JPH11306990A - Ac color plasma display panel and its manufacture - Google Patents
Ac color plasma display panel and its manufactureInfo
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- JPH11306990A JPH11306990A JP10107680A JP10768098A JPH11306990A JP H11306990 A JPH11306990 A JP H11306990A JP 10107680 A JP10107680 A JP 10107680A JP 10768098 A JP10768098 A JP 10768098A JP H11306990 A JPH11306990 A JP H11306990A
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- forming
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、複数の発光色を
得るために複数の蛍光体を配列してなるAC型カラープ
ラズマディスプレイパネルおよびその製造方法に関し、
特に複数の蛍光体を仕切るためのリブを有するAC型カ
ラープラズマディスプレイパネルおよびその製造方法に
関するするものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an AC type color plasma display panel in which a plurality of phosphors are arranged to obtain a plurality of emission colors, and a method of manufacturing the same.
In particular, the present invention relates to an AC type color plasma display panel having ribs for partitioning a plurality of phosphors, and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】図13は、例えば特開平5‐30793
5号公報に記載されているAC型カラープラズマディス
プレイパネルの一構成例を示す分解斜視図である。図1
3に示す構成には一つの単位発光領域EUが含まれる。
図14は、AC型カラープラズマディスプレイパネルの
他の構成を示す分解斜視図である。図13の2点鎖線で
囲まれた領域が、単位発光領域EUである。3mm程度
の厚みを有する背面ガラス基板2と前面ガラス基板3が
放電空間67を挟んで対向している。背面ガラス基板2
と前面ガラス基板3において、放電空間67の側を内面
という。また、前面ガラス基板3の他方の面を表示面と
いい、符号Hで示す。前面ガラス基板3の内面上に配置
された100μm〜300μm程度の帯状透明電極61
と50〜100μm程度の帯状金属膜62で表示電極が
構成され、隣接する表示電極Xと表示電極Yが一組にな
っている。表示電極X,Yは10〜50μm程度の厚さ
の誘電体層9で被覆されている。誘電体層9上には、表
示電極X,Yと直交する方向に延びる複数のリブ10が
等間隔に設けられている。なお、リブ10は図14に示
すように省くこともできる。図14に示すAC型カラー
プラズマディスプレイパネル60Aでは同じストライプ
内で隣接する単位発光領域の境界を明瞭にするブラック
ストライプ65が前面ガラス基板3に設けられている。
また、図14に示すリブ4のように、1つのリブ4の中
に互いに性質が異なる上層リブ63と下層リブ64が配
置されている場合もある。2. Description of the Related Art FIG.
FIG. 5 is an exploded perspective view showing an example of a configuration of an AC type color plasma display panel described in Japanese Patent Publication No. 5 (JP-A-5). FIG.
The configuration shown in FIG. 3 includes one unit light emitting region EU.
FIG. 14 is an exploded perspective view showing another configuration of the AC type color plasma display panel. The region surrounded by the two-dot chain line in FIG. 13 is the unit light emitting region EU. Back glass substrate 2 and front glass substrate 3 having a thickness of about 3 mm face each other with discharge space 67 interposed therebetween. Back glass substrate 2
And the front glass substrate 3, the side of the discharge space 67 is referred to as an inner surface. The other surface of the front glass substrate 3 is referred to as a display surface, and is indicated by reference numeral H. A strip-shaped transparent electrode 61 of about 100 μm to 300 μm disposed on the inner surface of the front glass substrate 3
And a band-shaped metal film 62 of about 50 to 100 μm, and a display electrode X and a display electrode Y adjacent to each other form a pair. The display electrodes X and Y are covered with a dielectric layer 9 having a thickness of about 10 to 50 μm. On the dielectric layer 9, a plurality of ribs 10 extending in a direction perpendicular to the display electrodes X and Y are provided at equal intervals. Note that the rib 10 can be omitted as shown in FIG. In the AC color plasma display panel 60A shown in FIG. 14, a black stripe 65 for clarifying the boundary between adjacent unit light emitting regions in the same stripe is provided on the front glass substrate 3.
Further, as in a rib 4 shown in FIG. 14, an upper rib 63 and a lower rib 64 having different properties may be arranged in one rib 4 in some cases.
【0003】一方、背面ガラス基板2の内面には、表示
電極X,Yと直交する方向に延びるアドレス電極6が間
隔に複数本、例えば200μm程度のピッチで設けられ
ている。互いに隣接するアドレス電極6の間は、幅が十
数μm〜数十μmで高さが100〜200μm程度のリ
ブ4によって仕切られている。リブ4の中で前面ガラス
基板3の側にある部材と当接する部分およびその近傍を
除き、背面ガラス基板2の内面を覆うように、蛍光体8
が例えば20μmの厚さに形成されている。当然場所に
よって厚さは異なるが、蛍光体8はリブ4の側壁やアド
レス電極6の上にも形成されている。On the other hand, a plurality of address electrodes 6 extending in a direction perpendicular to the display electrodes X and Y are provided on the inner surface of the rear glass substrate 2 at intervals, for example, at a pitch of about 200 μm. The adjacent address electrodes 6 are separated by ribs 4 having a width of about several tens μm to several tens μm and a height of about 100 μm to 200 μm. The fluorescent material 8 covers the inner surface of the rear glass substrate 2 except for the portion of the rib 4 that contacts the member on the front glass substrate 3 side and its vicinity.
Is formed to a thickness of, for example, 20 μm. Of course, the thickness of the phosphor 8 varies depending on the location, but the phosphor 8 is also formed on the side wall of the rib 4 and on the address electrode 6.
【0004】背面ガラス基板2と前面ガラス基板3は、
その周辺部において、低融点ガラス等のシール材により
封着される。そして、AC型カラープラズマディスプレ
イパネル60の放電空間67には、放電ガスとして例え
ばキセノンとネオンとの混合ガスが封入される。The back glass substrate 2 and the front glass substrate 3
In the peripheral part, it is sealed with a sealing material such as low melting point glass. The discharge space 67 of the AC type color plasma display panel 60 is filled with, for example, a mixed gas of xenon and neon as a discharge gas.
【0005】AC型カラープラズマディスプレイパネル
60において発光を行わせるには、まず、前面ガラス基
板3の表示電極Xと背面ガラス基板2のアドレス電極6
との間に、表示電極Xの側を正とする電圧を印加して対
向放電を行わせる。その後の不要な壁電荷が表示電極と
アドレス電極6に印加される消去パルスによって消去さ
れ、壁電荷が残っている単位発光領域EUのみが発光可
能になる。表示電極Xと表示電極Yに放電維持パルスを
印加することによって表示電極Xと表示電極Yの間で放
電が続けて起こり、放電による紫外光によって蛍光体が
励起されて発光が維持される。壁電荷が形成された単位
発光領域EUは前述のようにして発光するが、それ以外
の単位発光領域EUは発光しない。例えば、同じ表示電
極Xと表示電極Yの下にあっても壁電荷の形成が行われ
ている蛍光体8(R)は赤色に発光し、壁電荷の形成が
行われていない蛍光体8(G)は緑色には発光しない。
なお、()の中のR、G、Bは蛍光体の発光色である
赤、緑、青を示している。In order to emit light in the AC type color plasma display panel 60, first, the display electrodes X on the front glass substrate 3 and the address electrodes 6 on the rear glass substrate 2
During this period, a voltage with the display electrode X side being positive is applied to cause a counter discharge. Unnecessary wall charges thereafter are erased by an erase pulse applied to the display electrode and the address electrode 6, and only the unit light emitting region EU in which the wall charges remain remains illuminated. By applying a sustaining pulse to the display electrode X and the display electrode Y, a discharge occurs continuously between the display electrode X and the display electrode Y, and the phosphor is excited by ultraviolet light by the discharge to maintain light emission. The unit light emitting region EU on which wall charges are formed emits light as described above, but the other unit light emitting regions EU do not emit light. For example, even under the same display electrode X and display electrode Y, the phosphor 8 (R) on which wall charges are formed emits red light and the phosphor 8 (R) on which no wall charges are formed. G) does not emit green light.
R, G, and B in parentheses indicate red, green, and blue, which are emission colors of the phosphor.
【0006】蛍光体8のライン毎に、すなわち発光色の
異なる蛍光体8同士は互いにリブ4で仕切られており、
このリブ4は隣接する蛍光体8の発光色が混じること
(混色)を防止している。しかし、図15に示すように
混色発生領域66では、例えばスクリーン版の開口部6
8がずれることによって、隣接する蛍光体8がリブ4を
越えて入り込むため混色が発生する。このように蛍光体
8がリブ4を越えて隣の放電空間(リブ4に挟まれた領
域)に入り込むのは、AC型カラープラズマディスプレ
イパネル60の構造およびその製造方法に原因の一つが
ある。For each line of the phosphor 8, that is, the phosphors 8 having different emission colors are separated from each other by the ribs 4.
The ribs 4 prevent the emission colors of the adjacent phosphors 8 from being mixed (color mixing). However, as shown in FIG. 15, in the color mixture generation area 66, for example, the opening 6 of the screen plate is used.
When the phosphors 8 are displaced, the adjacent phosphors 8 enter over the ribs 4 and color mixing occurs. The reason why the phosphor 8 enters the adjacent discharge space (the region sandwiched by the ribs 4) beyond the ribs 4 is one of the causes of the structure of the AC type color plasma display panel 60 and the manufacturing method thereof.
【0007】図16は従来のAC型カラープラズマディ
スプレイパネル60の製造方法の概要を示すフローチャ
ートである。ステップST1〜ST3が前面ガラス基板
3の側の前面パネル形成工程であり、ステップST4〜
ST6が背面ガラス基板2の側の背面パネル形成工程で
あり、そしてステップST7,ST8が背面ガラス基板
2と前面ガラス基板3を組み合わせてプラズマディスプ
レイパネルを完成する工程である。前面パネル形成工程
において、まず、表示電極形成ステップST1では、表
示電極Xや表示電極Yが前面ガラス基板3の内面に形成
される。透明誘電体層形成ステップST2では、表示電
極Xや表示電極Yを覆うように誘電体層9が形成され
る。リブ形成ステップST3で、リブ10が誘電体層9
の上に複数本平行に形成されて前面パネルが完成する。
なお、このリブ形成ステップST3は必要ない場合もあ
る。FIG. 16 is a flowchart showing an outline of a method of manufacturing a conventional AC type color plasma display panel 60. Steps ST1 to ST3 are front panel forming steps on the front glass substrate 3 side, and steps ST4 to ST3.
ST6 is a step of forming a back panel on the side of the back glass substrate 2, and steps ST7 and ST8 are steps of completing the plasma display panel by combining the back glass substrate 2 and the front glass substrate 3. In the front panel forming step, first, in the display electrode forming step ST1, the display electrodes X and the display electrodes Y are formed on the inner surface of the front glass substrate 3. In the transparent dielectric layer forming step ST2, the dielectric layer 9 is formed so as to cover the display electrodes X and the display electrodes Y. In the rib forming step ST3, the rib 10 is
The front panel is completed by forming a plurality of pieces in parallel on the front panel.
Note that the rib forming step ST3 may not be necessary in some cases.
【0008】背面パネルの形成工程において、まず、ア
ドレス電極形成ステップST4で、例えば金属ペースト
を印刷してアドレス電極6が形成される。この工程にお
いて、下地層7が形成される場合がある。下地層7は、
金属製のアドレス電極6から金属イオンが拡散するのを
防止するとともに、蛍光体8から放射される可視光を前
面パネル側へ反射させることによりAC型カラープラズ
マディスプレイパネル60の輝度を向上させる機能を有
する。次に、リブ形成ステップST5においてリブ4が
形成される。リブ4は、直接背面ガラス基板2の上に形
成される場合もあり、また下地層7のような層を介して
背面ガラス基板2上に形成される場合もある。次に、蛍
光体形成ステップST6において、リブ4の間にペース
ト状の蛍光体8が、例えばスクリーン印刷によって塗り
込まれる。このペーストを乾燥させて背面パネルが完成
する。上記の製造工程を経て完成した前面パネルと背面
パネルをステップST7で組み立てて封着する。貼り合
わされた前面パネルと背面パネルの間の空気を抜いてそ
れらの間を混合ガスで満たすことで、プラズマディスプ
レイパネルが完成する。上記の製造工程において、混色
は蛍光体形成ステップST6における蛍光体8の印刷ず
れが一つの要因となって発生する。また、リブ形成ステ
ップST5におけるリブ4の位置ずれも混色の一つの要
因である。つまり、非常に高精度の位置合わせを必要と
するリブ4と蛍光体8の形成において、リブ4と蛍光体
8の相対的な位置がずれていることによって図15に示
す状況が生じると混色が発生する。In the process of forming the back panel, first, in an address electrode forming step ST4, for example, a metal paste is printed to form the address electrodes 6. In this step, the underlayer 7 may be formed. The underlayer 7
The function of preventing the diffusion of metal ions from the metal address electrode 6 and the function of improving the luminance of the AC type color plasma display panel 60 by reflecting the visible light emitted from the phosphor 8 to the front panel side. Have. Next, the ribs 4 are formed in the rib forming step ST5. The rib 4 may be formed directly on the rear glass substrate 2 or may be formed on the rear glass substrate 2 via a layer such as the underlayer 7. Next, in a phosphor forming step ST6, a paste-like phosphor 8 is applied between the ribs 4 by, for example, screen printing. The paste is dried to complete the back panel. The front panel and the rear panel completed through the above manufacturing process are assembled and sealed in step ST7. The air between the bonded front panel and the rear panel is evacuated and the space between them is filled with a mixed gas to complete the plasma display panel. In the above-described manufacturing process, color mixing occurs due to printing misalignment of the phosphor 8 in the phosphor forming step ST6 as one factor. Further, the displacement of the rib 4 in the rib forming step ST5 is also one factor of the color mixture. That is, in the formation of the ribs 4 and the phosphors 8 that require very high-precision alignment, when the situation shown in FIG. Occur.
【0009】リブ形成ステップST5におけるリブ4の
製造方法には、幾つかの製造方法がある。リブ4の製造
方法の中の代表的なものに、(1)スクリーン印刷法、
(2)サンドブラスト法、(3)フォトリソ法、および
(4)埋め込み焼成法などがある。以下、リブの各製造
方法によるリブの形成について図を用いて説明するが、
説明を簡単にするためにリブと背面ガラス基板以外の構
成は図示省略している。There are several methods for manufacturing the ribs 4 in the rib forming step ST5. Representative methods of manufacturing the rib 4 include (1) a screen printing method,
There are (2) sandblasting, (3) photolithography, and (4) embedded firing. Hereinafter, the formation of the rib by each method of manufacturing the rib will be described with reference to the drawings.
For simplicity of explanation, components other than the ribs and the back glass substrate are not shown.
【0010】(1)スクリーン印刷法では、背面ガラス
基板2の同一の場所に厚膜の印刷を10回程度繰り返す
ことによってリブの高さを確保するとともにリブの幅が
広がらないようにしてリブを形成する。図17は、スク
リーン印刷法における1回目の厚膜印刷工程を模式的に
示す工程図である。図17(a)はスクリーン印刷に用
いられるスクリーン版21の断面を示している。用意さ
れるスクリーン版21には、所望のパターン開口部22
が形成されている。パターン開口部22は、金網70の
網の目を埋める乳剤71が除去された部分である。図1
7(b)はペーストが充填されている状態のスクリーン
版21の断面を示している。ガラスペースト29は矢印
74の方向に移動するスクレッパ72でスクリーン版2
1に均一に塗布される。ガラスペースト29は、スクレ
ッパ72で塗布されることによって、パターン開口部2
2に入り込み、パターン開口部22にはガラスペースト
29が充填される。スクレッパ72によってガラスペー
スト29が塗布されている間、スキージ73はスクリー
ン版21から離れているため、矢印74の方向に移動し
てもガラスペースト29には作用しない。次に、図17
(c)に示すように、矢印75の方向に移動するスクレ
ッパ72およびスキージ73は、スクレッパ72がガラ
スペースト29から離れ、スキージ73がスクリーン版
21に適当なテンションを加えながらガラスペースト2
9を背面ガラス基板2に転写していくように、上下に入
れ替わる。このようにして背面ガラス基板2に転写され
た、図17(d)に示すガラスペースト29は、スクリ
ーン版21のパターン開口部22と同じパターンを有し
ている。(1) In the screen printing method, a thick film is repeatedly printed about 10 times in the same place on the rear glass substrate 2 to secure the height of the rib and to prevent the width of the rib from being widened. Form. FIG. 17 is a process diagram schematically showing the first thick film printing process in the screen printing method. FIG. 17A shows a cross section of a screen plate 21 used for screen printing. The prepared screen plate 21 has a desired pattern opening 22
Are formed. The pattern opening 22 is a portion where the emulsion 71 filling the mesh of the wire mesh 70 has been removed. FIG.
FIG. 7B shows a cross section of the screen plate 21 in a state where the paste is filled. The glass paste 29 is screened by a scraper 72 moving in the direction of arrow 74.
1 is uniformly applied. The glass paste 29 is applied by the scraper 72 to form the pattern opening 2.
2, the pattern opening 22 is filled with a glass paste 29. While the glass paste 29 is being applied by the scraper 72, the squeegee 73 is away from the screen plate 21 and therefore does not act on the glass paste 29 even if it moves in the direction of the arrow 74. Next, FIG.
As shown in (c), the scraper 72 and the squeegee 73 moving in the direction of the arrow 75 are separated from the glass paste 29 by the scraper 72 and the squeegee 73 is applied to the screen plate 21 while applying an appropriate tension to the glass paste 2.
9 is transferred up and down so as to transfer 9 to the rear glass substrate 2. The glass paste 29 shown in FIG. 17D transferred to the rear glass substrate 2 in this manner has the same pattern as the pattern opening 22 of the screen plate 21.
【0011】ガラスペースト29は、機能を発揮する固
形成分と、厚膜を形成するプロセスに重要な役割を持つ
液状成分から構成され、この固形成分にはガラス粉が含
まれる。1層分の印刷が終了する度にガラスペースト2
9の乾燥(仮焼成)が150〜200℃の温度で行わ
れ、固形成分のみが残ることによってガラスペースト2
9の流動性が失われる。従って、図17(d)のガラス
ペースト29の上にさらに重ね塗りと乾燥を繰り返すこ
とによって、図13に示すようにアスペクト比の高いリ
ブ4が形成される。また、印刷した後の形状の変化に係
わるチキソ性は例えばガラス粉の形状などによってコン
トロールでき、チキソ性の良いガラスペースト29は印
刷後の形状変化が小さい。所望の高さの厚膜パターンが
形成されると、背面ガラス基板2を焼成炉に入れて本焼
成が行われる。本焼成は500〜600℃の温度で行わ
れ、本焼成によってガラス粉同士が直接結合し、リブ4
が形成される。The glass paste 29 is composed of a solid component exhibiting a function and a liquid component which plays an important role in the process of forming a thick film, and the solid component includes glass powder. Each time printing of one layer is completed, glass paste 2
9 is performed at a temperature of 150 to 200 ° C., and only the solid components remain, so that the glass paste 2
9 loses its liquidity. Therefore, by repeating recoating and drying on the glass paste 29 of FIG. 17D, the ribs 4 having a high aspect ratio are formed as shown in FIG. The thixotropy related to the change in the shape after printing can be controlled by, for example, the shape of the glass powder, and the glass paste 29 having good thixotropy has a small change in shape after printing. When a thick film pattern having a desired height is formed, the back glass substrate 2 is placed in a firing furnace and the main firing is performed. The main firing is performed at a temperature of 500 to 600 ° C., and the glass powder is directly bonded to each other by the main firing.
Is formed.
【0012】図18は、スクリーン版21とガラスペー
スト29との関係を模式的に示す図である。もともとパ
ターン開口部22にあった乳剤71は除去されている
が、パターン開口部22にはむき出しになった金網70
が存在する。そのため、図17(d)に示すガラスペー
スト29の頂部にはメッシュ痕が残り、多少の凸凹がで
きる。従って、焼成されてできたリブ4の頂部にも多少
の凸凹が残る。この凸凹をなくすためにリブ4の頂部が
研磨される場合がある。FIG. 18 is a diagram schematically showing the relationship between the screen plate 21 and the glass paste 29. As shown in FIG. The emulsion 71 originally located in the pattern opening 22 has been removed, but the exposed wire mesh 70 has been removed from the pattern opening 22.
Exists. Therefore, a mesh mark remains on the top of the glass paste 29 shown in FIG. 17D, and some irregularities are formed. Therefore, some irregularities remain on the top of the rib 4 formed by firing. In order to eliminate the unevenness, the top of the rib 4 may be polished.
【0013】図19は、従来のリブおよび厚膜パターン
の断面構造を説明するための図である。リブ4を形成す
るために重ね塗りされた厚膜パターン5の層は、例えば
LA1〜LA5の複数のグループに分けることができ
る。グループLA1に属する層の形成には、その上に重
ねられる層が広がってしまうのを防止して一定の幅を保
って印刷できるように、例えばポーラスなペーストが用
いられる。グレープLA2に属する層の形成で、パター
ンムラをなくす。グループLA3に属する層は、主にリ
ブの高さを確保するという役割を担う。グループLA4
に属する層で障壁幅の補正が行われる。グループLA5
に属する層にはメッシュ痕を隠して滑らかにするための
役割がある。また、リブ4および厚膜パターン5は、底
部LA10と、底部LA10の上に形成される中間部L
A11と、中間部LA11の上に形成される頂上部LA
12とに分類することもできる。底部LA10は、図1
3に示されている背面ガラス基板2または図14に示さ
れている下地層7のとの接着強度が確保できる材料を用
いて形成される。底部LA10を形成するために、背面
ガラス基板2や下地層7とのぬれ性がよいものがガラス
ペースト29として選択される。中間部LA11はリブ
の振動に対する強度を確保するためポーラスな構造とす
る場合がある。頂上部LA12は、図13のリブ10や
図14の前面ガラス基板3との密着精度や接触強度を確
保できる材料で形成される。また、頂上部LA12は凹
凸ができにくい材料で形成れさる。従来のリブの構造の
中には、図19に示されている構造や材料に限られるも
のではないが、重ね塗りされるガラスペースト29の特
性を層毎に変更して層毎に異なる機能を持たせるものが
ある。なお、リブ4が厚膜パターン5より低いのは、焼
成する際に収縮するためである。FIG. 19 is a view for explaining a cross-sectional structure of a conventional rib and thick film pattern. The layers of the thick film pattern 5 that are overcoated to form the ribs 4 can be divided into, for example, a plurality of groups LA1 to LA5. For example, a porous paste is used to form a layer belonging to the group LA1 so as to prevent a layer superimposed on the layer LA1 from spreading and to print with a certain width. The formation of the layer belonging to the grape LA2 eliminates pattern unevenness. The layer belonging to the group LA3 mainly has a role of securing the height of the rib. Group LA4
The correction of the barrier width is performed in the layer belonging to. Group LA5
The layer belonging to has a role of hiding and smoothing mesh traces. The rib 4 and the thick film pattern 5 are provided with a bottom LA10 and an intermediate portion L formed on the bottom LA10.
A11 and a top LA formed on the intermediate portion LA11
12 can also be classified. The bottom LA10 is shown in FIG.
The back glass substrate 2 shown in FIG. 3 or the underlayer 7 shown in FIG. In order to form the bottom portion LA10, a material having good wettability with the back glass substrate 2 and the base layer 7 is selected as the glass paste 29. The intermediate portion LA11 may have a porous structure in order to ensure the strength of the rib against vibration. The top portion LA12 is formed of a material that can ensure close contact accuracy and contact strength with the rib 10 in FIG. 13 and the front glass substrate 3 in FIG. In addition, the top LA12 is formed of a material that is unlikely to have irregularities. The structure of the conventional rib is not limited to the structure and the material shown in FIG. 19, but the characteristics of the glass paste 29 to be overcoated are changed for each layer so that different functions are provided for each layer. Something to have. The reason why the ribs 4 are lower than the thick film patterns 5 is that the ribs 4 contract during firing.
【0014】(2)サンドブラスト法では、スクリーン
印刷法の厚膜パターンと同じような材料であるリブ料を
ガラスビーズ等の粉体で削ることによってリブを形成す
る。図20は、サンドブラスト法によるリブの形成の概
略を模式的に示す工程図である。サンドブラスト法で
は、まず、図20(a)に示すように背面ガラス基板2
の上にリブ材50が均一な厚さ(例えば150〜250
μm程度)に、かつ平らに形成される。リブ材50は、
例えばスクリーン印刷法のように厚膜の塗布と乾燥とを
繰り返すことによって形成される。次に、リブ材50の
上にホトレジスト81が形成される(図20(b)参
照)。ホトレジスト81がネガ型の場合には、所望のパ
ターンを光が通過するようなホトマスク82が準備さ
れ、ホトマスク82を通してホトレジスト81に光が当
てられる(図20(c)参照)。それを現像することに
よって、図20(d)に示すように、露光された部分が
残り、露光されていない部分が除去されて所望のパター
ンにホトレジスト81が成形される。矢印83の向き
に、すなわち背面ガラス基板2に対して垂直にガラスビ
ーズを吹き付けると、ホトレジスト81が残っていない
部分のリブ材50が除去され、図20(e)に示すよう
にホトレジスト81の下に所定の厚膜パターンを有する
リブ材50が形成される。ホトレジスト81を剥離し
て、スクリーン印刷法と同様にリブ材50を本焼成する
ことによって、図20(f)に示すように、背面ガラス
基板2の上にリブ4を形成することができる。サンドブ
ラスト法によるリブ材50の除去は、高い異方性を持っ
て行うことができるため、ほぼ垂直の壁を有するリブ材
50を形成することができる。リブ4の壁に傾きがあっ
てもその傾きは僅かである。サンドブラスト法において
も、リブ材50が重ね塗りで形成される場合には層構造
を有するので、スクリーン印刷法の場合と同様に各層に
異なる機能を持たせることができる。(2) In the sandblasting method, ribs are formed by shaving a rib material, which is a material similar to the thick film pattern of the screen printing method, with powder such as glass beads. FIG. 20 is a process diagram schematically showing the outline of the rib formation by the sandblast method. In the sandblasting method, first, as shown in FIG.
The rib material 50 has a uniform thickness (for example, 150 to 250).
μm) and flat. The rib material 50 is
For example, it is formed by repeating application and drying of a thick film like a screen printing method. Next, a photoresist 81 is formed on the rib material 50 (see FIG. 20B). When the photoresist 81 is of a negative type, a photomask 82 is prepared so that light passes through a desired pattern, and light is applied to the photoresist 81 through the photomask 82 (see FIG. 20C). By developing it, as shown in FIG. 20D, the exposed portion remains, the unexposed portion is removed, and the photoresist 81 is formed into a desired pattern. When the glass beads are sprayed in the direction of the arrow 83, that is, perpendicularly to the back glass substrate 2, the rib material 50 where the photoresist 81 does not remain is removed, and as shown in FIG. Then, a rib material 50 having a predetermined thick film pattern is formed. The ribs 4 can be formed on the rear glass substrate 2 as shown in FIG. 20F by peeling off the photoresist 81 and firing the rib material 50 similarly to the screen printing method. Since the removal of the rib material 50 by the sandblast method can be performed with high anisotropy, the rib material 50 having a substantially vertical wall can be formed. Even if the wall of the rib 4 is inclined, the inclination is slight. Also in the sandblasting method, when the rib material 50 is formed by multi-layer coating, it has a layer structure, so that each layer can have a different function as in the case of the screen printing method.
【0015】(3)フォトリソ法では、感光性リブ材を
用いてリブが形成される。図21は、フォトリソ法によ
るリブの形成の概略を模式的に示す工程図である。例え
ば、背面ガラス基板2の上にドライフィルム30Aが図
21(a)に示すように重ねて貼られる。次に、マスク
33を通して露光することによってパターンを形成した
いところの領域86が化学変化を起こして変質する(図
21(b))。現像すると図21(c)に示すように露
光されていない部分が除去される。その後、スクリーン
印刷法と同様に背面ガラス基板2を焼成炉に入れて本焼
成することによって背面ガラス基板2の上にリブ4が形
成される。なお、背面ガラス基板2の上にドライフィル
ム30Aがロールコーターで塗布されて形成される場合
もある。(3) In the photolithography method, ribs are formed using a photosensitive rib material. FIG. 21 is a process diagram schematically showing the outline of the formation of the rib by the photolithography method. For example, a dry film 30A is laminated on the rear glass substrate 2 as shown in FIG. Next, by exposing through the mask 33, the region 86 where a pattern is desired to be formed undergoes a chemical change and is altered (FIG. 21B). Upon development, the unexposed portions are removed as shown in FIG. Thereafter, the ribs 4 are formed on the rear glass substrate 2 by placing the rear glass substrate 2 in a firing furnace and performing main firing in the same manner as in the screen printing method. Note that the dry film 30A may be formed on the rear glass substrate 2 by coating with a roll coater.
【0016】(4)埋め込み焼成法では、厚膜ペースト
を塗り込むパターンを露光・現像して形成することによ
ってリブが形成される。図22は、埋め込み焼成法によ
るリブの形成の概略を模式的に示す工程図である。図2
2(a)に示すように、複数の感光性ドライフィルム4
1を背面ガラス基板2の上にラミネートする。図22
(b)に示すように、マスク44を通して感光性ドライ
フィルム41を露光することによってパターンを形成し
ないところの感光領域42が化学変化を起こして変質す
る(図22(b))。露光した感光性ドライフィルム4
1を現像すると、所望のパターンに応じたトレンチ88
が得られる(図22(c)参照)。図22(d)に示す
ように、このトレンチ88の中にスキージ73などを用
いてガラスペースト29を刷り込む。ガラスペースト2
9がトレンチ88を全て埋め尽くした後に、レベリング
によってガラスペースト29の面をマスク44の面の高
さを一致させる(図22(e)参照)。スクリーン印刷
法と同様に、本焼成によってマスク44を除去すると同
時にリブ4が背面ガラス基板2の上に形成される。(4) In the buried firing method, a rib is formed by exposing and developing a pattern for applying a thick film paste. FIG. 22 is a process diagram schematically showing the outline of the formation of the rib by the embedded firing method. FIG.
2 (a), a plurality of photosensitive dry films 4
1 is laminated on the rear glass substrate 2. FIG.
As shown in (b), the photosensitive dry film 41 is exposed to light through the mask 44, and the photosensitive area 42 where no pattern is formed undergoes a chemical change and is altered (FIG. 22 (b)). Exposed photosensitive dry film 4
1 is developed, a trench 88 corresponding to a desired pattern is formed.
Is obtained (see FIG. 22C). As shown in FIG. 22D, a glass paste 29 is printed in the trench 88 using a squeegee 73 or the like. Glass paste 2
After 9 completely fills the trench 88, the surface of the glass paste 29 is made to match the height of the surface of the mask 44 by leveling (see FIG. 22E). Similarly to the screen printing method, the ribs 4 are formed on the rear glass substrate 2 at the same time as the mask 44 is removed by the main baking.
【0017】以上のような各種の方法によって形成され
るリブ4の間に、蛍光体8が形成されなければならな
い。リブ4は、十数μm〜数十μm程度の幅を有し、1
00〜200μm程度の間隔で配置されている。通常、
蛍光体8はこのような微細なリブ4のすき間にスクリー
ン印刷法などによって形成されるため、その位置合わせ
に関して非常に高い精度を要求される。The phosphor 8 must be formed between the ribs 4 formed by the various methods described above. The rib 4 has a width of about several tens μm to several tens μm,
They are arranged at intervals of about 00 to 200 μm. Normal,
Since the phosphor 8 is formed by a screen printing method or the like in the gap between the fine ribs 4, very high precision is required for the alignment.
【0018】例えば、図23は特開平5‐299019
号公報に記載されている、蛍光体の刷り込みに係る各段
階の状態を模式的に示す断面図である。例えば銀からな
る厚さ20μm程度のアドレス電極6と、低融点ガラス
からなり、かつ高さhが130μm程度のリブ4とが設
けられている背面ガラス基板2を準備する。このリブ4
の底部および頂上近傍の幅w1,w2はそれぞれ80μ
m、40μm程度である。このような背面ガラス基板2
に以下の手順で各発光色毎に蛍光体ペースト90を印刷
する。すなわち、図23(a)に示すように、所定幅の
開口部91が設けられているスクリーン版92は、背面
ガラス基板2に対して位置合わせされ、またリブ4と当
接するように配置される。この開口部91はリブ4の配
置ピッチPの3倍のピッチで設けられている。スキージ
73によって蛍光体ペースト90が開口部91から押し
出され、リブ4の間の空隙が蛍光体ペースト90によっ
てほぼ埋め尽くされる。異なる3つの色(R,G,B)
の蛍光体ペースト90について図23(a)に示す工程
を繰り返し行うことによって、図23(b)に示す状態
が得られる。その後、蛍光体ペースト90を乾燥させ、
500〜600℃の温度で焼成する。このとき用いられ
る蛍光体ペースト90は、10〜50重量%の蛍光体を
ビヒクルに混ぜてつられている。蛍光体ペースト90の
ビヒクルの蒸発にともなって蛍光体ペースト90の堆積
が大幅に減少し、図23(c)に示すように蛍光体8が
薄く形成されることによって放電空間が得られる。For example, FIG.
FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a state of each stage relating to imprinting of a phosphor, described in Japanese Patent Application Publication No. JP-A-2006-133125. For example, a back glass substrate 2 provided with an address electrode 6 made of silver and having a thickness of about 20 μm and a rib 4 made of low melting point glass and having a height h of about 130 μm is prepared. This rib 4
Widths w1 and w2 near the bottom and the top of the
m, about 40 μm. Such back glass substrate 2
Then, the phosphor paste 90 is printed for each emission color in the following procedure. In other words, as shown in FIG. 23A, the screen plate 92 provided with the opening 91 having a predetermined width is aligned with the rear glass substrate 2 and is arranged so as to abut the rib 4. . The openings 91 are provided at a pitch three times the pitch P at which the ribs 4 are arranged. The squeegee 73 pushes the phosphor paste 90 out of the opening 91, and the gap between the ribs 4 is almost completely filled with the phosphor paste 90. Three different colors (R, G, B)
By repeatedly performing the process shown in FIG. 23A for the phosphor paste 90, the state shown in FIG. 23B is obtained. After that, the phosphor paste 90 is dried,
Baking at a temperature of 500-600 ° C. The phosphor paste 90 used at this time is obtained by mixing 10 to 50% by weight of a phosphor with a vehicle. As the vehicle of the phosphor paste 90 evaporates, the deposition of the phosphor paste 90 is greatly reduced, and a discharge space is obtained by forming the phosphor 8 thin as shown in FIG.
【0019】[0019]
【発明が解決しようとする課題】従来のAC型カラープ
ラズマディスプレイパネルおよびその製造方法は以上の
ように構成されており、既に説明したスクリーン印刷法
などを用いて形成されるリブがもともと細い上に先細り
になる傾向があるため、例えば色の異なる蛍光体がリブ
を乗り越えて隣のラインに入り込むことによって混色が
発生するという問題がある。例えば、赤色の蛍光体のみ
を発光させたいときには、赤色の蛍光体が形成されてい
るラインのみに放電を起こさせて発光させるが、リブの
頂部において赤色の蛍光体の上に緑色の蛍光体が被さる
と、赤色の中に緑色が混じる混色が発生する。A conventional AC type color plasma display panel and a method of manufacturing the same are constructed as described above, and the ribs formed by the screen printing method described above are originally thin. Since there is a tendency to taper, for example, there is a problem that color mixing occurs when phosphors of different colors cross the ribs and enter adjacent lines. For example, when it is desired to emit only the red phosphor, a discharge is caused only in the line where the red phosphor is formed to emit light, but a green phosphor is formed on the red phosphor at the top of the rib. When covered, a color mixture in which green is mixed with red occurs.
【0020】この発明は上記の問題点を解消するために
なされたものであり、混色による不良品の発生率を減少
させるAC型カラープラズマディスプレイパネルの製造
方法を得ることを目的とする。また、従来に比べて混色
によって不良品となる可能性の少ない構造を有するAC
型カラープラズマディスプレイパネルを得ることを目的
とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and has as its object to provide a method of manufacturing an AC type color plasma display panel which reduces the incidence of defective products due to color mixing. In addition, an AC having a structure that is less likely to be a defective product due to color mixing than a conventional one.
It is intended to obtain a type color plasma display panel.
【0021】[0021]
【課題を解決するための手段】第1の発明に係るAC型
カラープラズマディスプレイパネルは、前面透明基板
と、前記前面透明基板と貼り合わされる背面基板と、前
記透明基板側の前記背面基板上に複数本並べて配置さ
れ、前記背面基板に近い底部が前記背面基板から遠い頂
上部に比べて幅が狭くなるように側壁にテーパが付いて
いるリブと、前記背面基板の前記リブの間に配置され、
少なくとも前記リブの前記底部から前記頂上部に達する
前記側壁を覆う蛍光体とを備え、前記リブを挟んで隣接
する前記蛍光体は、互いに異なる色に発光する蛍光体が
配置されて構成される。According to a first aspect of the present invention, there is provided an AC type color plasma display panel including a front transparent substrate, a rear substrate bonded to the front transparent substrate, and a rear substrate on the transparent substrate side. A plurality of ribs are arranged side by side, and a rib having a tapered side wall such that a bottom portion near the back substrate has a smaller width than a top portion far from the back substrate, and is disposed between the ribs of the back substrate. ,
A phosphor covering at least the side wall extending from the bottom to the top of the rib, and the phosphor adjacent to the rib sandwiching the rib includes phosphors emitting lights of different colors.
【0022】第2の発明に係るAC型カラープラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法は、背面基板に近い底部が
前記背面基板から遠い頂上部に比べて幅が狭くなるよう
に側壁にテーパが付いているリブを前記背面基板上に形
成する工程と、前記リブを挟んで配置される蛍光体同士
の発光色が異なるように、前記リブの間に前記リブの前
記側壁を覆うように蛍光体を印刷する工程とを備えて構
成される。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an AC type color plasma display panel, wherein the side wall is tapered such that a bottom portion near the back substrate is narrower than a top portion far from the back substrate. Forming a phosphor on the rear substrate, and printing a phosphor between the ribs so as to cover the side wall of the rib so that the phosphors arranged between the ribs have different emission colors. And is provided.
【0023】第3の発明に係るAC型カラープラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法は、第2の発明のAC型カ
ラープラズマディスプレイパネルの製造方法において、
前記リブを前記背面基板上に形成する工程は、パターン
幅の狭いスクリーン版からパターン幅の広いスクリーン
版へと順にスクリーン版を取り替えて印刷することによ
って前記背面基板上に厚膜パターンを形成する工程と、
前記厚膜パターンを焼成してリブを形成する工程とを備
えて構成される。The method for manufacturing an AC type color plasma display panel according to the third invention is the same as the method for manufacturing an AC type color plasma display panel according to the second invention,
The step of forming the ribs on the back substrate includes forming a thick film pattern on the back substrate by replacing and printing a screen plate in order from a screen plate having a small pattern width to a screen plate having a large pattern width. When,
Baking the thick film pattern to form a rib.
【0024】第4の発明に係るAC型カラープラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法は、第2の発明のAC型カ
ラープラズマディスプレイパネルの製造方法において、
前記リブを前記背面基板上に形成する工程は、厚みが均
一な感光性リブ材の層を前記背面基板上に形成する工程
と、所定のパターンが形成されているマスクを介して前
記感光性リブ材を露光する露光工程と、前記感光性リブ
材を現像する現像工程と、前記感光性リブ材を焼成して
リブを形成する工程とを備え、前記露光工程において、
前記感光性リブ材がポジ型のときには過度に露光し、ま
たは前記感光性リブ材がネガ型のときには適度な露光に
なる前に露光を終了することを特徴とする。A method for manufacturing an AC color plasma display panel according to a fourth aspect of the present invention is the method for manufacturing an AC color plasma display panel according to the second aspect of the present invention.
The step of forming the rib on the rear substrate includes the step of forming a layer of a photosensitive rib material having a uniform thickness on the rear substrate, and the step of forming the photosensitive rib through a mask on which a predetermined pattern is formed. An exposure step of exposing the material, a development step of developing the photosensitive rib material, and a step of firing the photosensitive rib material to form a rib, wherein in the exposing step,
When the photosensitive rib material is a positive type, overexposure is performed, or when the photosensitive rib material is a negative type, the exposure is terminated before an appropriate exposure is performed.
【0025】第5の発明に係るAC型カラープラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法は、第2の発明のAC型カ
ラープラズマディスプレイパネルの製造方法において、
前記リブを前記背面基板上に形成する工程は、感光性ド
ライフィルムを前記背面基板上に形成する工程と、所定
のパターンが形成されているマスクを介して前記感光性
ドライフィルムを露光する露光工程と、前記感光性ドラ
イフィルムを現像する現像工程と、前記感光性ドライフ
ィルムのすき間にガラスペーストを塗り込む工程と、前
記感光性ドライフィルムを剥離する工程と、前記ガラス
ペーストを乾燥して焼成する工程とを備え、前記露光工
程において、前記感光性ドライフィルムがポジ型のとき
には適度な露光になる前に露光を終了し、または前記感
光性ドライフィルムがネガ型のときには過度に露光する
ことを特徴とする。The method for manufacturing an AC type color plasma display panel according to the fifth invention is the same as the method for manufacturing an AC type color plasma display panel according to the second invention,
The step of forming the rib on the back substrate includes forming a photosensitive dry film on the back substrate, and exposing the photosensitive dry film through a mask on which a predetermined pattern is formed. And a developing step of developing the photosensitive dry film, a step of applying a glass paste in a gap of the photosensitive dry film, a step of peeling the photosensitive dry film, and drying and firing the glass paste And the step of exposing, in the exposing step, when the photosensitive dry film is a positive type, ends the exposure before it becomes an appropriate exposure, or when the photosensitive dry film is a negative type, it is overexposed. And
【0026】第6の発明に係るAC型カラープラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法は、第2の発明のAC型カ
ラープラズマディスプレイパネルの製造方法において、
前記リブを前記背面基板に形成する工程は、前記背面基
板上にリブ材を形成する工程と、所定のパターンを有す
るホトレジストを前記リブ材の上に形成する工程と、前
記リブ材に対して粉体を吹き付けて前記リブ材を成形す
るサンドブラスト工程と、前記ホトレジストを剥離する
工程と、前記リブ材を焼成する工程とを備え、前記サン
ドブラスト工程は、前記リブの長手方向に対して垂直な
平面において、前記リブ材平面の垂線に対して所定の角
度を有する方向から前記粉体を吹き付けることを特徴と
する。The method of manufacturing an AC type color plasma display panel according to the sixth invention is the same as the method of manufacturing an AC type color plasma display panel of the second invention.
The step of forming the ribs on the back substrate includes forming a rib material on the back substrate, forming a photoresist having a predetermined pattern on the rib material, and powdering the rib material. A sandblasting step of forming the rib material by spraying a body, a step of peeling the photoresist, and a step of firing the rib material, wherein the sandblasting step is performed on a plane perpendicular to the longitudinal direction of the rib. The powder is sprayed from a direction having a predetermined angle with respect to a perpendicular to the rib material plane.
【0027】[0027]
【発明の実施の形態】(発明の概要)まず、この発明の
AC型カラープラズマディスプレイパネルの製造方法の
概要およびAC型カラープラズマディスプレイパネルの
構造について説明する。この発明のAC型カラープラズ
マディスプレイパネルの製造方法の概要において従来と
異なるのは、図16に示すリブ形成ステップST5であ
る。図1は、AC型カラープラズマディスプレイパネル
の各製造工程における背面ガラス基板の断面構造を示す
模式図である。図1(a)に示されている断面構造は、
図16におけるアドレス電極形成ステップST4が終了
した状態に対応する。背面ガラス基板2の上にはアドレ
ス電極6が100〜200μm程度のピッチで形成さ
れ、アドレス電極6を保護するための下地層7がそれら
の上に形成されている。次の図1(b)に示されている
断面構造は、図16におけるリブ形成工程ST5が終了
した状態に対応する。逆テーパがついたリブ4Aは、背
面ガラス基板2の上のアドレス電極6の間にアドレス電
極6とほぼ平行に配置されている。ここで逆テーパ状の
リブとは、リブの頂上部の幅がリブの底部の幅よりも狭
いリブをいう。図1(c)に示されている断面構造は、
図16における蛍光体形成ステップST6が終了した状
態に対応する。図1(c)に示すように、リブ4Aの間
に図19と同様の工程で蛍光体8が形成される。図1
(c´)に示されている断面構造は図1(c)に示され
ている断面構造と同じ製造工程の段階にあるが、図1
(c´)には一部の蛍光体8の位置合わせがずれた場合
が示されている。そのため、点線の枠20で囲まれた領
域では、蛍光体8がリブ4Aの頂上部に乗り上げてい
る。しかし、リブ4Aの頂上部の幅w2が底部の幅w1
に比べて広いため、ずれた蛍光体8が隣の放電空間にま
で入り込んではいない。このように、製造工程のリブ4
Aと蛍光体8との相対的な位置ずれが原因となっている
混色を起こり難くすることができる。このw2/w1の
値は大きいほどよいが、混色を十分に防ぎつつ輝度を高
くすることやリブ4Aの強度を高く保つために1.2〜
3の範囲が好ましい。また、隣接する2つのリブ4Aの
底部の間のすき間に対し、頂上部の間のすき間が3分の
1以上あることが好ましい。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (Summary of the Invention) First, an outline of a method of manufacturing an AC type color plasma display panel of the present invention and a structure of the AC type color plasma display panel will be described. The outline of the method of manufacturing an AC type color plasma display panel according to the present invention is different from the conventional method in a rib forming step ST5 shown in FIG. FIG. 1 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of a back glass substrate in each manufacturing process of an AC type color plasma display panel. The cross-sectional structure shown in FIG.
This corresponds to the state where the address electrode forming step ST4 in FIG. 16 has been completed. Address electrodes 6 are formed on the rear glass substrate 2 at a pitch of about 100 to 200 μm, and a base layer 7 for protecting the address electrodes 6 is formed thereon. The following cross-sectional structure shown in FIG. 1B corresponds to the state where the rib forming step ST5 in FIG. 16 has been completed. The rib 4A having the reverse taper is arranged between the address electrodes 6 on the rear glass substrate 2 and substantially in parallel with the address electrodes 6. Here, the inverted tapered rib refers to a rib in which the width at the top of the rib is smaller than the width at the bottom of the rib. The cross-sectional structure shown in FIG.
This corresponds to the state where the phosphor forming step ST6 in FIG. 16 has been completed. As shown in FIG. 1C, the phosphor 8 is formed between the ribs 4A in the same process as in FIG. FIG.
The cross-sectional structure shown in (c ′) is in the same manufacturing process stage as the cross-sectional structure shown in FIG.
(C ′) shows a case where the alignment of some of the phosphors 8 is shifted. Therefore, in the region surrounded by the dotted frame 20, the phosphor 8 rides on the top of the rib 4A. However, the width w2 at the top of the rib 4A is equal to the width w1 at the bottom.
The shifted phosphor 8 does not enter the adjacent discharge space. As described above, the rib 4 in the manufacturing process is used.
Color mixing caused by the relative displacement between A and the phosphor 8 can be suppressed. The larger the value of w2 / w1 is, the better.
A range of 3 is preferred. Further, it is preferable that the gap between the top and the top is one third or more of the gap between the bottoms of two adjacent ribs 4A.
【0028】図2は逆テーパ状のリブを有するAC型カ
ラープラズマディスプレイパネルの断面構造の一例を示
す模式図である。図2においては、逆テーパ状のリブと
の係わりがある部分を中心に描いているため詳細な構造
は省かれている。図2に示すAC型カラープラズマディ
スプレイパネルにおいては、前面ガラス基板3にリブ1
0が形成されており、リブ4Aとリブ10が一対一に対
応する。そのため、図16における組立と封着のステッ
プST7の段階で、リブ4Aとリブ10との位置合わせ
が行われる。その際に、この発明のAC型カラープラズ
マディスプレイパネルは逆テーパ状のリブ4Aを有して
いるためリブ4の頂上部の幅w2が広く、したがって位
置合わせのマージンが大きくなる。なお、放電空間にお
いて、リブの底部の幅が広くならないことから発光に寄
与する蛍光体の表面積の減少を抑えることで輝度の低下
を防ぐことができる。FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a cross-sectional structure of an AC type color plasma display panel having an inversely tapered rib. In FIG. 2, a detailed structure is omitted because a portion related to the reverse tapered rib is mainly illustrated. In the AC type color plasma display panel shown in FIG.
0 is formed, and the ribs 4A and the ribs 10 correspond one to one. Therefore, the alignment of the ribs 4A and the ribs 10 is performed at the stage of the assembly and sealing step ST7 in FIG. At this time, the AC type color plasma display panel of the present invention has the reverse tapered rib 4A, so that the width w2 at the top of the rib 4 is wide, and therefore the alignment margin is large. In the discharge space, since the width of the bottom of the rib is not increased, a decrease in the surface area of the phosphor contributing to light emission is suppressed, so that a decrease in luminance can be prevented.
【0029】図3は逆テーパ状のリブを有するAC型カ
ラープラズマディスプレイパネルの断面構造の他の例を
示す模式図である。図3においては、逆テーパ状のリブ
との係わりがある部分を中心に描いているため詳細な構
造は省かれている。図3に示すAC型カラープラズマデ
ィスプレイパネルにおいては、前面ガラス基板3の内面
全面に誘電体層9やMgO膜11が形成されており、リ
ブ4Aの頂上部は、前面ガラス基板3の側の平面の部材
と当接することになる。そのため、従来のAC型カラー
プラズマディスプレイパネルに比べて、前面ガラス基板
3の側にある部材と接するリブ4Aの幅が大きくなり、
リブ4Aを挟んで隣接する放電空間を分離する性能が向
上する。そのため、例えばリブ4Aを挟んで隣接する放
電空間において、セル間放電が起こり難くなる場合があ
り、AC型カラープラズマディスプレイパネルの性能を
向上させる場合がある。FIG. 3 is a schematic view showing another example of the cross-sectional structure of an AC type color plasma display panel having an inversely tapered rib. In FIG. 3, a detailed structure is omitted because a portion related to the inversely tapered rib is illustrated as a center. In the AC type color plasma display panel shown in FIG. 3, the dielectric layer 9 and the MgO film 11 are formed on the entire inner surface of the front glass substrate 3, and the top of the rib 4A is a flat surface on the side of the front glass substrate 3. Will come into contact with the member. Therefore, the width of the rib 4A in contact with the member on the side of the front glass substrate 3 is larger than that of the conventional AC type color plasma display panel,
The performance of separating adjacent discharge spaces across the rib 4A is improved. Therefore, for example, in a discharge space adjacent to the rib 4A, inter-cell discharge may not easily occur, and the performance of the AC type color plasma display panel may be improved.
【0030】実施の形態1.次に、この発明の実施の形
態1によるAC型カラープラズマディスプレイパネルの
製造方法について図4を用いて説明する。図4は実施の
形態1のAC型カラープラズマディスプレイパネルの製
造方法におけるスクリーン印刷法による厚膜パターン形
成工程を模式的に示す工程図である。まず、図4(a)
〜図4(c)に示す3つのスクリーン版21a〜21c
を準備する。スクリーン版21a〜21cには、それぞ
れ幅の異なるパターン開口部22a〜22cが形成され
ている。これらのパターン幅には、下層用スクリーン版
21aのパターン開口部22aの幅<中層用スクリーン
版21bのパターン開口部22bの幅<上層用スクリー
ン版21cのパターン開口部22cの幅、という関係が
ある。まず、スクリーン版21a〜21cの中のスクリ
ーン版21aを用いて、図4(a)に示すように背面ガ
ラス基板2の上に下層ガラスペースト20を形成する。
従来と同様に下層ガラスペースト20を仮乾燥させて、
乾燥してできた厚膜パターン下層23の上に、図4
(b)に示すように、スクリーン版21bを用いて中層
ガラスペースト24を形成する。そのため、この中層ガ
ラスペースト24の幅は厚膜パターン下層23の幅より
も広くなる。次に、中層ガラスペースト24を仮乾燥さ
せて、乾燥してできた厚膜パターン中層25の上に、図
4(c)に示すように、スクリーン版21cを用いて上
層ガラスペースト26を形成する。この上層ガラスペー
スト26の幅は厚膜パターン中層25の幅よりも広くな
る。このような工程を経て、図1に示す逆テーパ状のリ
ブ4Aを形成することができる。Embodiment 1 Next, a method of manufacturing an AC type color plasma display panel according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a process diagram schematically showing a thick film pattern forming process by a screen printing method in the method for manufacturing an AC type color plasma display panel according to the first embodiment. First, FIG.
To three screen versions 21a to 21c shown in FIG.
Prepare Pattern openings 22a to 22c having different widths are formed in the screen plates 21a to 21c, respectively. These pattern widths have the following relationship: width of pattern opening 22a of lower screen plate 21a <width of pattern opening 22b of middle screen plate 21b <width of pattern opening 22c of upper screen plate 21c. . First, using the screen plate 21a among the screen plates 21a to 21c, the lower glass paste 20 is formed on the rear glass substrate 2 as shown in FIG.
Temporarily dry the lower glass paste 20 as in the past,
On top of the dried thick film pattern lower layer 23, FIG.
As shown in (b), the middle glass paste 24 is formed using the screen plate 21b. Therefore, the width of the middle glass paste 24 is larger than the width of the thick film pattern lower layer 23. Next, the intermediate glass paste 24 is preliminarily dried, and an upper glass paste 26 is formed on the dried thick film intermediate layer 25 using a screen plate 21c as shown in FIG. 4C. . The width of the upper glass paste 26 is wider than the width of the middle layer 25 of the thick film pattern. Through such steps, the reverse tapered rib 4A shown in FIG. 1 can be formed.
【0031】なお、実施の形態1の上記の説明では、ス
クリーン版21a〜21cをそれぞれ1度ずつ用いる場
合について説明したが、スクリーン版21aを複数回用
いて複数層からなる厚膜パターン下層23を形成し、ス
クリーン版21bを複数回用いて複数層からなる厚膜パ
ターン中層25を形成し、スクリーン版21cを複数回
用いてもよく、実施の形態1の上記説明と同様にの効果
を奏する。また、厚膜パターン形成のスクリーン印刷に
用いるスクリーン版の種類は3種類に限られるものでは
なく、もっと多くてもよい。In the above description of the first embodiment, the case where each of the screen plates 21a to 21c is used once has been described. However, the screen plate 21a is used a plurality of times to form the thick film pattern lower layer 23 composed of a plurality of layers. The screen plate 21b may be formed a plurality of times to form the thick film pattern middle layer 25 comprising a plurality of layers, and the screen plate 21c may be used a plurality of times. The same effect as described in the first embodiment can be obtained. The types of screen plates used for screen printing for forming a thick film pattern are not limited to three types, but may be more.
【0032】また、図5に示すように、スクリーン版2
1a〜21cによる印刷の間に、ベタパターンを有する
スクリーン版21dを用いてもよい。図5(a)は図4
(a)に相当する状態である。次に、図5(b)に示す
ように、ベタパターンにできるだけ均一にガラスペース
ト29を塗布する。そして、下層ガラスペースト20に
ガラスペースト29を接触させることによって、図5
(c)に示すように厚膜パターン下層23の上に下層ガ
ラスペースト27を転写する。その時に形成される下層
ガラスペースト27の幅はほぼ厚膜パターン下層23の
幅と同じくらいである。下層ガラスペースト27を乾燥
してできた厚膜パターン下層28の上にスクリーン版2
1bを用いて中層ガラスペースト24を形成する。同様
に図4(b)の後および図4(c)が終了した後の乾燥
工程の後にベタパターンによるガラスペースト29の印
刷を行ってもよい。Further, as shown in FIG.
During printing by 1a to 21c, a screen plate 21d having a solid pattern may be used. FIG. 5A shows FIG.
This is a state corresponding to (a). Next, as shown in FIG. 5B, a glass paste 29 is applied to the solid pattern as uniformly as possible. Then, by bringing the glass paste 29 into contact with the lower glass paste 20,
The lower glass paste 27 is transferred onto the thick film pattern lower layer 23 as shown in FIG. The width of the lower glass paste 27 formed at that time is almost the same as the width of the lower layer 23 of the thick film pattern. The screen plate 2 is placed on the thick film pattern lower layer 28 formed by drying the lower glass paste 27.
1b is used to form the middle glass paste 24. Similarly, after the drying step after FIG. 4B and after the completion of FIG. 4C, printing of the glass paste 29 by a solid pattern may be performed.
【0033】実施の形態2.次に、この発明の実施の形
態2によるAC型カラープラズマディスプレイパネルの
製造方法について図6および図7を用いて説明する。図
6はフォトリソ法によるリブ形成ステップを模式的に示
す工程図である。図6(a)に示すように、背面ガラス
基板2の全面に感光性リブ材30をロールコーター32
を用いて塗布する。感光性リブ材30は、通常、ガラス
粉とフィラーとモノマーとポリマーと重合開始材からな
る。フィラーは充填材であって、CaOやAl2O3等が
ある。感光性リブ材30の塗布にはロールコーター32
に代えて印刷機を用いてもよい。また、図21に示した
ようにドライフィルム30Aを用いてもよい。次に、露
光によって感光性リブ材30にマスク33のパターンを
転写する。感光性リブ材30がポジ型の場合には、光が
当たらなかったところが残ってリブとなるため、図6
(b)に示すようにマスク33のパターン遮光部34を
所定のパターンに合わせて設け、所定のパターンの所で
光を遮断する。一方、感光性リブ材がネガ型の場合に
は、光が当たったところが残ってリブとなるため、図6
(b´)に示すようにマスク33のパターン開口部35
を所定のパターンに合わせて設け、所定のパターンの所
で光を透過する。露光の際に、感光性リブ材がポジ型の
場合には露光量を適度な量よりも多くするか露光時間を
適度な長さよりも長くして露光過度の状態にする。一
方、感光性リブ材がネガ型の場合には、その逆に露光量
を少なくするか露光時間を短くして適度な露光に達する
前に露光を終了する。このように露光を調整することに
よって、図6(c)に示すように、現像後に残る感光性
リブ材30は、頂部が底部よりも幅広なオーバーハング
状態になる。そして、従来と同様に、背面ガラス基板2
を焼成炉に入れて乾燥と焼成を行うことによって逆テー
パ状のリブ4Aが形成される。図7は感光性リブがポジ
型である場合とネガ型である場合の露光の違いを説明す
るための図である。図7(a)を用いてポジ型の露光
を、図7(b)を用いてネガ型の露光を説明する。ポジ
型の場合には、感光部分が除去されてなくなり、感光し
ていない部分が残るので、逆テーパー状のリブ4を形成
するためには露光を過度に行う。図7(a)において、
領域31aはパターン遮光部34の陰になって全く感光
せず、領域31bは光の回折によって感光し、領域31
cは直射光によって感光する。そのため、現像されたと
きに残る領域31aの断面は逆台形状になる。一方、ネ
ガ型の場合には、感光していない部分が除去されてなく
なり、感光部分が残るので、逆テーパー状のリブ4を形
成するためには適度な露光に達する前に露光を終了す
る。図7(b)において、領域31aはパターン開口部
35を通過した直射光によって感光し、領域31bはパ
ターン開口部35を通過した直射光に曝される量が少な
いため感光せず、領域31cは直射光には曝されないの
で感光しない。そのため、現像されたときに残る領域3
1aは断面が逆台形状になる。Embodiment 2 FIG. Next, a method of manufacturing an AC type color plasma display panel according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a process diagram schematically showing a rib forming step by a photolithographic method. As shown in FIG. 6A, a photosensitive rib material 30 is coated on the entire surface of the rear glass substrate 2 with a roll coater 32.
Apply using. The photosensitive rib material 30 is usually composed of glass powder, a filler, a monomer, a polymer, and a polymerization initiator. The filler is a filler, such as CaO or Al 2 O 3 . A roll coater 32 is used to apply the photosensitive rib material 30.
May be used instead of a printing machine. Further, as shown in FIG. 21, a dry film 30A may be used. Next, the pattern of the mask 33 is transferred to the photosensitive rib material 30 by exposure. In the case where the photosensitive rib material 30 is of a positive type, portions where light is not irradiated remain to form ribs.
As shown in (b), the pattern light-shielding portion 34 of the mask 33 is provided in accordance with a predetermined pattern, and blocks light at the predetermined pattern. On the other hand, when the photosensitive rib material is a negative type, a portion where light is applied remains to form a rib.
As shown in (b ′), the pattern opening 35 of the mask 33 is formed.
Are provided in accordance with a predetermined pattern, and light is transmitted at the predetermined pattern. At the time of exposure, when the photosensitive rib material is of a positive type, the exposure amount is set to be larger than an appropriate amount or the exposure time is set longer than an appropriate length to bring about an overexposed state. On the other hand, when the photosensitive rib material is a negative type, on the contrary, the exposure amount is reduced or the exposure time is shortened, and the exposure is completed before reaching an appropriate exposure. By adjusting the exposure in this manner, as shown in FIG. 6C, the photosensitive rib material 30 remaining after development is in an overhang state in which the top is wider than the bottom. Then, as in the conventional case, the rear glass substrate 2
Is placed in a firing furnace and dried and fired to form a reverse tapered rib 4A. FIG. 7 is a diagram for explaining a difference in exposure between a case where the photosensitive rib is a positive type and a case where the photosensitive rib is a negative type. The positive exposure will be described with reference to FIG. 7A, and the negative exposure will be described with reference to FIG. In the case of the positive type, the exposed portion is not removed and the unexposed portion remains, so that excessive exposure is performed to form the inversely tapered rib 4. In FIG. 7A,
The region 31a is shaded by the pattern light-shielding portion 34 and is not exposed at all, and the region 31b is exposed by light diffraction.
c is exposed by direct light. Therefore, the cross section of the region 31a that remains when developed is inverted trapezoidal. On the other hand, in the case of the negative type, the unexposed portion is not removed and the exposed portion remains, so that in order to form the inversely tapered rib 4, the exposure is completed before reaching an appropriate exposure. In FIG. 7B, the region 31a is exposed by direct light passing through the pattern opening 35, the region 31b is not exposed because the amount of exposure to the direct light passing through the pattern opening 35 is small, and the region 31c is exposed. It is not exposed because it is not exposed to direct light. Therefore, the area 3 remaining when developed
1a has an inverted trapezoidal cross section.
【0034】なお、実施の形態2の上述の説明では、1
種類の感光性リブ材を用いる場合について説明したが、
図8に示すように、複数種類の感光性リブ材を用いても
よい。ポジ型の場合には、図8(a)に示すように、上
部の感光性リブ材30aから下部の感光性リブ材30e
に行くに従って感光し易いものを用いることによって露
光を過度にしたときに形成できる逆テーパ状のリブのテ
ーパの傾斜を大きくし易くなる。一方、ネガ型の場合に
は、図8(a)に示すように、上部の感光性リブ材30
aから下部の30eに行くに従って感光し難いものを用
いることによって適度な露光の前に終了したときに形成
できる逆テーパ状のリブのテーパの傾斜を大きくし易く
なる。In the above description of the second embodiment, 1
Although the case where the photosensitive rib material of the type is used has been described,
As shown in FIG. 8, a plurality of types of photosensitive rib materials may be used. In the case of the positive type, as shown in FIG. 8A, the upper photosensitive rib material 30a is moved from the lower photosensitive rib material 30e to the lower photosensitive rib material 30e.
By using a material which is more sensitive to light as it goes, it becomes easy to increase the inclination of the taper of the inversely tapered rib which can be formed when the exposure is excessive. On the other hand, in the case of the negative type, as shown in FIG.
By using the one that is less sensitive to light from the point a to the lower part 30e, it becomes easier to increase the inclination of the taper of the inversely tapered rib that can be formed when the exposure is completed before appropriate exposure.
【0035】実施の形態3.次に、この発明の実施の形
態3によるAC型カラープラズマディスプレイパネルの
製造方法について図9および図10を用いて説明する。
実施の形態3によるAC型カラープラズマディスプレイ
パネルの製造方法は、埋め込み焼成法を用いた製造方法
である。図22を用いて説明したように、従来の埋め込
み焼成法では、感光領域42の側壁がほぼ垂直になるた
め、形成されるリブ4の側壁も垂直となる。そこで、実
施の形態3によるAC型カラープラズマディスプレイパ
ネルの製造方法では、リブ4Aを形成するために、感光
領域42の側壁にテーパを持たせ、感光領域42の頂上
部の幅を底部の幅に比べて狭く形成する。図9は、現像
後に背面ガラス基板2の上に残る感光性ドライフィルム
41の断面形状を示す模式図である。感光性ドライフィ
ルム41を台形状にすることによって、ガラスペースト
29が埋め込まれる空隙80の断面形状を逆台形状とす
ることができる。従って、従来と同様にガラスペースト
29を埋め込んで焼成することによって図1に示すよう
な逆テーパ状のリブ4Aを形成することができる。Embodiment 3 FIG. Next, a method of manufacturing an AC type color plasma display panel according to Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to FIGS.
The method for manufacturing an AC type color plasma display panel according to the third embodiment is a manufacturing method using an embedded firing method. As described with reference to FIG. 22, in the conventional embedded baking method, the side wall of the photosensitive region 42 is substantially vertical, and thus the side wall of the rib 4 to be formed is also vertical. Therefore, in the method of manufacturing an AC type color plasma display panel according to the third embodiment, in order to form the rib 4A, the side wall of the photosensitive region 42 is tapered, and the width of the top of the photosensitive region 42 is reduced to the width of the bottom. It is formed narrower than that. FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a cross-sectional shape of the photosensitive dry film 41 remaining on the rear glass substrate 2 after development. By forming the photosensitive dry film 41 into a trapezoidal shape, the cross-sectional shape of the space 80 in which the glass paste 29 is embedded can be inverted trapezoidal. Therefore, by embedding and firing the glass paste 29 in the same manner as in the related art, the inversely tapered rib 4A as shown in FIG. 1 can be formed.
【0036】図10は感光性ドライフィルムがポジ型で
ある場合とネガ型である場合の露光の違いを説明するた
めの図である。図10(a)を用いてポジ型の露光を、
図10(b)を用いてネガ型の露光を説明する。ポジ型
の場合には、感光部分が除去されてなくなり、感光して
いない部分が残るので、感光性ドライフィルム41を台
形状に形成するためには適度な露光に達する前に露光を
終了する。図10(a)において、領域43aはマスク
44の陰になるため感光せず、領域43bはマスク44
を通過した直射光に曝される量が少ないため感光せず、
領域43cは直射光にはよって感光する。そのため、現
像されたときに残る領域43a,82bは断面が台形状
になる。一方、ネガ型の場合には、感光していない部分
が除去されてなくなり、感光部分が残るので、感光性ド
ライフィルム41を台形状に形成するためには過度な露
光を行う。図10(b)において、領域43aは直射光
によって感光し、領域43bは光の回折によって感光
し、領域43cはマスク44の陰になって全く感光しな
い。そのため、現像されたときに残る領域43a,82
bの断面は台形状になる。FIG. 10 is a diagram for explaining a difference in exposure between a case where the photosensitive dry film is a positive type and a case where the photosensitive dry film is a negative type. Positive exposure using FIG.
The negative exposure will be described with reference to FIG. In the case of the positive type, the exposed portion is not removed and the unexposed portion remains, so that in order to form the photosensitive dry film 41 in a trapezoidal shape, the exposure is terminated before reaching an appropriate exposure. In FIG. 10A, the region 43a is shaded by the mask 44 and is not exposed, and the region 43b is
It is not exposed because the amount of exposure to direct light passing through
The area 43c is exposed to direct light. Therefore, the cross sections of the regions 43a and 82b which remain when developed are trapezoidal. On the other hand, in the case of the negative type, an unexposed portion is not removed and the exposed portion remains, so that excessive exposure is performed to form the photosensitive dry film 41 in a trapezoidal shape. In FIG. 10B, the area 43a is exposed by direct light, the area 43b is exposed by light diffraction, and the area 43c is shaded by the mask 44 and is not exposed at all. Therefore, the regions 43a and 82 which remain when developed.
The cross section of b is trapezoidal.
【0037】なお、実施の形態3の上述の説明では、1
種類の感光性ドライフィルム41を用いる場合について
説明したが、図11に示すように、複数種類の感光性ド
ライフィルム41a〜41eを用いてもよい。ポジ型の
場合には、図11(a)に示すように、上部の感光性ド
ライフィルム41aから下部の感光性ドライフィルム4
1eに行くに従って感光し難いものを用いることによっ
て、適度な露光の前に終了したときに形成できる感光領
域42のテーパの傾斜を大きくし易くなる。一方、ネガ
型の場合には、図11(a)に示すように、上部の感光
性ドライフィルム41aから下部の140eに行くに従
って感光し易いものを用いることによって、露光を過度
に行ったときに形成できる感光領域42のテーパの傾斜
を大きくし易くなる。In the above description of the third embodiment, 1
Although the case where the types of photosensitive dry films 41 are used has been described, a plurality of types of photosensitive dry films 41a to 41e may be used as shown in FIG. In the case of the positive type, as shown in FIG. 11A, the upper photosensitive dry film 41a to the lower photosensitive dry film
By using a material that is less sensitive to light as it goes to 1e, it becomes easier to increase the slope of the taper of the photosensitive region 42 that can be formed when the exposure is completed before appropriate exposure. On the other hand, in the case of the negative type, as shown in FIG. 11 (a), by using the photosensitive dry film 41a which is more sensitive to light from the upper photosensitive dry film 41a to the lower photosensitive evaporator 140e, excessive exposure is performed. It is easy to increase the inclination of the taper of the photosensitive region 42 that can be formed.
【0038】実施の形態4.次に、この発明の実施の形
態4によるAC型カラープラズマディスプレイパネルの
製造方法について図12を用いて説明する。実施の形態
4によるAC型カラープラズマディスプレイパネルの製
造方法は、サンドブラスト法を用いた製造方法である。
図20を用いて説明したように、従来のサンドブラスト
法では、サンドブラストによってリブ材50を除去する
際の異方性が高いため、サンドブラストが終了したとき
のリブ材50の側壁がほぼ垂直になる(図20(e)参
照)。そのため、リブ材50を焼成して形成されるリブ
材50の側壁も垂直となる。そこで、実施の形態4によ
るAC型カラープラズマディスプレイパネルの製造方法
では、サンドブラストを行う際にガラスビーズなどの粉
体を吹き付ける角度を垂直方向から少しずらしている。
図12は、リブの長手方向に対する垂直な断面におい
て、ガラスビーズを吹き付ける方向とリブ材50との関
係を示す図である。矢印51,52はそれぞれ垂直に対
して角度α,βを有しているため、矢印51,52の向
きでガラスビーズを吹き付けることによって、図12に
示すように、リブ材50の側壁が垂直に対して同じ角度
を持つことになる。そのため、この後に従来と同様の工
程を経て最終的に得られるリブは逆テーパ状になる。Embodiment 4 FIG. Next, a method of manufacturing an AC type color plasma display panel according to Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to FIG. The method for manufacturing an AC type color plasma display panel according to the fourth embodiment is a method using a sandblast method.
As described with reference to FIG. 20, in the conventional sandblasting method, since the anisotropy at the time of removing the rib material 50 by sandblasting is high, the side wall of the rib material 50 when sandblasting is completed becomes substantially vertical ( FIG. 20 (e)). Therefore, the side wall of the rib member 50 formed by firing the rib member 50 is also vertical. Therefore, in the method of manufacturing an AC type color plasma display panel according to the fourth embodiment, the angle at which powder such as glass beads is sprayed during sandblasting is slightly shifted from the vertical direction.
FIG. 12 is a diagram showing the relationship between the direction in which the glass beads are sprayed and the rib member 50 in a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the rib. Since the arrows 51 and 52 have angles α and β with respect to the vertical, respectively, by spraying glass beads in the directions of the arrows 51 and 52, the side walls of the rib material 50 are vertically set as shown in FIG. Will have the same angle. Therefore, the rib finally obtained through the same process as the conventional one after this has an inverted tapered shape.
【0039】[0039]
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載のA
C型カラープラズマディスプレイ装置によれば、リブの
底部の幅が広くならないことから発光に寄与する蛍光体
の表面積の減少を抑えることで輝度の低下を防ぎつつ、
リブの頂上部の幅が広くなるため、隣接する、発光色の
違う蛍光体の間を広くでき、混色を起こり難くすること
ができるという効果がある。As described above, A according to claim 1
According to the C-type color plasma display device, since the width of the bottom of the rib is not increased, the decrease in the surface area of the phosphor contributing to light emission is suppressed, thereby preventing the luminance from decreasing.
Since the width of the top of the rib is increased, the distance between adjacent phosphors having different emission colors can be increased, and there is an effect that color mixing can be suppressed.
【0040】請求項2記載のAC型カラープラズマディ
スプレイ装置の製造方法によれば、リブの頂上部の幅が
広がるため、リブを挟んで隣接する蛍光体が混じる程度
に蛍光体印刷がずれる幅を広くでき、リブに蛍光体を印
刷する際の位置合わせのマージンが大きくなるという効
果がある。According to the method of manufacturing an AC type color plasma display device according to the second aspect, the width of the top of the rib is widened, so that the width of the phosphor printing is shifted to such an extent that the phosphor adjacent to the rib is mixed. This has the effect that the margin can be increased when printing the phosphor on the ribs.
【0041】請求項3〜請求項6の中のいずれかに記載
のAC型カラープラズマディスプレイ装置の製造方法に
よれば、従来より周知の手法に若干の変更を加えること
で、逆テーパー状をしたリブを容易に製造できるという
効果がある。According to the method of manufacturing an AC type color plasma display device according to any one of claims 3 to 6, an inverse tapered shape is obtained by slightly modifying a conventionally known method. There is an effect that the rib can be easily manufactured.
【図1】 この発明のAC型カラープラズマディスプレ
イパネルの各製造工程における背面ガラス基板の断面構
造を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of a back glass substrate in each manufacturing process of an AC type color plasma display panel of the present invention.
【図2】 この発明の、逆テーパ状のリブを有するAC
型カラープラズマディスプレイパネルの断面構造の一例
を示す模式図である。FIG. 2 shows an AC having a reverse-tapered rib according to the present invention.
FIG. 1 is a schematic view showing an example of a cross-sectional structure of a color plasma display panel.
【図3】 この発明の、逆テーパ状のリブを有するAC
型カラープラズマディスプレイパネルの断面構造の他の
例を示す模式図である。FIG. 3 shows an AC of the present invention having a reverse tapered rib.
FIG. 7 is a schematic view showing another example of a cross-sectional structure of a color plasma display panel.
【図4】 実施の形態1におけるスクリーン印刷法によ
る厚膜パターン形成工程の一例を模式的に示す工程図で
ある。FIG. 4 is a process diagram schematically showing an example of a thick film pattern forming process by a screen printing method in the first embodiment.
【図5】 実施の形態1におけるスクリーン印刷法によ
る厚膜パターン形成工程の他の例を説明するための工程
図である。FIG. 5 is a process chart for explaining another example of the thick film pattern forming process by the screen printing method in the first embodiment.
【図6】 実施の形態2におけるフォトリソ法によるリ
ブ形成ステップを模式的に示す工程図である。FIG. 6 is a process diagram schematically showing a rib forming step by a photolithography method in the second embodiment.
【図7】 感光性リブがポジ型である場合とネガ型であ
る場合の、実施の形態2における露光の違いを説明する
ための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining a difference in exposure in Embodiment 2 between a case where a photosensitive rib is a positive type and a case where a photosensitive rib is a negative type.
【図8】 実施の形態2において複数種類の感光性リブ
材を用いる場合について説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for describing a case where a plurality of types of photosensitive rib materials are used in the second embodiment.
【図9】 実施の形態3において現像後に背面ガラス基
板の上に残る感光性ドライフィルムの断面形状を示す模
式図である。FIG. 9 is a schematic diagram showing a cross-sectional shape of a photosensitive dry film remaining on a rear glass substrate after development in a third embodiment.
【図10】 感光性ドライフィルムがポジ型である場合
とネガ型である場合の、実施の形態3における露光の違
いを説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a difference in exposure in Embodiment 3 between a case where a photosensitive dry film is a positive type and a case where a photosensitive dry film is a negative type.
【図11】 実施の形態3において複数種類の感光性ド
ライフィルムを用いる場合について説明するための図で
ある。FIG. 11 is a diagram illustrating a case where a plurality of types of photosensitive dry films are used in the third embodiment.
【図12】 リブの長手方向に対する垂直な断面におい
て、ガラスビーズを吹き付ける方向とリブ材との関係を
示す図である。FIG. 12 is a view showing a relationship between a direction in which glass beads are sprayed and a rib material in a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the rib.
【図13】 従来のAC型カラープラズマディスプレイ
パネルの一構成例を示す分解斜視図である。FIG. 13 is an exploded perspective view showing a configuration example of a conventional AC type color plasma display panel.
【図14】 従来のAC型カラープラズマディスプレイ
パネルの他の構成例を示す分解斜視図である。FIG. 14 is an exploded perspective view showing another configuration example of a conventional AC type color plasma display panel.
【図15】 混色の発生について説明するための図であ
る。FIG. 15 is a diagram for explaining the occurrence of color mixing.
【図16】 従来のAC型カラープラズマディスプレイ
パネルの製造工程を示すフローチャートである。FIG. 16 is a flowchart showing a manufacturing process of a conventional AC type color plasma display panel.
【図17】 従来のスクリーン印刷法によるリブの形成
工程の一例を示す工程図である。FIG. 17 is a process chart showing an example of a rib forming process by a conventional screen printing method.
【図18】 印刷時におけるスクリーン版とガラスペー
ストの状態を説明するための図である。FIG. 18 is a diagram for explaining a state of a screen plate and a glass paste during printing.
【図19】 従来のリブおよび厚膜パターンの構造を説
明するための断面図である。FIG. 19 is a cross-sectional view for explaining the structure of a conventional rib and thick film pattern.
【図20】 従来のサンドブラスト法によるリブの形成
工程の一例を示す工程図である。FIG. 20 is a process diagram showing an example of a rib forming process by a conventional sandblast method.
【図21】 従来のフォトリソ法によるリブの形成工程
の一例を示す工程図である。FIG. 21 is a process chart showing an example of a rib forming process by a conventional photolithography method.
【図22】 従来の埋め込み焼成法によるリブの形成工
程の一例を示す工程図である。FIG. 22 is a process diagram showing an example of a rib forming process by a conventional embedded firing method.
【図23】 従来の蛍光体形成工程の一例を示す工程図
である。FIG. 23 is a process chart showing an example of a conventional phosphor forming process.
2 背面ガラス基板、3 前面ガラス基板、4,4A
リブ、6 アドレス電極、7 下地層、8 蛍光体、2
1,21a〜21d スクリーン版、50 リブ材。2 back glass substrate, 3 front glass substrate, 4,4A
Rib, 6 address electrode, 7 underlayer, 8 phosphor, 2
1, 21a-21d Screen plate, 50 rib material.
Claims (6)
れ、前記背面基板に近い底部が前記背面基板から遠い頂
上部に比べて幅が狭くなるように側壁にテーパが付いて
いるリブと、 前記背面基板の前記リブの間に配置され、少なくとも前
記リブの前記底部から前記頂上部に達する前記側壁を覆
う蛍光体とを備え、 前記リブを挟んで隣接する前記蛍光体は、互いに異なる
色に発光する蛍光体が配置される、AC型カラープラズ
マディスプレイパネル。1. A front transparent substrate, a rear substrate bonded to the front transparent substrate, and a plurality of rear substrates arranged on the rear substrate on the transparent substrate side, and a bottom near the rear substrate is far from the rear substrate. A rib having a tapered side wall so as to have a width smaller than that of the top, and a fluorescent member disposed between the rib of the back substrate and covering at least the side wall reaching the top from the bottom of the rib. An AC-type color plasma display panel, wherein the phosphors adjacent to each other with the rib interposed therebetween include phosphors emitting lights of different colors.
遠い頂上部に比べて幅が狭くなるように側壁にテーパが
付いているリブを前記背面基板上に形成する工程と、 前記リブを挟んで配置される蛍光体同士の発光色が異な
るように、前記リブの間に前記リブの前記側壁を覆うよ
うに蛍光体を印刷する工程とを備えるAC型カラープラ
ズマディスプレイパネルの製造方法。2. A step of forming a rib having a tapered side wall on the rear substrate so that a bottom near the rear substrate is narrower in width than a top far from the rear substrate, and sandwiching the rib. Printing a phosphor between the ribs so as to cover the side walls of the ribs so that the phosphors arranged in step (c) have different emission colors.
程は、 パターン幅の狭いスクリーン版からパターン幅の広いス
クリーン版へと順にスクリーン版を取り替えて印刷する
ことによって前記背面基板上に厚膜パターンを形成する
工程と、 前記厚膜パターンを焼成してリブを形成する工程とを備
える、請求項2記載のAC型カラープラズマディスプレ
イパネルの製造方法。3. The step of forming the ribs on the back substrate includes: replacing the screen plate with a screen plate having a large pattern width in order from a screen plate having a large pattern width to perform printing; The method for manufacturing an AC type color plasma display panel according to claim 2, further comprising: forming a pattern; and firing the thick film pattern to form a rib.
程は、 厚みが均一な感光性リブ材の層を前記背面基板上に形成
する工程と、 所定のパターンが形成されているマスクを介して前記感
光性リブ材を露光する露光工程と、 前記感光性リブ材を現像する現像工程と、 前記感光性リブ材を焼成してリブを形成する工程とを備
え、 前記露光工程において、前記感光性リブ材がポジ型のと
きには過度に露光し、または前記感光性リブ材がネガ型
のときには適度な露光になる前に露光を終了することを
特徴とする、請求項2記載のAC型カラープラズマディ
スプレイパネルの製造方法。4. The step of forming the rib on the back substrate includes forming a layer of a photosensitive rib material having a uniform thickness on the back substrate, and using a mask having a predetermined pattern formed thereon. An exposing step of exposing the photosensitive rib material to light, a developing step of developing the photosensitive rib material, and a step of baking the photosensitive rib material to form a rib. 3. The AC type color plasma according to claim 2, wherein the overexposure is performed when the photosensitive rib material is a positive type, or the exposure is terminated before an appropriate exposure is performed when the photosensitive rib material is a negative type. Display panel manufacturing method.
程は、 感光性ドライフィルムを前記背面基板上に形成する工程
と、 所定のパターンが形成されているマスクを介して前記感
光性ドライフィルムを露光する露光工程と、 前記感光性ドライフィルムを現像する現像工程と、 前記感光性ドライフィルムのすき間にガラスペーストを
塗り込む工程と、 前記感光性ドライフィルムを剥離する工程と、 前記ガラスペーストを乾燥して焼成する工程とを備え、 前記露光工程において、前記感光性ドライフィルムがポ
ジ型のときには適度な露光になる前に露光を終了し、ま
たは前記感光性ドライフィルムがネガ型のときには過度
に露光することを特徴とする、請求項2記載のAC型カ
ラープラズマディスプレイパネルの製造方法。5. The step of forming the rib on the back substrate, the step of forming a photosensitive dry film on the back substrate, and the step of forming the photosensitive dry film via a mask on which a predetermined pattern is formed. An exposing step of exposing; a developing step of developing the photosensitive dry film; a step of applying a glass paste in a gap of the photosensitive dry film; a step of removing the photosensitive dry film; A step of drying and baking, in the exposure step, when the photosensitive dry film is a positive type, terminates the exposure before becoming an appropriate exposure, or excessively when the photosensitive dry film is a negative type. 3. The method for manufacturing an AC type color plasma display panel according to claim 2, wherein exposure is performed.
は、 前記背面基板上にリブ材を形成する工程と、 所定のパターンを有するホトレジストを前記リブ材の上
に形成する工程と、 前記リブ材に対して粉体を吹き付けて前記リブ材を成形
するサンドブラスト工程と、 前記ホトレジストを剥離する工程と、 前記リブ材を焼成する工程とを備え、 前記サンドブラスト工程は、前記リブの長手方向に対し
て垂直な平面において、前記リブ材平面の垂線に対して
所定の角度を有する方向から前記粉体を吹き付けること
を特徴とする、請求項2記載のAC型カラープラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法。6. The step of forming the rib on the rear substrate, the step of forming a rib on the rear substrate, the step of forming a photoresist having a predetermined pattern on the rib, A sandblasting step of spraying powder on the material to form the rib material, a step of removing the photoresist, and a step of firing the rib material, wherein the sandblasting step is performed in a longitudinal direction of the rib. 3. The method of manufacturing an AC type color plasma display panel according to claim 2, wherein the powder is sprayed from a direction having a predetermined angle with respect to a perpendicular to the rib material plane on a plane perpendicular to the rib material plane.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10107680A JPH11306990A (en) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | Ac color plasma display panel and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP10107680A JPH11306990A (en) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | Ac color plasma display panel and its manufacture |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11306990A true JPH11306990A (en) | 1999-11-05 |
Family
ID=14465261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10107680A Pending JPH11306990A (en) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | Ac color plasma display panel and its manufacture |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11306990A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006095869A1 (en) * | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Pioneer Corporation | Material of female die for barrier rib pattern formation, method of forming female die for barrier rib pattern formation, method of forming barrier rib pattern, and plasma display panel |
JP2007149669A (en) * | 2005-11-23 | 2007-06-14 | Samsung Sdi Co Ltd | Plasma display panel |
CN108183070A (en) * | 2017-12-29 | 2018-06-19 | 信利(惠州)智能显示有限公司 | The forming method of the insulated column of photoresist inverted trapezoidal structure |
-
1998
- 1998-04-17 JP JP10107680A patent/JPH11306990A/en active Pending
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