JPH10158198A - 有機過酸化物の分解方法 - Google Patents
有機過酸化物の分解方法Info
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- JPH10158198A JPH10158198A JP31956596A JP31956596A JPH10158198A JP H10158198 A JPH10158198 A JP H10158198A JP 31956596 A JP31956596 A JP 31956596A JP 31956596 A JP31956596 A JP 31956596A JP H10158198 A JPH10158198 A JP H10158198A
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- organic peroxide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】有機過酸化物を、効率的に分解する触媒及びそ
の方法を提供すること。 【解決手段】白金またはパラジウムを固体担体上に担持
した固体触媒と、有機過酸化物を含む溶液とを接触さ
せ、該有機過酸化物を分解する。
の方法を提供すること。 【解決手段】白金またはパラジウムを固体担体上に担持
した固体触媒と、有機過酸化物を含む溶液とを接触さ
せ、該有機過酸化物を分解する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、溶液中の有機過酸化物
を効率的に分解する触媒及びその方法に関するものであ
る。
を効率的に分解する触媒及びその方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種有機合成反応において、過酸
化水素を酸化剤として用いる方法が盛んに開発されてい
る。一般に、過酸化水素を酸化剤として用いる場合、過
酸化水素の一部は未反応で残存し、またその一部は系中
に存在する有機化合物と反応して有機過酸化物として存
在することになる。特に、反応の溶媒として一般的に用
いられるケトン類、例えばアセトン、或いはメチルエチ
ルケトン等を用いる場合には、これらのケトン類は過酸
化水素と容易に反応してケトンパーオキサイド類を生成
する。一方、過酢酸や過プロピオン酸等の過カルボン酸
を用いた有機合成反応も数多くの研究がされている。し
かし、過酸化水素を用いる場合と同様に、これらの過カ
ルボン酸も反応終了時にその一部が未反応で残る場合が
多い。有機過酸化物は、一般の化合物に比べて低い温度
で分解し、さらに一部のものは摩擦及び衝撃に対して非
常に敏感であることが知られており、反応系中の存在量
はわずかであっても、その後の蒸留等の工程において濃
縮されると爆発などの危険性があり、安全操業上極めて
大きな問題となる可能性がある。
化水素を酸化剤として用いる方法が盛んに開発されてい
る。一般に、過酸化水素を酸化剤として用いる場合、過
酸化水素の一部は未反応で残存し、またその一部は系中
に存在する有機化合物と反応して有機過酸化物として存
在することになる。特に、反応の溶媒として一般的に用
いられるケトン類、例えばアセトン、或いはメチルエチ
ルケトン等を用いる場合には、これらのケトン類は過酸
化水素と容易に反応してケトンパーオキサイド類を生成
する。一方、過酢酸や過プロピオン酸等の過カルボン酸
を用いた有機合成反応も数多くの研究がされている。し
かし、過酸化水素を用いる場合と同様に、これらの過カ
ルボン酸も反応終了時にその一部が未反応で残る場合が
多い。有機過酸化物は、一般の化合物に比べて低い温度
で分解し、さらに一部のものは摩擦及び衝撃に対して非
常に敏感であることが知られており、反応系中の存在量
はわずかであっても、その後の蒸留等の工程において濃
縮されると爆発などの危険性があり、安全操業上極めて
大きな問題となる可能性がある。
【０００３】このような危険性に鑑み、系中に微量存在
する有機過酸化物を除去する方法がこれまでに種々提案
されてきた。例えば、有機過酸化物を含む溶液を活性ア
ルミナのカラムに通す方法（Ind. Eng. Chem. Anal., 1
8, 52 (1946)）、陰イオン交換樹脂のOH型を通す方法
（J. Org. Chem., 24, 1172 (1959)）、原子価を２種類
以上もちうる物質、例えばコバルト、マンガン、ニッケ
ル、クロム、銅、バナジウム等のイオンを生じる物質、
或いはpKa が１以下の強酸、例えば硫酸、塩酸等の存在
下で処理する方法（特開昭55-73796）、活性炭層に接触
させる方法（特公昭56-14092）等が提案されている。そ
の他、溶液を還元剤で処理することによって有機過酸化
物を除去できることも知られている。一般的に用いられ
る還元剤としては、例えば亜硫酸ナトリウム、亜二チオ
ン酸ナトリウム、硫酸第一鉄、塩化第一スズ、トリフェ
ニルフォスフィン等を挙げることができる。さらに、白
金担持触媒を用いて液相で水素化処理する方法（特公平
8-9555）も提案されている。
する有機過酸化物を除去する方法がこれまでに種々提案
されてきた。例えば、有機過酸化物を含む溶液を活性ア
ルミナのカラムに通す方法（Ind. Eng. Chem. Anal., 1
8, 52 (1946)）、陰イオン交換樹脂のOH型を通す方法
（J. Org. Chem., 24, 1172 (1959)）、原子価を２種類
以上もちうる物質、例えばコバルト、マンガン、ニッケ
ル、クロム、銅、バナジウム等のイオンを生じる物質、
或いはpKa が１以下の強酸、例えば硫酸、塩酸等の存在
下で処理する方法（特開昭55-73796）、活性炭層に接触
させる方法（特公昭56-14092）等が提案されている。そ
の他、溶液を還元剤で処理することによって有機過酸化
物を除去できることも知られている。一般的に用いられ
る還元剤としては、例えば亜硫酸ナトリウム、亜二チオ
ン酸ナトリウム、硫酸第一鉄、塩化第一スズ、トリフェ
ニルフォスフィン等を挙げることができる。さらに、白
金担持触媒を用いて液相で水素化処理する方法（特公平
8-9555）も提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来方法の内、
活性アルミナやイオン交換樹脂を用いる方法は、極性が
小さく、イオン化する水素を持たないケトンパーオキサ
イド等の有機過酸化物の分解にはほとんど効果を示さな
い。上述の金属を用いて接触的に分解させる方法では、
十分な分解率を得るためには比較的高い温度での加熱を
要する他、有機過酸化物はラジカル的に分解するため系
中にオレフィン性二重結合を持つ物質などが存在する場
合には重合を促進してしまうなどの問題点が有る。さら
に上述の金属を含む触媒は回収されずに廃棄されるた
め、環境保全上問題が有る。硫酸、塩酸などの強酸とと
もに加熱する方法は、有機過酸化物の分解の他に、種々
の望ましくない副反応を生じる可能性があり、一般的に
使用できないという欠点がある。活性炭層と接触させる
方法は、ケトンパーオキサイド等の有機過酸化物の種類
や溶液の組成によってはほとんど活性を示さない。一
方、還元剤を用いる方法は、残存する過酸化物に対して
等モルの還元剤が必要であるため、場合によっては添加
量がかなり多くなり経済的に不利である。さらに添加す
る還元剤は、溶液内の他物質、例えばアルデヒド、ハロ
ゲン化アルキル、オキシラン等とも作用し望ましくない
副反応を生起する場合がある。また、白金担持触媒を用
いた水素化処理は、溶液内の他の物質の水素化が並行し
て起こる可能性があり、また装置が複雑になることが予
想される。
活性アルミナやイオン交換樹脂を用いる方法は、極性が
小さく、イオン化する水素を持たないケトンパーオキサ
イド等の有機過酸化物の分解にはほとんど効果を示さな
い。上述の金属を用いて接触的に分解させる方法では、
十分な分解率を得るためには比較的高い温度での加熱を
要する他、有機過酸化物はラジカル的に分解するため系
中にオレフィン性二重結合を持つ物質などが存在する場
合には重合を促進してしまうなどの問題点が有る。さら
に上述の金属を含む触媒は回収されずに廃棄されるた
め、環境保全上問題が有る。硫酸、塩酸などの強酸とと
もに加熱する方法は、有機過酸化物の分解の他に、種々
の望ましくない副反応を生じる可能性があり、一般的に
使用できないという欠点がある。活性炭層と接触させる
方法は、ケトンパーオキサイド等の有機過酸化物の種類
や溶液の組成によってはほとんど活性を示さない。一
方、還元剤を用いる方法は、残存する過酸化物に対して
等モルの還元剤が必要であるため、場合によっては添加
量がかなり多くなり経済的に不利である。さらに添加す
る還元剤は、溶液内の他物質、例えばアルデヒド、ハロ
ゲン化アルキル、オキシラン等とも作用し望ましくない
副反応を生起する場合がある。また、白金担持触媒を用
いた水素化処理は、溶液内の他の物質の水素化が並行し
て起こる可能性があり、また装置が複雑になることが予
想される。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の課題
の解決を図るべく鋭意検討を行った結果、白金またはパ
ラジウムを固体担体上に担持した固体触媒を用いること
によって、容易に有機過酸化物の分解ができ、さらに触
媒の長期の劣化も抑制することを見出し、本発明を完成
させるに至ったものである。すなわち、本発明は、白金
またはパラジウムを固体担体上に担持した固体触媒と、
有機過酸化物を含む溶液とを接触させ、該有機過酸化物
を分解する方法を提供するものである。
の解決を図るべく鋭意検討を行った結果、白金またはパ
ラジウムを固体担体上に担持した固体触媒を用いること
によって、容易に有機過酸化物の分解ができ、さらに触
媒の長期の劣化も抑制することを見出し、本発明を完成
させるに至ったものである。すなわち、本発明は、白金
またはパラジウムを固体担体上に担持した固体触媒と、
有機過酸化物を含む溶液とを接触させ、該有機過酸化物
を分解する方法を提供するものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】白金またはパラジウムを担持させ
る担体としては、活性炭、アルミナ、シリカ、チタニ
ア、シリカアルミナ、マグネシア、ボーキサイト、ケイ
ソウ土等の代表的な担体を用いることができるが、好ま
しくは、シリカ、活性炭であり、さらに好ましくはシリ
カである。担体上の金属濃度は広い範囲で変化しうる
が、一般には0.1wt%以上であり、より好ましくは0.5 〜
5wt%の範囲である。本発明に使用される固体触媒は、担
体付金属触媒調製のための周知の方法、例えば含浸法、
共沈法、沈着法、混練法、イオン交換法、溶融法等によ
り調製し使用することもできるし、市販されている触媒
をそのまま用いても何ら問題ない。本発明における有機
過酸化物とは、ヒドロパーオキサイド、過酸化ジアルキ
ル、ケトンパーオキサイド、過カルボン酸、過酸化エス
テル、過酸化ジアシル等が挙げられる。有機過酸化物と
しては、上記の１種でも良く、２種以上のものが混合し
ていても良い。
る担体としては、活性炭、アルミナ、シリカ、チタニ
ア、シリカアルミナ、マグネシア、ボーキサイト、ケイ
ソウ土等の代表的な担体を用いることができるが、好ま
しくは、シリカ、活性炭であり、さらに好ましくはシリ
カである。担体上の金属濃度は広い範囲で変化しうる
が、一般には0.1wt%以上であり、より好ましくは0.5 〜
5wt%の範囲である。本発明に使用される固体触媒は、担
体付金属触媒調製のための周知の方法、例えば含浸法、
共沈法、沈着法、混練法、イオン交換法、溶融法等によ
り調製し使用することもできるし、市販されている触媒
をそのまま用いても何ら問題ない。本発明における有機
過酸化物とは、ヒドロパーオキサイド、過酸化ジアルキ
ル、ケトンパーオキサイド、過カルボン酸、過酸化エス
テル、過酸化ジアシル等が挙げられる。有機過酸化物と
しては、上記の１種でも良く、２種以上のものが混合し
ていても良い。
【０００７】本発明の方法による有機過酸化物の分解反
応は、固定床方式、懸濁触媒方式などの任意の方式で実
施することができる。より詳しく言えば、触媒を有機過
酸化物を含む溶液に添加して、反応時間は添加触媒量に
よってかなり変化するが、1分〜10時間、より好ましく
は10分〜2 時間撹拌することによって容易に目的が達成
される。また、触媒を管状の反応器に詰め、そこに溶液
を0.1 〜100 ｈ-1、より好ましくは1 〜20ｈ-1の液空間
速度（LHSV）で通過させることでも十分な結果が得られ
る。反応温度は室温においても十分な分解速度が得られ
るが、必要であれば30〜100 ℃、より好ましくは40〜80
℃に加熱することによって有機過酸化物の分解速度をさ
らに速くすることもできる。
応は、固定床方式、懸濁触媒方式などの任意の方式で実
施することができる。より詳しく言えば、触媒を有機過
酸化物を含む溶液に添加して、反応時間は添加触媒量に
よってかなり変化するが、1分〜10時間、より好ましく
は10分〜2 時間撹拌することによって容易に目的が達成
される。また、触媒を管状の反応器に詰め、そこに溶液
を0.1 〜100 ｈ-1、より好ましくは1 〜20ｈ-1の液空間
速度（LHSV）で通過させることでも十分な結果が得られ
る。反応温度は室温においても十分な分解速度が得られ
るが、必要であれば30〜100 ℃、より好ましくは40〜80
℃に加熱することによって有機過酸化物の分解速度をさ
らに速くすることもできる。
【０００８】
【実施例】以下に本発明を実施例によって具体的に説明
するが、本発明の内容はこれらによっていかなる意味に
おいても限定されるものではない。
するが、本発明の内容はこれらによっていかなる意味に
おいても限定されるものではない。
【０００９】実施例１ メタクリル酸アリル330g、メタノール50g 及びメチルエ
チルケトン50g の混合溶媒及びチタノシリケート触媒1
2.4g を反応器に仕込み、ついで60wt% 過酸化水素水59.
4g を反応温度60℃で約2 時間かけて滴下してメタクリ
ル酸アリルのエポキシ化を行った。反応終了後、チタノ
シリケート触媒を濾過し、メタクリル酸グリシジル123.
8gを含む混合溶液を得た。この溶液中に残存する過酸化
水素は0.14wt%、有機過酸化物は過酸化水素換算で0.025
wt%存在した。内径16mmのガラス管の内部に、パラジウ
ムを2wt%担持したシリカ粉末を10ｇ詰めた。この流通型
反応器に、上記の操作を繰り返して得られた反応液を、
定量ポンプを用いて液空間速度LHSV4.0 ｈ-1で流し、反
応器内の液をジャケットヒーターで50℃に加熱した。こ
の反応器流出口からの溶液中の過酸化物量の経時変化を
調べた結果を表1 に示した。分解率は非常に高く、触媒
の劣化は認められなかった。
チルケトン50g の混合溶媒及びチタノシリケート触媒1
2.4g を反応器に仕込み、ついで60wt% 過酸化水素水59.
4g を反応温度60℃で約2 時間かけて滴下してメタクリ
ル酸アリルのエポキシ化を行った。反応終了後、チタノ
シリケート触媒を濾過し、メタクリル酸グリシジル123.
8gを含む混合溶液を得た。この溶液中に残存する過酸化
水素は0.14wt%、有機過酸化物は過酸化水素換算で0.025
wt%存在した。内径16mmのガラス管の内部に、パラジウ
ムを2wt%担持したシリカ粉末を10ｇ詰めた。この流通型
反応器に、上記の操作を繰り返して得られた反応液を、
定量ポンプを用いて液空間速度LHSV4.0 ｈ-1で流し、反
応器内の液をジャケットヒーターで50℃に加熱した。こ
の反応器流出口からの溶液中の過酸化物量の経時変化を
調べた結果を表1 に示した。分解率は非常に高く、触媒
の劣化は認められなかった。
【００１０】
【表１】
【００１１】実施例２ 内径16mmのガラス管の内部に、白金を0.5wt%担持したシ
リカ球（3mm φ）を10ｇ詰めた。この流通型反応器に、
実施例1 と同様な操作によって得られた過酸化水素及び
有機過酸化物を含有するメタクリル酸アリルのエポキシ
化反応液を、定量ポンプを用いて液空間速度LHSV2.0 ｈ
-1で流し、反応器内の液をジャケットヒーターで50℃に
加熱した。この反応器流出口からの溶液中の過酸化物量
の経時変化を調べた結果を表2 に示した。分解率は非常
に高く、触媒の劣化は認められなかった。
リカ球（3mm φ）を10ｇ詰めた。この流通型反応器に、
実施例1 と同様な操作によって得られた過酸化水素及び
有機過酸化物を含有するメタクリル酸アリルのエポキシ
化反応液を、定量ポンプを用いて液空間速度LHSV2.0 ｈ
-1で流し、反応器内の液をジャケットヒーターで50℃に
加熱した。この反応器流出口からの溶液中の過酸化物量
の経時変化を調べた結果を表2 に示した。分解率は非常
に高く、触媒の劣化は認められなかった。
【００１２】
【表２】
【００１３】比較例１ 内径16mmのガラス管の内部に、イリジウムを5 wt% 担持
した活性炭を10ｇ詰めた。この流通型反応器に、実施例
1 と同様な操作によって得られた過酸化水素及び有機過
酸化物を含有するメタクリル酸アリルのエポキシ化反応
液を、定量ポンプを用いて液空間速度LHSV2.0 ｈ-1で流
し、反応器内の液をジャケットヒーターで50℃に加熱し
た。10時間経過時の反応器流出口からの溶液中の過酸化
物量を定量した。その結果、過酸化水素は100 ％、有機
過酸化物は80％分解していた。
した活性炭を10ｇ詰めた。この流通型反応器に、実施例
1 と同様な操作によって得られた過酸化水素及び有機過
酸化物を含有するメタクリル酸アリルのエポキシ化反応
液を、定量ポンプを用いて液空間速度LHSV2.0 ｈ-1で流
し、反応器内の液をジャケットヒーターで50℃に加熱し
た。10時間経過時の反応器流出口からの溶液中の過酸化
物量を定量した。その結果、過酸化水素は100 ％、有機
過酸化物は80％分解していた。
【００１４】比較例２ 内径16mmのガラス管の内部に、ルテニウムを5wt%担持し
た活性炭を10ｇ詰めた。この流通型反応器に、実施例1
と同様な操作によって得られた過酸化水素及び有機過酸
化物を含有するメタクリル酸アリルのエポキシ化反応液
を、定量ポンプを用いて液空間速度LHSV2.0 ｈ-1で流
し、反応器内の液をジャケットヒーターで50℃に加熱し
た。１０時間経過時の反応器出口からの溶液中の過酸化
物量を定量した。その結果、過酸化水素は100 ％、有機
過酸化物は67％分解していた。
た活性炭を10ｇ詰めた。この流通型反応器に、実施例1
と同様な操作によって得られた過酸化水素及び有機過酸
化物を含有するメタクリル酸アリルのエポキシ化反応液
を、定量ポンプを用いて液空間速度LHSV2.0 ｈ-1で流
し、反応器内の液をジャケットヒーターで50℃に加熱し
た。１０時間経過時の反応器出口からの溶液中の過酸化
物量を定量した。その結果、過酸化水素は100 ％、有機
過酸化物は67％分解していた。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、有機過酸化物を含有す
る溶液を、白金またはパラジウムを固体担体上に担持し
た固体触媒と接触させるという簡便な操作で、従来の方
法では困難であった有機過酸化物の分解を効率よく行う
ことが可能であり、操業上の危険性がないレベルにまで
有機過酸化物濃度を容易に低下させることができる。さ
らに、当該触媒は活性が長期間維持されるため、経済性
にも優れている。
る溶液を、白金またはパラジウムを固体担体上に担持し
た固体触媒と接触させるという簡便な操作で、従来の方
法では困難であった有機過酸化物の分解を効率よく行う
ことが可能であり、操業上の危険性がないレベルにまで
有機過酸化物濃度を容易に低下させることができる。さ
らに、当該触媒は活性が長期間維持されるため、経済性
にも優れている。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡本 隆伸 茨城県つくば市和台22番地 三菱瓦斯化学 株式会社総合研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 白金またはパラジウムを固体担体上に担
持した固体触媒と、有機過酸化物を含む溶液を接触させ
ることを特徴とする有機過酸化物の分解方法。 - 【請求項２】 固体担体がシリカまたは活性炭である請
求項１記載の有機過酸化物の分解方法。 - 【請求項３】 有機過酸化物が、ヒドロパーオキサイ
ド、過酸化ジアルキル、ケトンパーオキサイド、過カル
ボン酸、過酸化エステル、過酸化ジアシルからなる群か
ら選ばれる少なくとも１種のものである請求項１または
２記載の有機過酸化物の分解方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31956596A JPH10158198A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 有機過酸化物の分解方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31956596A JPH10158198A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 有機過酸化物の分解方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10158198A true JPH10158198A (ja) | 1998-06-16 |
Family
ID=18111693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31956596A Pending JPH10158198A (ja) | 1996-11-29 | 1996-11-29 | 有機過酸化物の分解方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10158198A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008041138A1 (de) | 2008-08-11 | 2010-02-18 | Evonik Röhm Gmbh | Verfahren und Anlage zur Herstellung von Glycidyl(meth)acrylat |
| JP2011079824A (ja) * | 2009-10-08 | 2011-04-21 | Oxea Gmbh | ポリオールエステルの色を明るくする方法 |
| JP2014195791A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 田中貴金属工業株式会社 | 過酸化物分解用固体触媒、及び該固体触媒を用いた過酸化物の分解処理方法 |
| WO2017010277A1 (ja) * | 2015-07-10 | 2017-01-19 | 株式会社武蔵野化学研究所 | 有機酸エステル系液体の製造方法、及び、電子部品作製用レジスト溶剤又は電子部品作製用リンス液の製造方法 |
-
1996
- 1996-11-29 JP JP31956596A patent/JPH10158198A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008041138A1 (de) | 2008-08-11 | 2010-02-18 | Evonik Röhm Gmbh | Verfahren und Anlage zur Herstellung von Glycidyl(meth)acrylat |
| JP2011079824A (ja) * | 2009-10-08 | 2011-04-21 | Oxea Gmbh | ポリオールエステルの色を明るくする方法 |
| JP2014195791A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 田中貴金属工業株式会社 | 過酸化物分解用固体触媒、及び該固体触媒を用いた過酸化物の分解処理方法 |
| WO2017010277A1 (ja) * | 2015-07-10 | 2017-01-19 | 株式会社武蔵野化学研究所 | 有機酸エステル系液体の製造方法、及び、電子部品作製用レジスト溶剤又は電子部品作製用リンス液の製造方法 |
| JPWO2017010277A1 (ja) * | 2015-07-10 | 2017-07-20 | 株式会社武蔵野化学研究所 | 有機酸エステル系液体の製造方法、及び、電子部品作製用レジスト溶剤又は電子部品作製用リンス液の製造方法 |
| KR20180028397A (ko) | 2015-07-10 | 2018-03-16 | 가부시키가이샤 무사시노카가쿠겡큐쇼 | 유기산 에스테르계 액체의 제조 방법, 및 전자 부품 제조용 레지스트 용제 또는 전자 부품 제조용 린스액의 제조 방법 |
| CN107850837A (zh) * | 2015-07-10 | 2018-03-27 | 株式会社武藏野化学研究所 | 有机酸酯类液体的制造方法，及电子零件制作用阻剂溶剂或电子零件制作用清洗液的制造方法 |
| US20190076833A1 (en) * | 2015-07-10 | 2019-03-14 | Musashino Chemical Laboratory, Ltd. | Process for producing organic acid ester-type liquid, and process for producing solvent of resist for producing electronic part or rinsing liquid for producing electronic parts |
| US10632456B2 (en) | 2015-07-10 | 2020-04-28 | Musashino Chemical Laboratory, Ltd. | Process for producing organic acid ester-type liquid, and process for producing solvent of resist for producing electronic part or rinsing liquid for producing electronic parts |
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