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JPS58206143A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

Info

Publication number
JPS58206143A
JPS58206143A JP57088008A JP8800882A JPS58206143A JP S58206143 A JPS58206143 A JP S58206143A JP 57088008 A JP57088008 A JP 57088008A JP 8800882 A JP8800882 A JP 8800882A JP S58206143 A JPS58206143 A JP S58206143A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor device
lead wire
semiconductor element
semiconductor
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57088008A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiaki Sano
義昭 佐野
Haruki Nakazawa
中沢 春樹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP57088008A priority Critical patent/JPS58206143A/ja
Publication of JPS58206143A publication Critical patent/JPS58206143A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • H01L23/31Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • HELECTRICITY
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の技術分野 本発明は半導体装置、特に、半導体素子を樹脂封止し、
放熱フィン及び複叡本のリードSt−樹脂面より無量又
は突出して成る半導体装置に係る。
(2)従来技術と問題点 放熱フィンを有する半導体装置、例えばトランジスター
をm脂封止して調造する場合の従来例を第1図及び第2
図を参照して説明する。第1図はそうした半導体装置の
内部の配置を概念的に示すための平面的断面図、第2図
はその直角断面図である、半導体装置IOにおいて、半
導体素子例えばトランジスター11を載置した放熱フィ
ン12は封止樹脂13の下側外部へ熱量するとともに、
リード線14のうφ1本14mと接続している。
他のリード線14b、14cは細称15によってトラン
ジスター11の別の電極に接続されている。
参照数字16で示したものは半導体装置xois板等の
外部に取り付けるための穴でめる。
こうした従来例において、放熱フィン12をトランジス
ター11及びリード線13aと接続するのは、トランジ
スター11と直接接触することによって放電フィンへの
熱伝運ヲ良くし、放熱効坐を高めるためと、リード線1
3と放熱フィン12とを一体にすることによってモール
ディングの工程’frM単にするためである。しかし、
こうした半導体装置10を這気襄品に取り付ける場合、
像線ブツシュ、絶縁シートを用いる必要があり、組立工
程が繁雑である。また、単一の封止鋼haの中に複数の
電子部品を基或しようとすると、その複数の電子部品の
それぞれを電気的に分温する必、トタかあるので、放熱
フィンt−電子部品と直接接触させる前述の構成は許さ
れない。
そこで、放熱フィンを半導体素子から電気的に絶)碌す
るために、第3図及び第4図を参照すると、半導体素子
31と放熱フィン32の間に、上面をメタライズしたセ
ラミック等の絶縁層37′f:挿入した構造の半導体装
置が提案されている(特公昭56=24376号公報)
。この場合、半導体素子31の下面からは前記のメタラ
イズ膜を介してリード線35でリード線34aに接続さ
れていること、リード線35”aが放熱フィン32と分
離されていることを除いて、その他は従来例と同様であ
る。
しかし、この構造の半導体装置では、セラミック等の絶
縁層の厚さをあまり薄くできない(0,5〔瓢〕程度ま
で)ので熱伝導が悪い。また、セラミック等の絶縁層を
用いるので高価であり、組立工程が増加する。さらに、
半導体装置の構造が複雑である。
(3)発明の目的 従って、本発明は、以上の如き従来技術に鑑み、半導体
素子の各電極と放熱フィンとt−電気的に絶縁し、かつ
放熱効果が高く、製造が容易で、安価な半導体装置を提
供することを目的とするっ(4)  発明の構成 そして、不発明は、上記の目的勿達成するために、半導
体素子が載置さnたリード蛛、!半導体素子の電極が接
続されたリード線及び放熱体の各々が封止用樹脂によっ
て絶縁されてなること全特徴とする半導体装置を提供す
る。
即ち、封止樹脂として通常用いているエポキシ及び放熱
フィンを分蝿することによって、分流目的を達成するこ
とができるとともに、安価で、製造容易な半導体装置を
得ることができ・る1、尚、こうした半導体装置は、代
表的にぽ、配線を済ませた半導体素子及びリード線の集
合体と、放熱フィンとを治具で型にセットし、トランス
ファー成形機で成形して製造するが、半導体素子又は、
載置する形でそれを受けてリード線に接続する部分(受
は部)と、放熱フィンとの間隔を所望の1−にするため
に、そnらの部品のいずれか一方に間i1!iヲコント
ロールするための絶縁物を付着してからそ1らfr、 
、1illみ付けることが好フしい。
その間+4は、一般的には、絶縁物の厚みが増す好まし
い。
この+=+隔をコントロールするだめの絶縁物に、絶禄
体特性のものであれば何でもよく、例えば封止樹脂と同
じ樹脂であることができる。、また、その付漬方云は、
墜蒲、印−513の他、ベレツトを溶融するなどによる
こともできるが、所望の厚さを容易に実現できる点で印
刷法が好ましい。
また、封とする半導体素子は必ずしも単一の部品である
必要はなく、複数であってもよい。
(5)発明の実施例 以下、本発明の実施例について説明する。
第5図及び第6図は不発明の実施・グ」全なす半導体装
置を説明するための平面的断面図及び縦4f面図である
。図中の参照数子の下一桁の数字が第1図及び第2図と
同じもの?i−」じ部品を示している、一体の末端部か
らのびている一メッキ鋼僑各17−ド線54a、54b
、54cのうちの1つ54aの端部は半導体素子51を
塔載するための受は部5gをなしている。この受は部5
8に半導体系子51を塔載してから細#j55の配#l
を行なった後、この集合体及び錫メツキ銅製放熱フィン
52をその間隔が0.5鱈になるように治工具を用いて
固定し、トランスファー成形機のモールディング型にセ
ットした それから顆粒状のエポキシ樹脂金用いて型温
度175 [℃)、圧カフ0〔匂、/−〕でトランスフ
ァー成形した。そして、リード謝金プレスで成形加工し
、半導体装t50’a−nた。
次に、第8図を参照して、不発明のもう一つの実施例に
ついて説明する。この実施γりは上記の実施例と基本的
に同じであるが、放熱フィン52に予め絶縁*59b(
59a)k付着しておくことによって放熱フィンと受は
部58との間l!4tm定した点が異なる。絶縁物は間
隔を説示する高さが一定であればよく、その形状は問題
でなlA(例えば第7図及び第8図参照)。
放熱フィン52に印刷用型板金截せて、その上から液状
のエポキシ11脂59bkローラで印刷し、約150 
C’C]で熱硬化させた。硬化体の厚さは約100〜1
50〔μm〕とした。この厚さは耐電圧Z、S[V:]
以上を確保しつつできるだけ薄くして熱伝導を良くする
ように決定した。
その後で放熱フィン52等を治工具でモールドにセット
する場合、リードフレーム集合体54゜58を放熱フィ
ン52の方へいくらか押しつけ、フレームの憚注力で前
記の熱硬化lle轍物に密着するようにした。以降、前
の実施例と同様にして半導体装置を製造した。
こうして↓遺した半導体装置の放熱は、従来のセラミッ
ク等による絶縁層を持つ構造のものよシかなり改良され
ていた。
尚、封止樹脂は従来技術に幹けると同様のものを使用す
ることができるが、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン
梱艙、ジアリールフタレー)11j]盲などでめる。耐
熱的に、よ、一般的に、L 50 [”C)程度の温度
に耐える必要があろう。
X61  発明の効果 以上の説明から明らかなようVこ、本発明に依り、半導
体素子と放熱フィンと音電プ的に絶縁した半導体装置で
あって、耐電圧が十分で娶りながら放熱効果を保持し、
製造が容易であり、かつ安価な半導体装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来技術における半導体装置の説明の平面的断
面図、 第2図vi第1図と同じ装置の縦断面図、第3図は従来
技術におけるもう一つの半導体装置の説明用の平面的断
面図、 第4図は第3図と同じ装置の縦断面図、第5図は本発明
の実施例の半導体装置の説明用の平面的断面図、 第6図は第5図と同じ装置の縦断面図、第7図は本発明
の実施例をなすもう一つの半導体装置の縦断面図、 第8図は不発明V実、癩v1]をなす更にもう一つの半
導体装置の縦断面図で多る。 11.31.51・・・電子部品(半導体素子等)、1
2.32.52・・・放熱フィン、13,33゜53・
・封止#脂、14 (a * b 、c ) 、32 
(a *b  e c )  、52 (a *  b
  * c  )  ・・リード−115゜35.55
・・・細線、16・・・取付用穴、37・−・絶縁j巧
(セラミック等)、59・・・杷−物(間隔コントロー
ル、f目)Q 特許出羞人 富士通株式会社 午¥許出願代4人 弁理士 青 木    朗 弁理士 西 舘 和 之 弁理士 内 1)幸 男 弁理士  山  口  昭  之

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、半導体素子が載置されたり−ドー、該半導体素子の
    電極が接続された’J−1’m及び放熱体の各々が封止
    用樹脂によって絶縁されてなることをr¥faとする半
    導体装置。
JP57088008A 1982-05-26 1982-05-26 半導体装置 Pending JPS58206143A (ja)

Priority Applications (1)

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JP57088008A JPS58206143A (ja) 1982-05-26 1982-05-26 半導体装置

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JP57088008A JPS58206143A (ja) 1982-05-26 1982-05-26 半導体装置

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JPS58206143A true JPS58206143A (ja) 1983-12-01

Family

ID=13930782

Family Applications (1)

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JP57088008A Pending JPS58206143A (ja) 1982-05-26 1982-05-26 半導体装置

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JP (1) JPS58206143A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61251156A (ja) * 1985-04-30 1986-11-08 Nippon Denso Co Ltd 半導体装置の製造方法
JP2013089908A (ja) * 2011-10-21 2013-05-13 Toyota Motor Corp ヒートシンク付き半導体装置の製造方法
WO2016128231A1 (en) * 2015-02-12 2016-08-18 Danfoss Silicon Power Gmbh Power module
EP3709346A1 (en) * 2019-03-15 2020-09-16 Infineon Technologies Austria AG An electronic module comprising a semiconductor package with integrated clip and fastening element

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61251156A (ja) * 1985-04-30 1986-11-08 Nippon Denso Co Ltd 半導体装置の製造方法
JPH0363810B2 (ja) * 1985-04-30 1991-10-02 Nippon Denso Co
JP2013089908A (ja) * 2011-10-21 2013-05-13 Toyota Motor Corp ヒートシンク付き半導体装置の製造方法
WO2016128231A1 (en) * 2015-02-12 2016-08-18 Danfoss Silicon Power Gmbh Power module
CN107210273A (zh) * 2015-02-12 2017-09-26 丹佛斯硅动力有限责任公司 功率模块
US10403566B2 (en) 2015-02-12 2019-09-03 Danfoss Silicon Power Gmbh Power module
CN107210273B (zh) * 2015-02-12 2020-03-27 丹佛斯硅动力有限责任公司 功率模块
EP3709346A1 (en) * 2019-03-15 2020-09-16 Infineon Technologies Austria AG An electronic module comprising a semiconductor package with integrated clip and fastening element
EP4170708A1 (en) * 2019-03-15 2023-04-26 Infineon Technologies Austria AG An electronic module comprising a semiconductor package with integrated clip and fastening element

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