JPS58127110A

JPS58127110A - 計測方法および計測装置

Info

Publication number: JPS58127110A
Application number: JP15991281A
Authority: JP
Inventors: Masakazu Kanemoto; 鐘本　政和; Satoru Yoshida; 哲吉田; Takao Manabe; 真鍋　鷹男; Fumio Kamado; 釜洞　文夫
Original assignee: Toshiba Machine Co Ltd
Current assignee: Shibaura Machine Co Ltd
Priority date: 1981-10-07
Filing date: 1981-10-07
Publication date: 1983-07-28
Also published as: JPH0379645B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、被測定物と接する検知手段の移動位置から例
えば被測定物の孔径等を計測する計測方法および計測装
置に関するものである。

従来、マシニングセンタに自動計測機能を付加する際に
、検出器として接点型の検出器を使用した場合、その検
出器が被測定物としてのワークに接したときに発生する
接触信号で機械に装着されている座標スケール、例えば
インダクトシンやレゾルバ等の値を読み取ることが必要
である。この接触信号は機械が移動中に発生するので、
信号伝達系の遅れ（電気信号の遅れ、接触信号を演算処
理部へ取込むときの認識遅れ等）があると、機械が行き
すぎだ点の座標を読みとることＫなる。この誤差は、機
械の送り速度が速くなるほど大きくなる。

このようなことから、精度の高い計測を行うためには機
械の送シ速度をできるだけ遅くすればよいわけであるが
、機械の送シ速度を遅くすると、計測に時間がかかりす
ぎ実用的でないという難点が生じる。

一方、このようにワークと検出器との接触を伴う計測方
式の場合、ワークの計測位置に例えば切粉等の異物が付
着していると、大きな計測誤差を生じる問題がある。従
って、このような問題を防ぐためには計測する前にワー
クに付着している異物を除去すればよいが、特に加工機
械上での自動計測では実際上困難な作業である。

本発明の目的は、このような２つの課題を同時に解決す
ること、つｔ、ｂ計測精度を維持しつつ計測能率を向上
させ、かつ異物による計測誤差をなくす計測方法および
計測装置を提供することにある。

本発明の計測方法は、被測定物との接離に伴い検知信号
を発生する検知手段と被測定物とを、指令値データと前
記検知手段および被測定物の相対位置データとの差に基
づいて相対移動させ、この検知手段が被測定物に接触し
たときの指令値データと相対位置データとの差を記憶す
るとともに、その差だけ同方向へ相対移動させてのち停
止させ、すなわち検知手段が被測定物に接した状態よシ
更に指令値データと相対位置データとの差（サーボエラ
ー量）だけ行きすぎた状態で停止させ、ついで検知手段
と被測定物とを逆方向へ前記サーボエラー量だけ相対移
動させたのち検知信号を判別し、すなわち検知手段と被
測定物との間に異物があれば逆方向への相対移動にょシ
脱落した状態にあるためそのときの状態を判別し、検知
信号が接触に伴う信号つまジ異物が無い状態のときは検
知手段と被測定物とを離れる方向へ、検知信号が離脱に
伴う信号つまシ異物が有る状態のときは検知信号と被測
定物とを接する方向へそれぞれ相対移動させることによ
シ、異物による計測誤差をなくし、この相対移動におい
て検知手段からの検知信号に基づいて検知手段と被測定
物との接触位置を検知するようにして計測を行い、これ
ら相対移動の各工程を区分けすることにょシ検知工程の
みを低速度に、他を高速度とすることを可能ｔｃＬ、計
測精度を維持しつつ計測能率の向上を達成しようとする
ものである。

また、本発明の計測装置は、被測定物との接離に伴い検
知信号を発生する検知手段と、この検知手段と前記被測
定物とを相対移動させる駆動手段と、この駆動手段によ
る前記検知手段と前記被測宝物との相対移動を指令する
指令値データを出力する指令手段と、前記検知手段と前
記被測定物との相対位置を検知しその相対位置データを
出力する位置検出手段と、前記検知手段からの検知信号
に基づき前記駆動手段を制御するとともに被測定物と検
知手段との接離位置を計測する制御手段とを備え、この
制御手段は、記憶部を有し、前記駆動装置によシ被測定
物と検知手段とが相対移動され前記検知手段からそれら
の接触に伴う検知信号を受けだとき前記指令手段の指令
値データと前記位置検出手段からの相対位置データとの
差を前記記憶部へ記憶するとともに、前記駆動手段を駆
動させ更に前記差だけ同方向へ相対移動させて停止させ
、ついでこの相対移動の方向とは逆方向へ前記記憶部の
データだけ相対移動させたのち前記検知手段からの検知
信号を判別し、その検知信号が接触に伴う信号のときは
前記検知手段と被測定物とを離れる方向へ、検知手段が
離脱に伴う信号のときは前記検知手段と被測定物とを接
する方向へそれぞれ相対移動させ、この相対移動中にお
いて前記検知手段から被測定物との接離に伴う検知信号
を受けだときの前記位置検出手段の相対位置データを計
測値として出力する手段を含み、これによシ上記目的を
達成しようとするものである。

以下、本発明の一実施例を図面について説明する。

第１図は本実施例の全体のシステムを示している。同シ
ステムは、被測定物としての工作物Ｗの計測方向、つま
り本実施例では穴Ｈの直径方向（以下、Ｘ方向とする）
に対して、例えばマシニングセンタに装着された検知手
段としての圧電素子等からなる接触検出器１が駆動装置
２の作動によって往復移動できるようになっている。検
出器１は、先端に前記工作物Ｗと接するグローブＩＡを
備え、このグローブＩＡが工作物Ｗに接している間、信
号検出回路３を通じて検知信号を本発明の要部である制
御手段としての制御部４へ与える。

制御部４は、前記信号検出回路３を通じて与えられる検
知信号に基づき、予め設定された処理手順に従ってＮＣ
装置５へ各種の制御信号を与えるとともに、所定の条件
下において、そのＮＣ装置５へ入力されているデータを
取込むようになっている。ＮＣ装置５は、前記検出器１
の移動位置を表わすところの駆動装置２に取付けられた
位置検出装置６からの測定値データ（Ｐｏ５ｉｔｉｏｎ
　ＦｅｅｄｂａｃｋＳｉｇｎａｌ　、以下ＰＦＳという
）と指令値データとの差に基づき前記駆動装置２を駆動
させるとともに、前記制御部４からの制御信号に従って
その駆動を制御する。

第２図は前記制御部４とＮＣ装置５との回路構成を示し
ている。前記ＮＣ装置５は、所定の演算を行うＮＣ装置
要部５１と、第１、第２の記憶手段５２．５３と、加算
部５４と、差レジスタ５５とが含まれている。前記ＮＣ
装置要部５１には、シーケンス情報を扱うシーケンス部
５１Ａ１テーゾ読取部７からのデータをデコードするデ
コード部５１Ｂおよび一定時間毎に移動指令値（△Ｘ／
△Ｔ）を出力する補間演算部５１Ｃ等が含まれている。

また、前記第１の記憶手段５２は、前記位置検出装置６
から逐次入力される測定値データＰＦＳを順次記憶する
フィードバックカウンタで構成されている。また、前記
第２の記憶手段５３は、前記ＮＣ装置要部５１の補間演
算部５１Ａから一定時間毎に出力される移動指令値△Ｘ
／△Ｔを記憶する指令値カウンタによって構成されてい
る。これら第１．第２の記憶手段５２．５３の差は、前
記加算部５４を介して差レジスタ５５に、いわゆるサー
ブエラーＳＶＥとして与えられる。このサーブエラー　
ＳＶＥは、Ｄ／Ａ変換部を含む前記駆動装置２に与えら
れる。ちなみに、前記加算部５４および差レジスタ５５
は可逆カウンタとして構成することができる。

前記制御部４は、前記信号検出回路３からの検知信号が
アンド回路２１．２２にそれぞれ入力されるようになっ
ているとともに、インバータ２３を介してアンド回路２
４に入力されるようになっている。前記アンド回路２１
には、前記検知信号のほかに、タイマ回路２５から一定
時間△を毎に出力されるクロック信号およびフリップフ
ロップ２６０セツト出力端Ｑからの信号がそれぞれ入力
されている。また、このアンド回路２１からの出力は、
前記フリップフロップ２６をリセットし、かつ前記ＮＣ
装置要部５１にその指令値△Ｘ／△Ｔの分配を停止させ
るだめの停止指令信号ＳＴＰとして入力されているとと
もに、ダート回路２７に与えられている。ダート回路２
７は、前記アンド回路２１の出力がＨレベル（論理値１
）になったとき開放され、前記差レジスタ５５のサーが
エラーＳＶＥを第３の記憶手段２８へ取込む。この第３
の記憶手段２８へ取込まれたデータは、前記差レジスタ
５５が一旦零にされた際、検出器１を逆方向へ移動させ
るだめの信号△Ｘ５ＶＺとして、前記ＮＣ装置要部５１
に与えられる。

また、前記アンド回路２２．２４には、前記信号検出回
路３からの信号のほかに、前記ＮＣ装置要部５１から前
記信号△ｘｓｖｗに基づく動作終了後出力される判別指
令信号Ｈ８が入力されている。そして、各アンド回路２
２．２４の出力端にはそれぞれフリップフロップ２９．
３０のセット入力端Ｓが接続されている。一方のフリッ
プフロップ２９のセット出力端Ｑからの信号は、前記Ｎ
Ｃ装置要部５１に対して前記検出器１が工作物Ｗから離
れる方向へ前記駆動装置２を駆動させるだめの順送シ指
令信号ＦＳとして入力されているとともに、アンド回路
３１に与えられている。アンド回路３１には、この信号
のほかに、前記信号検出回路３からの検知信号がインバ
ータ３２で反転された信号および前記タイマ回路２５か
らのクロック信号がそれぞれ入力されている。また、前
記他方のフリップフロップ３０のセット出力端Ｑかもの
信号は、前記ＮＣ装置要部５１に対して前記検出器１が
工作物Ｗに接する方向へ前記駆動装置２を駆動させるた
めの逆送シ指令信号Ｒ８として出力されているとともに
、アンド回路３３に与えられている。

アンド回路３３には、この信号のほかに、前記信号検出
回路３からの検知信号および前記タイマ回路２５からの
クロック信号がそれぞれ入力されている。

また、これらのアンド回路３１．３３からの出力はオア
回路３４を通ってｆ−）回路３５に与えられている。ｆ
−）回路３５は、前記アンド回路３１．３３のいずれか
の出力がＨレベルになったとき開放され、前記第１の記
憶手段５２のデータを第４の記憶手段３６へ取込む。こ
の第４の記憶手段３６に取込まれたデータは、計測値と
して例えば表示器等へ出力される。なお、前記フリップ
フロップ２６は前記ＮＣ装置要部のシーケンス部５１Ａ
からの初期設定指令信号ＳＳによシセット状態に設定さ
れる。また、前記フリップフロップ２９．３０は、オア
回路３７を介して与えられる前記ＮＣ装置要部５１のシ
ーケンス部５１Ａからの指令信号ＳＳおよび前記オア回
路３４からの出力によシ、それぞれリセットされる。

次に、本実施例の作用を第３図、第４図および第５図を
も参照して説明する。

まず、ＮＣ装置要部５１のシーケンス部５１Ａからの初
期設定指令信号ＳＳによりフリップフロップ２６をセッ
ト状態に、フリップフロップ２９゜３０をリセット状態
にそれぞれ初期設定した後、ＮＣ装置要部５１からの指
令によυ、駆動装置２を介して検出器１を測定開始点と
なる基準位置Ｐ。

よシ速度■１で移動させると（第３図参照）、位置フィ
ードバック信号ＰＦＳが駆動装置２に取付けられた位置
検出装置６から逐次与えられ、その測定データが第１の
記憶手段５２に記憶されていく。

一方、検出器１が速度ｖ１で移動する過程において、グ
ローブＩＡが工作物Ｗと接する位置Ｐに達すると、信号
検出回路３を通じてＨレベルの検知信号（接触信号）が
制御部４のアンド回路２１へ与えられる。このとき、工
作物Ｗの被測定面に例えば切粉等の異物が付着している
と、グローブＩＡがその異物と接する位置Ｐ′、つまシ
工作物Ｗの真の被測定面と接する位置よシ手前の時点で
Ｈレベルの検知信号がアンド回路２１に与えられる。

アンド回路２１は、フリップフロップ２６がセットされ
た状態つまシそのセット出力端ＱからＨレベルの信号が
与えられている状態にあるから、タイマ回路２５からの
クロック信号が与えられたとき、Ｈレベルの出力を発生
する。すると、そのアンド回路２１からのＨレベルの出
力により、フリツプフロツ７６２６がリセットされると
同時に、ＮＣ装置要部５１に対して停止指令信号ＳＴＰ
が与えられる。これによｊ９、ＮＣ装置要部５１は補間
演算部５１Ｃから第２の記憶手段５３への指令値△Ｘ／
△Ｔの分配を停止する。更に、アンド回路２１からのＨ
レベルの出力によシグート回路２７が開放される。する
と、第１の記憶手段５２の測定値データと第２の記憶手
段５３の指令値データとの差（サーブエラー量ＳＶＥ　
）　、すなわち差レジスタ５５の値が第３の記憶手段２
８へ記憶される。

この後、検出器１はサーブエラー量が零になる位置Ｐ１
、もしくはＰ１′まで移動されて停止される（第３図参
照）。

ここで、検出器１のグローブＩＡが工作物Ｗと接し、そ
れに伴う検知信号が出力されてから停止するまでの検出
器１の行きすぎ量ｔは、ｔ＝サーデエラー量＋ｖ１・△
ｔ１　　・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１）
で表わされる。ここで、△ｔ１は、検出器１のグローブ
ＩＡが工作物Ｗに接して検知信号が出力された時点から
タイマ回路２５のクロック信号が与えられるまでの時間
つまシ制御部４が検知信号を認識するまでの遅れで、少
なくともクロック信号の周期△ｔよシ小さい。

次に、検出器１が停止した位置Ｐ１、もしくはｐ、／か
ら検出器１を、前記第３の記憶手段２８のサーブエラー
量だけ逆方向へ比較的高速度である速度ｖ２で移動させ
る。この移動が停止すると、ＮＣ装置要部５１からは判
別指令信号ＨＳが制御部４のアンド回路２２．２４に与
えられる。ここで、アンド回路２２．２４は、信号検出
回路３を通じて与えられる検知信号がＨレベルであるか
、Ｌレベルであるかを判別する。通常、はじめにグロー
ブＩＡが接触信号を出力したとき、工作物Ｗとグローブ
ＩＡとの間に異物が介在されていない場合には、グロー
ブＩＡが工作物Ｗに実際に接触してから制御部４が接触
を認識するまでの時間遅れがあるため、Ｈレベルの検知
信号、つまりプローブＩＡが工作物Ｗに接触している状
態にあるが、工作物Ｗとグロー７”ｌＡとの間に異物が
介在されていた場合には、そのグローブＩＡが異物に接
触した際その接触に伴って異物が脱落するためＬレベル
の検知信号、つまシブロープＩＡが工作物Ｗから離れた
状態にある。

いま、はじめにグローブＩＡが接触信号を出力したとき
異物が無かったとすると、Ｈレベルの検知信号がアンド
回路２２．２４に与えられている状態にあるから、アン
ド回路２２からＨレベルの信号が出力される。すると、
フリップフロップ２９がセットされるため、そのフリッ
プフロッグ２９０セツト出力端ＱからのＨレベルの信号
がアンド回路３１へ与えられるとともに、順送シ指令信
号ＦＳとしてＮＣ装置要部５１に与えられる。これによ
り、ＮＣ装置要部５１は、前行程で検出器１をサーブエ
ラー量だけ逆方向へ移動させた位置Ｐ２から、検出器１
を低もしくは微小速度である速度ｖ３で同方向へ移動さ
せる。

検出器１が速度ｖ５で移動する過程において、そのグロ
ーブＩＡが工作物Ｗから離脱する位置Ｐに達すると、信
号検出回路３を通じてＬレベルの検知信号（離脱信号）
が制御部４のインバータ３２で反転された後、アンド回
路３１へ与えられる。

アンド回路３１は、フリップフロップ２９がセットされ
た状態つまりセット出力端ＱからＨレベルの信号が与え
られている状態にあるから、タイマ回路２５からのクロ
ック信号が与えられたとき、Ｈレベルの出力を発生する
。すると、このアンド回路３１からのＨレベルの出力に
より、ｒ−ト回路３５が開放され、この時の第１の記憶
手段５２の測定値データが第４の記憶手段３６へ記憶さ
れると同時に、フリップフロップ２９がリセットされ、
初期状態とされる。この後、第４の記憶手段３６に記憶
されたデータは、計測値として例えば表示器等に表示す
ることができる。

ことで、検出器１のグローブＩＡが工作物Ｗから離脱し
、その際の検知信号が出力された時点から、その検知信
号を認識するまでの間△ｔ２（＜△ｔ）における検出器
１の行きすぎ量つマシ誤差δは、δ＝Ｖ・△ｔ２　　・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・（２）で表わされる
。従って、速度ｖ３を低速もしくは微小速度とするば、
誤差δをきわめて小さくするととができる。また、速度
ｖ２については測定に無関係であるから速い送りとし、
速度ｖ１については多少誤差があってもよいので、最も
速い検出器１の許容速度とすれば、速度ｖ３を低速もし
くは微小速度としたとしてもその移動距離が僅かな範囲
に限られるため、計測精度を落すことなく、かつ計測能
率を上げることが可能である。

例えば、検出器１の基準位置Ｐ。から検出器１が工作物
Ｗと接触するまでの距離Ｐ。Ｐ（実際には不明）を１０
＋ｍ、△ｔ＝５ｍｓｅｃの条件において、■　速度ｖ１
．ｖ２．ｖ３をともに２０００　ｍ／ｍｉｎのような高
速度とすると、測定時間は１秒以下であるが、測定誤差
は最大１６６μｍとなる。

■　一方、速度ｖ１．■２．ｖ３をともに１０ｗｔｒ／
ｍｉｎのような低速度とすると、測定誤差は約０．８μ
ｍであるが、測定時間は１分以上となる。

■　さらに、速度ｖ１を２０００瓢／　ｍｌ　ｎ−、速
度ｖ２を１０００■／ｍｌｎ％速度ｖ３を１０惰／ｍｌ
ｎとすると、測定精度は■と同じで約０．８μｍであシ
、測定時間は、前記行きすぎ量を２１ＩＩＩ＋としても
約１．４秒となる。

従って、■の条件で送シ速度を制御すれば、計測精度を
落すことなく、計測時間を著しく短縮することができる
。

一方、前記アンド回路２２．２４における判別において
、はじめにプローブＩＡが接触信号を出力したとき異物
が有）、サーボエラー量だけの逆方向移動時に落下した
とすると、！ローブＩＡが工作物Ｗから離れてＬレベル
の検知信号がアンド回路２２．２４に与えられている状
態にあるから、アンド回路２４からＨレベルの信号が出
力される。

すると、フリップフロップ３０がセットされるため、こ
のフリップフロップ３０のセット出力端ＱからのＨレベ
ルの信号がアンド回路３３に与えられるとともに、逆送
シ指令信号Ｒ８としてＮＣ装置要部５１に与えられる。

これによシ、ＮＣ装置要部５１は、前行程で検出器１を
サーボエラー量だけ逆方向へ移動させた位置Ｐ２′から
、検出器１を低もしくは微小速度である速度ｖ３で前行
程とは逆方向、つまシ、工作物Ｗに当接する方向に移動
させる。

検出器１が速度ｖ３で移動する過程において、そのグロ
ーブＩＡが工作物Ｗに接する位置Ｐに達すると、信号検
出回路３を通じてＨレベルの検知信号が制御部４のアン
ド回路３３へ与えられる。アンド回路３３は、フリップ
フロップ３ｏがセットされた状態つまシセット出力端Ｑ
からＨレベルの信号が与えられている状態にあるから、
タイマ回路２５からのクロック信号が与えられたとき、
Ｈレベルの出力を発生する。すると、このアンド回路３
３からのＨレベルの出力にょ夛、前記と同様にダート回
路３５が開放され、この時の第１の記憶手段５２の測定
値データが第４の記憶手段３６へ記憶されると同時に、
フリップフロップ２９がリセットされ初期状態に設定さ
れる。

従って、工作物Ｗに異物が付着している場合でも、サー
ボエラー量だけ逆方向へ移動した時点で、それを判別し
、再びグローブＩＡが工作物Ｗに接する方向へ移動させ
て計測する結果、異物に伴う計測誤差を防止できる。ま
た、との場合の計測能率については、異物の大きさにも
よるが、工作物Ｗに付着する程度の異物であることを考
えれば、前述した例と略同程度の高能率が達成できる。

なお、第４図では異物が無い場合における制御部４の各
種信号波形のタイムチャートと検出器１の速度変化を、
第５図では異物が有った場合における制御部４の各種信
号波形のタイムチャートと検出器１の速度変化をそれぞ
れ示している。

以上の説明ではグローブＩＡの接触端の径を無視したが
、実際にはその接触端の径を補正する必要がある。また
、計測の対象としては、穴径の計測のほか、穴芯の測定
、自動芯出し、同容穴加工等に利用することができる。

なお、前記実施例における第２図では、制御部４をハー
ドウェアとしての論理回路による構成を示したが、最近
の如く、ＣＮＣ（ＣｏｍｐｕｔｅｒｉｚｅｄＮｕｍｅｒ
ｉｃａｌ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　ｄｅｖｉｃｅ　）タイプの
数値制御装置の場合には、制御部４を具体的な論理回路
の構成とする必要がなくなシ、一群のプログラム指令に
置換えることができる。こうしたプログラム指令群はＣ
ＮＣ装置において、サブプログラムとして△ｔごとの割
込み信号に応答して読み出され、実行される。

そこで、このプログラム指令の主なステップを説明する
。

今、機械（検出器）が速度ｖ１で移動中において、割込
み信号が与えられると、信号検出回路３の出力の有無が
チェックされ、この信号検出回路３の出力が１有”のと
きには、ＣＮＣ装置内での補間演算を停止させるととも
に、このときのサー？エラー量をレジスタ（前記実施例
における第３の記憶手段２８に相当する）にス、ドアす
る。やがて、機械がサーブエラー分だけ移動したあと停
止されると、前記レジスタの内容を機械の駆動系に指令
値として与え、機械を前記速度ｖ１での移動方向とは逆
方向に速度ｖ２で移動させるように指令する。

ついで、サーブエラー分の移動が終ると、信号検出回路
３の出力の有無をチェックし、それが“有″のときには
低（微）速度■３で速度ｖ２と同一方向への移動指令を
、無”のときには低（微）速度ｖ３で速度ｖ２とは逆方
向への移動指令を与える。この低速度ｖ５での移動中に
、信号検出回路３の出力の変化をチェックし、変化して
いたらコマンドパルス（△Ｘ／△Ｔ）の供給を停止させ
る。そして、このときの第１の記憶手段の内容をレジス
タへ転送し、必要ならその値を表示させるように指令す
る。

以上、プログラム指令の中の主なものを説明したが、熟
練したグログラマーであれば、第２図を参照することに
よって、割込み指令に応答して作動する一連のプログラ
ムを作成することは容易である。

また、前記実施例では、マシニングセンタに装着するよ
うにしたが、本発明はこれに限られるものではなく、例
えばＮＣ横中ぐシ盤等でも可能であり、さらには工作機
械に限らず一般の計測装置、例えば座標測定装置にも適
用できる。

上述のように、本発明によれば、計測精度を維持しつつ
計測能率を向上させることができ、更に異物による計測
誤差をなくすことができる計測方２３− 法および計測装置を提供できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示すもので、第１図は全体のシ
ステムを示す説明図、第２図は制御部とＮＣ装置の回路
構成を示す回路図、第３図は検出器の移動を示す説明図
、第４図および第５図は制御部の各種信号波形のタイム
チャートである。１・・・検知手段としての検出器、２・・・駆動手段と
しての駆動装置、４・・・制御手段としての制御部、５
・・・ＮＣ装、置、６・・・位置検出手段としての位置
検出装置、２８・・・第３の記憶手段、３６・・・第４
の記憶手段、５１・・・指令手段としてのＮＣ装置要部
、５２・・・第１の記憶手段、５３・・・第２の記憶手
段。代理人　弁理士　木　下　實　三（ほか１名）２４− 第４図タイツ０！％２５０比カ　　−」Ｌ−ｍ−−１−−−−
−Ｗ−−−−６　　　　、−一一一二ＩＬ−ａ寺ｒ５ヱ第５図９ＱＤｌ各２５ｎ出ｎ−一」■−−−−−−−ＪＬ−−
−−−−−■−−−−−−−９．−−−−−−−−−−
■−一一一一一一−ａ％閤ス

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被測定物との接離に伴い検知信号を発生する検知
手段と被測定物とを、指令値データと前記検知手段およ
び被測定物の相対位置データとの差に基づいて相対移動
させ、この検知手段が被測定物に接触したときの前記指
令値データと相対位置データとの差を記憶するとともに
、その差だけ同方向へ相対移動させてのち相対移動を停
止させ、ついで前記検知手段と被測定物とをこれらの接
触後の移動方向とは逆方向へ前記接触時に記憶した差だ
け相対移動させたのち前記検知手段からの検知信号を判
別し、その検知信号が接触に伴う信号のときは前記検知
手段と被測定物とを離れる方向へ、検知信号が離脱に伴
う信号のときは前記検知手段と被測定物とを接する方向
へそれぞれ相対移動させ、こののち前記検知手段からの
被測定物との接離に伴う検知信号に基づいて検知手段と
被測定物との接触位置を検知することを特徴とする計測
方法。
（２）　　特許請求の範囲第１項において、前記検知手
段と被測定物とをこれらの接触後の移動方向とは逆方向
へ前記接触時に記憶した差だけ相対移動させる際の速度
を高速度とし、前記検知手段と被測定物とを前記検知手
段からの検知信号の判別結果に基づき相対移動させる際
の速度を低速度としたことを特徴とする計測方法。
（３）被測定物との接離に伴い検知信号を発生する検知
手段と、この検知手段と前記被測定物とを相対移動させ
る駆動手段と、この駆動手段による前記検知手段と前記
被測定物との相対移動を指令する指令値データを出力す
る指令手段と、前記検知手段と前記被測定物との相対位
置を検知しその相対位置データを出力する位置検出手段
と、前記検知手段からの検知信号に基づき前記駆動手段
の駆動を制御するとともに被測定物と検知手段との接触
位置を計測する制御手段とを備え、この制御手段は、記
憶部を有し、前記駆動装置によシ被測宝物と検知手段と
が相対移動され前記検知手段からそれらの接触に伴う検
知信号を受けたとき前記指令手段の指令値データと前記
位置検出手段からの相対位置データとの差を前記記憶部
へ記憶するとともに、前記駆動手段を駆動させ更に前記
差だけ同方向へ相対移動させて停止させ、ついでこの相
対移動の方向とは逆方向へ前記記憶部のデータだけ相対
移動させたのち前記検知手段からの検知信号を判別し、
その検知信号が接触に伴う信号のときは前記検知手段と
被測定物とを離れる方向へ、検知手段が離脱に伴う信号
のときは前記検知手段と被測定物とを接する方向へそれ
ぞれ相対移動させ、この相対移動中において前記検知手
段から被測定物との接離に伴う検知信号”を受けたとき
の前記位置検出手段の相対位置データを計測値として出
力する手段を含むことを特徴とする計測装置。