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JPH1152420A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

Info

Publication number
JPH1152420A
JPH1152420A JP21162597A JP21162597A JPH1152420A JP H1152420 A JPH1152420 A JP H1152420A JP 21162597 A JP21162597 A JP 21162597A JP 21162597 A JP21162597 A JP 21162597A JP H1152420 A JPH1152420 A JP H1152420A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
video signal
liquid crystal
crystal display
signal line
display device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP21162597A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masuyuki Ota
益幸 太田
Masahiro Ishii
正宏 石井
Kazuhiko Yanagawa
和彦 柳川
Kikuo Ono
記久雄 小野
Hiroaki Asuma
宏明 阿須間
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP21162597A priority Critical patent/JPH1152420A/en
Publication of JPH1152420A publication Critical patent/JPH1152420A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress longitudinal smear, to improve the productivity, and to reduce power consumption by providing conductive light shield films on the opposite surfaces of video signal lines and mutually inverting the polarities of video signal voltages applied to adjacent video signal lines in the same period. SOLUTION: The conductive light shield films are formed on the opposite surfaces of video signal lines and the polarities of the video signal voltages applied to adjacent video signal lines are mutually inverted in the same period. Namely, a scanning signal VG has ON level in every 1 scanning period and others have OFF level. The video signal voltage is applied to one pixel while inverted in polarity in alternate frames with an amplitude twice as large as that of a voltage applied to a liquid crystal layer. Here, the video signal voltage Vd is inverted in polarity for column and also inverted in polarity for each row. Consequently, pixels which are inverted in polarity adjoin to one another in the vertical and horizontal directions to reduce a flicker and crosstalk (horizontal smear).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に関
し、特に薄膜トランジスタ素子を有する高画質なアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置に用いる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device having a high picture quality and having a thin film transistor element.

【0002】[0002]

【従来の技術】いわゆる横電界方式と称されるカラー液
晶表示装置は、液晶層を介して互いに対向して配置され
る透明基板のうち、その一方または両方の液晶側の単位
画素に相当する領域面に、表示用電極と基準電極とが備
えられ、この表示用電極と基準電極との間に透明基板面
と平行に発生させる電界によって前記液晶層を透過する
光を変調させるようにしたものである。このようなカラ
ー液晶表示装置は、その表示面に対して大きな角度視野
から観察しても鮮明な映像を認識でき、いわゆる広角度
視野に優れたものとして知られるに至った。
2. Description of the Related Art In a so-called horizontal electric field type color liquid crystal display device, a region corresponding to one or both liquid crystal unit pixels of a transparent substrate disposed opposite to each other with a liquid crystal layer interposed therebetween. A surface is provided with a display electrode and a reference electrode, and light transmitted through the liquid crystal layer is modulated by an electric field generated between the display electrode and the reference electrode in parallel with the transparent substrate surface. is there. Such a color liquid crystal display device can recognize a clear image even when viewed from a large angle field of view with respect to its display surface, and has come to be known as having a so-called wide angle field of view.

【0003】なお、このような構成からなる液晶表示装
置としては、例えば特許出願公表平5−505247号
公報、特公昭63−21907号公報および特開平6−
160878号公報に詳述されている。
A liquid crystal display device having such a configuration is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. Hei 5-505247, Japanese Patent Publication No. 63-21907, and Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei.
This is described in detail in JP-A-160878.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成された液晶表示素子は、映像信号線から発生さ
れる不要な電界が、表示電極と基準電極との間の電界を
変動させ、表示面において、映像信号線に沿った方向に
帯状に筋を引く画質不良いわゆる縦スミア(クロストー
ク)が発生するという問題が残存されていた。この問題
を解決する手段が、特開平6−202127号公報に詳
述されている。しかしながら、このように構成された液
晶表示素子は、シールド電極を設け、それに外部から電
位を供給するため、シールド電極と信号電極との間の容
量への電流の充放電が大きく、駆動回路に対して負荷が
大きくなりすぎ、消費電力が大きい、または駆動回路が
大きくなりすぎる、さらには、シールド電極に電位を印
加するための接続手段が必要であり、工程の増加および
接続不良が発生するという問題が残存されていた。
However, in the liquid crystal display device configured as described above, an unnecessary electric field generated from the video signal line causes the electric field between the display electrode and the reference electrode to fluctuate, so that the display surface is not changed. However, there still remains a problem that a so-called vertical smear (crosstalk) occurs, which is a poor image quality in which stripes are formed in a band along the video signal line. Means for solving this problem is described in detail in JP-A-6-202127. However, in the liquid crystal display element configured as described above, since the shield electrode is provided and an electric potential is supplied to the shield electrode from the outside, a large amount of current is charged and discharged to and from the capacitor between the shield electrode and the signal electrode. The load becomes too large, the power consumption becomes too large, or the drive circuit becomes too large, and furthermore, a connection means for applying a potential to the shield electrode is required, which leads to an increase in the number of steps and poor connection. Had remained.

【0005】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたものであり、その目的は、いわゆる縦スミアの抑制
でき、かつ、生産性が良好で、低消費電力を図った液晶
表示素子を提供することにある。
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal display element which can suppress so-called vertical smear, has good productivity, and has low power consumption. Is to do.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明では、第1の構成として、複数の映像信号線
と複数の走査電極で構成された複数の画素を有し、画素
内に、基板面に平行な電界を印加でき得る画素電極と対
向電極を有し、画素電極に映像信号線と走査信号線に接
続された薄膜トランジスタから映像信号が供給され得る
アクティブマトリクス型液晶表示装置において、映像信
号線の対向面に、導電性の遮光膜を有し、隣合う映像信
号線に印加される映像信号電圧の極性が、同一期間で、
互いに反転していることを特徴とするアクティブマトリ
クス型液晶表示装置を構成する。
In order to achieve the above object, according to the present invention, as a first configuration, a plurality of pixels each including a plurality of video signal lines and a plurality of scanning electrodes are provided. An active matrix type liquid crystal display device having a pixel electrode and a counter electrode capable of applying an electric field parallel to the substrate surface and capable of supplying a video signal from a thin film transistor connected to a video signal line and a scanning signal line to the pixel electrode. Has a conductive light-shielding film on the opposite surface of the video signal line, and the polarity of the video signal voltage applied to the adjacent video signal line is the same,
An active matrix type liquid crystal display device characterized by being inverted is constituted.

【0007】第1の構成を含む第2の構成として、導電
性の遮光膜は、クロム、窒化クロム、酸化クロムの積層
構造であるアクティブマトリクス型液晶表示装置を構成
する。
As a second structure including the first structure, the conductive light-shielding film forms an active matrix type liquid crystal display device having a laminated structure of chromium, chromium nitride, and chromium oxide.

【0008】第1の構成を含む第3の構成として、映像
信号線の映像信号電圧の極性反転の周期が2走査期間毎
以上であるアクティブマトリクス型液晶表示装置を構成
する。
As a third configuration including the first configuration, an active matrix type liquid crystal display device in which the polarity inversion cycle of the video signal voltage of the video signal line is equal to or longer than every two scanning periods is provided.

【0009】第1の構成を含む第4の構成として、走査
電極の長手方向の隣り合う画素の対向電極に、互いに極
性の反転した交流矩形波を印加するアクティブマトリク
ス型液晶表示装置を構成する。
As a fourth configuration including the first configuration, an active matrix type liquid crystal display device in which alternating-current rectangular waves whose polarities are inverted to each other are applied to opposing electrodes of pixels adjacent to each other in the longitudinal direction of the scanning electrode.

【0010】第4の構成を含む第5の構成として、交流
矩形波の極性反転の周期が2走査期間毎以上であるアク
ティブマトリクス型液晶表示装置を構成する。
As a fifth configuration including the fourth configuration, an active matrix type liquid crystal display device in which the polarity inversion cycle of the AC rectangular wave is equal to or longer than every two scanning periods is provided.

【0011】このように構成した液晶表示素子は,ま
ず,一方の透明基板側に形成されている映像信号線に対
して,平面的に見て完全に重畳させた状態で導電性の遮
光膜(ブラックマトリクス)が他方の透明基板側に形成
されていることにより,映像信号線から発生する不要な
電気力線が,ブラックマトリクスに終端する。図1はそ
の原理を示す模式図である。
In the liquid crystal display device thus constructed, first, a conductive light-shielding film (in a state of being completely superimposed on a video signal line formed on one transparent substrate side in a plan view) is used. Since the (black matrix) is formed on the other transparent substrate side, unnecessary lines of electric force generated from the video signal lines terminate in the black matrix. FIG. 1 is a schematic diagram showing the principle.

【0012】また、一列毎に極性反転した信号を映像信
号線に印加する駆動方法を用いることにより、映像信号
線と遮光膜間の容量結合により発生した電圧は、隣の列
の映像信号線と遮光膜間の容量結合により発生した電圧
と極性が反転しているため、遮光膜間にキャンセル電流
が流れて遮光膜の電位の変動は起こらない。これによ
り、遮光膜に外部から電圧を印加しなくとも、不要な電
気力線のシールドが可能になるため、表示電極と基準電
極の間の電界が映像信号に依存して変動することがなく
なり、いわゆる縦スミアを抑制することができるように
なる。図2はその原理の模式図である。
Further, by using a driving method in which a signal whose polarity is inverted for each column is applied to a video signal line, a voltage generated by capacitive coupling between the video signal line and the light-shielding film is applied to a video signal line of an adjacent column. Since the polarity and the voltage generated by the capacitive coupling between the light-shielding films are inverted, a cancel current flows between the light-shielding films, so that the potential of the light-shielding film does not change. As a result, unnecessary electric field lines can be shielded without applying an external voltage to the light-shielding film, so that the electric field between the display electrode and the reference electrode does not fluctuate depending on the video signal, So-called vertical smear can be suppressed. FIG. 2 is a schematic diagram of the principle.

【0013】本発明の特長は、遮光膜に外部から電圧を
印加しなくとも良いので、遮光膜に電圧を外部から印加
する手段が不必要になり、またそれに伴う接続不良等の
不良の発生もなくなる。
An advantage of the present invention is that it is not necessary to apply a voltage to the light-shielding film from the outside, so that means for applying a voltage to the light-shielding film from the outside becomes unnecessary, and the occurrence of a defect such as a connection failure associated therewith is also eliminated. Disappears.

【0014】また、遮光膜内でキャンセル電流が発生す
るだけであるので、外部との電流の出し入れがなくなる
ため、消費電力を抑え、かつ、映像信号線から見たとき
の負荷も軽くなるため、駆動回路の縮小することができ
るようになる。
Also, since only a cancel current is generated in the light-shielding film, no current flows into and out of the light-shielding film, so that power consumption is suppressed and the load as viewed from the video signal line is reduced. The drive circuit can be reduced in size.

【0015】図3(a)には、絶縁性遮光膜を用いた場
合の映像信号線の電界による透過率の左右方向の分布を
示す。図に示されるように、映像信号線の電界による透
過光の発生は映像信号線の中心から26μmまで及んで
いる。一方、図3(b)に、導電性遮光膜を用いた場合
の映像信号線の電界による透過率の左右方向の分布を示
す。導電性BMを用いた場合は、14μmと、12μmも
表示部の透過光に影響する領域が減少している。したが
って、遮光膜の幅を52μmから28μmに低減できるの
で、開口率を大幅に増す事ができ、高開口率と低スミア
の両立が可能となる。
FIG. 3A shows the distribution of the transmittance in the left and right direction due to the electric field of the video signal line when an insulating light-shielding film is used. As shown in the figure, generation of transmitted light due to the electric field of the video signal line extends to 26 μm from the center of the video signal line. On the other hand, FIG. 3B shows the distribution of the transmittance in the left-right direction due to the electric field of the video signal line when a conductive light-shielding film is used. When the conductive BM is used, the area affecting transmission light of the display unit is reduced to 14 μm and 12 μm. Therefore, since the width of the light-shielding film can be reduced from 52 μm to 28 μm, the aperture ratio can be greatly increased, and both high aperture ratio and low smear can be achieved.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明、本発明の更に他の目的及
び本発明の更に他の特徴は図面を参照した以下の説明か
ら明らかとなるであろう。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention, further objects of the invention and further features of the invention will become apparent from the following description with reference to the drawings, in which: FIG.

【0017】(実施例1) 《アクティブ・マトリクス液晶表示装置》以下、アクテ
ィブ・マトリクス方式のカラー液晶表示装置に本発明を
適用した実施例を説明する。なお、以下説明する図面
で、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
(Embodiment 1) << Active matrix liquid crystal display device >> An embodiment in which the present invention is applied to an active matrix type color liquid crystal display device will be described below. In the drawings described below, components having the same function are denoted by the same reference numerals, and repeated description thereof will be omitted.

【0018】《マトリクス部(画素部)の平面構成》図
4は本発明のアクティブ・マトリクス方式カラー液晶表
示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。
<< Planar Configuration of Matrix Part (Pixel Part) >> FIG. 4 is a plan view showing one pixel of the active matrix type color liquid crystal display device of the present invention and its periphery.

【0019】図4に示すように、各画素は走査信号線
(ゲート信号線または水平信号線)GLと、対向電圧信
号線(対向電極配線)CLと、隣接する2本の映像信号線
(ドレイン信号線または垂直信号線)DLとの交差領域
内(4本の信号線で囲まれた領域内)に配置されてい
る。各画素は薄膜トランジスタTFT、蓄積容量Cst
g、画素電極PX(本実施例中では、画素電極と称し、
すなわち表示用電極の事である)および対向電極CT
(本実施例中では、対向電極と称し、すなわち基準電極
の事である)を含む。走査信号線GL、対向電圧信号線
CLは図では左右方向に延在し、上下方向に複数本配置
されている。映像信号線DLは上下方向に延在し、左右
方向に複数本配置されている。画素電極PXはソース電
極SD1を介して薄膜トランジスタTFTと電気的に接続
され、対向電極CTも対向電圧信号線CLと電気的に接
続されている。
As shown in FIG. 4, each pixel has a scanning signal line (gate signal line or horizontal signal line) GL, a counter voltage signal line (counter electrode line) CL, and two adjacent video signal lines (drain). The signal line or the vertical signal line) is arranged in an intersecting region with the DL (in a region surrounded by four signal lines). Each pixel is a thin film transistor TFT, a storage capacitor Cst
g, pixel electrode PX (referred to as a pixel electrode in this embodiment,
That is, the display electrode) and the counter electrode CT
(In this embodiment, it is called a counter electrode, that is, a reference electrode). The scanning signal lines GL and the counter voltage signal lines CL extend in the left-right direction in FIG. The video signal lines DL extend in the up-down direction, and a plurality of video signal lines DL are arranged in the left-right direction. The pixel electrode PX is electrically connected to the thin film transistor TFT via the source electrode SD1, and the counter electrode CT is also electrically connected to the counter voltage signal line CL.

【0020】画素電極PXと対向電極CTは互いに対向
し、各画素電極PXと対向電極CTとの間で発生させら
れる基板面に略平行な電界により液晶組成物LCの光学
的な状態を制御し、表示を制御する。画素電極PXと対
向電極CTは櫛歯状に構成され、それぞれ、図の上下方
向に長細い電極となっている。
The pixel electrode PX and the counter electrode CT face each other, and the optical state of the liquid crystal composition LC is controlled by an electric field generated between each pixel electrode PX and the counter electrode CT and substantially parallel to the substrate surface. Control the display. The pixel electrode PX and the counter electrode CT are formed in a comb shape, and each is an electrode that is elongated in the vertical direction in the figure.

【0021】画素電極PXと対向電極CTの電極幅はそ
れぞれ6μmとする。これは、液晶層の厚み方向に対し
て、液晶層全体に十分な電界を印加するために、後述の
液晶組成物層の厚み3.9μmよりも十分大きく設定す
る.望ましくは、液晶組成物層の1.5倍以上に設定す
る.また、開口率を大きくするためにできるだけ細くす
る。また、映像信号線DLも6μmとする。映像信号線
DLの線幅は断線を防止するために、画素電極PXと対
向電極CTに比較して若干広くしても良い。
The electrode width of each of the pixel electrode PX and the counter electrode CT is 6 μm. In order to apply a sufficient electric field to the entire liquid crystal layer in the thickness direction of the liquid crystal layer, the thickness is set to be sufficiently larger than 3.9 μm of a liquid crystal composition layer described later. Desirably, the thickness is set to 1.5 times or more of the liquid crystal composition layer. In addition, it is made as thin as possible to increase the aperture ratio. The video signal line DL is also 6 μm. The line width of the video signal line DL may be slightly wider than the pixel electrode PX and the counter electrode CT in order to prevent disconnection.

【0022】走査信号線GLは末端側の画素(後述の走
査電極端子GTMの反対側)のゲート電極GTに十分に
走査電圧が伝搬されるだけの抵抗値を満足するように線
幅を設定する。また、対向電圧信号線CLも末端側の画
素(後述の共通バスラインCB1およびCB2から最も
遠い画素すなわちCB1とCB2の中間の画素)の対向
電極CTに十分に対向電圧が印加できるだけの抵抗値を
満足するように線幅を設定する。
The line width of the scanning signal line GL is set so as to satisfy a resistance value enough to transmit a scanning voltage to a gate electrode GT of a terminal pixel (opposite to a scanning electrode terminal GTM described later). . Further, the counter voltage signal line CL also has a resistance value that allows a sufficient counter voltage to be applied to the counter electrode CT of the terminal pixel (the pixel farthest from the later-described common bus lines CB1 and CB2, that is, the pixel between CB1 and CB2). Set the line width to satisfy.

【0023】一方、画素電極PXと対向電極CTの間の
電極間隔は、用いる液晶材料によって変える。これは、
液晶材料によって最大透過率を達成する電界強度が異な
るため、電極間隔を液晶材料に応じて設定し、用いる映
像信号駆動回路(信号側ドライバ)の耐圧で設定される
信号電圧の最大振幅の範囲で、最大透過率が得られるよ
うにするためである。後述の液晶材料を用いると電極間
隔は、約12μmとなる。
On the other hand, the electrode interval between the pixel electrode PX and the counter electrode CT changes depending on the liquid crystal material used. this is,
Since the electric field strength that achieves the maximum transmittance varies depending on the liquid crystal material, the electrode spacing is set according to the liquid crystal material, and within the range of the maximum amplitude of the signal voltage set by the withstand voltage of the video signal driving circuit (signal side driver) used. , So that the maximum transmittance can be obtained. When a liquid crystal material described later is used, the electrode interval is about 12 μm.

【0024】《マトリクス部(画素部)の断面構成》図
5は図4の6−6切断線における断面を示す図、図6は
図4の7−7切断線における薄膜トランジスタTFTの
断面図、図7は図4の8−8切断線における蓄積容量C
stgの断面を示す図である。図5〜図7に示すように、
液晶組成物層LCを基準にして下部透明ガラス基板SU
B1側には薄膜トランジスタTFT、蓄積容量Cstgおよ
び電極群が形成され、上部透明ガラス基板SUB2側に
はカラーフィルタFIL、遮光膜(ブラックマトリク
ス)BMが形成されている。
<< Cross-Sectional Structure of Matrix (Pixel) >> FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line 6-6 in FIG. 4, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the thin film transistor TFT taken along the line 7-7 in FIG. 7 is the storage capacitance C at the 8-8 section line in FIG.
It is a figure showing the section of stg. As shown in FIGS.
The lower transparent glass substrate SU based on the liquid crystal composition layer LC
A thin film transistor TFT, a storage capacitor Cstg, and an electrode group are formed on the B1 side, and a color filter FIL and a light shielding film (black matrix) BM are formed on the upper transparent glass substrate SUB2 side.

【0025】また、透明ガラス基板SUB1、SUB2
のそれぞれの内側(液晶LC側)の表面には、液晶の初
期配向を制御する配向膜AF1、AF2が設けられてお
り、透明ガラス基板SUB1、SUB2のそれぞれの外
側の表面には、偏光板が設けられている。
Further, the transparent glass substrates SUB1, SUB2
Alignment films AF1 and AF2 for controlling the initial alignment of the liquid crystal are provided on the inner surface (on the liquid crystal LC side) of each of the above, and a polarizing plate is provided on each outer surface of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2. Is provided.

【0026】《TFT基板》まず、下側透明ガラス基板
SUB1側(TFT基板)の構成を詳しく説明する。
<< TFT Substrate >> First, the structure of the lower transparent glass substrate SUB1 (TFT substrate) will be described in detail.

【0027】《薄膜トランジスタTFT》薄膜トランジ
スタTFTは、ゲート電極GTに正のバイアスを印加す
ると、ソース−ドレイン間のチャネル抵抗が小さくな
り、バイアスを零にすると、チャネル抵抗は大きくなる
ように動作する。
<< Thin Film Transistor TFT >> The thin film transistor TFT operates so that the channel resistance between the source and the drain decreases when a positive bias is applied to the gate electrode GT, and the channel resistance increases when the bias is set to zero.

【0028】薄膜トランジスタTFTは、図6に示すよ
うに、ゲート電極GT、絶縁膜GI、i型(真性、intr
insic、導電型決定不純物がドープされていない)非晶
質シリコン(Si)からなるi型半導体層AS、一対の
ソース電極SD1、ドレイン電極SD2を有す。なお、
ソース、ドレインは本来その間のバイアス極性によって
決まるもので、この液晶表示装置の回路ではその極性は
動作中反転するので、ソース、ドレインは動作中入れ替
わると理解されたい。しかし、以下の説明では、便宜上
一方をソース、他方をドレインと固定して表現する。
As shown in FIG. 6, the thin film transistor TFT has a gate electrode GT, an insulating film GI, an i-type (intrinsic, intr
It has an insic, i-type semiconductor layer AS made of amorphous silicon (Si not doped with a conductivity type determining impurity), a pair of source electrode SD1, and a drain electrode SD2. In addition,
It should be understood that the source and the drain are originally determined by the bias polarity between them, and in the circuit of this liquid crystal display device, the polarity is inverted during the operation, so that the source and the drain are switched during the operation. However, in the following description, one is fixed and the other is fixed as a drain for convenience.

【0029】《ゲート電極GT》ゲート電極GTは走査
信号線GLと連続して形成されており、走査信号線GL
の一部の領域がゲート電極GTとなるように構成されて
いる。ゲート電極GTは薄膜トランジスタTFTの能動
領域を超える部分である。本例では、ゲート電極GT
は、単層の導電膜g3で形成されている。導電膜g3と
しては例えばスパッタで形成されたクロム−モリブデン
合金(Cr−Mo)膜が用いられるがそれに限ったもの
ではない。
<< Gate Electrode GT >> The gate electrode GT is formed continuously with the scanning signal line GL.
Is configured to be a gate electrode GT. The gate electrode GT is a portion beyond the active area of the thin film transistor TFT. In this example, the gate electrode GT
Is formed of a single-layer conductive film g3. As the conductive film g3, for example, a chromium-molybdenum alloy (Cr-Mo) film formed by sputtering is used, but not limited thereto.

【0030】《走査信号線GL》走査信号線GLは導電
膜g3で構成されている。この走査信号線GLの導電膜
g3はゲート電極GTの導電膜g3と同一製造工程で形
成され、かつ一体に構成されている。この走査信号線G
Lにより、外部回路からゲート電圧(走査電圧)Vgを
ゲート電極GTに供給する。本例では、導電膜g3とし
ては例えばスパッタで形成されたクロム−モリブデン合
金(Cr−Mo)膜が用いられる。また、走査信号線G
Lおよびはゲート電極GTは、クロム−モリブデン合金
のみに限られたものではなく、たとえば、低抵抗化のた
めにアルミニウムまたはアルミニウム合金をクロム−モ
リブデンで包み込んだ2層構造としてもよい。さらに、
映像信号線DLと交差する部分は映像信号線DLとの短
絡の確率を小さくするため細くし、また、短絡しても、
レーザートリミングで切り離すことができるように二股
にしても良い。
<< Scanning Signal Line GL >> The scanning signal line GL is made of a conductive film g3. The conductive film g3 of the scanning signal line GL is formed in the same manufacturing process as the conductive film g3 of the gate electrode GT, and is integrally formed. This scanning signal line G
By L, a gate voltage (scanning voltage) Vg is supplied from an external circuit to the gate electrode GT. In this example, as the conductive film g3, for example, a chromium-molybdenum alloy (Cr-Mo) film formed by sputtering is used. Also, the scanning signal line G
The L and the gate electrode GT are not limited to the chromium-molybdenum alloy, but may have a two-layer structure in which aluminum or an aluminum alloy is wrapped with chromium-molybdenum for low resistance. further,
The portion that intersects with the video signal line DL is thinned to reduce the probability of short circuit with the video signal line DL.
It may be bifurcated so that it can be separated by laser trimming.

【0031】《対向電圧信号線CL》対向電圧信号線C
Lは導電膜g3で構成されている。この対向電圧信号線
CLの導電膜g3はゲート電極GT、走査信号線GLお
よび対向電極CTの導電膜g3と同一製造工程で形成さ
れ、かつ対向電極CTと電気的に接続できるように構成
されている。この対向電圧信号線CLにより、外部回路
から対向電圧Vcomを対向電極CTに供給する。また、
対向電圧信号線CLは、クロム−モリブデン合金のみに
限られたものではなく、たとえば、低抵抗化のためにア
ルミニウムまたはアルミニウム合金をクロム−モリブデ
ンで包み込んだ2層構造としてもよい。さらに、映像信
号線DLと交差する部分は映像信号線DLとの短絡の確
率を小さくするため細くし、また、短絡しても、レーザ
ートリミングで切り離すことができるように二股にして
も良い。
<< Counter Voltage Signal Line CL >> Counter Voltage Signal Line C
L is composed of a conductive film g3. The conductive film g3 of the counter voltage signal line CL is formed in the same manufacturing process as the conductive film g3 of the gate electrode GT, the scanning signal line GL, and the counter electrode CT, and is configured to be electrically connected to the counter electrode CT. I have. The counter voltage Vcom is supplied from the external circuit to the counter electrode CT through the counter voltage signal line CL. Also,
The counter voltage signal line CL is not limited to the chromium-molybdenum alloy, but may have a two-layer structure in which aluminum or an aluminum alloy is wrapped with chromium-molybdenum for low resistance. Further, the portion that intersects with the video signal line DL may be narrowed in order to reduce the probability of a short circuit with the video signal line DL, or may be bifurcated so that even if a short circuit occurs, it can be separated by laser trimming.

【0032】《絶縁膜GI》絶縁膜GIは、薄膜トラン
ジスタTFTにおいて、ゲート電極GTと共に半導体層
ASに電界を与えるためのゲート絶縁膜として使用され
る。絶縁膜GIはゲート電極GTおよび走査信号線GL
の上層に形成されている。絶縁膜GIとしては例えばプ
ラズマCVDで形成された窒化シリコン膜が選ばれ、2
000〜4500Åの厚さに(本実施例では、3500
Å程度)形成される。また、絶縁膜GIは走査信号線G
Lおよび対向電圧信号線CLと映像信号線DLの層間絶
縁膜としても働き、それらの電気的絶縁にも寄与してい
る。
<< Insulating Film GI >> The insulating film GI is used as a gate insulating film for applying an electric field to the semiconductor layer AS together with the gate electrode GT in the thin film transistor TFT. The insulating film GI includes the gate electrode GT and the scanning signal line GL.
Is formed in the upper layer. As the insulating film GI, for example, a silicon nitride film formed by plasma CVD is selected.
000-4500 mm (in this embodiment, 3500
Å) formed. Further, the insulating film GI is provided with the scanning signal line G.
It also functions as an interlayer insulating film between the L and counter voltage signal lines CL and the video signal lines DL, and contributes to their electrical insulation.

【0033】《i型半導体層AS》i型半導体層AS
は、非晶質シリコンで、150〜2500Åの厚さに
(本実施例では、1200Å程度の膜厚)で形成され
る。層d0はオーミックコンタクト用のリン(P)をド
ープしたN(+)型非晶質シリコン半導体層であり、下側
にi型半導体層ASが存在し、上側に導電層d3が存在
するところのみに残されている。
<< i-type semiconductor layer AS >> i-type semiconductor layer AS
Is amorphous silicon and is formed to a thickness of 150 to 2500 ° (about 1200 ° in this embodiment). The layer d0 is an N (+)-type amorphous silicon semiconductor layer doped with phosphorus (P) for ohmic contact, and is provided only in a region where the i-type semiconductor layer AS is present on the lower side and the conductive layer d3 is present on the upper side. Has been left.

【0034】i型半導体層ASおよび層d0は、走査信
号線GLおよび対向電圧信号線CLと映像信号線DLと
の交差部(クロスオーバ部)の両者間にも設けられてい
る。この交差部のi型半導体層ASは交差部における走
査信号線GLおよび対向電圧信号線CLと映像信号線D
Lとの短絡を低減する。
The i-type semiconductor layer AS and the layer d0 are also provided between the scanning signal line GL and the intersection (crossover portion) between the counter voltage signal line CL and the video signal line DL. The i-type semiconductor layer AS at the intersection is provided with the scanning signal line GL, the counter voltage signal line CL, and the video signal line D at the intersection.
Short circuit with L is reduced.

【0035】《ソース電極SD1、ドレイン電極SD
2》ソース電極SD1、ドレイン電極SD2のそれぞれ
は、N(+)型半導体層d0に接触する導電膜d3から構
成されている。
<< Source electrode SD1, drain electrode SD
2 >> Each of the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 is formed of a conductive film d3 which is in contact with the N (+) type semiconductor layer d0.

【0036】導電膜d3はスパッタで形成したクロム−
モリブデン合金(Cr−Mo)膜を用い、500〜30
00Åの厚さに(本実施例では、2500Å程度)で形
成される。Cr−Mo膜は低応力であるので、比較的膜
厚を厚く形成することができ配線の低抵抗化に寄与す
る。
The conductive film d3 is made of chromium-
Using a molybdenum alloy (Cr-Mo) film,
It is formed to a thickness of 00 ° (about 2500 ° in this embodiment). Since the Cr-Mo film has low stress, it can be formed relatively thick, which contributes to lowering the resistance of the wiring.

【0037】また、Cr−Mo膜はN(+)型半導体層d
0との接着性も良好である。導電膜d3として、Cr−
Mo膜の他に高融点金属(Mo、Ti、Ta、W)膜、
高融点金属シリサイド(MoSi2、TiSi2、TaS
2、WSi2)膜を用いてもよく、また、アルミニウム
等との積層構造にしてもよい。
Further, the Cr—Mo film is an N (+) type semiconductor layer d.
The adhesiveness with 0 is also good. As the conductive film d3, Cr-
In addition to the Mo film, a high melting point metal (Mo, Ti, Ta, W) film,
Refractory metal silicide (MoSi 2 , TiSi 2 , TaS
i 2, WSi 2) film may be used, or may be a laminated structure with aluminum or the like.

【0038】《映像信号線DL》映像信号線DLはソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2と同層の導電膜d3
で構成されている。また、映像信号線DLはドレイン電
極SD2と一体に形成されている。本例では、導電膜d
3はスパッタで形成したクロム−モリブデン合金(Cr
−Mo)膜を用い、500〜3000Åの厚さに(本実
施例では、2500Å程度)で形成される。Cr−Mo
膜は低応力であるので、比較的膜厚を厚く形成すること
ができ配線の低抵抗化に寄与する。また、Cr−Mo膜
はN(+)型半導体層d0との接着性も良好である。導電
膜d3として、Cr−Mo膜の他に高融点金属(Mo、
Ti、Ta、W)膜、高融点金属シリサイド(MoSi
2、TiSi2、TaSi2、WSi2)膜を用いてもよ
く、また、断線を防ぐために、アルミニウム等との積層
構造にしてもよい。
<< Video Signal Line DL >> The video signal line DL is a conductive film d3 of the same layer as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2.
It is composed of The video signal line DL is formed integrally with the drain electrode SD2. In this example, the conductive film d
3 is a chromium-molybdenum alloy (Cr
-Mo) The film is formed to a thickness of 500 to 3000 ° (about 2500 ° in this embodiment) using a film. Cr-Mo
Since the film has low stress, it can be formed relatively thick, which contributes to lowering the resistance of the wiring. Further, the Cr—Mo film has good adhesion to the N (+) type semiconductor layer d0. As the conductive film d3, a refractory metal (Mo,
Ti, Ta, W) film, refractory metal silicide (MoSi)
2 , TiSi 2 , TaSi 2 , WSi 2 ) film, or a laminated structure with aluminum or the like to prevent disconnection.

【0039】《蓄積容量Cstg》導電膜d3は、薄膜ト
ランジスタTFTのソース電極SD2部分において、対
向電圧信号線CLと重なるように形成されている。この
重ね合わせは、図7からも明らかなように、ソース電極
SD2(d3)を一方の電極とし、対向電圧信号CLを
他方の電極とする蓄積容量(静電容量素子)Cstgを構
成する。この蓄積容量Cstgの誘電体膜は、薄膜トラン
ジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される絶縁膜G
Iで構成されている。
<< Storage Capacitor Cstg >> The conductive film d3 is formed so as to overlap the counter voltage signal line CL in the source electrode SD2 portion of the thin film transistor TFT. This superposition constitutes a storage capacitor (capacitance element) Cstg in which the source electrode SD2 (d3) is used as one electrode and the counter voltage signal CL is used as the other electrode, as is clear from FIG. The dielectric film of the storage capacitor Cstg is an insulating film G used as a gate insulating film of the thin film transistor TFT.
I.

【0040】図4に示すように平面的には蓄積容量Cst
gは対向電圧信号線CLの一部分に形成されている。
As shown in FIG. 4, the storage capacitance Cst
g is formed in a part of the counter voltage signal line CL.

【0041】《保護膜PSV1》薄膜トランジスタTF
T上には保護膜PSV1が設けられている。保護膜PS
V1は主に薄膜トランジスタTFTを湿気等から保護す
るために形成されており、透明性が高くしかも耐湿性の
良いものを使用する。保護膜PSV1はたとえばプラズ
マCVD装置で形成した酸化シリコン膜や窒化シリコン
膜で形成されており、0.1〜1μm程度の膜厚で形成
する。
<< Protective Film PSV1 >> Thin Film Transistor TF
On T, a protective film PSV1 is provided. Protective film PS
V1 is formed mainly to protect the thin film transistor TFT from moisture and the like, and uses a material having high transparency and good moisture resistance. The protective film PSV1 is formed of, for example, a silicon oxide film or a silicon nitride film formed by a plasma CVD apparatus, and has a thickness of about 0.1 to 1 μm.

【0042】保護膜PSV1は、外部接続端子DTM、
GTMを露出するよう除去されている。保護膜PSV1
と絶縁膜GIの厚さ関係に関しては、前者は保護効果を
考え厚くされ、後者はトランジスタの相互コンダクタン
スgmを考え薄くされる。
The protective film PSV1 is connected to external connection terminals DTM,
Removed to expose GTM. Protective film PSV1
And the thickness of the insulating film GI, the former is made thicker in consideration of the protection effect, and the latter is made thinner in consideration of the transconductance gm of the transistor.

【0043】また、画素部では、対向電圧信号線CLと
後述の対向電極CTとの電気的接続、および、ソース電
極SD2と画素電極PXとの電気的接続のために、スル
ーホールTH2およびTH1を設けている。スルーホー
ルTH2では、保護膜PSV1と絶縁膜GIが一括で加
工されるのでg3層までの孔があき、スルーホールTH
1ではd3でブロッキングされるのでd3層までの孔があ
く。
In the pixel portion, through holes TH2 and TH1 are provided for electrical connection between the counter voltage signal line CL and a counter electrode CT described later, and for electrical connection between the source electrode SD2 and the pixel electrode PX. Provided. In the through hole TH2, since the protective film PSV1 and the insulating film GI are processed at a time, a hole up to the g3 layer is formed, and the through hole TH2 is formed.
In the case of 1, since blocking is performed at d3, holes are formed up to the d3 layer.

【0044】また、保護膜PSV1は、ポリイミド等の
有機膜を厚く構成したものとの積層構造としても良い。
The protective film PSV1 may have a laminated structure with a thick organic film such as polyimide.

【0045】《画素電極PX》画素電極PXは、透明導
電層i1で形成されている。この透明導電膜i1はスパ
ッタリングで形成された透明導電膜(Indium-Tin-Oxide
ITO:ネサ膜)からなり、100〜2000Åの厚
さに(本実施例では、1400Å程度の膜厚)形成され
る。また、画素電極PXはスルーホールTH1を介し
て、ソース電極SD2に接続されている。
<< Pixel Electrode PX >> The pixel electrode PX is formed of the transparent conductive layer i1. This transparent conductive film i1 is a transparent conductive film (Indium-Tin-Oxide) formed by sputtering.
It is made of ITO (a Nesa film) and is formed to a thickness of 100 to 2000 ((in this embodiment, about 1400 、 1). The pixel electrode PX is connected to the source electrode SD2 via the through hole TH1.

【0046】画素電極が本実施例のように透明になるこ
とにより、その部分の透過光により、白表示を行う時の
最大透過率が向上するため、画素電極が不透明な場合よ
りも、より明るい表示を行うことができる。この時、後
述するように、電圧無印加時には、液晶分子は初期の配
向状態を保ち、その状態で黒表示をするように偏光板の
配置を構成(ノーマリブラックモードにする)している
ので、画素電極を透明にしても、その部分の光を透過す
ることがなく、良質な黒を表示することができる。これ
により、最大透過率が向上させ、かつ十分なコントラス
ト比を達成することができる。
When the pixel electrode is made transparent as in the present embodiment, the maximum transmittance in white display is improved due to the transmitted light in that portion, so that the pixel electrode is brighter than when the pixel electrode is opaque. Display can be performed. At this time, as described later, when no voltage is applied, the liquid crystal molecules maintain the initial alignment state, and the arrangement of the polarizers is set so as to perform black display in that state (normal black mode). Even if the pixel electrode is transparent, it is possible to display high-quality black without transmitting light in that portion. Thereby, the maximum transmittance can be improved and a sufficient contrast ratio can be achieved.

【0047】《対向電極CT》対向電極CTは透明導電
層i1で形成されている。この透明導電膜i1はスパッ
タリングで形成された透明導電膜(Indium-Tin-Oxide
ITO:ネサ膜)からなり、100〜2000Åの厚さ
に(本実施例では、1400Å程度の膜厚)形成され
る。また、対向電極CTはスルーホールTH2を介し
て、対向電圧信号線CLに接続されている。画素電極P
Xと同様、対向電極を透明にすることにより、白表示を
行う時の最大透過率が向上する。
<< Counter Electrode CT >> The counter electrode CT is formed of the transparent conductive layer i1. This transparent conductive film i1 is a transparent conductive film (Indium-Tin-Oxide) formed by sputtering.
It is made of ITO (a Nesa film) and is formed to a thickness of 100 to 2000 ((in this embodiment, about 1400 、 1). The counter electrode CT is connected to the counter voltage signal line CL via the through hole TH2. Pixel electrode P
Similarly to X, by making the opposing electrode transparent, the maximum transmittance when white display is performed is improved.

【0048】対向電極CTには対向電圧Vcomが印加さ
れるように構成されている。本実施例では、対向電圧V
comは映像信号線DLに印加される最小レベルの駆動電
圧Vdminと最大レベルの駆動電圧Vdmaxとの中間直流
電位から、薄膜トランジスタ素子TFTをオフ状態にす
るときに発生するフィードスルー電圧ΔVs分だけ低い
電位に設定される。
The counter electrode CT is configured to apply a counter voltage Vcom. In this embodiment, the counter voltage V
com is a potential lower than the intermediate DC potential between the minimum level drive voltage Vdmin and the maximum level drive voltage Vdmax applied to the video signal line DL by a feedthrough voltage ΔVs generated when the thin film transistor element TFT is turned off. Is set to

【0049】《カラーフィルタ基板》次に、図4、図5
に戻り、上側透明ガラス基板SUB2側(カラーフィル
タ基板)の構成を詳しく説明する。
<< Color Filter Substrate >> Next, FIGS.
Returning to, the configuration of the upper transparent glass substrate SUB2 side (color filter substrate) will be described in detail.

【0050】《遮光膜BM》上部透明ガラス基板SUB
2側には、不要な間隙部(画素電極PXと対向電極CT
の間以外の隙間)からの透過光が表示面側に出射して、
コントラスト比等を低下させないように遮光膜BM(い
わゆるブラックマトリクス)を形成している。遮光膜B
Mは、外部光またはバックライト光がi型半導体層AS
に入射しないようにする役割も果たしている。すなわ
ち、薄膜トランジスタTFTのi型半導体層ASは上下
にある遮光膜BMおよび大き目のゲート電極GTによっ
てサンドイッチにされ、外部の自然光やバックライト光
が当たらなくなる。
<< Light shielding film BM >> Upper transparent glass substrate SUB
On the second side, an unnecessary gap (pixel electrode PX and counter electrode CT)
Transmitted light from the gap other than the gap between
A light-shielding film BM (a so-called black matrix) is formed so as not to lower the contrast ratio and the like. Light shielding film B
M indicates that the external light or the backlight light is the i-type semiconductor layer AS
It also plays a role in preventing light from entering. That is, the i-type semiconductor layer AS of the thin film transistor TFT is sandwiched between the upper and lower light-shielding films BM and the large gate electrode GT, so that external natural light or backlight does not shine.

【0051】図4に遮光膜BMのパターンの1例を示
す。
FIG. 4 shows an example of a pattern of the light shielding film BM.

【0052】遮光膜BMは、導電性および遮光性を有す
る金属膜で形成し、画素の表示部に孔をあけたマトリク
ス状のパターンにする。本実施例では、遮光膜BMは、
クロム薄膜を用いる。また、クロム薄膜のガラス面側に
は、酸化クロム、窒化クロムを形成する。これは、ガラ
ス面側の反射率を低減するためであり、液晶表示装置の
表示面を低反射にするためである。また、遮光膜BMで
映像信号線DL上を完全に覆い隠すように構成し、映像
信号線DLからの電気力線のほとんどを遮光膜BMに終
端させる。このままでは遮光膜BMの電位が映像信号線
DLの電位によって変動してしまうので、クロストーク
は軽減しないが、遮光膜BMの左右方向に延在した部分
により、隣の映像信号線DLからの逆極性の電位変動と
の間に、それらをお互いにキャンセルする電流が流れ、
遮光膜BMの電位は安定する。これにより、画素電極P
Xと対向電極CT間の電界は、映像信号線DLの電位の
変動を受けることは無くなる。したがって、クロストー
クが大幅に軽減する。これは、前述したように、導電性
の遮光膜BMを用い、一列毎に映像信号線DLに印加す
る映像信号の極性を逆転させた駆動方法を用いたことに
よって、新たに発生する効果であり、横電界方式を用い
るアクティブマトリクス型液晶表示装置に特有の効果で
ある。本発明によって、作用にも示したように遮光膜B
Mの左右方向の幅を30μm以下にできるので大幅に開
口率を向上する事ができる。したがって、本実施例で
は、対角13.3型のXGA解像度のもので約40%の
開口率を得ることができた。
The light-shielding film BM is formed of a metal film having conductivity and light-shielding properties, and is formed in a matrix pattern in which holes are formed in a display portion of a pixel. In this embodiment, the light shielding film BM is
Use a chromium thin film. Chromium oxide and chromium nitride are formed on the glass surface side of the chromium thin film. This is to reduce the reflectance on the glass surface side and to reduce the reflection of the display surface of the liquid crystal display device. Further, the light shielding film BM is configured to completely cover the video signal line DL, and most of the lines of electric force from the video signal line DL are terminated in the light shielding film BM. In this state, the potential of the light-shielding film BM fluctuates due to the potential of the video signal line DL. Therefore, crosstalk is not reduced. However, the portion extending in the left-right direction of the light-shielding film BM causes a reverse effect from the adjacent video signal line DL. Between the potential fluctuations of the polarity, a current flows that cancels each other out,
The potential of the light shielding film BM is stabilized. Thereby, the pixel electrode P
The electric field between X and the counter electrode CT does not receive the fluctuation of the potential of the video signal line DL. Therefore, crosstalk is greatly reduced. This is an effect newly generated by using the driving method in which the polarity of the video signal applied to the video signal line DL is reversed for each column by using the conductive light shielding film BM as described above. This is an effect unique to an active matrix type liquid crystal display device using a horizontal electric field method. According to the present invention, the light-shielding film B
Since the width of M in the left-right direction can be made 30 μm or less, the aperture ratio can be greatly improved. Therefore, in the present embodiment, an aperture ratio of about 40% could be obtained with a 13.3 diagonal XGA resolution.

【0053】また、この遮光膜BMで各行の有効表示領
域が仕切られる。従って、各行の画素の輪郭が遮光膜B
Mによってはっきりとする。さらに、遮光膜BMは.i
型半導体層ASに対する遮光の機能も持つ。
The effective display area of each row is partitioned by the light shielding film BM. Therefore, the contour of the pixel in each row is
M clarifies. Furthermore, the light-shielding film BM is .i
It also has a light shielding function for the type semiconductor layer AS.

【0054】また、本発明は、薄膜でも遮光性の高い金
属膜(0.05〜0.2μm)を用いているため、カラー
フィルタの凹凸が絶縁性の遮光膜(1〜3μm)を用い
るものより少なくなり、平坦性が増すので、液晶層の厚
みが均一になり、液晶層の厚みの変化に伴う輝度のむら
が解消される。
Further, in the present invention, since a metal film (0.05 to 0.2 μm) having a high light-shielding property is used even if it is a thin film, the unevenness of the color filter uses an insulating light-shielding film (1 to 3 μm). Since the thickness becomes smaller and the flatness increases, the thickness of the liquid crystal layer becomes uniform, and the unevenness of the luminance due to the change in the thickness of the liquid crystal layer is eliminated.

【0055】遮光膜BMは周辺部にも額縁状に形成さ
れ、そのパターンは図4に示すマトリクス部のパターン
と連続して形成されている。周辺部の遮光膜BMは、シ
ール部SLの外側に延長され、パソコン等の実装機に起
因する反射光等の漏れ光がマトリクス部に入り込むのを
防いぐと共に、バックライト等の光が表示エリア外に漏
れるのも防いでいる。他方、この遮光膜BMは基板SU
B2の縁よりも約0.3〜1.0mm程内側に留めら
れ、基板SUB2の切断領域を避けて形成されている。
The light-shielding film BM is also formed in a frame shape at the peripheral portion, and its pattern is formed continuously with the pattern of the matrix portion shown in FIG. The light-shielding film BM at the peripheral portion is extended outside the seal portion SL to prevent leakage light such as reflected light due to a mounting machine such as a personal computer from entering the matrix portion, and light from the backlight or the like to the display area. It also prevents it from leaking outside. On the other hand, this light shielding film BM is
It is held about 0.3 to 1.0 mm inside the edge of B2, and is formed avoiding the cutting area of the substrate SUB2.

【0056】.《カラーフィルタFIL》カラーフィル
タFILは画素に対向する位置に赤、緑、青の繰り返し
でストライプ状に形成される。カラーフィルタFILは
遮光膜BMのエッジ部分と重なるように形成されてい
る。
<< Color Filter FIL >> The color filter FIL is formed in a stripe shape by repeating red, green, and blue at a position facing the pixel. The color filter FIL is formed so as to overlap the edge portion of the light shielding film BM.

【0057】カラーフィルタFILは次のように形成す
ることができる。まず、上部透明ガラス基板SUB2の
表面にアクリル系樹脂等の染色基材を形成し、フォトリ
ソグラフィ技術で赤色フィルタ形成領域以外の染色基材
を除去する。この後、染色基材を赤色顔料で染め、固着
処理を施し、赤色フィルタRを形成する。つぎに、同様
な工程を施すことによって、緑色フィルタG、青色フィ
ルタBを順次形成する。なお、染色には染料を用いても
よい。
The color filter FIL can be formed as follows. First, a dye base such as an acrylic resin is formed on the surface of the upper transparent glass substrate SUB2, and the dye base other than the red filter formation region is removed by photolithography. Thereafter, the dyed base material is dyed with a red pigment and subjected to a fixing treatment to form a red filter R. Next, a green filter G and a blue filter B are sequentially formed by performing a similar process. Note that a dye may be used for dyeing.

【0058】《オーバーコート膜OC》オーバーコート
膜OCはカラーフィルタFILの染料の液晶組成物層L
Cへの漏洩の防止、および、カラーフィルタFIL、遮
光膜BMによる段差の平坦化のために設けられている。
オーバーコート膜OCはたとえばアクリル樹脂、エポキ
シ樹脂等の透明樹脂材料で形成されている。また、オー
バーコート膜OCとして、流動性の良いポリイミド等の
有機膜を使用しても良い。また、このオーバーコート膜
OCの膜厚は、通常2μm程度であるが、本発明の効果
をより発揮するためには、出来る限り薄いほうが、遮光
膜BMが映像信号線DLに近ずくので、より映像信号線
DLからの電気力線が基板と水平な方向(横方向)に広
がらず、遮光膜BMに終端するので、シールド効率が良
くなる。具体的には、平坦性を出せる0.2μmからシー
ルド効率を十分保てる1.0μm以下が好ましい。
<< Overcoat Film OC >> The overcoat film OC is a liquid crystal composition layer L of the dye of the color filter FIL.
C is provided to prevent leakage to C and to flatten a step due to the color filter FIL and the light shielding film BM.
The overcoat film OC is formed of a transparent resin material such as an acrylic resin and an epoxy resin. Further, as the overcoat film OC, an organic film such as polyimide having good fluidity may be used. The thickness of the overcoat film OC is usually about 2 μm. However, in order to exhibit the effect of the present invention, the thinner the light shielding film BM is, the closer to the video signal line DL. Since the electric lines of force from the video signal lines DL do not spread in the horizontal direction (lateral direction) with the substrate and terminate at the light shielding film BM, the shielding efficiency is improved. Specifically, it is preferable that the thickness be from 0.2 μm which can provide flatness to 1.0 μm or less which can sufficiently maintain the shielding efficiency.

【0059】《液晶層および偏向板》次に、液晶層、配
向膜、偏光板等について説明する。
<< Liquid Crystal Layer and Polarizing Plate >> Next, the liquid crystal layer, the alignment film, the polarizing plate and the like will be described.

【0060】《液晶層》液晶材料LCとしては、誘電率
異方性Δεが正でその値が13.2、屈折率異方性Δnが0.0
81(589nm、20℃)のネマティック液晶を用いる。液晶
層の厚み(ギャップ)は、3.9μmとし、リタデーション
Δn・dは0.316とする。このリタデーションΔn・dの値
により、後述の配向膜と偏光板と組み合わせ、液晶分子
がラビング方向から電界方向に45°回転したとき最大
透過率を得ることができ、可視光の範囲内で波長依存性
がほとんどない透過光を得ることができる。このリタデ
ーションの範囲は、0.25〜0.32μmの範囲が十分
な透過光を得るために好ましい。
<< Liquid Crystal Layer >> The liquid crystal material LC has a positive dielectric anisotropy Δε of 13.2 and a refractive index anisotropy Δn of 0.0.
A nematic liquid crystal of 81 (589 nm, 20 ° C.) is used. The thickness (gap) of the liquid crystal layer is 3.9 μm, and the retardation Δn · d is 0.316. By the value of this retardation Δn · d, the maximum transmittance can be obtained when the liquid crystal molecules are rotated by 45 ° from the rubbing direction to the electric field direction in combination with the alignment film and the polarizing plate described later, and the wavelength dependence within the visible light range. It is possible to obtain transmitted light having little property. The range of this retardation is preferably in the range of 0.25 to 0.32 μm in order to obtain sufficient transmitted light.

【0061】なお、液晶層の厚み(ギャップ)は、ポリ
マビーズで制御している。
The thickness (gap) of the liquid crystal layer is controlled by polymer beads.

【0062】なお、液晶材料LCは、特に限定したもの
ではなく、誘電率異方性Δεは負でもよい。また、誘電
率異方性Δεは、その値が大きいほうが、駆動電圧が低
減できる。また、屈折率異方性Δnは小さいほうが、液
晶層の厚み(ギャップ)を厚くでき、液晶の封入時間が
短縮され、かつギャップばらつきを少なくすることがで
きる。
The liquid crystal material LC is not particularly limited, and the dielectric anisotropy Δε may be negative. In addition, the larger the value of the dielectric anisotropy Δε, the lower the driving voltage. In addition, the smaller the refractive index anisotropy Δn, the thicker the gap (gap) of the liquid crystal layer, the shorter the liquid crystal filling time, and the smaller the gap variation.

【0063】また、液晶組成物の比抵抗としては、10
Ωcm以上10 Ωcm以下、好ましくは10
Ωcm以上10 Ωcm以下のものを用いる。本方式
では、液晶組成物の抵抗が低くても、画素電極と対向電
極間に充電された電圧を十分保持することができ、その
下限は10Ωcm、好ましくは10 Ωcmであ
る。これは、画素電極と対向電極を、同一基板上に構成
していることによる。また、抵抗が高すぎると、製造工
程上に入った静電気を緩和しにくいため、10 Ωc
m以下、好ましくは10 Ωcm以下が良い。
The specific resistance of the liquid crystal composition is 10
9 [Omega] cm or more 10 1 4 [Omega] cm or less, preferably 10 1 1
[Omega] cm or more 10 1 3 [Omega] cm using the following things. In this method, even at low resistance of the liquid crystal composition, the voltage charged between the pixel electrode and the counter electrode can be sufficiently held, the lower limit of 10 9 [Omega] cm, preferably 10 1 1 [Omega] cm. This is because the pixel electrode and the counter electrode are formed on the same substrate. Further, when the resistance is too high, the hard alleviate static electricity entering the production process, 10 1 4 .omega.c
m or less, preferably 10 1 3 [Omega] cm or less.

【0064】また、液晶材料のツイスト弾性定数K2は小
さいほうが好ましい。具体的には、2pN以上が良い。
It is preferable that the twist elastic constant K2 of the liquid crystal material is small. Specifically, 2pN or more is good.

【0065】《配向膜》配向膜ORIとしては、ポリイ
ミドを用いる。ラビング方向RDRは上下基板で互いに
平行にし、かつ印加電界方向EDRとのなす角度は75
°とする。図20にその関係を示す。
<< Orientation Film >> Polyimide is used as the orientation film ORI. The rubbing direction RDR is parallel to the upper and lower substrates, and the angle between the rubbing direction RDR and the applied electric field direction EDR is 75.
°. FIG. 20 shows the relationship.

【0066】なお、ラビング方向RDRと印加電界方向
EDRとのなす角度は、液晶材料の誘電率異方性Δεが
正であれば、45°以上90°未満、誘電率異方性Δε
が負であれば、0°を超え45°以下でなければならな
い。
The angle between the rubbing direction RDR and the applied electric field direction EDR is 45 ° or more and less than 90 ° when the dielectric anisotropy Δε of the liquid crystal material is positive.
If is negative, it must be greater than 0 ° and less than or equal to 45 °.

【0067】《偏光板》偏光板POLとしては、下側の
偏光板POL1の偏光透過軸MAX1をラビング方向R
DRと一致させ、上側の偏向板POL2の偏光透過軸M
AX2を、それに直交させる。図3にその関係を示す。
これにより、本発明の画素に印加される電圧(画素電極
PXと対向電極CTの間の電圧)を増加させるに伴い、
透過率が上昇するノーマリクローズ特性を得ることがで
き、また、電圧無印加時には、良質な黒表示ができる。
また、上側と下側の偏光板の関係は、逆転させても良
く、特性上大きな変化はない。
<< Polarizing Plate >> As the polarizing plate POL, the polarization transmission axis MAX1 of the lower polarizing plate POL1 is set in the rubbing direction R.
DR and the polarization transmission axis M of the upper deflector POL2.
AX2 is made orthogonal to it. FIG. 3 shows the relationship.
Accordingly, as the voltage (voltage between the pixel electrode PX and the counter electrode CT) applied to the pixel of the present invention increases,
It is possible to obtain a normally closed characteristic in which the transmittance is increased, and it is possible to display a high quality black display when no voltage is applied.
The relationship between the upper and lower polarizing plates may be reversed, and there is no significant change in characteristics.

【0068】なお、本実施例では、偏光板に導電性を持
たせることにより、外部からの静電気による表示不良お
よびEMI対策を施している。導電性に関しては、静電
気による影響を対策するためだけであれば、シート抵抗
が10Ω/ロ以下、EMIに対しても対策するのであ
れば、10Ω/ロ以下とするのが望ましい。また、ガ
ラス基板の液晶組成物の挟持面の裏面(偏光板を粘着さ
せる面)に導電層を設けてもよい。
In this embodiment, a display failure due to external static electricity and a measure against EMI are taken by imparting conductivity to the polarizing plate. Regarding the conductivity, the sheet resistance is desirably set to 10 8 Ω / b or less if only to take measures against the influence of static electricity, and is set to 10 4 Ω / b or less if EMI is also taken. Further, a conductive layer may be provided on the back surface (the surface on which the polarizing plate is adhered) of the sandwiching surface of the liquid crystal composition of the glass substrate.

【0069】《マトリクス周辺の構成》図8は上下のガ
ラス基板SUB1、SUB2を含む表示パネルPNLの
マトリクス(AR)周辺の要部平面を示す図である。ま
た、図9は、左側に走査回路が接続されるべき外部接続
端子GTM付近の断面を、右側に外部接続端子が無いと
ころのシール部付近の断面を示す図である。
<< Structure around the Matrix >> FIG. 8 is a diagram showing a main part plane around the matrix (AR) of the display panel PNL including the upper and lower glass substrates SUB1 and SUB2. FIG. 9 is a diagram showing a cross section near the external connection terminal GTM to which the scanning circuit is to be connected on the left side, and a cross section near the seal portion where there is no external connection terminal on the right side.

【0070】このパネルの製造では、小さいサイズであ
ればスループット向上のため1枚のガラス基板で複数個
分のデバイスを同時に加工してから分割し、大きいサイ
ズであれば製造設備の共用のためどの品種でも標準化さ
れた大きさのガラス基板を加工してから各品種に合った
サイズに小さくし、いずれの場合も一通りの工程を経て
からガラスを切断する。図8、図9は後者の例を示すも
ので、図8、図9の両図とも上下基板SUB1、SUB
2の切断後を表しており、LNは両基板の切断前の縁を
示す。いずれの場合も、完成状態では外部接続端子群T
g、Tdおよび端子COT(添字略)が存在する(図で
上辺と左辺の)部分はそれらを露出するように上側基板
SUB2の大きさが下側基板SUB1よりも内側に制限
されている。端子群Tg、Tdはそれぞれ後述する走査
回路接続用端子GTM、映像信号回路接続用端子DTM
とそれらの引出配線部を集積回路チップCHIが搭載さ
れたテープキャリアパッケージTCP(図19、図2
0)の単位に複数本まとめて名付けたものである。各群
のマトリクス部から外部接続端子部に至るまでの引出配
線は、両端に近づくにつれ傾斜している。これは、パッ
ケージTCPの配列ピッチ及び各パッケージTCPにお
ける接続端子ピッチに表示パネルPNLの端子DTM、
GTMを合わせるためである。また、対向電極端子CO
Tは、対向電極CTに対向電圧を外部回路から与えるた
めの端子である。マトリクス部の対向電圧信号線CL
は、走査回路用端子GTMの反対側(図では右側)に引
き出し、各対向電圧信号線を共通バスラインCBで一纏
めにして、対向電極端子COTに接続している。
[0070] Any For this panel In the manufacture of, if small size divided from simultaneously processing a plurality fraction of the device in one glass substrate for increased throughput, manufacturing facilities if large size shared A glass substrate of a standardized size is processed even in a variety, and the size is reduced to a size suitable for each type. In each case, the glass is cut after passing through one process. 8 and 9 show an example of the latter. Both FIGS. 8 and 9 show the upper and lower substrates SUB1 and SUB.
2 shows the state after cutting, and LN indicates the edge of both substrates before cutting. In any case, in the completed state, the external connection terminal group T
The size of the upper substrate SUB2 is limited to the inside of the lower substrate SUB1 so that g, Td, and the terminal COT (subscripts omitted) (the upper side and the left side in the figure) are exposed so that they are exposed. The terminal groups Tg and Td are respectively a scanning circuit connection terminal GTM and a video signal circuit connection terminal DTM described later.
A tape carrier package TCP on which an integrated circuit chip CHI is mounted (see FIGS. 19 and 2)
A plurality of units are collectively named in the unit of 0). The lead wiring from the matrix section of each group to the external connection terminal section is inclined as approaching both ends. This is because the terminals DTM of the display panel PNL are arranged at the arrangement pitch of the package TCP and the connection terminal pitch of each package TCP.
This is for matching GTM. Also, the counter electrode terminal CO
T is a terminal for applying a counter voltage to the counter electrode CT from an external circuit. Counter voltage signal line CL in matrix section
Are drawn out on the opposite side (right side in the figure) of the scanning circuit terminal GTM, and the common voltage signal lines are grouped together by a common bus line CB and connected to the common electrode terminal COT.

【0071】透明ガラス基板SUB1、SUB2の間に
はその縁に沿って、液晶封入口INJを除き、液晶LC
を.封止するようにシールパターンSLが形成される。
シール材は例えばエポキシ樹脂から成る。
Between the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, along the edge thereof, except for the liquid crystal filling opening INJ, the liquid crystal LC
The seal pattern SL is formed so as to seal.
The sealing material is made of, for example, an epoxy resin.

【0072】配向膜ORI1、ORI2の層は、シール
パターンSLの内側に形成される。偏光板POL1、P
OL2はそれぞれ下部透明ガラス基板SUB1、上部透
明ガラス基板SUB2の外側の表面に構成されている。
液晶LCは液晶分子の向きを設定する下部配向膜ORI
1と上部配向膜ORI2との間でシールパターンSLで
仕切られた領域に封入されている。下部配向膜ORI1
は下部透明ガラス基板SUB1側の保護膜PSV1の上
部に形成される。
The layers of the orientation films ORI1 and ORI2 are formed inside the seal pattern SL. Polarizing plates POL1, P
OL2 is formed on the outer surfaces of the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2, respectively.
The liquid crystal LC is a lower alignment film ORI for setting the direction of liquid crystal molecules.
1 and the upper alignment film ORI2 are sealed in a region partitioned by a seal pattern SL. Lower alignment film ORI1
Is formed on the protective film PSV1 on the lower transparent glass substrate SUB1 side.

【0073】この液晶表示装置は、下部透明ガラス基板
SUB1側、上部透明ガラス基板SUB2側で別個に種
々の層を積み重ね、シールパターンSLを基板SUB2
側に形成し、下部透明ガラス基板SUB1と上部透明ガ
ラス基板SUB2とを重ね合わせ、シール材SLの開口
部INJから液晶LCを注入し、注入口INJをエポキ
シ樹脂などで封止し、上下基板を切断することによって
組み立てられる。
In this liquid crystal display device, various layers are separately stacked on the lower transparent glass substrate SUB1 side and the upper transparent glass substrate SUB2 side, and the seal pattern SL is formed on the substrate SUB2.
Side, the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2 are overlapped, liquid crystal LC is injected from the opening INJ of the sealing material SL, the injection port INJ is sealed with epoxy resin or the like, and the upper and lower substrates are sealed. Assembled by cutting.

【0074】《ゲート端子部》図10は表示マトリクス
の走査信号線GLからその外部接続端子GTMまでの接
続構造を示す図であり、(A)は平面図であり(B)は
(A)のB−B切断線における断面図を示している。な
お、同図は図8下方付近に対応し、斜め配線の部分は便
宜状一直線状で表した。
<< Gate Terminal Portion >> FIG. 10 is a diagram showing a connection structure from the scanning signal line GL of the display matrix to its external connection terminal GTM, (A) is a plan view, and (B) is a diagram of (A). FIG. 3 shows a cross-sectional view taken along the line BB. This figure corresponds to the vicinity of the lower part of FIG. 8, and the diagonal wiring portion is represented by a straight line for convenience.

【0075】図中Cr−Mo層g3は、判り易くするた
めハッチを施してある。
In the figure, the Cr-Mo layer g3 is hatched for easy understanding.

【0076】ゲート端子GTMはCr−Mo層g3と、
更にその表面を保護し、かつ、TCP(Tape Ca
rrier Packege)との接続の信頼性を向上
させるための透明導電層i1とで構成されている。この
透明導電層i1は画素電極PXと同一工程で形成された
透明導電膜ITOを用いている。
The gate terminal GTM has a Cr—Mo layer g3,
Further, the surface is protected and TCP (Tape Ca
(rear package) and a transparent conductive layer i1 for improving the reliability of connection. This transparent conductive layer i1 uses a transparent conductive film ITO formed in the same step as the pixel electrode PX.

【0077】平面図において、絶縁膜GIおよび保護膜
PSV1はその境界線よりも右側に形成されており、左
端に位置する端子部GTMはそれらから露出し外部回路
との電気的接触ができるようになっている。図では、ゲ
ート線GLとゲート端子の一つの対のみが示されている
が、実際はこのような対が図8に示すように上下に複数
本並べられ端子群Tg(図8)が構成され、ゲート端子
の左端は、製造過程では、基板の切断領域を越えて延長
され配線SHg(図示せず)によって短絡される。製造
過程における配向膜ORI1のラビング時等の静電破壊
防止に役立つ。
In the plan view, the insulating film GI and the protective film PSV1 are formed on the right side of the boundary line, and the terminal portion GTM located on the left end is exposed therefrom so that it can make electrical contact with an external circuit. Has become. In the figure, only one pair of the gate line GL and the gate terminal is shown. However, in practice, a plurality of such pairs are arranged vertically as shown in FIG. 8 to form a terminal group Tg (FIG. 8). In the manufacturing process, the left end of the gate terminal extends beyond the cutting region of the substrate and is short-circuited by a wiring SHg (not shown). This is useful for preventing electrostatic breakdown at the time of rubbing of the alignment film ORI1 in the manufacturing process.

【0078】《ドレイン端子DTM》図11は映像信号
線DLからその外部接続端子DTMまでの接続を示す図
であり、(A)はその平面図を示し、(B)は(A)の
B−B切断線における断面図を示す。なお、同図は図8
右上付近に対応し、図面の向きは便宜上変えてあるが右
端方向が基板SUB1の上端部に該当する。
<< Drain Terminal DTM >> FIGS. 11A and 11B are diagrams showing the connection from the video signal line DL to the external connection terminal DTM, FIG. 11A is a plan view thereof, and FIG. FIG. 3 shows a cross-sectional view taken along section line B. FIG. 8 shows FIG.
Corresponding to the vicinity of the upper right, the direction of the drawing is changed for convenience, but the right end corresponds to the upper end of the substrate SUB1.

【0079】TSTdは検査端子でありここには外部回
路は接続されないが、プローブ針等を接触できるよう配
線部より幅が広げられている。同様に、ドレイン端子D
TMも外部回路との接続ができるよう配線部より幅が広
げられている。外部接続ドレイン端子DTMは上下方向
にに配列され、ドレイン端子DTMは、図5に示すよう
に端子群Td(添字省略)を構成し基板SUB1の切断
線を越えて更に延長され、製造過程中は静電破壊防止の
ためその全てが互いに配線SHd(図示せず)によって
短絡される。検査端子TSTdは図11に示すように一
本置きの映像信号線DLに形成される。
TSTd is an inspection terminal, which is not connected to an external circuit, but is wider than a wiring portion so that a probe needle or the like can be contacted. Similarly, the drain terminal D
The TM is also wider than the wiring part so that it can be connected to an external circuit. The external connection drain terminals DTM are arranged in the vertical direction, and the drain terminals DTM constitute a terminal group Td (subscript omitted) as shown in FIG. 5 and are further extended beyond the cutting line of the substrate SUB1. All of them are short-circuited to each other by a wiring SHd (not shown) to prevent electrostatic breakdown. The inspection terminal TSTd is formed on every other video signal line DL as shown in FIG.

【0080】ドレイン接続端子DTMは透明導電層i1
で形成されており、保護膜PSV1を除去した部分で映
像信号線DLと接続されている。この透明導電膜i1は
ゲート端子GTMの時と同様に画素電極PXと同一工程
で形成された透明導電膜ITOを用いている。
The drain connection terminal DTM is connected to the transparent conductive layer i1.
The portion where the protective film PSV1 is removed is connected to the video signal line DL. This transparent conductive film i1 uses a transparent conductive film ITO formed in the same step as the pixel electrode PX, as in the case of the gate terminal GTM.

【0081】マトリクス部からドレイン端子部DTMま
での引出配線は、映像信号線DLと同じレベルの層d3
が構成されている。
The lead wiring from the matrix portion to the drain terminal portion DTM is connected to the layer d3 of the same level as the video signal line DL.
Is configured.

【0082】《対向電極端子CTM》図12は対向電圧
信号線CLからその外部接続端子CTMまでの接続を示
す図であり、(A)はその平面図を示し、(B)は
(A)のB−B切断線における断面図を示す。なお、同
図は図8左上付近に対応する。
<< Counter Electrode Terminal CTM >> FIGS. 12A and 12B are diagrams showing the connection from the counter voltage signal line CL to the external connection terminal CTM, FIG. 12A is a plan view thereof, and FIG. FIG. 4 shows a cross-sectional view taken along the line BB. This figure corresponds to the vicinity of the upper left of FIG.

【0083】各対向電圧信号線CLは共通バスラインC
B1で一纏めして対向電極端子CTMに引き出されてい
る。共通バスラインCBは導電層g3の上に導電層3を
積層し、透明導電層i1でそれらを電気的に接続した構
造となっている。これは、共通バスラインCBの抵抗を
低減し、対向電圧が外部回路から各対向電圧信号線CL
に十分に供給されるようにするためである。本構造で
は、特に新たに導電層を負荷することなく、共通バスラ
インの抵抗を下げられるのが特徴である。
Each common voltage signal line CL is connected to a common bus line C
B1 collectively leads to the counter electrode terminal CTM. The common bus line CB has a structure in which the conductive layer 3 is stacked on the conductive layer g3, and they are electrically connected by the transparent conductive layer i1. This reduces the resistance of the common bus line CB, and the opposing voltage is supplied from an external circuit to each opposing voltage signal line CL.
In order to be supplied sufficiently. This structure is characterized in that the resistance of the common bus line can be reduced without particularly adding a new conductive layer.

【0084】対向電極端子CTMは、導電層g3の上に
透明導電層i1が積層された構造になっている。この透
明導電膜i1は他の端子の時と同様に画素電極PXと同
一工程で形成された透明導電膜ITOを用いている。透
明導電層i1により、その表面を保護し、電食等を防ぐ
ために耐久性のよい透明導電層i1で、導電層g3を覆
っている。また透明導電層i1と導電層g3および導電
層d3との接続は保護膜PSV1および絶縁膜GIにう
スルーホールを形成し導通を取っている。
The counter electrode terminal CTM has a structure in which a transparent conductive layer i1 is laminated on a conductive layer g3. This transparent conductive film i1 uses a transparent conductive film ITO formed in the same step as the pixel electrode PX, as in the case of the other terminals. The conductive layer g3 is covered with the transparent conductive layer i1 having good durability in order to protect the surface with the transparent conductive layer i1 and prevent electrolytic corrosion and the like. The connection between the transparent conductive layer i1 and the conductive layers g3 and d3 is made conductive by forming through holes in the protective film PSV1 and the insulating film GI.

【0085】一方、図13は対向電圧信号線CLのもう
一方の端からその外部接続端子CTM2までの接続を示
す図であり、(A)はその平面図を示し、(B)は
(A)のB−B切断線における断面図を示す。なお、同
図は図5右上付近に対応する。ここで、共通バスライン
CB2では各対向電圧信号線CLのもう一方の端(ゲー
ト端子GTM側)をで一纏めして対向電極端子CTM2
に引き出されている。共通バスラインCB1と異なる点
は、走査信号線GLとは絶縁されるように、導電層d3
と透明導電層i1で形成していることである。また、走
査信号線GLとの絶縁は絶縁膜GIで行っている。
On the other hand, FIG. 13 is a diagram showing the connection from the other end of the counter voltage signal line CL to the external connection terminal CTM2, (A) is a plan view, and (B) is (A). 2 is a sectional view taken along line BB of FIG. This figure corresponds to the vicinity of the upper right of FIG. Here, in the common bus line CB2, the other end (the gate terminal GTM side) of each counter voltage signal line CL is put together to form the counter electrode terminal CTM2.
Has been drawn to. The difference from the common bus line CB1 is that the conductive layer d3 is insulated from the scanning signal line GL.
And the transparent conductive layer i1. Further, insulation with the scanning signal line GL is performed by the insulating film GI.

【0086】《表示装置全体等価回路》表示マトリクス
部の等価回路とその周辺回路の結線図を図14に示す。
同図は回路図ではあるが、実際の幾何学的配置に対応し
て描かれている。ARは複数の画素を二次元状に配列し
たマトリクス・アレイである。
<< Equivalent Circuit of Entire Display Device >> FIG. 14 shows a connection diagram of the equivalent circuit of the display matrix portion and its peripheral circuits.
Although the figure is a circuit diagram, it is drawn corresponding to an actual geometric arrangement. AR is a matrix array in which a plurality of pixels are two-dimensionally arranged.

【0087】図中、Xは映像信号線DLを意味し、添字
G、BおよびRがそれぞれ緑、青および赤画素に対応し
て付加されている。Yは走査信号線GLを意味し、添字
1,2,3,…,endは走査タイミングの順序に従って
付加されている。
In the figure, X represents a video signal line DL, and suffixes G, B and R are added corresponding to green, blue and red pixels, respectively. Y indicates the scanning signal line GL, and the suffixes 1, 2, 3,..., End are added according to the order of the scanning timing.

【0088】走査信号線Y(添字省略)は垂直走査回路
Vに接続されており、映像信号線X(添字省略)は映像
信号駆動回路Hに接続されている。
The scanning signal line Y (subscript omitted) is connected to the vertical scanning circuit V, and the video signal line X (subscript omitted) is connected to the video signal driving circuit H.

【0089】SUPは1つの電圧源から複数の分圧した
安定化された電圧源を得るための電源回路やホスト(上
位演算処理装置)からのCRT(陰極線管)用の情報を
TFT液晶表示装置用の情報に交換する回路を含む回路
である。
The SUP uses a power supply circuit for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source and information for a CRT (cathode ray tube) from a host (upper processing unit) as a TFT liquid crystal display device. This is a circuit that includes a circuit that exchanges information for use.

【0090】《駆動方法》図15に本実施例の液晶表示
装置の駆動波形を示す。対向電圧VCは一定電圧とす
る。走査信号VGは1走査期間ごとに、オンレベルをと
り、その他はオフレベルをとる。映像信号電圧は、液晶
層に印加したい電圧の2倍の振幅で正極と負極を1フレ
ーム毎に反転して1つの画素に伝えるように印加する。
ここで、映像信号電圧Vdは1列毎に極性を反転し、1
行毎にも極性を反転する。これにより、極性が反転した
画素が上下左右にとなりあう構成となり、フリッカ、ク
ロストーク(左右方向のスミア)を発生しにくくするこ
とができる。また、対向電圧Vcは映像信号電圧の極性
反転のセンター電圧から、一定量さげた電圧に設定す
る。これは、薄膜トランジスタ素子がオンからオフに変
わるときに発生するフィードスルー電圧を補正するもの
であり、液晶に直流成分の少ない交流電圧を印加するた
めに行う(液晶は直流が印加されると、残像、劣化等が
激しくなるため)。
<< Driving Method >> FIG. 15 shows a driving waveform of the liquid crystal display device of this embodiment. The counter voltage VC is a constant voltage. The scanning signal VG takes an on level every scanning period, and takes an off level in the other scanning periods. The video signal voltage is applied so that the positive and negative polarities are inverted every frame and transmitted to one pixel with twice the amplitude of the voltage to be applied to the liquid crystal layer.
Here, the polarity of the video signal voltage Vd is inverted for each column,
The polarity is also inverted for each row. As a result, pixels having inverted polarities are arranged vertically and horizontally, so that flicker and crosstalk (smear in the left and right directions) can be suppressed. In addition, the counter voltage Vc is set to a voltage that is reduced by a fixed amount from the center voltage of the polarity inversion of the video signal voltage. This is to correct the feed-through voltage generated when the thin film transistor element changes from on to off, and is performed to apply an AC voltage having a small DC component to the liquid crystal. , Deterioration, etc.).

【0091】《蓄積容量Cstgの働き》蓄積容量Cstg
は、画素に書き込まれた(薄膜トランジスタTFTがオ
フした後の)映像情報を、長く蓄積するために設ける。
本発明で用いている電界を基板面と平行に印加する方式
では、電界を基板面に垂直に印加する方式と異なり、画
素電極と対向電極で構成される容量(いわゆる液晶容
量)がほとんど無いため、蓄積容量Cstgが映像情報を
画素に蓄積することができない。したがって、電界を基
板面と平行に印加する方式では、蓄積容量Cstgは必須
の構成要素である。
<< Function of Storage Capacitance Cstg >> Storage Capacitance Cstg
Is provided in order to accumulate video information (after the thin film transistor TFT is turned off) written in the pixel for a long time.
In the method of applying an electric field parallel to the substrate surface used in the present invention, unlike the method of applying the electric field perpendicular to the substrate surface, there is almost no capacitance (so-called liquid crystal capacitance) formed by the pixel electrode and the counter electrode. However, the storage capacity Cstg cannot store video information in the pixel. Therefore, in a system in which an electric field is applied in parallel with the substrate surface, the storage capacitor Cstg is an essential component.

【0092】また、蓄積容量Cstgは、薄膜トランジス
タTFTがスイッチングするとき、画素電極電位Vsに
対するゲート電位変化ΔVgの影響を低減するようにも
働く。この様子を式で表すと、次のようになる。
The storage capacitor Cstg also works to reduce the effect of the gate potential change ΔVg on the pixel electrode potential Vs when the thin film transistor TFT switches. This situation is represented by the following equation.

【0093】 ΔVs={Cgs/(Cgs+Cstg+Cpix)}×ΔVg ここで、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲート電極G
Tとソース電極SD1との間に形成される寄生容量、C
pixは画素電極PXと対向電極CTとの間に形成される
容量、ΔVsはΔVgによる画素電極電位の変化分いわゆ
るフィードスルー電圧を表わす。この変化分ΔVsは液
晶LCに加わる直流成分の原因となるが、保持容量Cst
gを大きくすればする程、その値を小さくすることがで
きる。液晶LCに印加される直流成分の低減は、液晶L
Cの寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時に前の画
像が残るいわゆる焼き付きを低減することができる。
ΔVs = {Cgs / (Cgs + Cstg + Cpix)} × ΔVg where Cgs is the gate electrode G of the thin film transistor TFT.
Parasitic capacitance formed between T and the source electrode SD1, C
pix represents a capacitance formed between the pixel electrode PX and the counter electrode CT, and ΔVs represents a so-called feed-through voltage corresponding to a change in pixel electrode potential due to ΔVg. This change ΔVs causes a DC component applied to the liquid crystal LC, but the storage capacitance Cst
The larger the value of g, the smaller the value. The reduction of the DC component applied to the liquid crystal LC
The life of C can be improved, and so-called burn-in in which the previous image remains when the liquid crystal display screen is switched can be reduced.

【0094】前述したように、ゲート電極GTはi型半
導体層ASを完全に覆うよう大きくされている分、ソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2とのオーバラップ面
積が増え、従って寄生容量Cgsが大きくなり、画素電極
電位Vsはゲート(走査)信号Vgの影響を受け易くなる
という逆効果が生じる。しかし、蓄積容量Cstgを設け
ることによりこのデメリットも解消することができる。
As described above, since the gate electrode GT is made large so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS, the overlap area with the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 increases, and therefore the parasitic capacitance Cgs increases. The pixel electrode potential Vs is susceptible to the gate (scanning) signal Vg. However, this disadvantage can be eliminated by providing the storage capacitor Cstg.

【0095】《製造方法》つぎに、上述した液晶表示装
置の基板SUB1側の製造方法について図16〜図18
を参照して説明する。なお同図において、中央の文字は
工程名の略称であり、左側は図27に示す薄膜トランジ
スタTFT部分、右側は図10に示すゲート端子付近の
断面形状でみた加工の流れを示す。工程B、工程Dを除
き工程A〜工程Iは各写真処理に対応して区分けしたも
ので、各工程のいずれの断面図も写真処理後の加工が終
わりフォトレジストを除去した段階を示している。な
お、写真処理とは本説明ではフォトレジストの塗布から
マスクを使用した選択露光を経てそれを現像するまでの
一連の作業を示すものとし、繰返しの説明は避ける。以
下区分けした工程に従って説明する。
<< Manufacturing Method >> Next, a method of manufacturing the liquid crystal display device on the substrate SUB1 side will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. In the same figure, the letters at the center are abbreviations of the process names, and the left side shows the processing flow as viewed from the cross-sectional shape near the gate terminal shown in FIG. Except for Step B and Step D, Step A to Step I are classified according to each photographic process, and any cross-sectional view of each process shows a stage where the processing after the photographic process is completed and the photoresist is removed. . In the present description, photographic processing refers to a series of operations from application of a photoresist to selective exposure using a mask to development thereof, and a repeated description will be omitted. Description will be given below according to the divided steps.

【0096】工程A、図16 AN635ガラス(商品名)からなる下部透明ガラス基
板SUB1上に膜厚が2000ÅのCr−Mo等からな
る導電膜g3をスパッタリングにより設ける。写真処理
後、硝酸第2セリウムアンモンで導電膜g3を選択的に
エッチングする。それによって、ゲート電極GT、走査
信号線GL、対向電圧信号線CL、ゲート端子GTM、
共通バスラインCB1の第1導電層、対向電極端子CT
M1の第1導電層、ゲート端子GTMを接続するバスラ
インSHg(図示せず)を形成する。
Step A, FIG. 16 On the lower transparent glass substrate SUB1 made of AN635 glass (trade name), a conductive film g3 made of Cr—Mo or the like having a thickness of 2000 ° is provided by sputtering. After the photographic processing, the conductive film g3 is selectively etched with ceric ammonium nitrate. Thereby, the gate electrode GT, the scanning signal line GL, the counter voltage signal line CL, the gate terminal GTM,
First conductive layer of common bus line CB1, counter electrode terminal CT
A bus line SHg (not shown) connecting the first conductive layer of M1 and the gate terminal GTM is formed.

【0097】工程B、図16 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が3500Åの窒化Si膜を設
け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入
して、膜厚が1200Åのi型非晶質Si膜を設けたの
ち、プラズマCVD装置に水素ガス、ホスフィンガスを
導入して、膜厚が300ÅのN(+)型非晶質Si膜を設
ける。
Step B, FIG. 16 An ammonia gas, a silane gas and a nitrogen gas are introduced into a plasma CVD apparatus to provide a Si nitride film having a thickness of 3500 °, and a silane gas and a hydrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form a film. After providing an i-type amorphous Si film having a thickness of 1200 °, a hydrogen gas and a phosphine gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form an N (+)-type amorphous Si film having a thickness of 300 °.

【0098】工程C、図16 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6、CC
l4を使用してN(+)型非晶質Si膜、i型非晶質Si
膜を選択的にエッチングすることにより、i型半導体層
ASの島を形成する。
Step C, FIG. 16 After photographic processing, SF6 and CC were used as dry etching gases.
N @ + type amorphous Si film using i @ 4, i type amorphous Si
By selectively etching the film, islands of the i-type semiconductor layer AS are formed.

【0099】工程D、図17 膜厚が300ÅのCrからなる導電膜d3をスパッタリ
ングにより設ける。写真処理後、導電膜d3を工程Aと
同様な液でエッチングし、映像信号線DL、ソース電極
SD1、ドレイン電極SD2、共通バスラインCB2の
第1導電層,およびドレイン端子DTMを短絡するバス
ラインSHd(図示せず)を形成する。つぎに、ドライ
エッチング装置にCCl4、SF6を導入して、N(+)型
非晶質Si膜をエッチングすることにより、ソースとド
レイン間のN(+)型半導体層d0を選択的に除去する。
導電膜d3をマスクパターンでパターニングした後、導
電膜d3をマスクとして、N(+)型半導体層d0が除去
される。つまり、i型半導体層AS上に残っていたN
(+)型半導体層d0は導電膜d1、導電膜d2以外の部
分がセルフアラインで除去される。このとき、N(+)型
半導体層d0はその厚さ分は全て除去されるようエッチ
ングされるので、i型半導体層ASも若干その表面部分
がエッチングされるが、その程度はエッチング時間で制
御すればよい。
Step D, FIG. 17 A conductive film d3 made of Cr having a thickness of 300 ° is provided by sputtering. After the photographic processing, the conductive film d3 is etched with the same liquid as in step A, and the video signal line DL, the source electrode SD1, the drain electrode SD2, the first conductive layer of the common bus line CB2, and the bus line for short-circuiting the drain terminal DTM. SHd (not shown) is formed. Next, the N (+) type semiconductor layer d0 between the source and the drain is selectively removed by introducing CCl4 and SF6 into the dry etching apparatus and etching the N (+) type amorphous Si film. .
After patterning the conductive film d3 with a mask pattern, the N (+) type semiconductor layer d0 is removed using the conductive film d3 as a mask. That is, the N remaining on the i-type semiconductor layer AS
In the (+) type semiconductor layer d0, portions other than the conductive films d1 and d2 are removed by self-alignment. At this time, since the N (+)-type semiconductor layer d0 is etched so as to entirely remove the thickness thereof, the surface of the i-type semiconductor layer AS is also slightly etched, but the degree is controlled by the etching time. do it.

【0100】工程E、図17 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が0.4μmの窒化Si膜を設
ける。写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6
を使用して窒化Si膜を選択的にエッチングすることに
よって、保護膜PSV1および絶縁膜GIをパターニン
グする。ここで、保護膜PSV1と絶縁膜GIは同一ホ
トマスクでパターニングされ、一括で加工される。
Step E, FIG. 17 An ammonia gas, a silane gas, and a nitrogen gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form a 0.4 μm-thick Si nitride film. After photo processing, SF6 is used as dry etching gas.
Then, the protective film PSV1 and the insulating film GI are patterned by selectively etching the Si nitride film using the method described above. Here, the protective film PSV1 and the insulating film GI are patterned with the same photomask and are processed collectively.

【0101】工程F、図18 膜厚が1400ÅのITO膜からなる透明導電膜i1を
スパッタリングにより設ける。写真処理後、エッチング
液として塩酸と硝酸との混酸液で透明導電膜i1を選択
的にエッチングすることにより、ゲート端子GTMの最
上層、ドレイン端子DTMおよび対向電極端子CTM1
およびCTM2の第2導電層を形成する。
Step F, FIG. 18 A transparent conductive film i1 made of an ITO film having a thickness of 1400 ° is provided by sputtering. After the photographic processing, the transparent conductive film i1 is selectively etched with a mixed acid solution of hydrochloric acid and nitric acid as an etchant, thereby forming the uppermost layer of the gate terminal GTM, the drain terminal DTM, and the counter electrode terminal CTM1.
And a second conductive layer of CTM2 is formed.

【0102】《表示パネルPNLと駆動回路基板PCB
1》図19は、図8等に示した表示パネルPNLに映像
信号駆動回路Hと垂直走査回路Vを接続した状態を示す
上面図である。
<< Display Panel PNL and Drive Circuit Board PCB
1 >> FIG. 19 is a top view showing a state where the video signal driving circuit H and the vertical scanning circuit V are connected to the display panel PNL shown in FIG. 8 and the like.

【0103】CHIは表示パネルPNLを駆動させる駆
動ICチップ(下側の5個は垂直走査回路側の駆動IC
チップ、左の10個ずつは映像信号駆動回路側の駆動I
Cチップ)である。TCPは図16、図17で後述する
ように駆動用ICチップCHIがテープ・オートメイテ
ィド・ボンディング法(TAB)により実装されたテー
プキャリアパッケージ、PCB1は上記TCPやコンデ
ンサ等が実装された駆動回路基板で、映像信号駆動回路
用と走査信号駆動回路用の2つに分割されている。FG
Pはフレームグランドパッドであり、シールドケースS
HDに切り込んで設けられたバネ状の破片が半田付けさ
れる。FCは下側の駆動回路基板PCB1と左側の駆動
回路基板PCB1を電気的に接続するフラットケーブル
である。フラットケーブルFCとしては図に示すよう
に、複数のリード線(りん青銅の素材にSn鍍金を施し
たもの)をストライプ状のポリエチレン層とポリビニル
アルコール層とでサンドイッチして支持したものを使用
する。
CHI is a drive IC chip for driving the display panel PNL (the lower five are drive ICs on the vertical scanning circuit side)
The left and right chips are the driving I on the video signal driving circuit side.
C chip). TCP is a tape carrier package in which a driving IC chip CHI is mounted by a tape automated bonding method (TAB), as will be described later with reference to FIGS. 16 and 17, and PCB1 is a driving circuit in which the above-described TCP, capacitors and the like are mounted. The substrate is divided into two, one for a video signal drive circuit and one for a scan signal drive circuit. FG
P is a frame ground pad, and a shield case S
A spring-shaped fragment provided by cutting into the HD is soldered. FC is a flat cable that electrically connects the lower drive circuit board PCB1 and the left drive circuit board PCB1. As shown in the drawing, a flat cable FC is used in which a plurality of lead wires (phosphor bronze material plated with Sn) are sandwiched and supported by a striped polyethylene layer and a polyvinyl alcohol layer.

【0104】《TCPの接続構造》図20は走査信号駆
動回路Vや映像信号駆動回路Hを構成する、集積回路チ
ップCHIがフレキシブル配線基板に搭載されたテープ
キャリアパッケージTCPの断面構造を示す図であり、
図21はそれを液晶表示パネルの、本例では走査信号回
路用端子GTMに接続した状態を示す要部断面図であ
る。
<< Connection Structure of TCP >> FIG. 20 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package TCP which forms the scanning signal drive circuit V and the video signal drive circuit H and has the integrated circuit chip CHI mounted on a flexible wiring board. Yes,
FIG. 21 is a cross-sectional view of a main part of the liquid crystal display panel, showing a state where it is connected to a scanning signal circuit terminal GTM in this example.

【0105】同図において、TTBは集積回路CHIの
入力端子・配線部であり、TTMは集積回路CHIの出
力端子・配線部であり、例えばCuから成り、それぞれ
の内側の先端部(通称インナーリード)には集積回路C
HIのボンディングパッドPADがいわゆるフェースダ
ウンボンディング法により接続される。端子TTB、T
TMの外側の先端部(通称アウターリード)はそれぞれ
半導体集積回路チップCHIの入力及び出力に対応し、
半田付け等によりCRT/TFT変換回路・電源回路S
UPに、異方性導電膜ACFによって液晶表示パネルP
NLに接続される。パッケージTCPは、その先端部が
パネルPNL側の接続端子GTMを露出した保護膜PS
V1を覆うようにパネルに接続されており、従って、外
部接続端子GTM(DTM)は保護膜PSV1かパッケー
ジTCPの少なくとも一方で覆われるので電触に対して
強くなる。
In the figure, TTB is an input terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, and TTM is an output terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, for example, made of Cu. ) Is the integrated circuit C
The HI bonding pads PAD are connected by a so-called face-down bonding method. Terminal TTB, T
The outer ends (commonly called outer leads) of the TM correspond to the input and output of the semiconductor integrated circuit chip CHI, respectively.
CRT / TFT conversion circuit / power supply circuit S by soldering
A liquid crystal display panel P is formed on the UP by using an anisotropic conductive film ACF.
NL. The package TCP has a protective film PS whose leading end exposes the connection terminal GTM on the panel PNL side.
Since the external connection terminal GTM (DTM) is covered with at least one of the protection film PSV1 and the package TCP, the external connection terminal GTM (DTM) is covered with the panel so as to cover V1.

【0106】BF1はポリイミド等からなるベースフィ
ルムであり、SRSは半田付けの際半田が余計なところ
へつかないようにマスクするためのソルダレジスト膜で
ある。シールパターンSLの外側の上下ガラス基板の隙
間は洗浄後エポキシ樹脂EPX等により保護され、パッ
ケージTCPと上側基板SUB2の間には更にシリコー
ン樹脂SILが充填され保護が多重化されている。
BF1 is a base film made of polyimide or the like, and SRS is a solder resist film for masking so that solder does not stick to unnecessary portions during soldering. The gap between the upper and lower glass substrates outside the seal pattern SL is washed and protected by an epoxy resin EPX or the like, and the space between the package TCP and the upper substrate SUB2 is further filled with a silicone resin SIL to multiplex protection.

【0107】《駆動回路基板PCB2》駆動回路基板P
CB2は、IC、コンデンサ、抵抗等の電子部品が搭載
されている。この駆動回路基板PCB2には、1つの電
圧源から複数の分圧した安定化された電圧源を得るため
の電源回路や、ホスト(上位演算処理装置)からのCR
T(陰極線管)用の情報をTFT液晶表示装置用の情報
に変換する回路を含む回路SUPが搭載されている。C
Jは外部と接続される図示しないコネクタが接続される
コネクタ接続部である。
<< Drive Circuit Board PCB2 >> Drive Circuit Board P
The CB2 has electronic components such as an IC, a capacitor, and a resistor mounted thereon. The drive circuit board PCB2 includes a power supply circuit for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source, and a CR (Crystal Control Unit) from a host (upper processing unit).
A circuit SUP including a circuit for converting information for T (cathode ray tube) into information for a TFT liquid crystal display device is mounted. C
J is a connector connection portion to which a connector (not shown) connected to the outside is connected.

【0108】駆動回路基板PCB1と駆動回路基板PC
B2とはフラットケーブルFCにより電気的に接続され
ている。
The drive circuit board PCB1 and the drive circuit board PC
B2 is electrically connected by a flat cable FC.

【0109】《液晶表示モジュールの全体構成》図22
は、液晶表示モジュールMDLの各構成部品を示す分解
斜視図である。
<< Overall Configuration of Liquid Crystal Display Module >> FIG.
FIG. 3 is an exploded perspective view showing each component of the liquid crystal display module MDL.

【0110】SHDは金属板から成る枠状のシールドケ
ース(メタルフレーム)、LCWその表示窓、PNLは
液晶表示パネル、SPBは光拡散板、LCBは導光体、
RMは反射板、BLはバックライト蛍光管、LCAはバ
ックライトケースであり、図に示すような上下の配置関
係で各部材が積み重ねられてモジュールMDLが組み立
てられる。
SHD is a frame-shaped shield case (metal frame) made of a metal plate, LCW and its display window, PNL is a liquid crystal display panel, SPB is a light diffusion plate, LCB is a light guide,
RM is a reflection plate, BL is a backlight fluorescent tube, LCA is a backlight case, and the respective members are stacked in a vertical arrangement as shown in the figure to assemble a module MDL.

【0111】モジュールMDLは、シールドケースSH
Dに設けられた爪とフックによって全体が固定されるよ
うになっている。
The module MDL is a shield case SH
The entirety is fixed by claws and hooks provided on D.

【0112】バックライトケースLCAはバックライト
蛍光管BL、光拡散板SPB光拡散板、導光体LCB、
反射板RMを収納する形状になっており、導光体LCB
の側面に配置されたバックライト蛍光管BLの光を、導
光体LCB、反射板RM、光拡散板SPBにより表示面
で一様なバックライトにし、液晶表示パネルPNL側に
出射する。
The backlight case LCA includes a backlight fluorescent tube BL, a light diffusion plate SPB, a light diffusion plate, a light guide LCB,
The light guide LCB has a shape to accommodate the reflection plate RM.
The light of the backlight fluorescent tube BL arranged on the side surface is made uniform on the display surface by the light guide LCB, the reflection plate RM, and the light diffusion plate SPB, and emitted to the liquid crystal display panel PNL side.

【0113】バックライト蛍光管BLにはインバータ回
路基板PCB3が接続されており、バックライト蛍光管
BLの電源となっている。
An inverter circuit board PCB3 is connected to the backlight fluorescent tube BL, and serves as a power supply for the backlight fluorescent tube BL.

【0114】以上説明したことから明らかなように、本
実施例の液晶表示装置では、横電界方式を用いた超広視
野角の液晶表示装置において本質的な問題で有るいわゆ
る縦スミアを抑制することが、消費電力の低減、周辺回
路規模の縮小と同時に図ることができる。
As is apparent from the above description, the liquid crystal display device of this embodiment suppresses so-called vertical smear, which is an essential problem in a liquid crystal display device having an ultra-wide viewing angle using a horizontal electric field method. However, power consumption and peripheral circuit scale can be reduced at the same time.

【0115】(実施例2)本実施例は下記の要件を除け
ば、実施例1と同一である。図23に画素の平面図を示
す。図の斜線部分は透明導電膜i1を示す。
(Embodiment 2) This embodiment is the same as Embodiment 1 except for the following requirements. FIG. 23 shows a plan view of a pixel. The hatched portion in the figure indicates the transparent conductive film i1.

【0116】《対向電極CT》本実施例では、対向電極
CTを導電膜g3で対向電圧信号線CLと一体に構成す
る。
<< Counter Electrode CT >> In this embodiment, the counter electrode CT is formed integrally with the counter voltage signal line CL by the conductive film g3.

【0117】本実施例では、実施例1の効果に加え、透
過率は犠牲になるが、対向電極CTと対向電圧信号線C
Lとのコンタクト不良が回避できる。また、電極の一方
が絶縁膜(保護膜PSV1)で覆われているため、配向
膜欠陥があった場合に液晶を直流電流が流れる可能性減
り、液晶劣化等がなくなり、信頼性が向上する。
In this embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the transmittance is sacrificed, but the counter electrode CT and the counter voltage signal line C
L contact failure can be avoided. Further, since one of the electrodes is covered with the insulating film (protective film PSV1), the possibility that a direct current flows through the liquid crystal when there is an alignment film defect is reduced, the liquid crystal is not degraded, and the reliability is improved.

【0118】(実施例3)本実施例は下記の要件を除け
ば、実施例1と同一である。図24に画素の平面図を示
す。
(Embodiment 3) This embodiment is the same as Embodiment 1 except for the following requirements. FIG. 24 shows a plan view of a pixel.

【0119】《画素電極PX》本実施例では、画素電極
PXはソース電極SD1、ドレイン電極SD2と同層の
導電膜d3で構成されている。また、画素電極PXはソ
ース電極SD1と一体に形成されている。
<< Pixel Electrode PX >> In this embodiment, the pixel electrode PX is formed of the same conductive film d3 as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2. Further, the pixel electrode PX is formed integrally with the source electrode SD1.

【0120】《対向電極CT》本実施例では、対向電極
CTを導電膜g3で対向電圧信号線CLと一体に構成す
る。
<< Counter Electrode CT >> In this embodiment, the counter electrode CT is formed integrally with the counter voltage signal line CL by the conductive film g3.

【0121】本実施例では、実施例1の効果に加え、透
過率は犠牲になるが、画素電極PXとソース電極SD1
とのコンタクト不良が回避でき、また、対向電極CTと
対向電圧信号線CLとのコンタクト不良も回避できる。
また、電極の両方が絶縁膜(保護膜PSV1)で覆われ
ているため、配向膜欠陥があった場合に液晶を直流電流
が流れる可能性減り、液晶劣化等がなくなり、実施例2
と比較しさらに信頼性が向上する。
In this embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the transmittance is sacrificed, but the pixel electrode PX and the source electrode SD1
In addition, a contact failure between the counter electrode CT and the counter voltage signal line CL can be avoided.
In addition, since both electrodes are covered with the insulating film (protective film PSV1), the possibility of direct current flowing through the liquid crystal when there is an alignment film defect is reduced, and the liquid crystal is not deteriorated.
The reliability is further improved as compared with.

【0122】(実施例4)本実施例は、以下を除き、実
施例1と同様である。
(Embodiment 4) This embodiment is the same as Embodiment 1 except for the following.

【0123】《駆動方法》図25に本実施例の液晶表示
装置の駆動波形を示す。本実施例では、実施例1と同様
に映像信号電圧Vdは1列毎に極性を反転させるが、実
施例1とは異なり、1行毎には反転させず、1フレーム
毎にも極性を反転させる。本実施例でも、極性が反転し
た画素が左右にとなりあう構成となることにより、実施
例1と同様に、フリッカ、クロストーク(左右方向のス
ミア)を発生しにくくすることができる。
<< Driving Method >> FIG. 25 shows a driving waveform of the liquid crystal display device of this embodiment. In this embodiment, the polarity of the video signal voltage Vd is inverted for each column as in the first embodiment, but unlike the first embodiment, the polarity is inverted for each frame without being inverted for each row. Let it. Also in this embodiment, since the pixels whose polarities are inverted are arranged on the left and right sides, flicker and crosstalk (horizontal smear) can be hardly generated as in the first embodiment.

【0124】本実施例では、実施例1の効果に加えて、
映像信号の極性反転の周期が行数倍だけ長くできるた
め、映像信号の極性反転の周波数が1/行数になる。映
像信号を映像信号線DLに充放電させるための消費電力
は、極性反転の周波数に比例するので、これにより、映
像信号駆動回路の駆動ICチップの消費電力が大幅に軽
減される。また、駆動ICチップの駆動能力を落とした
設計もできるため、駆動ICチップの回路規模を縮小で
き、液晶表示パネルの額縁を挟額縁にできる。
In this embodiment, in addition to the effects of the first embodiment,
Since the cycle of the polarity inversion of the video signal can be lengthened by the number of rows, the frequency of the polarity inversion of the video signal becomes 1 / number of rows. Since the power consumption for charging / discharging the video signal to / from the video signal line DL is proportional to the frequency of the polarity inversion, the power consumption of the driving IC chip of the video signal driving circuit is greatly reduced. In addition, since the driving capability of the driving IC chip can be reduced, the circuit scale of the driving IC chip can be reduced, and the frame of the liquid crystal display panel can be a narrow frame.

【0125】また、本実施例では、1フレーム毎に映像
信号の極性を反転させたが、2走査期間毎以上であれ
ば、本実施例と同様の効果を得られる。
Further, in the present embodiment, the polarity of the video signal is inverted for each frame. However, the same effect as in the present embodiment can be obtained as long as it is equal to or longer than every two scanning periods.

【0126】(実施例5)本実施例は、以下を除き、実
施例1と同様である。
(Embodiment 5) This embodiment is the same as Embodiment 1 except for the following.

【0127】《マトリクス部(画素部)の平面構成》図
26は本実施例のアクティブ・マトリクス方式カラー液
晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。
<< Planar Configuration of Matrix Section (Pixel Section) >> FIG. 26 is a plan view showing one pixel of the active matrix type color liquid crystal display device of this embodiment and its periphery.

【0128】本実施例では、実施例1と異なり、対向電
圧信号線CLは図では上下方向に延在し、左右方向に複
数本配置されている。また、対向電圧信号線CLは映像
信号線DLと同層に同一材料で構成されている。
In the present embodiment, unlike the first embodiment, the counter voltage signal lines CL extend in the vertical direction in the figure and are arranged in a plurality in the horizontal direction. Further, the counter voltage signal line CL is formed of the same material in the same layer as the video signal line DL.

【0129】本実施例では、各対向電圧信号線CLの半
分は共通バスラインCB1で一纏めして対向電極端子C
TM1に引き出されており、残りの半分は。共通バスラ
インCB2で一纏めして対向電極端子CTM2に引き出
されている。
In this embodiment, half of each common voltage signal line CL is collectively connected to the common bus line CB1 and the common electrode line C
The other half has been drawn to TM1. The common bus line CB2 collectively leads to the counter electrode terminal CTM2.

【0130】《表示装置全体等価回路》表示マトリクス
部の等価回路とその周辺回路の結線図を図27に示す。
<< Equivalent Circuit of Entire Display Device >> FIG. 27 shows a connection diagram of an equivalent circuit of the display matrix portion and its peripheral circuits.

【0131】本実施例では、各対向電圧信号線CLの半
分は共通バスラインCB1で一纏めして対向電極端子C
TM1に引き出されており、残りの半分は。共通バスラ
インCB2で一纏めして対向電極端子CTM2に引き出
されている。また、本実施例では、駆動波形の異なる2
種類の電圧を、対向電極端子CTM1、CTM2に印加
し、対向電極CTに印加する。
In the present embodiment, half of each of the common voltage signal lines CL is grouped together by the common bus line CB1 and the common electrode line C
The other half has been drawn to TM1. The common bus line CB2 collectively leads to the counter electrode terminal CTM2. In the present embodiment, two different driving waveforms are used.
Various voltages are applied to the counter electrode terminals CTM1 and CTM2, and are applied to the counter electrode CT.

【0132】《駆動方法》図28に本実施例の液晶表示
装置の駆動波形を示す。対向電圧Vchには交流電圧を印
加し、Vch1とVch2には、お互いに位相が180°ずれ
た矩型波を各々対向電極端子CTM1、CTM2に印加
する。また、映像信号電圧Vdは実施例1と同様に1列
毎に極性を反転し、1行毎にも極性を反転させるが、実
施例1とは異なり、映像信号線DLには、液晶層に印加
したい電圧の内、液晶表示パネルの透過率が変化する部
分の電圧だけ印加するだけでよく、映像信号線DLに印
加する電圧の最大振幅が1/2以下にできる。
<< Driving Method >> FIG. 28 shows a driving waveform of the liquid crystal display device of this embodiment. An AC voltage is applied to the counter voltage Vch, and rectangular waves whose phases are shifted from each other by 180 ° are applied to the counter electrode terminals CTM1 and CTM2 to Vch1 and Vch2, respectively. The video signal voltage Vd is inverted in polarity for each column and inverted for each row as in the first embodiment. However, unlike the first embodiment, the video signal line DL is connected to the liquid crystal layer. Of the voltages to be applied, only the voltage at the portion where the transmittance of the liquid crystal display panel changes need be applied, and the maximum amplitude of the voltage applied to the video signal line DL can be reduced to 1 / or less.

【0133】消費電力は、駆動電圧の2乗に比例するた
め、これにより、消費電力を1/4以下にすることがで
きる。また、映像信号駆動回路の駆動ICチップの耐圧
を5V以下の耐圧にすることが可能になるので、量産性
の良い駆動ICチップを使用することができ、液晶表示
装置全体の量産性を向上させることができる。
Since the power consumption is proportional to the square of the driving voltage, the power consumption can be reduced to 1 / or less. In addition, since the withstand voltage of the driving IC chip of the video signal driving circuit can be reduced to 5 V or less, a driving IC chip with good mass productivity can be used, and the mass productivity of the entire liquid crystal display device is improved. be able to.

【0134】また、実施例2の駆動方法を採用すれば、
実施例2と同等の効果を得ることができ、さらに低消費
電力にすることができ、本実施例の効果と合わせて、さ
らに駆動ICチップの回路規模を小さくでき、挟額縁に
できる。
If the driving method according to the second embodiment is adopted,
The same effects as in the second embodiment can be obtained, and further lower power consumption can be achieved. In addition to the effects of the present embodiment, the circuit scale of the driving IC chip can be further reduced, and the frame can be narrowed.

【0135】また、本実施例では、1列毎に映像信号の
極性および交流矩形波の極性を反転させたが、2走査期
間毎以上であれば、本実施例に加えて実施例4と同様の
効果を得られる。
Further, in this embodiment, the polarity of the video signal and the polarity of the AC rectangular wave are inverted for each column. The effect of is obtained.

【0136】[0136]

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本実施例の液晶表示装置では、横電界方式を用いた超広
視野角の液晶表示装置において本質的な問題で有るいわ
ゆる縦スミアを抑制することが、消費電力の低減、周辺
回路規模の縮小と同時に図ることができる。
As is apparent from the above description,
In the liquid crystal display device of this embodiment, suppressing so-called vertical smear, which is an essential problem in a liquid crystal display device with an ultra-wide viewing angle using a horizontal electric field method, reduces power consumption and reduces the scale of peripheral circuits. Can be achieved at the same time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の作用1を示す摸式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an operation 1 of the present invention.

【図2】本発明の作用2を示す摸式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing an operation 2 of the present invention.

【図3】映像信号線の電界による透過率の左右方向の分
布を示す図である。(a)導電性遮光膜の場合、(b)
絶縁性遮光膜の場合。
FIG. 3 is a diagram illustrating a distribution of transmittance in the left-right direction due to an electric field of a video signal line. (A) In the case of a conductive light shielding film, (b)
In the case of an insulating light-shielding film.

【図4】本発明の実施例1のアクティブ・マトリックス
型カラー液晶表示装置の液晶表示部の一画素とその周辺
を示す要部平面図である。
FIG. 4 is a plan view of a principal part showing one pixel of a liquid crystal display unit and its periphery in the active matrix type color liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.

【図5】図4の6−6切断線における画素の断面図であ
る。
FIG. 5 is a sectional view of a pixel taken along section line 6-6 in FIG. 4;

【図6】図4の7−7切断線における薄膜トランジスタ
素子TFTの断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view of the thin film transistor element TFT taken along section line 7-7 in FIG.

【図7】図4の8−8切断線における蓄積容量Cstgの
断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view of the storage capacitor Cstg taken along section line 8-8 in FIG. 4;

【図8】表示パネルのマトリクス周辺部の構成を説明す
るための平面図である。
FIG. 8 is a plan view for explaining a configuration of a matrix peripheral portion of the display panel.

【図9】左側に走査信号端子、右側に外部接続端子の無
いパネル縁部分を示す断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a scanning signal terminal on the left side and a panel edge portion without an external connection terminal on the right side.

【図10】ゲート端子GTMとゲート配線GLの接続部
近辺を示す平面と断面の図である。
FIG. 10 is a plan view and a cross-sectional view showing the vicinity of a connection portion between a gate terminal GTM and a gate wiring GL.

【図11】ドレイン端子DTMと映像信号線DLとの接
続部付近を示す平面と断面の図である。
FIG. 11 is a plan view and a sectional view showing the vicinity of a connection portion between a drain terminal DTM and a video signal line DL.

【図12】共通電極端子CTM1、共通バスラインCB
1および共通電圧信号線CLの接続部付近を示す平面と
断面の図である。
FIG. 12 shows a common electrode terminal CTM1 and a common bus line CB.
FIG. 2 is a plan view and a cross-sectional view showing the vicinity of a connection portion between the first and common voltage signal lines CL.

【図13】共通電極端子CTM2、共通バスラインCB
2および共通電圧信号線CLの接続部付近を示す平面と
断面の図である。
FIG. 13 shows a common electrode terminal CTM2 and a common bus line CB.
2A and 2B are a plan view and a cross-sectional view showing the vicinity of a connection portion between the second and common voltage signal lines CL.

【図14】本発明のアクティブ・マトリックス型カラー
液晶表示装置のマトリクス部とその周辺を含む回路図で
ある。
FIG. 14 is a circuit diagram including a matrix portion and its periphery of the active matrix type color liquid crystal display device of the present invention.

【図15】本発明のアクティブ・マトリックス型カラー
液晶表示装置の実施例1の駆動波形を示す図である。
FIG. 15 is a diagram showing driving waveforms of the active matrix type color liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention.

【図16】基板SUB1側の工程A〜Cの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 16 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing a manufacturing process of processes A to C on the substrate SUB1 side.

【図17】基板SUB1側の工程D〜Fの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 17 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing manufacturing processes of processes D to F on the substrate SUB1 side.

【図18】基板SUB1側の工程G〜Hの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 18 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing manufacturing processes of processes G to H on the substrate SUB1 side.

【図19】液晶表示パネルに周辺の駆動回路を実装した
状態を示す上面図である。
FIG. 19 is a top view showing a state where peripheral driving circuits are mounted on a liquid crystal display panel.

【図20】駆動回路を構成する集積回路チップCHIが
フレキシブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッ
ケージTCPの断面構造を示す図である。
FIG. 20 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package TCP in which an integrated circuit chip CHI constituting a drive circuit is mounted on a flexible wiring board.

【図21】テープキャリアパッケージTCPを液晶表示
パネルPNLの走査信号回路用端子GTMに接続した状
態を示す要部断面図である。
FIG. 21 is a cross-sectional view of a main part showing a state where the tape carrier package TCP is connected to a scanning signal circuit terminal GTM of the liquid crystal display panel PNL.

【図22】液晶表示モジュールの分解斜視図である。FIG. 22 is an exploded perspective view of the liquid crystal display module.

【図23】本発明の実施例2のアクティブ・マトリック
ス型カラー液晶表示装置の液晶表示部の一画素とその周
辺を示す要部平面図である。
FIG. 23 is a plan view of a principal part showing one pixel of a liquid crystal display unit and its periphery in an active matrix color liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.

【図24】本発明の実施例3のアクティブ・マトリック
ス型カラー液晶表示装置の液晶表示部の一画素とその周
辺を示す要部平面図である。
FIG. 24 is a main part plan view showing one pixel of a liquid crystal display unit and its periphery in an active matrix type color liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention.

【図25】本発明のアクティブ・マトリックス型カラー
液晶表示装置の実施例2の駆動波形を示す図である。
FIG. 25 is a diagram showing driving waveforms of the active matrix type color liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention.

【図26】本発明の実施例3のアクティブ・マトリック
ス型カラー液晶表示装置の液晶表示部の一画素とその周
辺を示す要部平面図である。
FIG. 26 is a plan view of a principal part showing one pixel of a liquid crystal display unit and its periphery in an active matrix color liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention;

【図27】本発明のアクティブ・マトリックス型カラー
液晶表示装置のマトリクス部とその周辺を含む回路図で
ある。
FIG. 27 is a circuit diagram including a matrix portion and its periphery of the active matrix type color liquid crystal display device of the present invention.

【図28】本発明のアクティブ・マトリックス型カラー
液晶表示装置の実施例3の駆動波形を示す図である。
FIG. 28 is a diagram showing driving waveforms of the active matrix type color liquid crystal display device according to the third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

SUB…透明ガラス基板、GL…走査信号線、DL…映
像信号線、CL…対向電圧信号線、PX…画素電極、C
T…対向電極、 GI…絶縁膜、GT…ゲート電極、A
S…i型半導体層、SD…ソース電極またはドレイン電
極、PSV…保護膜、BM…遮光膜、LC…液晶、TF
T…薄膜トランジスタ、PH…スルーホール、g,d…
導電膜、Cstg…蓄積容量、AOF…陽極酸化膜、AO
…陽極酸化マスク、GTM…ゲート端子、DTM…ドレ
イン端子、CB…共通バスライン、DTM…共通電極端
子、SHD…シールドケース、PNL…液晶表示パネ
ル、SPB…光拡散板、LCB…導光体、BL…バック
ライト蛍光管、LCA…バックライトケース、RM…反
射板、(以上添字省略)。
SUB: transparent glass substrate, GL: scanning signal line, DL: video signal line, CL: counter voltage signal line, PX: pixel electrode, C
T: counter electrode, GI: insulating film, GT: gate electrode, A
S: i-type semiconductor layer, SD: source or drain electrode, PSV: protective film, BM: light shielding film, LC: liquid crystal, TF
T: thin film transistor, PH: through hole, g, d ...
Conductive film, Cstg: storage capacitance, AOF: anodic oxide film, AO
... anodization mask, GTM ... gate terminal, DTM ... drain terminal, CB ... common bus line, DTM ... common electrode terminal, SHD ... shield case, PNL ... liquid crystal display panel, SPB ... light diffusion plate, LCB ... light guide, BL: Backlight fluorescent tube; LCA: Backlight case; RM: Reflector (abbreviated above).

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G09G 3/36 G09G 3/36 (72)発明者 小野 記久雄 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 阿須間 宏明 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI G09G 3/36 G09G 3/36 (72) Inventor Norihisa Ono 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Pref. 72) Inventor Hiroaki Asuma 3300 Hayano Mobara-shi, Chiba Electronic Device Division, Hitachi, Ltd.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数の映像信号線と複数の走査電極で構成
された複数の画素を有し、前記画素内に、基板面に平行
な電界を印加でき得る画素電極と対向電極を有し、前記
画素電極に前記映像信号線と前記走査信号線に接続され
た薄膜トランジスタから映像信号が供給され得るアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置において、 前記映像信号線の対向面に、導電性の遮光膜を有し、隣
合う映像信号線に印加される映像信号電圧の極性が、同
一期間で、互いに反転していることを特徴とするアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置。
A plurality of pixels including a plurality of video signal lines and a plurality of scanning electrodes, wherein the pixel has a pixel electrode and a counter electrode capable of applying an electric field parallel to a substrate surface; In an active matrix liquid crystal display device in which a video signal can be supplied from a thin film transistor connected to the video signal line and the scanning signal line to the pixel electrode, a conductive light shielding film is provided on a surface facing the video signal line. An active matrix type liquid crystal display device, wherein the polarities of video signal voltages applied to adjacent video signal lines are mutually inverted during the same period.
【請求項2】前記導電性の遮光膜は、クロム、窒化クロ
ム、酸化クロムの積層構造であることを特徴とする請求
項1記載のアクティブマトリクス型液晶表示装置。
2. The active matrix type liquid crystal display device according to claim 1, wherein said conductive light-shielding film has a laminated structure of chromium, chromium nitride, and chromium oxide.
【請求項3】前記映像信号線の映像信号電圧の極性反転
の周期が2走査期間毎以上であることを特徴とする請求
項1記載のアクティブマトリクス型液晶表示装置。
3. The active matrix type liquid crystal display device according to claim 1, wherein the period of the polarity inversion of the video signal voltage of said video signal line is at least every two scanning periods.
【請求項4】前記走査電極の長手方向の隣り合う画素の
対向電極に、互いに極性の反転した交流矩形波を印加す
ることを特徴とする請求項1記載のアクティブマトリク
ス型液晶表示装置。
4. The active matrix type liquid crystal display device according to claim 1, wherein alternating rectangular waves having opposite polarities are applied to opposing electrodes of pixels adjacent in the longitudinal direction of the scanning electrodes.
【請求項5】前記交流矩形波の極性反転の周期が2走査
期間毎以上であることを特徴とする請求項4記載のアク
ティブマトリクス型液晶表示装置。
5. The active matrix type liquid crystal display device according to claim 4, wherein the polarity inversion cycle of said AC rectangular wave is at least every two scanning periods.
【請求項6】前記遮光膜の厚みは、0.05μmから0.
2μmであることを特徴とする請求項1から5記載のア
クティブマトリクス型液晶表示装置。
6. The light-shielding film has a thickness of 0.05 μm to 0.5 μm.
6. The active matrix liquid crystal display device according to claim 1, wherein the thickness is 2 μm.
【請求項7】前記遮光膜の水平方向の幅は、30μm以
下であることを特徴とする請求項1から5記載のアクテ
ィブマトリクス型液晶表示装置。
7. The active matrix type liquid crystal display device according to claim 1, wherein a horizontal width of said light shielding film is 30 μm or less.
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