支持体14 ・・
・、オプチカルコーティング15 ・・・・ フィラメ
ント
17 ・・・1反射鏡
18 ・・ 多重層干渉フィルタ
FIG、−6
−
FIG、−8
特許庁長官 殿
1、事件の表示 昭和j7年特許願 第1コロ6o7号
2、発明の名称 高温で使用するに適したオノチヵル
コーティげ3、 補正をする者
事件との関係 出願人
4、代理人
5、補正命令の日付 昭和37年10月26日6、補
正の対象 願書 委任状 全図面−招FIG. 1 is an elevational view, partially in section, of an optically coated halogen lamp according to the present invention. FIG. 2 is a partial elevational view of a thermally reflective mirror coating designed employing the principles of the present invention. FIG. 3 shows the emission vector of blackbody radiation. FIG. 9 shows the visible light transmission and infrared reflection properties of an exemplary optical coating according to the present invention. 6 is a graph of the spectral reflection properties of a short wavelength transparent dielectric stack that is the groove component of the all-optical coating shown in FIG. 6. FIG. Figure 7 is a graph of the spectral reflection properties of another short wavelength transparent dielectric stack used as a component of the optical coating depicted in Figure 2; FIG. Regeneration circulation type lamp 11 =...
Tubular portion 12...Fused quartz, container of the same cylinder, support body 14...
・, Optical coating 15 ・・・ Filament 17 ・・ 1 Reflector 18 ・・ Multilayer interference filter FIG, -6 - FIG, -8 Commissioner of the Japan Patent Office 1, Indication of the case 1932 patent application Column 1 6o7 No. 2, Title of the invention: Onochikaru coatige suitable for use at high temperatures 3, Relationship with the case of the person making the amendment: Applicant 4, Attorney 5, Date of amendment order: October 26, 1960 6, Subject of amendment Application form Power of attorney All drawings - Invitation
Claims (1)
グを施された物品であって、高温環境に耐え得る材料で
形成された概ね透明な支持体と、この支持体の一方の表
面上に形成される°と共に少なくとも二酸化シリコンか
ら主として成る第1の組の層及び少なくとも五酸化タン
タルから主として成る第一の組の層で構成されたオプチ
カルコーティングとを包含することを特徴とするコーテ
ィングを施された物品。 コ 前記オプチカルコーティングは前記第1及び第一の
組の交互層で形成された干渉フィルターを包含する特許
請求の範囲第1項記載のコーティングを施された物品。 3 前記干渉フィル゛ターは、予め選択された第一の波
長を有する帯域中に含まれる輻射を透過させ、隣接する
波長領域中に含まれる輻射を反射させるよう設計された
帯域透過型フィルターである特許請求の範囲第2項記載
のコーティングを施された物品。 ダ 前記帯域透過型フィルターは、可視光線に対する高
い透過率と高い赤外線反射率を有する熱反射鏡である特
許請求の範囲第3項記載のコーティングを施された物品
。 り前記帯域透過型フィルターは可視光線に対する高い反
射率と高い赤外線透過率を有するコールド反射鋳である
特許請求の範囲第3項記載のコーティングを施された物
品。 乙 前記帯域透過型フィルターは可視光線のス被りトル
の予め選択された部分に対しては高透過率をまた隣接す
るス被りトル領域に対しては高反射率を有するカラーフ
ィルターである特許請求の範囲第3項記載のコーティン
グを施された物品。 7 前記支、持体は成形されて、少なくとも約goθ℃
の、ランプ管球部分の外表面の温度で作動するハロケ゛
ンサイクル白熱ランプに使用するに適したう/f管球部
分となった溶融石英を包含し、前記干渉フィルタは前記
ランプ管球部分の前記外表面上に形成される前記特許請
求の範囲第グ項乃至第6項の何れかに記敞のコーティン
グを施された物品。 ざ 概ね500℃を越える高温環境で有効なコーティン
グを施された物品であって、前記高温環境に耐え得る材
料で形成された概ね透明な支持体と、この支持体の一方
の表面上に形成されると共に赤外線輻射に対する高い反
射率と可視光線に対する高い散乱特性を有する多重層干
渉フィルターとを包含し、前記干渉フィルターは少なく
とも二酸化シリコンと五酸化タンタルからそれぞれが主
として成る交互層で構成された多重層誘電体の積層を前
記支持体の上に付着させ、ついで積層を付着された前記
支持体を空気中で少な(とも7100℃の温度で焼付け
ることによって形成されることを特徴とするコーティン
グを施された物品。 9 焦点、焦直線または焦平面が内部に配置されるよう
な配置を有すると共に少なくとも約g00℃以下の作動
温度に耐え得る概ね透明な材料で形成されたランプ管球
部分、前記ラング管球部分内で、しかも概ね前記焦点、
焦直線または焦平面上に配設された高融点金属製のフィ
ラメント、前言i″管球部分に充填されたハロケ゛ンガ
ス、及び前記ラング管球部分の外表面上に形成されると
共に少なくとも二酸化シリコンと五酸化タンタルからそ
れぞれが主として成る交互層で構hψされた干渉フィル
ターを包含することを特徴トスるハロゲンランプ。 10前記干渉フイルターは可視光線に対する高い透過率
と赤外線輻射に対する高い反射率を有する帯域透過型フ
ィルターである特許請求の範囲第9項記載のハロゲンラ
ンプ。 // 前記干渉フィルターは可視光線ス4クトルの予め
選択された部分に含まれる輻射に対しては高透過率を、
また隣接する波長領域に含まれる輻射に対しては諷反射
率を有し、そのため前記ランプの光出力は予め選択され
た色になるような帯域透過型フィルターである特許請求
の範囲第9項記載のハロゲンランプ。 /コ前記干渉フィルターは二酸化シリコンと五酸化タン
タルの前配層からそれぞれが主として構成された多重層
積7層であって、可?F光線に対する高い透過率゛と赤
外線に対する高い反射率を有する誘電体の多重層積層を
前記ランプ管球部分の前記外表面上に付着させ、ついで
前記フィルターを可視光線透過フィルターから可視光線
を大体において散乱させるフィルターに変化させるため
にフィルターを付着された前記管球部分を空気中で少な
くとも約/10θ℃の温度で焼付けることによって形成
された赤外線を反射し可視光線を散乱させるフィルター
である特許請求の範囲第9項記載の)・ロデンランプ。 /3.前記ラング管球部分は概ね円筒形の容器を包含し
、前記容器の両端には反射鏡が配置され、大体において
透明な材料で作られた前記反射鏡はその表面上に多重層
干渉フィルターを形成され、この多重層干渉フィルター
は少なくとも二酸化シリコンと五酸化タンタルからそれ
ぞれが主として故る交互層で構成されると共に、前記フ
ィラメントから放出された全輻射に対して高い反射率を
有する特許請求の範囲第9項、第1θ項、第1/項また
は第7.2項のいずれかに馬e載のハロゲンランプ。[Claims] / An article coated with a coating that is effective in high temperature environments exceeding approximately 500°C, comprising: a generally transparent support formed of a material that can withstand high temperature environments; and one of the supports. an optical coating formed on the surface and comprising at least a first set of layers consisting primarily of silicon dioxide and a first set of layers consisting primarily of at least tantalum pentoxide. Articles that have been treated with The coated article of claim 1, wherein the optical coating includes an interference filter formed of alternating layers of the first and first sets. 3. The interference filter is a band-pass filter designed to transmit radiation contained in a band having a preselected first wavelength and reflect radiation contained in an adjacent wavelength range. An article coated with a coating according to claim 2. The coated article according to claim 3, wherein the bandpass filter is a heat reflecting mirror having high transmittance for visible light and high reflectance for infrared rays. 4. The coated article of claim 3, wherein said bandpass filter is a cold reflective casting having high reflectance for visible light and high transmittance for infrared light. B. The band transmission filter is a color filter that has high transmittance for a preselected part of the visible light spectrum and high reflectance for an adjacent spectrum area. An article coated with a coating according to scope 3. 7. The supports and carriers are molded to a temperature of at least about goθ°C.
The interference filter includes fused silica in the tube section suitable for use in a halo-cycle incandescent lamp operating at the temperature of the outer surface of the lamp bulb section. An article having a coating as set forth in any one of claims 7 to 6 formed on its outer surface. An article that is coated with a coating that is effective in a high-temperature environment of approximately 500°C or more, comprising a generally transparent support made of a material that can withstand the high-temperature environment, and a coating formed on one surface of the support. a multilayer interference filter having high reflectance for infrared radiation and high scattering properties for visible light; A coating characterized in that it is formed by depositing a dielectric stack on said support and then baking said support with the stack applied in air at a temperature of at least 7100°C. 9. A lamp bulb portion formed of a generally transparent material having an arrangement such that a focal point, focal line or plane is located therein and capable of withstanding an operating temperature of at least about 00° C.; within the tube portion and generally at the focal point,
A filament made of a high-melting point metal disposed on the focal line or focal plane, a halogen gas filled in the aforementioned Lang tube portion, and at least silicon dioxide formed on the outer surface of the Lang tube portion. 1. A halogen lamp characterized in that it includes an interference filter constructed of alternating layers, each consisting essentially of tantalum pentoxide. 10. The interference filter is a band-transmissive lamp having a high transmittance for visible light and a high reflectance for infrared radiation. 10. The halogen lamp according to claim 9, which is a type filter. // The interference filter has a high transmittance for radiation contained in a preselected portion of the visible light spectrum;
Claim 9, wherein the filter is a band-transmissive filter that has an infrared reflectance for radiation contained in adjacent wavelength ranges, so that the light output of the lamp is of a preselected color. halogen lamp. Is it possible that the interference filter is a seven-layer multilayer stack, each consisting mainly of a prelayer of silicon dioxide and tantalum pentoxide? A multilayer stack of dielectrics having a high transmittance for F-rays and a high reflectance for infrared radiation is deposited on the outer surface of the lamp bulb section, and then the filter is applied to substantially transmit visible light from a visible light transmitting filter. A filter that reflects infrared rays and scatters visible rays formed by baking the tube portion to which the filter is attached in air at a temperature of at least about 100° C. to transform it into a scattering filter. range (as described in item 9)・Roden lamp. /3. The Lang tube portion includes a generally cylindrical vessel, and reflectors are disposed at opposite ends of the vessel, the reflectors made of a generally transparent material forming a multilayer interference filter on its surface. The multilayer interference filter is composed of alternating layers of at least silicon dioxide and tantalum pentoxide, each of which is mainly composed of silicon dioxide and tantalum pentoxide, and has a high reflectivity for the total radiation emitted from said filament. A halogen lamp mounted on any of Item 9, Item 1θ, Item 1/or Item 7.2.
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