JPH11242106A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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- JPH11242106A JPH11242106A JP4364098A JP4364098A JPH11242106A JP H11242106 A JPH11242106 A JP H11242106A JP 4364098 A JP4364098 A JP 4364098A JP 4364098 A JP4364098 A JP 4364098A JP H11242106 A JPH11242106 A JP H11242106A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- color filter
- hot plate
- peripheral edge
- edge part
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Abstract
(57)【要約】
【課題】基板１１の追加加熱処理作業中に降下付着した
塵などの異物が、カラーフィルタの新たな欠陥となるこ
とのないカラーフィルタの製造方法を提供すること。 【解決手段】基板１１上に着色感光性樹脂組成物を用い
てカラーフィルタ画像を形成し、カラーフィルタを製造
する際に、カラーフィルタ画像の形成後に、基板の周縁
部２６のみを加熱し周縁部２６に残存する着色感光性樹
脂組成物を硬化させて、カラーフィルタを製造する。
塵などの異物が、カラーフィルタの新たな欠陥となるこ
とのないカラーフィルタの製造方法を提供すること。 【解決手段】基板１１上に着色感光性樹脂組成物を用い
てカラーフィルタ画像を形成し、カラーフィルタを製造
する際に、カラーフィルタ画像の形成後に、基板の周縁
部２６のみを加熱し周縁部２６に残存する着色感光性樹
脂組成物を硬化させて、カラーフィルタを製造する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に着色感光
性樹脂組成物を用いてカラーフィルタ画像を形成するカ
ラーフィルタの製造方法に関するもので、特にカラーフ
ィルタに新たな欠陥を発生させることのないカラーフィ
ルタの製造方法に関する。
性樹脂組成物を用いてカラーフィルタ画像を形成するカ
ラーフィルタの製造方法に関するもので、特にカラーフ
ィルタに新たな欠陥を発生させることのないカラーフィ
ルタの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】表示装置などに用いられる基板上に着色
感光性樹脂組成物を用いて画像を形成する際に、着色感
光性樹脂組成物を基板上に塗布する方法としては、ロー
ルコート法、ディップ法、スプレイ法、スピンナー法な
どが用いられている。図４（イ）、（ロ）、（ハ）、
（ニ）はスピンナー法により着色感光性樹脂組成物が基
板上に塗布された際の着色感光性樹脂組成物膜の状態を
示す説明図である。図４（イ）は基板上に塗布された着
色感光性樹脂組成物膜の状態を示す平面図であり、図４
（ロ）は図４（イ）のＸ−Ｘ’断面図、図４（ハ）は図
４（イ）のＹ−Ｙ’断面図、図４（ニ）は図４（イ）の
Ｔ−Ｔ’断面図である。また、図４（イ）におけるｘ、
ｙは、基板の大きさを示すもので、表示装置用基板とし
ては、ｘ×ｙは約３００×３００ｍｍ〜約５５０×６５
０ｍｍ程度のものである。
感光性樹脂組成物を用いて画像を形成する際に、着色感
光性樹脂組成物を基板上に塗布する方法としては、ロー
ルコート法、ディップ法、スプレイ法、スピンナー法な
どが用いられている。図４（イ）、（ロ）、（ハ）、
（ニ）はスピンナー法により着色感光性樹脂組成物が基
板上に塗布された際の着色感光性樹脂組成物膜の状態を
示す説明図である。図４（イ）は基板上に塗布された着
色感光性樹脂組成物膜の状態を示す平面図であり、図４
（ロ）は図４（イ）のＸ−Ｘ’断面図、図４（ハ）は図
４（イ）のＹ−Ｙ’断面図、図４（ニ）は図４（イ）の
Ｔ−Ｔ’断面図である。また、図４（イ）におけるｘ、
ｙは、基板の大きさを示すもので、表示装置用基板とし
ては、ｘ×ｙは約３００×３００ｍｍ〜約５５０×６５
０ｍｍ程度のものである。
【０００３】図４（ロ）、（ハ）に示すように、スピン
ナー法により着色感光性樹脂組成物が基板（１）上に塗
布された際の着色感光性樹脂組成物膜（２）は、基板
（１）の周縁部の縁部（６）において、その膜厚が縁部
以外の部分より高くなるものである。また、基板（１）
の周縁部の端面部（７）においては、着色感光性樹脂組
成物が塗布されてしまうものである。 図４（ロ）の４
は、その塗布された状態を示したものである。また、図
４（ニ）に示すように、スピンナー法により着色感光性
樹脂組成物が基板（１）上に塗布された際の着色感光性
樹脂組成物膜（２）は、基板（１）の周縁部の隅部
（５）において、その膜厚が縁部（６）の部分より更に
高くなるものである。
ナー法により着色感光性樹脂組成物が基板（１）上に塗
布された際の着色感光性樹脂組成物膜（２）は、基板
（１）の周縁部の縁部（６）において、その膜厚が縁部
以外の部分より高くなるものである。また、基板（１）
の周縁部の端面部（７）においては、着色感光性樹脂組
成物が塗布されてしまうものである。 図４（ロ）の４
は、その塗布された状態を示したものである。また、図
４（ニ）に示すように、スピンナー法により着色感光性
樹脂組成物が基板（１）上に塗布された際の着色感光性
樹脂組成物膜（２）は、基板（１）の周縁部の隅部
（５）において、その膜厚が縁部（６）の部分より更に
高くなるものである。
【０００４】このような、基板（１）の周縁部の縁部
（６）及び隅部（５）における膜厚の高い状態をビーズ
（３）と称している。このような、縁部（６）及び隅部
（５）におけるビーズ（３）の発生は、着色感光性樹脂
組成物を基板上に塗布する上記の各種方法の中でも、ス
ピンナー法による塗膜において著しい傾向を示すもので
ある。また、このようなビーズ（３）の幅、高さは、一
般のフォトレジストよりもカラーフィルタに用いられて
いる着色感光性樹脂組成物の際に著しい傾向を示すもの
である。
（６）及び隅部（５）における膜厚の高い状態をビーズ
（３）と称している。このような、縁部（６）及び隅部
（５）におけるビーズ（３）の発生は、着色感光性樹脂
組成物を基板上に塗布する上記の各種方法の中でも、ス
ピンナー法による塗膜において著しい傾向を示すもので
ある。また、このようなビーズ（３）の幅、高さは、一
般のフォトレジストよりもカラーフィルタに用いられて
いる着色感光性樹脂組成物の際に著しい傾向を示すもの
である。
【０００５】このようなビーズ（３）は、非画像部に相
当するものであり、画像形成時における露光後の現像処
理によって溶解されるものではあるが、縁部（６）及び
隅部（５）以外の正常な膜厚の領域よりこのビーズ
（３）の膜厚は高いために、現像処理後においてもこの
ビーズ（３）は残ってしまうものである。
当するものであり、画像形成時における露光後の現像処
理によって溶解されるものではあるが、縁部（６）及び
隅部（５）以外の正常な膜厚の領域よりこのビーズ
（３）の膜厚は高いために、現像処理後においてもこの
ビーズ（３）は残ってしまうものである。
【０００６】露光後の現像処理によって画像として形成
された着色感光性樹脂組成物は、加熱硬化処理、すなわ
ち、ベーキング処理をされるのであるが、この加熱硬化
処理の条件は画像部に適切なものであり、このような膜
厚の高いビーズ（３）に対しては不十分な加熱硬化の条
件となっているものである。
された着色感光性樹脂組成物は、加熱硬化処理、すなわ
ち、ベーキング処理をされるのであるが、この加熱硬化
処理の条件は画像部に適切なものであり、このような膜
厚の高いビーズ（３）に対しては不十分な加熱硬化の条
件となっているものである。
【０００７】従って、このように現像処理後にベーキン
グ処理がされても、硬化が不十分なビーズは、後工程で
ある表示装置用基板を作成する洗浄工程、例えば、ＩＰ
Ａ（イソプロピルアルコール）蒸気による洗浄におい
て、ビーズの成分が溶出し表示装置用基板を作成する後
工程に悪影響を及ぼすことがある。また、硬化が不十分
なビーズは、例えば、液晶表示装置を作成する際の液晶
注入工程において、ビーズの成分が溶出し液晶表示装置
の表示品質に悪影響を及ぼすことがあるものである。
グ処理がされても、硬化が不十分なビーズは、後工程で
ある表示装置用基板を作成する洗浄工程、例えば、ＩＰ
Ａ（イソプロピルアルコール）蒸気による洗浄におい
て、ビーズの成分が溶出し表示装置用基板を作成する後
工程に悪影響を及ぼすことがある。また、硬化が不十分
なビーズは、例えば、液晶表示装置を作成する際の液晶
注入工程において、ビーズの成分が溶出し液晶表示装置
の表示品質に悪影響を及ぼすことがあるものである。
【０００８】このようなビーズの成分が溶出するのを防
止する方法としては、現像処理及びベーキング処理後
の、周縁部に硬化が不十分なビーズが残存する基板を追
加加熱して、ビーズの硬化を十分に行う方法がとられて
きた。この際に、加熱する装置としてはクリーンオーブ
ンが用いられている。周縁部に硬化が不十分なビーズが
残存する基板を、例えば、耐熱性のラックなどに多数枚
を装着し、この多数枚を装着した状態のラックをクリー
ンオーブンに搬入し、加熱処理されるものである。この
追加加熱処理の条件は、約２３０°Ｃ、６０分程度のも
のである。
止する方法としては、現像処理及びベーキング処理後
の、周縁部に硬化が不十分なビーズが残存する基板を追
加加熱して、ビーズの硬化を十分に行う方法がとられて
きた。この際に、加熱する装置としてはクリーンオーブ
ンが用いられている。周縁部に硬化が不十分なビーズが
残存する基板を、例えば、耐熱性のラックなどに多数枚
を装着し、この多数枚を装着した状態のラックをクリー
ンオーブンに搬入し、加熱処理されるものである。この
追加加熱処理の条件は、約２３０°Ｃ、６０分程度のも
のである。
【０００９】この一連の追加加熱処理作業は、クリーン
ルーム内にて行われるのではあるが、例えば、カラーフ
ィルタ画像が形成された基板の、画像形成工程から搬出
され一つのラックに充当される迄の待機中、或いは、ラ
ックの追加加熱工程への移動中、或いは、ラッククリー
ンオーブンへ搬入する待機中などの一連の追加加熱処理
作業中において、作業場に浮遊する塵などの異物がカラ
ーフィルタ画像が形成された基板上に降下付着するもの
であり、このカラーフィルタ画像が形成された基板上に
付着した塵などの異物は、クリーンオーブンでの追加加
熱処理において、硬化が不十分なビーズの硬化と同時に
カラーフィルタ上に固着し、カラーフィルタとしてはカ
ラーフィルタの新たな欠陥となってしまうことがある。
ルーム内にて行われるのではあるが、例えば、カラーフ
ィルタ画像が形成された基板の、画像形成工程から搬出
され一つのラックに充当される迄の待機中、或いは、ラ
ックの追加加熱工程への移動中、或いは、ラッククリー
ンオーブンへ搬入する待機中などの一連の追加加熱処理
作業中において、作業場に浮遊する塵などの異物がカラ
ーフィルタ画像が形成された基板上に降下付着するもの
であり、このカラーフィルタ画像が形成された基板上に
付着した塵などの異物は、クリーンオーブンでの追加加
熱処理において、硬化が不十分なビーズの硬化と同時に
カラーフィルタ上に固着し、カラーフィルタとしてはカ
ラーフィルタの新たな欠陥となってしまうことがある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明においては、上
記のように、周縁部に硬化が不十分なビーズが残存する
基板の追加加熱処理作業中に降下付着した塵などの異物
が、カラーフィルタの新たな欠陥となることのないカラ
ーフィルタの製造方法を提供するものである。
記のように、周縁部に硬化が不十分なビーズが残存する
基板の追加加熱処理作業中に降下付着した塵などの異物
が、カラーフィルタの新たな欠陥となることのないカラ
ーフィルタの製造方法を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に着色
感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタ画像を形成す
るカラーフィルタの製造方法において、カラーフィルタ
画像の形成後に、該基板の周縁部のみを加熱し該周縁部
に残存する着色感光性樹脂組成物を硬化させて、カラー
フィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの
製造方法である。
感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタ画像を形成す
るカラーフィルタの製造方法において、カラーフィルタ
画像の形成後に、該基板の周縁部のみを加熱し該周縁部
に残存する着色感光性樹脂組成物を硬化させて、カラー
フィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの
製造方法である。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明を一実施の形態に基づいて
以下に説明する。本発明によるカラーフィルタの製造方
法は、上記のようなビーズの成分が溶出するのを防止す
るために、周縁部に硬化が不十分なビーズが残存する基
板を追加加熱する方法として、基板上に着色感光性樹脂
組成物を用いてカラーフィルタ画像を形成した後に、耐
熱性のラックなどに多数枚を装着し、この多数枚を装着
した状態のラックをクリーンオーブンに搬入し、追加加
熱する方法を用いず、周縁部に硬化が不十分なビーズが
残存する基板を一枚毎に、基板の周縁部のみを追加加熱
するためのホットプレートを用いて、基板の周縁部のみ
を追加加熱する方法を用いているものである。従って、
本発明においては、前記のように、周縁部に硬化が不十
分なビーズが残存する基板の追加加熱処理作業中に降下
付着した塵などの異物が、カラーフィルタの新たな欠陥
となることのないカラーフィルタの製造方法となる。
以下に説明する。本発明によるカラーフィルタの製造方
法は、上記のようなビーズの成分が溶出するのを防止す
るために、周縁部に硬化が不十分なビーズが残存する基
板を追加加熱する方法として、基板上に着色感光性樹脂
組成物を用いてカラーフィルタ画像を形成した後に、耐
熱性のラックなどに多数枚を装着し、この多数枚を装着
した状態のラックをクリーンオーブンに搬入し、追加加
熱する方法を用いず、周縁部に硬化が不十分なビーズが
残存する基板を一枚毎に、基板の周縁部のみを追加加熱
するためのホットプレートを用いて、基板の周縁部のみ
を追加加熱する方法を用いているものである。従って、
本発明においては、前記のように、周縁部に硬化が不十
分なビーズが残存する基板の追加加熱処理作業中に降下
付着した塵などの異物が、カラーフィルタの新たな欠陥
となることのないカラーフィルタの製造方法となる。
【００１３】図１は、本発明における基板の周縁部のみ
を追加加熱するためのホットプレートの一実施例を説明
する断面図である。図２は、図１におけるホットプレー
トの一実施例を説明する平面図である。図１、及び図２
に示すように、基板の周縁部のみを追加加熱するための
ホットプレート（１２）は、基板の形状に合わせた長方
形のものであり、その周辺部（１３）にのみ熱源があり
周辺部のみが発熱するようになっている。そして、中央
部は中空であり発熱するものではない。
を追加加熱するためのホットプレートの一実施例を説明
する断面図である。図２は、図１におけるホットプレー
トの一実施例を説明する平面図である。図１、及び図２
に示すように、基板の周縁部のみを追加加熱するための
ホットプレート（１２）は、基板の形状に合わせた長方
形のものであり、その周辺部（１３）にのみ熱源があり
周辺部のみが発熱するようになっている。そして、中央
部は中空であり発熱するものではない。
【００１４】図１、及び図２に示すホットプレート（１
２）は、カラーフィルタ画像の形成工程の直後に設置さ
れ、基板（１１）はロボットアーム（図示せず）によ
り、カラーフィルタ画像の形成工程からホットプレート
（１２）上に装着され、基板の周縁部のみが追加加熱さ
れた後に、次工程に搬送されるようになっている。すな
わち、周縁部に硬化が不十分なビーズが残存する基板
（１１）は、カラーフィルタ画像の形成工程の直後に、
この基板の周縁部のみを追加加熱するためのホットプレ
ート（１２）上に一枚装着され、その一枚の基板に追加
加熱される一枚毎の追加加熱処理となっている。
２）は、カラーフィルタ画像の形成工程の直後に設置さ
れ、基板（１１）はロボットアーム（図示せず）によ
り、カラーフィルタ画像の形成工程からホットプレート
（１２）上に装着され、基板の周縁部のみが追加加熱さ
れた後に、次工程に搬送されるようになっている。すな
わち、周縁部に硬化が不十分なビーズが残存する基板
（１１）は、カラーフィルタ画像の形成工程の直後に、
この基板の周縁部のみを追加加熱するためのホットプレ
ート（１２）上に一枚装着され、その一枚の基板に追加
加熱される一枚毎の追加加熱処理となっている。
【００１５】図１、及び図２に示すホットプレート（１
２）の大きさは、用いられる基板、例えば、約５５０×
６５０ｍｍの大きさに合わせたものであり、ホットプレ
ートの周辺部の幅は約５０ｍｍ程度のもので、基板の四
辺の周縁部の約１０ｍｍ程度のみが接するようになって
いる。また、必要な際は、ホットプレートの中央部に、
基板のホットプレートからの着脱を容易にするために、
引き上げピン（１４）を設けてもよい。
２）の大きさは、用いられる基板、例えば、約５５０×
６５０ｍｍの大きさに合わせたものであり、ホットプレ
ートの周辺部の幅は約５０ｍｍ程度のもので、基板の四
辺の周縁部の約１０ｍｍ程度のみが接するようになって
いる。また、必要な際は、ホットプレートの中央部に、
基板のホットプレートからの着脱を容易にするために、
引き上げピン（１４）を設けてもよい。
【００１６】具体的には、基板として、大きさ約５５０
ｍｍ×６５０ｍｍ、厚さ約１．１ｍｍの透明ガラス基板
（コーニング（株）製、低膨張ガラス、品番７０５９）
を用いた。この基板上に塗布する着色感光性樹脂組成物
として、表示装置などに使用されているカラーフィルタ
用のもの（富士フイルムオーリン株式会社製、製品名
「ＣＫ−２０００」）を用いスピンナー法により塗布し
た。
ｍｍ×６５０ｍｍ、厚さ約１．１ｍｍの透明ガラス基板
（コーニング（株）製、低膨張ガラス、品番７０５９）
を用いた。この基板上に塗布する着色感光性樹脂組成物
として、表示装置などに使用されているカラーフィルタ
用のもの（富士フイルムオーリン株式会社製、製品名
「ＣＫ−２０００」）を用いスピンナー法により塗布し
た。
【００１７】この着色感光性樹脂組成物はブラックマト
リックス層用のものであり、ブラックマトリックス層の
厚さは、透過濃度（ｌｏｇ10Ｉ0 ／Ｉ1 ，但しＩ0 は入
射光量、Ｉ1 は透過光量）の値を２〜３以上にする必要
から例えば、１．０μｍ程度となる。しかし本実施例に
おいては、約１．５μｍとした。カラーフィルタ画像の
材料としては、表示装置などに使用されているカラーフ
ィルタ用の着色感光性樹脂組成物である富士フイルムオ
ーリン株式会社製、製品名「カラーモザイクＣＲ−２０
００（赤）」，「カラーモザイクＣＧ−２０００
（緑）」、「カラーモザイクＣＢ−２０００（青）」を
用いた。カラーフィルタ画像の厚さは、約１．５μｍと
した。
リックス層用のものであり、ブラックマトリックス層の
厚さは、透過濃度（ｌｏｇ10Ｉ0 ／Ｉ1 ，但しＩ0 は入
射光量、Ｉ1 は透過光量）の値を２〜３以上にする必要
から例えば、１．０μｍ程度となる。しかし本実施例に
おいては、約１．５μｍとした。カラーフィルタ画像の
材料としては、表示装置などに使用されているカラーフ
ィルタ用の着色感光性樹脂組成物である富士フイルムオ
ーリン株式会社製、製品名「カラーモザイクＣＲ−２０
００（赤）」，「カラーモザイクＣＧ−２０００
（緑）」、「カラーモザイクＣＢ−２０００（青）」を
用いた。カラーフィルタ画像の厚さは、約１．５μｍと
した。
【００１８】図３は基板（１１）のカラーフィルタ画像
の形成後の膜の状態を示したものである。図３におい
て、（イ）はカラーフィルタ画像の形成後の基板（１
１）の一隅を示す平面図である。斜線部分はビーズ（２
３）が発生した部分を示している。（ロ）は（イ）のＰ
−Ｐ’断面図であり、（ハ）は（イ）のＱ−Ｑ’断面図
である。２４は周縁部の端面部に塗布された着色感光性
樹脂組成物の状態を示したものである。
の形成後の膜の状態を示したものである。図３におい
て、（イ）はカラーフィルタ画像の形成後の基板（１
１）の一隅を示す平面図である。斜線部分はビーズ（２
３）が発生した部分を示している。（ロ）は（イ）のＰ
−Ｐ’断面図であり、（ハ）は（イ）のＱ−Ｑ’断面図
である。２４は周縁部の端面部に塗布された着色感光性
樹脂組成物の状態を示したものである。
【００１９】図３の（ロ）に示すように、基板のカラー
フィルタ画像の形成後の膜厚は、基板（１１）の周縁部
の縁部（２６）及び隅部（２５）以外の正常な領域の膜
厚（Ａ）は約１．５μｍ程度であり、縁部（２６）のビ
ーズ（２３）の高さ（Ｂ）は約２．０〜３．０μｍ程
度、幅（Ｄ）は約２．０ｍｍ程度のものである。また、
図３の（ハ）に示すように、隅部（２５）のビーズ（２
３）の高さ（Ｃ）は約３．０〜５．０μｍ程度、幅
（Ｅ）は約７．０〜８．０ｍｍ程度のものである。
フィルタ画像の形成後の膜厚は、基板（１１）の周縁部
の縁部（２６）及び隅部（２５）以外の正常な領域の膜
厚（Ａ）は約１．５μｍ程度であり、縁部（２６）のビ
ーズ（２３）の高さ（Ｂ）は約２．０〜３．０μｍ程
度、幅（Ｄ）は約２．０ｍｍ程度のものである。また、
図３の（ハ）に示すように、隅部（２５）のビーズ（２
３）の高さ（Ｃ）は約３．０〜５．０μｍ程度、幅
（Ｅ）は約７．０〜８．０ｍｍ程度のものである。
【００２０】このよう周縁部に硬化が不十分なビーズが
残存する基板に、基板の周縁部のみを追加加熱するため
に上記ホットプレートを用いて、約２５０°Ｃ、１５分
間の追加加熱処理を行った。このようにして得られた、
ビーズが残存する基板の耐薬品性などの溶出試験をした
結果、正常なカラーフィルタ画像の部分の性能と差異の
ないものであった。
残存する基板に、基板の周縁部のみを追加加熱するため
に上記ホットプレートを用いて、約２５０°Ｃ、１５分
間の追加加熱処理を行った。このようにして得られた、
ビーズが残存する基板の耐薬品性などの溶出試験をした
結果、正常なカラーフィルタ画像の部分の性能と差異の
ないものであった。
【００２１】
【発明の効果】本発明によるカラーフィルタの製造方法
は、基板上に着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィ
ルタ画像を形成しカラーフィルタを製造する際に、カラ
ーフィルタ画像の形成後に、基板の周縁部のみを追加加
熱するためのホットプレートを用いて、基板の周縁部の
みを追加加熱し周縁部に残存する硬化が不十分な着色感
光性樹脂組成物（ビーズ）を十分に硬化させて、カラー
フィルタを製造するので、基板の追加加熱処理作業中に
降下付着した塵などの異物が、カラーフィルタの新たな
欠陥となることのないカラーフィルタが得られる。
は、基板上に着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィ
ルタ画像を形成しカラーフィルタを製造する際に、カラ
ーフィルタ画像の形成後に、基板の周縁部のみを追加加
熱するためのホットプレートを用いて、基板の周縁部の
みを追加加熱し周縁部に残存する硬化が不十分な着色感
光性樹脂組成物（ビーズ）を十分に硬化させて、カラー
フィルタを製造するので、基板の追加加熱処理作業中に
降下付着した塵などの異物が、カラーフィルタの新たな
欠陥となることのないカラーフィルタが得られる。
【図１】本発明における基板の周縁部のみを追加加熱す
るためのホットプレートの一実施例を説明する断面図で
ある。
るためのホットプレートの一実施例を説明する断面図で
ある。
【図２】図１におけるホットプレートの一実施例を説明
する平面図である。
する平面図である。
【図３】基板上のカラーフィルタ画像の形成後の膜の状
態を示した説明図である。
態を示した説明図である。
【図４】（イ）はスピンナー法により着色感光性樹脂組
成物が基板上に塗布された際の塗布膜の状態を示す説明
図である。（ロ）は（イ）のＸ−Ｘ’断面図である。
（ハ）は（イ）のＹ−Ｙ’断面図である。（ニ）は
（イ）のＴ−Ｔ’断面図である。
成物が基板上に塗布された際の塗布膜の状態を示す説明
図である。（ロ）は（イ）のＸ−Ｘ’断面図である。
（ハ）は（イ）のＹ−Ｙ’断面図である。（ニ）は
（イ）のＴ−Ｔ’断面図である。
１、１１…基板 ２…着色感光性樹脂組成物膜 ３、２３…ビーズ ４、２４…端面部に塗布された着色感光性樹脂組成物 ５、２５…隅部 ６、２６…縁部 ７…端面部 １２…ホットプレート １３…ホットプレートの周辺部 １４…引き上げピン Ａ…正常な領域の膜厚 Ｂ…縁部のビーズの高さ Ｃ…隅部のビーズの高さ Ｄ…縁部のビーズの幅 Ｅ…隅部のビーズの幅
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に着色感光性樹脂組成物を用いてカ
ラーフィルタ画像を形成するカラーフィルタの製造方法
において、カラーフィルタ画像の形成後に、該基板の周
縁部のみを加熱し該周縁部に残存する着色感光性樹脂組
成物を硬化させて、カラーフィルタを製造することを特
徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4364098A JPH11242106A (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4364098A JPH11242106A (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11242106A true JPH11242106A (ja) | 1999-09-07 |
Family
ID=12669480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4364098A Pending JPH11242106A (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11242106A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6946160B2 (en) * | 2001-03-23 | 2005-09-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of forming fluorescent screen |
| KR100863118B1 (ko) | 2004-01-21 | 2008-10-14 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 컬러 필터 결함 수복용 감방사선성 수지 조성물 및 컬러필터 결함의 수복 방법 |
-
1998
- 1998-02-25 JP JP4364098A patent/JPH11242106A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6946160B2 (en) * | 2001-03-23 | 2005-09-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of forming fluorescent screen |
| KR100863118B1 (ko) | 2004-01-21 | 2008-10-14 | 제이에스알 가부시끼가이샤 | 컬러 필터 결함 수복용 감방사선성 수지 조성물 및 컬러필터 결함의 수복 방법 |
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