JPH11185935A - 被処理材へ均一照射するライン型照射装置 - Google Patents
被処理材へ均一照射するライン型照射装置Info
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- JPH11185935A JPH11185935A JP35040197A JP35040197A JPH11185935A JP H11185935 A JPH11185935 A JP H11185935A JP 35040197 A JP35040197 A JP 35040197A JP 35040197 A JP35040197 A JP 35040197A JP H11185935 A JPH11185935 A JP H11185935A
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Abstract
に反射光を均一照射するようにしたものである。 【解決手段】 被処理材を移動させながら被処理材の移
送方向に対して直交する幅方向に光を照射する装置にお
いて、被処理材に光を照射するランプユニットが、わん
曲反射ミラーと、該わん曲反射ミラーの長手方向両端に
配置された端面反射ミラー25と、わん曲反射ミラーの
頂部にかつ端子部41がわん曲反射ミラー外に延出され
てその長手方向の両端部上に配置された凹状ランプ33
とから構成される。そして、ランプユニットの複数個を
被処理材の移動方向と直交する幅方向に相隣接せしめる
と共に隣接部の非照射部分が極力少なくなるよう接続し
て細長照射ブロックとし、細長照射ブロックからの光を
移動する被処理材の幅方向全体に焦点を結ばせてほぼ均
一に照射する。
Description
被処理材に光を照射せしめて熱的処理を行うために好適
であり、特に被処理材の移送方向と直交する幅方向の全
体に可能な限り照射ムラが発生しないように照射するこ
とができるようにした被処理材へ均一照射するライン型
照射装置に関する。
処理材に熱エネルギー源たとえば熱源ランプから発せら
れる光を付与して熱的処理たとえば乾燥処理することは
既に行われている。この熱源は、例えば一面が開口され
た直線状の集光ミラーの長手方向に沿って内面がわん曲
集光面に形成され、該わん曲集光ミラーの長手方向の両
端に側面集光体を着脱可能に取り付け、わん曲集光面内
にハロゲンランプを配置し、該ランプの両軸端部を側面
集光体のランプ挿入孔に挿入すると共に該ランプ端子部
を集光ミラーの長手方向の両端部から該長手方向に突出
させ、該突出端部を端子カバーで覆う構造であった。
(特開平7−211435号公報)。
このような種々の被処理材はますます幅広方向に長大化
して成形される傾向にあり、従って、上記構造の熱源で
は、照射長が集光ミラーの側面集光体間であるため、該
被処理材の幅方向寸法が集光ミラーの側面集光体間の範
囲内のものに限定される。更に、前記のランプ端子部は
集光ミラーの長手方向の両端部から該長手方向に突出さ
れ、その突出端部の全体を端子カバーで覆うため、集光
ミラーの長手方向の両端部に大きな非照射部が形成され
ると共に全体が長大化することになる。
囲より大きい被処理材の場合、被処理材の幅方向に沿っ
て熱源の複数個を相隣接して並列して配置することが考
えられるが、しかし、それぞれの熱源は長手方向の両端
部に非照射部を有する構造であるため、これらの熱源を
相隣接して組み合わせた場合、相隣接する熱源同志の接
続部にかなり大きな非照射部分いわゆるデッドスペース
が形成され、これが被処理材に対する照射ムラの原因と
なる。
め、例えば熱源の集光面を千鳥状に配置するか、あるい
は、熱源を長尺の単一集光ミラーとして形成することが
提案される。しかしながら、集光面を千鳥状配置にする
場合、大きな設置スペースを必要とし、かつ照射光が被
処理材に対して千鳥状のランダム照射となりライン状の
均一照射ができず、照射ムラの原因となる。また、熱源
寸法を長大化した場合には、ランプの軸線方向に沿って
歪みが発生し、心出しが難しくなる。
して照射ムラの原因を可能な限り解決するために研究開
発されたものであり、被処理材の移送方向と直交する幅
方向にランプユニットの複数個を相隣接して配置する場
合、相隣接するランプユニット間に形成される非照射部
分を極力小さくして、被処理材を移動させながら、被被
処理材の移送方向と直交する幅方向の全体にほぼ均一に
光照射を行うことができる被処理材の幅方向を均一照射
するライン型照射装置を提供するものである。本発明は
また、被処理材を移動させながら、被被処理材の移送方
向の全体にほぼ均一に光照射を行うことができる被処理
材の幅方向を均一照射するライン型照射装置を提供する
ものである。
動させながら該被処理材の移送方向に対して直交する幅
方向に光を照射する装置において、被処理材に光を照射
するランプユニットが、わん曲反射ミラーと、該わん曲
反射ミラーの長手方向両端に配置された端面反射ミラー
と、上記わん曲反射ミラーの頂部に近接しかつ端子部が
わん曲反射ミラー外に延出されてその長手方向の両端部
上に配置された凹状ランプとから構成される。このユニ
ット型のランプユニットの複数個を被処理材の移動方向
と直交する幅方向にかつ被処理材の幅方向の全体に反射
光がライン状に付与されるように相隣接せしめると共に
該隣接部の非照射部分が極力少なくされるよう接続して
細長照射ブロックとする。このように実質的に単一の形
態に組み立てられた細長照射ブロックからの反射光が移
動する被処理材の幅方向の全体にほぼ均一に照射される
ようにした被処理材の幅方向を均一照射するライン型照
射装置に関する。
上記わん曲反射ミラーの非反射面は、その長手方向に沿
いかつ該長手方向と直交する方向に適宜の間隔を保って
複数の冷却フインを備えた被処理材の幅方向を均一照射
するライン型照射装置に関する。更に本発明は、上記わ
ん曲反射ミラーの非反射面と任意の間隔を保ちかつ該わ
ん曲反射ミラーの長手方向に沿って配置された冷却通路
と、該冷却通路に設けられかつ該冷却通路に送り込まれ
た冷却空気を前記のわん曲反射ミラーの冷却フインに直
接吹きつける噴出孔とを備えた被処理材の幅方向を均一
照射するライン型照射装置に関する。
出孔は3つの方向に設けられ、その1つはわん曲反射ミ
ラーの頂部に指向され、他の2つはわん曲反射ミラーの
非反射面に指向され、冷却空気がわん曲反射ミラーの非
反射面の全体に吹きつけられる被処理材の幅方向を均一
照射するライン型照射装置に関し、これらの噴出孔は冷
却通路の軸線方向に沿って所定の間隔を持って穿孔され
ることが好ましい。
部に配置された凹状ランプは水平部と立ち上がり部とを
有し、該水平部に配置されたランプ発熱体が上記の立ち
上がり根元部の近くで終了され、該ランプ発熱体の終了
端部と端子部とがリード線で接続される被処理材の幅方
向を均一照射するライン型照射装置に関し、更に本発明
はランプユニットの長手方向の両端部上に位置せしめら
れた端子部とランプ発熱体とを接続するリード線は、ラ
ンプ発熱体から離れたランプユニットの冷却空間部に配
置される被処理材の幅方向を均一照射するライン型照射
装置に関する。
れる水平部と立ち上がり部を持った凹状ランプは、その
水平部の軸線方向の両端部がわん曲反射ミラーに着脱可
能に取り付けた上ランプストッパと端面反射ミラーに着
脱可能に取り付けた下ランプストッパとにより係脱可能
に保持した被処理材の幅方向を均一照射するライン型照
射装置に関し、更に本発明は前記の上ランプストッパと
下ランプストッパには、凹状ランプの水平部を挟持する
ために半円弧状をなすランプ受部を設けた被処理材の幅
方向を均一照射するライン型照射装置に関する。
るランプユニットが、わん曲反射ミラーと、該わん曲反
射ミラーの長手方向両端に配置された端面反射ミラー
と、上記わん曲反射ミラーの頂部に近接しかつ端子部が
わん曲反射ミラー外に延出されてその長手方向の両端部
上に配置された凹状ランプとから構成され、上記ランプ
ユニットの複数個を被処理材の移動方向に平行反射光を
付与するよう相隣接せしめると共に該隣接部の非照射部
分が極力少なくされるよう接続して細長照射ブロックと
し、上記の細長照射ブロックからの平行反射光が移動す
る被処理材の全体にほぼ均一に照射さるようにした被処
理材へ均一照射するライン型照射装置に関する。
施例を詳細に説明するが、本発明はこれらによって限定
されるものではない。図1において符号1は全体がユニ
ット型に構成されたランプユニットであり、該ランプユ
ニット1はわん曲反射ミラー2と端面反射ミラーと凹状
ランプ及び冷却通路とから構成される。上記のわん曲反
射ミラー2は、図2に詳しく示されるように断面形状が
ほぼ弓形状をした2つの反射ミラー3、3を互いに他と
合致せしめて一面が開口する半楕円状に組み立てられ
る。一対の反射ミラー3、3はその内側全面に金メッキ
処理が施され、反射効率が高めてある。
わち非反射面には複数枚の冷却フイン4、4が設けてあ
る。これらの冷却フイン4、4は図2及び図3に詳しく
示されるように、反射ミラー3、3の長手方向の全長に
沿いかつ該長手方向と直交する弓形(又は高さ)方向に
一定の間隔を保って一体に突出形成してある。冷却フイ
ン4、4はその根元部が肉厚でかつ先端部へ徐々に肉薄
に形成され、かつ適宜長に選択され、放熱効果が高めら
れるよう設計してある。
向と直交する弓形(又は高さ)方向の一端側に互いに他
と密接する接合部5、5が一体に設けられ、かつ他端側
には保持部6、6が一体に設けてある。これらの保持部
6、6には互いに対向する凹状の保持溝が形成され、該
保持溝に対して透明な耐熱ガラスからなる保護板7が取
外し可能に取付けてある。上記の反射ミラー3、3の接
合部5、5を互いに密接させて一体的に組み立てわん曲
反射ミラー2を形成し、該わん曲反射ミラー2により反
射せしめた反射光8をシート状の被処理材9に付与す
る。
部には、図3に示されるように一対のビス孔10、10
がそれぞれ明けてある。これらのビス孔10、10を使
用して上ランプストッパ11、11が着脱可能に取り付
けられる。上ランプストッパ11、11は、図4に詳細
に示されるように中央部に半円弧状のランプ受部12を
有し、該ランプ受部12の開口端には連続して末広がり
状に切り抜き部13を形成することによって一対の脚片
14、14が形成してある。
4、14の平面に対して直角に起立する立ち上がり片1
5、15が互いに他と対向して一体に形成してある。こ
れらの立ち上がり片15、15には前記のビス孔10、
10に対応するビス孔16、16が設けてある。従っ
て、上記わん曲反射ミラー2の長手方向の両端部に上ラ
ンプストッパ11、11を配置し、該上ランプストッパ
11、11のビス孔16、16と反射ミラー3、3のビ
ス孔10、10とを合致せしめ、ビス17、17をねじ
込んで着脱可能に取り付ける。
する下ランプストッパ20、20は図5及び図6に詳し
く示してある。下ランプストッパ20、20は凹状ラン
プの軸線方向から見るとほぼ長方形状に形成され、該長
手方向と直交する方向から見るとZ字状に形成してあ
る。下ランプストッパ20、20の一端側には上方が開
口する半円弧状のランプ受部21が設けてあり、他端側
には取付孔22、22が設けてある。これらの取付孔2
2、22はビス23、23によりブラケット24、24
に着脱可能に取り付けられる。これらのブラケット2
4、24は端面反射ミラー25、25の内面に固定さ
れ、該端面反射ミラー25、25は前記のわん曲反射板
2の長手方向の両端に取り付けられる。
両端には適宜径の挿通孔26、26が形成され、さらに
端面反射ミラー25、25の上端はそれ自体を直角に折
り曲げて折曲片27、27が形成してあり、該折曲片2
7、27にはU字状の切り込み28、28が形成してあ
る。前記の折曲片27、27上には上ケース30が取り
付けられ、該上ケース30には上記の切り込み28、2
8と見合う位置に凹状ランプ33の立ち上がり部35、
35が挿通される挿通部31、31が設けてある。
図7に詳しく示される凹状ランプ33が着脱可能に配置
される。凹状ランプ33は公知のように水平部34と立
ち上がり部35とランプ発熱体36とリード線37とか
ら構成してある。ランプ発熱体36は水平部34内に通
常のように封入され、該ランプ発熱体36の軸線方向の
両端部は、わん曲反射ミラー2の立ち上がり部35、3
5の根元部より僅か上方に位置した所で終了する。即
ち、挿通孔26、26から僅か上方に突出した位置で終
了されることにより、ランプ発熱体36からの熱が冷却
空間部40に影響を与えないようにしてある。
たリード線37、37は、立ち上がり部35、35内に
通常のように配線され、他端側は上ケース30からラン
プユニット1外に突出され、電源に接続される端子部4
1、41に接続してある。端子部41、41は上ケース
30上に取り付けられ、取外し可能な端子カバー42、
42によって覆われている。上ケース30の内側には冷
却筒が固定され、その冷却通路43が凹状ランプ33の
軸線方向に沿って配置してある。該冷却通路43の中央
部に位置して取り付けられた接続パイプ44は図に示し
ていない冷却媒体源に接続され、例えば冷却空気が供給
される。
と側板ケース30a、30aとによって包囲され、かつ
側板ケース30a、30aとわん曲反射ミラー2の開口
面との間は開口され、冷却空間部40内に吹き込まれた
冷却空気がランプユニット1外へ排出される。冷却通路
43の長手方向の両端部は上下ランプストッパ11、2
0に見合う位置で終了され、かつ、図2に示されるよう
に冷却通路43には3つの方向に噴出孔45が設けてあ
る。1つの方向は図2においてわん曲反射ミラー2の頂
部に指向され、他の2つの方向は反射ミラー3、3の非
反射面に指向する。従って、わん曲反射ミラー2の全体
が冷却空気によって冷却される。
のライン型照射装置は、ユニット型のランプユニット1
の複数個を被処理材9の移送方向と直交する幅方向の全
長に合致させて一直線状に組み合わせればよい。本例の
場合、3個のランプユニット1が図8に示すように相隣
接して組み合わされ、全体として細長照射ブロック50
として組み立てられる。この場合、3個のランプユニッ
ト1は一直線に配置されているため、それぞれのランプ
ユニット1の凹状ランプ33も該ランプの軸線上に配置
され、従って、細長照射ブロック50からの反射光は図
8に示す「W」の範囲となる。
33のランプ発熱体36から発せられた光の照射幅は図
1に示されるわん曲反射ミラー2の開口面幅であり、か
つ照射長は端面反射ミラー25、25間の長さである。
従って、図8及び図9に示されるようにランプユニット
1が相隣接して接続された場合、相隣接するランプユニ
ット1、1間は端面反射ミラー25、25の厚み部分が
介在するだけである。すなわち、相隣接するランプユニ
ット1の長手方向の両端部には突出する部品が全く存在
しないため、相隣接する反射光は殆ど接近した状態で被
処理材9に照射されることになる。
6から発せられる光は、わん曲反射ミラー2及び端面反
射ミラー25、25で反射され、該反射光8は「W」の
範囲にわたって被処理材9上に焦点が結ばれる。この場
合、相隣接するランプユニット1間の非照射部分51、
51は相隣接するランプユニット1、1の端面反射ミラ
ー25、25で形成される極めて小さな隙間であるた
め、非照射部分51、51は相隣接するランプユニット
1から反射される反射光によって十分に加熱されること
になり、被処理材9の幅方向の全体にたって実質的に均
一加熱処理が行われることになる。
で示す方向に移動されながらかつ移送方向と直交する幅
方向の全長にわたりほぼ均一に光照射を受ける。この場
合、わん曲反射ミラー2は凹状ランプ33から発せられ
る光により相当高温度に熱せられるが、冷却媒体源から
冷却通路43に供給された冷却空気が3つの方向、すな
わちわん曲反射ミラー2の頂部方向および反射ミラーの
非反射面方向にそれぞれの噴出孔45から冷却フイン
4、4に吹きつけられる。従って、わん曲反射ミラー2
に蓄熱された熱は冷却フイン4、4から放熱され全体が
冷却される。
36の軸線方向の両端部は、立ち上がり部35、35の
根元部、すなわち挿通孔26、26の僅か上方位置の所
で終了されているため、ランプ発熱体36の長手方向の
両端部から発せられる放熱が、冷却空間部40内へは極
力抑制されることになる。このような冷却空間部40に
凹状ランプ33の立ち上がり部35、35が配置され、
従って、これらの立ち上がり部35、35内のリード線
37、37、及びランプ発熱体36の端子部41、41
がランプユニット1外に配置されるため、熱的悪影響を
受けない。
が、例えば切断して新たな凹状ランプと交換する必要が
生じた場合、端子カバー42、42を上ケース30から
取り外し、凹状ランプ33を端子部41、41から取り
外す。次に、わん曲反射ミラー2から保護板7を取り外
し、ブラケット24、24からビス23、23を取り外
し、下ランプストッパ20をわん曲反射ミラー2から取
り外す。すると、わん曲反射ミラー2の反射面側が完全
に開口され、凹状ランプ33をわん曲反射ミラー2から
取り出す。しかして、新たな凹状ランプの立ち上がり部
を挿通孔26、26に通し、更に上ケース30に挿通せ
しめ、下ランプストッパ20のランプう部21を凹状ラ
ンプに当ててブラケット24、24に取り付ければよ
い。
ニットの組み合わせ数を任意に選択すれば、被処理材の
移送方向に直交する幅方向に対する照射長を任意に変更
できる。更に本発明における実施例においいては、被処
理材の移送方向に直交する方向に対してランプユニット
の複数個を相隣接させて細長照射ブロックとし、該照射
ブロックからの焦点を被処理材の幅方向の全体に結ばせ
るようにしたが、本発明はそれのみに限定されない。例
えば、わん曲反射ミラーにより反射される反射光が被処
理材に対して平行反射せしめられるようにしてもよく、
また、被処理材への光照射方向も移送方向と直交する幅
方向のみに限定されず、照射ブロックの軸線方向に被処
理材を移動させ、該被処理材に細長照射ブロックからの
反射光の焦点を結ばせ、あるいは被処理材に平行反射さ
せるようにしてもよい。
に光を照射するわん曲反射ミラーの長手方向両端に端面
反射ミラーを配置し、わん曲反射ミラーの頂部に配置し
た凹状ランプの端子部をわん曲反射ミラーの長手方向の
両端部上に延出せしめてランプユニット構造としたか
ら、ランプユニットの軸線方向の両端部からランプ端子
部が突出しない。また、ランプユニットの複数個を被処
理材の移動方向と直交する幅方向にかつ該被処理材の全
幅長に合致させて相隣接せしめたとき、ランプユニット
の相燐接部に非照射部分が極力少なくされる細長照射ブ
ロックとして組み立てるから、光がランプユニットの相
隣接部で大きく寸断されず、移動する被処理材の幅方向
の全体にほぼ均一に付与される。
るライン型照射装置のランプユニットの一部を断面にし
た縦断正面図である。
び冷却通路の一部分を断面にした拡大縦断面図である。
の長手方向の全長にわたり設けた冷却フインを説明する
ために、一方の反射ミラーの冷却フインおよび上面側か
ら見た説明図である。
るための一方の支持構造を示す上ランプストッパの説明
図である。
るための他方の支持構造を示す下ランプストッパの説明
図である。
するための他方の支持構造を示す下ランプストッパの端
面図である。
了端部と冷却通路の関係を示す一部を断面にした縦断正
面図である。
て細長照射ブロックとして組み立てたとき、該相隣接す
るランプユニットの接続部に形成される非照射部を説明
するための説明図である。
照射ブロックとして組み立てたとき、該相隣接するラン
プユニットの接続部を拡大した説明図である。
Claims (9)
- 【請求項1】 被処理材に光を照射するランプユニット
が、わん曲反射ミラーと、該わん曲反射ミラーの長手方
向両端に配置された端面反射ミラーと、上記わん曲反射
ミラーの頂部に近接しかつ端子部がわん曲反射ミラー外
に延出されてその長手方向の両端部上に配置された凹状
ランプとから構成され、 上記ランプユニットの複数個を被処理材の移動方向と直
交する幅方向にかつ被処理材の幅方向の全体に反射光を
ライン状に付与するよう相隣接せしめると共に該隣接部
の非照射部分が極力少なくされるよう接続して細長照射
ブロックとし、 上記の細長照射ブロックからの反射光が移動する被処理
材の幅方向の全体にほぼ均一に照射さるようにしたこと
を特徴とする被処理材へ均一照射するライン型照射装
置。 - 【請求項2】 1対の反射ミラーからなる上記わん曲反
射ミラーの非反射面は、その長手方向に沿いかつ該長手
方向と直交する方向に適宜の間隔を保って複数の冷却フ
インを備えたことを特徴とする請求項1に記載の被処理
材へ均一照射するライン型照射装置。 - 【請求項3】 上記わん曲反射ミラーの非反射面と任意
の間隔を保ちかつ該わん曲反射ミラーの長手方向に沿っ
て配置された冷却通路と、該冷却通路に設けられかつ該
冷却通路に送り込まれた冷却空気を前記のわん曲反射ミ
ラーの冷却フインに直接吹きつける噴出孔とを備えたこ
とを特徴とする請求項1または2に記載の被処理材へ均
一照射するライン型照射装置。 - 【請求項4】 上記の冷却通路には3つの方向に噴出口
が設けられ、その1つはわん曲反射ミラーの頂部に指向
され、他の2つはわん曲反射ミラーの非反射面に指向さ
れ、かつこれらの噴出孔は冷却通路の軸線方向に所定間
隔を保って穿孔され、冷却空気がわん曲反射ミラーの非
反射面の全体に吹きつけられるようにしたことを特徴と
する請求項3に記載の被処理材へ均一照射するライン型
照射装置。 - 【請求項5】 上記わん曲反射ミラーの頂部に配置され
た凹状ランプは水平部と立ち上がり部とを有し、該水平
部に配置されたランプ発熱体が上記の立ち上がり根元部
の近くで終了され、該ランプ発熱体の終了端部と端子部
とがリード線で接続されることを特徴とする請求項1〜
4のいずれかに記載の被処理材へ均一照射するライン型
照射装置。 - 【請求項6】 ランプユニットの長手方向の両端部上に
位置せしめられた端子部とランプ発熱体とを接続するリ
ード線は、ランプ発熱体から離れたランプユニットの冷
却空間部に配置されることを特徴とする請求項1〜5の
いずれかに記載の被処理材へ均一照射するライン型照射
装置。 - 【請求項7】 わん曲反射ミラーに配置される水平部と
立ち上がり部を持った凹状ランプは、その水平部の軸線
方向の両端部がわん曲反射ミラーに着脱可能に取り付け
た上ランプストッパと端面反射ミラーに着脱可能に取り
付けた下ランプストッパとにより係脱可能に保持したこ
とを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の被処理
材へ均一照射するライン型照射装置。 - 【請求項8】 前記の上ランプストッパと下ランプスト
ッパには、凹状ランプの水平部を挟持するために半円弧
状をなすランプ受部を設けたことを特徴とする請求項7
に記載の被処理材へ均一照射するライン型照射装置。 - 【請求項9】 被処理材に光を照射するランプユニット
が、わん曲反射ミラーと、該わん曲反射ミラーの長手方
向両端に配置された端面反射ミラーと、上記わん曲反射
ミラーの頂部に近接しかつ端子部がわん曲反射ミラー外
に延出されてその長手方向の両端部上に配置された凹状
ランプとから構成され、上記ランプユニットの複数個を
被処理材の移動方向に平行反射光を付与するよう相隣接
せしめると共に該隣接部の非照射部分が極力少なくされ
るよう接続して細長照射ブロックとし、上記の細長照射
ブロックからの平行反射光が移動する被処理材の全体に
ほぼ均一に照射さるようにしたことを特徴とする被処理
材へ均一照射するライン型照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35040197A JP3839149B2 (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 被処理材へ均一照射するライン型照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP35040197A JP3839149B2 (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 被処理材へ均一照射するライン型照射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH11185935A true JPH11185935A (ja) | 1999-07-09 |
JP3839149B2 JP3839149B2 (ja) | 2006-11-01 |
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ID=18410253
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35040197A Expired - Lifetime JP3839149B2 (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 被処理材へ均一照射するライン型照射装置 |
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JP (1) | JP3839149B2 (ja) |
Cited By (2)
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JP2009262050A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 紫外線照射装置 |
CN112153761A (zh) * | 2019-06-28 | 2020-12-29 | 日新离子机器株式会社 | 加热装置 |
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1997
- 1997-12-19 JP JP35040197A patent/JP3839149B2/ja not_active Expired - Lifetime
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