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JPH11162732A - Electromagnetic solenoid - Google Patents

Electromagnetic solenoid

Info

Publication number
JPH11162732A
JPH11162732A JP9323465A JP32346597A JPH11162732A JP H11162732 A JPH11162732 A JP H11162732A JP 9323465 A JP9323465 A JP 9323465A JP 32346597 A JP32346597 A JP 32346597A JP H11162732 A JPH11162732 A JP H11162732A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stator
electromagnetic solenoid
mover
coil
electromagnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9323465A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshio Mitsutake
義雄 光武
Yoshitaka Ichii
義孝 一井
Katsuhiro Hirata
勝弘 平田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP9323465A priority Critical patent/JPH11162732A/en
Publication of JPH11162732A publication Critical patent/JPH11162732A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromagnetic solenoid comprising an even stroke characteristics, by suppressing occurrence of dispersion in electromagnetic attractive force. SOLUTION: Related to an electromagnetic solenoid comprising a coil 12, a stator 14 of magnetic materially provided in the coil 12, a moving piece 15 of magnetic material movably provided in a guide hole 14a of the stator 14, and an elastic body 16 opposing a magnetic attractive force between the stator 14 and the moving piece 15, a part of the stator 14 or the moving piece 15 is saw-tooth shape in cross section.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、マッサージ機やバ
イブレータの駆動部に用いられる電磁ソレノイドに関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electromagnetic solenoid used for a drive of a massage machine or a vibrator.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は従来の電磁ソレノイドの側面断面
図である。図7に示すように、従来の電磁ソレノイド1
は、非磁性体の円板状のプレート10と、ヨーク11
と、コイル12と、コイル12内に固着される固定子1
4と、固定子14に対して対向配置されるとともに、固
定子14に設けられた案内孔14aの内壁を案内とする
励磁体からなる可動子15と、可動子15を負荷力に逆
らって固定子14側に付勢する弾性体に相当するコイル
ばね16と、可動子15の先端に固定される非磁性体の
棒状のシャフト18とを備える。
2. Description of the Related Art FIG. 7 is a side sectional view of a conventional electromagnetic solenoid. As shown in FIG. 7, a conventional electromagnetic solenoid 1
Is a non-magnetic disk-shaped plate 10 and a yoke 11
, A coil 12 and a stator 1 fixed in the coil 12
4, a movable member 15 composed of an exciter which is disposed to face the stator 14 and guides an inner wall of a guide hole 14a provided in the stator 14, and fixes the movable member 15 against a load force. The movable member 15 includes a coil spring 16 corresponding to an elastic body that urges the armature 14, and a non-magnetic rod-shaped shaft 18 fixed to the tip of the mover 15.

【0003】ヨーク11は、珪素鋼や電磁軟鉄などの磁
性金属にて形成した中空の略円柱状のものであり、適宜
手段でプレート10に固定される。
[0003] The yoke 11 is a hollow, substantially cylindrical member formed of a magnetic metal such as silicon steel or electromagnetic soft iron, and is fixed to the plate 10 by appropriate means.

【0004】コイル12は、合成樹脂にて型造されてな
るボビン(図示せず)の外周に、表面を絶縁層にて被覆
された軟銅線を巻回して形成される。コイル12は、ヨ
ーク11に収納されている。
[0004] The coil 12 is formed by winding a soft copper wire whose surface is covered with an insulating layer around the outer periphery of a bobbin (not shown) made of synthetic resin. The coil 12 is housed in the yoke 11.

【0005】固定子14は、円筒状の磁性金属製のもの
であり、コイル12の内径に略等しい外径を有する形状
に切削加工等により形成される。固定子14の内方には
後述する可動子15を同軸上に遊嵌する案内孔14aを
有している。
[0005] The stator 14 is made of a cylindrical magnetic metal, and is formed by cutting or the like into a shape having an outer diameter substantially equal to the inner diameter of the coil 12. Inside the stator 14, there is provided a guide hole 14a into which a movable element 15 described later is loosely fitted coaxially.

【0006】可動子15は、固定子14の案内孔14a
の内壁を案内として可動する大略円柱状の磁性金属製の
もので、反対側にはリング状の鍔部15aを有してい
る。
The mover 15 is provided with a guide hole 14 a of the stator 14.
Is made of a substantially cylindrical magnetic metal that can move with the inner wall as a guide, and has a ring-shaped flange 15a on the opposite side.

【0007】非磁性体の棒状のシャフト18は、可動子
15の固定子側端面の中央に立設しており、プレート1
0を貫通してなり、シャフト18の先端には円板状のば
ね受け19が固着されている。
A non-magnetic rod-shaped shaft 18 is provided upright at the center of the end face of the mover 15 on the stator side.
0, a disk-shaped spring receiver 19 is fixed to the tip of the shaft 18.

【0008】コイルばね16は、ステンレス等により形
成されたコイルスプリングであり、シャフト18に貫通
されるとともに、プレート10とばね受け19との間に
介在している。また、シャフト18は、黄銅等の非磁性
体金属材料により形成され、可動子15に固着されてい
る。
The coil spring 16 is a coil spring made of stainless steel or the like, penetrated by the shaft 18, and interposed between the plate 10 and the spring receiver 19. The shaft 18 is formed of a non-magnetic metal material such as brass, and is fixed to the mover 15.

【0009】上述のように構成される電磁ソレノイド1
において、コイル12に励磁電流が流れることにより、
可動子15に対して負荷力Fに反する方向に電磁吸引力
が働き、可動子15は電磁吸引力とコイルばね16のば
ね力が平衡する位置まで移動する。
The electromagnetic solenoid 1 configured as described above
, The exciting current flows through the coil 12,
An electromagnetic attraction force acts on the mover 15 in a direction opposite to the load force F, and the mover 15 moves to a position where the electromagnetic attraction force and the spring force of the coil spring 16 are balanced.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上述のような構成の電
磁ソレノイド1にあっては、可動子15のストロークと
電磁吸引力との間に図8に示すような関係を有してお
り、電磁吸引力の大小差が大きく、不均一なものとなる
という問題点を有している。
In the electromagnetic solenoid 1 having the above structure, the stroke shown in FIG. 8 is established between the stroke of the mover 15 and the electromagnetic attraction force. There is a problem that the magnitude of the suction force is large and non-uniform.

【0011】本発明は、上記の問題点に鑑みて成された
ものであり、その目的とするところは、電磁吸引力にば
らつきが生じるのを抑え、均一なストローク特性を有す
る電磁ソレノイドを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an electromagnetic solenoid which suppresses a variation in an electromagnetic attraction force and has a uniform stroke characteristic. It is in.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
コイルと、コイル内に配置された磁性材料よりなる固定
子と、固定子の案内孔内に移動自在に配置される磁性材
料よりなる可動子と、固定子と可動子との間の磁気的引
力に対抗する弾性体とを備える電磁ソレノイドにおい
て、固定子若しくは可動子の一部において断面形状が鋸
歯形状となるようにしたことを特徴とするものである。
According to the first aspect of the present invention,
A coil, a stator made of a magnetic material disposed in the coil, a mover made of a magnetic material movably disposed in a guide hole of the stator, and a magnetic attraction between the stator and the mover An electromagnetic solenoid provided with an elastic body that opposes the above, characterized in that a cross-sectional shape of a part of the stator or the mover has a saw-tooth shape.

【0013】請求項2記載の発明は、請求項1記載の電
磁ソレノイドにおいて、固定子の案内孔内壁において断
面形状が鋸歯形状となるようにしたことを特徴とするも
のである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the electromagnetic solenoid according to the first aspect, wherein a sectional shape of the inner wall of the guide hole of the stator has a saw-tooth shape.

【0014】請求項3記載の発明は、請求項1又は請求
項2記載の電磁ソレノイドにおいて、可動子の外周にお
いて断面形状が鋸歯形状となるようにしたことを特徴と
するものである。
According to a third aspect of the present invention, in the electromagnetic solenoid of the first or second aspect, a cross-sectional shape of the outer periphery of the movable element has a saw-tooth shape.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図1乃至図6に基づき詳細に説明する。図1は本実
施の形態に係る電磁ソレノイドの側面断面図である。図
2は可動子のストロークと電磁吸引力との関係を表すグ
ラフであり、実線は従来の電磁ソレノイドを用いた場合
のグラフであり、破線は図1に示した電磁ソレノイドを
用いた場合のグラフである。図3は他の実施の形態に係
る電磁ソレノイドの側面断面図である。図4は可動子の
ストロークと電磁吸引力との関係を表すグラフであり、
実線は従来の電磁ソレノイドを用いた場合のグラフであ
り、破線は図3に示した電磁ソレノイドを用いた場合の
グラフである。図5は他の実施の形態に係る電磁ソレノ
イドの側面断面図である。図6は他の実施の形態に係る
電磁ソレノイドの側面断面図とその部分拡大図であり、
(a)は電磁ソレノイドの側面断面図、(b)及び
(c)は固定子の部分拡大図である。なお、従来の技術
において図7を基に説明した電磁ソレノイドと同等の箇
所には同じ番号を付し、その詳しい説明を省略してい
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to FIGS. FIG. 1 is a side sectional view of the electromagnetic solenoid according to the present embodiment. FIG. 2 is a graph showing the relationship between the stroke of the mover and the electromagnetic attraction force, the solid line is a graph when using the conventional electromagnetic solenoid, and the broken line is a graph when using the electromagnetic solenoid shown in FIG. It is. FIG. 3 is a side sectional view of an electromagnetic solenoid according to another embodiment. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the stroke of the mover and the electromagnetic attraction force.
The solid line is a graph when the conventional electromagnetic solenoid is used, and the broken line is a graph when the electromagnetic solenoid shown in FIG. 3 is used. FIG. 5 is a side sectional view of an electromagnetic solenoid according to another embodiment. FIG. 6 is a side sectional view and a partially enlarged view of an electromagnetic solenoid according to another embodiment,
(A) is a side sectional view of an electromagnetic solenoid, and (b) and (c) are partial enlarged views of a stator. In the prior art, the same parts as those of the electromagnetic solenoid described based on FIG. 7 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

【0016】図1に示すように、電磁ソレノイド1は、
非磁性体の円板状のプレート10と、ヨーク11と、コ
イル12と、コイル12内に固着される固定子14と、
固定子14に対して対向配置されるとともに、固定子1
4に設けられた案内孔14aの内壁を案内とする励磁体
からなる可動子15と、可動子15を負荷力に逆らって
固定子14側に付勢する弾性体に相当するコイルばね1
6と、可動子15の先端に固定される非磁性体の棒状の
シャフト18とを備える。
As shown in FIG. 1, the electromagnetic solenoid 1
A non-magnetic disk-shaped plate 10, a yoke 11, a coil 12, a stator 14 fixed in the coil 12,
The stator 1 is opposed to the stator 14 and the stator 1
And a coil spring 1 corresponding to an elastic body for urging the movable member 15 against the stator 14 against the load force.
6 and a non-magnetic rod-shaped shaft 18 fixed to the tip of the mover 15.

【0017】図1に示す電磁ソレノイド1が、従来のも
のと異なり特徴とするのは、以下の構成である。すなわ
ち、固定子14の案内孔14a内壁の断面形状を鋸歯形
状としたものである。
The electromagnetic solenoid 1 shown in FIG. 1 is different from the conventional one in the following features. That is, the sectional shape of the inner wall of the guide hole 14a of the stator 14 is a sawtooth shape.

【0018】固定子14と可動子15との電磁吸引力
は、可動子15の固定子14に対する対向接極面角部と
固定子14の可動子15に対する対向接極面角部との距
離Lが最短となった時に最大となる。従って、固定子1
4の案内孔14a内壁の断面形状を鋸歯形状とすること
により、可動子15の変位に伴う電磁吸引力の変化にお
いて極大となるポイントを複数箇所設定することが可能
となる。ただし、鋸歯形状とすることにより、固定子1
4部の磁束が流れる断面において、その面積が小さい部
分が存在し、磁束の飽和現象も起こるため磁気抵抗率の
増加に伴い最大電磁吸引力は小さくなる。
The electromagnetic attraction between the stator 14 and the mover 15 is determined by the distance L between the corner of the armature 15 facing the stator 14 and the corner of the stator 14 facing the armature 15. Becomes maximum when is shortest. Therefore, stator 1
By making the cross-sectional shape of the inner wall of the fourth guide hole 14a into a saw-tooth shape, it becomes possible to set a plurality of points where the electromagnetic attraction force changes due to the displacement of the mover 15 at a maximum. However, the stator 1 has a sawtooth shape.
In the cross section where the magnetic flux of the four parts flows, there is a portion having a small area, and a saturation phenomenon of the magnetic flux also occurs. Therefore, the maximum electromagnetic attraction force decreases as the magnetic resistivity increases.

【0019】以上より、鋸歯形状とすることにより、図
8に示すような、2つの極値(極大値と極小値)におけ
る大小差が大きく、不均一な特性から、図2に示すよう
な、電磁吸引力の最大値は減少しているものの、2つの
極値の間に新たな極値が生じ、比較的均一な特性を得る
ことが可能となる。
As described above, the sawtooth shape has a large difference in magnitude between two extreme values (maximum value and minimum value) as shown in FIG. Although the maximum value of the electromagnetic attraction force is reduced, a new extreme value is generated between the two extreme values, so that relatively uniform characteristics can be obtained.

【0020】本実施の形態によれば、鋸歯形状の凸部は
3つで固定子14の円周方向肉厚の半分の鋸歯を固定子
14の高さ方向に3等分して配設したが、ストローク特
性の極大値と極小値との差は2.5[Kgf]から1.5[Kg
f]と小さくなり、不均一なストローク特性を改善するこ
とが可能となる。
According to the present embodiment, the number of the sawtooth-shaped protrusions is three, and the sawtooth having a half thickness in the circumferential direction of the stator 14 is divided into three equal parts in the height direction of the stator 14. However, the difference between the maximum value and the minimum value of the stroke characteristic is from 2.5 [Kgf] to 1.5 [Kg
f], which makes it possible to improve non-uniform stroke characteristics.

【0021】なお、図3に示すように、鋸歯形状の凸部
を増やすようにすれば(図3では凸部の数は5つであ
る)、電磁吸引力の発生ポイントが増加し、図4に示す
ように、より均一なストローク特性を得ることが可能と
なる。
As shown in FIG. 3, if the number of the saw-tooth-shaped protrusions is increased (the number of the protrusions is five in FIG. 3), the point of generation of the electromagnetic attraction force increases, and FIG. As shown in (1), more uniform stroke characteristics can be obtained.

【0022】また、可動子15の外周側面においてその
断面形状を鋸歯形状となるようにすれば、電磁吸引力の
発生ポイントが増加し、均一なストローク特性を得るこ
とが可能となるとともに、鋸歯形状を形成するために可
動子15の外周側面を削ることにより、可動子15の軽
量化が可能となり、可動子15の応答性を向上すること
が可能となる。また、固定子14に鋸歯形状を形成する
のと比較して、可動子15に鋸歯形状を形成する方が、
寸法の自由度が高くなる。
When the cross-sectional shape of the outer peripheral side surface of the mover 15 is made to have a sawtooth shape, the number of points at which electromagnetic attraction force is generated increases, and uniform stroke characteristics can be obtained. By shaving the outer peripheral side surface of the mover 15 in order to form, the weight of the mover 15 can be reduced, and the responsiveness of the mover 15 can be improved. Also, forming a saw-tooth shape on the movable element 15 is more effective than forming a saw-tooth shape on the stator 14.
The degree of freedom in dimensions increases.

【0023】さらに、図6に示すように、鋸歯形状の頂
角の角度θをできるだけ鋭角になすようにすれば(図6
(b)に対して、図6(c)のようになるようにすれ
ば)、頂角付近の磁束が流れる断面において、頂角θが
鋭くなることに伴い、その面積がより小さくなるため、
磁束密度の均一性が増し、より均一なストローク特性を
実現することが可能となる。
Further, as shown in FIG. 6, if the angle θ of the apex angle of the sawtooth shape is made as acute as possible (FIG. 6).
6B, the area becomes smaller as the vertex angle θ becomes sharper in the cross section where the magnetic flux near the vertex angle flows.
The uniformity of the magnetic flux density increases, and more uniform stroke characteristics can be realized.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上のように、 請求項1記載の発明に
あっては、コイルと、コイル内に配置された磁性材料よ
りなる固定子と、固定子の案内孔内に移動自在に配置さ
れる磁性材料よりなる可動子と、固定子と可動子との間
の磁気的引力に対抗する弾性体とを備える電磁ソレノイ
ドにおいて、固定子若しくは可動子の一部において断面
形状が鋸歯形状となるようにしたので、固定子と可動子
との間に複数の電磁吸引力発生ポイントを設けることが
可能となり、可動子のストローク量に伴う電磁吸引力の
ばらつきを抑え、均一なストローク特性を有する電磁ソ
レノイドを提供することが可能となるという効果を奏す
る。
As described above, according to the first aspect of the present invention, a coil, a stator made of a magnetic material disposed in the coil, and a movable member disposed in a guide hole of the stator are provided. Solenoid having a mover made of a magnetic material and an elastic body that opposes magnetic attraction between the stator and the mover, the cross section of the stator or the mover has a sawtooth shape in a part thereof. Therefore, it is possible to provide a plurality of electromagnetic attraction force generating points between the stator and the mover, thereby suppressing variations in the electromagnetic attraction force due to the stroke amount of the mover, and providing an electromagnetic solenoid having uniform stroke characteristics. Is provided.

【0025】請求項2記載の発明にあっては、請求項1
記載の電磁ソレノイドにおいて、固定子の案内孔内壁に
おいて断面形状が鋸歯形状となるようにしたので、固定
子の軽量化を図ることが可能になるという効果を奏す
る。
According to the second aspect of the present invention, there is provided the first aspect.
In the electromagnetic solenoid described above, since the cross-sectional shape of the inner wall of the guide hole of the stator is made to have a saw-tooth shape, it is possible to reduce the weight of the stator.

【0026】請求項3記載の発明にあっては、請求項1
又は請求項2記載の電磁ソレノイドにおいて、可動子の
外周において断面形状が鋸歯形状となるようにしたの
で、可動子の軽量化を図ることが可能となり、応答性の
高い電磁ソレノイドを提供することが可能になるという
効果を奏する。また、固定子の内壁を鋸歯形状とするこ
とと比較して、鋸歯形状を自由に形成することが可能に
なるという効果を奏する。
In the invention according to claim 3, claim 1 is
Alternatively, in the electromagnetic solenoid according to the second aspect, since the cross-sectional shape of the outer periphery of the mover has a saw-tooth shape, it is possible to reduce the weight of the mover, and to provide an electromagnetic solenoid having high responsiveness. It has the effect that it becomes possible. Also, an effect is obtained that the saw-tooth shape can be freely formed as compared with the case where the inner wall of the stator has a saw-tooth shape.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本実施の形態に係る電磁ソレノイドの側面断面
図である。
FIG. 1 is a side sectional view of an electromagnetic solenoid according to an embodiment.

【図2】可動子のストロークと電磁吸引力との関係を表
すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing a relationship between a stroke of a mover and an electromagnetic attraction force.

【図3】他の実施の形態に係る電磁ソレノイドの側面断
面図である。
FIG. 3 is a side sectional view of an electromagnetic solenoid according to another embodiment.

【図4】可動子のストロークと電磁吸引力との関係を表
すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing a relationship between a stroke of a mover and an electromagnetic attraction force.

【図5】他の実施の形態に係る電磁ソレノイドの側面断
面図である。
FIG. 5 is a side sectional view of an electromagnetic solenoid according to another embodiment.

【図6】他の実施の形態に係る電磁ソレノイドの側面断
面図とその部分拡大図である。
FIG. 6 is a side sectional view and a partially enlarged view of an electromagnetic solenoid according to another embodiment.

【図7】従来の電磁ソレノイドの側面断面図である。FIG. 7 is a side sectional view of a conventional electromagnetic solenoid.

【図8】従来の電磁リニアソレノイドにおける可動子の
ストロークと電磁吸引力との関係を表すグラフである。
FIG. 8 is a graph showing a relationship between a stroke of a mover and an electromagnetic attraction force in a conventional electromagnetic linear solenoid.

【符号の説明】 1 電磁ソレノイド 12 コイル 14 固定子 14a 案内孔 15 可動子 16 弾性体[Description of Signs] 1 electromagnetic solenoid 12 coil 14 stator 14a guide hole 15 mover 16 elastic body

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 コイルと、コイル内に配置された磁性材
料よりなる固定子と、固定子の案内孔内に移動自在に配
置される磁性材料よりなる可動子と、固定子と可動子と
の間の磁気的引力に対抗する弾性体とを備える電磁ソレ
ノイドにおいて、固定子若しくは可動子の一部において
断面形状が鋸歯形状となるようにしたことを特徴とする
電磁ソレノイド。
1. A coil, a stator made of a magnetic material disposed in the coil, a mover made of a magnetic material movably disposed in a guide hole of the stator, and a stator and a mover. An electromagnetic solenoid comprising: an elastic body that opposes magnetic attraction between said electromagnetic solenoid, wherein a cross section of a part of a stator or a mover has a saw-tooth shape.
【請求項2】 固定子の案内孔内壁において断面形状が
鋸歯形状となるようにしたことを特徴とする請求項1記
載の電磁ソレノイド。
2. The electromagnetic solenoid according to claim 1, wherein a cross-sectional shape of the inner wall of the guide hole of the stator has a saw-tooth shape.
【請求項3】 可動子の外周において断面形状が鋸歯形
状となるようにしたことを特徴とする請求項1又は請求
項2記載の電磁ソレノイド。
3. The electromagnetic solenoid according to claim 1, wherein a cross-section of the outer periphery of the mover has a saw-tooth shape.
JP9323465A 1997-11-25 1997-11-25 Electromagnetic solenoid Pending JPH11162732A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9323465A JPH11162732A (en) 1997-11-25 1997-11-25 Electromagnetic solenoid

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9323465A JPH11162732A (en) 1997-11-25 1997-11-25 Electromagnetic solenoid

Publications (1)

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JPH11162732A true JPH11162732A (en) 1999-06-18

Family

ID=18154996

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JP9323465A Pending JPH11162732A (en) 1997-11-25 1997-11-25 Electromagnetic solenoid

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11162732A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006051838A1 (en) * 2004-11-11 2006-05-18 Shinano Kenshi Kabushiki Kaisha Actuator
WO2006051859A1 (en) * 2004-11-11 2006-05-18 Shinano Kenshi Kabushiki Kaisha Actuator
JP2007174758A (en) * 2005-12-20 2007-07-05 Yaskawa Electric Corp Cylindrical linear motor

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