JPH1157420A - 電気式脱イオン水製造装置の通水処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気式脱イオン水製造装置の長期間の通水処
理等により、使用するイオン交換体にイオンが蓄積され
た場合、薬液を使用することなく該イオン交換体の回生
を図る電気式脱イオン水製造装置の通水処理方法を提供
すること。 【解決手段】 電気式脱イオン水製造装置の通水処理方
法において、原水を電気式脱イオン水製造装置に通水し
て処理水を得る通水工程と、脱塩水を電気式脱イオン水
製造装置に通水してイオン交換体から蓄積イオンを溶離
させる電気回生工程と、を有する処理方法とすれば、薬
液を使用することなく該イオン交換体の回生を図ること
ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電気式脱イオン水
製造装置の長期間の通水処理等により、使用するイオン
交換体が通水中における電気式の再生では溶離しにくい
イオンが蓄積した場合、薬液を使用することなく該イオ
ン交換体の回生を図る電気式脱イオン水製造装置の通水
処理方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】イオン交換体としてカチオン交換樹脂と
アニオン交換樹脂を用いた２床式、２床３塔式又は混床
式の脱イオン水製造装置は、使用するイオン交換樹脂が
イオンを交換し、貫流点に達した場合、酸及びアルカリ
水溶液で再生する必要があるが、イオン交換体を用いる
ものの、薬剤による再生が全く不要な電気式脱イオン水
製造装置が実用化されている。

【０００３】従来から実用化されている電気式脱イオン
水製造装置は、基本的にはカチオン交換膜とアニオン交
換膜で形成される隙間に、イオン交換体としてアニオン
交換樹脂とカチオン交換樹脂の混合イオン交換樹脂層を
充填して脱塩室とし、当該イオン交換樹脂層に被処理水
を通過させるとともに、前記両イオン交換膜を介して被
処理水の流れに対して直角方向に直流電流を作用させ
て、両イオン交換膜の外側に流れている濃縮水中に被処
理水中イオンを電気的に排除しながら脱イオン水（処理
水）を製造するものである。

【０００４】また、当該電気式脱イオン水製造装置は被
処理水中に存在するマグネシウムやカルシウムの硬度成
分がイオン交換膜に析出することを防止するため、通
常、前段に逆浸透膜装置や硬水軟化装置が設置されてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、長期間の通水
処理等を行った電気式脱イオン水製造装置においては、
電気的にイオンの排除（溶離）を行っているにもかかわ
らず、イオン交換体（樹脂）に対する選択性が高い、ま
たは電気的に溶離しにくい炭酸イオン及びシリカ等の弱
電解質並びにカルシウムイオンがイオン交換体に徐々に
蓄積し、シリカや炭酸等の弱酸やナトリウムイオンが処
理水に漏出して処理水の水質が低下してくる。従来、こ
のような電気式脱イオン水製造装置の性能低下の回復を
図るために、該装置の通水処理を停止し、薬剤で処理し
てイオン交換体に蓄積したイオンを溶離することにより
該装置の回復を図っていた。しかしながら、上記のよう
な薬剤で処理する方法では、別途薬液の準備及び供給操
作が必要であると共に、廃液処理が必要である等の問題
があった。また、近年のコストダウンの潮流から、特に
半導体デバイス製造分野では、超純水製造装置を長時間
に亘り停止することは好ましくない。

【０００６】従って、本発明の目的は、電気式脱イオン
水製造装置の長期間の通水処理等により、使用するイオ
ン交換体に前述のようなイオンが蓄積された場合、薬液
を使用することなく該イオン交換体の回生を図る電気式
脱イオン水製造装置の通水処理方法を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】かかる実情おいて、本発
明者は鋭意検討を行った結果、イオン交換体にイオンが
蓄積された電気式脱イオン水製造装置に、被処理水であ
る原水の代わりに脱塩水を通水し、通電すれば、無負荷
状態にあるイオン交換体から蓄積イオンが徐々に溶離
し、したがって、薬液を使用することなく容易に回生で
きること、及び２台の電気式脱イオン製造装置を用い、
通水工程及び電気回生工程を交互に行えば、電気式脱イ
オン製造装置を停止することなく連続して処理水が得ら
れること、更に、電気回生工程において、電気式脱イオ
ン水製造装置に供給される脱塩水を通水工程を経て得ら
れる処理水とすれば、脱塩水を別途に供給する必要がな
く都合がよいこと等を見出し、本発明を完成するに至っ
た。

【０００８】すなわち、本発明は、電気式脱イオン水製
造装置の通水処理方法において、原水を電気式脱イオン
水製造装置に通水して処理水を得る通水工程と、脱塩水
を電気式脱イオン水製造装置に通水してイオン交換体か
ら蓄積イオンを溶離させる電気回生工程と、を有する電
気式脱イオン水製造装置の通水処理方法を提供するもの
である。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明において、原水としては、
特に制限されず、例えば、井水、工業用水及び半導体製
造工場の半導体デバイス等の洗浄廃水又はこれらを逆浸
透膜装置や硬水軟化装置で処理された水が挙げられる。
当該原水には、本発明の電気式脱イオン水製造装置で除
去されるカルシウムイオン、マグネシウムイオン、ナト
リウムイオン、カリウムイオン、塩化物イオン、硫酸イ
オン等の強電解質、炭酸イオン、シリカ等の弱電解質等
の不純物が含まれる。

【００１０】本発明で使用する電気式脱イオン水製造装
置としては、特に制限されず、公知のものを使用でき
る。すなわち、基本的にはカチオン交換膜とアニオン交
換膜で形成される隙間に、イオン交換体としてアニオン
交換樹脂とカチオン交換樹脂の混合イオン交換樹脂層を
充填して脱塩室とし、当該イオン交換樹脂層に原水を通
過させるとともに、前記両イオン交換膜を介して原水の
流れに対して直角方向に直流電流を作用させて、両イオ
ン交換膜の外側に流れている濃縮水中に原水中のイオン
を電気的に排除しながら処理水（以下、脱イオン水とも
いう）を製造するものである。

【００１１】該電気式脱イオン水製造装置を図５を参照
して説明する。図５は上記電気式脱イオン水製造装置の
模式断面図を示すものであり、カチオン交換膜４１及び
アニオン交換膜４２を離間して交互に配置し、カチオン
交換膜４１とアニオン交換膜４２で形成される空間内に
一つおきにカチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂の混合
イオン交換樹脂４３を充填し、脱塩室４４とする。な
お、当該脱塩室４４のそれぞれの隣に位置するアニオン
交換膜４２とカチオン交換膜４１で形成される混合イオ
ン交換樹脂４３を充填していない部分は後述するように
濃縮水を流すべき濃縮室４５とする。

【００１２】また、カチオン交換膜４１とアニオン交換
膜４２とその内部に充填する混合イオン交換樹脂４３と
で脱イオンモジュール４６を形成する。該脱イオンモジ
ュール４６の複数個をその間に図では省略するスペーサ
ーを挟んで、並設した状態が図５に示されたものであ
り、並設した脱イオンモジュール４６の一端側に陰極４
９を配設するとともに、他端側に陽極５０を配設する。
なお、前述したスペーサーを挟んだ位置が濃縮室４５で
あり、また、両端の濃縮室４５の両外側に必要に応じカ
チオン交換膜、アニオン交換膜又はイオン交換性のない
単なる隔膜等の仕切り膜５１を配設し、当該仕切り膜５
１で仕切られた両電極４９及び５０が接触する部分をそ
れぞれ陰極室５２及び陽極室５３とする。

【００１３】このような電気式脱イオン水製造装置によ
って、原水を処理し、処理水を製造する通水工程は、以
下のように操作される。すなわち、陰極４９と陽極５０
間に直流電流を通じ、また、被処理水流入口Ａから原水
を流入するとともに、電極水流入口Ｃ及びＤからそれぞ
れ電極水を流入する。被処理水流入口Ａから流入した原
水は実線で示した矢印の如く各脱塩室４４を流下し、混
合イオン交換樹脂４３の充填層を通過する際に不純物イ
オンが除かれ、処理水が脱イオン水流出口ａから得られ
る。また、濃縮水流入口Ｂから流入した濃縮水は点線の
矢印で示したように各濃縮室４５を流下し、両イオン交
換膜を介して移動してくる不純物イオンを受け取り、不
純物イオンを濃縮した濃縮水として濃縮水流出口ｂから
流出され、さらに電極水流入口Ｃ及びＤから流入した電
極水は電極水流入出口ｃ及びｄから流出される。上記の
操作によって、原水の不純物イオンは電気的に除去さ
れ、純水（処理水）を得ることができる。

【００１４】一方、この通水工程においては、電気的に
不純物イオンの除去（溶離）を行っているにもかかわら
ず、イオン交換体（樹脂）に対する選択性が高い、また
は電気的に溶離しにくい炭酸イオン及びシリカ等の弱電
解質並びにカルシウムイオンがイオン交換体に徐々に蓄
積され、ついには処理水の水質が低下するという事態を
招く。したがって、本発明の通水工程の終了時期は、特
に制限されないが、処理水の水質が低下し始めた直後、
あるいはその直前とすることが好ましい。

【００１５】本発明において、電気回生工程とは、上記
通水工程において、カルシウムイオン等を蓄積したイオ
ン交換体を電気的に回生させる工程である。すなわち、
脱塩水を上記通水工程を経過した電気式脱イオン水製造
装置に通水してイオン交換体から蓄積イオンを溶離させ
る工程であり、次のように操作される。図５において、
陰極４９と陽極５０間に直流電流を通じ、また、被処理
水流入口Ａから脱塩水を流入するとともに、電極水流入
口Ｃ及びＤからそれぞれ電極水を流入する。被処理水流
入口Ａから流入した脱塩水は実線で示した矢印の如く各
脱塩室４４を流下し、カルシウムイオン等を蓄積した混
合イオン交換樹脂４３の充填層を通過する際に当該カル
シウムイオン等が電気的に溶離され、除去される。した
がって、混合イオン交換樹脂４３は回生される。また、
濃縮水の流れについては、上記通水工程の濃縮水の流れ
と同様である。

【００１６】また、該電気回生工程に供される電気式脱
イオン水製造装置としては、前記通水工程において、イ
オン交換体にイオンが蓄積された状態にある電気式脱イ
オン水製造装置であればよく、特に、処理水の水質が低
下する直前の状態のものが好ましい。通水工程から電気
回生工程に移行する時期の判断方法としては、特に制限
されず、例えば、原水の成分と電気式脱イオン水製造装
置の能力により経験的に判断する方法及び通水工程にお
ける電気式脱イオン水製造装置の下流に設置された抵抗
率計やシリカ計等により判断する方法等が挙げられる。

【００１７】電気回生工程の終了時期としては、特に制
限されないが、イオン交換体が元の状態近くにまで回生
されることが好ましい。また、通水工程から電気回生工
程及び電気回生工程から通水工程への切り換え又は移行
については、特に制限されないが、例えば、次の第１の
実施の形態から第３の実施の形態で説明される方法が挙
げられる。

【００１８】また、本発明の電気式脱イオン水製造装置
の通水方法を適用する被処理水としては、前述の如く、
一般的には、井水や工業用水等を逆浸透膜装置や硬水軟
化装置で処理した水が挙げられるがこれに限定されるも
のではなく、イオン交換体に対する選択性が高いか、ま
たは電気的に溶離し難いために、イオン交換体内部に蓄
積し易い成分を含む水であればよい。例えば、電気式脱
イオン水製造装置を半導体デバイス工場排水の回収系に
おける脱塩装置として用いる場合には、陽イオンとして
はテトラメチルアンモニウムハイドライドやコリン等の
有機アルカリ薬品や、硝酸イオン、硫酸イオン、ヘキサ
フルオロけい酸等の陰イオンがイオン交換体に蓄積し易
く、これらが蓄積してくると、これらの物質よりもイオ
ン交換体への選択性の低いアンモニアやふっ化物イオン
の漏出を生じるばかりか、これらのイオンそのものが漏
出してきて処理水純度が低下してしまうことがあるが、
本発明の電気式脱イオン水製造装置の通水方法を用いれ
ば、処理水純度の低下を効率的に防止することができ
る。

【００１９】（第１の実施の形態）本発明の第１の実施
の形態は、電気式脱イオン水製造装置の通水処理方法に
おいて、原水を電気式脱イオン水製造装置に通水して処
理水を得る通水工程を経過した後、前記原水に代えて脱
塩水を前記電気式脱イオン水製造装置に通水してイオン
交換体から蓄積イオンを溶離させる電気回生工程を経る
電気式脱イオン水製造装置の通水処理方法である。

【００２０】本発明の第１の実施の形態における電気式
脱イオン水製造装置の通水処理方法を図１のブロック図
を参照して説明する。該第１の実施の形態において、通
水工程及び電気回生工程の作用効果は前述と同様である
ためその説明の詳細を省略し、主に、通水工程から電気
回生工程への切り換え等について述べる。図１中、１は
電気式脱イオン水製造装置、２は貯留タンクを示し、電
気式脱イオン水製造装置１は簡略的に脱塩室８及び濃縮
室９で示す。図１において、通水工程は次のように行
う。まず、弁３を開、弁６を閉の状態として、原水を送
液管４により電気式脱イオン製造装置１に通水して処理
水を得る。該処理水は貯留タンク２に送られ、一定量は
該貯留タンク２に保有し、残りは二次純水製造装置等へ
供給される。該通水工程により原水中の不純物イオンは
除去されるが、一方において、イオン交換体（樹脂）に
対して選択性の高いカルシウムイオン等は該イオン交換
体に徐々に蓄積される。当該通水工程は該イオンの蓄積
によって処理水の水質が低下する点に近づくまで約３か
月〜半年の長期間実施される。次に、上記通水工程を経
過した後、電気回生工程に切り換える。該切り換えは弁
３を閉、弁６を開の状態として、原水の供給を停止し、
原水に代えて貯留タンク２の処理水（脱塩水）を送液管
５により電気式脱イオン水製造装置１の脱塩室８に供給
することにより行われる。これにより、無負荷状態とな
るイオン交換体から蓄積イオンは徐々に電気的に溶離
し、イオン交換体は回生される。一方、溶離したイオン
は濃縮室９に移動し、一部はブロー、他の一部は濃縮室
９の入口に戻される。これにより、該電気回生工程は終
了し、次に、電気式脱イオン製造装置１は通水工程に切
り換えられ、以下同様の操作が繰り返えされる。

【００２１】本発明の第１の実施の形態において、電気
回生工程で電気式脱イオン水製造装置に供給される脱塩
水は、上記図１の態様以外に、例えば、別途に設けられ
たタンク及び純水供給系より供給してもよい。これによ
り、図１中の貯留タンク２及び送液管５を省略できる。
この第１の実施の形態においては、薬液を使用すること
なく容易に回生できる。このため、別途薬液の準備及び
供給操作が不要となる。

【００２２】（第２の実施の形態）本発明の第２の実施
の形態は、通水工程及び電気回生工程を交互に行う電気
式脱イオン水製造装置を用い、一方を電気式脱イオン水
製造装置に原水を通水して処理水を得る通水工程とし、
その間に、他方の通水工程用電気式脱イオン水製造装置
を電気回生工程用に切り換え、該電気式脱イオン水製造
装置に脱塩水を通水してイオン交換体に蓄積したイオン
を溶離させる電気式脱イオン水製造装置の通水処理方法
である。

【００２３】本発明の第２の実施の形態における電気式
脱イオン水製造装置の通水処理方法を図２のブロック図
を参照して説明する。該第２の実施の形態において、通
水工程及び電気回生工程の作用効果は前述と同様である
ためその説明の詳細を省略し、主に、通水工程から電気
回生工程への切り換え等について述べる。図２中、１１
ａ、１１ｂは通水工程及び電気回生工程を交互に行う電
気式脱イオン水製造装置を示し、該電気式脱イオン水製
造装置１１ａ、１１ｂは簡略的に脱塩室１８ａ、１８ｂ
及び濃縮室１９ａ、１９ｂで示す。図２において、通水
工程は次のように行う。すなわち、原水を送液管１４ａ
により一方の電気式脱イオン水製造装置１１ａに通水し
て処理水を得、該処理水を二次純水製造装置等へ供給す
る。該通水工程により原水中の不純物イオンは除去され
るが、一方において、イオン交換体（樹脂）に対して選
択性の高いカルシウムイオン等は該イオン交換体に徐々
に蓄積される。当該通水工程は該イオンの蓄積によって
処理水の水質が低下する点に近づくまで約３か月〜半年
の長期間実施される。一方、他方の電気式脱イオン水製
造装置１１ｂは上記のような通水工程を終えた状態のも
のであり、上記一方の電気式脱イオン水製造装置１１ａ
が通水工程となる間に、電気回生工程に切り換えられ
る。すなわち、当該切り換えは脱塩水を送液管１４ｂに
より電気式脱イオン水製造装置１１ｂに供給することに
より行われる。これにより、無負荷状態となるイオン交
換体から蓄積イオンは電気的に溶離し、イオン交換体は
回生される。一方、溶離したイオンは濃縮室１９ｂに移
動し、一部はブロー、他の一部は濃縮室１９ｂの入口に
戻される。上記電気式脱イオン水製造装置１１ｂの電気
回生工程及び上記電気式脱イオン水製造装置１１ａの通
水工程が終了すれば、今度は電気式脱イオン水製造装置
１１ｂを通水工程、電気式脱イオン水製造装置１１ａを
電気回生工程とし、以下同様の操作を交互に繰り返すせ
ばよい。

【００２４】かかる第２の実施の形態においては、前記
第１の実施の形態と同様の効果を奏する他、処理水（脱
塩水）を連続して供給することができるため、特に半導
体デバイス製造分野における超純水の供給停止による操
業率の低下等を解消できる。

【００２５】（第３の実施の形態）本発明の第３の実施
の形態における電気式脱イオン水製造装置の通水処理方
法を図３を参照して説明する。図３中、図２と同一構成
要素には同一記号を付してその説明を省略し、異なる点
についてのみ説明する。すなわち、第２の実施の形態と
異なるところは、電気式脱イオン水製造装置１１ａによ
る通水工程で処理された処理水の一部又は全量を、電気
回生工程となる電気式脱イオン水製造装置１１ｂに供給
される脱塩水とした点にある。これにより、電気回生工
程に供給される脱塩水の供給設備等が不要となる。

【００２６】また、図３において、電気式脱イオン水製
造装置１１ａによる通水工程で処理された処理水の全量
を、電気回生工程となる電気式脱イオン水製造装置１１
ｂに供給すれば、電気式脱イオン水製造装置１１ａと電
気式脱イオン水製造装置１１ｂは直列的に連結されたも
のとなる。その連結の１例の概略図を図４に示す。図４
中、２１ａ、２１ｂは電気式脱イオン水製造装置、３０
は抵抗率計及び２２、２３、２４、２５、２６、２７、
２８、２９は弁を示す。図４において、通水工程は次の
ように行う。まず、電気式脱イオン水製造装置２１ａを
前段、電気式脱イオン水製造装置２１ｂを後段とする２
段直列型電気式脱イオン水製造装置とし、これに原水を
通水する。この場合、弁２２、弁２６、弁２５、弁２９
は開の状態、弁２３、弁２４、弁２８、弁２７は閉の状
態とする。電気式脱イオン水製造装置２１ｂは通電の必
要がない待機の状態としてもよいが、通水工程末期にあ
る電気式脱イオン水製造装置２１ａの処理水の水質が悪
化するおそれがある場合は、通電しておくことが望まし
い。上記第２の実施の形態と同様の通水工程を終えた
後、待機状態にある電気式脱イオン水製造装置２１ｂを
前段、不純物イオンを蓄積した状態にある電気式脱イオ
ン水製造装置２１ａを後段として、原水を通水処理す
る。この場合、弁２３、弁２７、弁２４、弁２８は開の
状態、弁２２、弁２５、弁２６、弁２９は閉の状態であ
り、電気式脱イオン水製造装置２１ｂは通水工程処理、
電気式脱イオン水製造装置２１ａは電気回生工程処理に
使用される。該電気回生工程処理及び該通水工程処理が
終了すれば、弁の開閉を、最初の処理の状態に戻し、以
下同様の操作を交互に繰り返すせばよい。

【００２７】かかる第３の実施の形態においては、前記
第２の実施の形態と同様の効果を奏する他、電気回生工
程において、供給される脱塩水を他方の電気式脱イオン
水製造装置の通水工程を経て得られる処理水で賄えるた
め、都合が良い。さらに前段の装置から微量のイオンリ
ークがあったとしても後段の装置で除去することができ
るため、常に高水準の処理水が得られるという利点もあ
る。さらにその利点を生かし、前段の装置から炭酸イオ
ン、シリカ、ナトリウム等が少量漏出する程の高流速で
原水を通水し、後段の装置でこれら少量の不純物を除去
する様にすることで、処理水量の増大を図ることもでき
る。すなわち、高流速で多量の負荷が流入する前段の装
置では、炭酸イオン、シリカ、カルシウム等が蓄積し
て、炭酸イオン、シリカ、ナトリウム等の漏出量が初期
より増加してくる。このまま通水をつづけると、後段の
装置からも、これら不純物の漏出を生じるので、前段と
後段の装置を切換えることによって、それまで前段であ
った装置の流入負荷を減少させ、電気回生工程を実施す
ることにより、その後、再び前段側へもどす操作をくり
かえせばよい。

【００２８】本発明の電気式脱イオン水製造装置の通水
処理方法は、原水を電気式脱イオン水製造装置に通水さ
せたため、原水中に含まれるカルシウムイオン、マグネ
シウムイオン、ナトリウムイオン、カリウムイオン、塩
化物イオン、硫酸イオン等の強電解質、炭酸イオン、シ
リカ等の弱電解質等の不純物イオンを除去でき、高品質
の純水を得ることができる。一方、長期間の通水工程に
おいて選択性の高いカルシウムイオン等を蓄積した電気
式脱イオン水製造装置に対しては、脱塩水を通水させた
ため、無負荷状態のイオン交換体から蓄積イオンを徐々
に電気的に溶離させることができる。したがって、薬液
を使用することなくイオン交換体の回生を図ることがで
きる。また、２台の電気式脱イオン水製造装置を用い、
通水工程及び電気回生工程を交互に行こなうため、当該
装置を停止することなく処理水を連続して供給できる。

【００２９】

【実施例】次に、実施例を挙げて、本発明を更に具体的
に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限
するものではない。 実施例１ 図４において、原水を下記の運転条件及び上記の操作方
法により、電気式脱イオン処理した。運転期間は時間の
都合上、最初の電気回生工程処理期間を終えた時点とし
た。結果は通水工程処理期間及び電気回生工程処理期間
の合計期間６か月に亘り、連続して抵抗率１７ MΩ・cm
の脱塩水（純水）を供給することができた。

【００３０】（運転条件） ・原水；逆浸透膜処理された市水 ・電気式脱イオン水製造装置；EDI-010 型（オルガノ株
式会社製） ・通水の流量；２m³／時間 ・通水工程処理期間；３ケ月 ・電気回生工程処理期間；３ケ月 ・通水工程時電流；２．０Ａ ・回生工程時電流；２．０Ａ

【００３１】比較例１ 図４において、弁２２及び弁２８を開の状態、他の弁は
全て閉の状態とし、また、電気回生工程処理を行うこと
なく通水工程処理期間を８カ月とした以外は、実施例１
と同様の方法に従った。結果は通水工程処理期間８か月
で処理水の抵抗率は５ MΩ・cmとなった。

【００３２】

【発明の効果】本発明の方法によれば、電気式脱イオン
水製造装置の長期間の通水処理等により、使用するイオ
ン交換体に不純物イオンが蓄積された場合、薬液を使用
することなく該イオン交換体の回生を図ることができ
る。このため、別途薬液の準備及び供給操作が不要とな
る。また、処理水（脱塩水）を連続して供給することが
できるため、特に半導体デバイス製造分野における超純
水の供給停止による操業率の低下等を解消できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態における電気式脱イ
オン水製造装置の通水処理方法のブロック図を示す。

【図２】本発明の第２の実施の形態における電気式脱イ
オン水製造装置の通水処理方法のブロック図を示す。

【図３】本発明の第３の実施の形態における電気式脱イ
オン水製造装置の通水処理方法のブロック図を示す。

【図４】本発明の第３の他の実施の形態における電気式
脱イオン水製造装置の通水処理方法のブロック図を示
す。

【図５】本発明で使用する電気式脱イオン水製造装置の
模式断面図を示す。

【符号の説明】

１、１１ａ、１１ｂ，２１ａ、２１ｂ電気式脱イオン水
製造装置 ２ 貯留タンク ３、６、２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、
２９弁 ４、５ 送液管 ３０ 抵抗率計 ４１ カチオン交換膜 ４２ アニオン交換膜 ４３ 混合イオン交換樹脂 ４４ 脱塩室 ４５ 濃縮室 ４９、５０ 電極

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気式脱イオン水製造装置の通水処理方
   法において、原水を電気式脱イオン水製造装置に通水し
   て処理水を得る通水工程と、脱塩水を電気式脱イオン水
   製造装置に通水してイオン交換体から蓄積イオンを溶離
   させる電気回生工程と、を有することを特徴とする電気
   式脱イオン水製造装置の通水処理方法。
2. 【請求項２】 電気式脱イオン水製造装置の通水処理方
   法において、原水を電気式脱イオン水製造装置に通水し
   て処理水を得る通水工程を経過した後、前記原水に代え
   て脱塩水を前記電気式脱イオン水製造装置に通水してイ
   オン交換体から蓄積イオンを溶離させる電気回生工程を
   経ることを特徴とする電気式脱イオン水製造装置の通水
   処理方法。
3. 【請求項３】 通水工程及び電気回生工程を交互に行う
   電気式脱イオン水製造装置を用い、一方を電気式脱イオ
   ン水製造装置に原水を通水して処理水を得る通水工程と
   し、その間に、他方の通水工程用電気式脱イオン水製造
   装置を電気回生工程用に切り換え、該電気式脱イオン水
   製造装置に脱塩水を通水してイオン交換体に蓄積したイ
   オンを溶離させることを特徴とする電気式脱イオン水製
   造装置の通水処理方法。
4. 【請求項４】 前記電気回生工程用電気式脱イオン水製
   造装置に供給される脱塩水が、前記通水工程により得ら
   れた処理水の一部又は全量である請求項３記載の電気式
   脱イオン水製造装置の通水処理方法。