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JPH11316123A - Laser range finder, and its optical axis adjusting method - Google Patents

Laser range finder, and its optical axis adjusting method

Info

Publication number
JPH11316123A
JPH11316123A JP13423598A JP13423598A JPH11316123A JP H11316123 A JPH11316123 A JP H11316123A JP 13423598 A JP13423598 A JP 13423598A JP 13423598 A JP13423598 A JP 13423598A JP H11316123 A JPH11316123 A JP H11316123A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
light
range finder
distance
light receiving
Prior art date
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Granted
Application number
JP13423598A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3397296B2 (en
Inventor
Kozo Maeda
孝三 前田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Engineering Corp
Original Assignee
NKK Corp
Nippon Kokan Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NKK Corp, Nippon Kokan Ltd filed Critical NKK Corp
Priority to JP13423598A priority Critical patent/JP3397296B2/en
Publication of JPH11316123A publication Critical patent/JPH11316123A/en
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Publication of JP3397296B2 publication Critical patent/JP3397296B2/en
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  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser range finder capable of aligning easily an optical axis, and to provide an optical axis adjusting method using it. SOLUTION: A laser beam S1 from a laser projecting element 11 irradiates a laser range finder 20 when a measuring object 1 is absent, and it is reflected by a half-mirror 22 as a beam t2 to get incident into an optical axis monitoring light receiving element 24. The light receiving element 24 is also a one- dimensional optical sensor, and a light-incident position in its longitudinal direction can be detected. An imaging point of the beam t2 on a light receiving element 23 is in its central part when optical axes of one-dimensional laser range finders 10, 20 arranged to be face each other are consistent. But, when the axes are shifted, an imaging point of the beam t2 on the optical axis monitoring light receiving element 24 is shifted from the central part, and an electric signal output of the light receiving element 24 is also varied. Since shifting amounts and directions of the optical axes are determined by variation of the signal output, correction for the optical axes is easily carried out.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、対向する2台の
レーザー距離計により測定対象物を挟み込んで、各々の
距離計と測定対象物の距離から、測定対象物の寸法を測
定するために使用されるレーザ距離計に関するものであ
り、さらに詳しくは、その際の光軸合わせの容易なレー
ザ距離計、及びそれを用いた光軸合わせ方法に関するも
のである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is used for sandwiching a measurement object between two opposing laser distance meters and measuring the size of the measurement object from the distance between each distance meter and the measurement object. More particularly, the present invention relates to a laser distance meter that facilitates optical axis alignment at that time and an optical axis alignment method using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】距離計として、線状のレーザービームを
測定対象物に照射し、その反射光を1次元光センサで受
光し、1次元光センサでの受光位置から、測定対象物ま
での距離を測定する方式のものが広く使用されている。
その測定原理を図4に示す。図4において、51は距離
計、52はレーザダイオード、53は位置検出素子(1
次元光センサ)、54はレーザ投光回路、55は投光レ
ンズ、56は受光レンズ、57は測定対象物である。
2. Description of the Related Art As a distance meter, a linear laser beam is radiated to an object to be measured, the reflected light is received by a one-dimensional optical sensor, and the distance from the light receiving position of the one-dimensional optical sensor to the object to be measured is measured. Is widely used.
FIG. 4 shows the measurement principle. In FIG. 4, reference numeral 51 denotes a distance meter, 52 denotes a laser diode, and 53 denotes a position detecting element (1).
Reference numeral 54 denotes a laser light emitting circuit, 55 denotes a light emitting lens, 56 denotes a light receiving lens, and 57 denotes an object to be measured.

【0003】レーザダイオード52はレーザ投光回路5
4によって駆動されてレーザ光を発生する。ここで発生
したレーザ光は、投光レンズ55を介して測定対象物5
7に投光され、測定対象物57の表面で反射されたレー
ザ光は受光レンズ56を介して位置検出素子53によっ
て受光される。受光素子57としては、CCDやPSD
等が使用される。このとき、図に示すように、レーザ光
は測定対象物57と距離計51の距離に応じた位置で受
光されるので、受光素子がCCDの場合は、電荷が蓄積
された素子の位置、受光素子がPSDの場合はその電流
値を検出すれば、測定対象物57と距離計51の距離を
測定することができる。
[0003] The laser diode 52 is
4 to generate a laser beam. The laser light generated here is transmitted through the light projecting lens 55 to the object 5 to be measured.
The laser beam projected on the surface 7 and reflected on the surface of the measuring object 57 is received by the position detecting element 53 via the light receiving lens 56. As the light receiving element 57, a CCD or PSD
Etc. are used. At this time, as shown in the figure, since the laser beam is received at a position corresponding to the distance between the measuring object 57 and the distance meter 51, when the light receiving element is a CCD, the position of the element in which the electric charge is accumulated, When the element is a PSD, if the current value is detected, the distance between the measuring object 57 and the distance meter 51 can be measured.

【0004】また、この原理を応用して、スリット状の
レーザビームを測定対象物に照射し、その反射光を2次
元光センサで受光し、2次元光センサでの受光位置か
ら、測定対象物までの距離を測定する方式のものも広く
使用されている。これは、図4に示すような1次元の距
離計を、紙面に垂直な方向に多数並べて配置したものに
相当する。
Further, by applying this principle, the object to be measured is irradiated with a slit-shaped laser beam, and the reflected light is received by a two-dimensional optical sensor. A method of measuring the distance to a vehicle is widely used. This corresponds to an arrangement in which a large number of one-dimensional rangefinders as shown in FIG. 4 are arranged in a direction perpendicular to the paper surface.

【0005】このように、距離計2台を一組として対向
させ、測定対象物を挟むようにして配置し、各々の距離
計から測定対象物までの距離を測定すれば、対象物の寸
法(センサが1次元のとき)、ある断面での形状(セン
サが2次元のとき)を測定することができる。
[0005] As described above, two rangefinders are opposed to each other as a set, and they are arranged so as to sandwich the object to be measured. When the distance from each rangefinder to the object to be measured is measured, the size of the object (the sensor becomes It is possible to measure the shape (when the sensor is two-dimensional) or at a certain cross section (when the sensor is two-dimensional).

【0006】[0006]

【発明が解決すべき課題】しかしながら、前記の測定対
象物の寸法、形状測定方法において、対向する2台の距
離計の光軸が一致していない場合、測定対象物の寸法、
形状を正確に測定できないという問題点がある。この様
子を図5により説明する。図5において、51、51’
は距離計、57は測定対象物、a1、b1、a2、b2
は、距離計の光線が測定対象物57に当たる点をを示
す。
However, in the method for measuring the size and shape of the object to be measured, if the optical axes of the two opposing distance meters do not match, the size and the shape of the object to be measured may be reduced.
There is a problem that the shape cannot be measured accurately. This situation will be described with reference to FIG. In FIG. 5, 51, 51 ′
Is a distance meter, 57 is an object to be measured, a1, b1, a2, b2
Indicates a point at which the light beam of the range finder hits the measuring object 57.

【0007】図5において、(a)は、距離計51と5
1’の光軸があっている場合、すなわち各々の距離計の
光軸が一致し、しかもそれが測定対象物57に垂直とさ
れている場合、(b)は距離計51の光軸方向がθ1、5
1’の光軸方向がθ2だけずれている場合を示す。
In FIG. 5, (a) shows distance meters 51 and 5.
When the optical axes of 1 ′ are aligned, that is, when the optical axes of the respective distance meters coincide with each other and are perpendicular to the measuring object 57, (b) indicates that the optical axis direction of the distance meter 51 is θ1,5
The case where the optical axis direction of 1 ′ is shifted by θ2 is shown.

【0008】(a)において距離計51と51’間の距離
をLとし、距離計51で測定された測定対象物57と距
離計51間の距離をla1、距離計51’で測定された測
定対象物57と距離計51’間の距離をlb1とすると、
測定対象物57の寸法はdは、 d=L−(la1+lb1) と表わすことができる。
In (a), the distance between the distance meter 51 and 51 'is L, the distance between the object 57 measured by the distance meter 51 and the distance meter 51 is la1, and the measurement is performed by the distance meter 51'. Assuming that the distance between the object 57 and the distance meter 51 ′ is lb1,
The dimension d of the measurement object 57 can be expressed as d = L− (la1 + lb1).

【0009】ところが、(b)においては、光軸がずれて
いるため、本来la1と測定されるべき測定対象物57と
距離計51間の距離が la2=la1/cosθ1、 本来lb1と測定されるべき測定対象物57と距離計5
1’間の距離が lb2=lb1/cosθ1 と測定されてしまう。よって、測定対象物57の寸法
は、 d’=L−(la1/cosθ1+lb1/cosθ1) と測定されてしまい、測定誤差が生じることになる。よ
って、このような方式の寸法測定装置においては、2つ
の距離計の光軸を一致させることが不可欠である。
However, in (b), since the optical axis is deviated, the distance between the measuring object 57 to be measured as la1 and the distance meter 51 is measured as la2 = la1 / cos θ1, and originally as lb1. Object to be measured 57 and distance meter 5
The distance between 1 ′ is measured as lb2 = lb1 / cosθ1. Therefore, the dimension of the measurement object 57 is measured as d ′ = L− (la1 / cos θ1 + lb1 / cos θ1), and a measurement error occurs. Therefore, in the dimension measuring device of such a system, it is essential to make the optical axes of the two distance meters coincide with each other.

【0010】従来、2つの距離計の光軸を一致させるに
は、前記2台の距離計の各々の光軸上に半透明の薄膜体
を挿入して、目視確認により、薄膜体に結像した各々の
距離計の光スポットの位置が薄体上で一致し、しかも薄
膜体の位置を変えても、この一致がずれないようにする
ことにより距離計の光軸調整を行っていた。
Conventionally, in order to make the optical axes of the two rangefinders coincide, a translucent thin film is inserted on each of the optical axes of the two rangefinders, and an image is formed on the thin film by visual confirmation. The position of the light spot of each of the rangefinders coincides on the thin body, and even if the position of the thin film body is changed, the optical axis of the rangefinder is adjusted by keeping the coincidence.

【0011】また、特開平2−231515号公報に
は、光軸の合致を確認する手段を有するレーザ距離計が
開示されている。これは、レーザチップの後方にフォト
ダイオードが内蔵されたレーザダイオードを内蔵するも
のであり、相手側のレーザ距離計が発するレーザビーム
をこのフォトダイオードで受光し、その出力が最適値と
なる位置で光軸が合致していると判断する方法である。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 2-231515 discloses a laser range finder having means for confirming alignment of an optical axis. This has a built-in laser diode with a built-in photodiode behind the laser chip. The laser beam emitted by the laser range finder on the other side is received by this photodiode, and at a position where the output becomes the optimum value. This is a method of determining that the optical axes match.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
薄膜体を用いて光軸の確認を行う方法は、薄膜体に結像
するレーザースポットを、薄膜体の位置を変化させなが
ら目視確認し、その上で光軸を調整するものであり、煩
雑で作業性がよくないという問題点を有している。又、
レーザ光が可視光でない場合にはこの方法を使用するこ
とができない。
However, in the conventional method of checking the optical axis using a thin film, a laser spot formed on the thin film is visually checked while changing the position of the thin film. Since the optical axis is adjusted above, there is a problem that the work is complicated and the workability is not good. or,
If the laser light is not visible light, this method cannot be used.

【0013】また、特開平2−231515号公報に記
載される方法は、受光点が点状であるフォトダイオード
を用いているため、受光した光の結像点の位置の認識が
できないことから、光軸のずれ量や方向が判定できない
という問題点を有している。また、この方法は、対向す
る2台の距離計が2次元レーザー距離計の場合は適用で
きないという問題点も有している。
The method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 2-231515 uses a photodiode having a point-like light-receiving point, and cannot recognize the position of the image-forming point of the received light. There is a problem that the shift amount and the direction of the optical axis cannot be determined. In addition, this method has a problem that it cannot be applied when two opposing distance meters are two-dimensional laser distance meters.

【0014】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、測定対象物を前記2台のレーザ距離計で挟み
込んで、測定対象物の寸法を計測する場合に使用される
レーザ距離計であって、光軸合わせの容易なものを提供
すること、及びそれを用いた光軸調整方法を提供するこ
とを課題とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and a laser range finder used for measuring a dimension of a measurement object by sandwiching the measurement object between the two laser distance meters. It is an object of the present invention to provide an optical axis easy to align and to provide an optical axis adjusting method using the same.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の第1の手段は、レーザ光源から発する線状のレーザ光
線を対象物に照射し、その反射光を1次元光センサで受
光し、前記1次元光センサにおける反射光の受光位置か
ら対象物までの距離を測定するレーザ距離計であって、
レーザ光源の前方に設けられ、前記レーザ光線の一部を
透過し外部から照射された外来光の一部を反射するする
ハーフミラーと、外部から照射され前記ハーフミラーで
反射された外来光を受光する第2の1次元光センサと、
第2の1次元光センサにおける前記外来光の受光位置か
ら、前記外来光の照射位置を測定する手段とを有するこ
とを特徴とするレーザ距離計(請求項1)である。
A first means for solving the above-mentioned problem is to irradiate a linear laser beam emitted from a laser light source to an object, receive a reflected light thereof with a one-dimensional optical sensor, A laser distance meter that measures a distance from a light receiving position of the reflected light in the one-dimensional optical sensor to an object,
A half mirror that is provided in front of the laser light source and transmits a part of the laser beam and reflects a part of the external light emitted from the outside; and receives the external light emitted from the outside and reflected by the half mirror. A second one-dimensional optical sensor,
Means for measuring an irradiation position of the extraneous light from a light receiving position of the extraneous light in a second one-dimensional optical sensor (claim 1).

【0016】この手段においては、対向するレーザ距離
計からのレーザビームは、ハーフミラーで反射され、第
2の1次元光センサで受光される。よって、この1次元
光センサの出力を見れば、対向するレーザ距離計からの
レーザビームが当該レーザ距離計のどの位置に入射して
いるかが分かる。よって、当該1次元光センサの出力を
見ながら、相手側からのレーザビームの入射位置が、当
該レーザ距離計の中心にくるように調整することによ
り、2つのレーザ距離計の光軸を一致させることができ
る。
In this means, the laser beam from the opposing laser distance meter is reflected by the half mirror and received by the second one-dimensional optical sensor. Therefore, by looking at the output of the one-dimensional optical sensor, it is possible to know at which position of the laser rangefinder the laser beam from the opposing laser rangefinder is incident. Therefore, while observing the output of the one-dimensional optical sensor, the incident position of the laser beam from the other party is adjusted so as to be at the center of the laser distance meter, so that the optical axes of the two laser distance meters match. be able to.

【0017】本手段においては、受光セルが1次元光セ
ンサであるので、特開平2−231515号公報に示さ
れるものと異なり、レーザビームがどちらの方向にずれ
ているかどうかを判別することができる。よって、光軸
調整作業を高能率で行うことができる。
In this means, since the light receiving cell is a one-dimensional optical sensor, it is possible to determine in which direction the laser beam is shifted, unlike the one disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-231515. . Therefore, the optical axis adjustment operation can be performed with high efficiency.

【0018】1次元光センサとしては、CCDやPSD
が一般的であるが、小さなフォトダイオードを中心にし
て、その両側に細長いフォトダイオードを設けたもので
も良い。このような、3個以上のダイオードからなる1
次元光センサでも、両側のどちらのセンサが受光してい
るかを知ることにより、光軸がどちら側にずれているか
を判別可能であり、調整により、中心のフォトダイオー
ドが受光するようにすることによって、光軸の調整を容
易に行うことができる。
A one-dimensional optical sensor includes a CCD or a PSD.
However, a small photodiode may be provided at the center, and an elongated photodiode may be provided on both sides of the small photodiode. One such element consisting of three or more diodes
Even with a two-dimensional optical sensor, it is possible to determine which side of the optical axis is deviated by knowing which sensor on either side is receiving light, and by adjusting the central photodiode to receive light. The optical axis can be easily adjusted.

【0019】前記課題を解決するための第2の手段は、
レーザ光源から発するスリット状のレーザ光線を照射窓
を通して対象物に照射し、その反射光を2次元光センサ
で受光し、前記2次元光センサにおける反射光の受光位
置から対象物までの距離を1次元的に測定するレーザ距
離計であって、前記レーザ照射窓の両側に各々設けら
れ、外来光を受光する1次元光センサと、前記1次元光
センサにおける外来光の受光位置から、前記外来光の照
射位置を測定する手段とを有することを特徴とするレー
ザ距離計(請求項2)である。
A second means for solving the above-mentioned problem is:
An object is irradiated with a slit-shaped laser beam emitted from a laser light source through an irradiation window, the reflected light is received by a two-dimensional optical sensor, and the distance from the light receiving position of the reflected light in the two-dimensional optical sensor to the object is one. A one-dimensional optical sensor provided on each side of the laser irradiation window for receiving external light, and a position of the external light received by the one-dimensional optical sensor, And a means for measuring the irradiation position of the laser range finder (claim 2).

【0020】本手段においては、対向するレーザ距離計
から照射されるスリット状のレーザ光線は、レーザ照射
窓及びその両側に各々設けられた1次元受光センサで受
光される。1次元受光センサの長さ方向を、スリット状
のレーザ光線と交わる方向、望ましくは直角方向にし、
当該レーザ距離計から投射されるスリット状のレーザ光
線の延長線が当該1次元受光センサの中心を通るように
しておけば、対向するレーザ距離計からのスリット状の
レーザ光線が各々の1次元受光センサの中心で受光され
るように光軸を調整することにより、対向する2つのレ
ーザ距離計の光軸を合致させることができる。
In this means, the slit-shaped laser beam emitted from the opposed laser range finder is received by the laser irradiation window and the one-dimensional light receiving sensors respectively provided on both sides thereof. The length direction of the one-dimensional light receiving sensor is set to a direction intersecting the slit-shaped laser beam, preferably a right angle direction,
If the extension line of the slit-shaped laser beam projected from the laser range finder passes through the center of the one-dimensional light receiving sensor, the slit-shaped laser beam from the opposite laser range finder can receive each one-dimensional light. By adjusting the optical axis so that light is received at the center of the sensor, the optical axes of the two opposing laser distance meters can be matched.

【0021】本手段においては、対向するレーザ距離計
からのレーザ光線を受光するセンサとして1次元光セン
サを用いているので、光軸がずれている場合、どちら側
にずれているのかを識別することができるので、調整を
容易に行うことができる。1次元光センサとしては、第
1の手段で述べたものが使用可能である。
In this means, since a one-dimensional optical sensor is used as a sensor for receiving a laser beam from the facing laser range finder, when the optical axis is shifted, it is determined to which side the optical axis is shifted. Therefore, the adjustment can be easily performed. As the one-dimensional optical sensor, the one described in the first means can be used.

【0022】前記課題を解決するための第3の手段は、
前記第1の手段であるレーザ距離計2台を対向させ、測
定対象物を前記2台のレーザ距離計で挟み込んで、各々
のレーザ距離計から測定対象物までの距離を測定し、測
定された距離から測定対象物の寸法を測定する装置にお
けるレーザ距離計の光軸を調整する方法であって、一方
のレーザー距離計から照射した光を対向する他方のレー
ザー距離計で受光し、受光した光の照射位置を測定しな
がら、前記対向する2台のレーザー距離計の光軸を一致
させることを特徴とするレーザ距離計の光軸調整方法
(請求項3)である。
A third means for solving the above-mentioned problem is:
The two laser rangefinders as the first means are opposed to each other, the object to be measured is sandwiched between the two laser rangefinders, and the distance from each laser rangefinder to the object to be measured is measured. A method for adjusting the optical axis of a laser range finder in a device for measuring the size of an object to be measured from a distance, wherein light emitted from one laser range finder is received by the other laser range finder opposite thereto, and the received light is received. The optical axis adjustment method of a laser range finder, wherein the optical axes of the two opposed laser range finder are matched while measuring the irradiation position of the laser range finder (claim 3).

【0023】この装置におけるレーザ距離計には、対向
するレーザ距離計から放射されるレーザビームの受光位
置を測定する手段が設けられているので、その出力を見
ながら光軸を調整することにより、容易に2つのレーザ
距離計の光軸を合致させることができる。
The laser range finder in this apparatus is provided with means for measuring the light receiving position of the laser beam radiated from the opposing laser range finder. Therefore, by adjusting the optical axis while observing the output, The optical axes of the two laser distance meters can be easily matched.

【0024】前記課題を解決するための第4の手段は、
前記第2の手段であるレーザ距離計2台を対向させ、測
定対象物を前記2台のレーザ距離計で挟み込んで、一方
のレーザ距離計から測定対象物までの距離を測定し、測
定された距離から測定対象物の寸法を測定する装置にお
けるレーザ距離計の光軸を調整する方法であって、各々
のレーザー距離計から照射した光を対向する他方のレー
ザー距離計で受光し、各々の1次元受光センサが受光し
た光の照射位置を測定しながら、前記対向する2台のレ
ーザー距離計の光軸を一致させることを特徴とするレー
ザ距離計の光軸調整方法(請求項4)である。
A fourth means for solving the above-mentioned problem is:
The two laser rangefinders as the second means are opposed to each other, the object to be measured is sandwiched between the two laser rangefinders, and the distance from one of the laser rangefinders to the object to be measured is measured. A method for adjusting the optical axis of a laser range finder in an apparatus for measuring the size of an object to be measured from a distance, wherein light emitted from each of the laser range finder is received by the other laser range finder opposite thereto, and each one of the laser range finder is received. An optical axis adjusting method for a laser range finder, wherein the optical axes of the two opposed laser range finder are matched while measuring the irradiation position of the light received by the two-dimensional light receiving sensor. .

【0025】この装置におけるレーザ距離計には、対向
するレーザ距離計から放射されるレーザビームの受光位
置を測定する手段が2個設けられているので、それらの
出力を見ながら光軸を調整することにより、容易に2つ
のレーザ距離計の光軸を合致させることができる。
The laser range finder in this apparatus is provided with two means for measuring the light receiving position of the laser beam emitted from the opposing laser range finder, so that the optical axis is adjusted while observing the output of the two devices. Thereby, the optical axes of the two laser distance meters can be easily matched.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の例を
図面を参照しながら説明する。図1は対向する2台の1
次元レーザー距離計を用いて断面が方形の測定物の厚さ
を測定する装置の概要を示すものである。図1におい
て、1は測定対象物、10、20はレーザ距離計、1
1、21はレーザ投光素子、12、22はハーフミラ
ー、13、23は距離測定用受光素子(第1の受光素
子)、14、24は光軸監視用受光素子(第2の受光素
子)、S1、S2は、それぞれレーザ投光素子11、2
1より投射されるレーザビーム、u1、u2は測定対象
物から反射されたレーザビーム、t1、t2は、それぞ
れレーザビームS2、S1がハーフミラー12、22で
反射されたものである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Figure 1 shows two opposing 1
1 shows an outline of an apparatus for measuring the thickness of a measurement object having a rectangular cross section using a two-dimensional laser distance meter. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an object to be measured, 10 and 20 denote laser distance meters, 1
Reference numerals 1 and 21 denote laser light emitting elements, 12 and 22 denote half mirrors, 13 and 23 denote distance measuring light receiving elements (first light receiving elements), and 14 and 24 denote optical axis monitoring light receiving elements (second light receiving elements). , S1, and S2 are laser projection elements 11, 2 respectively.
1, laser beams u1 and u2 are reflected from the object to be measured, and t1 and t2 are laser beams S2 and S1 reflected by the half mirrors 12 and 22, respectively.

【0027】レーザ距離計10、20は、ハーフミラー
12、22と光軸監視用受光素子14、24が設けられ
ている点が、図4で説明した従来のレーザ距離計と異な
る。
The laser rangefinders 10 and 20 differ from the conventional laser rangefinders described in FIG. 4 in that half mirrors 12 and 22 and light receiving elements 14 and 24 for monitoring the optical axis are provided.

【0028】レーザ距離計10においては、測定時にお
いて、レーザ投光素子11から投射された線状のレーザ
ビームS1は、ハーフミラー12を通過し、測定対象物
1の表面によって反射され、その反射光u1は、距離測
定用受光素子14によって受光される。距離測定用受光
素子14は、CCD、PSD等の1次元光センサであ
り、反射光が受光される位置を検知することができる。
レーザ距離計10によって、レーザ距離計10と測定対
象物1間の距離を測定する方法は、図4に示した従来の
レーザ距離計と同じである。レーザ距離計20もレーザ
距離計10と同じ構造を持ち、同様にして、レーザ距離
計20と測定対象物1間の距離が測定される。
In the laser range finder 10, at the time of measurement, the linear laser beam S1 projected from the laser light projecting element 11 passes through the half mirror 12, is reflected by the surface of the measuring object 1, and is reflected. The light u1 is received by the light receiving element 14 for distance measurement. The light receiving element 14 for distance measurement is a one-dimensional optical sensor such as a CCD or a PSD, and can detect a position where the reflected light is received.
The method of measuring the distance between the laser range finder 10 and the measuring object 1 by the laser range finder 10 is the same as the conventional laser range finder shown in FIG. The laser range finder 20 also has the same structure as the laser range finder 10. Similarly, the distance between the laser range finder 20 and the measurement target 1 is measured.

【0029】レーザ距離計10と20の光軸を合わせる
方法について以下に説明する。測定対象物1が無いと
き、レーザ投光素子11からのレーザビームS1は、レ
ーザ距離計20に照射され、ハーフミラー22によって
反射されて光線t2となり、光軸監視用受光素子24に
入射する。光軸監視用受光素子24も1次元光センサで
あり、その長さ方向のどの位置に光が入射したかを検知
することができる。
A method of aligning the optical axes of the laser rangefinders 10 and 20 will be described below. When there is no measurement object 1, the laser beam S1 from the laser light projecting element 11 is applied to the laser range finder 20, reflected by the half mirror 22, becomes a light beam t2, and enters the optical axis monitoring light receiving element 24. The optical axis monitoring light receiving element 24 is also a one-dimensional optical sensor, and can detect at which position in the length direction light has entered.

【0030】光軸監視用受光素子24としては、CCD
やPSDを使用することができるが、小さなフォトダイ
オードを中心にして、その両側に細長いフォトダイオー
ドを1個ないし複数個ずつ配置したものを使用してもよ
い。対向して配置された1次元レーザー距離計10、2
0の光軸が一致している場合は、光t2の受光素子23
への結像点は中央であるが、光軸がずれている場合は、
光t2の光軸監視用受光素子24への結像点が中央から
ずれ、前記受光素子24の電気信号出力も変化する。そ
の変化量で光軸のずれ量と方向がわかるので光軸の修正
が簡単に行える。
The light receiving element 24 for monitoring the optical axis is a CCD
Or a PSD, but a small photodiode may be used as a center, and one or a plurality of elongated photodiodes may be arranged on both sides of the small photodiode. One-dimensional laser rangefinders 10, 2 arranged opposite to each other
If the optical axes of 0 coincide, the light receiving element 23 of the light t2
Is the center, but if the optical axis is off,
The image forming point of the light t2 on the optical axis monitoring light receiving element 24 is shifted from the center, and the electric signal output of the light receiving element 24 also changes. Since the shift amount and the direction of the optical axis can be known from the change amount, the optical axis can be easily corrected.

【0031】レーザ投光素子21から投射され、レーザ
距離計10に入射するレーザビームS2についても同じ
ことがいえ、光軸監視用受光素子14の出力をモニタす
ることにより、簡単に光軸を合わせることができる。
The same can be said for the laser beam S2 projected from the laser light projecting element 21 and incident on the laser range finder 10. By monitoring the output of the light receiving element 14 for monitoring the optical axis, the optical axis can be easily adjusted. be able to.

【0032】なお、多くの場合には、レーザ距離計1
0、20のうち、どちらか一方のみを光軸監視用受光素
子を有するものとし、他を従来型のレーザ距離計とし
て、一方のレーザ距離計のみで光軸調整を行っても、目
的を達成することができる。
In many cases, the laser distance meter 1
The objective is achieved even if only one of the 0 and 20 has a light receiving element for monitoring the optical axis, and the other is a conventional laser range finder, and the optical axis is adjusted using only one laser range finder. can do.

【0033】図2は、対向する2台の2次元レーザー距
離計で円筒状の測定物の直径を測定する装置の概要を示
す図である。図2において、(a)は側面図、(b)は正面
図、2は円筒状の測定対象物、30、40は2次元レー
ザー距離計、31、41は投光部、32、33、42、
43は光軸監視用受光素子、S3は投光部31から投射
されるスリット状のレーザビーム、S4は投光部41か
ら投射されるスリット状のレーザビーム、u3、u4は
測定対象物2から反射されたレーザビームである。
FIG. 2 is a diagram showing an outline of an apparatus for measuring the diameter of a cylindrical object using two opposing two-dimensional laser distance meters. 2, (a) is a side view, (b) is a front view, 2 is a cylindrical object to be measured, 30 and 40 are two-dimensional laser rangefinders, 31 and 41 are light projecting units, 32, 33, and 42. ,
43 is a light receiving element for monitoring the optical axis, S3 is a slit-shaped laser beam projected from the light projecting unit 31, S4 is a slit-shaped laser beam projected from the light projecting unit 41, and u3 and u4 are from the object 2 to be measured. It is a reflected laser beam.

【0034】この装置において、測定対象物2の直径を
測定する方法について説明する。2次元レーザー距離計
30の投光素子31からのレーザビームS3は測定対象
物2に照射され、上部半球面からの反射光u3となる。
前記反射光u3を2次元レーザー距離計30の受光窓を
介して取り込み距離測定用2次元受光素子(図示せず)
に結像させる。2次元受光素子は2次元CCD、2次元
PSD等からなり、で光の結像点の位置を2次元的に認
識でき、その位置を電気信号として出力できる素子で、
レーザー距離計30と測定物2間の距離が変化すると前
記2次元受光素子上の結像点の位置も3角測量の原理
(図4に示した原理)で変化するためレーザー距離計3
0と測定物2の上部半球面までの距離は2次元受光素子
の出力で測定することができる。
A method for measuring the diameter of the measuring object 2 in this apparatus will be described. The laser beam S3 from the light projecting element 31 of the two-dimensional laser range finder 30 is applied to the measurement target 2 and becomes reflected light u3 from the upper hemisphere.
The reflected light u3 is taken in through a light receiving window of the two-dimensional laser range finder 30, and a two-dimensional light receiving element for distance measurement (not shown).
Image. The two-dimensional light receiving element is composed of a two-dimensional CCD, a two-dimensional PSD, etc., and can two-dimensionally recognize a position of a light imaging point and output the position as an electric signal.
When the distance between the laser distance meter 30 and the object 2 changes, the position of the image point on the two-dimensional light receiving element also changes according to the principle of triangulation (the principle shown in FIG. 4).
The distance between 0 and the upper hemisphere of the object 2 can be measured by the output of the two-dimensional light receiving element.

【0035】すなわち、2次元レーザ距離計30は、投
光ビームをスリット状とし、受光素子を2次元光センサ
とすることにより、図4に示した1次元レーザ距離計
を、図2(a)の紙面垂直方向に複数台並べて設置したも
のと同じ作用をし、スリット状のレーザビームが照射さ
れる測定対象物表面までの距離を1次元的に測定するこ
とができる。
That is, the two-dimensional laser range finder 30 uses the one-dimensional laser range finder shown in FIG. 4 as a two-dimensional laser range finder shown in FIG. Has the same effect as that of a plurality of units arranged in the direction perpendicular to the plane of the drawing, and can one-dimensionally measure the distance to the surface of the object to be irradiated with the slit-shaped laser beam.

【0036】同様に、2次元レーザ距離計40と測定対
象物2間の距離も1次元的に測定することができる。よ
って、予め対向する2次元レーザー距離計30、40の
間隔を測定しておけば、各々の2次元レーザ距離計3
0、40と測定対象物2間の距離を1次元的に測定する
ことにより、測定対象物2の寸法を1次元的に測定する
ことができ、その最大値から直径を測定することができ
る。
Similarly, the distance between the two-dimensional laser range finder 40 and the measuring object 2 can be measured one-dimensionally. Therefore, if the distance between the two-dimensional laser distance meters 30 and 40 facing each other is measured in advance, each of the two-dimensional laser distance meters 3 can be measured.
By measuring the distance between 0 and 40 and the measuring object 2 one-dimensionally, the dimension of the measuring object 2 can be measured one-dimensionally, and the diameter can be measured from the maximum value.

【0037】この装置においても、2つのレーザ距離計
の光軸が合っていないと測定誤差が生じることは、1次
元レーザ距離計を用いた寸法測定装置と同様である。本
実施の形態においては、2次元レーザ距離計30、40
の光軸を合わせるために、光軸監視用受光素子32、3
3、42、43が設けられている。
Also in this apparatus, a measurement error occurs when the optical axes of the two laser distance meters do not match, as in the case of a dimension measuring apparatus using a one-dimensional laser distance meter. In the present embodiment, the two-dimensional laser distance meters 30, 40
In order to align the optical axes of
3, 42, and 43 are provided.

【0038】図3は2次元レーザ距離計30、40を正
面から見た図であり、34、44は受光窓、35,45
は投光窓である。光軸監視用受光素子32、33、4
2、43は、CCD、PSD等、前に説明した光軸監視
用受光素子14と同様の1次元光センサであり、投光窓
35、45の両側に、その長さ方向が、投光窓35、4
5の長さ方向(スリット状レーザビームの長さ方向)と
直角になるように設けられている。
FIG. 3 is a front view of the two-dimensional laser rangefinders 30 and 40. Reference numerals 34 and 44 denote light receiving windows and 35 and 45, respectively.
Is a floodlight window. Optical axis monitoring light receiving elements 32, 33, 4
Reference numerals 2 and 43 denote one-dimensional optical sensors, such as CCDs and PSDs, similar to the optical axis monitoring light receiving element 14 described above. 35, 4
5 is provided so as to be perpendicular to the length direction (length direction of the slit laser beam).

【0039】なお、この交差角度は必ずしも直角にする
必要はなく、お互いの長さ方向が交差していればよい
が、直角にしておくことが最も好ましい。そして、光軸
監視用受光素子32、33の中心位置は、2次元レーザ
距離計30からのスリット状レーザビームの延長線上に
あるようにされており、光軸監視用受光素子42、43
の中心位置は、2次元レーザ距離計40からのスリット
状レーザビームの延長線上にあるようにされている。
The crossing angle does not necessarily have to be a right angle, and it is only necessary that the longitudinal directions intersect with each other. It is most preferable that the crossing angle be a right angle. The center positions of the optical axis monitoring light receiving elements 32 and 33 are set so as to be on an extension of the slit laser beam from the two-dimensional laser range finder 30, and the optical axis monitoring light receiving elements 42 and 43 are provided.
Is located on an extension of the slit-shaped laser beam from the two-dimensional laser range finder 40.

【0040】図2における測定対象物2がない状態で
は、2次元レーザー距離計30の投光素子31から照射
したスリットスリット光S3は、図3に示すごとく、他
方のレーザー距離計40の投光窓45の両端に取付けた
光軸監視用受光素子42、43に照射される。2つの2
次元レーザー距離計30、40の光軸が一致している場
合は、光S3の受光素子42、43への結像点は中央で
あるが、光軸がずれている場合は、光S3の受光素子4
2、43への結像点が中央からずれ、受光素子42、4
3の電気信号出力も変化する。その変化量で光軸のずれ
量と方向がわかるので、受光素子42、43の出力をモ
ニタしながら、光S3の受光素子42、43への結像点
を受光素子42、43の中央に合わせることにより、光
軸の修正が簡単に行える。
In the state where there is no measuring object 2 in FIG. 2, the slit slit light S3 emitted from the light projecting element 31 of the two-dimensional laser range finder 30 is projected by the other laser range finder 40 as shown in FIG. The light is irradiated onto the optical axis monitoring light receiving elements 42 and 43 attached to both ends of the window 45. Two two
When the optical axes of the two-dimensional laser rangefinders 30 and 40 coincide, the image forming point of the light S3 on the light receiving elements 42 and 43 is at the center, but when the optical axes are shifted, the light S3 is received. Element 4
The image forming points on the light receiving elements 42 and 43 are shifted from the center.
3 also changes. Since the shift amount and the direction of the optical axis can be known from the change amount, the imaging point of the light S3 on the light receiving elements 42 and 43 is adjusted to the center of the light receiving elements 42 and 43 while monitoring the outputs of the light receiving elements 42 and 43. Thus, the optical axis can be easily corrected.

【0041】なお、図2、図3においては、2つの2次
元レーザ距離計30、40ともに、光軸監視用受光素子
を有するものを使用しているが、どちらか一方にこのよ
うな形式のものを使用し、他の2次元レーザ距離計は従
来型のものを使用しても、目的を達成することができ
る。
In FIGS. 2 and 3, the two two-dimensional laser rangefinders 30 and 40 each have a light-receiving element for monitoring the optical axis. The object can be achieved even if a conventional one is used as the other two-dimensional laser distance meter.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
対向する2台の1次元レーザー距離計を1組として、レ
ーザー距離計から照射した光を対向する他方のレーザー
距離計で受光し、受光した光をハーフミラーで分岐して
受光素子に結像させ、前記受光素子の出力で対向する2
台のレーザー距離計の光軸のずれ量と方向を確認できる
ので、簡単に作業性良く、光軸の調整を行うことができ
る。さらに、距離計に2次元レーザー距離計を用いる場
合においては各々の2次元レーザー距離計から照射した
スリット光を対向する他方のレーザー距離計の投光窓の
両端部に設けた受光素子でスリット光を受光し、前記受
光素子の出力で対向する2台のレーザー距離計の光軸の
ずれ量と方向を確認できるので、簡単に作業性良く、光
軸の調整を行うことができる。
As described above, according to the present invention,
As one set of two opposing one-dimensional laser rangefinders, the light emitted from the laser rangefinder is received by the other opposite laser rangefinder, and the received light is split by a half mirror to form an image on a light receiving element. , Which are opposed by the output of the light receiving element
Since the displacement and direction of the optical axis of the two laser rangefinders can be checked, the optical axis can be easily adjusted with good workability. Further, when a two-dimensional laser distance meter is used as the distance meter, the slit light emitted from each of the two-dimensional laser distance meters is converted into a slit light by the light receiving elements provided at both ends of the projection window of the other laser distance meter. , And the displacement and direction of the optical axes of the two laser rangefinders facing each other can be confirmed by the output of the light receiving element, so that the optical axis can be easily adjusted with good workability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】対向する2台の1次元レーザー距離計で断面が
方形の測定物の厚さを測定する装置の概要を示す図であ
る。
FIG. 1 is a diagram showing an outline of an apparatus for measuring the thickness of a measurement object having a rectangular cross section using two opposed one-dimensional laser distance meters.

【図2】対向する2台の2次元レーザー距離計で円筒状
の測定物の直径を測定する装置の概要を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing an outline of an apparatus for measuring the diameter of a cylindrical object using two opposing two-dimensional laser distance meters.

【図3】本発明の実施の形態の1例である2次元レーザ
距離計30、40を正面から見た図である。
FIG. 3 is a front view of two-dimensional laser rangefinders 30, 40 as an example of an embodiment of the present invention.

【図4】従来のレーザ距離計の測定原理を示す図であ
る。
FIG. 4 is a diagram illustrating a measurement principle of a conventional laser distance meter.

【図5】2つのレーザ距離計の光軸が一致しないときの
誤差の発生を示す図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating the occurrence of an error when the optical axes of two laser rangefinders do not match.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…測定対象物 10、20…レーザ距離計 11、21…レーザ投光素子 12、22…ハーフミラー 13、23…距離測定用受光素子(第1の受光素子) 14、24…光軸監視用受光素子(第2の受光素子) 30、40…2次元レーザー距離計 31、41…投光部 32、33、42、43…光軸監視用受光素子 S3、S4…投射されるスリット状のレーザビーム S1、S2…投射されるレーザビーム t1、t2…ハーフミラーで反射されたレーザビーム u1、u2…測定対象物から反射されたレーザビーム u3、u4…測定対象物からの反射されたレーザビーム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Measurement object 10, 20 ... Laser distance meter 11,21 ... Laser projection element 12,22 ... Half mirror 13,23 ... Distance measuring light receiving element (first light receiving element) 14,24 ... Optical axis monitoring Light receiving element (second light receiving element) 30, 40: two-dimensional laser distance meter 31, 41: light projecting part 32, 33, 42, 43 ... light axis monitoring light receiving element S3, S4: projected slit laser Beams S1, S2: Projected laser beams t1, t2: Laser beams reflected by a half mirror u1, u2: Laser beams reflected from a measurement target u3, u4: Laser beams reflected from a measurement target

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザ光源から発する線状のレーザ光線
を対象物に照射し、その反射光を1次元光センサで受光
し、前記1次元光センサにおける反射光の受光位置から
対象物までの距離を測定するレーザ距離計であって、レ
ーザ光源の前方に設けられ、前記レーザ光線の一部を透
過し外部から照射された外来光の一部を反射するするハ
ーフミラーと、外部から照射され前記ハーフミラーで反
射された外来光を受光する第2の1次元光センサと、第
2の1次元光センサにおける前記外来光の受光位置か
ら、前記外来光の照射位置を測定する手段とを有するこ
とを特徴とするレーザ距離計。
An object is irradiated with a linear laser beam emitted from a laser light source, the reflected light is received by a one-dimensional optical sensor, and the distance from the light receiving position of the reflected light in the one-dimensional optical sensor to the object is measured. A laser rangefinder that is provided in front of a laser light source, and a half mirror that transmits part of the laser beam and reflects part of external light emitted from outside, A second one-dimensional optical sensor that receives the extraneous light reflected by the half mirror; and a unit that measures an irradiation position of the extraneous light from a light receiving position of the extraneous light in the second one-dimensional optical sensor. Laser rangefinder characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 レーザ光源から発するスリット状のレー
ザ光線を照射窓を通して対象物に照射し、その反射光を
2次元光センサで受光し、前記2次元光センサにおける
反射光の受光位置から対象物までの距離を1次元的に測
定するレーザ距離計であって、前記レーザ照射窓の両側
に各々設けられ、外来光を受光する1次元光センサと、
前記1次元光センサにおける外来光の受光位置から、前
記外来光の照射位置を測定する手段とを有することを特
徴とするレーザ距離計。
2. An object is irradiated with a slit-like laser beam emitted from a laser light source through an irradiation window, and the reflected light is received by a two-dimensional optical sensor. A laser range finder for measuring the distance to one-dimensionally, a one-dimensional optical sensor provided on each side of the laser irradiation window to receive extraneous light,
Means for measuring an irradiation position of the extraneous light from a light receiving position of the extraneous light in the one-dimensional optical sensor.
【請求項3】 請求項1に記載のレーザ距離計2台を対
向させ、測定対象物を前記2台のレーザ距離計で挟み込
んで、各々のレーザ距離計から測定対象物までの距離を
測定し、測定された距離から測定対象物の寸法を測定す
る装置におけるレーザ距離計の光軸を調整する方法であ
って、一方のレーザー距離計から照射した光を対向する
他方のレーザー距離計で受光し、受光した光の照射位置
を測定しながら、前記対向する2台のレーザー距離計の
光軸を一致させることを特徴とするレーザ距離計の光軸
調整方法。
3. The two laser rangefinders according to claim 1 are opposed to each other, the object to be measured is sandwiched between the two laser rangefinders, and the distance from each of the laser rangefinders to the object to be measured is measured. A method of adjusting the optical axis of a laser range finder in a device for measuring the dimension of a measurement object from a measured distance, wherein light irradiated from one laser range finder is received by the other laser range finder opposite thereto. And adjusting the optical axes of the two opposed laser distance meters while measuring the irradiation position of the received light.
【請求項4】 請求項2に記載のレーザ距離計2台を対
向させ、測定対象物を前記2台のレーザ距離計で挟み込
んで、各々のレーザ距離計から測定対象物までの距離を
測定し、測定された距離から測定対象物の寸法を測定す
る装置におけるレーザ距離計の光軸を調整する方法であ
って、一方のレーザー距離計から照射した光を対向する
他方のレーザー距離計で受光し、各々の1次元受光セン
サが受光した光の照射位置を測定しながら、前記対向す
る2台のレーザー距離計の光軸を一致させることを特徴
とするレーザ距離計の光軸調整方法。
4. The two laser rangefinders according to claim 2 are opposed to each other, the object to be measured is sandwiched between the two laser rangefinders, and the distance from each of the laser rangefinders to the object to be measured is measured. A method of adjusting the optical axis of a laser range finder in a device for measuring the dimension of a measurement object from a measured distance, wherein light irradiated from one laser range finder is received by the other laser range finder opposite thereto. And adjusting the optical axes of the two opposing laser distance meters while measuring the irradiation position of the light received by each one-dimensional light receiving sensor.
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