JPS5823696B2 - キタイホウデンヒヨウジソウチ - Google Patents
キタイホウデンヒヨウジソウチInfo
- Publication number
- JPS5823696B2 JPS5823696B2 JP50047214A JP4721475A JPS5823696B2 JP S5823696 B2 JPS5823696 B2 JP S5823696B2 JP 50047214 A JP50047214 A JP 50047214A JP 4721475 A JP4721475 A JP 4721475A JP S5823696 B2 JPS5823696 B2 JP S5823696B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- dielectric layer
- discharge
- voltage
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、気体放電表示装置つまり気体放電を利用し
て表示するプラズマディスプレイに関し、特に該装置の
１駆動電極上に設けられる誘電体層の改良に関するもの
である。
て表示するプラズマディスプレイに関し、特に該装置の
１駆動電極上に設けられる誘電体層の改良に関するもの
である。
交流駆動による気体放電表示装置、いわゆるプラズマ・
ディスプレイは、平らな表示面あるいは個有の記憶機能
といった特徴をもつ表示装置であって、従来の表示装置
の構成例を第１図の断面図に示す。
ディスプレイは、平らな表示面あるいは個有の記憶機能
といった特徴をもつ表示装置であって、従来の表示装置
の構成例を第１図の断面図に示す。
この装置では、ガラス基板１．２上にそれぞれ複数個の
平行な駆動電極３．４を形成し、さらにこの電極３．４
をおおう誘電体層５．６を形１ｆｆｌしたものを２枚１
組として、それぞれの電極３．４が直交するようにして
対面させ、放電空間８を保ったｔ−ま封着物質７を用い
て固着封止し、次に放電空間８内を排気し、希ガスある
いは、窒素、酸素などの気体を適量封入した後気密に封
止したもので、表示に際しては、夫々の複数個の電極３
．４（但し、図の場合電極４は１個）のうち選択した一
対のものに垂直および水平駆動用の電圧として封入気体
の放電開始電圧以上の電圧を印加すれば１選択された一
対の電極組が交叉する点で放電し発光する。
平行な駆動電極３．４を形成し、さらにこの電極３．４
をおおう誘電体層５．６を形１ｆｆｌしたものを２枚１
組として、それぞれの電極３．４が直交するようにして
対面させ、放電空間８を保ったｔ−ま封着物質７を用い
て固着封止し、次に放電空間８内を排気し、希ガスある
いは、窒素、酸素などの気体を適量封入した後気密に封
止したもので、表示に際しては、夫々の複数個の電極３
．４（但し、図の場合電極４は１個）のうち選択した一
対のものに垂直および水平駆動用の電圧として封入気体
の放電開始電圧以上の電圧を印加すれば１選択された一
対の電極組が交叉する点で放電し発光する。
この場合の放電開始電圧は、間隙長、封入気体の種類と
圧力、および誘電体層５．６の特性などによって定まる
。
圧力、および誘電体層５．６の特性などによって定まる
。
このようにしていったん放電を開始する払電離によって
生成した陽イオンおよび電子は、空間８内をそれぞれ反
対極性の駆動電極４．３の方向へ移動し、誘電体層５．
６の表面に衝突し、付着して壁電荷を形成する。
生成した陽イオンおよび電子は、空間８内をそれぞれ反
対極性の駆動電極４．３の方向へ移動し、誘電体層５．
６の表面に衝突し、付着して壁電荷を形成する。
この壁電荷は、放電空間８内に、はじめの印７′Ｊ［］
電圧とは反対向きの電界をつくるため、これらが互いに
打消し合って放電はただちに停止する。
電圧とは反対向きの電界をつくるため、これらが互いに
打消し合って放電はただちに停止する。
この状態において、剛力＋［圧の向きを逆転すると、空
間８内の電界は、印加電圧によるものと、壁電荷による
ものの和となるため、ここでの印力ｎ電圧は、初めの放
電開始電圧よりも低い値で放電する。
間８内の電界は、印加電圧によるものと、壁電荷による
ものの和となるため、ここでの印力ｎ電圧は、初めの放
電開始電圧よりも低い値で放電する。
すなわち、いったん放電を開始した後は、放電開始電圧
よりも低い交流１駆動電圧をかけておけば、放電は間歇
的に持続する。
よりも低い交流１駆動電圧をかけておけば、放電は間歇
的に持続する。
これがプラズマパネルの記憶機能といわれるものである
。
。
以上で明らかなようにこの表示装置では、誘電体層５．
６が、動作電圧の決定あるいは記憶機能の生成上１重要
な役割を果たしている。
６が、動作電圧の決定あるいは記憶機能の生成上１重要
な役割を果たしている。
そしてこの誘電体層に要求される特性としては、１）、
放電開始電圧以上の電気的耐圧を有すること。
放電開始電圧以上の電気的耐圧を有すること。
２）、壁電圧を保持するために電気抵抗が高いこと。
３）、電子およびイオンの表面衝撃に対して安定でｊあ
ること。
ること。
４）、１回の放電々流を増し、また放電間隙に掛る電圧
を大きくするために静電容量が大きいこと。
を大きくするために静電容量が大きいこと。
５）、膨張係数が基板ガラス１．２とほぼ一致すること
。
。
６）、光透過性を有すること。
７）、放電開始電圧を低くするため表面の光電効果が大
きいこと等である。
きいこと等である。
ここで６）の光透過性と、２）の電気的抵抗が高いこと
５）の膨張係数とをあわせ考えれば誘電シ体層の主材と
しては一般にガラス材が選ばれる。
５）の膨張係数とをあわせ考えれば誘電シ体層の主材と
しては一般にガラス材が選ばれる。
このガラス材の中で１）の電気的耐圧を得るためには層
の厚さは厚い程良く、逆に４）の静電容量を大きくする
ためには薄い程良い。
の厚さは厚い程良く、逆に４）の静電容量を大きくする
ためには薄い程良い。
従来の表示装置ではこの誘電体層５．６として１高鉛含
有の低融点ガラスが用いられた。
有の低融点ガラスが用いられた。
この種のガラスはその組成を調整することによって、基
板ガラスと膨張係数を一致させることが比較的簡単であ
り、また層形成手段として、粉末ガラスを沈降塗布した
後、加熱溶融する方法を用いることが。
板ガラスと膨張係数を一致させることが比較的簡単であ
り、また層形成手段として、粉末ガラスを沈降塗布した
後、加熱溶融する方法を用いることが。
できた。
ただしこの場合基板ガラス１．２の変形を小さく抑えて
均一な膜を作成するには４０ミクロン以上の膜厚が必要
であった。
均一な膜を作成するには４０ミクロン以上の膜厚が必要
であった。
この高鉛含有ガラスの欠点は前記要求される特性３）の
電子およびイオンの衝撃による劣化が激しいことと、４
０ミクロン以上という耐圧には必要以上の膜厚が均一化
のためにいることであった。
電子およびイオンの衝撃による劣化が激しいことと、４
０ミクロン以上という耐圧には必要以上の膜厚が均一化
のためにいることであった。
これらの欠点の１つの電子およびイオンの衝撃による劣
化を防止するために、この従来の高鉛含有ガラス上を安
定な酸化物で被覆する方法が考案され実験された（放電
研究扁５９ １２（１９５０）放電研究グループ発行）
。
化を防止するために、この従来の高鉛含有ガラス上を安
定な酸化物で被覆する方法が考案され実験された（放電
研究扁５９ １２（１９５０）放電研究グループ発行）
。
しかしこれとても、パネル封着時の加熱によって高鉛含
有ガラスが溶融し、表面層との高速度の拡散および化合
物化が起ることと、表面層の地下である鉛ガラスが溶融
することによって表面層にクランクが入り鉛ガラスが表
面に噴出するために、放電特性にバラツキを生じること
であった。
有ガラスが溶融し、表面層との高速度の拡散および化合
物化が起ることと、表面層の地下である鉛ガラスが溶融
することによって表面層にクランクが入り鉛ガラスが表
面に噴出するために、放電特性にバラツキを生じること
であった。
この発明はこれらの点を考慮して、基板ガラス１．２の
電極上に真空蒸着またはスパッタ法により高融点ガラス
を厚さ５ミクロン以上に蒸着し、この上に光電効果の高
い酸化物層を同じく真空蒸着法で作成することによって
上記欠点を除去したものである。
電極上に真空蒸着またはスパッタ法により高融点ガラス
を厚さ５ミクロン以上に蒸着し、この上に光電効果の高
い酸化物層を同じく真空蒸着法で作成することによって
上記欠点を除去したものである。
確に真空蒸着法は既存の技術であシ、真空蒸着法によっ
て誘電体層を形成する着想は従来からあったが、基板ガ
ラス１．２と誘電体層の膨張係数を真空蒸着法を用いて
一致させることは後述するように技術的にむづかしく、
誘電体層にクラックが発生し、絶縁耐圧が保持できない
ので実用化に到っていない。
て誘電体層を形成する着想は従来からあったが、基板ガ
ラス１．２と誘電体層の膨張係数を真空蒸着法を用いて
一致させることは後述するように技術的にむづかしく、
誘電体層にクラックが発生し、絶縁耐圧が保持できない
ので実用化に到っていない。
この発明は、このような点を考慮して技術的に可能なら
しめたものである。
しめたものである。
第２図にこの発明の一実施例を示すが、第１図の従来の
場合との比較便宜上、該当部分は同一符号を用いるもの
とすると１．２は基板ガラス、３．４は駆動電極、５，
６は誘電体層、７は封着物質、８は放電空間であり、９
．１０は表面層である。
場合との比較便宜上、該当部分は同一符号を用いるもの
とすると１．２は基板ガラス、３．４は駆動電極、５，
６は誘電体層、７は封着物質、８は放電空間であり、９
．１０は表面層である。
基板ガラス１としては面精度が高いために適材であるソ
ーダライムガラスのフロート製法による板ガラスを用い
ており、市販品の膨張係数は約８９×１０−７／℃であ
る。
ーダライムガラスのフロート製法による板ガラスを用い
ており、市販品の膨張係数は約８９×１０−７／℃であ
る。
この基板がラス１の上に誘電体層５．６を生成するので
あるが、この層としてはアルミニウム珪酸ガラスまたは
硼珪酸ガラスを５ミクロン以上の厚さに真空蒸着または
スパッタ法により膜形成上さらにこの膜の上に３０００
〜１００００人の厚さに放電特性が優れた酸化物膜を同
じく真空蒸着法またはスパッタ法によって形成したもの
である。
あるが、この層としてはアルミニウム珪酸ガラスまたは
硼珪酸ガラスを５ミクロン以上の厚さに真空蒸着または
スパッタ法により膜形成上さらにこの膜の上に３０００
〜１００００人の厚さに放電特性が優れた酸化物膜を同
じく真空蒸着法またはスパッタ法によって形成したもの
である。
このようにして得られた膜の電気的耐圧は２５０■以上
であシ、封着温度以上の５００°Ｃの加熱に耐える。
であシ、封着温度以上の５００°Ｃの加熱に耐える。
また放電特性は表面層の酸化物によって異るが第３図の
時間−電圧曲線に示すように良好である。
時間−電圧曲線に示すように良好である。
この技術の発明はつぎの３つの現象の解明にもとすいて
行なわれたものである。
行なわれたものである。
１）クラックが生じないために許容される基板ガラスと
誘電体層の膨張係数の許容差は第４図のグラフに示すよ
うに誘電体層の厚さに依存し、Ｄ ５ミクロンの厚さでは±１５ＸＩＯ／°Ｃ程度である。
誘電体層の膨張係数の許容差は第４図のグラフに示すよ
うに誘電体層の厚さに依存し、Ｄ ５ミクロンの厚さでは±１５ＸＩＯ／°Ｃ程度である。
２）真空蒸着またはスパッタ法でガラスのような複合酸
化物を蒸発またはスパッタさせると、複合酸化物の中の
蒸気圧が高い一般に膨張係数が大きい酸化物の蒸発速度
がその組成比に比較して大きく、形成された膜の膨張係
数はその組成によって異るがアルミニウム珪酸ガラス、
例えばガラスコード番号１７２ｏや硼珪酸ガラス、ガラ
スコード番号７０５６では３５〜４０Ｘ１０−７／℃程
度増カ目する。
化物を蒸発またはスパッタさせると、複合酸化物の中の
蒸気圧が高い一般に膨張係数が大きい酸化物の蒸発速度
がその組成比に比較して大きく、形成された膜の膨張係
数はその組成によって異るがアルミニウム珪酸ガラス、
例えばガラスコード番号１７２ｏや硼珪酸ガラス、ガラ
スコード番号７０５６では３５〜４０Ｘ１０−７／℃程
度増カ目する。
３）気体放電パネルとして使用可能な電気的耐圧はこの
発明にもとすく誘電体層の場合、蒸着ガラスの厚さ３μ
ｍで１８０Ｖ、５μｍでは２５０Ｖ以上あり５μｍ以上
であれば充分であることがわかる。
発明にもとすく誘電体層の場合、蒸着ガラスの厚さ３μ
ｍで１８０Ｖ、５μｍでは２５０Ｖ以上あり５μｍ以上
であれば充分であることがわかる。
以上の結果からアルミニウム珪酸ガラスや硼珪酸ガラス
を５μｍの厚さで基板に真空蒸着する場合、基板ガラス
より３５〜４０Ｘ１０ ”／℃程度小さく膨張係数を
設定し、この設定値から±１５×１０−７／℃の範囲内
にあるガラス材を蒸着すればよい。
を５μｍの厚さで基板に真空蒸着する場合、基板ガラス
より３５〜４０Ｘ１０ ”／℃程度小さく膨張係数を
設定し、この設定値から±１５×１０−７／℃の範囲内
にあるガラス材を蒸着すればよい。
なおアルカリガ゛ラスについてはアルカリ酸化物の蒸発
速度が非常に太きく形成された膜の膨張係数と大巾に異
るので、現時点ではアルカリ成分のないまたは少ない低
アルカリまたは無アルカリが望ましい。
速度が非常に太きく形成された膜の膨張係数と大巾に異
るので、現時点ではアルカリ成分のないまたは少ない低
アルカリまたは無アルカリが望ましい。
表面層の酸化物については先ず電子やイオンの衝撃に対
して安定なことが望まれる。
して安定なことが望まれる。
つぎに放電特性が優れていることが重要である。
膨張係数については第４図に示したように層の厚さを薄
くすることによって許容範囲が増大するので、むしろ放
電特性および衝撃による劣化防止を主体に選択し得る。
くすることによって許容範囲が増大するので、むしろ放
電特性および衝撃による劣化防止を主体に選択し得る。
劣化防止のために酸化物生成熱を１００ｋ ｃ ａ ｌ
／ｍｏ １ 以上を基準に選定するのが一つの方法で
、また放電特性としては光電効果の大きなものがよく、
結局下記の表に示した周期律表の中の大枠で囲んだ部分
の原素の酸化物が寿命も１万時間以上あり、放電特性も
優れている。
／ｍｏ １ 以上を基準に選定するのが一つの方法で
、また放電特性としては光電効果の大きなものがよく、
結局下記の表に示した周期律表の中の大枠で囲んだ部分
の原素の酸化物が寿命も１万時間以上あり、放電特性も
優れている。
以上に説明したように、この発明による低または無アル
カリガラスによる誘電体層およびアルカリ土類酸化物ま
たは希土類酸化物で形成された表面層を備えた気体放電
表示装置は動作電圧および記憶機能等に関しては従来品
と同等またはそれ以上の性能を有し、なおかつ、表示時
の放電衝撃に十分耐えうるため、すぐれた安定性と耐久
性を有しており、従来品に比べてはるかに長寿命で安定
度の高いものである。
カリガラスによる誘電体層およびアルカリ土類酸化物ま
たは希土類酸化物で形成された表面層を備えた気体放電
表示装置は動作電圧および記憶機能等に関しては従来品
と同等またはそれ以上の性能を有し、なおかつ、表示時
の放電衝撃に十分耐えうるため、すぐれた安定性と耐久
性を有しており、従来品に比べてはるかに長寿命で安定
度の高いものである。
第１図の従来の気体放電表示装置の主要部の構成を示す
断面図、第２図はこの発明の一実施例の断面図、第３図
は良好な実施例の時間−電圧特性曲線、第４図は誘電体
層の膨張係数の許容差を示すグラフである。 図において１．２は基板ガラス、３．４は駆動電極、５
．６は誘電体層、７は封着物質、８は放電空間、９．１
０は表面層である。 図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示す。
断面図、第２図はこの発明の一実施例の断面図、第３図
は良好な実施例の時間−電圧特性曲線、第４図は誘電体
層の膨張係数の許容差を示すグラフである。 図において１．２は基板ガラス、３．４は駆動電極、５
．６は誘電体層、７は封着物質、８は放電空間、９．１
０は表面層である。 図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 一面に駆動電極とこれを覆う誘電体層とが形成され
た２枚の基板ガラスを、上記電極形成面を内面として対
向させ、所定間隙を保って周囲を気密に封止し、かつ内
部に形成された放電空間内に放電気体を適量封入した後
気密に封止した装置であって、酸化ケイ素、酸化ホウ素
、酸化アルミニウムを含みアルミニウムケ／（゛酸ガラ
スまたはホウケイ酸ガラスの５ミクロン以上の厚さの形
成膜の誘電体層と、前記誘電体層表面の３０００〜１０
０００人厚形成薄膜のアルカリ土類酸化物または希土類
酸化物の表面層とを備えることを特徴とする気体放電表
示装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の誘電体層と基板ガラス
との膨張係数の許容差が±１５Ｘ １０−１／°Ｇの範
囲にある気体放電表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50047214A JPS5823696B2 (ja) | 1975-04-17 | 1975-04-17 | キタイホウデンヒヨウジソウチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50047214A JPS5823696B2 (ja) | 1975-04-17 | 1975-04-17 | キタイホウデンヒヨウジソウチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS51121251A JPS51121251A (en) | 1976-10-23 |
| JPS5823696B2 true JPS5823696B2 (ja) | 1983-05-17 |
Family
ID=12768895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50047214A Expired JPS5823696B2 (ja) | 1975-04-17 | 1975-04-17 | キタイホウデンヒヨウジソウチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5823696B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0541840Y2 (ja) * | 1988-05-23 | 1993-10-21 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02132731A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-22 | Fujitsu General Ltd | カラー表示用ｐｄｐの螢光体膜およびその形成方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4834479A (ja) * | 1971-08-31 | 1973-05-18 |
-
1975
- 1975-04-17 JP JP50047214A patent/JPS5823696B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4834479A (ja) * | 1971-08-31 | 1973-05-18 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0541840Y2 (ja) * | 1988-05-23 | 1993-10-21 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS51121251A (en) | 1976-10-23 |
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