[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JPH11144316A - Storage member - Google Patents

Storage member

Info

Publication number
JPH11144316A
JPH11144316A JP9307421A JP30742197A JPH11144316A JP H11144316 A JPH11144316 A JP H11144316A JP 9307421 A JP9307421 A JP 9307421A JP 30742197 A JP30742197 A JP 30742197A JP H11144316 A JPH11144316 A JP H11144316A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substance
recording
film
storage member
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9307421A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tatsuo Fukano
達雄 深野
Yasuhiko Takeda
康彦 竹田
Naohiko Kato
直彦 加藤
Tomomi Motohiro
友美 元廣
Shoichi Kawai
川井  正一
Hironari Kuno
裕也 久野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Toyota Central R&D Labs Inc
Original Assignee
Denso Corp
Toyota Central R&D Labs Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp, Toyota Central R&D Labs Inc filed Critical Denso Corp
Priority to JP9307421A priority Critical patent/JPH11144316A/en
Publication of JPH11144316A publication Critical patent/JPH11144316A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable recording with external energy of low power with a storage member which records information by a change in the optical characteristics caused by an oxidation reduction reaction of a first material and second material when the external energy is imparted thereto. SOLUTION: This storage member is constituted by successively laminating a WO3 film 20 consisting of WO3 of <=550 KJ in the energy necessary at the time of dissociation of a 1 mol amt. of oxygen molecules, an Al-Ti alloy film 30 consisting of an alloy contg. <30 atom.% Ti with respect to Al of >=1000 KJ in the energy generated at the time of bonding to the 1 mol amt. of the oxygen molecules and a protective film 40 consisting of a UV curing resin on a transparent substrate 10.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、外部エネルギーを
付与することによって光学特性を変化させて情報を記録
する記憶部材に関し、例えば、追記型のコンパクトディ
スク(CD−R)等に用いて好適である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a storage member for recording information by changing optical characteristics by applying external energy, and is suitable for use in, for example, a write-once compact disc (CD-R). is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種の記憶部材として、例えば、コン
パクトディスク(CD)等に代表される光記録媒体があ
る。これは、一般に、基板上に有機色素等からなる記録
層(光吸収層)を設け、更にその上に金、銀等からなる
反射層を設けた構成とし、外部エネルギーとしてレーザ
光を照射することにより、上記記録層を変形或いは変性
させて光学特性を変化させ、情報を記録するものであ
る。そして、記録部分と未記録部分との反射率差を利用
して情報を光学的に再生する。
2. Description of the Related Art As this kind of storage member, there is an optical recording medium represented by a compact disk (CD), for example. In general, a recording layer (light absorbing layer) made of an organic dye or the like is provided on a substrate, and a reflective layer made of gold, silver, or the like is further provided thereon, and laser light is irradiated as external energy. Thus, the information is recorded by changing or modifying the recording layer to change the optical characteristics. Then, information is optically reproduced using the difference in reflectance between the recorded portion and the unrecorded portion.

【0003】しかしながら、上記記録層は有機系材料で
あるため、材料自体のコスト及び製造の歩留り等の面か
らコストが高いという問題がある。これらの問題に対し
て、有機色素等に比べて安価な無機系材料を用い、蒸着
法やスパッタ法等のコスト的に優れた通常の成膜方法
で、記録層を構成するようにしたものが提案されてい
る。このような無機材料記録層を用いたものとしては、
例えば、金属硫化物(例えば、SnS)を用いたもの
(特開平4−193586号公報参照)や、硫黄やセレ
ンを用いたもの(特開平2−152029号公報参照)
が提案されている。
However, since the recording layer is made of an organic material, there is a problem that the cost is high in terms of the cost of the material itself and the production yield. In order to solve these problems, an inorganic material that is inexpensive compared to an organic dye or the like is used, and the recording layer is formed by a normal film forming method superior in cost such as an evaporation method or a sputtering method. Proposed. Examples of using such an inorganic material recording layer include:
For example, those using metal sulfides (for example, SnS) (see JP-A-4-193586) and those using sulfur or selenium (see JP-A-2-152929)
Has been proposed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明者等は、上記の
両公報における無機材料記録層を用いた記憶部材につい
て、検討を行った結果、以下のように耐環境性及び情報
の保持性等の面で問題があることを見出した。すなわ
ち、前者公報においては、記録層に情報記録したもの
を、高温高湿(例えば、温度90℃、相対湿度80%R
H)条件下で、長時間(例えば、240時間)保持した
場合、記録層が膨潤する等して再生不可となってしまう
こと、又、後者公報においては、記録時のみに反応すべ
き記録層(例えば、硫黄)と反射層(例えば、銀)との
反応(例えば、反応物は硫化銀)の反応性が高いため、
室温放置状態においても反応が徐々に進行して反応物を
形成し、情報の保持が不安定となること、という問題が
生じる。
SUMMARY OF THE INVENTION The present inventors have studied the storage member using the inorganic material recording layer in both of the above publications, and as a result, have found that the storage resistance and the information retention are as follows. Found that there was a problem in terms of That is, in the former publication, information recorded on the recording layer is recorded at high temperature and high humidity (for example, at a temperature of 90 ° C. and a relative humidity of 80% R).
H) If the recording layer is held for a long time (for example, 240 hours) under the condition, the recording layer swells and becomes unreproducible. In the latter publication, the recording layer which should react only during recording is described. (E.g., sulfur) and a reflective layer (e.g., silver) due to high reactivity of the reaction (e.g., the reactant is silver sulfide),
Even when left at room temperature, there is a problem that the reaction gradually proceeds to form a reaction product, and information retention becomes unstable.

【0005】そこで、本発明者等は、先に、特願平9−
285671号にて、耐環境性及び情報の保持性に優れ
た記憶部材を提供する提案を行った。これは、少なくと
も第1の物質および第2の物質の2種類の物質からな
り、外部エネルギーの付与により両物質が反応して両物
質のうち少なくとも一方の光学特性が変化することで情
報を記録する記憶部材において、実用的な範囲で外部エ
ネルギーを付与した場合に、上記問題を解決する両物質
を提案したものである。
Accordingly, the present inventors have previously described Japanese Patent Application No.
Japanese Patent No. 285671 proposes to provide a storage member having excellent environmental resistance and information retention. This is composed of at least two types of substances, a first substance and a second substance, and the information is recorded by the reaction of the two substances due to the application of external energy and the change of the optical characteristic of at least one of the two substances. The present invention proposes two substances that solve the above-mentioned problem when external energy is applied to a storage member within a practical range.

【0006】すなわち、両物質の反応を、第2の物質か
ら第1の物質に酸素を供給する酸化還元反応とし、第1
の物質は、酸素分子1mol量と結合するときに発生す
るエネルギー(以下、酸素結合エネルギーという)が1
000kJ以上である金属、金属間化合物または窒化物
等を含むものであり、第2の物質は、酸素分子1mol
量を解離するときに必要とするエネルギー(以下、酸素
解離エネルギーという)が550kJ以下である酸化物
および酸素を構成要素とする物質のうちの少なくとも1
つを含むものとしている。
That is, the reaction between the two substances is defined as an oxidation-reduction reaction for supplying oxygen from the second substance to the first substance.
Has the energy (hereinafter referred to as oxygen binding energy) of 1 when it is combined with 1 mol of oxygen molecules.
A metal, an intermetallic compound, a nitride, or the like having a molecular weight of 000 kJ or more, and the second substance contains 1 mol of oxygen molecules.
Energy required for dissociating the amount (hereinafter referred to as oxygen dissociation energy) is 550 kJ or less at least one of an oxide and a substance containing oxygen as a constituent element;
It shall include one.

【0007】それによって、記録時になされる両物質の
酸化還元反応を発熱反応とすることができ、逆の反応が
より起こりにくくなるため、結果的に、記録情報保持の
熱的安定性及び湿気に対する安定性を向上させることが
できる。ところで、上記先願においては、耐環境性及び
情報の保持性の向上を目的としていたため、上記先願の
構成では、記録時に付与する外部エネルギー(例えばレ
ーザ光)のパワーが大きくなってしまい実用的範囲を越
えてしまう場合があり(例えば、レーザパワーが14m
W以上になる)、記録感度上の問題が生じる。そこで、
低パワーの外部エネルギーで効率良く記録できるような
記憶部材構成の検討が望まれる。
As a result, the oxidation-reduction reaction of the two substances at the time of recording can be made an exothermic reaction, and the reverse reaction is less likely to occur. As a result, the thermal stability of holding the recorded information and the resistance to moisture are reduced. Stability can be improved. By the way, in the above-mentioned prior application, the aim was to improve the environmental resistance and the retention of information. Therefore, in the configuration of the above-mentioned prior application, the power of external energy (for example, laser light) applied at the time of recording was increased, and the practical application was not practical. (For example, when the laser power is 14 m
W or more), which causes a problem in recording sensitivity. Therefore,
It is desired to study a storage member configuration that enables efficient recording with low-power external energy.

【0008】本発明は、この先願における問題に鑑みな
されたものであり、外部エネルギーを付与することによ
って第1の物質と第2の物質とが酸化還元反応し光学特
性を変化させて情報を記録する記憶部材において、低パ
ワーの外部エネルギーで記録できるようにすることを目
的とする。
The present invention has been made in view of the problems in the prior application, and records information by applying an external energy to cause a first substance and a second substance to undergo an oxidation-reduction reaction to change optical characteristics. An object of the present invention is to make it possible to perform recording with low-power external energy in a storage member to be used.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成すべく、各物質の表面積を大きくしてより反応性
を大きくするため、上記先願の記憶部材において、酸素
受取側(つまり自身は酸化される)の第1の物質と酸素
供給側(つまり自身は還元される)の第2の物質とがそ
れぞれ層をなす複数層構成とした上で、鋭意検討を行っ
た。
In order to achieve the above-mentioned object, the present inventors increased the surface area of each substance to increase the reactivity. In other words, the present inventors have made intensive studies on a multi-layer structure in which a first substance (which itself is oxidized) and a second substance on the oxygen supply side (that is, which itself is reduced) form a layer.

【0010】外部エネルギーとしてレーザ光を用い記録
・再生を行う反射型の記憶部材において、実験検討を行
った結果、以下に述べるように、記録レーザパワーのた
めには、TiあるいはTi化合物がこの添加物として好
適であることを見出した。なお、記録レーザパワーを調
べる理由は、記録レーザパワーは、第1の層をなす第1
の物質と第2の層をなす第2の物質とを酸化還元反応さ
せる、すなわち記録に要するレーザ光のパワーであるた
めである。本発明者等の検討によれば、実用レベルとし
ては、記録レーザパワー14mW未満が望ましい。
As a result of an experimental study on a reflection type storage member which performs recording / reproduction by using a laser beam as external energy, as described below, Ti or a Ti compound is added for the recording laser power. It has been found that it is suitable as a product. The reason for examining the recording laser power is that the recording laser power is the first layer forming the first layer.
This is because it is the power of the laser beam required for the oxidation-reduction reaction between the substance and the second substance forming the second layer, that is, the laser light required for recording. According to the study by the present inventors, as a practical level, a recording laser power of less than 14 mW is desirable.

【0011】実験に用いた記憶部材は図1および図2に
示すようなものとした。ここでは、第1の物質を、上記
先願において第1の物質を構成する物質の1つであるA
lに対してTiが所望の割合で添加された合金であるA
l−Ti合金とし、第2の物質を、上記先願において第
2の物質を構成する物質の1つであるWO3 としてい
る。そして、両物質を積層構造として、レーザ光の付与
によりAl−Ti合金膜(第1の層)30とWO3
(第2の層)20とが酸化還元反応し、反射率変化とし
て記録再生するものとしている。
The memory member used in the experiment was as shown in FIGS. Here, the first substance is referred to as A, which is one of the substances constituting the first substance in the above-mentioned prior application.
A is an alloy in which Ti is added at a desired ratio to 1
An l-Ti alloy is used, and the second substance is WO 3 which is one of the substances constituting the second substance in the above-mentioned prior application. Then, the two materials are formed into a laminated structure, and the application of laser light causes an oxidation-reduction reaction between the Al—Ti alloy film (first layer) 30 and the WO 3 film (second layer) 20, and the recording / reproduction is performed as a change in reflectance. Shall do.

【0012】図1に示すように、記憶部材1は、中央部
に穴2が形成された全体として円盤状をなしたものとし
た。穴2の外周囲には情報記録が行われない平面部3が
設けられ、さらに平面部3の外周囲には情報記録及び再
生が行われる記録部4が設けられている。記録部4につ
いて図1のB−B断面である図2を参照して述べる。円
盤(例えば厚さ1.2mm)状に形成されたポリカーボ
ネート製の透明な基板10の面12上には、Wターゲッ
トを用いたRFマグネトロンスパッタ法により、WO3
膜20が膜厚190nmで成膜され、WO3 膜20上に
は、Al−Ti合金膜30が、Al−Ti合金ターゲッ
トを用いたRFマグネトロンスパッタ法により、膜厚5
0nmに成膜されている。Al−Ti合金膜30の上に
は、紫外線硬化樹脂により保護膜40が形成されてい
る。
As shown in FIG. 1, the memory member 1 has a disk shape as a whole, having a hole 2 formed in the center. A flat portion 3 on which information is not recorded is provided around the outer periphery of the hole 2, and a recording portion 4 on which information is recorded and reproduced is provided on the outer periphery of the flat portion 3. The recording section 4 will be described with reference to FIG. WO 3 is formed on a surface 12 of a transparent substrate 10 made of polycarbonate formed into a disk (for example, 1.2 mm in thickness) by RF magnetron sputtering using a W target.
A film 20 is formed with a thickness of 190 nm, and an Al—Ti alloy film 30 is formed on the WO 3 film 20 by RF magnetron sputtering using an Al—Ti alloy target.
The film is formed to a thickness of 0 nm. On the Al-Ti alloy film 30, a protective film 40 is formed by an ultraviolet curable resin.

【0013】そして、記憶部材1に、基板10の面11
側(図1に示す矢印A方向)から、波長=780nmの
レーザ光を、NA(開口数)=0.50の対物レンズを
通して、Al−Ti合金膜30面上に集光させ記録を行
う。このとき、両膜20および30の両物質が反応して
記録が行われる際のレーザ光のパワーを記録レーザパワ
ーとした。
The storage member 1 is provided with a surface 11 of the substrate 10.
From the side (in the direction of arrow A shown in FIG. 1), a laser beam having a wavelength of 780 nm is focused on the surface of the Al—Ti alloy film 30 through an objective lens having an NA (numerical aperture) of 0.50, and recording is performed. At this time, the power of the laser beam at the time when the recording was performed by the reaction of both substances of both films 20 and 30 was defined as the recording laser power.

【0014】この記憶部材1において、Al−Ti合金
膜30のTi量(原子%)を変えて記録レーザパワー
(mW)を調べた結果を図3のグラフに示す。これか
ら、Ti量が0のとき、すなわちAl単独では記録レー
ザパワーが14mWと実用レベルを越えてしまうが、T
iの添加によって記録レーザパワー14mW未満とで
き、Tiの添加量の増加とともに記録レーザパワーを低
減させていくことができることがわかった。
FIG. 3 is a graph showing the result of examining the recording laser power (mW) in this storage member 1 by changing the amount of Ti (atomic%) in the Al—Ti alloy film 30. From this, when the Ti amount is 0, that is, when Al alone is used, the recording laser power is 14 mW, exceeding the practical level.
It has been found that the recording laser power can be reduced to less than 14 mW by adding i, and the recording laser power can be reduced as the amount of Ti added increases.

【0015】このTiの添加効果は、Ti自体が活性金
属であるため表面が酸化しやすいこと、及び記録レーザ
光(例えば波長780nm)を吸収しやすいため熱を吸
収しやすいこと等から、Tiの添加により反応性が高く
なるためと考えられる。従って、Al以外の物質に添加
しても同様の添加効果が得られ、また、この添加効果は
TiでなくともTi化合物であっても発揮されると考え
られる。
The effect of the addition of Ti is that Ti is an active metal, so that the surface is easily oxidized, and that it easily absorbs recording laser light (for example, a wavelength of 780 nm), so that heat is easily absorbed. This is probably because the addition increases the reactivity. Therefore, it is considered that the same addition effect can be obtained even when it is added to a substance other than Al, and this addition effect is exerted not only by Ti but also by a Ti compound.

【0016】そして、上記実験検討と同様に、上記先願
において第1の物質を構成する種々の物質に対してTi
あるいはTi化合物を添加して、記録レーザパワーを調
べたところ、TiあるいはTi化合物の添加により記録
レーザパワーを低減できることがわかった。請求項1記
載の発明は上記知見に基づいてなされたもので、第1の
物質からなる第1の層と第2の物質からなる第2の層と
を備える複数層からなり、外部エネルギーを付与するこ
とによって第2の物質から第1の物質に酸素を供給する
酸化還元反応を行うことで、両物質のうち少なくとも一
方の光学特性を変化させて情報を記録する記憶部材であ
って、第2の物質は、酸素分子1mol量を解離すると
きに必要とするエネルギーが550kJ以下である酸化
物および酸素を構成要素とする物質のうちの少なくとも
1つを含むものであり、第1の物質は、酸素分子1mo
l量と結合するときに発生するエネルギーが1000k
J以上である金属、金属間化合物、窒化物およびこれら
を含む化合物のうち少なくとも1つからなる物質(以
下、前段物質という)に対して、TiあるいはTi化合
物(以下、Ti等という)が含まれたものであることを
特徴とする。
In the same manner as in the above-mentioned experimental study, the various materials constituting the first material in the above-mentioned prior application were changed to Ti
Alternatively, when the recording laser power was examined by adding a Ti compound, it was found that the recording laser power could be reduced by adding Ti or the Ti compound. The invention according to claim 1 has been made based on the above findings, and has a plurality of layers including a first layer made of a first substance and a second layer made of a second substance, and imparts external energy. A storage member for recording information by changing an optical characteristic of at least one of the two substances by performing an oxidation-reduction reaction for supplying oxygen from the second substance to the first substance. Is a substance containing at least one of an oxide and a substance containing oxygen whose energy required for dissociating 1 mol of oxygen molecules is 550 kJ or less, and the first substance is Oxygen molecule 1 mo
The energy generated when combining with the amount of l is 1000k
Ti or a Ti compound (hereinafter, referred to as Ti, etc.) is contained in a substance (hereinafter, referred to as a first-stage substance) composed of at least one of a metal, an intermetallic compound, a nitride, and a compound including these metals having J or more. It is characterized in that it is.

【0017】ここで、「前段物質に対してTi等が含ま
れたもの」とは、Ti等が前段物質との合金、若しくは
金属間化合物、窒化物等の前段物質との化合物として、
または、前段物質との混合物として含まれていることを
意味する。また、前段物質がTi等であってもよく、そ
の場合には第1の物質全体がTi等の物質からなるもの
となる。そして、Ti化合物としては、TiN(窒化チ
タン)またはTiNを含む物質にすることができる。
Here, “the former substance contains Ti or the like” means that Ti or the like is an alloy with the former substance or a compound with the former substance such as an intermetallic compound or a nitride.
Alternatively, it means that it is contained as a mixture with the preceding substance. Further, the former substance may be Ti or the like, in which case, the entire first substance is made of a substance such as Ti. The Ti compound may be TiN (titanium nitride) or a substance containing TiN.

【0018】それによって、第1の層における第1の物
質の反応性を高め、記録時に付与する外部エネルギー
(例えばレーザ光)を実用的範囲の低パワー(例えば、
レーザパワー14mW未満)としても、第1の物質と第
2の物質との酸化還元反応が行われる。従って、低パワ
ーの外部エネルギーで記録可能な記憶部材を提供するこ
とができる。
Thereby, the reactivity of the first substance in the first layer is increased, and external energy (eg, laser light) applied at the time of recording is reduced to a low power (eg, laser light) within a practical range.
Even when the laser power is less than 14 mW, the redox reaction between the first substance and the second substance is performed. Therefore, it is possible to provide a storage member that can be recorded with low-power external energy.

【0019】さらに、Ti等の添加により光吸収性が大
きくなって、光透過率が低下し記憶部材の光学特性(例
えば反射率等)に影響が出ることも予測されるため、T
i等の添加量と記憶部材の光学特性との関係についても
考慮して検討を進めた。ここで光学特性としては、記録
感度の点から重要な特性である未記録部反射率について
調べた。
Further, it is expected that the addition of Ti or the like increases the light absorptivity, lowers the light transmittance, and affects the optical characteristics (eg, reflectance) of the storage member.
The study was conducted in consideration of the relationship between the addition amount of i and the like and the optical characteristics of the storage member. Here, as the optical characteristics, an unrecorded portion reflectance, which is an important characteristic in terms of recording sensitivity, was examined.

【0020】ここで、未記録部反射率を調べる理由は、
未記録部反射率は、記録された部分以外の部分の再生時
における反射率であり、第1の層の光透過性すなわち第
1の層の膜厚に大きく影響されるためである。本発明者
等の検討によれば、実用レベルとしては、未記録部反射
率が60%以上が望ましい。上記実験検討と同様の記憶
部材、すなわち図1および図2に示す記憶部材1におい
て、Al−Ti合金膜30中の前段物質であるAlに対
するTi量(原子%)を変えて、未記録部反射率を調べ
た。未記録部反射率は、記録済みの記憶部材1を再生レ
ーザパワー=0.7mW(波長=780nm)で、記録
部4の未記録部における反射率を測定することで求め
た。その結果を図4に、Alに対するTiの量(原子
%)と未記録部反射率(%)との関係を表すグラフとし
て示す。
Here, the reason for examining the unrecorded portion reflectance is as follows.
The unrecorded portion reflectance is a reflectance at the time of reproduction of a portion other than the recorded portion, and is largely affected by the light transmittance of the first layer, that is, the thickness of the first layer. According to the study of the present inventors, as a practical level, it is desirable that the unrecorded portion reflectance is 60% or more. In the storage member similar to that in the above experimental study, that is, in the storage member 1 shown in FIGS. 1 and 2, the amount of Ti (atomic%) with respect to Al, which is the former substance in the Al—Ti alloy film 30, was changed to reflect the unrecorded portion. The rate was checked. The unrecorded portion reflectance was determined by measuring the reflectance of the unrecorded portion of the recording portion 4 at a recording laser power of 0.7 mW (wavelength = 780 nm) of the recorded storage member 1. The results are shown in FIG. 4 as a graph showing the relationship between the amount (atomic%) of Ti with respect to Al and the reflectance (%) of the unrecorded portion.

【0021】図4から、Alに対するTiの量が30原
子%未満であれば、実用レベルである未記録部反射率6
0%以上を満足することがわかる。同様に上記先願にお
いて第1の物質を構成する種々の物質に対しても調べた
ところ、Alに対するTiの量が30原子%未満で未記
録部反射率60%以上となることがわかった。従って、
請求項1記載の第1の物質に含まれるTi等は、Ti原
子として30原子%未満であれば、記憶部材の光学特性
を実用レベル(例えば未記録部反射率60%以上)に維
持しつつ、低パワーの外部エネルギー(例えば記録レー
ザパワー14mW未満)で記録可能とできる。
FIG. 4 shows that if the amount of Ti with respect to Al is less than 30 atomic%, the unrecorded portion reflectivity 6 which is a practical level is obtained.
It is understood that 0% or more is satisfied. Similarly, when the various materials constituting the first material were examined in the above-mentioned prior application, it was found that the reflectance of unrecorded portions was 60% or more when the amount of Ti to Al was less than 30 atomic%. Therefore,
If Ti or the like contained in the first substance according to claim 1 is less than 30 atomic% as Ti atoms, the optical characteristics of the storage member can be maintained at a practical level (for example, the unrecorded portion reflectance is 60% or more). The recording can be performed with low power external energy (for example, recording laser power of less than 14 mW).

【0022】ところで、第2の層を構成する第2の物質
としては、第1の物質を酸化して自身が還元されるもの
が好ましいが、そのようなものとして、次のようなもの
が挙げられる。すなわち、第2の物質は、周期律表にお
ける6族、8族、9族、11族、及び、Ti、V、M
n、Ni、Re、Ge、Sn、Pb、As、Sb、B
i、Se、Te、Ce、Pr、Tbの中から選ばれた少
なくとも1つの元素を含む酸化物、及び酸素を構成要素
とする物質のうちの少なくとも1つを含む物質であるも
のにできる。ここで、例えば、6族元素としてはCr、
Mo、W等、8族元素としてはFe、Ru等、9族元素
としてはCo、Rh、Ir等、11族元素としてはC
u、Ag、Au等が挙げられる。
The second substance constituting the second layer is preferably a substance which itself is reduced by oxidizing the first substance. Examples of such a substance are as follows. Can be That is, the second substance is composed of groups 6, 8, 9, 11, and Ti, V, M in the periodic table.
n, Ni, Re, Ge, Sn, Pb, As, Sb, B
The material can be an oxide containing at least one element selected from i, Se, Te, Ce, Pr, and Tb, and a substance containing at least one of oxygen-containing substances. Here, for example, Cr,
Mo, W, etc., Group 8 elements such as Fe and Ru, Group 9 elements such as Co, Rh, Ir, etc., and Group 11 elements such as C
u, Ag, Au and the like.

【0023】なお、第1の物質と第2の物質とを、上記
のような無機材料とすれば、有機色素等の有機材料を用
いた記憶部材に比べて、材料自体が安価であり、又、蒸
着法やスパッタ法等の公知の方法にて製造できるため、
コスト的に有利な記憶材料とすることができる。さら
に、第1の層と第2の層とが接しているものにすれば、
外部エネルギーを付与した際に、上記した第1の物質と
第2の物質との酸化還元反応がより起こりやすくなり記
憶部材の感度を向上させることができる。
If the first substance and the second substance are inorganic materials as described above, the materials themselves are less expensive than a memory member using an organic material such as an organic dye, and Because it can be manufactured by a known method such as a vapor deposition method or a sputtering method,
It can be a cost-effective storage material. Furthermore, if the first layer and the second layer are in contact with each other,
When external energy is applied, the redox reaction between the first substance and the second substance is more likely to occur, and the sensitivity of the storage member can be improved.

【0024】また、第1の層と第2の層との間に、分解
温度が300℃以下の第3の物質が介在しているものに
すれば、熱に対する情報の保持性がより優れたものとで
きる。ここで分解温度とは、第3の物質が分解、昇華、
溶融等する温度であり、分解温度が300℃以下の第3
の物質としては、例えば、ハイドロカーボン等を用いる
ことができる。
Further, if a third substance having a decomposition temperature of 300 ° C. or less is interposed between the first layer and the second layer, the heat retention of information is more excellent. I can do it. Here, the decomposition temperature means that the third substance is decomposed, sublimated,
This is the third temperature at which the decomposition temperature is 300 ° C or lower
As the substance, for example, hydrocarbon or the like can be used.

【0025】すなわち、外部エネルギーによって分解温
度以上に加熱することで、第3の物質が分解、昇華、溶
融等され、第1の物質と第2の物質とが反応可能とな
り、情報の記録が可能となる。記録前は、第3の物質が
第1の物質と第2の物質との間に介在する形となるた
め、分解温度以下での両物質の反応が抑止される。従っ
て、光学特性を実用レベルに維持して低パワーの外部エ
ネルギーで記録可能としつつ、熱に対する保持性能を向
上できる。
That is, by heating above the decomposition temperature by external energy, the third substance is decomposed, sublimated, melted, etc., and the first substance and the second substance can react, and information can be recorded. Becomes Before recording, since the third substance is interposed between the first substance and the second substance, the reaction between the two substances at a decomposition temperature or lower is suppressed. Therefore, the optical characteristics can be maintained at a practical level, and recording can be performed with low-power external energy, and the heat retention performance can be improved.

【0026】なお、介在する第3の物質の分解温度を3
00℃以下としたのは、300℃より高い温度であると
記録時に与える外部エネルギーを非常に大きくしなけれ
ばならず、実用的でないためである。
The decomposition temperature of the intervening third substance is set to 3
The reason why the temperature is set to 00 ° C. or less is that if the temperature is higher than 300 ° C., the external energy given at the time of recording must be very large, which is not practical.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】本実施形態では、上述した図1お
よび図2に示す記憶部材1において、Al−Ti合金膜
30のTi量を25原子%としたものについて説明す
る。記憶部材1は、図1に示すように、中央部にCDプ
レーヤー等に取り付けるための穴2が形成された全体と
して円盤状をなし、上記のように平面部3および記録部
4が設けられている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present embodiment, a description will be given of a case where the Ti content of the Al—Ti alloy film 30 in the above-mentioned storage member 1 shown in FIGS. 1 and 2 is 25 atomic%. As shown in FIG. 1, the storage member 1 has a disc shape as a whole, in which a hole 2 for attaching to a CD player or the like is formed in the center portion, and is provided with the flat portion 3 and the recording portion 4 as described above. I have.

【0028】記録部4の断面構造について、図2に基づ
いて上述した部分については本実施形態では説明を省略
する。なお、基板10のレーザ光入射側である一方の面
11は鏡面であり、他方の面12にはレーザ光を導くた
めのスパイラル又は同心円状の案内溝(図示せず)が形
成されている。なお、光情報の記録、再生のためのレー
ザ光は、基板10から矢印Aのように入射し、後述する
ようにAl−Ti合金膜30にて矢印Aと反対方向に反
射する。
Regarding the cross-sectional structure of the recording section 4, the description of the portion described above with reference to FIG. One surface 11 of the substrate 10 on the laser light incident side is a mirror surface, and a spiral or concentric guide groove (not shown) for guiding the laser light is formed on the other surface 12. A laser beam for recording and reproducing optical information is incident from the substrate 10 as shown by an arrow A, and is reflected by the Al-Ti alloy film 30 in a direction opposite to the arrow A as described later.

【0029】次に、記憶部材1の製造方法について述べ
る。片面を鏡面とし残りの片面に案内溝を形成したポリ
カーボネート製円盤である基板10の案内溝が形成され
ている面12上に、RFマグネトロンスパッタ法によ
り、先ず、WO3 膜20を、ガス種(圧力比):O2
(Ar+O2 )=0.1、スパッタガス圧:3.0×1
-3Torr、投入電力:100〜300Wの成膜条件
により、Wターゲットを用いて190nm形成する。
Next, a method for manufacturing the storage member 1 will be described. First, the WO 3 film 20 is firstly subjected to a gas type (RF) magnetron sputtering method on a surface 12 of a substrate 10 which is a polycarbonate disk having guide grooves formed on one side and a guide groove formed on the other side by RF magnetron sputtering. Pressure ratio): O 2 /
(Ar + O 2 ) = 0.1, sputtering gas pressure: 3.0 × 1
Under a film forming condition of 0 -3 Torr, input power: 100 to 300 W, a film is formed to a thickness of 190 nm using a W target.

【0030】引き続き、真空を破らずに、RFマグネト
ロンスパッタ法により、Al−Ti合金膜30を、ガス
種Ar、スパッタガス圧:3.0×10-3Torr、投
入電力:100〜200Wの成膜条件により、Al−2
5原子%Ti合金ターゲットを用いて50nm形成す
る。最後に、紫外線硬化樹脂をスピンコート法により塗
布し、高圧水銀灯を用いて該紫外線硬化樹脂を硬化させ
て樹脂膜を形成し、保護膜40を成膜する。こうして、
記憶部材1が完成する。
Subsequently, without breaking the vacuum, the Al—Ti alloy film 30 was formed by RF magnetron sputtering with a gas species of Ar, a sputtering gas pressure of 3.0 × 10 −3 Torr, and an input power of 100 to 200 W. Depending on the film conditions, Al-2
It is formed to a thickness of 50 nm using a 5 atomic% Ti alloy target. Finally, an ultraviolet curing resin is applied by a spin coating method, and the ultraviolet curing resin is cured using a high-pressure mercury lamp to form a resin film, and a protective film 40 is formed. Thus,
The storage member 1 is completed.

【0031】次に、この記憶部材1の性能について、次
のように実験を行った。記憶部材1に、基板10の面1
1(鏡面)側から、波長=780nmのレーザ光を、N
A(開口数)=0.50の対物レンズを通して、Al−
Ti合金膜30面上に集光し記録を行った。このとき、
線速度=2.8m/sec、記録周波数=400kH
z、記録レーザ波形=デューティー比50%の矩形波と
し、記録レーザパワー=10mWであった。
Next, an experiment was conducted on the performance of the storage member 1 as follows. The storage member 1 has the surface 1 of the substrate 10
1 (mirror surface) side, laser light of wavelength = 780 nm
Through an objective lens of A (numerical aperture) = 0.50, Al-
Light was condensed and recorded on the surface of the Ti alloy film 30. At this time,
Linear velocity = 2.8 m / sec, recording frequency = 400 kHz
z, recording laser waveform = rectangular wave with a duty ratio of 50%, and recording laser power = 10 mW.

【0032】この記録済みの記憶部材1を再生レーザパ
ワー=0.7mW(波長=780nm)で、C/N(c
arrier to noise ratio)、未記
録部及び記録部(記録ピット)の反射率を測定した。そ
の結果、C/N=50dB、未記録部反射率=68%、
記録部反射率=11%であった。このように、記憶部材
1は良好な光学特性を示すことが確認できた。
The recorded storage member 1 is subjected to C / N (c) at a reproduction laser power of 0.7 mW (wavelength = 780 nm).
The reflectivity of an unrecorded portion and a recorded portion (recorded pit) was measured. As a result, C / N = 50 dB, unrecorded portion reflectance = 68%,
The reflectance of the recording portion was 11%. Thus, it was confirmed that the storage member 1 exhibited good optical characteristics.

【0033】ここで、レーザ光には実用上半導体レーザ
光等が用いられるが、記録レーザパワーは、通常実用レ
ベルとしては14mWより小さい範囲であることが望ま
れる。本例では、未記録部反射率60%以上の実用レベ
ルを維持しつつ、記録レーザパワーは10mWと実用レ
ベル範囲内とでき、低パワーで記録可能とできる。さら
に、この記録済みの記憶部材1を、耐環境試験として、
温度90℃、相対湿度80%RHの環境下で240時間
保持した後、再度、C/Nと、未記録部反射率、記録部
反射率の反射率を測定したところ、測定誤差範囲内でい
ずれの特性も変化が認められなかった。このように、記
憶部材1は、記録情報の保持性能が熱および湿気に対し
ても安定であることが確認できた。
Here, a semiconductor laser beam or the like is practically used as the laser beam, and it is generally desired that the recording laser power be within a range of less than 14 mW as a practical level. In this example, the recording laser power can be kept within the practical level range of 10 mW while maintaining the practical level of the unrecorded portion reflectance of 60% or more, and recording can be performed with low power. Further, the recorded storage member 1 is used as an environmental resistance test.
After holding for 240 hours in an environment of a temperature of 90 ° C. and a relative humidity of 80% RH, the C / N, the reflectance of the unrecorded portion, and the reflectance of the recorded portion were measured again. No change was observed in the characteristics of As described above, it was confirmed that the storage member 1 has a stable recording information retention performance against heat and moisture.

【0034】ところで、記憶部材1では、記録レーザ光
を、主にWO3 膜20とAl−Ti合金膜30との界面
付近で吸収して光エネルギーを熱に換え、このエネルギ
ーでWO3 膜20とAl−Ti合金膜30との間に反応
を誘起させる。その反応は、WO3 膜20からAl−T
i合金膜30へ酸素が供給され、Al−Ti合金膜30
の全部または一部が、Al2 3 膜およびTiO膜の少
なくとも一方に変化し、一方、WO3 膜20の全部また
は一部が、酸素欠損構造をとりWO2.96膜に変化する。
本実施形態では、記録部4において両膜20および30
の変化した部分が記録部分として構成される。
By the way, the memory member 1, the recording laser beam, mainly changing the light energy into heat by absorbing in the vicinity of the interface between the WO 3 film 20 and the Al-Ti alloy film 30, WO 3 film 20 in this energy And a reaction is induced between the Al—Ti alloy film 30 and the Al—Ti alloy film 30. The reaction is carried out from the WO 3 film 20 by Al-T
Oxygen is supplied to the i-alloy film 30 and the Al-Ti alloy film 30
All or part of, changes in at least one of the Al 2 O 3 film and the TiO film, whereas all or part of the WO 3 film 20 is changed to the WO 2. 96 film take oxygen deficiency structure.
In the present embodiment, both films 20 and 30 are formed in the recording unit 4.
The changed part is configured as a recording part.

【0035】つまり、WO3 膜20は、Al−Ti合金
膜30を酸化して自身は還元され、Al−Ti合金膜3
0は、WO3 膜20を還元して自身は酸化されたことに
なる。このとき、WO3 膜20とAl2 3 膜とTiO
膜は光吸収性の膜であり、Al−Ti合金膜30は金属
光沢を有する膜であり、WO2.96膜は可視域で青く着色
して見える光吸収性の膜である。
That is, the WO 3 film 20 oxidizes the Al—Ti alloy film 30 and is reduced by itself.
A value of 0 means that the WO 3 film 20 is reduced and oxidized. At this time, the WO 3 film 20, the Al 2 O 3 film and the TiO 2
Film is a light-absorbing film, Al-Ti alloy film 30 is a film having a metallic luster, WO 2. 96 film is a light-absorbing film appears colored blue in the visible region.

【0036】従って、上記実験において記録前では、A
l−Ti合金膜30の反射層としての効果により、再生
レーザ光は記録部4の未記録部分では68%反射され
る。しかし、記録レーザ光が入射した記録部4の記録部
分ではWO3 膜20が還元されてWO2.96膜となり光を
吸収することにより、再生レーザ光は11%しか反射さ
れない。つまり、主として第2の物質であるWO3 の光
学特性変化によって情報が記録される。これが、本実施
形態においてデータ等の情報が記憶できる作用である。
Therefore, before recording in the above experiment, A
Due to the effect of the l-Ti alloy film 30 as a reflection layer, the reproduction laser beam is reflected 68% on the unrecorded portion of the recording section 4. However, by recording laser beam to absorb is reduced is WO 3 film 20 is recorded portion of the recording unit 4 having entered WO 2. 96 film and becomes light, the reproducing laser beam is not reflected only 11%. That is, information is recorded mainly by a change in the optical characteristics of WO 3 as the second substance. This is the operation that can store information such as data in the present embodiment.

【0037】また、上記反応全体が発熱反応であること
から、記録レーザ光によって一度反応が進行すれば、記
録レーザ光による供給エネルギーを抑えることができ、
結果的に記憶部材1の感度を上昇させることができる。
同時に、反応の発熱エネルギーの大きな材料の組み合わ
せを選択することにより、逆の反応がより起こりにくく
なる。従って、結果的に、記録情報保持の熱的安定性及
び湿気に対する安定性を向上させることができる。
Further, since the entire reaction is an exothermic reaction, once the reaction proceeds by the recording laser beam, the energy supplied by the recording laser beam can be reduced,
As a result, the sensitivity of the storage member 1 can be increased.
At the same time, by selecting a combination of materials having a large exothermic energy for the reaction, the reverse reaction is less likely to occur. Therefore, as a result, it is possible to improve the thermal stability of recording information retention and the stability against moisture.

【0038】また、Alが酸素分子1mol量と結合す
るときに発生するエネルギー(酸素結合エネルギー)
は、室温でおよそ1128kJすなわち1000kJ以
上であるが、Tiとの合金化により、上記酸化還元反応
の反応エネルギーが低下し、熱の拡散を抑制することに
より、必要な記録レーザパワーをさせるものと考えられ
る。なお、WO3 が酸素分子1mol量を解離してWO
2.96に変化するときに必要とするエネルギー(酸素解離
エネルギー)は、室温でおよそ413kJであり500
kJ以下である。
Energy generated when Al is combined with 1 mol of oxygen molecules (oxygen binding energy)
Is about 1128 kJ, that is, 1000 kJ or more at room temperature. However, it is considered that the alloying with Ti lowers the reaction energy of the oxidation-reduction reaction and suppresses the diffusion of heat, thereby increasing the required recording laser power. Can be Note that WO 3 dissociates 1 mol of oxygen molecules and WO 3
2. Energy required when changing to 96 (oxygen dissociation energy) is located approximately 413kJ at room temperature 500
kJ or less.

【0039】このTiの添加効果は、Ti自体が活性金
属であるため表面が酸化しやすいこと、及び記録レーザ
光(例えば波長780nm)を吸収しやすいため熱を吸
収しやすいこと、熱の拡散を抑制すること等から、Ti
の添加により反応性が高くなるためと考えられる。ま
た、逆にTiの添加により光吸収性が大きくなって光透
過率が低下するが、添加量を30原子%未満としている
ことで、未記録部反射率60%以上を確保出来る程度の
光透過率の低下に抑えることができると考えられる。
The effect of the addition of Ti is that the surface is easily oxidized because Ti itself is an active metal, that the recording laser light (for example, 780 nm) is easily absorbed, and that heat is easily absorbed. From the suppression, etc., Ti
It is considered that the reactivity is increased by the addition of. Conversely, the addition of Ti increases the light absorption and lowers the light transmittance. However, by setting the addition amount to less than 30 atomic%, the light transmittance is such that the unrecorded portion reflectance of 60% or more can be secured. It is thought that the rate can be kept down.

【0040】なお、上述の図3および図4におけるAl
−Ti合金膜30のAlに対するTiの量を種々変えた
記憶部材1においても、上記の反応メカニズムにより情
報記憶がなされ、Ti量を30原子%としたものにおい
て、未記録部反射率を実用レベルに維持しつつ、低パワ
ーの記録レーザで記録可能な記憶部材1を提供できる。
It should be noted that the Al shown in FIGS.
-In the storage member 1 in which the amount of Ti with respect to Al in the Ti alloy film 30 is variously changed, information is stored by the above-described reaction mechanism. And the recording member 1 that can be recorded with a low-power recording laser can be provided.

【0041】このように、第1の層に金属膜としてAl
−Ti合金膜30を用いることにより、Al単独膜に比
べて記録感度を上昇(本実施形態では記録レーザパワー
の低減)させることができるとともに、Ti単独膜に比
べて記憶部材1の光学特性(本実施形態では未記録部反
射率)を上昇させることができる。なお、本実施形態に
おいては、第1の層であるAl−Ti合金膜30と第2
の層であるWO3 膜20とが互いに接しているため、記
録レーザ光を入射した時に、両層を構成する両物質の酸
化還元反応がより起こりやすくなり記憶部材1の記録感
度を向上させることができるという効果も有している。
As described above, the first layer is formed of Al as a metal film.
By using the -Ti alloy film 30, the recording sensitivity can be increased (the recording laser power is reduced in this embodiment) as compared with the Al-only film, and the optical characteristics of the storage member 1 (as compared to the Ti-only film) ( In the present embodiment, the unrecorded portion reflectance can be increased. In this embodiment, the first layer, the Al—Ti alloy film 30 and the second
Since the WO 3 film 20 is in contact with each other, when a recording laser beam is incident, the oxidation-reduction reaction of both materials constituting both layers is more likely to occur, and the recording sensitivity of the storage member 1 is improved. It also has the effect that it can be done.

【0042】また、本実施形態によれば、記録レーザ光
付与時の反応において酸化される第1の物質と還元され
る第2の物質とが、共に層をなして基板10上に積層さ
れた複数層構造をとっているため、体格を薄型とでき、
例えば追記型コンパクトディスク(CD−R)等に好適
とできる。 (他の実施形態)なお、上記実施形態において、第1の
層(Al−Ti合金膜30)と第2の層(WO3 膜2
0)との間に、分解温度(分解、昇華、溶融温度)が3
00℃以下の第3の物質(例えば、ハイドロカーボン
等)からなる第3の層が介在されていると、以下の理由
によって、熱に対する記録情報の保持性能が向上する。
Further, according to the present embodiment, the first substance oxidized and the second substance reduced in the reaction at the time of applying the recording laser beam are laminated on the substrate 10 in layers. Because it has a multi-layer structure, the physique can be made thin,
For example, it is suitable for a write-once compact disc (CD-R). (Other Embodiments) In the above embodiment, the first layer (Al—Ti alloy film 30) and the second layer (WO 3 film 2)
0), the decomposition temperature (decomposition, sublimation, melting temperature) is 3
When a third layer made of a third substance (for example, hydrocarbon or the like) at a temperature of 00 ° C. or lower is interposed, the performance of retaining recorded information against heat is improved for the following reasons.

【0043】すなわち、記録レーザ光によって分解温度
以上に加熱することで、第3の物質が分解、昇華、溶融
等され、第1の物質と第2の物質とが反応可能となり、
情報の記録が可能となる。記録前は、分解温度以下とす
ることで、第1の物質と第2の物質との間に介在する形
となるため、分解温度以下での両物質の反応が抑止され
る。
That is, by heating to above the decomposition temperature by the recording laser beam, the third substance is decomposed, sublimated, melted, etc., so that the first substance and the second substance can react,
Information can be recorded. Before the recording, by setting the temperature to be equal to or lower than the decomposition temperature, the first substance and the second substance are interposed between the first substance and the second substance.

【0044】ここで、介在する第3の物質の分解温度を
300℃以下としたのは、300℃以上であると記録時
に与えるレーザ光のパワーを非常に大きくしなければな
らず、記憶部材として実用的でないためである。また、
PETフィルム(基板)上の片面に、Al−Ti合金膜
(第1の層)、WO3 膜(第2の層)、透明な保護膜、
粘着層を順次形成した記憶部材として、レーザ光にてデ
ータと画像を記憶させた後、任意な場所に張り付ける構
成としてもよい。
Here, the reason why the decomposition temperature of the intervening third substance is set to 300 ° C. or lower is that when the temperature is higher than 300 ° C., the power of the laser beam to be applied at the time of recording must be very large, and This is because it is not practical. Also,
On one side of a PET film (substrate), an Al—Ti alloy film (first layer), a WO 3 film (second layer), a transparent protective film,
As a storage member in which an adhesive layer is sequentially formed, data and an image may be stored by a laser beam, and then the storage member may be attached to an arbitrary place.

【0045】また、基板の無いものとして、例えば、T
iドープしたAl箔(第1の層)上にMoO3 膜(第2
の層)を形成した記憶部材として、レーザ光にて描画す
ることにより、描画像を記憶できるものとしてもよい
し、TiをドープしたMg箔(第1の層)上にPrO2
斜め蒸着膜(第2の層)を形成した記憶部材として、超
音波でドット画を描画することにより、描画像を記憶で
きるものとしてもよい。
As an example without a substrate, for example, T
A MoO 3 film (second layer) is formed on the i-doped Al foil (first layer).
The layer may be a memory member on which a drawn image can be stored by drawing with a laser beam, or PrO 2 on a Ti-doped Mg foil (first layer).
The storage member having the obliquely deposited film (second layer) formed thereon may be capable of storing a drawn image by drawing a dot image with an ultrasonic wave.

【0046】また、第1の物質は、Tiを含むものとし
て合金等の金属または金属間化合物に限らず、TiN
(窒化チタン)等の窒化物を含むものでも良い。例え
ば、PETフィルム(基板)上の片面に、TiN膜(第
1の層)、WO3膜(第2の層)、透明な保護膜、粘着
層を順次形成した記憶部材として、レーザ光にてデータ
と画像を記憶させた後、任意な場所に張り付けるように
したものとしてもよい。
Further, the first substance is not limited to a metal such as an alloy or an intermetallic compound as containing Ti, but may be TiN.
A material containing a nitride such as (titanium nitride) may be used. For example, a memory member having a TiN film (first layer), a WO 3 film (second layer), a transparent protective film, and an adhesive layer sequentially formed on one surface of a PET film (substrate) by laser light After storing the data and the image, the data and the image may be attached to an arbitrary place.

【0047】ところで、上記各実施形態において、反応
を誘起させるための外部エネルギーはレーザ光、超音波
あるいは熱に限定されるものではなく、光全般、電磁
波、音波、放射線、衝撃力、歪み等であってもよい。ま
た、上記各実施形態を適宜組み合わせたものとして良い
ことは勿論である。
In each of the above embodiments, the external energy for inducing a reaction is not limited to laser light, ultrasonic waves, or heat, but includes general light, electromagnetic waves, sound waves, radiation, impact force, distortion, and the like. There may be. It is needless to say that the above embodiments may be appropriately combined.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る記憶部材の全体構成を示す構成図
である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an overall configuration of a storage member according to the present invention.

【図2】図1のB−B断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line BB of FIG.

【図3】Al−Ti合金膜の膜厚と記録レーザパワーと
の関係を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing the relationship between the thickness of an Al—Ti alloy film and the recording laser power.

【図4】Al−Ti合金膜の膜厚と未記録部反射率との
関係を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing the relationship between the thickness of an Al—Ti alloy film and the reflectance of an unrecorded portion.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…記憶部材、2…穴、3…平面部、4…記録部、10
…基板、11、12…基板の面、20…WO3 膜、30
…Al−Ti合金膜、40…保護膜。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Memory member, 2 ... Hole, 3 ... Flat part, 4 ... Recording part, 10
... substrate, 11, 12 ... surface of the substrate, 20 ... WO 3 film, 30
... Al-Ti alloy film, 40 ... Protective film.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹田 康彦 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の1 株式会社豊田中央研究所内 (72)発明者 加藤 直彦 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の1 株式会社豊田中央研究所内 (72)発明者 元廣 友美 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の1 株式会社豊田中央研究所内 (72)発明者 川井 正一 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 株式会 社デンソー内 (72)発明者 久野 裕也 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 株式会 社デンソー内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Yasuhiko Takeda 41-Cho, Yokomichi, Nagakute-cho, Aichi-gun, Aichi Prefecture Inside Toyota Central R & D Laboratories Co., Ltd. 41, Yokomichi, Toyota Central Research Laboratory Co., Ltd. (72) Inventor Tomomi Motohiro 41, Ochi-cho, Yoji, Nagakute-cho, Aichi-gun, Aichi Prefecture 1 Toyota Toyota Central Research Laboratory Co., Ltd. (72) Inventor Shoichi Kawai 1-1-1, Showa-cho, Kariya-shi, Aichi Prefecture Inside Denso Corporation (72) Inventor Yuya Kuno 1-1-1, Showa-cho, Kariya City, Aichi Prefecture Inside Denso Corporation

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 第1の物質からなる第1の層と第2の物
質からなる第2の層とを備える複数層からなり、外部エ
ネルギーを付与することによって前記第2の物質から前
記第1の物質に酸素を供給する酸化還元反応を行うこと
で、両物質のうち少なくとも一方の光学特性を変化させ
て情報を記録する記憶部材であって、 前記第2の物質は、酸素分子1mol量を解離するとき
に必要とするエネルギーが550kJ以下である酸化物
および酸素を構成要素とする物質のうちの少なくとも1
つを含むものであり、 前記第1の物質は、酸素分子1mol量と結合するとき
に発生するエネルギーが1000kJ以上である金属、
金属間化合物、窒化物およびこれらを含む化合物のうち
少なくとも1つからなる物質に対して、TiあるいはT
i化合物が含まれたものであることを特徴とする記憶部
材。
1. A multi-layer comprising a first layer made of a first substance and a second layer made of a second substance, wherein the first substance is decomposed from the second substance by applying external energy. A storage member that records information by changing the optical characteristics of at least one of the two substances by performing an oxidation-reduction reaction that supplies oxygen to the substance, wherein the second substance has a 1 mol amount of oxygen molecules. At least one of an oxide and a substance containing oxygen whose energy required for dissociation is 550 kJ or less is used.
Wherein the first substance is a metal whose energy generated when combined with 1 mol of oxygen molecules is 1000 kJ or more;
Ti or T is used for a substance comprising at least one of an intermetallic compound, a nitride, and a compound containing the same.
A memory member comprising an i-compound.
JP9307421A 1997-11-10 1997-11-10 Storage member Pending JPH11144316A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9307421A JPH11144316A (en) 1997-11-10 1997-11-10 Storage member

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9307421A JPH11144316A (en) 1997-11-10 1997-11-10 Storage member

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11144316A true JPH11144316A (en) 1999-05-28

Family

ID=17968865

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9307421A Pending JPH11144316A (en) 1997-11-10 1997-11-10 Storage member

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11144316A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000004536A1 (en) * 1998-07-14 2000-01-27 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Storage member
EP1701349A2 (en) 2005-03-10 2006-09-13 Sony Corporation Write once optical recording medium
WO2007061021A1 (en) 2005-11-22 2007-05-31 Sony Corporation Recordable optical recording medium and method for manufacturing same

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000004536A1 (en) * 1998-07-14 2000-01-27 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Storage member
EP1701349A2 (en) 2005-03-10 2006-09-13 Sony Corporation Write once optical recording medium
EP1701349A3 (en) * 2005-03-10 2007-03-21 Sony Corporation Write once optical recording medium
CN100412971C (en) * 2005-03-10 2008-08-20 索尼株式会社 Write once optical recording medium
US7468200B2 (en) 2005-03-10 2008-12-23 Sony Corporation Write once optical recording medium
KR101189984B1 (en) 2005-03-10 2012-10-12 소니 주식회사 Write once optical recording medium
WO2007061021A1 (en) 2005-11-22 2007-05-31 Sony Corporation Recordable optical recording medium and method for manufacturing same
EP1953750A1 (en) * 2005-11-22 2008-08-06 Sony Corporation Recordable optical recording medium and method for manufacturing same
EP1953750A4 (en) * 2005-11-22 2009-05-06 Sony Corp Recordable optical recording medium and method for manufacturing same
US7924694B2 (en) 2005-11-22 2011-04-12 Sony Corporation Write-once type optical recording medium and fabrication method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3584472B2 (en) Optical storage medium
JP2813844B2 (en) Optical recording medium
US5334433A (en) Optical recording medium
JP2960824B2 (en) Magneto-optical recording medium
WO2005010878A1 (en) Optical recording medium and process for producing the same, and data recording method and data reproducing method for optical recording medium
JP2004158145A (en) Optical recording medium
WO2007052614A1 (en) Optical information recording medium and method for manufacture thereof
WO2005020223A1 (en) Optical recording medium and process for producing the same, data recording method and data reproducing method for optical recording medium
JPH04265787A (en) Optical recording medium
WO2000004536A1 (en) Storage member
JPH11144316A (en) Storage member
US6045889A (en) Recording medium
JP2001101709A (en) Optical recording medium, optical recording medium producing method and optical recording method
JP2002074742A (en) Information recording medium
JPH11138996A (en) Storage member
JPH021373A (en) Optical recording medium
JPH11120614A (en) Memory member
JP3816245B2 (en) Memory member
JPH1112734A (en) Thin metallic film, and optical recording medium using same
TW200416726A (en) Optical information-recording media and optical information-recording /reproduction apparatus
JP3510551B2 (en) Optical recording medium
JP2948899B2 (en) Optical recording medium and optical recording method
JPH11126370A (en) Optical record medium
JP2002092959A (en) Optical recording medium
JPS63121142A (en) Optical information recording medium

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040309