JPH11252957A - リニア型振動アクチュエータの特性測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単かつコンパクトな構成で、連続的に、し
かも、悪環境下で、リニア型振動アクチュエータの各種
特性を測定することを可能にする。 【解決手段】 駆動力取出部１３，１４を有するリニア
型振動アクチュエータ１０の特性を測定する特性測定装
置であって、リニア型振動アクチュエータ１０の駆動力
取出部１３，１４に接触して回転する回転ローラ２２
と、回転ローラ２２を測定子として、速度、トルクを検
出する速度センサ２４、トルクセンサ２５と、駆動信号
の電流と電圧を検出するオシロスコープ２９等と備え、
リニア型振動アクチュエータ１０の連続動作における、
速度、駆動力、消費電力、効率などの特性を求める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、家電機器、産業機
器などの駆動部に用いられるリニア型振動アクチュエー
タの特性を測定するリニア型振動アクチュエータの特性
測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図７は、リニア型振動アクチュエータと
その特性測定装置の従来例を示す斜視図である。従来の
リニア型振動アクチュエータ１０は、図７（ａ）に示す
ように、矩形平板状の弾性体１１と、その弾性体１１の
一方の面に接合され、電気信号を機械変位に変換する電
気機械変換素子である圧電素子１２ａ，１２ｂ，１２
ｐ，１２ｐ’と、弾性体１１の他方の面に設けられ、相
対運動部材（後述するレール５１など）と加圧接触する
駆動力取出部１３，１４等とを備えている。また、弾性
体１１は、その側面の両側に、支持ピンを挿入するため
の切り欠き部１１ａが形成されている。

【０００３】このリニア型振動アクチュエータ１０は、
圧電素子１２ａに所定電圧，周波数の第１の駆動信号を
印加し、圧電素子１２ｂに第１の駆動信号と位相が略９
０度異なる第２の駆動信号を印加することにより、１次
の屈曲振動と４次の縦振動（Ｌ１−Ｂ４）を弾性体１１
に調和的に発生させ、駆動力取出部１３，１４に楕円運
動を発生させ、相対運動部材との間で運動を行うことが
できる。なお、駆動力取出部１３，１４は、弾性体１１
と一体に突起状に形成されていてもよいし、耐磨耗性の
ある摺動材を貼付するようにしてもよい。

【０００４】このような振動アクチュエータは、「光ピ
ックアップ移動を目的とした圧電リニア・モータ（富川
義郎氏他：第五回電磁力関連のダイナミックシンポジウ
ム講演論文集，第３９３頁〜第３９８頁）」において、
その構成及び負荷特性に関する解析結果が詳細に説明さ
れている。

【０００５】一方、従来の特性測定装置６０は、図７
（ｂ）に示すように、リニア型振動アクチュエータ１０
が接触して走行するガイドレール６１と、リニア型振動
アクチュエータ１０をガイドレール６１に加圧した状態
で支持する加圧支持機構６２と、加圧支持機構６２に設
けられ、リニア型振動アクチュエータ１０の走行方向と
逆方向に負荷をかける負荷機構６３などとを備えてい
る。

【０００６】加圧支持機構６２は、枠体６２ａと、弾性
体１１の両側面に形成された切り欠き部１１ａに係合す
る支持ピン６２ｂと、弾性体１１を上面から押す加圧子
６２ｃと、加圧子６２ｃを付勢するスプリング６２ｄ
と、スプリング６２ｄの付勢力を調整する調整ネジ６２
ｅなどを備えている。

【０００７】負荷機構６３は、おもり６３ａと、プーリ
６３ｂと、加圧支持機構６２に取り付けられ、おもり６
３ａに連結されたワイヤ６３ｃ等を備えている。

【０００８】従来の特性測定装置６０は、リニア型振動
アクチュエータ１０をガイドレール６１上で直線往復運
動させて、特性を測定していた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の技術に
おいては、リニア型振動アクチュエータ１０を限られた
長さのガイドレール６１上で往復運動させて、その特性
を測定していたので、連続的な測定ができず、ガイドレ
ール６１の長さとリニア型振動アクチュエータ１０の速
度によっては、定常状態での特性を測定することができ
ない、という問題があった。つまり、リニア型振動アク
チュエータの走行ストロークが有限であるので、所望の
各特性データが、時間的な連続的データとして得ること
ができず、各特性における経時変化を観察することがで
きない。また、ガイドレールの長さが限られているの
で、加速が終わらない場合には、定常状態での測定がで
きない。

【００１０】この問題を解決して、連続データを得るた
めに、必要な長さのガイドレール６１を用いようとする
と、数十から数百ｍもの長さが必要となり、ほとんど実
現不可能である。

【００１１】また、リニア型振動アクチュエータ１０
は、高温、多湿などの悪環境や、−２０〜＋８０°Ｃ等
の幅で温度変化する環境で使用する用途が見込まれるた
めに、このような環境における特性評価の必要性が生じ
ている。

【００１２】そこで、本発明は、簡単かつコンパクトな
構成で、連続的に、しかも、悪環境下で、リニア型振動
アクチュエータの各種特性を測定することができるリニ
ア型振動アクチュエータの特性測定装置を提供すること
を課題とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項１の発明では、駆動力取出部を有するリニア
型振動アクチュエータの特性を測定するリニア型振動ア
クチュエータの特性測定装置において、前記リニア型振
動アクチュエータの少なくとも１つの駆動力取出部に接
触して回転する回転部材を備え、前記回転部材を測定子
として、前記リニア型振動アクチュエータの連続動作に
おける特性を測定するリニア型振動アクチュエータの特
性測定装置を提供する。

【００１４】請求項２の発明では、請求項１に記載のリ
ニア型振動アクチュエータの特性測定装置において、前
記リニア型振動アクチュエータと前記回転部材とを加圧
接触させる加圧部材を備えたリニア型振動アクチュエー
タの特性測定装置を提供する。

【００１５】請求項３の発明では、請求項１又は請求項
２に記載のリニア型振動アクチュエータの特性測定装置
において、前記回転部材のトルクを検出するトルク検出
部と、前記トルク検出部の出力に基づいて、前記リニア
型振動アクチュエータの駆動力を演算する駆動力演算部
と、を備えたリニア型振動アクチュエータの特性測定装
置を提供する。

【００１６】請求項４の発明では、請求項１から請求項
３までのいずれか１項に記載のリニア型振動アクチュエ
ータの特性測定装置において、前記回転部材の回転速度
を検出する速度検出部を備えたリニア型振動アクチュエ
ータの特性測定装置を提供する。

【００１７】請求項５の発明では、請求項１から請求項
４までのいずれか１項に記載のリニア型振動アクチュエ
ータの特性測定装置において、前記リニア型振動アクチ
ュエータに印加される駆動信号を検出する駆動信号検出
部と、前記駆動信号検出部の出力に基づいて、駆動効率
を演算する駆動効率演算部を備え、前記駆動信号検出部
は、前記駆動信号の電圧，電流を検出し、前記駆動効率
演算部は、前記電圧，電流の位相を演算することによ
り、駆動効率を演算するリニア形振動アクチュエータの
特性測定装置を提供する。

【００１８】請求項６では、請求項１から請求項５まで
のいずれか１項に記載のリニア型振動アクチュエータの
特性測定装置において、前記トルク検出部，前記速度検
出部，前記加圧部材を収容し、常温・常湿の流体を流動
させる断熱容器を備えたリニア型振動アクチュエータの
特性測定装置を提供する。

【００１９】請求項７の発明では、請求項６に記載のリ
ニア型振動アクチュエータの特性測定装置において、内
部の温度・湿度を可変制御できる恒温槽を備えたリニア
型振動アクチュエータの特性測定装置を提供する。

【００２０】請求項８の発明では、請求項１から請求項
９までのいずれか１項に記載のリニア型振動アクチュエ
ータの特性測定装置において、前記回転部材は、複数設
けられており、前記各回転部材の回転軸の間隔を調整す
る軸間隔調整機構を備えたリニア型振動アクチュエータ
の特性測定装置を提供する。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面などを参照して、本発
明の実施の形態をあげ、さらに詳細に説明する。 （第１実施形態）図１は、本発明によるリニア振動アク
チュエータの特性測定装置の第１実施形態を示す図、図
２は、第１実施形態に係る特性測定装置の測定結果を示
す線図である。第１実施形態の特性評価装置２０は、測
定対象をリニア型振動アクチュエータ１０とするもので
あり、支持台２１と、回転ローラ２２と、加圧機構２
３、速度センサ２４と、トルクセンサ２５と、コンピュ
ータ２６と、発振器２７と、増幅器２８と、オシロスコ
ープ２９等とを含んで構成されている。なお、リニア型
振動アクチュエータ１０は、図７（ａ）と同じ構成を有
するものである。

【００２２】支持台２１は、測定対象のリニア型振動ア
クチュエータ１０の一方側の駆動力取出部１３を支持す
る部材である。

【００２３】回転ローラ２２は、リニア型振動アクチュ
エータ１０の他方の駆動力取出部１４に接触させること
によって、その駆動力を回転運動として取り出すための
ローラである。この回転ローラ２２は、軸受として、回
転抵抗が少なく、回転精度の高いものを用いるのがよ
い。また、加減速するので、慣性モーメントができるだ
け少ないものが、高精度な測定をするために好ましい。
例えば、この回転ローラ２２の軸受は、ベアリング、エ
アベアリング等によって実現されている。

【００２４】加圧機構２３は、コンピュータ２６からの
制御信号に基づいて、リニア型振動アクチュエータ１０
を回転ローラ２２に押し付ける荷重値を制御する機構で
あり、例えば、エアーシリンダ，油圧シリンダ，リニア
モータ，ばね，分銅などによって実現されている。

【００２５】速度センサ２４は、回転ローラ２２の回転
速度を測定するためのものであり、、例えば、ロータリ
ーエンコーダとＦ／Ｖコンバータの組み合わせ、レーザ
ドップラ速度計などによって実現されている。特に、レ
ーザドップラ速度計は、非接触で測定できるために、慣
性の影響を受けることなく、高精度な測定をするのに適
している。速度センサ２４の出力は、コンピュータ２６
に接続されている。

【００２６】トルクセンサ２５は、回転ローラ２２に伝
達されたトルクを測定するためのものであり、ブレーキ
とトルクメータの組み合わせ等により実現されている。
トルクセンサ２５の出力は、コンピュータ６に接続され
ている。

【００２７】コンピュータ２６は、加圧機構２３，発振
器２７等の制御信号を生成すると共に、速度センサ２
４，トルクセンサ２５などの出力を信号処理するための
ものである。なお、コンピュータ２６は、駆動信号の周
波数を可変させて、種々の状態で駆動することができ
る。

【００２８】発振器２７は、コンピュータ２６からの制
御信号に基づいて、リニア型振動アクチュエータ１１に
加える駆動信号（電圧，位相差，周波数等）を生成する
ためのものであり、ＲＳ２３２Ｃ，ＧＰＩＢ等によって
制御が可能なプログラマブル発振器によって実現されて
いる。

【００２９】増幅器２８は、発振器２７から出力される
電力を増幅するためのものであり、その出力は、リニア
型振動アクチュエータ１０の圧電素子１２ａ，１２ｂに
接続されている。

【００３０】オシロスコープ２９は、リニア型振動アク
チュエータ１０に加えられる駆動信号の電圧，位相差，
周波数などを測定するためのものであり、デジタルスト
レージ付きのものが好ましく使用できる。オシロスコー
プ２９の出力は、コンピュータ２６によって、ＧＰＩＢ
を通じて、読み込むことができる。

【００３１】この特性測定装置２０は、リニア型振動ア
クチュエータ１０の各駆動力取出部１３と回転ローラ２
２とを接触させることにより、リニア型振動アクチュエ
ータ１０のリニア運動を、回転ローラ２２の回転運動に
置き換えることができるので、その回転運動によって、
以下に示すようなリニア型振動アクチュエータ１０の特
性を連続的に測定することが可能となる。 （１） 回転ローラ２２に配置したトルクセンサ２５で
計測した回転トルクに基づいて、リニア型振動アクチュ
エータ１０の駆動力を求めることができる。 （２） 回転ローラ２２に配置した速度センサ２４によ
って、リニア型振動アクチュエータ１０の速度を測定す
ることができる。 （３） リニア型振動アクチュエータ１０に供給する電
圧，電流をオシロスコープ２９に取り込んで、コンピュ
ータ２６は、リニア型振動アクチュエータ１０の駆動効
率を求めることができる。

【００３２】そして、コンピュータ２６は、測定結果と
して、図２（ａ）に示す周波数−速度，電流特性、図２
（ｂ）に示す電圧−速度，電流特性、図２（ｃ）に示す
周波数−駆動力特性、図２（ｄ）に示す負荷−速度，効
率特性、図２（ｅ）に示す時間−速度特性などを表示，
記録することができる。また、速度の立ち上がり特性や
上記の複合特性なども求めることができる。

【００３３】以上説明したように、第１実施形態の特性
測定装置２０は、リニア型振動アクチュエータ１０の駆
動力、速度、消費電力、効率などの特性を、連続的に測
定することができる。また、長いガイドレール等が不要
となるために、装置を小型化できる、という効果もあ
る。さらに、連続的に測定できるので、多くのデータに
基づいて、積分値や平均値を算出することができる。

【００３４】（第２実施形態）図３は、本発明によるリ
ニア振動アクチュエータの特性測定装置の第２実施形態
を示す図である。以下に説明する各実施形態では、第１
実施形態と同様な機能を果たす部分には、同一の符号又
は末尾に共通する符号を付して、重複する説明を適宜省
略する。第１実施形態では、回転ローラ２２は、リニア
型振動アクチュエータ１０の一方の駆動力取出部１４側
のみに配置したが、第２実施形態では、さらに、各駆動
力取出部１３に、別の回転ローラ２２を配置し、その回
転ローラ２２にに、速度センサ２４，トルクセンサ２５
を設けてある。第２実施形態によれば、個別の駆動力取
出部１３，１４の特性が測定できるので、より効率的に
リニア型振動アクチュエータ１０の駆動条件などの設定
が可能となる。つまり、各駆動力取出部１３，１４ごと
に、測定系が設けられているので、設置時の方向特性な
どを調べることが可能になる。また、個別の駆動力取出
部１３，１４が回転ローラ２２に接しているので、実際
の走行条件に近い形態での測定が可能となる。

【００３５】（第３実施形態）図４は、本発明によるリ
ニア振動アクチュエータの特性測定装置の第３実施形態
を示す図、図５は、第３実施形態に係る特性測定装置の
軸受け台を示す斜視図である。２つの回転ローラ２２
は、装置中央に配置されており、その上に、リニア型振
動アクチュエータ１０が設置されている。回転ローラ２
２は、図４に示すように、軸受け台４０の本体４１に、
所定の軸間隔を保って、固定的に取り付けられている。
この本体４１には、リニア型振動アクチュエータ１０の
側面の２つの切り欠き部１１ａに係合する２本の支持ピ
ン４２が設けられている。

【００３６】トルクセンサ２５は、トルクメータ２５ａ
と、ヒステリシスブレーキ２５ｂと、カップリング２５
ｃ，２５ｄなどとを備える。回転ローラ２２と同軸上に
カップリング２５ｃを介して、トルクメータ２５ａが連
結され、さらに、トルクメータ２５ｃの反対側の軸に、
カップリング２５ｄを介して、ヒステリシスブレーキ２
５ｂが同軸上に連結されている。

【００３７】加圧機構２３は、リニア型振動アクチュエ
ータ１０の直上に配置されたエアシリンダ２３ａと、エ
アシリンダ２３ａのロッドの先端に取り付けられ、リニ
ア型振動アクチュエータ１０を加圧する加圧子２３ｂと
を備えている。

【００３８】速度センサ２４は、回転ローラ２２の外周
面に対面して設けられており、ここでは、レーザドップ
ラ速度計などの非接触速度計２４Ａが用いられている。

【００３９】断熱用シールドケース３１は、トルクメー
タ２５ａ及びヒステリシスブレーキ２５ｂ又は非接触速
度計２４Ａを収納するケースであり、常温、常湿のエア
ーの吸気口３２及び排気口３２が設けられている。

【００４０】なお、回転ローラ２２、非接触速度計２４
Ａ、トルクセンサ２５（トルクメータ２５ａ、ヒステリ
シスブレーキ２５ｂ）、及び、断熱用シールドケース３
１は、それぞれ同等のものが１対ずつ、リニア型振動ア
クチュエータ１０の駆動力取出部１３，１４に配置され
ている。

【００４１】また、リニア型振動アクチュエータ１０の
温度、湿度などの環境変化に対する各種特性を測定する
ときは、断熱用シールドケース３１内に、常温，常湿エ
アを循環させた状態で、特性測定装置の全体を恒温槽３
４内に入れるようにすればよい。

【００４２】次に、リニア型振動アクチュエータ１０の
特性測定手順について説明する。まず、エアシリンダ２
３ａの先端についている加圧子２３ｂを上昇させた状態
で、リニア型振動アクチュエータ１０を、回転ローラ２
２の上にセットする。そして、エアシリンダ２３ａを作
動させ、加圧子２３ｂを下降させ、リニア型振動アクチ
ュエータ１０の中央部を、所定の圧力で加圧する。

【００４３】リニア型振動アクチュエータ１０が駆動を
始めると、回転ローラ２２が回転し、カップリング２５
ｃを介して連結されているトルクメータ２５ａの軸が回
転する。さらに、ヒステリシスブレーキ２５ｂを作動さ
せると、負荷が回転ローラ２２に達して、リニア型振動
アクチュエータ１０に負荷を与えることができる。この
ときに、負荷トルクをトルクメータ２５ａで測定し、回
転ローラ２２の表面速度を非接触速度計２４Ａで測定す
る。

【００４４】第３実施形態の特性測定装置は、装置の全
体を恒温槽３４内に入れあるので、リニア型振動アクチ
ュエータ１０の温度、湿度などの環境変化に対する各種
特性を測定することができる。このときに、速度検出器
２４やトルク検出器２５などは断熱用シールドケース３
１に収容してあり、常温，常湿エアを循環させているの
で、リニア型振動アクチュエータ１０の耐環境性試験を
行うことができる。この特性測定装置を恒温槽３４に収
容できるのも、回転ローラを用いて、装置全体を小型化
できたからである。

【００４５】また、恒温槽３３内は、その温度を可変で
きるので、温度変化によって、駆動力取出部に摺動材を
貼付する場合の接着剤の変化等を、トルク変化等から測
定することができる。さらに、回転ローラ２２だけを冷
却しておけば、摩擦係数の温度による影響のみを排除し
た特性を測定することもできる。

【００４６】（第４実施形態）図６は、第４実施形態に
係るリニア型振動アクチュエータの特性測定装置の軸受
け台を示す斜視図である。第３実施形態では、回転ロー
ラ２２の軸間距離は固定であったが、第４実施形態で
は、軸間隔を調整できるようにした。

【００４７】軸受け台５０は、中央にレール５１ａが形
成された基板５１と、基板５１のレール５１ａ上に固定
的に設けられ、一方の回転ローラ２２を回転可能に支持
する固定台５２と、基板５１のレール５１ａ上に移動可
能に設けられ、上面に位置決めピン５３ａが設けられた
移動台５３と、基板５１のレール５１ａ上に移動可能に
設けられ、他方の回転ローラ２２を回転可能に支持する
移動台５４と、移動台５３の位置調整を行う調整機構５
５と、移動台５４の位置調整を行う調整機構５６などと
を備えている。

【００４８】第４実施形態によれば、２つの回転ローラ
２２の軸間隔を調整することができるので、サイズの異
なるリニア型振動アクチュエータ１０の特性測定を行う
ことができる。

【００４９】（変形形態）以上説明した実施形態に限定
されることなく、以下のような種々の変形や変更が可能
であって、それらも本発明の均等の範囲内である。 （１） リニア型振動アクチュエータに３つ以上の駆動
力取出部がある場合には、その個数に合わせて、回転ロ
ーラを追加すればよい。 （２） 回転ローラを軸方向に沿って移動できるように
して、駆動力取出部に貼付された摺動材などからの磨耗
粉のついていない部分で走行させれば、磨耗粉の影響を
除外した測定ができる。 （３） 回転ローラは、表面粗さの異なるものを多数用
意しておけば、相対運動部材の表面粗さに対する諸特性
を、測定することができる。 （４） ２つの回転ローラに、相対運動部材と同じ材質
の金属ベルトを掛けて、走行させれば、より実際に近い
リニア駆動の状態で測定が可能となる。

【００５０】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、リニア型振動アクチュエータの速度、駆動力、消
費電力、効率などの特性を連続的な駆動条件で測定する
ことができる。これにより、リニア型振動アクチュエー
タの特性が変化しても、定常状態に入った後の測定が可
能であるので、安定した測定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるリニア振動アクチュエータの特性
測定装置の第１実施形態を示す図である。

【図２】第１実施形態に係る特性測定装置の測定結果を
示す線図である。

【図３】本発明によるリニア振動アクチュエータの特性
測定装置の第２実施形態を示す図である。

【図４】本発明によるリニア振動アクチュエータの特性
測定装置の第３実施形態を示す図である。

【図５】第３実施形態に係る特性測定装置の軸受け台を
示す斜視図である。

【図６】第４実施形態に係るリニア型振動アクチュエー
タの特性測定装置の軸受け台を示す斜視図である。

【図７】リニア型振動アクチュエータと、その特性測定
装置の従来例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０ リニア型振動アクチュエータ ２０ 特性測定装置 ２１ 支持台 ２２ 回転ローラ ２３ 加圧機構 ２４ 速度センサ ２５ トルクセンサ ２６ コンピュータ ２７ 発振器 ２８ 増幅器 ２９ オシロスコープ ３１ 断熱用シールドチャンバ ３２ 吸入口 ３３ 排気口 ３４ 恒温槽

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動力取出部を有するリニア型振動アク
   チュエータの特性を測定するリニア型振動アクチュエー
   タの特性測定装置において、 前記リニア型振動アクチュエータの少なくとも１つの駆
   動力取出部に接触して回転する回転部材を備え、 前記回転部材を測定子として、前記リニア型振動アクチ
   ュエータの連続動作における特性を測定することを特徴
   とするリニア型振動アクチュエータの特性測定装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のリニア型振動アクチュ
   エータの特性測定装置において、 前記リニア型振動アクチュエータと前記回転部材とを加
   圧接触させる加圧部材を備えたことを特徴とするリニア
   型振動アクチュエータの特性測定装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載のリニア型
   振動アクチュエータの特性測定装置において、 前記回転部材のトルクを検出するトルク検出部と、 前記トルク検出部の出力に基づいて、前記リニア型振動
   アクチュエータの駆動力を演算する駆動力演算部と、を
   備えたことを特徴とするリニア型振動アクチュエータの
   特性測定装置。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３までのいずれか１
   項に記載のリニア型振動アクチュエータの特性測定装置
   において、 前記回転部材の回転速度を検出する速度検出部を備えた
   ことを特徴とするリニア型振動アクチュエータの特性測
   定装置。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４までのいずれか１
   項に記載のリニア型振動アクチュエータの特性測定装置
   において、 前記リニア型振動アクチュエータに印加される駆動信号
   を検出する駆動信号検出部と、 前記駆動信号検出部の出力に基づいて、駆動効率を演算
   する駆動効率演算部を備え、 前記駆動信号検出部は、前記駆動信号の電圧，電流を検
   出し、 前記駆動効率演算部は、前記電圧，電流の位相を演算す
   ることにより、駆動効率を演算することを特徴とするリ
   ニア形振動アクチュエータの特性測定装置。
6. 【請求項６】 請求項１から請求項５までのいずれか１
   項に記載のリニア型振動アクチュエータの特性測定装置
   において、 前記トルク検出部，前記速度検出部，前記加圧部材を収
   容し、常温・常湿の流体を流動させる断熱容器を備えた
   ことを特徴とするリニア型振動アクチュエータの特性測
   定装置。
7. 【請求項７】 請求項６に記載のリニア型振動アクチュ
   エータの特性測定装置において、 内部の温度・湿度を可変制御できる恒温槽を備えたこと
   を特徴とするリニア型振動アクチュエータの特性測定装
   置。
8. 【請求項８】 請求項１から請求項９までのいずれか１
   項に記載のリニア型振動アクチュエータの特性測定装置
   において、 前記回転部材は、複数設けられており、 前記各回転部材の回転軸の間隔を調整する軸間隔調整機
   構を備えたことを特徴とするリニア型振動アクチュエー
   タの特性測定装置。