JPH1062134A - 認識検査における照明調整方法 - Google Patents
認識検査における照明調整方法Info
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- JPH1062134A JPH1062134A JP8220926A JP22092696A JPH1062134A JP H1062134 A JPH1062134 A JP H1062134A JP 8220926 A JP8220926 A JP 8220926A JP 22092696 A JP22092696 A JP 22092696A JP H1062134 A JPH1062134 A JP H1062134A
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- value
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- mark
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カメラにより対象物の認識を行う場合の照明
光の明るさの調整を自動的にかつ適正に行うことができ
る認識検査における照明調整方法を提供することを目的
とする。 【解決手段】 光源１２から基板２に照明光を照射し、
カメラ１１で検査対象物であるマーク１の輝度画像を入
手する。そしてこの輝度画像を横切る方向における画素
と画素の輝度差の累積値の平均値を演算部１６で演算す
る。この処理を照明光の明るさを変化させながらくり返
し、この平均値が最大となる明るさを見つけ、この明る
さを適正な明るさとして設定する。
光の明るさの調整を自動的にかつ適正に行うことができ
る認識検査における照明調整方法を提供することを目的
とする。 【解決手段】 光源１２から基板２に照明光を照射し、
カメラ１１で検査対象物であるマーク１の輝度画像を入
手する。そしてこの輝度画像を横切る方向における画素
と画素の輝度差の累積値の平均値を演算部１６で演算す
る。この処理を照明光の明るさを変化させながらくり返
し、この平均値が最大となる明るさを見つけ、この明る
さを適正な明るさとして設定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カメラにより対象
物を認識する認識検査における照明調整方法に関するも
のである。
物を認識する認識検査における照明調整方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品を基板に実装する電子部品実装
装置は、基板を所定の位置に位置決めしたうえで、電子
部品を基板の所定の座標位置に実装するようになってい
る。この場合、所定の座標系における基板の位置を予め
把握しておく必要があり、このため電子部品を基板に実
装するのに先立って、基板の位置認識が行われる。
装置は、基板を所定の位置に位置決めしたうえで、電子
部品を基板の所定の座標位置に実装するようになってい
る。この場合、所定の座標系における基板の位置を予め
把握しておく必要があり、このため電子部品を基板に実
装するのに先立って、基板の位置認識が行われる。
【０００３】基板の位置認識は、基板の上面に形成され
たマークなどの特徴部をカメラで観察することにより行
われる。すなわち、光源からの照明光を基板に照射しな
がら、カメラで基板の特徴部付近を観察し、特徴部と特
徴部の背景の輝度の差を利用して特徴部の位置や形状等
を認識し、この認識結果に基づいて、基板の位置を把握
する。
たマークなどの特徴部をカメラで観察することにより行
われる。すなわち、光源からの照明光を基板に照射しな
がら、カメラで基板の特徴部付近を観察し、特徴部と特
徴部の背景の輝度の差を利用して特徴部の位置や形状等
を認識し、この認識結果に基づいて、基板の位置を把握
する。
【０００４】上述した特徴部の認識は、特徴部の輝度と
その背景の輝度の中間にスレッショルド値（以下、ＴＨ
値という）を設定することにより行われる。以下、図面
を参照して従来の特徴部の認識方法について説明する。
その背景の輝度の中間にスレッショルド値（以下、ＴＨ
値という）を設定することにより行われる。以下、図面
を参照して従来の特徴部の認識方法について説明する。
【０００５】図９（ａ）は、従来のカメラに組込まれた
基板のマークの輝度画像図、図９（ｂ）は同輝度分布図
である。図９（ａ）において、Ｗはカメラの視野内に設
定されたウィンドウであり、ウィンドウＷの内部に基板
の上面に形成された特徴部としての円形のマーク１が取
込まれている。ｊは横軸、ｉは縦軸、Ｐは画素である。
本例では基板の地肌は緑色などの暗色であり、マーク１
は白色などの明色である。基板に照明光を照射して、マ
ーク１を横切る方向に輝度のレベルを走査した結果を図
９（ｂ）に示している。図９（ｂ）において、マーク１
の輝度と基板の地肌の輝度には大きな差があり、したが
ってその中間にＴＨ値を設定することにより、マーク１
を背景（地肌）から明確に区別し、マーク１の位置や形
状などを明瞭に認識することができる。
基板のマークの輝度画像図、図９（ｂ）は同輝度分布図
である。図９（ａ）において、Ｗはカメラの視野内に設
定されたウィンドウであり、ウィンドウＷの内部に基板
の上面に形成された特徴部としての円形のマーク１が取
込まれている。ｊは横軸、ｉは縦軸、Ｐは画素である。
本例では基板の地肌は緑色などの暗色であり、マーク１
は白色などの明色である。基板に照明光を照射して、マ
ーク１を横切る方向に輝度のレベルを走査した結果を図
９（ｂ）に示している。図９（ｂ）において、マーク１
の輝度と基板の地肌の輝度には大きな差があり、したが
ってその中間にＴＨ値を設定することにより、マーク１
を背景（地肌）から明確に区別し、マーク１の位置や形
状などを明瞭に認識することができる。
【０００６】しかしながら、図９（ｂ）に示す輝度分布
のレベルは、基板に照射される光源から照射される照射
光の強さによって大きく変動するものであり、したがっ
てマーク１をカメラで認識するのに先立って、照明光の
強さを最適に設定しなければならない。そこで次に、従
来の照明光の強さの調整方法について説明する。
のレベルは、基板に照射される光源から照射される照射
光の強さによって大きく変動するものであり、したがっ
てマーク１をカメラで認識するのに先立って、照明光の
強さを最適に設定しなければならない。そこで次に、従
来の照明光の強さの調整方法について説明する。
【０００７】図１０は従来の照明光の強さの調整方法を
説明するための輝度分布図であって、（ａ），（ｂ），
（ｃ）は、光源の光量（明るさ）を順に増大させた状態
を示すものである。すなわち（ａ）は暗すぎる場合であ
る。この場合、輝度レベルは低く、マーク１は暗く観察
され、背景との輝度の差は小さいのでＴＨ値は図示する
ような低レベルに設定しなければならない。（ｂ）は光
量が適正な場合であって、マーク１と背景の輝度の差は
大きく、図示するレベルにＴＨ値を設定することにより
マーク１を背景と明確に区別できる。また（ｃ）は明る
すぎる場合である。この場合、マーク１の輝度は高くな
るが、背景の輝度も高くなるのでマーク１と背景の輝度
の差は小さく、ＴＨ値は図示する高レベルに設定しなけ
ればならない。
説明するための輝度分布図であって、（ａ），（ｂ），
（ｃ）は、光源の光量（明るさ）を順に増大させた状態
を示すものである。すなわち（ａ）は暗すぎる場合であ
る。この場合、輝度レベルは低く、マーク１は暗く観察
され、背景との輝度の差は小さいのでＴＨ値は図示する
ような低レベルに設定しなければならない。（ｂ）は光
量が適正な場合であって、マーク１と背景の輝度の差は
大きく、図示するレベルにＴＨ値を設定することにより
マーク１を背景と明確に区別できる。また（ｃ）は明る
すぎる場合である。この場合、マーク１の輝度は高くな
るが、背景の輝度も高くなるのでマーク１と背景の輝度
の差は小さく、ＴＨ値は図示する高レベルに設定しなけ
ればならない。
【０００８】従来は、図１０に示すように光源の明るさ
を変えながら、オペレータがモニタテレビの画面をみ
て、図１０の（ｂ）に示される適正な明るさに光源の明
るさを設定していた。
を変えながら、オペレータがモニタテレビの画面をみ
て、図１０の（ｂ）に示される適正な明るさに光源の明
るさを設定していた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来方法
は、オペレータがモニタテレビの画面をみながら光源の
明るさを設定していたため、照明調整にはかなりの時間
と労力を要していたものであり、またオペレータの個人
誤差によるＴＨ値のばらつきは避けられないという問題
点があった。このような光源の明るさの調整は、電子部
品実装技術分野において基板のマークを認識する場合に
限らず、他の技術分野にも必要なものである。
は、オペレータがモニタテレビの画面をみながら光源の
明るさを設定していたため、照明調整にはかなりの時間
と労力を要していたものであり、またオペレータの個人
誤差によるＴＨ値のばらつきは避けられないという問題
点があった。このような光源の明るさの調整は、電子部
品実装技術分野において基板のマークを認識する場合に
限らず、他の技術分野にも必要なものである。
【００１０】したがって本発明は、カメラにより対象物
の認識を行う場合の光源の明るさの調整を自動的にかつ
適正に行うことができる認識検査における照明調整方法
を提供することを目的とする。
の認識を行う場合の光源の明るさの調整を自動的にかつ
適正に行うことができる認識検査における照明調整方法
を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、光源から照明
光を照射しながら対象物をカメラで観察して対象物を認
識する認識検査における照明調整方法であって、照明光
の明るさを徐々に変化させながら対象物を横切る方向に
おける画素と画素の輝度差の累積値の平均値を演算部で
演算し、この平均値が最大となる明るさに照明の明るさ
を設定するようにした。
光を照射しながら対象物をカメラで観察して対象物を認
識する認識検査における照明調整方法であって、照明光
の明るさを徐々に変化させながら対象物を横切る方向に
おける画素と画素の輝度差の累積値の平均値を演算部で
演算し、この平均値が最大となる明るさに照明の明るさ
を設定するようにした。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明によれば、照明光の明るさ
を徐々に変化させながら対象物を横切る方向における画
素と画素の輝度差の累積値の平均値を演算部で演算し、
この平均値が最大となる明るさに照明の明るさを設定す
ることにより、カメラにより対象物を認識する際の光源
の明るさを適正に自動設定することができる。
を徐々に変化させながら対象物を横切る方向における画
素と画素の輝度差の累積値の平均値を演算部で演算し、
この平均値が最大となる明るさに照明の明るさを設定す
ることにより、カメラにより対象物を認識する際の光源
の明るさを適正に自動設定することができる。
【００１３】以下、本発明の一実施の形態を図面を参照
しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態の基
板の観察装置の全体図、図２は同基板のマークの輝度画
像図、図３は同基板のマークの輝度分布図、図４は同輝
度画像の横列画素の輝度レベル図、図５は同基板のマー
クの輝度分布の部分拡大図、図６は同基板のマークの輝
度差の累積値の特性図、図７および図８は同光源の照明
調整のフローチャートである。
しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態の基
板の観察装置の全体図、図２は同基板のマークの輝度画
像図、図３は同基板のマークの輝度分布図、図４は同輝
度画像の横列画素の輝度レベル図、図５は同基板のマー
クの輝度分布の部分拡大図、図６は同基板のマークの輝
度差の累積値の特性図、図７および図８は同光源の照明
調整のフローチャートである。
【００１４】まず図１を参照して、基板の観察装置の全
体構成を説明する。基台１０上には基板２が位置決めさ
れている。基板２の上面には、基板２の位置を認識する
ための円形のマーク１が２箇所形成されている。本例の
基板２は、暗色（緑色）の地肌を有するガラエポ基板で
あり、またマーク１は明色（白色）である。
体構成を説明する。基台１０上には基板２が位置決めさ
れている。基板２の上面には、基板２の位置を認識する
ための円形のマーク１が２箇所形成されている。本例の
基板２は、暗色（緑色）の地肌を有するガラエポ基板で
あり、またマーク１は明色（白色）である。
【００１５】基板２の上方にはカメラ１１とリング状の
光源１２が設けられている。カメラ１１はＣＣＤカメラ
であり、輝度画像を入手する。カメラ１１に入手された
画像データはＡ／Ｄ変換部１３を介して画像メモリ１４
に記憶される。また光源１２の明るさは、照明コントロ
ーラ１５を介して演算部（以下、ＣＰＵという）１６に
より制御される。ＣＰＵは照明光の明るさを示すランプ
値を照明コントローラ１５へ送ることにより、照明の明
るさをデジタル的に設定することができる。１７は最適
ランプ値記憶部である。ＣＰＵ１６は、後述する演算な
どを行い、また照明コントローラ１５などを制御する。
光源１２が設けられている。カメラ１１はＣＣＤカメラ
であり、輝度画像を入手する。カメラ１１に入手された
画像データはＡ／Ｄ変換部１３を介して画像メモリ１４
に記憶される。また光源１２の明るさは、照明コントロ
ーラ１５を介して演算部（以下、ＣＰＵという）１６に
より制御される。ＣＰＵは照明光の明るさを示すランプ
値を照明コントローラ１５へ送ることにより、照明の明
るさをデジタル的に設定することができる。１７は最適
ランプ値記憶部である。ＣＰＵ１６は、後述する演算な
どを行い、また照明コントローラ１５などを制御する。
【００１６】次に、光源の明るさの調整方法について説
明する。図２は、カメラ１１の視野内に設定されたウィ
ンドウＷの輝度画像を示すものであって、図９（ａ）と
同じである。図示するようにマーク１は明るく観察さ
れ、マーク１の背景である基板２の地肌は暗く観察され
る。また図３は光源１２の明るさを変えた場合のマーク
１の輝度レベルを示すものであって、図１０と同じもの
である。すなわち図３（ａ）は光源１２が明るすぎる場
合、（ｂ）は光源１２の明るさが適正な場合、（ｃ）は
暗すぎる場合である。後述する光源の明るさの調整方法
は、図３に示すように、光源の明るさを暗から明に次第
にレベルアップしながら行う。
明する。図２は、カメラ１１の視野内に設定されたウィ
ンドウＷの輝度画像を示すものであって、図９（ａ）と
同じである。図示するようにマーク１は明るく観察さ
れ、マーク１の背景である基板２の地肌は暗く観察され
る。また図３は光源１２の明るさを変えた場合のマーク
１の輝度レベルを示すものであって、図１０と同じもの
である。すなわち図３（ａ）は光源１２が明るすぎる場
合、（ｂ）は光源１２の明るさが適正な場合、（ｃ）は
暗すぎる場合である。後述する光源の明るさの調整方法
は、図３に示すように、光源の明るさを暗から明に次第
にレベルアップしながら行う。
【００１７】この光源の明るさの調整方法の詳細は図７
および図８のフローチャートに記載しているが、図７お
よび図８の説明を行う前に、その概要を簡単に説明す
る。
および図８のフローチャートに記載しているが、図７お
よび図８の説明を行う前に、その概要を簡単に説明す
る。
【００１８】光源１２の明るさをある程度強さに設定し
た状態でカメラ１１でマーク１の画像を取り込み、この
画像の隣接する画素間の輝度差の累積値の平均値を（数
１）で求める。
た状態でカメラ１１でマーク１の画像を取り込み、この
画像の隣接する画素間の輝度差の累積値の平均値を（数
１）で求める。
【００１９】
【数１】
【００２０】ここで、輝度差（Ｌ（ｊ）−Ｌ（ｊ＋
１））とは、図２および図４のｊ方向において隣接する
画素間の輝度の差のことである。図３の（ａ），
（ｂ），（ｃ）に示すように、光源の明るさを変えて上
述した処理を行い、累積値の平均値が最大となるときす
なわち図３（ｂ）の状態のときの光源の明るさを適正な
明るさ（最適ランプ値）とするものである。
１））とは、図２および図４のｊ方向において隣接する
画素間の輝度の差のことである。図３の（ａ），
（ｂ），（ｃ）に示すように、光源の明るさを変えて上
述した処理を行い、累積値の平均値が最大となるときす
なわち図３（ｂ）の状態のときの光源の明るさを適正な
明るさ（最適ランプ値）とするものである。
【００２１】次に図７および図８のフローチャートを参
照して、光源の明るさの調整方法を詳細に説明する。ス
テップ１において、ＭＡＸ（輝度差の累積値の平均値の
最大値）をイニシャル化して０にしておく。またステッ
プ２でランプ値（光源１２の明るさ）を０（最小値）に
する。ステップ３において、走査のスタート位置（ｉ＝
１，ｊ＝１）の画素に注目する（図２の座標位置（ｊ＝
１，ｉ＝１）を参照）。当初は、輝度差の累積値ΣＬ＝
０、累積回数ｎ＝０である。
照して、光源の明るさの調整方法を詳細に説明する。ス
テップ１において、ＭＡＸ（輝度差の累積値の平均値の
最大値）をイニシャル化して０にしておく。またステッ
プ２でランプ値（光源１２の明るさ）を０（最小値）に
する。ステップ３において、走査のスタート位置（ｉ＝
１，ｊ＝１）の画素に注目する（図２の座標位置（ｊ＝
１，ｉ＝１）を参照）。当初は、輝度差の累積値ΣＬ＝
０、累積回数ｎ＝０である。
【００２２】さて、ステップ４で図２に示す輝度画像を
取込み、ステップ５においてＴＨ値を自動設定する。次
にステップ６で、ｉ列目のｊ番目の画素の輝度Ｌ（ｊ）
とｊ＋１番目の画素の輝度Ｌ（ｊ＋１）を読み取る。次
にステップ７でＴＨ値がＬ（ｊ）とＬ（ｊ＋１）の間に
あるか否かを判断する。図４はステップ７の判定を示す
ものであって、図４の（ａ）はステップ７中の上式の場
合を示し、図４（ｂ）は同下式の場合を示している。ス
テップ７では、輝度差を求めようとしている２つの画
素、すなわち（ｊ）番目の画素と（ｊ＋１）番目の画素
がマーク１の境界線（輪郭）の内側と外側にそれぞれ存
在しているのかを判断している。図４（ａ）において、
（ｊ−２）番目〜（ｊ）番目の画素の輝度はＴＨ値より
も低いのでマーク１の外側に存在しているが、（ｊ＋
１）番目の画素では、ＴＨ値よりも高いのでマーク１の
内側に存在しているものと判断できる。
取込み、ステップ５においてＴＨ値を自動設定する。次
にステップ６で、ｉ列目のｊ番目の画素の輝度Ｌ（ｊ）
とｊ＋１番目の画素の輝度Ｌ（ｊ＋１）を読み取る。次
にステップ７でＴＨ値がＬ（ｊ）とＬ（ｊ＋１）の間に
あるか否かを判断する。図４はステップ７の判定を示す
ものであって、図４の（ａ）はステップ７中の上式の場
合を示し、図４（ｂ）は同下式の場合を示している。ス
テップ７では、輝度差を求めようとしている２つの画
素、すなわち（ｊ）番目の画素と（ｊ＋１）番目の画素
がマーク１の境界線（輪郭）の内側と外側にそれぞれ存
在しているのかを判断している。図４（ａ）において、
（ｊ−２）番目〜（ｊ）番目の画素の輝度はＴＨ値より
も低いのでマーク１の外側に存在しているが、（ｊ＋
１）番目の画素では、ＴＨ値よりも高いのでマーク１の
内側に存在しているものと判断できる。
【００２３】さて、ステップ７でＹｅｓであれば、その
画素ｊの輝度Ｌ（ｊ）と隣の画素ｊ＋１の輝度Ｌ（ｊ＋
１）には大きな輝度差があることとなり、この場合はス
テップ８で輝度差の累積値ΣＬを求めるとともに、累積
回数ｎを１つ増加する。このｎは、ステップ７中に示す
２つの式のいずれかを満足した回数であって、図２の輝
度画像の明暗（マーク１）の境界線をまたいで輝度差を
計算する際に、１づつカウントアップされる。すなわち
図２において、例えばｉ＝４列目のｊ５とｊ６では、Ｌ
（５）＜ＴＨ値＜Ｌ（６）を満足し、またｉ＝５列目の
ｊ１２とｊ１３では、Ｌ（１２）＞ＴＨ値＜Ｌ（１３）
を満足するので、ｎはカウントアップされる。
画素ｊの輝度Ｌ（ｊ）と隣の画素ｊ＋１の輝度Ｌ（ｊ＋
１）には大きな輝度差があることとなり、この場合はス
テップ８で輝度差の累積値ΣＬを求めるとともに、累積
回数ｎを１つ増加する。このｎは、ステップ７中に示す
２つの式のいずれかを満足した回数であって、図２の輝
度画像の明暗（マーク１）の境界線をまたいで輝度差を
計算する際に、１づつカウントアップされる。すなわち
図２において、例えばｉ＝４列目のｊ５とｊ６では、Ｌ
（５）＜ＴＨ値＜Ｌ（６）を満足し、またｉ＝５列目の
ｊ１２とｊ１３では、Ｌ（１２）＞ＴＨ値＜Ｌ（１３）
を満足するので、ｎはカウントアップされる。
【００２４】ステップ７でＮｏであれば、ステップ８を
行わずにステップ９へ移行する。ステップ９でＮｏであ
れば、ステップ１０でｊを１つ増加し、注目する画素を
更新してステップ６に戻って上記フローを繰り返す。そ
してステップ７でＮｏである間はステップ９への移行を
繰り返し、またステップ９でＮｏである間は、ステップ
６への移行を繰り返す。そしてステップ９でｊ列目のす
べての画素の処理が完了してＹｅｓとなれば、ステップ
１１へ移行してすべての列すなわちウィンドウＷ内の全
ての画素に対する処理が完了したか否かを判定する。そ
してステップ１１でＮｏであれば、ステップ１２でｉを
１つ増加して注目する列を更新すると共にｊの値を１に
戻してステップ６に戻る。以上のように、ステップ６〜
ステップ１２を繰り返すことにより、図２に示す輝度画
像全体の処理を行う。
行わずにステップ９へ移行する。ステップ９でＮｏであ
れば、ステップ１０でｊを１つ増加し、注目する画素を
更新してステップ６に戻って上記フローを繰り返す。そ
してステップ７でＮｏである間はステップ９への移行を
繰り返し、またステップ９でＮｏである間は、ステップ
６への移行を繰り返す。そしてステップ９でｊ列目のす
べての画素の処理が完了してＹｅｓとなれば、ステップ
１１へ移行してすべての列すなわちウィンドウＷ内の全
ての画素に対する処理が完了したか否かを判定する。そ
してステップ１１でＮｏであれば、ステップ１２でｉを
１つ増加して注目する列を更新すると共にｊの値を１に
戻してステップ６に戻る。以上のように、ステップ６〜
ステップ１２を繰り返すことにより、図２に示す輝度画
像全体の処理を行う。
【００２５】そしてステップ１１ですべての列の処理を
完了してＹｅｓになれば、ステップ１３へ移行する。そ
してステップ１３において、ステップ１〜ステップ１２
で算出された輝度差の累積値の平均値ΣＬ÷ｎが既登録
値ＭＡＸよりも大きいか否かを判断する。そしてＹｅｓ
であればこの平均値をＭＡＸとして既登録値と置き替え
（ステップ１４）、現在のランプ値を適正ランプ値とし
て適正ランプ値記憶部１７に記憶し（ステップ１５）、
完了か否かを判断したうえで（ステップ１６）、終了す
る。またステップ１３でＮｏの場合は、ステップ１６、
ステップ１７へ移行し、ランプ値を所定値増加し、ステ
ップ３に戻って上記フローを繰り返す。
完了してＹｅｓになれば、ステップ１３へ移行する。そ
してステップ１３において、ステップ１〜ステップ１２
で算出された輝度差の累積値の平均値ΣＬ÷ｎが既登録
値ＭＡＸよりも大きいか否かを判断する。そしてＹｅｓ
であればこの平均値をＭＡＸとして既登録値と置き替え
（ステップ１４）、現在のランプ値を適正ランプ値とし
て適正ランプ値記憶部１７に記憶し（ステップ１５）、
完了か否かを判断したうえで（ステップ１６）、終了す
る。またステップ１３でＮｏの場合は、ステップ１６、
ステップ１７へ移行し、ランプ値を所定値増加し、ステ
ップ３に戻って上記フローを繰り返す。
【００２６】ランプ値が最大値になるまで上述した処理
を行うと、適正ランプ値記憶部１７には、輝度差の累積
値の平均値が最大となったときのランプ値が適正ランプ
値として記憶されている。図６はその結果を示してい
る。
を行うと、適正ランプ値記憶部１７には、輝度差の累積
値の平均値が最大となったときのランプ値が適正ランプ
値として記憶されている。図６はその結果を示してい
る。
【００２７】以上のようにして適正ランプ値を求めたな
らば、実際の認識検査において、ＣＰＵ１６は適正ラン
プ値記憶部１７から適正ランプ値を読み取って照明コン
トローラへ指示し、照明コントローラはこの適正ランプ
値に応じた明るさで光源１２からの照明光の明るさをコ
ントロールする。
らば、実際の認識検査において、ＣＰＵ１６は適正ラン
プ値記憶部１７から適正ランプ値を読み取って照明コン
トローラへ指示し、照明コントローラはこの適正ランプ
値に応じた明るさで光源１２からの照明光の明るさをコ
ントロールする。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、対象物を横切る方向に
おける画素と画素の輝度差の累積値の平均値を演算部で
演算し、この平均値のピーク値に照明の強さを設定する
ことにより、カメラにより対象物を認識する際の光源の
明るさを適正に自動設定することができる。
おける画素と画素の輝度差の累積値の平均値を演算部で
演算し、この平均値のピーク値に照明の強さを設定する
ことにより、カメラにより対象物を認識する際の光源の
明るさを適正に自動設定することができる。
【図１】本発明の一実施の形態の基板の観察装置の全体
図
図
【図２】本発明の一実施の形態の基板のマークの輝度画
像図
像図
【図３】本発明の一実施の形態の基板のマークの輝度分
布図
布図
【図４】本発明の一実施の形態の輝度画像の横列画素の
輝度レベル図
輝度レベル図
【図５】本発明の一実施の形態の基板のマークの輝度分
布の部分拡大図
布の部分拡大図
【図６】本発明の一実施の形態の基板のマークの輝度差
の累積値の特性図
の累積値の特性図
【図７】本発明の一実施の形態の光源の照明調整のフロ
ーチャート
ーチャート
【図８】本発明の一実施の形態の光源の照明調整のフロ
ーチャート
ーチャート
【図９】（ａ）従来のカメラに組込まれた基板のマーク
の輝度画像図 （ｂ）従来の輝度分布図
の輝度画像図 （ｂ）従来の輝度分布図
【図１０】従来の照明光の強さの調整方法を説明するた
めの輝度分布図
めの輝度分布図
１ マーク ２ 基板 １１ カメラ １２ 光源 １５ 照明コントローラ １６ 演算部 １７ 最適ランプ値Ｑ記憶部
Claims (1)
- 【請求項１】光源から照明光を照射しながら対象物をカ
メラで観察して対象物を認識する認識検査における照明
調整方法であって、照明光の明るさを徐々に変化させな
がら対象物を横切る方向における画素と画素の輝度差の
累積値の平均値を演算部で演算し、この平均値が最大と
なる明るさに照明の明るさを設定することを特徴とする
認識検査における照明調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8220926A JPH1062134A (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 認識検査における照明調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8220926A JPH1062134A (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 認識検査における照明調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1062134A true JPH1062134A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16758726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8220926A Pending JPH1062134A (ja) | 1996-08-22 | 1996-08-22 | 認識検査における照明調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1062134A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006251571A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | アライメント用光源ユニット、アライメント装置、露光装置、デジタル露光装置、アライメント方法、露光方法及び照明装置の条件を設定する方法 |
| JP2009058377A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 検査装置 |
| JP2011103105A (ja) * | 2009-11-12 | 2011-05-26 | Ihi Corp | 照明制御方法及び装置 |
| CN102466983A (zh) * | 2010-11-05 | 2012-05-23 | 株式会社阿迪泰克工程 | 用于对准的照明装置和具有该照明装置的曝光装置 |
| JP2019145736A (ja) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 部品装着機 |
| WO2020183698A1 (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 対象体判定方法、対象体判定装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05292381A (ja) * | 1992-04-08 | 1993-11-05 | Hitachi Ltd | 自動焦点調節方法 |
| JPH0634366A (ja) * | 1992-07-14 | 1994-02-08 | Mitsutoyo Corp | 合焦検出方法、これを用いた非接触変位測定方法及び装置 |
| JPH06139341A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-05-20 | Hitachi Koki Co Ltd | 画像処理装置 |
| JPH07110438A (ja) * | 1993-10-13 | 1995-04-25 | Fuji Film Micro Device Kk | 測距装置用差分信号発生回路及びコントラスト演算回路 |
| JPH07220058A (ja) * | 1991-07-12 | 1995-08-18 | Omron Corp | 照明条件設定支援装置および方法 |
| JPH09304034A (ja) * | 1996-05-15 | 1997-11-28 | Mitsutoyo Corp | 照明制御システム |
-
1996
- 1996-08-22 JP JP8220926A patent/JPH1062134A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07220058A (ja) * | 1991-07-12 | 1995-08-18 | Omron Corp | 照明条件設定支援装置および方法 |
| JPH05292381A (ja) * | 1992-04-08 | 1993-11-05 | Hitachi Ltd | 自動焦点調節方法 |
| JPH0634366A (ja) * | 1992-07-14 | 1994-02-08 | Mitsutoyo Corp | 合焦検出方法、これを用いた非接触変位測定方法及び装置 |
| JPH06139341A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-05-20 | Hitachi Koki Co Ltd | 画像処理装置 |
| JPH07110438A (ja) * | 1993-10-13 | 1995-04-25 | Fuji Film Micro Device Kk | 測距装置用差分信号発生回路及びコントラスト演算回路 |
| JPH09304034A (ja) * | 1996-05-15 | 1997-11-28 | Mitsutoyo Corp | 照明制御システム |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006251571A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | アライメント用光源ユニット、アライメント装置、露光装置、デジタル露光装置、アライメント方法、露光方法及び照明装置の条件を設定する方法 |
| JP2009058377A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 検査装置 |
| JP2011103105A (ja) * | 2009-11-12 | 2011-05-26 | Ihi Corp | 照明制御方法及び装置 |
| CN102466983A (zh) * | 2010-11-05 | 2012-05-23 | 株式会社阿迪泰克工程 | 用于对准的照明装置和具有该照明装置的曝光装置 |
| JP2019145736A (ja) * | 2018-02-23 | 2019-08-29 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 部品装着機 |
| WO2020183698A1 (ja) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 対象体判定方法、対象体判定装置 |
| JPWO2020183698A1 (ja) * | 2019-03-14 | 2021-12-02 | 株式会社Fuji | 対象体判定方法、対象体判定装置 |
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