JPH11266138A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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- JPH11266138A JPH11266138A JP48899A JP48899A JPH11266138A JP H11266138 A JPH11266138 A JP H11266138A JP 48899 A JP48899 A JP 48899A JP 48899 A JP48899 A JP 48899A JP H11266138 A JPH11266138 A JP H11266138A
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- electrode pair
- pair
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低損失で通過帯域外減衰量に優れた平衡型弾
性表面波フィルタを実現する。 【解決手段】 圧電基板11の上に、入力ＩＤＴ電極対14
と出力ＩＤＴ電極対15とからなる第１のフィルタトラッ
ク12と、入力ＩＤＴ電極対16と出力ＩＤＴ電極対17とか
らなる第２のフィルタトラック13とを設ける。第１のフ
ィルタトラック12と第２のフィルタトラック13を、弾性
表面波の伝搬方向を対称軸とした対称構造にする。第１
のフィルタトラック12の入力ＩＤＴ電極対14の下部電極
14ｂと第２のフィルタトラック13の入力ＩＤＴ電極対16
の上部電極16ａとを接続して端子を形成しアースに接続
する。第１のフィルタトラック12の出力ＩＤＴ電極対15
の下部電極15ｂと第２のトラック13の入力ＩＤＴ電極対
17の上部電極17ａとを接続して端子を形成しアースに接
続する。
性表面波フィルタを実現する。 【解決手段】 圧電基板11の上に、入力ＩＤＴ電極対14
と出力ＩＤＴ電極対15とからなる第１のフィルタトラッ
ク12と、入力ＩＤＴ電極対16と出力ＩＤＴ電極対17とか
らなる第２のフィルタトラック13とを設ける。第１のフ
ィルタトラック12と第２のフィルタトラック13を、弾性
表面波の伝搬方向を対称軸とした対称構造にする。第１
のフィルタトラック12の入力ＩＤＴ電極対14の下部電極
14ｂと第２のフィルタトラック13の入力ＩＤＴ電極対16
の上部電極16ａとを接続して端子を形成しアースに接続
する。第１のフィルタトラック12の出力ＩＤＴ電極対15
の下部電極15ｂと第２のトラック13の入力ＩＤＴ電極対
17の上部電極17ａとを接続して端子を形成しアースに接
続する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、無線通信
機器における高周波回路などに使用される弾性表面波フ
ィルタに関する。
機器における高周波回路などに使用される弾性表面波フ
ィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波を用いたエレクトロメカニカ
ル機構部品は、波の音速が数ｋｍ／ｓであり、波のエネ
ルギーが伝搬媒体の表面に集中する性質を有することか
ら、ハードウエアの高密度化の流れの中で注目されてい
る。また、弾性表面波を用いたエレクトロメカニカル機
構部品は、インタデジタルトランスジューサ（以下『Ｉ
ＤＴ』という。）電極の開発と、その変形展開を可能に
した薄膜作製技術及び表面加工技術の進歩によって、レ
ーダー用遅延線、テレビジョン受像機用帯域フィルタな
どに実用化され、現在では、無線通信機器の送受信回路
におけるＲＦ、ＩＦ段のフィルタとして広く使用されて
いる。
ル機構部品は、波の音速が数ｋｍ／ｓであり、波のエネ
ルギーが伝搬媒体の表面に集中する性質を有することか
ら、ハードウエアの高密度化の流れの中で注目されてい
る。また、弾性表面波を用いたエレクトロメカニカル機
構部品は、インタデジタルトランスジューサ（以下『Ｉ
ＤＴ』という。）電極の開発と、その変形展開を可能に
した薄膜作製技術及び表面加工技術の進歩によって、レ
ーダー用遅延線、テレビジョン受像機用帯域フィルタな
どに実用化され、現在では、無線通信機器の送受信回路
におけるＲＦ、ＩＦ段のフィルタとして広く使用されて
いる。
【０００３】近年、移動体通信機器のディジタル化に伴
い、ディジタル携帯電話やディジタルコードレス電話な
どの開発が盛んに進められおり、１チャネル当たりの占
有帯域幅は大きくなってきている。特に、近年注目を集
めているＣＤＭＡ方式（符号分割多重方式）に用いられ
るＩＦフィルタには、広帯域かつ非常に平坦な群遅延時
間偏差及び隣接チャネルの信号と所望の信号とを区別す
る選択度に優れた特性が要求される。
い、ディジタル携帯電話やディジタルコードレス電話な
どの開発が盛んに進められおり、１チャネル当たりの占
有帯域幅は大きくなってきている。特に、近年注目を集
めているＣＤＭＡ方式（符号分割多重方式）に用いられ
るＩＦフィルタには、広帯域かつ非常に平坦な群遅延時
間偏差及び隣接チャネルの信号と所望の信号とを区別す
る選択度に優れた特性が要求される。
【０００４】従来、ＩＦ段に適する弾性表面波フィルタ
としては、共振器型弾性表面波フィルタとトランスバー
サル型弾性表面波フィルタとがよく知られている。共振
器型弾性表面波フィルタは、狭帯域かつ急峻な遮断特性
を有し、挿入損失及び素子サイズも小さいが、群遅延時
間偏差特性が劣る。一方、トランスバーサル型弾性表面
波フィルタは、挿入損失及び素子サイズが大きいが、広
帯域かつ平坦な群遅延時間偏差特性を有している。上記
の特徴から、ＣＤＭＡ方式におけるＩＦフィルタとして
は、トランスバーサル型弾性表面波フィルタが適してい
る。
としては、共振器型弾性表面波フィルタとトランスバー
サル型弾性表面波フィルタとがよく知られている。共振
器型弾性表面波フィルタは、狭帯域かつ急峻な遮断特性
を有し、挿入損失及び素子サイズも小さいが、群遅延時
間偏差特性が劣る。一方、トランスバーサル型弾性表面
波フィルタは、挿入損失及び素子サイズが大きいが、広
帯域かつ平坦な群遅延時間偏差特性を有している。上記
の特徴から、ＣＤＭＡ方式におけるＩＦフィルタとして
は、トランスバーサル型弾性表面波フィルタが適してい
る。
【０００５】以下、従来のトランスバーサル型弾性表面
波フィルタについて説明する。
波フィルタについて説明する。
【０００６】図７は従来技術におけるトランスバーサル
型弾性表面波フィルタの電極パターンを示す構成図であ
る。図７において、７１は単結晶圧電基板であり、この
圧電基板７１の上に電極パターンを形成することによ
り、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板７
１の上には、上部電極７２ａと下部電極７２ｂとからな
る入力ＩＤＴ電極対７２と、上部電極７３ａと下部電極
７３ｂとからなる出力ＩＤＴ電極対７３とが所定の距離
を置いて設けられており、これによりトランスバーサル
型の弾性表面波フィルタが構成されている。
型弾性表面波フィルタの電極パターンを示す構成図であ
る。図７において、７１は単結晶圧電基板であり、この
圧電基板７１の上に電極パターンを形成することによ
り、弾性表面波を励起させることができる。圧電基板７
１の上には、上部電極７２ａと下部電極７２ｂとからな
る入力ＩＤＴ電極対７２と、上部電極７３ａと下部電極
７３ｂとからなる出力ＩＤＴ電極対７３とが所定の距離
を置いて設けられており、これによりトランスバーサル
型の弾性表面波フィルタが構成されている。
【０００７】以上のような構成を有する弾性表面波フィ
ルタにおいては、入出力ＩＤＴ電極対に種々の重み付け
を施すことにより、あるいは、入出力ＩＤＴ電極対の少
なくとも一方を一方向性ＩＤＴ電極対とすること等によ
り、フィルタの周波数特性が決定され、広帯域で急峻な
フィルタ特性が実現されている。
ルタにおいては、入出力ＩＤＴ電極対に種々の重み付け
を施すことにより、あるいは、入出力ＩＤＴ電極対の少
なくとも一方を一方向性ＩＤＴ電極対とすること等によ
り、フィルタの周波数特性が決定され、広帯域で急峻な
フィルタ特性が実現されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】近年では、ＩＦフィル
タ前後段におけるＩＣの平衡入出力化が進み、ＩＦフィ
ルタにも平衡入出力型の出現が強く要望されている。ま
た、隣接チャネルの信号と所望の信号とを区別するため
に、通過帯域外減衰量の改善も要望されている。
タ前後段におけるＩＣの平衡入出力化が進み、ＩＦフィ
ルタにも平衡入出力型の出現が強く要望されている。ま
た、隣接チャネルの信号と所望の信号とを区別するため
に、通過帯域外減衰量の改善も要望されている。
【０００９】しかし、図７に示すような構成を有する従
来の弾性表面波フィルタでは、入出力ＩＤＴ電極対に重
み付けを施すことによってＩＤＴ電極対の上部電極と下
部電極との構成が異なってしまうため、平衡度が悪くな
るという問題点がある。また、入出力ＩＤＴ電極対の少
なくとも一方を一方向性ＩＤＴ電極対とすること等によ
り、通過帯域近傍のサイドローブレベルが悪化するとい
う問題点が生じる。
来の弾性表面波フィルタでは、入出力ＩＤＴ電極対に重
み付けを施すことによってＩＤＴ電極対の上部電極と下
部電極との構成が異なってしまうため、平衡度が悪くな
るという問題点がある。また、入出力ＩＤＴ電極対の少
なくとも一方を一方向性ＩＤＴ電極対とすること等によ
り、通過帯域近傍のサイドローブレベルが悪化するとい
う問題点が生じる。
【００１０】本発明は、従来技術における前記課題を解
決するためになされたものであり、低損失で通過帯域外
減衰量に優れた平衡型弾性表面波フィルタを提供するこ
とを目的とする。
決するためになされたものであり、低損失で通過帯域外
減衰量に優れた平衡型弾性表面波フィルタを提供するこ
とを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る弾性表面波フィルタの第１の構成は、
圧電基板と、前記圧電基板上に形成され、所定の距離を
置いて配置された第１の入力インタデジタルトランスジ
ューサ電極対と第１の出力インタデジタルトランスジュ
ーサ電極対とからなる第１のフィルタトラックと、前記
圧電基板上に前記第１のフィルタトラックと平行な状態
で形成され、所定の距離を置いて配置された第２の入力
インタデジタルトランスジューサ電極対と第２の出力イ
ンタデジタルトランスジューサ電極対とからなる第２の
フィルタトラックとを備え、前記第１のフィルタトラッ
クと前記第２のフィルタトラックとが弾性表面波の伝搬
方向を対称軸とする対称構造を有し、前記第１の入力イ
ンタデジタルトランスジューサ電極対の下部電極と前記
第２の入力インタデジタルトランスジューサ電極対の上
部電極がともに接地されると共に、前記第１の出力イン
タデジタルトランスジューサ電極対の下部電極と前記第
２の出力インタデジタルトランスジューサ電極対の上部
電極がともに接地され、かつ、前記第１の入力インタデ
ジタルトランスジューサ電極対の上部電極と前記第２の
入力インタデジタルトランスジューサ電極対の下部電極
とによって平衡型入力端子が形成されると共に、前記第
１の出力インタデジタルトランスジューサ電極対の上部
電極と前記第２の出力インタデジタルトランスジューサ
電極対の下部電極とによって平衡型出力端子が形成され
たことを特徴とする。この弾性表面波フィルタの第１の
構成によれば、入出力端子対に接続される電極の構成が
同一となり、平衡型として動作させた場合の端子間の平
衡度が大幅に改善される。その結果、低損失で通過帯域
外減衰量に優れた平衡型弾性表面波フィルタを実現する
ことができる。
め、本発明に係る弾性表面波フィルタの第１の構成は、
圧電基板と、前記圧電基板上に形成され、所定の距離を
置いて配置された第１の入力インタデジタルトランスジ
ューサ電極対と第１の出力インタデジタルトランスジュ
ーサ電極対とからなる第１のフィルタトラックと、前記
圧電基板上に前記第１のフィルタトラックと平行な状態
で形成され、所定の距離を置いて配置された第２の入力
インタデジタルトランスジューサ電極対と第２の出力イ
ンタデジタルトランスジューサ電極対とからなる第２の
フィルタトラックとを備え、前記第１のフィルタトラッ
クと前記第２のフィルタトラックとが弾性表面波の伝搬
方向を対称軸とする対称構造を有し、前記第１の入力イ
ンタデジタルトランスジューサ電極対の下部電極と前記
第２の入力インタデジタルトランスジューサ電極対の上
部電極がともに接地されると共に、前記第１の出力イン
タデジタルトランスジューサ電極対の下部電極と前記第
２の出力インタデジタルトランスジューサ電極対の上部
電極がともに接地され、かつ、前記第１の入力インタデ
ジタルトランスジューサ電極対の上部電極と前記第２の
入力インタデジタルトランスジューサ電極対の下部電極
とによって平衡型入力端子が形成されると共に、前記第
１の出力インタデジタルトランスジューサ電極対の上部
電極と前記第２の出力インタデジタルトランスジューサ
電極対の下部電極とによって平衡型出力端子が形成され
たことを特徴とする。この弾性表面波フィルタの第１の
構成によれば、入出力端子対に接続される電極の構成が
同一となり、平衡型として動作させた場合の端子間の平
衡度が大幅に改善される。その結果、低損失で通過帯域
外減衰量に優れた平衡型弾性表面波フィルタを実現する
ことができる。
【００１２】また、前記本発明の弾性表面波フィルタの
第１の構成においては、第１の入力インタデジタルトラ
ンスジューサ電極対の下部電極と第２の入力インタデジ
タルトランスジューサ電極対の上部電極にダミー電極が
形成されて間引き重み付けが施され、かつ、第１の出力
インタデジタルトランスジューサ電極対の下部電極と第
２の出力インタデジタルトランスジューサ電極対の上部
電極にダミー電極が形成されて間引き重み付けが施され
ているのが好ましい。この好ましい例によれば、間引き
重み付けを施すことによってフィルタの周波数特性を決
定し、広帯域で急峻なフィルタ特性を実現する際に、ダ
ミー電極による浮遊容量などの影響を抑えることができ
る。その結果、挿入損失の改善を図ることができる。
第１の構成においては、第１の入力インタデジタルトラ
ンスジューサ電極対の下部電極と第２の入力インタデジ
タルトランスジューサ電極対の上部電極にダミー電極が
形成されて間引き重み付けが施され、かつ、第１の出力
インタデジタルトランスジューサ電極対の下部電極と第
２の出力インタデジタルトランスジューサ電極対の上部
電極にダミー電極が形成されて間引き重み付けが施され
ているのが好ましい。この好ましい例によれば、間引き
重み付けを施すことによってフィルタの周波数特性を決
定し、広帯域で急峻なフィルタ特性を実現する際に、ダ
ミー電極による浮遊容量などの影響を抑えることができ
る。その結果、挿入損失の改善を図ることができる。
【００１３】また、前記本発明の弾性表面波フィルタの
第１の構成においては、第１の入出力インタデジタルト
ランスジューサ電極対と第２の入出力インタデジタルト
ランスジューサ電極対がともに単相型一方向性変換器
（ＳＰＵＤＴ）であり、前記第１の入力インタデジタル
トランスジューサ電極対の下部電極と前記第２の入力イ
ンタデジタルトランスジューサ電極対の上部電極に反射
器電極を備え、かつ、前記第１の出力インタデジタルト
ランスジューサ電極対の下部電極と前記第２の出力イン
タデジタルトランスジューサ電極対の上部電極に反射器
電極を備えているのが好ましい。この好ましい例によれ
ば、第１及び第２の入出力インタデジタルトランスジュ
ーサ電極対をＳＰＵＤＴとすることによってフィルタの
周波数特性を決定し、広帯域で急峻なフィルタ特性を実
現する際に、反射器電極による浮遊容量などの影響を抑
えることができる。その結果、挿入損失及び通過帯域外
減衰量の改善を図ることができる。
第１の構成においては、第１の入出力インタデジタルト
ランスジューサ電極対と第２の入出力インタデジタルト
ランスジューサ電極対がともに単相型一方向性変換器
（ＳＰＵＤＴ）であり、前記第１の入力インタデジタル
トランスジューサ電極対の下部電極と前記第２の入力イ
ンタデジタルトランスジューサ電極対の上部電極に反射
器電極を備え、かつ、前記第１の出力インタデジタルト
ランスジューサ電極対の下部電極と前記第２の出力イン
タデジタルトランスジューサ電極対の上部電極に反射器
電極を備えているのが好ましい。この好ましい例によれ
ば、第１及び第２の入出力インタデジタルトランスジュ
ーサ電極対をＳＰＵＤＴとすることによってフィルタの
周波数特性を決定し、広帯域で急峻なフィルタ特性を実
現する際に、反射器電極による浮遊容量などの影響を抑
えることができる。その結果、挿入損失及び通過帯域外
減衰量の改善を図ることができる。
【００１４】また、前記本発明の弾性表面波フィルタの
第１の構成においては、第１のフィルタトラックと第２
のフィルタトラックが１０λ（λ：圧電基板上を伝搬す
る弾性表面波の波長）以上の距離を置いて設けられてい
るのが好ましい。この好ましい例によれば、第１のフィ
ルタトラックと第２のフィルタトラックとが互いに音響
的に影響を及ぼし合うことがなく、優れたフィルタ特性
が得られる。
第１の構成においては、第１のフィルタトラックと第２
のフィルタトラックが１０λ（λ：圧電基板上を伝搬す
る弾性表面波の波長）以上の距離を置いて設けられてい
るのが好ましい。この好ましい例によれば、第１のフィ
ルタトラックと第２のフィルタトラックとが互いに音響
的に影響を及ぼし合うことがなく、優れたフィルタ特性
が得られる。
【００１５】また、本発明に係る弾性表面波フィルタの
第２の構成は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成さ
れ、所定の距離を置いて配置された第１の入力インタデ
ジタルトランスジューサ電極対と第１の出力インタデジ
タルトランスジューサ電極対とからなる第１のフィルタ
トラックと、前記圧電基板上に前記第１のフィルタトラ
ックと平行な状態で形成され、所定の距離を置いて配置
された第２の入力インタデジタルトランスジューサ電極
対と第２の出力インタデジタルトランスジューサ電極対
とからなる第２のフィルタトラックとを備え、前記第１
のフィルタトラックを、前記第２のフィルタトラックに
対して弾性表面波の伝搬方向に（ｎ＋１／２）λ（ｎ：
０以上の整数、λ：圧電基板上を伝搬する弾性表面波の
波長）ずらすと、前記第１のフィルタトラックと前記第
２のフィルタトラックとが弾性表面波の伝搬方向を対称
軸とした対称構造をとるような非対称構造を有し、前記
第１の入力インタデジタルトランスジューサ電極対の下
部電極と前記第２の入力インタデジタルトランスジュー
サ電極対の上部電極がともに接地されると共に、前記第
１の出力インタデジタルトランスジューサ電極対の下部
電極と前記第２の出力インタデジタルトランスジューサ
電極対の上部電極がともに接地され、かつ、前記第１の
入力インタデジタルトランスジューサ電極対の上部電極
と前記第２の入力インタデジタルトランスジューサ電極
対の下部電極とによって平衡型入力端子が形成されると
共に、前記第１の出力インタデジタルトランスジューサ
電極対の上部電極と前記第２の出力インタデジタルトラ
ンスジューサ電極対の下部電極とによって平衡型出力端
子が形成されたことを特徴とする。この弾性表面波フィ
ルタの第２の構成によれば、第１のフィルタトラックと
第２のフィルタトラックとが互いに音響的に影響を及ぼ
し合うことがなく、第１のフィルタトラックと第２のフ
ィルタトラックとの距離を十分に取る必要はないので、
素子サイズの大幅な小型化を図ることができる。
第２の構成は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成さ
れ、所定の距離を置いて配置された第１の入力インタデ
ジタルトランスジューサ電極対と第１の出力インタデジ
タルトランスジューサ電極対とからなる第１のフィルタ
トラックと、前記圧電基板上に前記第１のフィルタトラ
ックと平行な状態で形成され、所定の距離を置いて配置
された第２の入力インタデジタルトランスジューサ電極
対と第２の出力インタデジタルトランスジューサ電極対
とからなる第２のフィルタトラックとを備え、前記第１
のフィルタトラックを、前記第２のフィルタトラックに
対して弾性表面波の伝搬方向に（ｎ＋１／２）λ（ｎ：
０以上の整数、λ：圧電基板上を伝搬する弾性表面波の
波長）ずらすと、前記第１のフィルタトラックと前記第
２のフィルタトラックとが弾性表面波の伝搬方向を対称
軸とした対称構造をとるような非対称構造を有し、前記
第１の入力インタデジタルトランスジューサ電極対の下
部電極と前記第２の入力インタデジタルトランスジュー
サ電極対の上部電極がともに接地されると共に、前記第
１の出力インタデジタルトランスジューサ電極対の下部
電極と前記第２の出力インタデジタルトランスジューサ
電極対の上部電極がともに接地され、かつ、前記第１の
入力インタデジタルトランスジューサ電極対の上部電極
と前記第２の入力インタデジタルトランスジューサ電極
対の下部電極とによって平衡型入力端子が形成されると
共に、前記第１の出力インタデジタルトランスジューサ
電極対の上部電極と前記第２の出力インタデジタルトラ
ンスジューサ電極対の下部電極とによって平衡型出力端
子が形成されたことを特徴とする。この弾性表面波フィ
ルタの第２の構成によれば、第１のフィルタトラックと
第２のフィルタトラックとが互いに音響的に影響を及ぼ
し合うことがなく、第１のフィルタトラックと第２のフ
ィルタトラックとの距離を十分に取る必要はないので、
素子サイズの大幅な小型化を図ることができる。
【００１６】また、本発明に係る弾性表面波フィルタの
第３の構成は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成され
た入力インタデジタルトランスジューサ電極対と、前記
圧電基板上に形成され、前記入力インタデジタルトラン
スジューサ電極対と所定の距離を置いて配置された出力
インタデジタルトランスジューサ電極対とを備えた弾性
表面波フィルタであって、前記入力インタデジタルトラ
ンスジューサ電極対又は前記出力インタデジタルトラン
スジューサ電極対のどちらか一方が単相型一方向性変換
器（ＳＰＵＤＴ）であることを特徴とする。この弾性表
面波フィルタの第２の構成によれば、インピーダンス整
合の状態でTTE（Triple Transit Echo）レベルを抑える
ことが可能となるので、平坦な通過帯域内特性での挿入
損失が小さく、しかも通過帯域近傍において優れた減衰
量を有する弾性表面波フィルタを実現することができ
る。
第３の構成は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成され
た入力インタデジタルトランスジューサ電極対と、前記
圧電基板上に形成され、前記入力インタデジタルトラン
スジューサ電極対と所定の距離を置いて配置された出力
インタデジタルトランスジューサ電極対とを備えた弾性
表面波フィルタであって、前記入力インタデジタルトラ
ンスジューサ電極対又は前記出力インタデジタルトラン
スジューサ電極対のどちらか一方が単相型一方向性変換
器（ＳＰＵＤＴ）であることを特徴とする。この弾性表
面波フィルタの第２の構成によれば、インピーダンス整
合の状態でTTE（Triple Transit Echo）レベルを抑える
ことが可能となるので、平坦な通過帯域内特性での挿入
損失が小さく、しかも通過帯域近傍において優れた減衰
量を有する弾性表面波フィルタを実現することができ
る。
【００１７】また、前記本発明の弾性表面波フィルタの
第３の構成においては、入力インタデジタルトランスジ
ューサ電極対のインパルス応答特性における中心周波数
に最も近い高域側の極の周波数ｆ1hと中心周波数に最も
近い低域側の極の周波数ｆ1lとの差をΔｆ1 、出力イン
タデジタルトランスジューサ電極対のインパルス応答特
性における中心周波数に最も近い高域側の極の周波数ｆ
2hと中心周波数に最も近い低域側の極の周波数ｆ2lとの
差をΔｆ2 としたとき、Δｆが小さい方のインタデジタ
ルトランスジューサ電極対がＳＰＵＤＴであるのが好ま
しい。この好ましい例によれば、フィルタ全体としての
サイドローブレベルを抑圧することができるので、通過
帯域近傍において優れた減衰量が得られる。
第３の構成においては、入力インタデジタルトランスジ
ューサ電極対のインパルス応答特性における中心周波数
に最も近い高域側の極の周波数ｆ1hと中心周波数に最も
近い低域側の極の周波数ｆ1lとの差をΔｆ1 、出力イン
タデジタルトランスジューサ電極対のインパルス応答特
性における中心周波数に最も近い高域側の極の周波数ｆ
2hと中心周波数に最も近い低域側の極の周波数ｆ2lとの
差をΔｆ2 としたとき、Δｆが小さい方のインタデジタ
ルトランスジューサ電極対がＳＰＵＤＴであるのが好ま
しい。この好ましい例によれば、フィルタ全体としての
サイドローブレベルを抑圧することができるので、通過
帯域近傍において優れた減衰量が得られる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、実施の形態を用いて本発明
をさらに具体的に説明する。
をさらに具体的に説明する。
【００１９】〈第１の実施の形態〉図１は本発明の第１
の実施の形態における弾性表面波フィルタの電極パター
ンを示す構成図である。
の実施の形態における弾性表面波フィルタの電極パター
ンを示す構成図である。
【００２０】図１において、１１は単結晶圧電基板であ
り、この圧電基板１１の上に周期構造のストリップライ
ン状の電極パターンを形成することにより、弾性表面波
を励起させることができる。圧電基板１１の上には、第
１のフィルタトラック１２と第２のフィルタトラック１
３とが設けられており、第１のフィルタトラック１２と
第２のフィルタトラック１３とは弾性表面波の伝搬方向
を対称軸とした対称構造となっている。
り、この圧電基板１１の上に周期構造のストリップライ
ン状の電極パターンを形成することにより、弾性表面波
を励起させることができる。圧電基板１１の上には、第
１のフィルタトラック１２と第２のフィルタトラック１
３とが設けられており、第１のフィルタトラック１２と
第２のフィルタトラック１３とは弾性表面波の伝搬方向
を対称軸とした対称構造となっている。
【００２１】第１のフィルタトラック１２は、入力ＩＤ
Ｔ電極対１４と出力ＩＤＴ電極対１５とにより構成され
ている。また、第２のフィルタトラック１３は、入力Ｉ
ＤＴ電極対１６と出力ＩＤＴ電極対１７とにより構成さ
れている。
Ｔ電極対１４と出力ＩＤＴ電極対１５とにより構成され
ている。また、第２のフィルタトラック１３は、入力Ｉ
ＤＴ電極対１６と出力ＩＤＴ電極対１７とにより構成さ
れている。
【００２２】第１のフィルタトラック１２の入力ＩＤＴ
電極対１４の下部電極１４ｂと第２のフィルタトラック
１３の入力ＩＤＴ電極対１６の上部電極１６ａとは接続
されて端子を形成し、アースに接続されている。また、
第１のフィルタトラック１２の出力ＩＤＴ電極対１５の
下部電極１５ｂと第２のトラック１３の入力ＩＤＴ電極
対１７の上部電極１７ａとは接続されて端子を形成し、
アースに接続されている。
電極対１４の下部電極１４ｂと第２のフィルタトラック
１３の入力ＩＤＴ電極対１６の上部電極１６ａとは接続
されて端子を形成し、アースに接続されている。また、
第１のフィルタトラック１２の出力ＩＤＴ電極対１５の
下部電極１５ｂと第２のトラック１３の入力ＩＤＴ電極
対１７の上部電極１７ａとは接続されて端子を形成し、
アースに接続されている。
【００２３】図１に示す本実施の形態の弾性表面波フィ
ルタと図７に示す従来の弾性表面波フィルタの電極パタ
ーン構成上の相違点は、図７に示す従来の弾性表面波フ
ィルタでは、入力端子対に接続されている電極７２ａと
電極７２ｂの構成が異なっているのに対し、図１に示す
本実施の形態の弾性表面波フィルタでは、入力端子に接
続されている電極１４ａと電極１６ｂの構成が同一とな
っている点である。また、本実施の形態の弾性表面波フ
ィルタでは、出力端子対に接続されている電極１５ａと
電極１７ｂの構成も同一となっている。すなわち、上記
のような２トラック構成を採用することにより、入出力
端子対に接続される電極の構成が同一となり、図７に示
す従来の弾性表面波フィルタと比較して、平衡型として
動作させた場合の端子間の平衡度が大幅に改善される。
その結果、低損失で通過帯域外減衰量に優れた平衡型弾
性表面波フィルタを実現することができる。通過帯域外
減衰量に着目した場合、帯域幅１．３ＭＨｚのフィルタ
において、フィルタの中心周波数をｆ0 として通過帯域
外減衰量はｆ0 ±５ＭＨｚとなり、図７に示す従来の弾
性表面波フィルタの場合に比べて約１０ｄＢ改善され
る。
ルタと図７に示す従来の弾性表面波フィルタの電極パタ
ーン構成上の相違点は、図７に示す従来の弾性表面波フ
ィルタでは、入力端子対に接続されている電極７２ａと
電極７２ｂの構成が異なっているのに対し、図１に示す
本実施の形態の弾性表面波フィルタでは、入力端子に接
続されている電極１４ａと電極１６ｂの構成が同一とな
っている点である。また、本実施の形態の弾性表面波フ
ィルタでは、出力端子対に接続されている電極１５ａと
電極１７ｂの構成も同一となっている。すなわち、上記
のような２トラック構成を採用することにより、入出力
端子対に接続される電極の構成が同一となり、図７に示
す従来の弾性表面波フィルタと比較して、平衡型として
動作させた場合の端子間の平衡度が大幅に改善される。
その結果、低損失で通過帯域外減衰量に優れた平衡型弾
性表面波フィルタを実現することができる。通過帯域外
減衰量に着目した場合、帯域幅１．３ＭＨｚのフィルタ
において、フィルタの中心周波数をｆ0 として通過帯域
外減衰量はｆ0 ±５ＭＨｚとなり、図７に示す従来の弾
性表面波フィルタの場合に比べて約１０ｄＢ改善され
る。
【００２４】また、図１に示す本実施の形態の弾性表面
波フィルタにおいて、第１のフィルタトラック１２及び
第２のフィルタトラック１３の入出力ＩＤＴ電極対１
４、１５、１６及び１７が『間引き重み付け』を有して
いる場合、入出力ＩＤＴ電極対の一方の電極には、ＩＤ
Ｔ電極を間引いた部分に弾性表面波の音速を調整するた
めのダミー電極が付与される。この場合、第１のフィル
タトラック１２の入出力ＩＤＴ電極対１４及び１５の下
部電極１４ｂ及び１５ｂと第２のフィルタトラック１３
の入出力ＩＤＴ電極対１６及び１７の上部電極１６ａ及
び１７ａとにダミー電極を有するような電極構成、又
は、第１のフィルタトラック１２の入出力ＩＤＴ電極対
１４及び１５の上部電極１４ａ及び１５ａと第２のフィ
ルタトラック１３の入出力ＩＤＴ電極対１６及び１７の
上部電極１６ｂ及び１７ｂとにダミー電極を有するよう
な電極構成が考えられるが、前者の電極構成で、ＩＤＴ
電極１４ｂとＩＤＴ電極１６ａとの接続部及びＩＤＴ電
極１５ｂとＩＤＴ電極１７ａとの接続部をアースに接続
すれば、ダミー電極による浮遊容量などの影響を抑える
ことができる。その結果、挿入損失の改善を図ることが
できる。
波フィルタにおいて、第１のフィルタトラック１２及び
第２のフィルタトラック１３の入出力ＩＤＴ電極対１
４、１５、１６及び１７が『間引き重み付け』を有して
いる場合、入出力ＩＤＴ電極対の一方の電極には、ＩＤ
Ｔ電極を間引いた部分に弾性表面波の音速を調整するた
めのダミー電極が付与される。この場合、第１のフィル
タトラック１２の入出力ＩＤＴ電極対１４及び１５の下
部電極１４ｂ及び１５ｂと第２のフィルタトラック１３
の入出力ＩＤＴ電極対１６及び１７の上部電極１６ａ及
び１７ａとにダミー電極を有するような電極構成、又
は、第１のフィルタトラック１２の入出力ＩＤＴ電極対
１４及び１５の上部電極１４ａ及び１５ａと第２のフィ
ルタトラック１３の入出力ＩＤＴ電極対１６及び１７の
上部電極１６ｂ及び１７ｂとにダミー電極を有するよう
な電極構成が考えられるが、前者の電極構成で、ＩＤＴ
電極１４ｂとＩＤＴ電極１６ａとの接続部及びＩＤＴ電
極１５ｂとＩＤＴ電極１７ａとの接続部をアースに接続
すれば、ダミー電極による浮遊容量などの影響を抑える
ことができる。その結果、挿入損失の改善を図ることが
できる。
【００２５】図２は、図１の弾性表面波フィルタにおい
て、第１のフィルタトラック１２及び第２のフィルタト
ラック１３の入出力ＩＤＴ電極対１４、１５、１６及び
１７が単相型一方向性変換器（ＳＰＵＤＴ）である場合
の電極パターンを示す構成図である。ＳＰＵＤＴは一方
向性の電極であり、ＩＤＴ電極の内部に反射器電極を有
する構成となっている。この場合、第１のフィルタトラ
ック２２の入出力ＩＤＴ電極対２４及び２５の下部電極
２４ｂ及び２５ｂと第２のフィルタトラック２３の入出
力ＩＤＴ電極対２６及び２７の上部電極２６ａ及び２７
ａとに反射器電極を有する構成、又は、第１のフィルタ
トラック２２の入出力ＩＤＴ電極対２４及び２５の上部
電極２４ａ及び２５ａと第２のフィルタトラック２３の
入出力ＩＤＴ電極対２６及び２７の下部電極２６ｂ及び
２７ｂとに反射器電極を有する構成のいずれかが可能で
あるが、前者の構成で、ＩＤＴ電極２４ｂとＩＤＴ電極
２６ａとの接続部及びＩＤＴ電極２５ｂとＩＤＴ電極２
７ａとの接続部をアースに接続すれば、後者の構成を選
択する場合に比べて、ダミー電極及び反射器電極による
浮遊容量などの影響を抑えることができる。その結果、
挿入損失及び通過帯域外減衰量の点で優れた特性が得ら
れる。
て、第１のフィルタトラック１２及び第２のフィルタト
ラック１３の入出力ＩＤＴ電極対１４、１５、１６及び
１７が単相型一方向性変換器（ＳＰＵＤＴ）である場合
の電極パターンを示す構成図である。ＳＰＵＤＴは一方
向性の電極であり、ＩＤＴ電極の内部に反射器電極を有
する構成となっている。この場合、第１のフィルタトラ
ック２２の入出力ＩＤＴ電極対２４及び２５の下部電極
２４ｂ及び２５ｂと第２のフィルタトラック２３の入出
力ＩＤＴ電極対２６及び２７の上部電極２６ａ及び２７
ａとに反射器電極を有する構成、又は、第１のフィルタ
トラック２２の入出力ＩＤＴ電極対２４及び２５の上部
電極２４ａ及び２５ａと第２のフィルタトラック２３の
入出力ＩＤＴ電極対２６及び２７の下部電極２６ｂ及び
２７ｂとに反射器電極を有する構成のいずれかが可能で
あるが、前者の構成で、ＩＤＴ電極２４ｂとＩＤＴ電極
２６ａとの接続部及びＩＤＴ電極２５ｂとＩＤＴ電極２
７ａとの接続部をアースに接続すれば、後者の構成を選
択する場合に比べて、ダミー電極及び反射器電極による
浮遊容量などの影響を抑えることができる。その結果、
挿入損失及び通過帯域外減衰量の点で優れた特性が得ら
れる。
【００２６】〈第２の実施の形態〉図３は本発明の第２
の実施の形態における弾性表面波フィルタの電極パター
ンを示す構成図である。
の実施の形態における弾性表面波フィルタの電極パター
ンを示す構成図である。
【００２７】図３において、３１は単結晶圧電基板であ
り、この圧電基板３１の上に周期構造のストリップライ
ン状の電極パターンを形成することにより、弾性表面波
を励起させることができる。圧電基板３１の上には、第
１のフィルタトラック３２と第２のフィルタトラック３
３とが設けられており、第１のフィルタトラック３２と
第２のフィルタトラック３３は以下のような構造を有し
ている。すなわち、第１のフィルタトラック３２は、入
力ＩＤＴ電極対３４と出力ＩＤＴ電極対３５とにより構
成されている。また、第２のフィルタトラック３３は、
入力ＩＤＴ電極対３６と出力ＩＤＴ電極対３７とにより
構成されている。ここで、第１のフィルタトラック３２
を、第２のフィルタトラック３３に対して弾性表面波の
伝搬方向に（ｎ＋１／２）λ（ｎ：０以上の整数、λ：
圧電基板上を伝搬する弾性表面波の波長）ずらすと、双
方のトラック３２、３３は、弾性表面波の伝搬方向を対
称軸とした対称構造をとる。逆に言えば、弾性表面波の
伝搬方向を対称軸とした対称構造を有する２つのトラッ
クを、互いに弾性表面波の伝搬方向に（ｎ＋１／２）λ
ずらすことにより、図３に示す構造が得られる。さら
に、第１のフィルタトラック３２の入力ＩＤＴ電極対３
４の下部電極３４ｂと第２のフィルタトラック３３の入
力ＩＤＴ電極対３６の上部電極３６ａとは接続されて端
子を形成し、アースに接続されている。また、第１のフ
ィルタトラック３２の出力ＩＤＴ電極対３５の下部電極
３５ｂと第２のトラック３３の入力ＩＤＴ電極対３７の
上部電極３７ａとは接続されて端子を形成し、アースに
接続されている。
り、この圧電基板３１の上に周期構造のストリップライ
ン状の電極パターンを形成することにより、弾性表面波
を励起させることができる。圧電基板３１の上には、第
１のフィルタトラック３２と第２のフィルタトラック３
３とが設けられており、第１のフィルタトラック３２と
第２のフィルタトラック３３は以下のような構造を有し
ている。すなわち、第１のフィルタトラック３２は、入
力ＩＤＴ電極対３４と出力ＩＤＴ電極対３５とにより構
成されている。また、第２のフィルタトラック３３は、
入力ＩＤＴ電極対３６と出力ＩＤＴ電極対３７とにより
構成されている。ここで、第１のフィルタトラック３２
を、第２のフィルタトラック３３に対して弾性表面波の
伝搬方向に（ｎ＋１／２）λ（ｎ：０以上の整数、λ：
圧電基板上を伝搬する弾性表面波の波長）ずらすと、双
方のトラック３２、３３は、弾性表面波の伝搬方向を対
称軸とした対称構造をとる。逆に言えば、弾性表面波の
伝搬方向を対称軸とした対称構造を有する２つのトラッ
クを、互いに弾性表面波の伝搬方向に（ｎ＋１／２）λ
ずらすことにより、図３に示す構造が得られる。さら
に、第１のフィルタトラック３２の入力ＩＤＴ電極対３
４の下部電極３４ｂと第２のフィルタトラック３３の入
力ＩＤＴ電極対３６の上部電極３６ａとは接続されて端
子を形成し、アースに接続されている。また、第１のフ
ィルタトラック３２の出力ＩＤＴ電極対３５の下部電極
３５ｂと第２のトラック３３の入力ＩＤＴ電極対３７の
上部電極３７ａとは接続されて端子を形成し、アースに
接続されている。
【００２８】ここで、第１のフィルタトラック３２と第
２のフィルタトラック３３とは弾性表面波の伝搬方向に
（ｎ＋１／２）λずらして配置されているので、第１の
フィルタトラック３２と第２のフィルタトラック３３と
が互いに音響的に影響を及ぼし合うことがなく、第１の
フィルタトラック３２と第２のフィルタトラック３３と
の距離を十分に取る必要はないので、素子サイズの大幅
な小型化を図ることができる。
２のフィルタトラック３３とは弾性表面波の伝搬方向に
（ｎ＋１／２）λずらして配置されているので、第１の
フィルタトラック３２と第２のフィルタトラック３３と
が互いに音響的に影響を及ぼし合うことがなく、第１の
フィルタトラック３２と第２のフィルタトラック３３と
の距離を十分に取る必要はないので、素子サイズの大幅
な小型化を図ることができる。
【００２９】また、第１のフィルタトラック３２と第２
のフィルタトラック３３とは、１０λ以上の距離を置い
て設けられるのが好ましい。この構成によれば、第１の
フィルタトラック３２と第２のフィルタトラック３３と
が互いに音響的に影響を及ぼし合うことがなく、優れた
フィルタ特性が得られる。
のフィルタトラック３３とは、１０λ以上の距離を置い
て設けられるのが好ましい。この構成によれば、第１の
フィルタトラック３２と第２のフィルタトラック３３と
が互いに音響的に影響を及ぼし合うことがなく、優れた
フィルタ特性が得られる。
【００３０】〈第３の実施の形態〉図４は本発明の第３
の実施の形態における弾性表面波フィルタの電極パター
ンを示す構成図である。
の実施の形態における弾性表面波フィルタの電極パター
ンを示す構成図である。
【００３１】図４において、４１は単結晶圧電基板であ
り、この圧電基板４１の上に周期構造のストリップライ
ン状の電極パターンを形成することにより、弾性表面波
を励起させることができる。圧電基板４１の上には、第
１のフィルタトラック４２と第２のフィルタトラック４
３とが設けられており、第１のフィルタトラック４２と
第２のフィルタトラック４３は以下のような構造を有し
ている。すなわち、第１のフィルタトラック４２は、双
方向性電極である入力ＩＤＴ電極対４４とＳＰＵＤＴ電
極である出力ＩＤＴ電極対４５とにより構成されてい
る。また、第２のフィルタトラック４３は、双方向性電
極である入力ＩＤＴ電極対４６とＳＰＵＤＴ電極である
出力ＩＤＴ電極対４７とにより構成されている。ここ
で、第１のフィルタトラック４２を、第２のフィルタト
ラック４３に対して弾性表面波の伝搬方向に（ｎ＋１／
２）λ（ｎ：０以上の整数、λ：圧電基板上を伝搬する
弾性表面波の波長）ずらすと、双方のトラック４２、４
３は、弾性表面波の伝搬方向を対称軸とした対称構造を
とる。逆に言えば、弾性表面波の伝搬方向を対称軸とし
た対称構造を有する２つのトラックを、互いに弾性表面
波の伝搬方向に（ｎ＋１／２）λずらすことにより、図
４に示す構造が得られる。さらに、第１のフィルタトラ
ック４２の入力ＩＤＴ電極対４４の下部電極４４ｂと第
２のフィルタトラック４３の入力ＩＤＴ電極対４６の上
部電極４６ａとは接続されて端子を形成し、アースに接
続されている。また、第１のフィルタトラック４２の出
力ＩＤＴ電極対４５の下部電極４５ｂと第２のトラック
４３の入力ＩＤＴ電極対４７の上部電極４７ａとは接続
されて端子を形成し、アースに接続されている。
り、この圧電基板４１の上に周期構造のストリップライ
ン状の電極パターンを形成することにより、弾性表面波
を励起させることができる。圧電基板４１の上には、第
１のフィルタトラック４２と第２のフィルタトラック４
３とが設けられており、第１のフィルタトラック４２と
第２のフィルタトラック４３は以下のような構造を有し
ている。すなわち、第１のフィルタトラック４２は、双
方向性電極である入力ＩＤＴ電極対４４とＳＰＵＤＴ電
極である出力ＩＤＴ電極対４５とにより構成されてい
る。また、第２のフィルタトラック４３は、双方向性電
極である入力ＩＤＴ電極対４６とＳＰＵＤＴ電極である
出力ＩＤＴ電極対４７とにより構成されている。ここ
で、第１のフィルタトラック４２を、第２のフィルタト
ラック４３に対して弾性表面波の伝搬方向に（ｎ＋１／
２）λ（ｎ：０以上の整数、λ：圧電基板上を伝搬する
弾性表面波の波長）ずらすと、双方のトラック４２、４
３は、弾性表面波の伝搬方向を対称軸とした対称構造を
とる。逆に言えば、弾性表面波の伝搬方向を対称軸とし
た対称構造を有する２つのトラックを、互いに弾性表面
波の伝搬方向に（ｎ＋１／２）λずらすことにより、図
４に示す構造が得られる。さらに、第１のフィルタトラ
ック４２の入力ＩＤＴ電極対４４の下部電極４４ｂと第
２のフィルタトラック４３の入力ＩＤＴ電極対４６の上
部電極４６ａとは接続されて端子を形成し、アースに接
続されている。また、第１のフィルタトラック４２の出
力ＩＤＴ電極対４５の下部電極４５ｂと第２のトラック
４３の入力ＩＤＴ電極対４７の上部電極４７ａとは接続
されて端子を形成し、アースに接続されている。
【００３２】従来の弾性表面波フィルタにおいて入出力
ＩＤＴ電極対に双方向性電極を用いたトランスバーサル
型フィルタでは、通過帯域近傍で大きな減衰量を得るこ
とができるが、入出力ＩＤＴ電極対が双方向性電極であ
るために、TTE（Triple Transit Echo）の影響によって
通過帯域内に大きなリップルが生じる。
ＩＤＴ電極対に双方向性電極を用いたトランスバーサル
型フィルタでは、通過帯域近傍で大きな減衰量を得るこ
とができるが、入出力ＩＤＴ電極対が双方向性電極であ
るために、TTE（Triple Transit Echo）の影響によって
通過帯域内に大きなリップルが生じる。
【００３３】ディジタル移動体通信機器のＩＦ段に用い
られるフィルタには平坦な通過帯域内特性が要求される
ので、TTE を抑圧するためにインピーダンス不整合の状
態で用いなければならず、その結果、挿入損失が非常に
大きくなる。一方、入出力ＩＤＴ電極対にＳＰＵＤＴ電
極を用いた場合には、インピーダンス整合の状態でTTE
レベルが十分に小さくなるために、平坦な通過帯域内特
性で挿入損失の小さいフィルタが得られるが、一方向性
の電極であるために、通過帯域近傍の減衰量が悪化す
る。
られるフィルタには平坦な通過帯域内特性が要求される
ので、TTE を抑圧するためにインピーダンス不整合の状
態で用いなければならず、その結果、挿入損失が非常に
大きくなる。一方、入出力ＩＤＴ電極対にＳＰＵＤＴ電
極を用いた場合には、インピーダンス整合の状態でTTE
レベルが十分に小さくなるために、平坦な通過帯域内特
性で挿入損失の小さいフィルタが得られるが、一方向性
の電極であるために、通過帯域近傍の減衰量が悪化す
る。
【００３４】しかし、図４に示す本実施の形態の弾性表
面波フィルタでは、一方の電極対が双方向性電極であ
り、他方の電極対がＳＰＵＤＴ電極であるため、インピ
ーダンス整合の状態でTTE レベルを抑えることが可能と
なり、入出力ＩＤＴ電極対に双方向性電極を用いたトラ
ンスバーサル型フィルタと比較して、平坦な通過帯域内
特性での挿入損失が小さくなる。また、入出力ＩＤＴ電
極対にＳＰＵＤＴ電極を用いた弾性表面波フィルタと比
較して、通過帯域近傍において優れた減衰量を有する弾
性表面波フィルタを実現することができる。
面波フィルタでは、一方の電極対が双方向性電極であ
り、他方の電極対がＳＰＵＤＴ電極であるため、インピ
ーダンス整合の状態でTTE レベルを抑えることが可能と
なり、入出力ＩＤＴ電極対に双方向性電極を用いたトラ
ンスバーサル型フィルタと比較して、平坦な通過帯域内
特性での挿入損失が小さくなる。また、入出力ＩＤＴ電
極対にＳＰＵＤＴ電極を用いた弾性表面波フィルタと比
較して、通過帯域近傍において優れた減衰量を有する弾
性表面波フィルタを実現することができる。
【００３５】また、図４に示す本実施の形態の弾性表面
波フィルタにおいて、図５に示す入力ＩＤＴ電極対のイ
ンパルス応答特性５１における中心周波数ｆ0 に最も近
い高域側の極の周波数ｆ1hと中心周波数ｆ0 に最も近い
低域側の極の周波数ｆ1lとの差をΔｆ1 、出力ＩＤＴ電
極対のインパルス応答特性５２における中心周波数ｆ 0
に最も近い高域側の極の周波数ｆ2hと中心周波数ｆ0 に
最も近い低域側の極の周波数ｆ2lとの差をΔｆ2 とした
とき、Δｆが小さい方のＩＤＴ電極対（ここでは、出力
ＩＤＴ電極対４５及び４７）をＳＰＵＤＴ電極とした場
合、出力ＩＤＴ電極対４５及び４７の特性はサイドロー
ブレベルが上昇するが、他方の入力ＩＤＴ電極対４４及
び４６の特性のトラップと相殺されるため、フィルタ全
体としてはサイドローブレベルを抑圧することができ、
通過帯域近傍において優れた減衰量を得ることができ
る。
波フィルタにおいて、図５に示す入力ＩＤＴ電極対のイ
ンパルス応答特性５１における中心周波数ｆ0 に最も近
い高域側の極の周波数ｆ1hと中心周波数ｆ0 に最も近い
低域側の極の周波数ｆ1lとの差をΔｆ1 、出力ＩＤＴ電
極対のインパルス応答特性５２における中心周波数ｆ 0
に最も近い高域側の極の周波数ｆ2hと中心周波数ｆ0 に
最も近い低域側の極の周波数ｆ2lとの差をΔｆ2 とした
とき、Δｆが小さい方のＩＤＴ電極対（ここでは、出力
ＩＤＴ電極対４５及び４７）をＳＰＵＤＴ電極とした場
合、出力ＩＤＴ電極対４５及び４７の特性はサイドロー
ブレベルが上昇するが、他方の入力ＩＤＴ電極対４４及
び４６の特性のトラップと相殺されるため、フィルタ全
体としてはサイドローブレベルを抑圧することができ、
通過帯域近傍において優れた減衰量を得ることができ
る。
【００３６】以上のように、本実施の形態によれば、平
衡度に優れ、しかも通過帯域外減衰量及び挿入損失を改
善することのできる弾性表面波フィルタを実現すること
ができる。
衡度に優れ、しかも通過帯域外減衰量及び挿入損失を改
善することのできる弾性表面波フィルタを実現すること
ができる。
【００３７】尚、本実施の形態においては、図４に示す
ような２つのフィルタトラックを用いた場合を例に挙げ
て説明したが、図６に示すように、１つのフィルタトラ
ックのみの構成とし、Δｆが小さい方のＩＤＴ電極対
（ここでは、出力ＩＤＴ電極対６３）をＳＰＵＤＴ電極
としても、通過帯域近傍において優れた減衰量を得るこ
とができる。
ような２つのフィルタトラックを用いた場合を例に挙げ
て説明したが、図６に示すように、１つのフィルタトラ
ックのみの構成とし、Δｆが小さい方のＩＤＴ電極対
（ここでは、出力ＩＤＴ電極対６３）をＳＰＵＤＴ電極
としても、通過帯域近傍において優れた減衰量を得るこ
とができる。
【００３８】また、上記１トラック構成のフィルタは、
図６では平衡型フィルタとなっているが、必ずしもこの
構成に限定されるものではなく、不平衡型の入出力端子
構成、あるいは、一方が平衡型で、他方が不平衡型の入
出力端子構成であっても、同様の効果が得られる。
図６では平衡型フィルタとなっているが、必ずしもこの
構成に限定されるものではなく、不平衡型の入出力端子
構成、あるいは、一方が平衡型で、他方が不平衡型の入
出力端子構成であっても、同様の効果が得られる。
【００３９】また、本発明における圧電基板としては、
温度特性に優れたＳＴカット水晶を用いるのが好ましい
が、ＬｉＴａＯ3 、ＬｉＮｂＯ3 、Ｌｉ2 Ｂ4 Ｏ7 、Ｌ
ａ3Ｇａ5 ＳｉＯ14等を圧電基板として用いることもで
きる。
温度特性に優れたＳＴカット水晶を用いるのが好ましい
が、ＬｉＴａＯ3 、ＬｉＮｂＯ3 、Ｌｉ2 Ｂ4 Ｏ7 、Ｌ
ａ3Ｇａ5 ＳｉＯ14等を圧電基板として用いることもで
きる。
【００４０】また、電極材料としては、膜厚制御の容易
な比較的密度の小さいアルミニウムを用いるのが好まし
いが、金電極の使用も可能である。
な比較的密度の小さいアルミニウムを用いるのが好まし
いが、金電極の使用も可能である。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
平衡度に優れ、通過帯域外減衰量が従来に比べて大きい
弾性表面波フィルタを実現することができる。
平衡度に優れ、通過帯域外減衰量が従来に比べて大きい
弾性表面波フィルタを実現することができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態における弾性表面波
フィルタの電極パターンを示す構成図である。
フィルタの電極パターンを示す構成図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態における弾性表面波
フィルタの電極パターンの他の例を示す構成図である。
フィルタの電極パターンの他の例を示す構成図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態における弾性表面波
フィルタの電極パターンを示す構成図である。
フィルタの電極パターンを示す構成図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態における弾性表面波
フィルタの電極パターンを示す構成図である。
フィルタの電極パターンを示す構成図である。
【図５】図４の弾性表面波フィルタの入出力ＩＤＴ電極
対のインパルス応答特性を示す図である。
対のインパルス応答特性を示す図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態における弾性表面波
フィルタの電極パターンの他の例を示す構成図である。
フィルタの電極パターンの他の例を示す構成図である。
【図７】従来技術におけるトランスバーサル型弾性表面
波フィルタの電極パターンを示す構成図である。
波フィルタの電極パターンを示す構成図である。
１１、２１、３１、４１、６１ 圧電基板 １２、１３、２２、２３、３２、３３、４２、４３ フ
ィルタトラック １４、１６、２４、２６、３４、３６、４４、４６、６
２ 入力ＩＤＴ電極対 １５、１７、２５、２７、３５、３７、４５、４７、６
３ 出力ＩＤＴ電極対 １４ａ、１６ａ、２４ａ、２６ａ、３４ａ、３６ａ、４
４ａ、４６ａ 入力ＩＤＴの上部電極 １４ｂ、１６ｂ、２４ｂ、２６ｂ、３４ｂ、３６ｂ、４
４ｂ、４６ｂ 入力ＩＤＴの下部電極 １５ａ、１７ａ、２５ａ、２７ａ、３５ａ、３７ａ、４
５ａ、４７ａ 出力ＩＤＴの上部電極 １５ｂ、１７ｂ、２５ｂ、２７ｂ、３５ｂ、３７ｂ、４
５ｂ、４７ｂ 出力ＩＤＴの下部電極
ィルタトラック １４、１６、２４、２６、３４、３６、４４、４６、６
２ 入力ＩＤＴ電極対 １５、１７、２５、２７、３５、３７、４５、４７、６
３ 出力ＩＤＴ電極対 １４ａ、１６ａ、２４ａ、２６ａ、３４ａ、３６ａ、４
４ａ、４６ａ 入力ＩＤＴの上部電極 １４ｂ、１６ｂ、２４ｂ、２６ｂ、３４ｂ、３６ｂ、４
４ｂ、４６ｂ 入力ＩＤＴの下部電極 １５ａ、１７ａ、２５ａ、２７ａ、３５ａ、３７ａ、４
５ａ、４７ａ 出力ＩＤＴの上部電極 １５ｂ、１７ｂ、２５ｂ、２７ｂ、３５ｂ、３７ｂ、４
５ｂ、４７ｂ 出力ＩＤＴの下部電極
Claims (7)
- 【請求項１】 圧電基板と、前記圧電基板上に形成さ
れ、所定の距離を置いて配置された第１の入力インタデ
ジタルトランスジューサ電極対と第１の出力インタデジ
タルトランスジューサ電極対とからなる第１のフィルタ
トラックと、前記圧電基板上に前記第１のフィルタトラ
ックと平行な状態で形成され、所定の距離を置いて配置
された第２の入力インタデジタルトランスジューサ電極
対と第２の出力インタデジタルトランスジューサ電極対
とからなる第２のフィルタトラックとを備え、前記第１
のフィルタトラックと前記第２のフィルタトラックとが
弾性表面波の伝搬方向を対称軸とする対称構造を有し、
前記第１の入力インタデジタルトランスジューサ電極対
の下部電極と前記第２の入力インタデジタルトランスジ
ューサ電極対の上部電極がともに接地されると共に、前
記第１の出力インタデジタルトランスジューサ電極対の
下部電極と前記第２の出力インタデジタルトランスジュ
ーサ電極対の上部電極がともに接地され、かつ、前記第
１の入力インタデジタルトランスジューサ電極対の上部
電極と前記第２の入力インタデジタルトランスジューサ
電極対の下部電極とによって平衡型入力端子が形成され
ると共に、前記第１の出力インタデジタルトランスジュ
ーサ電極対の上部電極と前記第２の出力インタデジタル
トランスジューサ電極対の下部電極とによって平衡型出
力端子が形成された弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】 第１の入力インタデジタルトランスジュ
ーサ電極対の下部電極と第２の入力インタデジタルトラ
ンスジューサ電極対の上部電極にダミー電極が形成され
て間引き重み付けが行われ、かつ、第１の出力インタデ
ジタルトランスジューサ電極対の下部電極と第２の出力
インタデジタルトランスジューサ電極対の上部電極にダ
ミー電極が形成されて間引き重み付けが行われた請求項
１に記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項３】 第１の入出力インタデジタルトランスジ
ューサ電極対と第２の入出力インタデジタルトランスジ
ューサ電極対がともに単相型一方向性変換器（ＳＰＵＤ
Ｔ）であり、前記第１の入力インタデジタルトランスジ
ューサ電極対の下部電極と前記第２の入力インタデジタ
ルトランスジューサ電極対の上部電極に反射器電極を備
え、かつ、前記第１の出力インタデジタルトランスジュ
ーサ電極対の下部電極と前記第２の出力インタデジタル
トランスジューサ電極対の上部電に反射器電極を備えた
請求項１又は２に記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項４】 第１のフィルタトラックと第２のフィル
タトラックとが１０λ（λ：圧電基板上を伝搬する弾性
表面波の波長）以上の距離を置いて設けられた請求項
１、２又は３のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項５】 圧電基板と、前記圧電基板上に形成さ
れ、所定の距離を置いて配置された第１の入力インタデ
ジタルトランスジューサ電極対と第１の出力インタデジ
タルトランスジューサ電極対とからなる第１のフィルタ
トラックと、前記圧電基板上に前記第１のフィルタトラ
ックと平行な状態で形成され、所定の距離を置いて配置
された第２の入力インタデジタルトランスジューサ電極
対と第２の出力インタデジタルトランスジューサ電極対
とからなる第２のフィルタトラックとを備え、前記第１
のフィルタトラックを、前記第２のフィルタトラックに
対して弾性表面波の伝搬方向に（ｎ＋１／２）λ（ｎ：
０以上の整数、λ：圧電基板上を伝搬する弾性表面波の
波長）ずらすと、前記第１のフィルタトラックと前記第
２のフィルタトラックとが弾性表面波の伝搬方向を対称
軸とした対称構造をとるような非対称構造を有し、前記
第１の入力インタデジタルトランスジューサ電極対の下
部電極と前記第２の入力インタデジタルトランスジュー
サ電極対の上部電極がともに接地されると共に、前記第
１の出力インタデジタルトランスジューサ電極対の下部
電極と前記第２の出力インタデジタルトランスジューサ
電極対の上部電極がともに接地され、かつ、前記第１の
入力インタデジタルトランスジューサ電極対の上部電極
と前記第２の入力インタデジタルトランスジューサ電極
対の下部電極とによって平衡型入力端子が形成されると
共に、前記第１の出力インタデジタルトランスジューサ
電極対の上部電極と前記第２の出力インタデジタルトラ
ンスジューサ電極対の下部電極とによって平衡型出力端
子が形成された弾性表面波フィルタ。 - 【請求項６】 圧電基板と、前記圧電基板上に形成され
た入力インタデジタルトランスジューサ電極対と、前記
圧電基板上に形成され、前記入力インタデジタルトラン
スジューサ電極対と所定の距離を置いて配置された出力
インタデジタルトランスジューサ電極対とを備えた弾性
表面波フィルタであって、前記入力インタデジタルトラ
ンスジューサ電極対又は前記出力インタデジタルトラン
スジューサ電極対のどちらか一方が単相型一方向性変換
器（ＳＰＵＤＴ）であることを特徴とする弾性表面波フ
ィルタ。 - 【請求項７】 入力インタデジタルトランスジューサ電
極対のインパルス応答特性における中心周波数に最も近
い高域側の極の周波数ｆ1hと中心周波数に最も近い低域
側の極の周波数ｆ1lとの差をΔｆ1 、出力インタデジタ
ルトランスジューサ電極対のインパルス応答特性におけ
る中心周波数に最も近い高域側の極の周波数ｆ2hと中心
周波数に最も近い低域側の極の周波数ｆ2lとの差をΔｆ
2 としたとき、Δｆが小さい方のインタデジタルトラン
スジューサ電極対がＳＰＵＤＴである請求項６に記載の
弾性表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP48899A JPH11266138A (ja) | 1998-01-13 | 1999-01-05 | 弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP517398 | 1998-01-13 | ||
| JP10-5173 | 1998-01-13 | ||
| JP48899A JPH11266138A (ja) | 1998-01-13 | 1999-01-05 | 弾性表面波フィルタ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003187637A Division JP2004007748A (ja) | 1998-01-13 | 2003-06-30 | 弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11266138A true JPH11266138A (ja) | 1999-09-28 |
Family
ID=26333484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP48899A Pending JPH11266138A (ja) | 1998-01-13 | 1999-01-05 | 弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11266138A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001026223A1 (fr) * | 1999-10-04 | 2001-04-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Dispositif a ondes acoustiques de surface (saw) |
| JP2003523678A (ja) * | 2000-02-17 | 2003-08-05 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | リアクタンス素子を備えた表面波フィルタ |
| CN100456634C (zh) * | 2003-11-18 | 2009-01-28 | 富士通媒体部品株式会社 | 表面声波器件 |
-
1999
- 1999-01-05 JP JP48899A patent/JPH11266138A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001026223A1 (fr) * | 1999-10-04 | 2001-04-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Dispositif a ondes acoustiques de surface (saw) |
| US6842090B2 (en) | 1999-10-04 | 2005-01-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Surface acoustic wave device utilizing opposite propagation direction regions and resonant mode coupling |
| JP2003523678A (ja) * | 2000-02-17 | 2003-08-05 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | リアクタンス素子を備えた表面波フィルタ |
| JP4824243B2 (ja) * | 2000-02-17 | 2011-11-30 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | リアクタンス素子を備えた表面波フィルタ |
| CN100456634C (zh) * | 2003-11-18 | 2009-01-28 | 富士通媒体部品株式会社 | 表面声波器件 |
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