JPH1085546A - 低露点空気供給システム - Google Patents
低露点空気供給システムInfo
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- F24F3/1423—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification by absorbing or adsorbing water, e.g. using an hygroscopic desiccant with a moving bed of solid desiccants, e.g. a rotary wheel supporting solid desiccants
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- Combustion & Propulsion (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エネルギ消費の少ない低露点空気供給システ
ムを構築する。 【解決手段】 ドライルームＲに低露点の空気を供給す
るシステムにおいて、ドライルームＲからの還気ＲＡ2
を、パージ空気として乾式減湿装置のロータ１１の低温
パージ区域１１ｅ、パージ再生区域１１ｂ、高温パージ
区域１１ｄの順に通過させる。低露点のパージ空気を有
効に利用してロータ１１を冷却できるので、パージ空気
の量を低減させて、還気ＲＡ1の風量を増大させること
ができ、外気ＯＡの取り入れ量を低減させることができ
る。パージ再生区域１１ｂでロータ１１を加熱できるか
ら再生に要するエネルギの低減も図れる。
ムを構築する。 【解決手段】 ドライルームＲに低露点の空気を供給す
るシステムにおいて、ドライルームＲからの還気ＲＡ2
を、パージ空気として乾式減湿装置のロータ１１の低温
パージ区域１１ｅ、パージ再生区域１１ｂ、高温パージ
区域１１ｄの順に通過させる。低露点のパージ空気を有
効に利用してロータ１１を冷却できるので、パージ空気
の量を低減させて、還気ＲＡ1の風量を増大させること
ができ、外気ＯＡの取り入れ量を低減させることができ
る。パージ再生区域１１ｂでロータ１１を加熱できるか
ら再生に要するエネルギの低減も図れる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、目的室に低露点の
空気を供給するための低露点空気供給システム、に関す
るものである。
空気を供給するための低露点空気供給システム、に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体製造プロセスやリチウム電
池の製造プロセスにおいては、乾燥しかつ低露点の雰囲
気を有している、ドライルームと呼ばれる設備の需要が
増加している。
池の製造プロセスにおいては、乾燥しかつ低露点の雰囲
気を有している、ドライルームと呼ばれる設備の需要が
増加している。
【０００３】ところで一般に用いられる空気を減湿する
方法には従来から冷却減湿の方法が周知であるが、冷却
減湿では露点が−５℃以上の空気しか生成できず、前記
ドライルームが要求するような低露点には対応できな
い。
方法には従来から冷却減湿の方法が周知であるが、冷却
減湿では露点が−５℃以上の空気しか生成できず、前記
ドライルームが要求するような低露点には対応できな
い。
【０００４】そこで低露点（−５０℃以下）の空気を供
給する空調機、空調システムには、回転式のロータを用
いたいわゆる乾式減湿装置が使用されている。この乾式
減湿装置は、塩化リチウムや塩化カルシウムなどの吸収
液を含侵させたハニカム状のロータや、シリカゲル、ゼ
オライトなどの吸着材で構成したロータの端面側が、減
湿区域と再生区域とに仕切られており、ロータを回転さ
せながら減湿区域に処理空気を通過させて乾燥空気を作
り出すと共に、再生区域に高温の再生空気を通過させる
ことによって、前記吸収液や吸着材中の水分を再生空気
中に蒸発させて、連続的に減湿処理を行うように構成さ
れている。
給する空調機、空調システムには、回転式のロータを用
いたいわゆる乾式減湿装置が使用されている。この乾式
減湿装置は、塩化リチウムや塩化カルシウムなどの吸収
液を含侵させたハニカム状のロータや、シリカゲル、ゼ
オライトなどの吸着材で構成したロータの端面側が、減
湿区域と再生区域とに仕切られており、ロータを回転さ
せながら減湿区域に処理空気を通過させて乾燥空気を作
り出すと共に、再生区域に高温の再生空気を通過させる
ことによって、前記吸収液や吸着材中の水分を再生空気
中に蒸発させて、連続的に減湿処理を行うように構成さ
れている。
【０００５】但しロータが高温のまま処理系統、即ち減
湿区域に移行すると、減湿しない空気がロータを通過し
て露点を上げてしまうので、再生区域から減湿区域に移
行する前の区域に、パージ区域と呼ばれる区域を設け、
再生区域、パージ区域、減湿区域の順にロータを回転さ
せ、このパージ区域に冷却用のパージ空気を通過させて
ロータの冷却を行うように構成されていることが多い。
湿区域に移行すると、減湿しない空気がロータを通過し
て露点を上げてしまうので、再生区域から減湿区域に移
行する前の区域に、パージ区域と呼ばれる区域を設け、
再生区域、パージ区域、減湿区域の順にロータを回転さ
せ、このパージ区域に冷却用のパージ空気を通過させて
ロータの冷却を行うように構成されていることが多い。
【０００６】このような乾式減湿装置を用いて低露点空
気を供給する場合、乾式減湿装置を１段で処理をする方
法と、外気処理用に別途乾式減湿装置を設けて直列２段
で処理を行う２つの方式がある。１段のシステムはイニ
シャルコストは安価であるが、消費エネルギが多いた
め、主として小さい室に低露点空気を供給する場合に用
いられている。一方２段のシステムでは、消費エネルギ
を低減するために再生系統を循環させ、２段目の乾式湿
減湿装置における再生区域からの排気を、１段目の乾式
減湿装置の再生に再利用することでエネルギの低減を図
っている。ドライルームなどに低露点の空気を供給する
場合のシステムでは、一般的にこの２段のシステムが用
いられている。
気を供給する場合、乾式減湿装置を１段で処理をする方
法と、外気処理用に別途乾式減湿装置を設けて直列２段
で処理を行う２つの方式がある。１段のシステムはイニ
シャルコストは安価であるが、消費エネルギが多いた
め、主として小さい室に低露点空気を供給する場合に用
いられている。一方２段のシステムでは、消費エネルギ
を低減するために再生系統を循環させ、２段目の乾式湿
減湿装置における再生区域からの排気を、１段目の乾式
減湿装置の再生に再利用することでエネルギの低減を図
っている。ドライルームなどに低露点の空気を供給する
場合のシステムでは、一般的にこの２段のシステムが用
いられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な乾式減湿装置を用いて減湿する場合、冷却減湿より低
露点の空気を供給できるものの、１段のシステムはもと
より、エネルギ低消費型の２段のタイプでさえ、冷却減
湿よりもエネルギの消費が多く、さらなる省エネルギが
求められている。また前記したドライルームは、ほとん
どが２４時間運転であり、エネルギの低減が運用費を含
めた設備コストに与える影響が非常に高いため、エネル
ギの低減がことさら強く求められているのが実情であ
る。
な乾式減湿装置を用いて減湿する場合、冷却減湿より低
露点の空気を供給できるものの、１段のシステムはもと
より、エネルギ低消費型の２段のタイプでさえ、冷却減
湿よりもエネルギの消費が多く、さらなる省エネルギが
求められている。また前記したドライルームは、ほとん
どが２４時間運転であり、エネルギの低減が運用費を含
めた設備コストに与える影響が非常に高いため、エネル
ギの低減がことさら強く求められているのが実情であ
る。
【０００８】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、ドライルームなど、低露点の空気を必要とする室
に低露点空気を供給するシステムにおいて、従来よりも
エネルギ消費の少ない低露点空気供給システムを提供し
て、前記問題の解決を図ることを目的としている。
あり、ドライルームなど、低露点の空気を必要とする室
に低露点空気を供給するシステムにおいて、従来よりも
エネルギ消費の少ない低露点空気供給システムを提供し
て、前記問題の解決を図ることを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１によれば、吸着機能や吸収機能を有する回
転自在なロータを有する乾式減湿装置を用いて、目的室
に低露点の空気を供給するシステムにおいて、前記乾式
減湿装置は、ロータ端面に位置する空気の通過域が、ロ
ータの回転方向順に、再生区域、高温パージ区域、低温
パージ区域、減湿区域、パージ再生区域に仕切られ、前
記目的室には、減湿区域を通過した空気が供給されるよ
うに構成され、前記目的室からの還気の一部が、前記乾
式減湿装置におけるロータの低温パージ区域、パージ再
生区域、高温パージ区域を順に通過するように構成さ
れ、前記高温パージ区域を通過した空気は、再生区域を
通過させる再生系統の空気と混合されるように構成され
たことを特徴とする、低露点空気供給システムが提供さ
れる。
め、請求項１によれば、吸着機能や吸収機能を有する回
転自在なロータを有する乾式減湿装置を用いて、目的室
に低露点の空気を供給するシステムにおいて、前記乾式
減湿装置は、ロータ端面に位置する空気の通過域が、ロ
ータの回転方向順に、再生区域、高温パージ区域、低温
パージ区域、減湿区域、パージ再生区域に仕切られ、前
記目的室には、減湿区域を通過した空気が供給されるよ
うに構成され、前記目的室からの還気の一部が、前記乾
式減湿装置におけるロータの低温パージ区域、パージ再
生区域、高温パージ区域を順に通過するように構成さ
れ、前記高温パージ区域を通過した空気は、再生区域を
通過させる再生系統の空気と混合されるように構成され
たことを特徴とする、低露点空気供給システムが提供さ
れる。
【００１０】このように構成された低露点空気供給シス
テムにおいては、まず目的室からの還気の一部がロータ
の低温パージ区域を通過して、ロータを冷却する。次い
で前記ロータの冷却によって逆に加熱された空気は、パ
ージ再生区域に導入される。このパージ再生区域は、減
湿区域の次の区域であるから、前記低温パージ区域を通
過して昇温した空気はこのパージ再生区域を通過する際
に冷却される。一方ロータの方は、逆に加熱される。従
って、ロータは次の再生区域に入る前に加熱されるの
で、再生区域での加熱量の低減が図れる。
テムにおいては、まず目的室からの還気の一部がロータ
の低温パージ区域を通過して、ロータを冷却する。次い
で前記ロータの冷却によって逆に加熱された空気は、パ
ージ再生区域に導入される。このパージ再生区域は、減
湿区域の次の区域であるから、前記低温パージ区域を通
過して昇温した空気はこのパージ再生区域を通過する際
に冷却される。一方ロータの方は、逆に加熱される。従
って、ロータは次の再生区域に入る前に加熱されるの
で、再生区域での加熱量の低減が図れる。
【００１１】そして前記パージ再生区域を通過して冷却
された空気は、次に高温パージ区域を通過し、再生区域
を経たロータをいわばプレ冷却する。従って、ロータは
再生区域から減湿区域へと移る前に、高温パージ区域と
前出低温パージ区域で２段に冷却されることになる。そ
の結果、従来よりもパージ空気を有効に利用することが
でき、その風量も従来より少ないものとすることができ
る。従ってパージ空気の量を低減させた分、還気を処理
空気側へと余分に回すことが可能であり、処理空気とし
て導入する外気の量の低減、外気処理に要するエネルギ
の低減を図ることかできる。またパージ再生区域で湿分
の移行があっても、その空気はその後高温パージ区域を
通過するため、ロータ側ではその後の低温パージ区域で
ロータの湿分の除去が行えることになる。
された空気は、次に高温パージ区域を通過し、再生区域
を経たロータをいわばプレ冷却する。従って、ロータは
再生区域から減湿区域へと移る前に、高温パージ区域と
前出低温パージ区域で２段に冷却されることになる。そ
の結果、従来よりもパージ空気を有効に利用することが
でき、その風量も従来より少ないものとすることができ
る。従ってパージ空気の量を低減させた分、還気を処理
空気側へと余分に回すことが可能であり、処理空気とし
て導入する外気の量の低減、外気処理に要するエネルギ
の低減を図ることかできる。またパージ再生区域で湿分
の移行があっても、その空気はその後高温パージ区域を
通過するため、ロータ側ではその後の低温パージ区域で
ロータの湿分の除去が行えることになる。
【００１２】高温パージ区域を通過した空気は再生区域
を通過させる再生系統の空気と混合されるが、高温パー
ジ区域を通過した空気はロータによって加熱されている
ので、その分再生系統の空気の加熱に要するエネルギが
低減される。
を通過させる再生系統の空気と混合されるが、高温パー
ジ区域を通過した空気はロータによって加熱されている
ので、その分再生系統の空気の加熱に要するエネルギが
低減される。
【００１３】請求項２の低露点空気供給システムは、そ
のような請求項１の低露点空気供給システムにおいて、
パージ再生区域を通過した空気が高温パージ区域に導入
される前に、冷却装置によって当該パージ再生区域を通
過した空気を冷却するように構成されている。
のような請求項１の低露点空気供給システムにおいて、
パージ再生区域を通過した空気が高温パージ区域に導入
される前に、冷却装置によって当該パージ再生区域を通
過した空気を冷却するように構成されている。
【００１４】このようにパージ再生区域を通過した空気
が高温パージ区域に導入される前に、別途冷却装置でパ
ージ空気を冷却することにより、より少ない空気量でロ
ータの冷却を実施することができる。
が高温パージ区域に導入される前に、別途冷却装置でパ
ージ空気を冷却することにより、より少ない空気量でロ
ータの冷却を実施することができる。
【００１５】さらに請求項３によれば、吸着機能や吸収
機能を有する回転自在なロータを有する乾式減湿装置を
用いて、目的室に低露点の空気を供給するシステムにお
いて、前記乾式減湿装置は、ロータ端面に位置する空気
の通過域が、ロータの回転方向順に、再生区域、高温パ
ージ区域、低温パージ区域、減湿区域に仕切られ、前記
目的室には、減湿区域を通過した空気が供給されるよう
に構成され、前記目的室からの還気の一部が、前記乾式
減湿装置におけるロータの低温パージ区域、高温パージ
区域を順に通過するように構成され、前記低温パージ区
域を通過した空気が高温パージ区域に導入される前に冷
却装置によって冷却されるように構成され、前記高温パ
ージ区域を通過した空気は、再生区域を通過させる再生
系統の空気と混合されるように構成されたことを特徴と
する、低露点空気供給システムが提供される。
機能を有する回転自在なロータを有する乾式減湿装置を
用いて、目的室に低露点の空気を供給するシステムにお
いて、前記乾式減湿装置は、ロータ端面に位置する空気
の通過域が、ロータの回転方向順に、再生区域、高温パ
ージ区域、低温パージ区域、減湿区域に仕切られ、前記
目的室には、減湿区域を通過した空気が供給されるよう
に構成され、前記目的室からの還気の一部が、前記乾式
減湿装置におけるロータの低温パージ区域、高温パージ
区域を順に通過するように構成され、前記低温パージ区
域を通過した空気が高温パージ区域に導入される前に冷
却装置によって冷却されるように構成され、前記高温パ
ージ区域を通過した空気は、再生区域を通過させる再生
系統の空気と混合されるように構成されたことを特徴と
する、低露点空気供給システムが提供される。
【００１６】この請求項３の低露点空気供給システムに
おいては、前記請求項１、２の場合と異なり、ロータ端
面に位置する空気の通過域は、再生区域、高温パージ区
域、低温パージ区域、減湿区域の４つに仕切られてお
り、パージ再生区域は設けられていない。したがってそ
のままでは、前記請求項１、２の場合よりも高い温度で
高温パージ区域に導入されるが、請求項３の低露点空気
供給システムにおいてはパージ再生区域の代わりに冷却
装置によって、低温パージ区域を通過して昇温したパー
ジ空気を冷却するようにしている。
おいては、前記請求項１、２の場合と異なり、ロータ端
面に位置する空気の通過域は、再生区域、高温パージ区
域、低温パージ区域、減湿区域の４つに仕切られてお
り、パージ再生区域は設けられていない。したがってそ
のままでは、前記請求項１、２の場合よりも高い温度で
高温パージ区域に導入されるが、請求項３の低露点空気
供給システムにおいてはパージ再生区域の代わりに冷却
装置によって、低温パージ区域を通過して昇温したパー
ジ空気を冷却するようにしている。
【００１７】その結果、請求項１、２の低露点空気供給
システムよりもエネルギ効率は低下するが、依然として
パージ空気自体の利用効率は従来より良好であって、そ
の風量も従来よりも低減させることができる。従って、
パージ空気の風量を低減させた分、還気を処理空気側へ
と回すことができ、処理空気として導入する外気の量の
低減を実現して、外気処理に要するエネルギの低減を図
ることができる。それゆえシステム全体としては、従来
より消費エネルギを少なくすることができる。
システムよりもエネルギ効率は低下するが、依然として
パージ空気自体の利用効率は従来より良好であって、そ
の風量も従来よりも低減させることができる。従って、
パージ空気の風量を低減させた分、還気を処理空気側へ
と回すことができ、処理空気として導入する外気の量の
低減を実現して、外気処理に要するエネルギの低減を図
ることができる。それゆえシステム全体としては、従来
より消費エネルギを少なくすることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図１は、第１の実施の形態に係る
低露点空気供給システムの概略を示しており、本実施の
形態にかかる低露点空気供給システムは、ドライルーム
Ｒに低露点空気を供給するシステムとして構成されてい
る。
施の形態を説明する。図１は、第１の実施の形態に係る
低露点空気供給システムの概略を示しており、本実施の
形態にかかる低露点空気供給システムは、ドライルーム
Ｒに低露点空気を供給するシステムとして構成されてい
る。
【００１９】まず導入外気ＯＡは、外気取り入れダクト
１により導かれて、外気処理クーラ２によって冷却減湿
される。その後、再生余剰空気冷却クーラ３で冷却され
た再生余剰空気と混合されて、外気処理ファン４によっ
て、１段目の乾式減湿装置５の減湿区域５ａに導入さ
れ、例えば露点温度−１０℃まで減湿される。この１段
目の乾式減湿装置５は、減湿区域５ａと再生区域５ｂと
の２つに分割されたロータ端面を有しているタイプであ
る。
１により導かれて、外気処理クーラ２によって冷却減湿
される。その後、再生余剰空気冷却クーラ３で冷却され
た再生余剰空気と混合されて、外気処理ファン４によっ
て、１段目の乾式減湿装置５の減湿区域５ａに導入さ
れ、例えば露点温度−１０℃まで減湿される。この１段
目の乾式減湿装置５は、減湿区域５ａと再生区域５ｂと
の２つに分割されたロータ端面を有しているタイプであ
る。
【００２０】その後、１段目の乾式減湿装置５の減湿区
域５ａを通過して外気処理された空気は、ドライルーム
Ｒから還気ダクト６を通じて戻ってきた一部の還気ＲＡ
1と混合され、処理ファン７によって、プレクーラ８に
送られる。このプレクーラ８によって処理空気は冷却さ
れた後、２段目の乾式減湿装置１０のロータ１１の減湿
区域１１ａに導入されて減湿処理される。
域５ａを通過して外気処理された空気は、ドライルーム
Ｒから還気ダクト６を通じて戻ってきた一部の還気ＲＡ
1と混合され、処理ファン７によって、プレクーラ８に
送られる。このプレクーラ８によって処理空気は冷却さ
れた後、２段目の乾式減湿装置１０のロータ１１の減湿
区域１１ａに導入されて減湿処理される。
【００２１】２段目の乾式減湿装置１０は、図２、図３
に示した構成を有しており、回転するロータ１１の両端
面にチャンバ１２、１３が配置された構成を有してい
る。そしてロータ１１の端面は、図３中の矢印に示した
ロータ１１の回転方向順に、減湿区域１１ａ、パージ再
生区域１１ｂ、再生区域１１ｃ、高温パージ区域１１
ｄ、低温パージ区域１１ｅの５つの空気通過域に区画さ
れている。そしてチャンバ１２の外側端面には、これら
各区域に対応して、ダクトなどに接続するための減湿入
口１２ａ、パージ再生入口１２ｂ、再生出口１２ｃ、高
温パージ出口１２ｄ、低温パージ出口１２ｅが形成され
ている。またチャンバ１３の外方端面にも、前記５つの
区域に対応し、チャンバ１２の外側端面に形成された前
記減湿入口１２ａ、パージ再生入口１２ｂ、再生出口１
２ｃ、高温パージ出口１２ｄ、低温パージ出口１２ｅに
対応する、減湿出口、パージ再生出口、再生入口、高温
パージ入口、低温パージ入口が各々形成されている（い
ずれも図示せず）。
に示した構成を有しており、回転するロータ１１の両端
面にチャンバ１２、１３が配置された構成を有してい
る。そしてロータ１１の端面は、図３中の矢印に示した
ロータ１１の回転方向順に、減湿区域１１ａ、パージ再
生区域１１ｂ、再生区域１１ｃ、高温パージ区域１１
ｄ、低温パージ区域１１ｅの５つの空気通過域に区画さ
れている。そしてチャンバ１２の外側端面には、これら
各区域に対応して、ダクトなどに接続するための減湿入
口１２ａ、パージ再生入口１２ｂ、再生出口１２ｃ、高
温パージ出口１２ｄ、低温パージ出口１２ｅが形成され
ている。またチャンバ１３の外方端面にも、前記５つの
区域に対応し、チャンバ１２の外側端面に形成された前
記減湿入口１２ａ、パージ再生入口１２ｂ、再生出口１
２ｃ、高温パージ出口１２ｄ、低温パージ出口１２ｅに
対応する、減湿出口、パージ再生出口、再生入口、高温
パージ入口、低温パージ入口が各々形成されている（い
ずれも図示せず）。
【００２２】そして乾式減湿装置１０のロータ１１の減
湿区域１１ａで減湿されて、低露点となった空気は、そ
の後ヒータ２１、アフタークーラ２２によって、所定の
温度に調節された後、給気ＳＡとしてドライルームＲに
供給される。
湿区域１１ａで減湿されて、低露点となった空気は、そ
の後ヒータ２１、アフタークーラ２２によって、所定の
温度に調節された後、給気ＳＡとしてドライルームＲに
供給される。
【００２３】ドライルームＲからの一部の還気ＲＡ2
は、パージ系還気ダクト２３を通じ、パージ空気とし
て、乾式減湿装置１０のロータ１１の低温パージ区域１
１ｅに導入され、これによってロータ１１の冷却が行わ
れる。ここでの冷却が十分でないと、温度が高いままロ
ータ１１が減湿区域１１ａに入ってしまい、減湿が十分
にできないことになる。
は、パージ系還気ダクト２３を通じ、パージ空気とし
て、乾式減湿装置１０のロータ１１の低温パージ区域１
１ｅに導入され、これによってロータ１１の冷却が行わ
れる。ここでの冷却が十分でないと、温度が高いままロ
ータ１１が減湿区域１１ａに入ってしまい、減湿が十分
にできないことになる。
【００２４】そしてロータ１１の低温パージ区域１１ｅ
を通過したパージ空気は、パージ再生区域１１ｂに導入
される。ここでパージ空気は冷却され、ロータ１１は加
熱される。冷却されたパージ空気は、パージ再生出口ダ
クト２４を通じて高温パージ区域１１ｄに導入される。
ここで再びロータ１１は冷却され、パージ空気は加熱さ
れる。加熱されて昇温したパージ空気は、パージ系統フ
ァン２５によって再生系統に導かれ、さらに２段目の再
生ファン２６によって再生循環系統Ｐの空気に合流して
混合される。このようにして混合された空気は、その大
部分が再生系統ダクト２７を通って、２段目の再生ヒー
タ２８に送られ、この再生ヒータ２８により、例えば１
２０℃に加熱された後、乾式減湿装置１０のロータ１１
の再生に用いられる。即ちロータ１１の再生区域１１ｃ
に導入されるのである。なおこの再生系統の湿度は、減
湿量、導入するパージ空気の露点温度、および導入パー
ジ空気量と再生空気量、処理空気量の比によって決ま
る。
を通過したパージ空気は、パージ再生区域１１ｂに導入
される。ここでパージ空気は冷却され、ロータ１１は加
熱される。冷却されたパージ空気は、パージ再生出口ダ
クト２４を通じて高温パージ区域１１ｄに導入される。
ここで再びロータ１１は冷却され、パージ空気は加熱さ
れる。加熱されて昇温したパージ空気は、パージ系統フ
ァン２５によって再生系統に導かれ、さらに２段目の再
生ファン２６によって再生循環系統Ｐの空気に合流して
混合される。このようにして混合された空気は、その大
部分が再生系統ダクト２７を通って、２段目の再生ヒー
タ２８に送られ、この再生ヒータ２８により、例えば１
２０℃に加熱された後、乾式減湿装置１０のロータ１１
の再生に用いられる。即ちロータ１１の再生区域１１ｃ
に導入されるのである。なおこの再生系統の湿度は、減
湿量、導入するパージ空気の露点温度、および導入パー
ジ空気量と再生空気量、処理空気量の比によって決ま
る。
【００２５】再生系統からは高温側パージ空気の導入量
だけ空気を排出するが、その一部は１段目の再生ファン
２９の作動により１段目の再生ヒータ３０を通過した
後、昇温されて１段目の乾式減湿装置５の再生区域５ｂ
に導入され、この乾式減湿装置５のロータの再生に用い
られる。そしてその後、排気ＥＡとしてシステム外に排
出される。残りは再生余剰空気循環ダクト３１を通っ
て、前出再生余剰空気冷却用クーラ３によって冷却さ
れ、外気ＯＡと混合されて１段目の乾式減湿装置５の減
湿区域５ａに導入されて減湿されるようになっている。
即ち処理空気の一部として再使用される。なお図１にお
けるＤ1〜Ｄ8は、風量を調節するためダクト中に介装さ
れたダンパである。
だけ空気を排出するが、その一部は１段目の再生ファン
２９の作動により１段目の再生ヒータ３０を通過した
後、昇温されて１段目の乾式減湿装置５の再生区域５ｂ
に導入され、この乾式減湿装置５のロータの再生に用い
られる。そしてその後、排気ＥＡとしてシステム外に排
出される。残りは再生余剰空気循環ダクト３１を通っ
て、前出再生余剰空気冷却用クーラ３によって冷却さ
れ、外気ＯＡと混合されて１段目の乾式減湿装置５の減
湿区域５ａに導入されて減湿されるようになっている。
即ち処理空気の一部として再使用される。なお図１にお
けるＤ1〜Ｄ8は、風量を調節するためダクト中に介装さ
れたダンパである。
【００２６】第１の実施形態にかかる低露点供給システ
ムは以上のように構成されており、まずドライルームＲ
からの還気ＲＡ2が、パージ空気としてロータ１１の低
温パージ区域１１ｅを通過する際にロータ１１は冷却さ
れる。次いでこのロータ１１の冷却の際に逆に加熱され
たパージ空気は、パージ再生区域１１ｂに導入される。
このパージ再生区域１１ｂは、減湿区域１１ａの次の区
域であるので、昇温したパージ空気はこのパージ再生区
域１１ｂを通過する際に冷却される。一方ロータ１１の
方は逆に加熱されるので、次の再生区域１１ｃでの加熱
量の低減が図られる。
ムは以上のように構成されており、まずドライルームＲ
からの還気ＲＡ2が、パージ空気としてロータ１１の低
温パージ区域１１ｅを通過する際にロータ１１は冷却さ
れる。次いでこのロータ１１の冷却の際に逆に加熱され
たパージ空気は、パージ再生区域１１ｂに導入される。
このパージ再生区域１１ｂは、減湿区域１１ａの次の区
域であるので、昇温したパージ空気はこのパージ再生区
域１１ｂを通過する際に冷却される。一方ロータ１１の
方は逆に加熱されるので、次の再生区域１１ｃでの加熱
量の低減が図られる。
【００２７】パージ再生区域１１ｂを通過して冷却され
たパージ空気は、次いで高温パージ区域１１ｄを通過
し、再生区域１１ｃを経たロータ１１をいわばプレ冷却
することになる。従って、ロータ１１側からみれば、再
生区域１１ｃから減湿区域１１ａへと移る前に、高温パ
ージ区域１１ｄと低温パージ区域１１ｅで２段に冷却さ
れることになる。従って、パージ空気を有効に利用する
ことができ、その風量も従来より少ないものとすること
ができる。その結果、パージ空気の量を低減させた分、
還気ＲＡ2を少なくして、処理空気側へと回す還気ＲＡ1
を増大させることができ、処理空気として導入する外気
ＯＡの量の低減、外気処理に要するエネルギの低減を図
ることができる。従ってシステム全体としてみれば、能
力を低下させることなく、消費エネルギの低減が図られ
ている。
たパージ空気は、次いで高温パージ区域１１ｄを通過
し、再生区域１１ｃを経たロータ１１をいわばプレ冷却
することになる。従って、ロータ１１側からみれば、再
生区域１１ｃから減湿区域１１ａへと移る前に、高温パ
ージ区域１１ｄと低温パージ区域１１ｅで２段に冷却さ
れることになる。従って、パージ空気を有効に利用する
ことができ、その風量も従来より少ないものとすること
ができる。その結果、パージ空気の量を低減させた分、
還気ＲＡ2を少なくして、処理空気側へと回す還気ＲＡ1
を増大させることができ、処理空気として導入する外気
ＯＡの量の低減、外気処理に要するエネルギの低減を図
ることができる。従ってシステム全体としてみれば、能
力を低下させることなく、消費エネルギの低減が図られ
ている。
【００２８】なおパージ再生区域１１ｂで湿分の移行が
あっても、その空気は次に高温パージ区域１１ｄを通過
するため、ロータ１１側ではその後の低温パージ区域１
１ｅにおいてロータ１１の湿分の除去が行えることにな
る。
あっても、その空気は次に高温パージ区域１１ｄを通過
するため、ロータ１１側ではその後の低温パージ区域１
１ｅにおいてロータ１１の湿分の除去が行えることにな
る。
【００２９】なお前記第１の実施形態にかかるシステム
によれば、パージ空気として用いる還気ＲＡ2の温度を
２３℃とすれば、低温パージ区域１１ｅの出口温度は４
４℃、パージ再生区域１１ｂの出口温度は２８℃、高温
パージ区域１１ｄの出口温度は８２℃とすることができ
る。
によれば、パージ空気として用いる還気ＲＡ2の温度を
２３℃とすれば、低温パージ区域１１ｅの出口温度は４
４℃、パージ再生区域１１ｂの出口温度は２８℃、高温
パージ区域１１ｄの出口温度は８２℃とすることができ
る。
【００３０】また発明者の知見によれば、前記第１の実
施形態にかかるシステムと、従来のこの種のシステム、
即ち乾湿減湿装置のロータが減湿区域、再生区域、パー
ジ区域の３つに仕切られ、パージ区域を通過した空気を
全て再生系統に戻す場合と比較すれば、冷熱で１５〜２
０％、温熱で３０〜３５％、合計で２０〜２５％のエネ
ルギ消費の低減ができる。またそれに応じて１段目の乾
式減湿装置５のロータの大きさを２／３とすることがで
きるため、設備費の低減も実現できる。
施形態にかかるシステムと、従来のこの種のシステム、
即ち乾湿減湿装置のロータが減湿区域、再生区域、パー
ジ区域の３つに仕切られ、パージ区域を通過した空気を
全て再生系統に戻す場合と比較すれば、冷熱で１５〜２
０％、温熱で３０〜３５％、合計で２０〜２５％のエネ
ルギ消費の低減ができる。またそれに応じて１段目の乾
式減湿装置５のロータの大きさを２／３とすることがで
きるため、設備費の低減も実現できる。
【００３１】前記第１の実施形態にかかる低露点空気供
給システムにおいて、図４に示した第２の実施形態にか
かる低露点空気供給システムのように、パージ再生区域
１１ｂを通過したパージ空気が、高温パージ区域１１ｄ
に導入される前に冷却されるように、パージ再生出口ダ
クト２４に冷却装置として、例えば冷却コイル４１を付
加してもよい。なお図４中、図１中の符号と同一符号で
示される部材は、第１の実施形態にかかる低露点空気供
給システムにおける該当部材と同一の部材を示してい
る。
給システムにおいて、図４に示した第２の実施形態にか
かる低露点空気供給システムのように、パージ再生区域
１１ｂを通過したパージ空気が、高温パージ区域１１ｄ
に導入される前に冷却されるように、パージ再生出口ダ
クト２４に冷却装置として、例えば冷却コイル４１を付
加してもよい。なお図４中、図１中の符号と同一符号で
示される部材は、第１の実施形態にかかる低露点空気供
給システムにおける該当部材と同一の部材を示してい
る。
【００３２】このような第２の実施形態にかかる低露点
空気供給システムによれば、パージ再生区域１１ｂを通
過したパージ空気が高温パージ区域１１ｄに導入される
前に、冷却コイル４１によって冷却されるので、パージ
での冷却能力を維持したままパージ風量をさらに低減さ
せることができる。従って、その分還気ＲＡ2を低減さ
せて還気ＲＡ1を増加することが可能になり、外気ＯＡ
の導入量を減少させて、外気処理に要するエネルギの一
層の低減を図ることができる。
空気供給システムによれば、パージ再生区域１１ｂを通
過したパージ空気が高温パージ区域１１ｄに導入される
前に、冷却コイル４１によって冷却されるので、パージ
での冷却能力を維持したままパージ風量をさらに低減さ
せることができる。従って、その分還気ＲＡ2を低減さ
せて還気ＲＡ1を増加することが可能になり、外気ＯＡ
の導入量を減少させて、外気処理に要するエネルギの一
層の低減を図ることができる。
【００３３】前記第１、第２の各実施形態に用いた乾式
減湿装置１０のロータ１１は、図３にも示したように、
空気の通過区域が、ロータ１１の回転方向順に、減湿区
域１１ａ、パージ再生区域１１ｂ、再生区域１１ｃ、高
温パージ区域１１ｄ、低温パージ区域１１ｅの５つの空
気通過域に区画されていたものであったが、ロータにそ
のようなパージ再生区域を設定できない場合には、図５
に示した第３の実施形態にかかる低露点空気供給システ
ムを構築できる。なお図５中、図１中の符号と同一符号
で示される部材は、第１の実施形態にかかる低露点空気
供給システムにおける該当部材と同一の部材を示してい
る。
減湿装置１０のロータ１１は、図３にも示したように、
空気の通過区域が、ロータ１１の回転方向順に、減湿区
域１１ａ、パージ再生区域１１ｂ、再生区域１１ｃ、高
温パージ区域１１ｄ、低温パージ区域１１ｅの５つの空
気通過域に区画されていたものであったが、ロータにそ
のようなパージ再生区域を設定できない場合には、図５
に示した第３の実施形態にかかる低露点空気供給システ
ムを構築できる。なお図５中、図１中の符号と同一符号
で示される部材は、第１の実施形態にかかる低露点空気
供給システムにおける該当部材と同一の部材を示してい
る。
【００３４】この第３の実施形態にかかる低露点空気供
給システムに用いた乾式減湿装置５０は、図６、図７に
示したように、回転するロータ５１の両端面にチャンバ
５２、５３が配置され、さらにロータ５１の端面は、ロ
ータ５１の回転方向順に、減湿区域５１ａ、再生区域５
１ｂ、高温パージ区域５１ｃ、低温パージ区域５１ｄの
４つの空気通過域に区画されている。チャンバ５２の外
側端面には、これら各区域に対応して、ダクトなどに接
続するための減湿入口５２ａ、再生出口５２ｂ、高温パ
ージ出口５２ｃ、低温パージ出口５２ｄが形成されてい
る。もちろんチャンバ５３の外方端面にも、これら４つ
の区域に対応し、チャンバ５２の外側端面に形成された
前記減湿入口５２ａ、再生出口５２ｂ、高温パージ出口
５２ｃ、低温パージ出口５２ｄに対応する、減湿出口、
再生入口、高温パージ入口、低温パージ入口が各々形成
されている（いずれも図示せず）。
給システムに用いた乾式減湿装置５０は、図６、図７に
示したように、回転するロータ５１の両端面にチャンバ
５２、５３が配置され、さらにロータ５１の端面は、ロ
ータ５１の回転方向順に、減湿区域５１ａ、再生区域５
１ｂ、高温パージ区域５１ｃ、低温パージ区域５１ｄの
４つの空気通過域に区画されている。チャンバ５２の外
側端面には、これら各区域に対応して、ダクトなどに接
続するための減湿入口５２ａ、再生出口５２ｂ、高温パ
ージ出口５２ｃ、低温パージ出口５２ｄが形成されてい
る。もちろんチャンバ５３の外方端面にも、これら４つ
の区域に対応し、チャンバ５２の外側端面に形成された
前記減湿入口５２ａ、再生出口５２ｂ、高温パージ出口
５２ｃ、低温パージ出口５２ｄに対応する、減湿出口、
再生入口、高温パージ入口、低温パージ入口が各々形成
されている（いずれも図示せず）。
【００３５】そして図５に示したように、ドライルーム
Ｒからの還気ＲＡ2は、パージ空気として低温パージ５
２ｄを通過した後、冷却装置としての冷却コイル５４に
よって冷却された後、高温パージ区域５１ｃに導入され
るようになっている。なお高温パージ区域５１ｃは、前
記第１、第２の実施形態と同様、再生系統の空気と混合
される。
Ｒからの還気ＲＡ2は、パージ空気として低温パージ５
２ｄを通過した後、冷却装置としての冷却コイル５４に
よって冷却された後、高温パージ区域５１ｃに導入され
るようになっている。なお高温パージ区域５１ｃは、前
記第１、第２の実施形態と同様、再生系統の空気と混合
される。
【００３６】このような構成の第３の実施形態にかかる
低露点空気供給システムによれば、ロータ５１にパージ
再生区域が設けられていない分、前記第１、第２の実施
形態より多少エネルギ効率は低下するものの、低温パー
ジ５２ｄを通過して昇温したパージ空気を冷却コイル５
４によって冷却した後高温パージ区域５２ｃに導入する
ようにしたので、ロータ５１をパージ空気によって２段
で冷却することができ、依然としてパージ空気の有効利
用を図ることが可能であり、従来よりもエネルギ消費が
少ないものとなっている。またロータ５１にパージ再生
区域を設定できないときでも適用できるから、実用的効
果は大きい。
低露点空気供給システムによれば、ロータ５１にパージ
再生区域が設けられていない分、前記第１、第２の実施
形態より多少エネルギ効率は低下するものの、低温パー
ジ５２ｄを通過して昇温したパージ空気を冷却コイル５
４によって冷却した後高温パージ区域５２ｃに導入する
ようにしたので、ロータ５１をパージ空気によって２段
で冷却することができ、依然としてパージ空気の有効利
用を図ることが可能であり、従来よりもエネルギ消費が
少ないものとなっている。またロータ５１にパージ再生
区域を設定できないときでも適用できるから、実用的効
果は大きい。
【００３７】
【発明の効果】請求項１、２の低露点空気供給システム
によれば、低温パージ区域を通過して昇温した空気はパ
ージ再生区域を通過する際にロータを加熱するので、ロ
ータの再生区域での加熱量の低減が図れる。またロータ
自体は再生区域から減湿区域へと移る前に、高温パージ
区域と低温パージ区域で２段に冷却されることになり、
パージ空気を有効に利用することができ、冷却効率は良
好である。したがってパージ空気の風量を従来より少な
くでき、その分目的室からの還気を処理空気側へと余分
に回すことが可能であり、処理空気として導入する外気
の量の低減、外気処理に要するエネルギの低減を図るこ
とができる。さらに高温パージ区域を通過して昇温した
空気は、再生区域を通過させる再生系統の空気と混合さ
れるので、その分再生系統の空気の加熱に要するエネル
ギが低減されている。従って請求項１、２の低露点空気
供給システムは、従来のシステムよりもエネルギの消費
量を大幅に低減させることができる。特に請求項２の低
露点空気供給システムでは、パージ再生区域を通過した
空気が高温パージ区域に導入される前に、適宜冷却装置
でパージ空気を冷却するようにしたので、より一層少な
い空気量でロータの冷却を実施することができ、その分
エネルギの消費量をさらに低減できる。
によれば、低温パージ区域を通過して昇温した空気はパ
ージ再生区域を通過する際にロータを加熱するので、ロ
ータの再生区域での加熱量の低減が図れる。またロータ
自体は再生区域から減湿区域へと移る前に、高温パージ
区域と低温パージ区域で２段に冷却されることになり、
パージ空気を有効に利用することができ、冷却効率は良
好である。したがってパージ空気の風量を従来より少な
くでき、その分目的室からの還気を処理空気側へと余分
に回すことが可能であり、処理空気として導入する外気
の量の低減、外気処理に要するエネルギの低減を図るこ
とができる。さらに高温パージ区域を通過して昇温した
空気は、再生区域を通過させる再生系統の空気と混合さ
れるので、その分再生系統の空気の加熱に要するエネル
ギが低減されている。従って請求項１、２の低露点空気
供給システムは、従来のシステムよりもエネルギの消費
量を大幅に低減させることができる。特に請求項２の低
露点空気供給システムでは、パージ再生区域を通過した
空気が高温パージ区域に導入される前に、適宜冷却装置
でパージ空気を冷却するようにしたので、より一層少な
い空気量でロータの冷却を実施することができ、その分
エネルギの消費量をさらに低減できる。
【００３８】請求項３の低露点空気供給システムによれ
ば、パージ空気自体の利用効率は従来より良好であっ
て、その風量も従来よりも低減させることができるか
ら、その分、還気を処理空気側へと回すことができ、処
理空気として導入する外気の量の低減を実現して、外気
処理に要するエネルギの低減を図ることができる。また
高温パージ区域を通過して昇温された空気も、再生区域
を通過させる再生系統の空気と混合させているので、再
生系統の空気の加熱に要するエネルギも低減されてい
る。従って、従来よりもエネルギ消費の少ないシステム
となっている。
ば、パージ空気自体の利用効率は従来より良好であっ
て、その風量も従来よりも低減させることができるか
ら、その分、還気を処理空気側へと回すことができ、処
理空気として導入する外気の量の低減を実現して、外気
処理に要するエネルギの低減を図ることができる。また
高温パージ区域を通過して昇温された空気も、再生区域
を通過させる再生系統の空気と混合させているので、再
生系統の空気の加熱に要するエネルギも低減されてい
る。従って、従来よりもエネルギ消費の少ないシステム
となっている。
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる低露点空気
供給システムの構成の概略を示す説明図である。
供給システムの構成の概略を示す説明図である。
【図２】図１の低露点空気供給システムに用いた乾式減
湿装置の斜視図である。
湿装置の斜視図である。
【図３】図２の乾式減湿装置の軸方向からみた正面図で
ある。
ある。
【図４】本発明の第２の実施形態にかかる低露点空気供
給システムの構成の概略を示す説明図である。
給システムの構成の概略を示す説明図である。
【図５】本発明の第３の実施形態にかかる低露点空気供
給システムの構成の概略を示す説明図である。
給システムの構成の概略を示す説明図である。
【図６】図５の低露点空気供給システムに用いた乾式減
湿装置の斜視図である。
湿装置の斜視図である。
【図７】図６の乾式減湿装置の軸方向からみた正面図で
ある。
ある。
１０ 乾式減湿装置 １１、５１ ロータ １１ａ 減湿区域 １１ｂ パージ再生区域 １１ｃ 再生区域 １１ｄ 高温パージ区域 １１ｅ 低温パージ区域 ４１、５４ 冷却コイル Ｄ1〜Ｄ8 ダンパ Ｒ ドライルーム
Claims (3)
- 【請求項１】 吸着機能や吸収機能を有する回転自在な
ロータを有する乾式減湿装置を用いて、目的室に低露点
の空気を供給するシステムにおいて、前記乾式減湿装置
は、ロータ端面に位置する空気の通過域が、ロータの回
転方向順に、再生区域、高温パージ区域、低温パージ区
域、減湿区域、パージ再生区域に仕切られ、前記目的室
には、減湿区域を通過した空気が供給されるように構成
され、前記目的室からの還気の一部が、前記乾式減湿装
置におけるロータの低温パージ区域、パージ再生区域、
高温パージ区域を順に通過するように構成され、前記高
温パージ区域を通過した空気は、再生区域を通過させる
再生系統の空気と混合されるように構成されたことを特
徴とする、低露点空気供給システム。 - 【請求項２】 吸着機能や吸収機能を有する回転自在な
ロータを有する乾式減湿装置を用いて、目的室に低露点
の空気を供給するシステムにおいて、前記乾式減湿装置
は、ロータ端面に位置する空気の通過域が、ロータの回
転方向順に、再生区域、高温パージ区域、低温パージ区
域、減湿区域、パージ再生区域に仕切られ、前記目的室
には、減湿区域を通過した空気が供給されるように構成
され、前記目的室からの還気の一部が、前記乾式減湿装
置におけるロータの低温パージ区域、パージ再生区域、
高温パージ区域を順に通過するように構成されると共
に、前記パージ再生区域を通過した空気が高温パージ区
域に導入される前に、冷却装置によって冷却されるよう
に構成され、前記高温パージ区域を通過した空気は、再
生区域を通過させる再生系統の空気と混合されるように
構成されたことを特徴とする、低露点空気供給システ
ム。 - 【請求項３】 吸着機能や吸収機能を有する回転自在な
ロータを有する乾式減湿装置を用いて、目的室に低露点
の空気を供給するシステムにおいて、前記乾式減湿装置
は、ロータ端面に位置する空気の通過域が、ロータの回
転方向順に、再生区域、高温パージ区域、低温パージ区
域、減湿区域に仕切られ、前記目的室には、減湿区域を
通過した空気が供給されるように構成され、前記目的室
からの還気の一部が、前記乾式減湿装置におけるロータ
の低温パージ区域、高温パージ区域を順に通過するよう
に構成され、前記低温パージ区域を通過した空気が高温
パージ区域に導入される前に冷却装置によって冷却され
るように構成され、前記高温パージ区域を通過した空気
は、再生区域を通過させる再生系統の空気と混合される
ように構成されたことを特徴とする、低露点空気供給シ
ステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26353096A JP3881067B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | 低露点空気供給システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26353096A JP3881067B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | 低露点空気供給システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1085546A true JPH1085546A (ja) | 1998-04-07 |
| JP3881067B2 JP3881067B2 (ja) | 2007-02-14 |
Family
ID=17390823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26353096A Expired - Lifetime JP3881067B2 (ja) | 1996-09-12 | 1996-09-12 | 低露点空気供給システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3881067B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001179036A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-03 | Seibu Giken Co Ltd | 除湿装置 |
| EP1231439A1 (en) * | 1999-11-12 | 2002-08-14 | Daikin Industries, Ltd. | Clean room |
| EP1275431A3 (en) * | 2001-07-10 | 2003-02-26 | Nichias Co., Ltd. | Air filter |
| JP2008012400A (ja) * | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Nichias Corp | 除湿方法及び除湿装置 |
| WO2011017782A1 (en) * | 2009-08-11 | 2011-02-17 | Atlas Copco Airpower | Dryer for compressed gas, method for drying compressed gas, and compressor installation provided with a dryer |
| JP2012217879A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | Seibu Giken Co Ltd | 吸着式除湿装置 |
| WO2013046715A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | ダイキン工業株式会社 | 除湿システム |
| US10478771B2 (en) | 2014-12-16 | 2019-11-19 | Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap | Dryer for compressed gas, compressor installation provided with such a dryer and method for drying gas |
| EP3945253A4 (en) * | 2019-03-29 | 2022-05-18 | Nihon Spindle Manufacturing Co., Ltd. | DEHUMIDIFICATION DEVICE FOR DEW POINT TEMPERATURE ADJUSTMENT |
| WO2023025435A1 (en) * | 2021-08-23 | 2023-03-02 | Munters Europe Aktiebolag | Gas sorption system |
-
1996
- 1996-09-12 JP JP26353096A patent/JP3881067B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1231439A1 (en) * | 1999-11-12 | 2002-08-14 | Daikin Industries, Ltd. | Clean room |
| EP1231439A4 (en) * | 1999-11-12 | 2003-05-07 | Daikin Ind Ltd | CLEAN ROOM |
| US6960236B1 (en) | 1999-11-12 | 2005-11-01 | Daikin Industries, Ltd. | Clean room |
| JP2001179036A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-03 | Seibu Giken Co Ltd | 除湿装置 |
| EP1275431A3 (en) * | 2001-07-10 | 2003-02-26 | Nichias Co., Ltd. | Air filter |
| KR101340208B1 (ko) * | 2006-07-04 | 2013-12-10 | 니치아스 가부시키가이샤 | 제습 방법 및 제습 장치 |
| JP2008012400A (ja) * | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Nichias Corp | 除湿方法及び除湿装置 |
| AU2010282153B2 (en) * | 2009-08-11 | 2015-04-02 | Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap | Dryer for compressed gas, method for drying compressed gas, and compressor installation provided with a dryer |
| BE1018854A3 (nl) * | 2009-08-11 | 2011-10-04 | Atlas Copco Airpower Nv | Droger voor samengeperst gas en werkwijze daarbij toegepast. |
| WO2011017782A1 (en) * | 2009-08-11 | 2011-02-17 | Atlas Copco Airpower | Dryer for compressed gas, method for drying compressed gas, and compressor installation provided with a dryer |
| US9586172B2 (en) | 2009-08-11 | 2017-03-07 | Atlas Copco Airpower Naamloze Vennootschap | Dryer for compressed gas |
| JP2012217879A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | Seibu Giken Co Ltd | 吸着式除湿装置 |
| WO2013046715A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | ダイキン工業株式会社 | 除湿システム |
| JPWO2013046715A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2015-03-26 | ダイキン工業株式会社 | 除湿システム |
| US9557069B2 (en) | 2011-09-29 | 2017-01-31 | Daikin Industries, Ltd. | Dehumidification system |
| CN103827589A (zh) * | 2011-09-29 | 2014-05-28 | 大金工业株式会社 | 除湿系统 |
| US10478771B2 (en) | 2014-12-16 | 2019-11-19 | Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap | Dryer for compressed gas, compressor installation provided with such a dryer and method for drying gas |
| US11173448B2 (en) | 2014-12-16 | 2021-11-16 | Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap | Dryer for compressed gas, compressor installation provided with such a dryer and method for drying gas |
| EP3945253A4 (en) * | 2019-03-29 | 2022-05-18 | Nihon Spindle Manufacturing Co., Ltd. | DEHUMIDIFICATION DEVICE FOR DEW POINT TEMPERATURE ADJUSTMENT |
| US11874019B2 (en) | 2019-03-29 | 2024-01-16 | Nihon Spindle Manufacturing Co., Ltd. | Dehumidifying device for dew point temperature adjustment |
| WO2023025435A1 (en) * | 2021-08-23 | 2023-03-02 | Munters Europe Aktiebolag | Gas sorption system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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