JPH11249141A - Liquid crystal display device and manufacture thereof - Google Patents
Liquid crystal display device and manufacture thereofInfo
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- JPH11249141A JPH11249141A JP5047598A JP5047598A JPH11249141A JP H11249141 A JPH11249141 A JP H11249141A JP 5047598 A JP5047598 A JP 5047598A JP 5047598 A JP5047598 A JP 5047598A JP H11249141 A JPH11249141 A JP H11249141A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、テレビジョン画像
やマルチメディア画像を表示する液晶表示装置とその製
造法に関し、さらに詳しくは広視野で応答が速く明るい
表示性能を持つ液晶表示装置とその製造法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device for displaying television images and multimedia images and a method of manufacturing the same, and more particularly, to a liquid crystal display device having a wide field of view, a quick response and a bright display performance, and a method of manufacturing the same. About the law.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の液晶表示装置としては、例えば液
晶表示モードが誘電率異方性が正のネマティック液晶を
用いたツイステッドネマティック(TN)モ−ドの液晶
表示素子が実用化されているが、応答が遅い、視野角が
狭いなどの欠点がある。2. Description of the Related Art As a conventional liquid crystal display device, for example, a twisted nematic (TN) mode liquid crystal display element using a nematic liquid crystal having a liquid crystal display mode having a positive dielectric anisotropy has been put to practical use. There are drawbacks such as slow response, narrow viewing angle, and the like.
【0003】一方、応答が速く、視野角が広い強誘電性
液晶(FLC)や反強誘電性液晶などの表示モ−ドもあ
るが、焼き付き、耐ショック性、特性の温度依存性など
に大きな欠点がある。On the other hand, there are display modes such as a ferroelectric liquid crystal (FLC) and an anti-ferroelectric liquid crystal, which have a quick response and a wide viewing angle, but have large seizure, shock resistance, and temperature dependence of characteristics. There are drawbacks.
【0004】さらに、視角が極めて広い、面内で液晶分
子を横電界駆動する面内スイッチング(IPS)モード
があるが、応答が遅くかつ開口率が低く輝度が低いとい
う欠点がある。Further, there is an in-plane switching (IPS) mode in which a viewing angle is extremely wide and a liquid crystal molecule is driven in a horizontal electric field in a plane, but it has a disadvantage that response is slow, an aperture ratio is low and luminance is low.
【0005】フルカラー動画を大画面で表示しようとす
ると、広視野角、高輝度、高速の表示性能を持つ液晶モ
ードが必要であるが、上記のような現状を踏まえると、
これらの要素を同時に完璧に満足する実用的な液晶表示
モードは現在存在しない。In order to display a full-color moving image on a large screen, a liquid crystal mode having a wide viewing angle, high luminance, and high-speed display performance is required.
There is currently no practical liquid crystal display mode that perfectly satisfies these factors at the same time.
【0006】このような課題に対して、従来上記の様々
な表示モードの液晶表示装置において、各々の欠点を補
うための様々な改善がなされており、以下ではその例に
ついて図面を参照しながら説明する。In order to solve such problems, various improvements have been made in the above-mentioned liquid crystal display devices of various display modes to compensate for the respective drawbacks. Examples thereof will be described below with reference to the drawings. I do.
【0007】まず1つ目に、少なくとも広視野で高輝度
をめざした液晶表示装置として、上記のTNモード液晶
領域を配向2分割にして視野角を上下に拡大したものを
挙げることができる(SID 92 DIGEST P7
98〜801)。これは、液晶表示装置の各表示画素内
に誘電率異方性が正のネマチック液晶を用い、TNモー
ドでかつ液晶分子の配向方位が異なる2つの液晶領域を
形成し(すなわち配向2分割TNモード)て視野角を拡
大するものである。First, as a liquid crystal display device aiming at high brightness in at least a wide field of view, there is a liquid crystal display device in which the above-mentioned TN mode liquid crystal region is divided into two portions and the viewing angle is vertically increased (SID). 92 DIgest P7
98-801). This is because a nematic liquid crystal having a positive dielectric anisotropy is used in each display pixel of a liquid crystal display device to form two liquid crystal regions in a TN mode and different orientations of liquid crystal molecules (that is, a two-divided TN mode). ) To increase the viewing angle.
【0008】図6にその液晶表示装置の概略を示す断面
図を示す。図6において、61及び62は基板(例えば
ガラス基板)、63及び64は例えば透明電極等の表示
電極、65a、65b、66a及び66bは配向膜、6
7a及び67bは液晶分子を示している。FIG. 6 is a sectional view schematically showing the liquid crystal display device. 6, reference numerals 61 and 62 denote substrates (for example, glass substrates); 63 and 64 denote display electrodes such as transparent electrodes; 65a, 65b, 66a and 66b denote alignment films;
7a and 67b show liquid crystal molecules.
【0009】図6における一方の配向領域Aでは、対向
する上下基板界面から若干傾いた誘電率異方性が正のネ
マチックの液晶分子67a及び67bが存在する。ここ
で、液晶分子67aと67bのプレチルト角は同一では
なく、67bのプレチルト角の方が67aのプレチルト
角よりも大きくなっている。また図6における他方の配
向領域Bでは、対向する上下基板界面に対してプレチル
ト角の大きさを上記の配向領域Aとは逆の設定にする。
なお、プレチルト角の差はいずれも数度となるように設
定している。すなわち、図6における65a付近と66
b付近の液晶分子のプレチルト角は同じであり、65b
付近と66a付近の液晶分子のプレチルト角も同じとな
っている。In one alignment region A in FIG. 6, nematic liquid crystal molecules 67a and 67b having a positive dielectric anisotropy slightly inclined from the interface between the upper and lower substrates are present. Here, the pretilt angles of the liquid crystal molecules 67a and 67b are not the same, and the pretilt angle of 67b is larger than the pretilt angle of 67a. In the other orientation region B in FIG. 6, the magnitude of the pretilt angle with respect to the interface between the upper and lower substrates is opposite to that of the orientation region A.
The difference between the pretilt angles is set to be several degrees. That is, in FIG.
The pretilt angles of the liquid crystal molecules near b are the same, and 65b
The pretilt angles of the liquid crystal molecules near and around 66a are also the same.
【0010】このような構成を採用すると、配向領域
A、Bで液晶層中央部の液晶分子群の向きが互いに逆向
きとなり、電圧印加とともに各配向領域の液晶分子が逆
に立ち上がっていくことになり、画素単位で入射光線に
対して屈折率異方性が平均化されて視野角の拡大が図れ
る。実際のところ、配向2分割TNモードでは、通常の
TNモードより視野角は拡大されて、上下視野角はコン
トラスト10で±35度程度となる。When such a configuration is adopted, the orientations of the liquid crystal molecules at the center of the liquid crystal layer in the alignment regions A and B are opposite to each other, and the liquid crystal molecules in each alignment region rise in reverse with the application of the voltage. That is, the refractive index anisotropy is averaged with respect to the incident light for each pixel, and the viewing angle can be expanded. As a matter of fact, in the orientation two-split TN mode, the viewing angle is larger than in the normal TN mode, and the vertical viewing angle is about ± 35 degrees with a contrast of 10.
【0011】なお、上記のように上下基板にプレチルト
角が異なる配向領域を形成する従来の作製法の例として
は、配向膜にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラ
フ技術でマスキングをした状態で所定の方向に所望の配
向膜面をラビングをする作業を繰り返すなどの方法があ
る。As an example of a conventional manufacturing method for forming alignment regions having different pretilt angles on the upper and lower substrates as described above, a photoresist is applied to an alignment film, and a predetermined mask is formed by photolithography. There is a method of repeating the operation of rubbing the desired alignment film surface in the direction.
【0012】次に2つ目に、上記TNモードのようなホ
モジニアス配向モードでなく、配向膜界面で液晶分子を
ほぼ垂直に配向させるいわゆるホメオトロピック配向モ
ードを利用した液晶表示モードで、フィルム位相差板、
配向分割技術を付加して広視野、高速応答の液晶表示装
置を実現するものを挙げることができる。しかしなが
ら、この具体的な製造法の内容は明らかでない。Second, in a liquid crystal display mode using a so-called homeotropic alignment mode in which liquid crystal molecules are aligned almost vertically at an interface between alignment films, instead of a homogeneous alignment mode such as the TN mode described above, Board,
One that realizes a liquid crystal display device having a wide field of view and a high-speed response by adding an orientation division technique can be given. However, the content of this specific manufacturing method is not clear.
【0013】[0013]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、配向2
分割TNモードでは下記に示すような問題点が存在す
る。However, the orientation 2
The divided TN mode has the following problems.
【0014】このモードは、視野角が大きくなるだけで
あり、その応答速度はTNモードと本質的に変化なく約
50mS程度である。また、上記したような製造方法で
は上記のように配向膜表面をフォトリソグラフの技術を
加えてラビング配向処理してそのプレチルト角を変化さ
せているため、配向膜表面が劣化して良い品質で歩留ま
りよい液晶表示装置を得るのは困難である。なお、最近
TNモードで光配向処理のポリイミド配向膜やポリシロ
キサン配向膜で配向2、4分割をすることが検討されて
いるが、その光配向に要するエネルギーは大きく照射時
間は1〜2時間を要する。また、上記配向2分割TNモ
ードの液晶セルにフィルム位相差板をさらに加えて視野
角を拡大する事も提案されているが、基本的にTNモー
ドのため応答の改善は見られない。In this mode, only the viewing angle is increased, and the response speed is about 50 ms substantially unchanged from the TN mode. In addition, in the manufacturing method as described above, since the alignment film surface is subjected to rubbing alignment treatment by applying photolithographic technology to change the pretilt angle as described above, the alignment film surface is deteriorated and the yield is good. It is difficult to obtain a good liquid crystal display device. Recently, it has been studied to divide the alignment into two or four using a polyimide alignment film or a polysiloxane alignment film in a TN mode in a photo alignment process, but the energy required for the photo alignment is large and the irradiation time is 1-2 hours. It costs. Further, it has been proposed to further increase the viewing angle by further adding a film phase difference plate to the liquid crystal cell of the above-mentioned two-partition TN mode liquid crystal cell, but basically no improvement in response is observed because of the TN mode.
【0015】一方ホメオトロピック配向モードを利用し
た液晶表示装置においても、下記に示すような問題点が
存在する。On the other hand, the liquid crystal display device utilizing the homeotropic alignment mode also has the following problems.
【0016】ホメオトロピック配向モードを利用した液
晶表示装置を実現する現在の技術としては、上記の配向
2分割TNモードで述べたような、フォトリソグラフ技
術でマスキングしこれをラビングしてなる配向分割ホメ
オトロピックモードが知られている。しかし、ホモジニ
アス配向と異なりホメオトロピック配向モードでは基板
にほぼ直角に近いプレチルト角の液晶分子配向を利用す
るため、傾斜角が適切でないと垂直配向した液晶分子は
電圧印加で一定の方向に配向動作せず、その配向が乱れ
る状態を示す。As a current technology for realizing a liquid crystal display device using a homeotropic alignment mode, as described in the above-mentioned alignment two-split TN mode, an alignment split homeo is formed by masking by photolithographic technology and rubbing it. The tropic mode is known. However, unlike the homogeneous alignment, the homeotropic alignment mode uses the liquid crystal molecule alignment with a pretilt angle that is almost perpendicular to the substrate.If the tilt angle is not appropriate, the vertically aligned liquid crystal molecules will be aligned in a certain direction by applying a voltage. In this case, the orientation is disturbed.
【0017】また、傾斜角を付与するためのラビング配
向処理による方法ではプレチルト角のばらつきが大きく
なって表示にはラビング筋などの欠陥がTNモードより
も遙かに多く発生し、さらにプレチルト角も垂直から一
定に安定して傾斜させるのが困難である。Further, in the method using a rubbing orientation treatment for imparting an inclination angle, the variation of the pretilt angle becomes large, so that defects such as rubbing streaks are generated in the display much more than in the TN mode, and the pretilt angle also decreases. It is difficult to tilt stably from the vertical.
【0018】ホメオトロピック配向モードの配向分割技
術では、表示パネル全体に均一でムラが無くラビングス
ジなどの欠陥のない表示特性を得るために、表示パネル
全体にかつ画素単位に、略垂直で互いに異なる方向にか
つ垂直方向から若干一定に傾斜してなるチルト角を安定
して持つ液晶分子配向制御が必要となる。これは従来の
ラビング処理法とフォトリソグラフ法の組み合わせによ
るホメオトロピック配向モードの配向2分割技術では、
上記のTNモードの配向2分割法よりさらに困難である
ことを意味し、更に、ラビング処理によるホメオトロピ
ック配向4分割の実現は殆ど不可能と言っても良く、そ
のため表示品質の低い、歩留まりが低い液晶表示装置と
なる欠点がある。In the homeotropic alignment mode alignment division technique, in order to obtain display characteristics that are uniform, non-uniform, and free from defects such as rubbing streaks, the display panel is substantially perpendicular to the entire display panel and in pixel units in different directions in order to obtain uniform display characteristics. In addition, it is necessary to control the alignment of liquid crystal molecules having a stable tilt angle that is slightly inclined from the vertical direction. This is a conventional homeotropic alignment mode bisection technique using a combination of a conventional rubbing method and a photolithographic method.
It means that it is more difficult than the above-mentioned TN mode alignment bisection method, and furthermore, it can be said that realization of homeotropic alignment quadripartition by rubbing treatment is almost impossible, so that display quality is low and yield is low. There is a disadvantage that it becomes a liquid crystal display device.
【0019】以上のように、広視野角、高輝度、高速の
表示性能を有する液晶表示装置を実現すべく、様々なア
プローチがなされているが、それを実現するのは困難で
あるのが現状となっている。As described above, various approaches have been taken to realize a liquid crystal display device having a wide viewing angle, high luminance, and high-speed display performance. However, it is difficult to achieve this at present. It has become.
【0020】しかしながら、上記ホメオトロピック配向
モードを利用することによって、原理的に応答が速く広
視野で明るい液晶表示装置が実現できる可能性がある。
そこで本発明は、その実現のために広視野で応答が速く
明るい液晶表示装置でラビング処理のプロセスがなく歩
留まりを高く製造できるホメオトロピック型の液晶表示
装置とその製造法を提案することを主たる目的とする。However, by using the homeotropic alignment mode, there is a possibility that a liquid crystal display device having a fast response and a wide field of view and bright in principle can be realized.
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to propose a homeotropic type liquid crystal display device capable of producing a high yield without a rubbing process in a liquid crystal display device having a wide field of view and a quick response, and a method of manufacturing the same. And
【0021】[0021]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の液晶表示装置は、各々表示電極と垂直配向
膜とを備え、対向して配置された一対の基板間に誘電率
異方性が負の液晶分子を含む液晶層が設けられ、前記基
板の外側に少なくとも1枚の偏光板を有する液晶表示装
置であって、前記一対の基板の画素対向部分の前記垂直
配向膜の膜面が、前記基板面に対して互いに平行に所定
の傾斜角で傾斜して配置され、前記垂直配向膜面近傍の
前記液晶分子が前記基板の法線に対して前記傾斜角とほ
ぼ同一の傾斜角で互いに反平行に配向制御されているこ
とを特徴とする構成となっている。In order to achieve the above object, a liquid crystal display device according to the present invention comprises a display electrode and a vertical alignment film, and has a dielectric constant difference between a pair of substrates disposed opposite to each other. What is claimed is: 1. A liquid crystal display device comprising: a liquid crystal layer including liquid crystal molecules having anisotropic negative liquid crystal; and at least one polarizing plate outside the substrate, wherein a film of the vertical alignment film in a pixel-facing portion of the pair of substrates is provided. The liquid crystal molecules near the surface of the vertical alignment film are inclined substantially at the same inclination with respect to the normal to the substrate. The configuration is such that the orientation is controlled to be antiparallel to each other at the corners.
【0022】また本発明の液晶表示装置の製造方法は、
各々表示電極と垂直配向膜とを備え、画素が対向して配
置された一対の基板間に誘電率異方性が負の液晶分子を
含む液晶層が設けられ、前記基板の外側に少なくとも1
枚の偏光板を備える液晶表示装置の製造方法であって、
前記基板の画素対向部分上に前記表示電極を各々形成す
る表示電極形成工程と、前記各表示電極上に感光性材料
からなるレジスト薄膜を塗布形成するレジスト薄膜塗布
形成工程と、前記レジスト薄膜に所定のパターンで透過
率が漸次変化するフォトマスクを通して紫外線により照
射露光する紫外線露光工程と、紫外線露光された前記レ
ジスト薄膜を現像、リンス、ベーキングして厚みを漸次
変化させ表面を傾斜させた傾斜膜を前記画素対向部分に
それぞれ形成させる傾斜膜形成工程と、前記傾斜膜の表
面上に前記垂直配向膜を各々形成する配向膜形成工程
と、前記一対の基板の画素対向部分に形成された前記垂
直配向膜表面の傾斜方向が互いに平行になるように対向
させ、かつ一定の間隙を有するように貼り合わせ、前記
間隙に前記液晶分子を含む液晶材料を注入して組み立て
る組立工程とを有することを特徴とする構成となってい
る。The method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention
A liquid crystal layer including liquid crystal molecules having a negative dielectric anisotropy is provided between a pair of substrates, each including a display electrode and a vertical alignment film, and having pixels arranged facing each other. At least one liquid crystal layer is provided outside the substrate.
A method for manufacturing a liquid crystal display device including two polarizing plates,
A display electrode forming step of forming the display electrodes on pixel-facing portions of the substrate; a resist thin film coating forming step of coating and forming a resist thin film made of a photosensitive material on the display electrodes; An ultraviolet light exposure step of irradiating and irradiating with ultraviolet light through a photomask whose transmittance gradually changes in the pattern of the pattern, and developing, rinsing and baking the resist thin film exposed to ultraviolet light to form a gradient film having a gradually changing thickness and a sloped surface. A step of forming a gradient film to be formed on each of the pixel facing portions, an alignment film forming step of forming each of the vertical alignment films on the surface of the gradient film, and the vertical alignment formed on the pixel facing portions of the pair of substrates. The film surfaces are opposed to each other so that the inclination directions of the film surfaces are parallel to each other, and are bonded so as to have a constant gap. Has a structure characterized by having a assembling step of assembling by injecting a liquid crystal material including.
【0023】以上の構成によれば、傾斜膜の存在によ
り、基板から傾いて液晶分子が配向することになり、応
答が速く広視野で明るい液晶表示装置を得ることができ
る。According to the above configuration, the presence of the inclined film causes the liquid crystal molecules to be inclined from the substrate, and a liquid crystal display device having a quick response and a wide field of view can be obtained.
【0024】[0024]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態におけ
る液晶表示装置とその製造方法について図面を参照しな
がら説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
【0025】(実施の形態1)図1は本発明の実施の形
態1に関わる液晶表示装置の概略を示したものであり、
図1(a)は平面図、図1(b)は断面図を示してい
る。Embodiment 1 FIG. 1 schematically shows a liquid crystal display device according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 1A is a plan view, and FIG. 1B is a cross-sectional view.
【0026】図1(b)の断面図に示すように、対向す
る一対のガラスの基板11、12対向内面上には、画素
を形成するITOの透明電極からなる表示電極13a、
13bが配置されている。そして、この表示電極13a
及び13b表面上には、対向して互いに平行になるよう
に、ほぼ透明な感光性ポリマー材料のレジスト薄膜やS
i02などの絶縁薄膜から作られた傾斜膜14a及び1
4bが形成されている。この傾斜膜14a及び14b
は、漸次その厚みが変化して、その表面が基板11や1
2に対して傾斜している形状となっており、具体的に
は、図1(b)に示すように、X−X’の中程の位置で
高さ約1μm、その左右に各約100μmの長さに渡っ
て画素全体に漸次厚さが減少するように形成されてお
り、傾斜膜14a、14bの傾斜角は基板面X−X’に
対してθ=約0、6度となっている。なお、上記傾斜膜
の高さや長さは必要な傾斜角からほぼ決められ、上記数
値の他の数値でも良く、実用上高さ0、3〜4μm、長
さ30〜400μmの範囲が好ましく、基板間隙、画素
の形状によっては上記の傾斜膜は画素内で繰り返し形成
されてもよい。その結果、図1(b)に示すように、傾
斜膜14bは凸状の傾斜物を、傾斜膜14aは凹状の傾
斜物を互いに対向させて形成することになる。As shown in the cross-sectional view of FIG. 1B, on a pair of opposing inner surfaces of glass substrates 11 and 12, display electrodes 13a made of ITO transparent electrodes forming pixels are formed.
13b is arranged. And this display electrode 13a
And 13b, a resist film of substantially transparent photosensitive polymer material or S
It made from an insulating film such as i0 2 gradient film 14a and 1
4b is formed. These inclined films 14a and 14b
Means that the thickness of the substrate 11 or 1 changes gradually
The height is about 1 μm at the middle position of XX ′ and about 100 μm on each side, as shown in FIG. 1B. Is formed so that the thickness gradually decreases over the entire pixel over the length of the pixel, and the inclination angles of the inclined films 14a and 14b are about 0 and 6 degrees with respect to the substrate plane XX '. I have. Note that the height and length of the inclined film are substantially determined from the required inclination angle, and may be other values than the above values. Depending on the gap and the shape of the pixel, the above-described gradient film may be repeatedly formed in the pixel. As a result, as shown in FIG. 1B, the inclined film 14b is formed with a convex inclined object, and the inclined film 14a is formed with a concave inclined object facing each other.
【0027】そして、上記の一定の傾斜角θで左右に互
いに平行に傾斜した傾斜膜14a、14bの対向した表
面上には、ポリイミド、ポリシロキサン、シラン系単分
子材料などからなる垂直配向膜15a及び15bが、例
えば日本合成ゴム(株)製ポリイミドJALS−204
の場合には約1000Åの厚さで、シラン系単分子膜材
料の場合には約数十Åの厚さで塗布焼成あるいは塗布乾
燥し形成される。この結果、上記の画素対向部分に形成
された垂直配向膜15a、15bの膜面は、基板面X−
X’に対して互いに平行に約0、6度の傾斜角で傾斜し
て配置されることになる。A vertical alignment film 15a made of polyimide, polysiloxane, silane-based monomolecular material, or the like is provided on the opposed surfaces of the inclined films 14a and 14b which are inclined left and right at a constant inclination angle θ. And 15b are, for example, polyimide JALS-204 manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.
In the case of (1), the thickness is about 1000 mm, and in the case of a silane-based monomolecular film material, the thickness is about several tens of mm, which is formed by coating and firing or coating and drying. As a result, the film surfaces of the vertical alignment films 15a and 15b formed in the above-described pixel-facing portion are aligned with the substrate surface X-.
It is arranged to be inclined with respect to X 'at an inclination angle of about 0 or 6 degrees in parallel with each other.
【0028】上記の様に対向して垂直配向膜15a及び
15bが傾斜して形成された基板を約4μmの一定の間
隙で対向させ、その間に誘電率異方性が負の液晶分子を
含む例えばメルク社のネマティック液晶MT−9511
52を注入すると、液晶層16が形成される。この時、
垂直配向膜15a、15b面近傍の液晶分子17a、1
7b及び18a、18bは、上記基板に対して互いに左
右反対方向にかつ反平行に配向制御され、かつ基板法線
から互いに上記傾斜角とほぼ同一の傾斜角0、6度で
(すなわち表示電極に対して互いに約89度の反対符号
のハイチルト角で)反平行に配向制御されるので、図1
(a)、(b)の如く、液晶層16は境界aを境に互い
に反対方向に若干傾いた配向方向を持つ液晶配向領域
C、Dを形成することになる。The substrates on which the vertical alignment films 15a and 15b are formed so as to be opposed to each other as described above are opposed to each other with a constant gap of about 4 μm. Merck's nematic liquid crystal MT-9511
When 52 is injected, the liquid crystal layer 16 is formed. At this time,
The liquid crystal molecules 17a, 1 near the surfaces of the vertical alignment films 15a, 15b
The orientations of 7b and 18a, 18b are controlled in directions opposite to each other and antiparallel with respect to the substrate, and at an inclination angle of 0 and 6 degrees which is substantially the same as the inclination angle from the normal of the substrate (that is, the display electrode). In contrast, the orientation is controlled antiparallel (at a high tilt angle of about 89 degrees opposite to each other).
As shown in (a) and (b), the liquid crystal layer 16 forms liquid crystal alignment regions C and D having alignment directions slightly inclined in directions opposite to each other with the boundary a as a boundary.
【0029】そして上記のようなラビング処理工程を経
ずに作製した液晶セルに対して、偏光板19、110、
負のフィルム位相差板111をその光学軸、光学位相差
値を所定にして配置すると液晶表示装置が得られる。Then, the polarizing plates 19, 110, and 110 are applied to the liquid crystal cell manufactured without going through the rubbing process as described above.
When the negative film retardation plate 111 is arranged with its optical axis and optical retardation value being predetermined, a liquid crystal display device can be obtained.
【0030】上記の図1に示した本実施の形態のの液晶
表示装置の表示電極13a、13bに駆動回路を接続
し、0−6Vの印加電圧を加えて本実施の形態の液晶表
示装置の特性を評価したところ、約2V以上で上記液晶
配向領域C、Dの液晶分子はその配向が乱れることなく
左右に均一に傾斜していく特性を示し、正面コントラス
トが300、左右視野角が160度、上下視野角が12
0度、透過率70%、応答速度20msが得られ、応答
の速い広視野の明るくコントラストの高い表示特性が得
られ、かつラビング処理をすることがない歩留まりの高
いホメオトロピック型の液晶表示装置が得ることができ
た。A drive circuit is connected to the display electrodes 13a and 13b of the liquid crystal display device of the present embodiment shown in FIG. 1 and an applied voltage of 0-6 V is applied to the liquid crystal display device of the present embodiment. When the characteristics were evaluated, the liquid crystal molecules in the liquid crystal alignment regions C and D exhibited a characteristic in which the liquid crystal molecules in the liquid crystal alignment regions C and D were uniformly tilted to the right and left without disturbing the alignment at a voltage of about 2 V or more. , Vertical viewing angle is 12
0 degree, transmittance 70%, response speed 20 ms, a high response, a wide field of view, a high contrast display characteristic, and a high yield homeotropic liquid crystal display device without rubbing. I got it.
【0031】(実施の形態2)以下では本発明の実施の
形態2における液晶表示装置について図2を参照しなが
ら説明する。なお、図2(a)は平面図、図2(b)は
断面図を示している。Embodiment 2 Hereinafter, a liquid crystal display device according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIG. 2A is a plan view, and FIG. 2B is a cross-sectional view.
【0032】本実施の形態は、基本的には上記の実施の
形態1と類似したものであり、上記の実施の形態1では
図1におけるX−X’方向にしか傾斜していない傾斜膜
を形成したのに対して、本実施の形態ではX−X’方向
だけでなく、X−X’方向と垂直なY−Y’方向にも傾
斜した傾斜膜を形成している点が異なる。This embodiment is basically similar to the above-described first embodiment. In the first embodiment, a gradient film that is only tilted in the direction XX ′ in FIG. In contrast to the formation, the present embodiment is different in that an inclined film is formed not only in the XX 'direction but also in the YY' direction perpendicular to the XX 'direction.
【0033】図2において、21、22は基板、23
a、23bは表示電極、24a、24bは傾斜膜、25
a、25bは垂直配向膜、26は液晶層、27a、27
b、28a、28bは液晶分子、29、210は偏光
板、211は位相差板を示している。In FIG. 2, reference numerals 21 and 22 denote substrates, 23
a and 23b are display electrodes; 24a and 24b are inclined films;
a and 25b are vertical alignment films, 26 is a liquid crystal layer, 27a and 27
b, 28a and 28b are liquid crystal molecules, 29 and 210 are polarizing plates, and 211 is a retardation plate.
【0034】図2(a)及び(b)に示すように、電圧
印加制御するためのスイッチング素子212、表示電極
23bを配置した基板22と、それと対向する表示電極
23aを配置した基板21上に、上記の実施の形態1と
同様な材料で、同様な形状で傾斜膜24a、24bを
X、X’方向のみならず、Y−Y’方向の両側にも傾斜
させて凹凸状の傾斜物をそれぞれ形成する。As shown in FIGS. 2A and 2B, a switching element 212 for controlling voltage application, a substrate 22 on which a display electrode 23b is disposed, and a substrate 21 on which a display electrode 23a opposed thereto are disposed. By using the same material as that of the first embodiment and inclining the inclined films 24a and 24b in the same shape not only in the X and X 'directions but also on both sides in the YY' direction, the uneven inclined object is formed. Form each.
【0035】そして上記の実施の形態1と同様な材料か
らなる垂直配向膜25a、25bを上記傾斜膜24a、
24b表面上に塗布形成した後、上下左右に所定傾斜角
で互いに平行に傾斜した傾斜膜24a、24bを対向す
るように、上記基板を4μmの間隙で対向させ組み立
て、負の誘電率異方性の上記液晶材料を注入する。上下
基板に対して液晶分子27a、27b、液晶分子28
a、28bは互いに左右および上下反対方向にかつ反平
行に配向制御され、かつ基板法線から互いに若干傾斜し
ている(すなわち基板に対して反対方向にハイチルト角
で配向制御される)ので、図2(a)、(b)の如く、
液晶層8は境界bを境に互いに四方の反対方向に傾いた
配向方向を持つ4つの異なる液晶配向領域E、F、G、
Hを形成する。Then, the vertical alignment films 25a and 25b made of the same material as in the first embodiment are replaced with the inclined films 24a and
After coating and forming on the surface of the substrate 24b, the substrates are assembled facing each other with a gap of 4 μm so that the inclined films 24a and 24b inclined in parallel at a predetermined inclination angle in the vertical and horizontal directions are opposed to each other. Is injected. The liquid crystal molecules 27a and 27b and the liquid crystal molecules 28
Since a and 28b are oriented in right and left and up and down directions and antiparallel to each other and are slightly inclined from the substrate normal line (that is, the orientation is controlled at a high tilt angle in the opposite direction to the substrate). 2 (a), (b),
The liquid crystal layer 8 has four different liquid crystal alignment regions E, F, G, having alignment directions inclined in four opposite directions with respect to the boundary b.
Form H.
【0036】そして上記のように作製された上記液晶セ
ルに、偏光板29、210、負のフィルム位相差板21
1をその光学軸、光学位相差を所定にして配置し、本実
施形態の液晶表示装置を作製した。Then, the polarizing plates 29 and 210 and the negative film retarder 21 are added to the liquid crystal cell manufactured as described above.
1 was arranged with its optical axis and optical phase difference being predetermined, and a liquid crystal display device of the present embodiment was manufactured.
【0037】上記図2の液晶表示装置のスイッチング素
子212を通して表示電極23a、23b間に、0−6
Vの印加電圧を加えて本実施の形態の液晶表示装置の特
性を評価したところ、約2V以上で上記液晶配向領域
E、F、G、Hの液晶分子はその配向が乱れることなく
左右および上下方向に均一に傾斜していくホメオトロピ
ック型配向4分割の特性を示し、正面コントラストが3
00、左右視野角が160度、上下視野角が160度、
透過率60%、応答速度20msが得られ、実施の形態
1よりも更に超広視野の応答が速い明るくコントラスト
の高い高性能の表示特性で、かつラビング処理をするこ
とがない歩留まりの高いホメオトロピック型の液晶表示
装置が得られた。2 through the switching element 212 of the liquid crystal display device shown in FIG. 2 and between the display electrodes 23a and 23b.
When the characteristics of the liquid crystal display device of the present embodiment were evaluated by applying an applied voltage of V, the liquid crystal molecules in the liquid crystal alignment regions E, F, G, and H at about 2 V or more were aligned horizontally and vertically without disturbing the alignment. It shows the characteristics of homeotropic type alignment divided into four inclining uniformly in the direction, and the front contrast is 3
00, the horizontal viewing angle is 160 degrees, the vertical viewing angle is 160 degrees,
60% transmittance and 20 ms response speed, a super-wide-field response faster than that of Embodiment 1, high-brightness, high-contrast, high-performance display characteristics, and a high yield without rubbing. -Type liquid crystal display device was obtained.
【0038】以上の実施の形態1及び2においては、画
素内の液晶層に2、4つの異なる液晶配向領域を形成し
たが、傾斜方向が1つの液晶配向領域を画素内に1つの
み形成しても良く、さらに4つより多い複数の液晶配向
領域を形成しても良く、この場合は複数の配向分割を形
成することになり、更に視野角は改良される。In the first and second embodiments, two or four different liquid crystal alignment regions are formed in the liquid crystal layer in the pixel. However, only one liquid crystal alignment region having one tilt direction is formed in the pixel. Alternatively, more than four liquid crystal alignment regions may be formed. In this case, a plurality of alignment divisions are formed, and the viewing angle is further improved.
【0039】また、画素対向部分に傾斜して配置される
垂直配向膜は画素領域内の一部分にのみ形成されていて
も良いが、上記の図の如く傾斜する垂直配向膜は画素領
域内全体に配置されることが好ましい。更に、基板間
隙、画素の形状によっては上記傾斜膜は画素内で繰り返
し形成されてもよい。The vertical alignment film inclined at the pixel facing portion may be formed only on a part of the pixel region. However, the vertical alignment film inclined as shown in the above figure is formed over the entire pixel region. Preferably, they are arranged. Further, depending on the substrate gap and the shape of the pixel, the above-mentioned inclined film may be repeatedly formed in the pixel.
【0040】また、上記のように、更に広視野化特性と
するため、光学補償すべく対向する上記基板の外側に負
の位相差板からなるフィルム位相差板を備えたが、これ
に更に残留位相差を補償するため、1軸異方性のフィル
ム位相差板などを必要に応じて加えると更に効果は大き
くなる。As described above, in order to further increase the field of view, a film retardation plate comprising a negative retardation plate is provided outside the opposing substrate for optical compensation. If a uniaxial anisotropic film retardation plate or the like is added as needed to compensate for the retardation, the effect is further enhanced.
【0041】また、上記で透過型の液晶表示装置とした
が一方の前記基板あるいは表示電極がSiなどの光反射
基板あるいはAlなどの光反射表示電極であってもよ
く、この場合高速応答で視角の広い高コントラストの反
射型の液晶表示装置とすることができる。In the above description, the transmission type liquid crystal display device is used. However, one of the substrates or the display electrodes may be a light reflection substrate such as Si or a light reflection display electrode such as Al. And a high-contrast reflective liquid crystal display device having a large width.
【0042】(実施の形態3)以下では、本発明の実施
の形態3に関わる液晶表示装置の製造方法について、そ
の製造工程断面図を示す図3を参照しながら説明する。
なお、本実施の形態における製造方法は、対向する一対
の基板の双方に対してほぼ同様に為されるわけである
が、以下では一方の基板に対してのプロセスを代表して
説明する。Embodiment 3 Hereinafter, a method for manufacturing a liquid crystal display device according to Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to FIGS.
Although the manufacturing method in the present embodiment is performed in substantially the same manner for both of a pair of substrates facing each other, a process for one substrate will be described below as a representative.
【0043】まず図3(a)に示すように、基板31の
画素部分上にITOなどからなる表示電極32を形成す
る。次に、各表示電極32上に、ポジ型感光性ポリマー
からなるレジスト薄膜33を塗布形成し、その後、上記
のレジスト薄膜33にパターン34、35のように例え
ば2つに分割してその光透過度を漸次変化させたフォト
マスク36を通して、紫外線37を照射し露光する。First, as shown in FIG. 3A, a display electrode 32 made of ITO or the like is formed on a pixel portion of a substrate 31. Next, on each display electrode 32, a resist thin film 33 made of a positive photosensitive polymer is applied and formed. Then, the resist thin film 33 is divided into, for example, two patterns like the patterns 34 and 35, and the light transmission is performed. Ultraviolet rays 37 are irradiated and exposed through a photomask 36 whose degree is gradually changed.
【0044】その後、紫外線露光された上記レジスト薄
膜33を通常のフォトリソ工程に従って現像、リンス、
ベーキングを行うことによって、図3(b)に示すよう
に、レジスト薄膜33の厚みが漸次変化して、その表面
が高さ中心から左右に傾斜したレジスト薄膜による凸型
の傾斜膜38を基板画素部分に形成する。Thereafter, the resist thin film 33 exposed to ultraviolet rays is developed, rinsed,
By performing the baking, as shown in FIG. 3B, the thickness of the resist thin film 33 gradually changes, and the convex inclined film 38 of the resist thin film whose surface is inclined left and right from the height center is formed on the substrate pixel. Form on the part.
【0045】次に図3(c)に示すように、傾斜膜38
の表面上に例えば日本合成ゴム(株)社製品のJALS
−204ポリイミド系の垂直配向膜39を形成する。な
お、他方の基板に対してはフォトマスクの漸次変化する
透過度パターンを境界から逆に変化させて上記と同様の
工程で凹型の傾斜膜を製造する。Next, as shown in FIG.
On the surface of, for example, JALS manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.
The -204 polyimide vertical alignment film 39 is formed. Note that, for the other substrate, a concave gradient film is manufactured in the same process as above by changing the transmissivity pattern of the photomask gradually changing from the boundary.
【0046】そして、上記一対の基板の画素対向部分に
形成された上記垂直配向膜表面の傾斜方向を互いに平行
になるように対向させ、かつ間隙約4μmを有するよう
に貼り合わせ、その間隙に、負の誘電率異方性の液晶分
子を含む液晶材料MT−951152を注入して液晶セ
ルを組立て、偏光板、フィルム位相板を張り合わせて液
晶表示装置を製造する。この製造法によって、液晶分子
が互いに反平行に配向し、かつ左右反対方向に傾斜した
2つの液晶配向領域を持つホメオトロピック型の液晶表
示装置を得ることができる。Then, the surfaces of the vertical alignment films formed at the pixel-facing portions of the pair of substrates are opposed to each other so that the inclination directions thereof are parallel to each other, and are bonded so as to have a gap of about 4 μm. A liquid crystal material MT-951152 containing liquid crystal molecules having a negative dielectric anisotropy is injected to assemble a liquid crystal cell, and a polarizing plate and a film phase plate are laminated to manufacture a liquid crystal display device. According to this manufacturing method, a homeotropic liquid crystal display device having two liquid crystal alignment regions in which liquid crystal molecules are aligned antiparallel to each other and tilted in opposite directions can be obtained.
【0047】なお、上記では、フォトマスクのパターン
をほぼ中心からX、X’方向に左右に分割してその透過
度を漸次変化させ、傾斜膜を左右に傾斜して作成し、2
つの液晶配向領域を持つ液晶表示装置を作ったが、その
パターンを上下左右4つなど更に複数に分割し透過度を
漸次変化させても良く、この場合、4つなど更に複数の
液晶配向領域を持つホメオトロピック型の液晶表示装置
を作ることができる。また、レジストとしてポジ型のレ
ジストを使用したが、ネガ型のものでもフォトマスクの
パターン透過度を逆に変化させれば良いことは言うまで
もない。In the above, the pattern of the photomask is divided into the left and right directions in the X and X 'directions substantially from the center, the transmittance is gradually changed, and the inclined film is formed by being inclined left and right.
Although a liquid crystal display device having one liquid crystal alignment region was made, the pattern may be further divided into a plurality of four, such as upper, lower, left, and right, and the transmittance may be gradually changed. A homeotropic liquid crystal display device having the same can be manufactured. Although a positive type resist is used as a resist, it goes without saying that a negative type may be used by changing the pattern transmittance of the photomask in reverse.
【0048】(実施の形態4)以下では、本発明の実施
の形態4に関わる液晶表示装置の製造方法について、そ
の製造工程断面図を示す図4を参照しながら説明する。
なお、本実施の形態における製造方法も、対向する一対
の基板の双方に対してほぼ同様に為されるわけである
が、以下では一方の基板に対してのプロセスを代表して
説明する。Embodiment 4 Hereinafter, a method for manufacturing a liquid crystal display device according to Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to FIGS.
Although the manufacturing method in the present embodiment is performed in substantially the same manner for both of a pair of opposing substrates, a process for one substrate will be described below as a representative.
【0049】まず図4(a)に示すように、基板41の
画素部分上にITOなどからなる表示電極42を形成
し、その後、基板41の画素部分上にSiO2のような
絶縁膜43を約1μmの厚さで形成する。さらに、絶縁
膜43の上に例えばポジ型のレジスト薄膜44を塗布形
成し、レジスト薄膜44を、パターン45、46のよう
に2つに分割してその光透過度をほぼ境界から漸次変化
させたフォトマスク47を通して、紫外線48を照射し
露光する。First, as shown in FIG. 4A, a display electrode 42 made of ITO or the like is formed on a pixel portion of a substrate 41, and then an insulating film 43 such as SiO 2 is formed on the pixel portion of the substrate 41. It is formed with a thickness of about 1 μm. Further, for example, a positive resist thin film 44 is formed by coating on the insulating film 43, and the resist thin film 44 is divided into two like patterns 45 and 46, and the light transmittance is gradually changed substantially from the boundary. Through a photomask 47, ultraviolet rays 48 are irradiated and exposed.
【0050】その後、紫外線露光された上記レジスト薄
膜44を通常のフォトリソ工程に従って現像、リンス、
ベーキングを行って、図4(b)に示すように上記レジ
スト薄膜44の厚みを漸次変化させた傾斜薄膜49を形
成する。Thereafter, the resist thin film 44 exposed to ultraviolet rays is developed, rinsed,
Baking is performed to form an inclined thin film 49 in which the thickness of the resist thin film 44 is gradually changed as shown in FIG.
【0051】次に、上記の傾斜薄膜49を通して、上記
絶縁膜43をドライエッチングして絶縁膜の厚みを漸次
傾斜させて、図4(c)の如く傾斜絶縁膜410を形成
する。Next, the insulating film 43 is dry-etched through the inclined thin film 49 to gradually incline the thickness of the insulating film, thereby forming an inclined insulating film 410 as shown in FIG.
【0052】そして、図4(d)に示すように、傾斜絶
縁膜410の上に例えば日本合成ゴム(株)社製ポリイ
ミドJALS−204を使用して垂直配向膜411を形
成する。なお、他方の基板に対してはフォトマスクの漸
次変化する透過度パターンを境界から逆に変化させて上
記と同様の工程で製造する。Then, as shown in FIG. 4D, a vertical alignment film 411 is formed on the inclined insulating film 410 using, for example, polyimide JALS-204 manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. The other substrate is manufactured in the same process as described above, except that the gradually changing transmittance pattern of the photomask is changed in reverse from the boundary.
【0053】上記一対の基板の画素対向部分に形成され
た上記垂直配向膜表面の傾斜方向を互いに平行になるよ
うに対向させ、かつ間隙約4μmを有するように貼り合
わせ、その間隙に、負の誘電率異方性の液晶分子を含む
液晶材料MT−951152を注入して液晶セルを組立
て、偏光板、フィルム位相板を張り合わせて液晶表示装
置を製造する。この製造方法によって、液晶分子が互い
に反平行に配向し、かつ左右反対方向に傾斜した2つの
液晶配向領域を持つホメオトロピック型の液晶表示装置
を得ることができる。The surfaces of the vertical alignment films formed at the pixel-facing portions of the pair of substrates are opposed to each other so that the inclination directions thereof are parallel to each other, and are bonded so as to have a gap of about 4 μm. A liquid crystal material MT-951152 containing liquid crystal molecules having dielectric anisotropy is injected to assemble a liquid crystal cell, and a polarizing plate and a film phase plate are laminated to manufacture a liquid crystal display device. According to this manufacturing method, it is possible to obtain a homeotropic liquid crystal display device having two liquid crystal alignment regions in which liquid crystal molecules are aligned antiparallel to each other and inclined in opposite directions.
【0054】なお、上記で、フォトマスクのパターンを
ほぼ中心からX、X’方向に左右に分割してその透過度
を漸次変化させて、傾斜膜を左右に傾斜して作成し、2
つの液晶配向領域を持つ液晶表示装置を作ったが、その
パターンを4つなど更に複数に分割し透過度を漸次変化
させても良く、この場合、4つなど更に複数の液晶配向
領域を持つホメオトロピック型の液晶表示装置を作るこ
とができる。また、レジストとしてポジ型のレジストを
使用したが、ネガ型のものでもフォトマスクのパターン
透過度を逆に変化させれば良いことは言うまでもない。In the above, the pattern of the photomask is divided right and left from the center substantially in the X and X 'directions, the transmittance is gradually changed, and the inclined film is formed to be inclined left and right.
Although a liquid crystal display device having one liquid crystal alignment region was made, the pattern may be further divided into a plurality of regions, such as four, and the transmittance may be gradually changed. A tropic liquid crystal display device can be manufactured. Although a positive type resist is used as a resist, it goes without saying that a negative type may be used by changing the pattern transmittance of the photomask in reverse.
【0055】(実施の形態5)以下では本発明の実施の
形態5における液晶表示装置について図5を参照しなが
ら説明する。なお、図5(a)は平面図、図5(b)は
断面図を示している。Embodiment 5 Hereinafter, a liquid crystal display according to Embodiment 5 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 5A is a plan view, and FIG. 5B is a cross-sectional view.
【0056】図5(b)において、対向する一方のガラ
スの基板52上に電圧印加を制御するためのTFT素子
からなるスイッチィング素子53とその上に表面を平坦
にするために平坦化膜54を設けて基板表面を平坦化す
る。この平坦化膜54の上にITOの透明電極からなる
表示電極55bを約10μm幅の分割部55cを中間に
設けて表示電極を分割する。上記スイッチング素子53
と表示電極55bは平坦化膜54に開けた穴を通して電
気接続する。In FIG. 5B, a switching element 53 composed of a TFT element for controlling voltage application and a flattening film 54 for flattening the surface on one glass substrate 52 facing the other. Is provided to planarize the substrate surface. On the flattening film 54, a display electrode 55b composed of a transparent electrode of ITO is provided with a dividing portion 55c having a width of about 10 μm in the middle to divide the display electrode. The switching element 53
And the display electrode 55b are electrically connected through a hole formed in the flattening film 54.
【0057】他方の基板51面上には、表示電極55a
を配置する。上記の表示電極55a、55b表面上に対
向して互いに平行に漸次その厚みが変化して傾斜するほ
ぼ透明な感光性ポリマー材料のレジスト薄膜やSi02
などの絶縁薄膜から作った傾斜膜56a、56bを形成
し配置する。On the other substrate 51, a display electrode 55a is provided.
Place. An almost transparent photosensitive polymer material resist thin film or SiO 2 which gradually and gradually changes in thickness in parallel with each other facing the display electrodes 55 a and 55 b.
The inclined films 56a and 56b made of insulating thin films such as those described above are formed and arranged.
【0058】その形状は、図5(a)において、X、
X’の中程の位置で高さ約1μm、その左右に約50μ
mの長さに渡って画素全体に漸次厚さを減少させて形成
させる。この時、上記対向して形成された傾斜膜56
a、56bの互いの傾斜角は基板面X−X’に対して約
0。6度を左右に平行して形成することになる。なお、
上記感光性ポリマーの高さ、長さは必要な傾斜角からほ
ぼ決められ、上記数値の他の数値でも良い。従って、傾
斜膜56bは凸状の傾斜物を、傾斜膜56aは凹状の傾
斜物を互いに対向させて形成することになる。In FIG. 5A, the shape is X,
Approximately 1 μm high in the middle of X ', approximately 50 μm to the left and right
The thickness of the entire pixel is gradually reduced over the length of m. At this time, the inclined film 56 formed opposite to the above.
The inclination angles of a and 56b are formed to be approximately 0.6 degrees parallel to the left and right with respect to the substrate plane XX '. In addition,
The height and length of the photosensitive polymer are substantially determined from the required inclination angle, and may be other values than the above values. Therefore, the inclined film 56b is formed with a convex inclined object, and the inclined film 56a is formed with a concave inclined object facing each other.
【0059】次に、この左右に傾斜した傾斜膜56a、
56bの対向した表面上に、ポリイミド、ポリシロキサ
ン、シラン系単分子材料などからなる垂直配向膜57
a、57bを、例えば日本合成ゴム(株)社製JALS
−204ポリイミド材料の場合約1000Åの厚さで、
単分子材料の場合には数十Åの厚さで塗布乾燥あるいは
塗布焼成し形成する。上記の画素対向部分に形成された
垂直配向膜57a、57bの膜面は、基板面X−X’に
対して互いに平行に約0、6度の傾斜角で傾斜して配置
されることになる。Next, the inclined films 56a inclined to the left and right,
A vertical alignment film 57 made of polyimide, polysiloxane, silane-based monomolecular material, etc.
a and 57b are, for example, JALS manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.
About 1000mm thick for -204 polyimide material,
In the case of a monomolecular material, it is formed by coating and drying or coating and baking with a thickness of several tens of millimeters. The film surfaces of the vertical alignment films 57a and 57b formed in the above-mentioned pixel facing portions are arranged at an inclination angle of about 0 or 6 degrees in parallel with the substrate surface XX '. .
【0060】上記の様に対向して垂直配向膜57a、5
7bを傾斜して形成した基板を約4μmの一定の間隙で
対向させ、その間に誘電率異方性が負の液晶分子を含む
例えばメルク社のネマティック液晶MT−951152
を注入し液晶層58を形成する。垂直配向膜57a、5
7b面近傍の液晶分子59a、59b及び510a、5
10bは、上記基板に対して互いに左右反対方向にかつ
反平行に配向制御され、かつ基板法線から互いに上記傾
斜角とほぼ同一の傾斜角で(すなわち基板に対して約8
9度の反対符号のハイチルト角で)配向されるので、図
5(a)、(b)の如く、液晶層58は境界cを境に互
いに反対方向に傾いた配向方向を持つ液晶配向領域I、
Jを形成する。As described above, the vertical alignment films 57a,
Substrates 7b are formed so as to be inclined with a constant gap of about 4 μm, and a liquid crystal molecule having a negative dielectric anisotropy, for example, a nematic liquid crystal MT-951152 from Merck Inc.
To form a liquid crystal layer 58. Vertical alignment films 57a, 5
The liquid crystal molecules 59a, 59b and 510a,
10b, the orientation of the substrate is controlled in opposite directions to the left and right and anti-parallel with respect to the substrate, and is substantially the same as the inclination from the substrate normal (that is, about 8 degrees with respect to the substrate).
As shown in FIGS. 5A and 5B, the liquid crystal layer 58 has a liquid crystal alignment region I having alignment directions inclined in opposite directions with respect to the boundary c, as shown in FIGS. ,
Form J.
【0061】こうしてラビング処理せずに作製した液晶
セルに、偏光板511、512、負のフィルム位相差板
513をその光学軸、光学位相差を所定にして配置し、
本実施の形態の液晶表示装置を作製した。The polarizing plates 511 and 512 and the negative film retardation plate 513 are arranged on the liquid crystal cell thus produced without the rubbing treatment, with its optical axis and optical retardation being predetermined.
A liquid crystal display device of this embodiment mode was manufactured.
【0062】以上のようにして形成された図5に示す液
晶表示装置の表示電極55a、55bに駆動回路を接続
し、0−6Vの印加電圧を加えて本実施の形態の液晶表
示装置の特性を評価したところ、約2V付近で上記液晶
配向領域I、Jの液晶分子59a、59bおよび510
a、510bはその配向が乱れることなくそれぞれの液
晶配向領域を左右により均一に安定して傾斜する特性を
示した。これは、本実施の形態で分割された表示電極の
分割部の端部および表示電極端部で発生するフリンジ電
界歪みにより液晶分子配向が一方に規制されることと、
上記傾斜膜による液晶配向領域形成とが加味されて、よ
り均一に安定した動作特性を示す。その結果、正面コン
トラストが500、左右視野角が160度、上下視野角
が120度、透過率60%、応答速度20msが得ら
れ、応答の速い広視野の明るくコントラストの高い表示
特性が得られ、かつラビング処理をすることがない歩留
まりの高いホメオトロピック型の液晶表示装置が得られ
た。A driving circuit is connected to the display electrodes 55a and 55b of the liquid crystal display device shown in FIG. 5 formed as described above, and a voltage of 0-6 V is applied to apply characteristics of the liquid crystal display device of the present embodiment. The liquid crystal molecules 59a, 59b and 510 of the liquid crystal alignment regions I and J were evaluated at about 2 V.
a and 510b exhibited characteristics in which the respective liquid crystal alignment regions were inclined more uniformly and stably to the left and right without disturbing the alignment. This is because the alignment of the liquid crystal molecules is restricted to one by the fringe electric field distortion generated at the end of the divided portion of the display electrode and the end of the display electrode divided in the present embodiment,
Taking into account the formation of the liquid crystal alignment region by the inclined film, a more uniform and stable operating characteristic is exhibited. As a result, a front contrast of 500, a horizontal viewing angle of 160 degrees, a vertical viewing angle of 120 degrees, a transmittance of 60%, and a response speed of 20 ms are obtained. In addition, a homeotropic liquid crystal display device having a high yield without rubbing was obtained.
【0063】なお、上記では、液晶配向領域を2つとし
たが、4つ以上の複数の液晶配向領域を形成するように
表示電極を分割し、それに対応して傾斜膜を設けて、更
に超広視野にすることもできる。In the above description, the number of the liquid crystal alignment regions is two. However, the display electrodes are divided so as to form four or more liquid crystal alignment regions, and a gradient film is provided corresponding to the display electrodes to further increase the ultra wide area. It can also be a field of view.
【0064】また、画素対向部分に傾斜して配置される
垂直配向膜は画素領域内の一部分に形成されていても良
いが、望ましくは上記図5の如く傾斜する垂直配向膜は
画素領域内全体に配置される。さらに、基板間隙、画素
の形状によっては上記傾斜膜は画素内で繰り返し形成さ
れてもよい。The vertical alignment film inclined at the pixel-facing portion may be formed in a part of the pixel region. However, the vertical alignment film inclined as shown in FIG. Placed in Further, depending on the gap between the substrates and the shape of the pixel, the inclined film may be repeatedly formed in the pixel.
【0065】また、上記のように、更に広視野化特性と
するため、光学補償すべく対向する上記基板の外側に負
の位相差板からなるフィルム位相差板を備えたが、これ
に更に残留位相差を補償するため、1軸異方性のフィル
ム位相差板などを必要に応じて加えても更に効果は大き
くなる。As described above, in order to further increase the field of view, a film retardation plate comprising a negative retardation plate is provided outside the opposing substrate for optical compensation. Even if a uniaxially anisotropic film retardation plate or the like is added as needed to compensate for the retardation, the effect is further enhanced.
【0066】また、上記で透過型の液晶表示装置とした
が一方の前記基板あるいは表示電極がSiなどの光反射
基板あるいはAlなどの光反射表示電極であってもよ
く、この場合高速応答で視角の広い高コントラストの反
射型の液晶表示装置とすることができる。Although the transmission type liquid crystal display device is described above, one of the substrates or the display electrodes may be a light reflection substrate such as Si or a light reflection display electrode such as Al. And a high-contrast reflective liquid crystal display device having a large width.
【0067】[0067]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、従来の配
向2分割TNモード、IPSモードによるそれぞれの液
晶表示装置の表示性能の欠点を改善し、従来のホメオト
ロピック配向2分割による液晶表示装置のラビング処理
工程を不要とし、簡単に基板表示電極上に傾斜膜を画素
内全体に形成製造することによって、極めて安定で均一
な複数の液晶配向領域を設けることができ、製造歩留ま
りの高い、配向欠陥が無く表示品質の良いホメオトロピ
ック型配向分割の超広視野で高速応答かつ高輝度の液晶
表示装置を得ることができる。As described above, according to the present invention, the disadvantages of the display performance of each of the conventional liquid crystal display devices in the two-divided TN mode and the IPS mode can be improved, and the liquid crystal display by the conventional two-dimensional homeotropic alignment can be improved. By eliminating the need for a rubbing process of the device and easily forming and manufacturing a tilted film on the entire substrate display electrode within the pixel, it is possible to provide a plurality of extremely stable and uniform liquid crystal alignment regions, and achieve a high manufacturing yield. It is possible to obtain a liquid crystal display device with high response speed and high brightness in an ultra-wide field of view of homeotropic type alignment division having good display quality without alignment defects.
【図1】本発明の実施の形態1における液晶表示装置の
構成を示す平面図及び断面図FIG. 1 is a plan view and a cross-sectional view illustrating a configuration of a liquid crystal display device in Embodiment 1 of the present invention.
【図2】本発明の実施の形態2における液晶表示装置の
構成を示す平面図及び断面図FIGS. 2A and 2B are a plan view and a cross-sectional view illustrating a configuration of a liquid crystal display device in Embodiment 2 of the present invention. FIGS.
【図3】本発明の実施の形態3における液晶表示装置の
製造工程断面図FIG. 3 is a sectional view showing a manufacturing process of the liquid crystal display device according to Embodiment 3 of the present invention.
【図4】本発明の実施の形態4における液晶表示装置の
製造工程断面図FIG. 4 is a sectional view showing a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the fourth embodiment of the present invention.
【図5】本発明の実施の形態5における液晶表示装置の
構成を示す平面図及び断面図5A and 5B are a plan view and a cross-sectional view illustrating a configuration of a liquid crystal display device in Embodiment 5 of the present invention.
【図6】従来の液晶表示装置の構成を示す断面図FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a configuration of a conventional liquid crystal display device.
11,12 基板 13a,13b 表示電極 14a,14b 傾斜膜 15a,15b 垂直配向膜 16 液晶層 17a,17b,18a,18b 液晶分子 19,110 偏光板 111 位相差板 21,22 基板 23a,23b 表示電極 24a,24b 傾斜膜 25a,25b 垂直配向膜 26 液晶層 27a,27b,28a,28b 液晶分子 29,210 偏光板 211 位相差板 212 スイッチング素子 31 基板 32 表示電極 33 レジスト薄膜 34,35 パターン 36 フォトマスク 37 紫外線 38 傾斜膜 41 基板 42 表示電極 43 絶縁膜 44 レジスト薄膜 45,46 パターン 47 フォトマスク 48 紫外線 49 傾斜薄膜 410 傾斜絶縁膜 51,52 基板 53 スイッチィング素子 54 平坦化膜 55a,55b 表示電極 56a,56b 傾斜膜 57a,57b 垂直配向膜 58 液晶層 59a,59b,510a,510b 液晶分子 511,512 偏光板 513 位相差板 61,62 基板 63,64 表示電極 65a,65b,66a,66b 配向膜 67a,67b 液晶分子 11, 12 Substrate 13a, 13b Display electrode 14a, 14b Inclined film 15a, 15b Vertical alignment film 16 Liquid crystal layer 17a, 17b, 18a, 18b Liquid crystal molecule 19, 110 Polarizing plate 111 Retardation plate 21, 22 Substrate 23a, 23b Display electrode 24a, 24b Inclined film 25a, 25b Vertical alignment film 26 Liquid crystal layer 27a, 27b, 28a, 28b Liquid crystal molecule 29, 210 Polarizing plate 211 Phase difference plate 212 Switching element 31 Substrate 32 Display electrode 33 Resist thin film 34, 35 Pattern 36 Photo mask 37 ultraviolet ray 38 inclined film 41 substrate 42 display electrode 43 insulating film 44 resist thin film 45, 46 pattern 47 photomask 48 ultraviolet light 49 inclined thin film 410 inclined insulating film 51, 52 substrate 53 switching element 54 flattening film 55a, 55b Poles 56a, 56b Inclined films 57a, 57b Vertical alignment films 58 Liquid crystal layers 59a, 59b, 510a, 510b Liquid crystal molecules 511, 512 Polarizers 513 Retardation plates 61, 62 Substrates 63, 64 Display electrodes 65a, 65b, 66a, 66b Alignment Film 67a, 67b Liquid crystal molecules
Claims (7)
して配置された一対の基板間に誘電率異方性が負の液晶
分子を含む液晶層が設けられ、前記基板の外側に少なく
とも1枚の偏光板を有する液晶表示装置であって、前記
一対の基板の画素対向部分の前記垂直配向膜の膜面が、
前記基板面に対して互いに平行に所定の傾斜角で傾斜し
て配置され、前記垂直配向膜面近傍の前記液晶分子が前
記基板の法線に対して前記傾斜角とほぼ同一の傾斜角で
互いに反平行に配向制御されていることを特徴とする液
晶表示装置。A liquid crystal layer including liquid crystal molecules having a negative dielectric anisotropy is provided between a pair of substrates disposed opposite to each other, the display electrodes and a vertical alignment film; A liquid crystal display device having at least one polarizing plate, wherein a film surface of the vertical alignment film in a pixel-facing portion of the pair of substrates is
The liquid crystal molecules in the vicinity of the vertical alignment film surface are arranged in parallel with each other at a predetermined inclination angle with respect to the substrate surface, and the liquid crystal molecules near each other at the same inclination angle with respect to the normal of the substrate. A liquid crystal display device having an anti-parallel orientation control.
分割され、前記液晶配向領域の垂直配向膜面近傍の液晶
分子が互いに異なる方向に、かつ基板法線に対して互い
にほぼ所定の傾斜角で反平行に配向制御されていること
を特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。2. The liquid crystal layer is divided into at least two liquid crystal alignment regions, and liquid crystal molecules in the vicinity of the vertical alignment film surface of the liquid crystal alignment region are in different directions from each other and have a substantially predetermined inclination angle with respect to the substrate normal. 2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the alignment is controlled to be antiparallel.
向膜が画素領域内全体に配置されていることを特徴とす
る請求項1または2に記載の液晶表示装置。3. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the vertical alignment film inclined at the pixel facing portion is disposed over the entire pixel region.
少なくとも1枚のフィルム位相差板を有することを特徴
とする請求項1〜3いずれかに記載の液晶表示装置。4. The liquid crystal display device according to claim 1, further comprising at least one film retardation film including a negative retardation film outside the opposing substrate.
示電極及び垂直配向膜とを備え、前記基板の画素内に形
成された表示電極の少なくとも一方の表示電極が分割さ
れ、前記基板の一方の表示電極の下に表面を平坦にする
平坦化膜及び前記平坦化膜の穴を通して前記表示電極と
接続されたスイッチング素子とが配置され、対向する前
記基板の間に配置された誘電率異方性が負のネマティッ
ク液晶層及び前記基板の外側に少なくとも1枚の偏光板
とフィルム位相差板とを有する液晶表示装置であって、
前記液晶層が少なくとも2つの液晶配向領域に分割さ
れ、前記液晶配向領域の前記垂直配向膜面が、前記基板
面に対して互いに平行に所定の傾斜角で傾斜して配置さ
れ、前記垂直配向膜面近傍の前記液晶分子が互いに異な
る方向に、かつ前記基板法線に対して互いにほぼ前記傾
斜角で反平行に配向制御されていることを特徴とする液
晶表示装置。5. A display device comprising: a pair of substrates disposed opposite to each other; a display electrode and a vertical alignment film, wherein at least one of the display electrodes formed in pixels of the substrate is divided, and A flattening film for flattening the surface under one of the display electrodes and a switching element connected to the display electrode through a hole in the flattening film, and a dielectric constant arranged between the opposing substrates. An anisotropic liquid crystal display device having a negative nematic liquid crystal layer and at least one polarizing plate and a film retardation plate outside the substrate,
The liquid crystal layer is divided into at least two liquid crystal alignment regions, and the vertical alignment film surfaces of the liquid crystal alignment regions are arranged at a predetermined tilt angle in parallel with the substrate surface, and the vertical alignment film A liquid crystal display device wherein the liquid crystal molecules in the vicinity of a plane are aligned in directions different from each other and antiparallel to each other at substantially the same inclination angle with respect to the normal to the substrate.
が対向して配置された一対の基板間に誘電率異方性が負
の液晶分子を含む液晶層が設けられ、前記基板の外側に
少なくとも1枚の偏光板を備える液晶表示装置の製造方
法であって、前記基板の画素対向部分上に前記表示電極
を各々形成する表示電極形成工程と、前記各表示電極上
に感光性材料からなるレジスト薄膜を塗布形成するレジ
スト薄膜塗布形成工程と、前記レジスト薄膜に所定のパ
ターンで透過率が漸次変化するフォトマスクを通して紫
外線により照射露光する紫外線露光工程と、紫外線露光
された前記レジスト薄膜を現像、リンス、ベーキングし
て厚みを漸次変化させ表面を傾斜させた傾斜膜を前記画
素対向部分にそれぞれ形成させる傾斜膜形成工程と、前
記傾斜膜の表面上に前記垂直配向膜を各々形成する配向
膜形成工程と、前記一対の基板の画素対向部分に形成さ
れた前記垂直配向膜表面の傾斜方向が互いに平行になる
ように対向させ、かつ一定の間隙を有するように貼り合
わせ、前記間隙に前記液晶分子を含む液晶材料を注入し
て組み立てる組立工程とを有することを特徴とする液晶
表示装置の製造方法。6. A liquid crystal layer including liquid crystal molecules having a negative dielectric anisotropy is provided between a pair of substrates each having a display electrode and a vertical alignment film, and having pixels arranged to face each other. A method for manufacturing a liquid crystal display device comprising at least one polarizing plate on the outside, comprising: a display electrode forming step of forming the display electrodes on pixel-facing portions of the substrate; and a photosensitive material on each of the display electrodes. A resist thin film application forming step of applying and forming a resist thin film consisting of, an ultraviolet light exposing step of irradiating and exposing the resist thin film with ultraviolet light through a photomask whose transmittance gradually changes in a predetermined pattern, and Developing, rinsing, baking and gradually changing the thickness to form a gradient film having a gradient surface on each of the pixel-facing portions, and forming a gradient film on the surface of the gradient film. An alignment film forming step of forming each of the vertical alignment films, and the vertical alignment films formed on the pixel-facing portions of the pair of substrates are opposed to each other so that the inclination directions of the surfaces are parallel to each other, and have a certain gap. And bonding the liquid crystal material containing the liquid crystal molecules into the gap to assemble the liquid crystal material.
が対向して配置された一対の基板間に誘電率異方性が負
の液晶分子を含む液晶層が設けられ、前記基板の外側に
少なくとも1枚の偏光板を備える液晶表示装置の製造方
法であって、前記基板の画素対向部分上に前記表示電極
を各々形成する表示電極形成工程と、前記表示電極上に
各々絶縁薄膜を形成する絶縁薄膜形成工程と、前記絶縁
薄膜上に感光性ポリマー材料からなるレジスト薄膜を塗
布形成し、前記レジスト薄膜に所定のパターンで透過率
が漸次変化するフォトマスクを通して紫外線を露光した
後、現像、リンス、ベーキングをして、前記レジスト薄
膜の厚みを漸次変化させた傾斜薄膜を前記画素対向部分
に各々形成する傾斜薄膜形成工程と、前記傾斜薄膜を通
して前記絶縁膜をドライエッチングして前記絶縁膜の厚
みを漸次変化させて傾斜絶縁膜を形成する傾斜絶縁膜形
成工程と、前記表示電極上に前記垂直配向膜をそれぞれ
形成する配向膜形成工程と、前記一対の基板の画素対向
部分に形成された前記垂直配向膜表面の傾斜方向が互い
に平行になるように対向させ、かつ所定の間隙を有する
ように貼り合わせ、前記間隙に前記液晶分子を含む液晶
材料を注入して組み立てる組立工程とを有することを特
徴とする液晶表示装置の製造方法。7. A liquid crystal layer including liquid crystal molecules having a negative dielectric anisotropy is provided between a pair of substrates each having a display electrode and a vertical alignment film, and having pixels arranged to face each other. A method for manufacturing a liquid crystal display device comprising at least one polarizing plate on the outside, comprising: a display electrode forming step of forming the display electrodes on pixel-facing portions of the substrate; and an insulating thin film formed on the display electrodes. Forming an insulating thin film, forming a resist thin film made of a photosensitive polymer material on the insulating thin film, and exposing the resist thin film to ultraviolet light through a photomask whose transmittance gradually changes in a predetermined pattern, followed by development. Rinsing, baking, and forming an inclined thin film in which the thickness of the resist thin film is gradually changed in each of the pixel facing portions; and forming the insulating film through the inclined thin film. A step of forming a tilted insulating film by forming a tilted insulating film by gradually changing the thickness of the insulating film by ly etching; an alignment film forming step of forming each of the vertical alignment films on the display electrode; The liquid crystal material containing the liquid crystal molecules is injected into the gap so that the inclination directions of the surfaces of the vertical alignment films formed at the pixel facing portions are opposed to each other so as to be parallel to each other and have a predetermined gap. And assembling the liquid crystal display device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5047598A JPH11249141A (en) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | Liquid crystal display device and manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5047598A JPH11249141A (en) | 1998-03-03 | 1998-03-03 | Liquid crystal display device and manufacture thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11249141A true JPH11249141A (en) | 1999-09-17 |
Family
ID=12859933
Family Applications (1)
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JP (1) | JPH11249141A (en) |
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1998
- 1998-03-03 JP JP5047598A patent/JPH11249141A/en active Pending
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