JPS5857247A - X線管用回転陽極およびその製造方法 - Google Patents
X線管用回転陽極およびその製造方法Info
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- JPS5857247A JPS5857247A JP56155498A JP15549881A JPS5857247A JP S5857247 A JPS5857247 A JP S5857247A JP 56155498 A JP56155498 A JP 56155498A JP 15549881 A JP15549881 A JP 15549881A JP S5857247 A JPS5857247 A JP S5857247A
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- graphite base
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
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- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
- H01J35/108—Substrates for and bonding of emissive target, e.g. composite structures
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J2235/08—Targets (anodes) and X-ray converters
- H01J2235/083—Bonding or fixing with the support or substrate
- H01J2235/084—Target-substrate interlayers or structures, e.g. to control or prevent diffusion or improve adhesion
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、X線管用回転陽極およびその製造方法Kmす
る。
る。
熱容量が大きく、かつ大きいX線出力の得られるXIs
管用回転陽極は医療分野に用いるX線管において広く用
いられている。
管用回転陽極は医療分野に用いるX線管において広く用
いられている。
一般にこのような回転陽極のX線を照射する金属電極(
金属焦点部)としては、照射される電子ビームによる熱
衝撃に対する耐性が良好で、しかもX線発生効率のよい
WあるいはW合金(単KWという)が用いられている。
金属焦点部)としては、照射される電子ビームによる熱
衝撃に対する耐性が良好で、しかもX線発生効率のよい
WあるいはW合金(単KWという)が用いられている。
また、耐熱衝撃性を更に向上させるため、WfEの背面
に熱吸収体として比較的厚手のNo板を一体に接合して
用iることもすでに行なわれて9る。
に熱吸収体として比較的厚手のNo板を一体に接合して
用iることもすでに行なわれて9る。
しかしながら、近時、xII技術の進歩に伴Vh%連続
負荷あるいは瞬間的な高負荷人力に耐え得るような更に
熱容量の大きい回転陽極が要望されて−る。
負荷あるいは瞬間的な高負荷人力に耐え得るような更に
熱容量の大きい回転陽極が要望されて−る。
最近、このような要求に対処して、比重が小さく熱放射
能力にすぐれるグラファイトを基体とし、?−f)上K
X@照射面としてW板あるいはW板とMo板とを積層さ
せた複合板を一体的に9合した構造の回転陽極が開発さ
れている。
能力にすぐれるグラファイトを基体とし、?−f)上K
X@照射面としてW板あるいはW板とMo板とを積層さ
せた複合板を一体的に9合した構造の回転陽極が開発さ
れている。
従来、このようなグラファイト製基体を用いた回転陽極
は、短円柱上部に、金属焦点部に対応した円錐状テーパ
ー面を形成し九グラファイト製基体上に、例えdCVD
法によるしニウムの蒸着あるいはレニウムの粉末と有機
溶媒との混合スラリーの塗布乾燥によりレニウム層を形
成し、この上にW板ある−はMo板との複合板を皿状に
プレス成形した金属電極をのせ、還元雰囲気中で温度1
400〜1600℃、圧力150〜500 kg/am
”の東件でホットプレスにより一体に接合させて形成さ
れてvhる。
は、短円柱上部に、金属焦点部に対応した円錐状テーパ
ー面を形成し九グラファイト製基体上に、例えdCVD
法によるしニウムの蒸着あるいはレニウムの粉末と有機
溶媒との混合スラリーの塗布乾燥によりレニウム層を形
成し、この上にW板ある−はMo板との複合板を皿状に
プレス成形した金属電極をのせ、還元雰囲気中で温度1
400〜1600℃、圧力150〜500 kg/am
”の東件でホットプレスにより一体に接合させて形成さ
れてvhる。
しかるに、このような複合体をホットプレスで接合する
場合、Wの熱膨張率が5 X 10−’/d@gである
のに対してグラファイトのそれが2x10”/j・gと
両者の熱膨張率C差が大きいためホットプレス中、I!
#にその冷却工程で上記皿状の金属焦点部とグラファイ
ト製基体との接合面に歪が生じ割れを起こすという欠点
があった。
場合、Wの熱膨張率が5 X 10−’/d@gである
のに対してグラファイトのそれが2x10”/j・gと
両者の熱膨張率C差が大きいためホットプレス中、I!
#にその冷却工程で上記皿状の金属焦点部とグラファイ
ト製基体との接合面に歪が生じ割れを起こすという欠点
があった。
また、接合が完全に行なわれて41X線管に組み込まれ
て使用される際X線の照射を受けて高温となるため、熱
応力を生じてグラファイト製基体にクラックを生ずると
いう欠点もあった。
て使用される際X線の照射を受けて高温となるため、熱
応力を生じてグラファイト製基体にクラックを生ずると
いう欠点もあった。
本発明は、かかる従来の欠点に対処してなされたもので
、ホットプレス工程や使用中に割れを生ずることのなi
X線管用回転陽極およびその製造方法を提供しようとす
るものである。
、ホットプレス工程や使用中に割れを生ずることのなi
X線管用回転陽極およびその製造方法を提供しようとす
るものである。
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例のX線管用回転陽極の上面図
、第2図はその*両図である。
、第2図はその*両図である。
図にお−て1回転陽極lは皿状の金属焦点部2と、この
金属焦点部2の下面にホットプレスにより接合されたグ
ラファイト製基体3とから全体が構成されている。金属
焦点部2は、W板4とV・板5とを接合し、これをMg
I板5v内儒にして熱間加工により皿状に成形されて成
り、グラファイト製基体3は放射状に複数個に分割され
、各分割片3’+3’・・・ 3′が一定のスリットV
設けて断面円形となるよう配置されて―る。
金属焦点部2の下面にホットプレスにより接合されたグ
ラファイト製基体3とから全体が構成されている。金属
焦点部2は、W板4とV・板5とを接合し、これをMg
I板5v内儒にして熱間加工により皿状に成形されて成
り、グラファイト製基体3は放射状に複数個に分割され
、各分割片3’+3’・・・ 3′が一定のスリットV
設けて断面円形となるよう配置されて―る。
第5図は、他の実施例のグラ7アイF製基体6の部分斜
視図を示して−る。この実施例では各分割片6′は上部
に張り出し段部7が形成されてシリ、各分割片61の張
り出し段部7t/央き合せえとき各分割片6’*6’・
−・61間に所定のスリット8゜8・・・8が形成され
、しかも全体として円柱状をなすようになりて−る。こ
の実施例の回転電極では張り出し段部7がスペーサーの
作用をしてスリットの間隔がホットブVスエ1で変動す
るよ5なことはなくなる。
視図を示して−る。この実施例では各分割片6′は上部
に張り出し段部7が形成されてシリ、各分割片61の張
り出し段部7t/央き合せえとき各分割片6’*6’・
−・61間に所定のスリット8゜8・・・8が形成され
、しかも全体として円柱状をなすようになりて−る。こ
の実施例の回転電極では張り出し段部7がスペーサーの
作用をしてスリットの間隔がホットブVスエ1で変動す
るよ5なことはなくなる。
また第4図は、更に他の実施例のグラファイト製基体9
0部分斜視 においては、一体に成形されたグラファイト製基体9の
上部から,底部に連結部lOを残して放射状にスリット
11が形成されて埴る。この実7施例におーては,連結
部10 Kよりホットプレス中は勿論、セットの段階で
もスリット11の間隔は一定である。
0部分斜視 においては、一体に成形されたグラファイト製基体9の
上部から,底部に連結部lOを残して放射状にスリット
11が形成されて埴る。この実7施例におーては,連結
部10 Kよりホットプレス中は勿論、セットの段階で
もスリット11の間隔は一定である。
以上のよ5に構成された本発明のXil管用回転陽極は
以下のよう和して製造される。
以下のよう和して製造される。
まず、第2111および第s1gに示し大回転陽極の製
造方法にクーで説明する。
造方法にクーで説明する。
なシ、以下の各実施例の製造方法において,金属焦点部
の製造は従来法と同一であるのでグラファイト製基体の
製造方法および金属焦点部とグラファイト製基体との接
金方法につ−で説明する。
の製造は従来法と同一であるのでグラファイト製基体の
製造方法および金属焦点部とグラファイト製基体との接
金方法につ−で説明する。
第2図および第3I11に示し九実論例の製造にあたっ
ては,tず常法により金属焦点部に適合すべき頂部に円
錐状テーパー函を有する円柱状の一体構造のグラファイ
ト製基体3 、 (6)を常法により製造する0次に、
このグラファイト製基体31(6)を例えばダイヤモン
ドカッターにより、回転軸を含む平面(より放射状に複
数個に切断する。このとき切断する個数は、1600℃
から常温まで温度を下げたとき金属焦点部2とグラファ
イト製基体3゜(6)の藺に生じる応力が、グラファイ
ト製基体3゜(6)の強度限界内に収まるよ5に設定す
る。
ては,tず常法により金属焦点部に適合すべき頂部に円
錐状テーパー函を有する円柱状の一体構造のグラファイ
ト製基体3 、 (6)を常法により製造する0次に、
このグラファイト製基体31(6)を例えばダイヤモン
ドカッターにより、回転軸を含む平面(より放射状に複
数個に切断する。このとき切断する個数は、1600℃
から常温まで温度を下げたとき金属焦点部2とグラファ
イト製基体3゜(6)の藺に生じる応力が、グラファイ
ト製基体3゜(6)の強度限界内に収まるよ5に設定す
る。
このようにすれば、ホットプレス作業の後−1また使用
時のし一トサイクルによりてもグラファイト製基体3.
(6)に熱伸縮が原因のクラックが生じるようなことは
なくなる。
時のし一トサイクルによりてもグラファイト製基体3.
(6)に熱伸縮が原因のクラックが生じるようなことは
なくなる。
しかる後、この櫂数に分割されたグラファイト製基体分
割片3’、(6’)を第5図に示すよ5に、ホットプレ
ス内に配置され九、例えはダラファイト製の円筒状のI
I sz K収納して所定の形状にセットし、その上部
に金属焦点部2を波源させる。
割片3’、(6’)を第5図に示すよ5に、ホットプレ
ス内に配置され九、例えはダラファイト製の円筒状のI
I sz K収納して所定の形状にセットし、その上部
に金属焦点部2を波源させる。
このとき分割片3@、(6’)の下方には圧力を絢−に
保持させる丸めに肉厚のVe板13を敷き、各分割片3
’、(6’)間およびグラファイト製基体3e(6)底
面とM・板13間には、接合を防ぐ光め、また。
保持させる丸めに肉厚のVe板13を敷き、各分割片3
’、(6’)間およびグラファイト製基体3e(6)底
面とM・板13間には、接合を防ぐ光め、また。
これらの上部および下部#Cは圧力伝播のため、それセ
れ1例えばボロンナイトライド等の耐熱性の良好なセラ
ミック粉末14を介在させるようにする。なお、必g!
に応じて各分割片3’*(6’)間にセラきツク焼結体
から成るスペーサー15を介在させてもよい。このスペ
ーサーは金属焦点部2とグラファイト製基体3 、 (
6)とを接合させた後除去される。
れ1例えばボロンナイトライド等の耐熱性の良好なセラ
ミック粉末14を介在させるようにする。なお、必g!
に応じて各分割片3’*(6’)間にセラきツク焼結体
から成るスペーサー15を介在させてもよい。このスペ
ーサーは金属焦点部2とグラファイト製基体3 、 (
6)とを接合させた後除去される。
また、このとき第5図に示した実施例のように、分割片
゛61の一部に一定幅の張り出し段部7を形成しておけ
ば、この張り出し段部7%ニスペーサとして各分割片
61 間の間隔を容易に一定に保持することかできる
。
゛61の一部に一定幅の張り出し段部7を形成しておけ
ば、この張り出し段部7%ニスペーサとして各分割片
61 間の間隔を容易に一定に保持することかできる
。
各分割片3’s(s’)Mlの間隔は0.6〜1nun
程度が望ましい。
程度が望ましい。
上記のようにセットした後ホットプレスを行なえば、金
属焦点部2と各分割片3’t(6’)は一体に接合され
、放冷後スペーす−の耐熱性粉末を除去す^ば、それぞ
れ第2図および第5図に示したX線管用回転陽極が得ら
れる。
属焦点部2と各分割片3’t(6’)は一体に接合され
、放冷後スペーす−の耐熱性粉末を除去す^ば、それぞ
れ第2図および第5図に示したX線管用回転陽極が得ら
れる。
t*、第4図に示した実施例では、上記したグラファイ
ト製基体9が最終形状で固定されて%1hるノテ、ホッ
トプレスへのセットおよび仕上げ加工が著しく容易とな
る。
ト製基体9が最終形状で固定されて%1hるノテ、ホッ
トプレスへのセットおよび仕上げ加工が著しく容易とな
る。
なお、この実施例においても圧力を均一に加える光めス
リット内への耐熱性粉末の充填および円筒状の型12の
使用を行なうことが望ましい。
リット内への耐熱性粉末の充填および円筒状の型12の
使用を行なうことが望ましい。
また、第6図に示すようにグラファイト製基体3の上部
に金属体16 (M(1)を設け、グラファイト上面を
平面とすることも接合9度を高めるためによ−。この場
合のグラファイトは、例えばli7図のように構成する
。
に金属体16 (M(1)を設け、グラファイト上面を
平面とすることも接合9度を高めるためによ−。この場
合のグラファイトは、例えばli7図のように構成する
。
以−E説明したように本発明のX線管用回転陽極は製造
時の製品の不良率が低く、かつ使用の際σ〕耐久性がき
わめて高いものとなり、また、本発明の製造方法によれ
ばこれを比較的容易に効率よく製造することが可能であ
る。
時の製品の不良率が低く、かつ使用の際σ〕耐久性がき
わめて高いものとなり、また、本発明の製造方法によれ
ばこれを比較的容易に効率よく製造することが可能であ
る。
第1図は本発明のX線管用回転陽極の一実施例を示す上
面図、第2図は第1図の側面図、第3図。 第4図は本発明のX線管用回転陽極の他の実施例のグラ
ファイト製基体の部分斜視図、第5図はホットプレスの
状態を示す図、第6図および第7図は他の実施例を示す
図である。 l ・・・・・・・・・・・・回転陽極2 ・・・・・
・・・・・・・金属焦点部3.6.9・・・ グラファ
イト製基体3’、6’・・−・・・・・・分割片 4・・・・・・・・・・・・W板 5 ・・・・・・・・・・・・ Me fE7 ・・
・・・・・・・・・・張り出し段部8.11・・・・・
−・・・ スリット10 ・・・・−・・・・・・・連
結部12 ・・・・・・・・・・・・型 13 ・・・・・・・・・・・・輩・ 板14 ・
・・・・・・・・・・・ セラミック粉末15 −・・
・・・−・・・・・ スペーサー代理人弁理士 須山
佐−
面図、第2図は第1図の側面図、第3図。 第4図は本発明のX線管用回転陽極の他の実施例のグラ
ファイト製基体の部分斜視図、第5図はホットプレスの
状態を示す図、第6図および第7図は他の実施例を示す
図である。 l ・・・・・・・・・・・・回転陽極2 ・・・・・
・・・・・・・金属焦点部3.6.9・・・ グラファ
イト製基体3’、6’・・−・・・・・・分割片 4・・・・・・・・・・・・W板 5 ・・・・・・・・・・・・ Me fE7 ・・
・・・・・・・・・・張り出し段部8.11・・・・・
−・・・ スリット10 ・・・・−・・・・・・・連
結部12 ・・・・・・・・・・・・型 13 ・・・・・・・・・・・・輩・ 板14 ・
・・・・・・・・・・・ セラミック粉末15 −・・
・・・−・・・・・ スペーサー代理人弁理士 須山
佐−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、放射状に複数個のスリットを設けたグラファイト製
基体上面にホットプレスにより金属焦点部を接合して成
るX線管用回転陽極。 2、金属焦点部はWI[又はW板とMe @との複合板
から成ることを特徴とする特許請求の範aS1項記載の
X線管用回転陽極。 3、分割され九基体の個々の分割片の底部に、隣接する
分割片との関に間隙を形成する張り出し段部が形成され
て成ることを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2
項記載のxlI管用回転−極。 4、放射状に複数個に分割されたグラファイト製の個々
の分割片間にスペーサーを介挿させ1次埴でこのグラフ
ァイト製基体上に金属焦点部を載置して、ホットプレス
により一体に接合させ、しかる後帥記スペーサーを除去
することを特徴とするX線管用回転陽極の製造方法。 5、放射状に複数個に分割されたグラファイト製基体お
よび金属嬢点部を積層し耐熱粉末中でホットプレスによ
りグラファイト製基体と金属とを一体に接合することを
特徴とする特許請求の範囲第4項記載のxlI管用回転
陽極の製造方法。 6、 mがグラファイトから成ることをIfIiwl
とする特許請求の範囲第4項記載のx!I管用回転陽極
の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56155498A JPS5857247A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | X線管用回転陽極およびその製造方法 |
US06/422,178 US4531227A (en) | 1981-09-30 | 1982-09-23 | Rotary anode for X-ray tube |
AT0363082A AT388627B (de) | 1981-09-30 | 1982-09-30 | Drehanode fuer eine roentgenroehre und verfahren zu ihrer herstellung |
DE19823236386 DE3236386A1 (de) | 1981-09-30 | 1982-10-01 | Drehanode fuer roentgenroehren und verfahren zu ihrer herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56155498A JPS5857247A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | X線管用回転陽極およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5857247A true JPS5857247A (ja) | 1983-04-05 |
Family
ID=15607357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56155498A Pending JPS5857247A (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | X線管用回転陽極およびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4531227A (ja) |
JP (1) | JPS5857247A (ja) |
AT (1) | AT388627B (ja) |
DE (1) | DE3236386A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63193442A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-10 | Tokyo Tungsten Co Ltd | X線管用回転陽極 |
JP2010541172A (ja) * | 2007-10-02 | 2010-12-24 | ライス,ハンス−ヘニング | X線回転式陽極板とその製造方法 |
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FR2655190B1 (fr) * | 1989-11-28 | 1995-11-17 | Gen Electric Cgr | Anode pour tube a rayons x a resistance mecanique elevee. |
US6212753B1 (en) * | 1997-11-25 | 2001-04-10 | General Electric Company | Complaint joint for interfacing dissimilar metals in X-ray tubes |
US7079625B2 (en) * | 2003-01-20 | 2006-07-18 | Siemens Aktiengesellschaft | X-ray anode having an electron incident surface scored by microslits |
DE102005034687B3 (de) * | 2005-07-25 | 2007-01-04 | Siemens Ag | Drehkolbenstrahler |
CN101438373B (zh) * | 2006-05-05 | 2010-06-16 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 用于x射线管的阳极板及其制造方法 |
BR112015007858A2 (pt) * | 2012-10-12 | 2017-07-04 | Koninklijke Philips Nv | aparelho de formação de imagem radiográfica, e método de formação de imagem radiográfica |
US10804063B2 (en) * | 2016-09-15 | 2020-10-13 | Baker Hughes, A Ge Company, Llc | Multi-layer X-ray source fabrication |
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US31560A (en) * | 1861-02-26 | Arrangement of carriage-springs | ||
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DE1937351A1 (de) * | 1969-07-23 | 1971-02-04 | Siemens Ag | Drehanoden-Roentgenroehre |
DE1951383C3 (de) * | 1969-10-11 | 1974-08-29 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Röntgenröhren-Drehanode mit einem Verbundkörper aus einem Schwermetallteil und wenigstens einem Graphitteil und Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE2009538C3 (de) * | 1970-02-28 | 1975-01-09 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Röntgenröhren-Drehanodenteller, der durch radiale Trennfugen in Sektoren unterteilt ist |
AT315305B (de) * | 1971-03-16 | 1974-05-27 | Siemens Ag | Drehanode für Röntgenröhren |
NL7115946A (ja) * | 1971-11-19 | 1973-05-22 | ||
AT346981B (de) * | 1976-03-18 | 1978-12-11 | Plansee Metallwerk | Roentgendrehanode und verfahren zu deren herstellung |
US4168449A (en) * | 1976-10-29 | 1979-09-18 | Tokyo Shibaura Electric Co., Ltd. | Rotary anode for X-ray tube and a method for manufacturing the same |
GB2084124A (en) * | 1980-09-15 | 1982-04-07 | Gen Electric | Improved graphite X-ray tube target |
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1981
- 1981-09-30 JP JP56155498A patent/JPS5857247A/ja active Pending
-
1982
- 1982-09-23 US US06/422,178 patent/US4531227A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-09-30 AT AT0363082A patent/AT388627B/de not_active IP Right Cessation
- 1982-10-01 DE DE19823236386 patent/DE3236386A1/de not_active Ceased
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JPS63193442A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-10 | Tokyo Tungsten Co Ltd | X線管用回転陽極 |
JP2010541172A (ja) * | 2007-10-02 | 2010-12-24 | ライス,ハンス−ヘニング | X線回転式陽極板とその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4531227A (en) | 1985-07-23 |
ATA363082A (de) | 1988-12-15 |
AT388627B (de) | 1989-08-10 |
DE3236386A1 (de) | 1983-04-14 |
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