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JPH10177138A - 投影レンズ - Google Patents

投影レンズ

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Publication number
JPH10177138A
JPH10177138A JP14463297A JP14463297A JPH10177138A JP H10177138 A JPH10177138 A JP H10177138A JP 14463297 A JP14463297 A JP 14463297A JP 14463297 A JP14463297 A JP 14463297A JP H10177138 A JPH10177138 A JP H10177138A
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JP
Japan
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lens
lens group
lenses
focal length
fresnel
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JP14463297A
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Shigeo Suzuki
茂夫 鈴木
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Topcon Corp
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Topcon Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】半画角ω=40°程度という広画角を包括可能
とし、構成枚数の大部分にプラスチックレンズの非球面
レンズを使用し、構成枚数を少なくし、安価なレンズ系
を実現すると共に温度変化の影響を受けにくく而も諸収
差が良好に補正され、コンパクト化、コストダウンを図
った投影レンズを提供する。 【解決手段】拡大側より発散性レンズ群1と収斂性レン
ズ群2と、フレネルレンズ群3とを有する変倍投影レン
ズに於いて、発散性レンズ群は拡大側から順に拡大側に
凸面を向けた少なくとも1個の負メニスカスレンズを有
する2個の負レンズG1,G2と、正レンズG3 とを
有し、収斂性レンズ群は、拡大側から順に正レンズG
4,G5と、レンズG6、拡大側に凹面を向けた負メニ
スカスレンズG7を有し、プラスチック材料から成るG
1,G2もしくはG5,G7の少なくとも1面は非球面
から成るレンズ構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は拡大投影等に用いら
れる投影レンズ、特にF1:4.0程度の明るさを有
し、半画角40°前後迄包括し、変倍域に於いて良好な
性能が得られる投影レンズに関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年の拡大投影装置に於いて、例えば画
像変調素子として用いられる液晶の高解像度化が進み、
拡大投影装置全体での高解像度が求められている。又、
装置自体としては小型化が進み広画角化、コンパクト化
の要求があると共にコストダウンが要求されている。
【0003】高解像度化、広画角化の要求に対応する為
にはレンズ枚数を増やしたり、レンズ材の屈折率を高く
したりしていたが、レンズ系が大きくなり、コストアッ
プの原因となっいた。
【0004】又、レンズ枚数を減らす方法の1つとして
レンズを非球面化したプラスチックモールドレンズを使
用する方法が知られているが、プラスチック材で成形さ
れたレンズは温度変化により屈折率が大幅に変化すると
いう特性を有している。この為、レンズのバックフォー
カスが変化し、解像力を劣化してしまうという問題があ
った。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は斯かる実情に
鑑み、半画角ω=40°程度という広画角を包括可能と
し、構成枚数の大部分にプラスチックレンズの非球面レ
ンズを使用し、構成枚数を少なくし、安価なレンズ系を
実現すると共に温度変化の影響を受けにくく而も諸収差
が良好に補正された広画角を包括可能で、コンパクト
化、コストダウンを図った投影レンズを提供するもので
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、拡大側より発
散性レンズ群と収斂性レンズ群と、フレネルレンズ群と
を有する変倍投影レンズに於いて、発散性レンズ群は拡
大側から順に拡大側に凸面を向けた少なくとも1個の負
メニスカスレンズを有する2個の負レンズG1,G2と、
正レンズG3とを有し、前記収斂性レンズ群は、拡大側
から順に正レンズG4,G5と、レンズG6、拡大側に凹
面を向けた負のメニスカスレンズG7を有し、前記発散
性レンズ群のG1,G2はプラスチック材料より成り、少
なくとも1面は非球面から成るレンズ構成とし、前記収
斂性レンズ群のG5,G7はプラスチック材料より成り、
少なくとも1面は非球面から成るレンズ構成とし、前記
フレネルレンズ群は正の屈折力を持ち縮小側にフレネル
面を持つフレネルレンズから構成され、発散性レンズ群
と収斂性レンズ群の間の距離と、収斂性レンズ群とフレ
ネルレンズ群の間の距離とを変化させることにより倍率
を変化させるものであり、且下記の条件を満足する投影
レンズに係るものである。 (1)−1.1<f12/f<−0.86 (2)1.05<f5/f<1.35 (3)−22.5<f7/f<−3.0 (4)40<ν3<55 但し、f :ワイド側レンズ全系の焦点距離 f12:レンズG1,G2の合成焦点距離 f5:レンズG5の焦点距離 f7:レンズG7の焦点距離 ν3:レンズG3のアッベ数
【0007】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。
【0008】図1は本実施の形態の投影レンズの構成を
示しており、該投影レンズは拡大側(前側)より発散性
レンズ群1、収斂性レンズ群2、フレネルレンズ群3が
配置された構成を有する所謂レトロフォーカス型の投影
レンズである。
【0009】前記発散性レンズ群1の前側の2枚の負レ
ンズG1,G2をプラスチック材料のレンズとし、そのう
ち少なくとも1枚を非球面化する。又、前記収斂性レン
ズ群2の正のレンズG5、負のレンズG7をプラスチック
材料のレンズとする。
【0010】図1で示す投影レンズの構成でFNoを明る
くする為には、各レンズ群の焦点距離を長くし、各レン
ズ群の間隔を長くするとよいが、そうするとレンズ系全
体が長くなり、コンパクト化にはならない。又、半画角
が40°程度で拡角である為、軸外光束の収差補正に
は、それ程プラスにはならない。逆に発散性レンズ群の
焦点距離を長くしコンパクト化を図ろうとすると、負の
パワーが強くなり負の歪曲収差が増大する。前記した発
散性レンズ群1の前側の2枚の負レンズG1,G2をプラ
スチック材料とし、そのうち少なくとも1枚を非球面化
することで斯かる歪曲収差を補正している。
【0011】又、一般にレンズ材料としてプラスチック
を使用すると、プラスチックは温度変化により屈折率が
変化する為、バックフォーカスが変化し、解像力が劣化
してしまう。前記収斂性レンズ群2の正のレンズG5
負のレンズG7をプラスチック材料のレンズとした構成
は、温度の変化によるバックフォーカスの変化を相殺す
る。
【0012】前記投影レンズを構成するレンズの条件式
を下記に示す。
【0013】
【条件式】
(1)−1.1<f12/f<−0.86 (2)1.05<f5/f<1.35 (3)−22.5<f7/f<−3.0 (4)40<ν3<55 但し、f :ワイド側レンズ全系の焦点距離 f12:レンズG1,G2の合成焦点距離 f5:レンズG5の焦点距離 f7:レンズG7の焦点距離 ν3:レンズG3のアッベ数
【0014】条件式(1)は負レンズG1,G2の合成焦
点距離f12を規定するものである。
【0015】合成焦点距離f12が上限を越えると負のパ
ワーが強くなり、負の歪曲収差が増大する。又温度変化
による焦点距離の変化をレンズG5 で相殺することが困
難となる。逆に合成焦点距離f12が下限を越えると焦点
距離が長くなる為、発散性レンズ群1での色収差が増大
し、全体で色収差が補正不足となり解像力が劣化する。
又発散性レンズ群1の全長が長くなり全体のコンパクト
化が図れなくなる。
【0016】条件式(2)は正レンズG5の焦点距離f5
を規定するものである。
【0017】焦点距離f5が上限を越えるとパワーが弱
くなり、正レンズG4,G5 の合成焦点距離を一定に保
とうとするとレンズG4のパワーが強くなり非点収差が
増大し、最大画角での性能を良好に保てなくなる。逆に
焦点距離f5 が下限を越えるとレンズG4 のパワーが強
くなる為軸外での収差が増大し、性能を良好に保てなく
なる。
【0018】条件式(3)は負レンズG7の焦点距離f7
を規定するものである。
【0019】焦点距離f7が上限を越えると負のパワー
が強くなりレンズG7から射出する角度が大きくなる。
その後のフレネルレンズ群3に於いて、フレネルレンズ
面から射出する光束を略平行光束に近づけようとすると
フレネルレンズ面のプリズム切削角度がきつくなり、光
量損失が大きくなると共に加工も困難になる為好ましく
ない。逆に焦点距離f7 が下限を越えるとフランジバッ
クが長くなり装置全体が長くなってしまうので好ましく
ない。
【0020】条件式(4)はレンズG3のアッベ数ν3
規定するものである。
【0021】本発明はレンズG1,G2 にプラスチック
材料を使用している為、レンズG1,G2の負レンズ群の
色収差は略決まってしまう。その為、レンズG3のアッ
ベ数ν3がこの範囲から外れると色収差が悪化し、解像
力が劣化する。
【0022】
【実施例】以下に本発明の実施例を示す。表中のrは曲
率半径、dは面間隔、nは屈折率、νはアッベ数を示
す。尚、非球面を表す式は、
【0023】
【数式1】X=Y2(1/r)/[1+√{1−(1+
K)Y2(1/r)2}]+C2Y4+C4Y6+C6Y8
+C8Y10
【0024】という式で表され、K,C2,C4,C
6,C8の値を示す。
【0025】[実施例1] f=1〜1.05換算 FNO=4.0 2ω=81°〜76° r d n ν 1 3.806 0.102 1.4913 58.0 2 0.644 0.147 3 0.857 0.087 1.4913 58.0 4 0.487 0.297 5 0.773 0.085 1.7206 47.7 6 0.978 d6(可変) 7 0.921 0.141 1.7162 53.6 8 7.246 0.332 9 0.625 0.078 1.4913 58.0 10 83.132 0.092 11 -1.021 0.108 1.7044 29.9 12 0.809 0.119 1.7443 52.4 13 -1.135 0.061 14 -0.648 0.073 1.4913 58.0 15 -0.927 d15(可変) 16 ∞ 0.043 1.4913 58.0 17 -1.217
【0026】 非球面係数 4面 9面 15面 17面 K -0.621 0.638 -3.245 -0.582 C2 0.285 0.281 0.134×10 -0.685 C4 -0.131×10 0.205×10 0.641×10 0.129×10 C6 0.641×10 0.675×10 0.176×102 -0.131×10 C8 -0.185×102 -0.112×103 -0.814×102 0.454 d6=0.095〜0.048 d15=1.012〜1.058 f12/f=−0.906 f5/f=1.278 f7/f=−4.788 ν3=47.7
【0027】[実施例2] f=1.0〜1.05換算 FNO=4.0 2ω=81°〜76° r d n ν 1 3.911 0.102 1.4913 58.0 2 0.654 0.141 3 0.842 0.087 1.4913 58.0 4 0.478 0.309 5 0.755 0.084 1.7206 47.7 6 0.943 d6(可変) 7 0.887 0.138 1.694 54.6 8 5.403 0.336 9 0.602 0.079 1.4913 58.0 10 129.952 0.108 11 -0.946 0.069 1.7044 29.9 12 0.839 0.136 1.7443 52.4 13 -1.106 0.048 14 -0.662 0.075 1.4913 58.0 15 -0.919 d15(可変) 16 ∞ 0.043 1.4913 58.0 17 -1.216
【0028】 非球面係数 4面 9面 15面 17面 K -0.592 0.587 -3.407 -0.580 C2 0.251 0.241 0.138×10 -0.641 C4 -0.108×10 0.265×10 0.714×10 0.113×10 C6 0.551×10 -0.691×10 0.183×102 -0.107×10 C8 -0.161×102 -0.371×102 -0.865×102 0.338 d6=0.095〜0.048 d15=1.029〜1.075 f12/f=−0.911 f5/f=1.231 f7/f=−5.340 ν3=47.7
【0029】[実施例3] f=1.0〜1.05換算 FNO=4.0 2ω=81°〜76° r d n ν 1 3.857 0.101 1.4913 58.0 2 0.695 0.114 3 0.874 0.087 1.4913 58.0 4 0.488 0.371 5 0.737 0.076 1.7206 47.7 6 0.870 d6(可変) 7 0.871 0.141 1.6940 54.6 8 5.722 0.289 9 0.599 0.105 1.4913 58.0 10 22.345 0.090 11 -0.965 0.056 1.7044 29.9 12 0.772 0.145 1.7443 52.4 13 -1.075 0.073 14 -0.608 0.050 1.4913 58.0 15 -0.927 d15(可変) 16 ∞ 0.043 1.4913 58.0 17 -1.286
【0030】 非球面係数 4面 9面 15面 17面 K -0.540 0.577 -4.039 -0.404 C2 0.294 0.230 0.148×10 -0.599 C4 -0.764 0.268×10 0.853×10 0.105×10 C6 0.453×10 -0.188×102 0.175×102 -0.101×10 C8 -0.103×102 0.250×103 -0.131×103 0.321 d6=0.074〜0.029 d15=0.987〜1.032 f12/f=−0.961 f5/f=1.251 f7/f=−3.790 ν3=47.7
【0031】[実施例4] f=1.0〜1.05換算 FNO=4.0 2ω=81°〜76° r d n ν 1 4.084 0.102 1.4913 58.0 2 0.690 0.068 3 0.748 0.087 1.4913 58.0 4 0.429 0.317 5 0.784 0.089 1.7206 47.7 6 0.993 d6(可変) 7 1.051 0.146 1.6940 54.6 8 52.050 0.360 9 0.644 0.093 1.4913 58.0 10 -11.512 0.113 11 -0.912 0.074 1.7044 29.9 12 0.934 0.133 1.7443 52.4 13 -1.195 0.047 14 -0.705 0.075 1.4913 58.0 15 -0.795 d15(可変) 16 ∞ 0.043 1.4913 58.0 17 -1.217
【0032】 非球面係数 1面 4面 9面 15面 17面 K -20.320 -0.609 0.723 -2.263 -0.564 C2 -0.207×10-1 0.242 0.346 0.122×10 -0.848 C4 -0.162×10-1 -0.125×10 0.262×10 0.659×10 0.158×10 C6 -0.118×10-1 0.492×10 -0.159×102 0.150×102 -0.133×10 C8 0.148×10-1 -0.166×102 0.165×103 -0.530×102 0.354 d6=0.109〜0.062 d15=1.032〜1.080 f12/f=−0.924 f5/f=1.245 f7/f=−17.272 ν3=47.7
【0033】[実施例5] f=1.0〜1.05換算 FNO=4.0 2ω=81°〜76° r d n ν 1 3.761 0.101 1.4913 58.0 2 0.650 0.135 3 0.842 0.087 1.4913 58.0 4 0.471 0.302 5 0.742 0.086 1.7206 47.7 6 0.933 d6(可変) 7 0.890 0.136 1.6940 54.6 8 4.841 0.349 9 0.600 0.083 1.4913 58.0 10 -20.637 0.105 11 -0.944 0.088 1.7044 29.9 12 0.843 0.126 1.7443 52.4 13 -1.205 0.043 14 -0.745 0.075 1.4913 58.0 15 -0.976 d15(可変) 16 ∞ 0.043 1.4913 58.0 17 -1.143
【0034】 非球面係数 4面 9面 15面 17面 K -0.614 0.547 -3.711 -0.663 C2 0.287 0.216 0.141×10 -0.737 C4 -0.129×10 0.166×10 0.712×10 0.146×10 C6 0.656×10 0.232×102 0.127×102 -0.144×10 C8 -0.180×102 -0.461×103 -0.612×102 0.487 d6=0.097〜0.050 d15=1.037〜1.084 f12/f=−0.900 f5/f=1.188 f7/f=−7.175 ν3=47.7
【0035】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、構成の
一部にプラスチック材のレンズを使用し、又プラスチッ
クレンズの欠点を補正したので、構成の各レンズのパワ
ー等を適切に設定することができ、この為、レンズの構
成枚数を減少させ且コンパクト化ができ、安価で半画角
40°前後の広角域をカバーし、而も良好な性能を有す
るという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るレンズの配置図であ
る。
【図2】本発明に係る第1の実施例の収差図である。
【図3】本発明に係る第2の実施例の収差図である。
【図4】本発明に係る第3の実施例の収差図である。
【図5】本発明に係る第4の実施例の収差図である。
【図6】本発明に係る第5の実施例の収差図である。
【符号の説明】
1 発散性レンズ群 2 収斂性レンズ群 3 フレネルレンズ群

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 拡大側より発散性レンズ群と収斂性レン
    ズ群と、フレネルレンズ群とを有する変倍投影レンズに
    於いて、発散性レンズ群は拡大側から順に拡大側に凸面
    を向けた少なくとも1個の負メニスカスレンズを有する
    2個の負レンズG1,G2と、正レンズG3 とを有し、前
    記収斂性レンズ群は、拡大側から順に正レンズG4,G5
    と、レンズG6、拡大側に凹面を向けた負メニスカスレ
    ンズG7を有し、前記発散性レンズ群のG1,G2はプラ
    スチック材料より成り、少なくとも1面は非球面から成
    るレンズ構成とし、前記収斂性レンズ群のG5,G7はプ
    ラスチック材料より成り、少なくとも1面は非球面から
    成るレンズ構成とし、前記フレネルレンズ群は正の屈折
    力を持ち縮小側にフレネル面を持つフレネルレンズから
    構成され、発散性レンズ群と収斂性レンズ群の間の距離
    と、収斂性レンズ群とフレネルレンズ群の間の距離とを
    変化させることにより倍率を変化させるものであり、且
    下記の条件を満足することを特徴とする投影レンズ。 (1)−1.1<f12/f<−0.86 (2)1.05<f5/f<1.35 (3)−22.5<f7/f<−3.0 (4)40<ν3<55 但し、f :ワイド側レンズ全系の焦点距離 f12:レンズG1,G2の合成焦点距離 f5:レンズG5の焦点距離 f7:レンズG7の焦点距離 ν3:レンズG3のアッベ数
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