JPH10128908A - 金属蒸着フィルム、その製造方法、およびそれを用いたコンデンサ - Google Patents
金属蒸着フィルム、その製造方法、およびそれを用いたコンデンサInfo
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- JPH10128908A JPH10128908A JP8292503A JP29250396A JPH10128908A JP H10128908 A JPH10128908 A JP H10128908A JP 8292503 A JP8292503 A JP 8292503A JP 29250396 A JP29250396 A JP 29250396A JP H10128908 A JPH10128908 A JP H10128908A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】プレス成形性、あるいは積層性を損うことな
く、耐湿性能が改善された金属蒸着フィルムとその製造
方法を提供すること。 【解決手段】基材上の少なくとも片面に金属蒸着層を有
し、かつ該蒸着層上に厚さ１オングストローム以上１０
００オングストローム未満の有機化合物層を有する金属
蒸着フィルム。
く、耐湿性能が改善された金属蒸着フィルムとその製造
方法を提供すること。 【解決手段】基材上の少なくとも片面に金属蒸着層を有
し、かつ該蒸着層上に厚さ１オングストローム以上１０
００オングストローム未満の有機化合物層を有する金属
蒸着フィルム。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンデンサ用ある
いは包装用に適した金属蒸着フィルム、特にコンデンサ
用として最適な金属蒸着フィルムと該金属蒸着フィルム
の製造方法、さらには、該フィルムを用いてなるコンデ
ンサに関するものである。
いは包装用に適した金属蒸着フィルム、特にコンデンサ
用として最適な金属蒸着フィルムと該金属蒸着フィルム
の製造方法、さらには、該フィルムを用いてなるコンデ
ンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】金属蒸着フィルムを用いたコンデンサは
自己回復性（セルフヒーリング性）を有することから、
特に有機高分子フィルムを誘電体とするフィルムコンデ
ンサの約８割を占めている。しかし、これらの金属蒸着
フィルムは１００〜５００オングストロームの極薄層の
金属蒸着層よりなるため、全層が十分な結晶状態になっ
ていず、湿度の高い空気によって容易に酸化物になり、
絶縁体化し、容量の低下、ｔａｎδの上昇に伴う熱爆走
による絶縁破壊を起こす危険性を含んでいる。特にＺ
ｎ、Ｓｎなどの金属を蒸着した金属蒸着フィルムではこ
の傾向が強い。
自己回復性（セルフヒーリング性）を有することから、
特に有機高分子フィルムを誘電体とするフィルムコンデ
ンサの約８割を占めている。しかし、これらの金属蒸着
フィルムは１００〜５００オングストロームの極薄層の
金属蒸着層よりなるため、全層が十分な結晶状態になっ
ていず、湿度の高い空気によって容易に酸化物になり、
絶縁体化し、容量の低下、ｔａｎδの上昇に伴う熱爆走
による絶縁破壊を起こす危険性を含んでいる。特にＺ
ｎ、Ｓｎなどの金属を蒸着した金属蒸着フィルムではこ
の傾向が強い。
【０００３】また、半導体の高温耐湿性能の向上に伴っ
て電気回路素子を高温高湿下においても使用するように
なり、金属蒸着フィルム、特にＡｌを蒸着した金属蒸着
フィルムを用いたコンデンサに対しても従来の４０℃×
８５％ＲＨから６０℃×９５％ＲＨ、または８５℃×８
５％ＲＨの耐湿性能を要求されるようになってきた。近
年、これらの欠点の改良あるいは新たな要求に対し、い
くつかの改善提案がなされている。
て電気回路素子を高温高湿下においても使用するように
なり、金属蒸着フィルム、特にＡｌを蒸着した金属蒸着
フィルムを用いたコンデンサに対しても従来の４０℃×
８５％ＲＨから６０℃×９５％ＲＨ、または８５℃×８
５％ＲＨの耐湿性能を要求されるようになってきた。近
年、これらの欠点の改良あるいは新たな要求に対し、い
くつかの改善提案がなされている。
【０００４】まず、Ｚｎ蒸着金属フィルムの改善として
は、特開昭５７−２０６０１３号公報にＺｎ蒸着層上に
Ａｌ蒸着層を設け、耐湿性能を改善する提案がなされて
いるが、Ｚｎ蒸着層のみに比べて改善されるものの、未
だ十分とは言い難い。また、特公平５−６３０９２号公
報、特開昭６０−２２４２１１号公報にはＺｎ、あるい
はＡｌ蒸着金属の上に無機Ｓｉ、あるいは無機酸化物の
ＳｉＯ2 を蒸着し、耐湿性能を改善することが提案され
ている。該方法によって作られた金属蒸着フィルムの耐
湿性能は明らかに向上することが認められるが、耐湿性
能にばらつきが生じる欠点があり、更にＳｉ、あるいは
ＳｉＯ2 の蒸着速度が極めて遅いため、ＺｎやＡｌとの
蒸着速度に差がありすぎ、生産上の困難が伴う。なお、
耐湿性能のばらつきもＺｎやＡｌの蒸着速度に追随させ
たとき、ＳｉあるいはＳｉＯ2 の蒸発量が極く微量のた
め、均一層を形成できないことに起因するものと思われ
る。
は、特開昭５７−２０６０１３号公報にＺｎ蒸着層上に
Ａｌ蒸着層を設け、耐湿性能を改善する提案がなされて
いるが、Ｚｎ蒸着層のみに比べて改善されるものの、未
だ十分とは言い難い。また、特公平５−６３０９２号公
報、特開昭６０−２２４２１１号公報にはＺｎ、あるい
はＡｌ蒸着金属の上に無機Ｓｉ、あるいは無機酸化物の
ＳｉＯ2 を蒸着し、耐湿性能を改善することが提案され
ている。該方法によって作られた金属蒸着フィルムの耐
湿性能は明らかに向上することが認められるが、耐湿性
能にばらつきが生じる欠点があり、更にＳｉ、あるいは
ＳｉＯ2 の蒸着速度が極めて遅いため、ＺｎやＡｌとの
蒸着速度に差がありすぎ、生産上の困難が伴う。なお、
耐湿性能のばらつきもＺｎやＡｌの蒸着速度に追随させ
たとき、ＳｉあるいはＳｉＯ2 の蒸発量が極く微量のた
め、均一層を形成できないことに起因するものと思われ
る。
【０００５】また、現在、現実に採用されている方法と
して、特開昭５９−２２７１１５号公報、特公昭６３−
１５７３７号公報（ＵＳＰ４７８５３７４号明細書）、
特開平３−１４３６２９号公報に金属蒸着層上に真空蒸
気内でシリコーンオイル等を蒸着する方法が提案されて
いる。
して、特開昭５９−２２７１１５号公報、特公昭６３−
１５７３７号公報（ＵＳＰ４７８５３７４号明細書）、
特開平３−１４３６２９号公報に金属蒸着層上に真空蒸
気内でシリコーンオイル等を蒸着する方法が提案されて
いる。
【０００６】かかる方法によって、確かに耐湿性能は向
上するものの、近年の厳しい要求には性能が不十分であ
るとともに、さらに扁平型コンデンサにするためのプレ
ス成形性あるいは積層コンデンサにおいて、金属蒸着フ
ィルムの層間密着が悪いという不都合がある。近年、素
子成形速度が速くなるにつれ、かかる不都合が重要な問
題としてクローズアップされてきた。
上するものの、近年の厳しい要求には性能が不十分であ
るとともに、さらに扁平型コンデンサにするためのプレ
ス成形性あるいは積層コンデンサにおいて、金属蒸着フ
ィルムの層間密着が悪いという不都合がある。近年、素
子成形速度が速くなるにつれ、かかる不都合が重要な問
題としてクローズアップされてきた。
【０００７】一方、Ａｌ蒸着金属フィルムに対しては特
開平２−２１８７１６号公報、特開平４−２４５４１４
号公報、特開平５−２７５２７６号公報、特開平６−１
４０２８１号公報の如く、基材上に有機高分子の薄層を
設け、その上にＡｌを蒸着する方法が提案されている
が、該方法の耐湿性能の改善効果は目標レベルに対し不
十分であり、かつ界面分極によるものと思われるｔａｎ
δ上昇が生じる欠点があり、未だ要求に答うる製品が開
発されていない。
開平２−２１８７１６号公報、特開平４−２４５４１４
号公報、特開平５−２７５２７６号公報、特開平６−１
４０２８１号公報の如く、基材上に有機高分子の薄層を
設け、その上にＡｌを蒸着する方法が提案されている
が、該方法の耐湿性能の改善効果は目標レベルに対し不
十分であり、かつ界面分極によるものと思われるｔａｎ
δ上昇が生じる欠点があり、未だ要求に答うる製品が開
発されていない。
【０００８】さらにＤ．ＳＨＡＷらは、分子量３００〜
３０００のフッ素系二官能性アクリレート（ｆｕｌｏｒ
ｉｎａｔｅｄ ｄｉａｃｒｙｌａｔｅ）をＺｎ蒸着層の
上に４０００オングストローム厚さで蒸着し、次いで電
子線で架橋することによってＺｎの耐湿性能を向上させ
ているが（１６ｔｈ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ ａｎｄ Ｒｅ
ｓｉｓｔｏｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｓｙｍｐｏｓｉｕ
ｍ，１９９６）、この方法ではプレス性が悪く、さらに
電子線によると思われる帯電が起きること、および金属
蒸着フィルム間の滑り性が悪くなり、コンデンサの素子
巻き特性が悪化する欠点がある。
３０００のフッ素系二官能性アクリレート（ｆｕｌｏｒ
ｉｎａｔｅｄ ｄｉａｃｒｙｌａｔｅ）をＺｎ蒸着層の
上に４０００オングストローム厚さで蒸着し、次いで電
子線で架橋することによってＺｎの耐湿性能を向上させ
ているが（１６ｔｈ Ｃａｐａｃｉｔｏｒ ａｎｄ Ｒｅ
ｓｉｓｔｏｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｓｙｍｐｏｓｉｕ
ｍ，１９９６）、この方法ではプレス性が悪く、さらに
電子線によると思われる帯電が起きること、および金属
蒸着フィルム間の滑り性が悪くなり、コンデンサの素子
巻き特性が悪化する欠点がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、プレス成形
性、あるいは積層性を損うことなく、耐湿性能を改善す
ることを課題として成し遂げられたものである。また本
発明の付随効果として、従来から冬になるとＡｌ蒸着フ
ィルムのＩＲ（絶縁抵抗）が低下していた問題点も改良
できることを見出したものである。
性、あるいは積層性を損うことなく、耐湿性能を改善す
ることを課題として成し遂げられたものである。また本
発明の付随効果として、従来から冬になるとＡｌ蒸着フ
ィルムのＩＲ（絶縁抵抗）が低下していた問題点も改良
できることを見出したものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上述した本発明の目的を
達成する本発明の金属蒸着フィルムは、基材上の少なく
とも片面に金属蒸着層を有し、かつ該蒸着層上に１オン
グストローム以上１０００オングストローム以下の有機
化合物層を有することを特徴とする金属蒸着フィルムで
ある。
達成する本発明の金属蒸着フィルムは、基材上の少なく
とも片面に金属蒸着層を有し、かつ該蒸着層上に１オン
グストローム以上１０００オングストローム以下の有機
化合物層を有することを特徴とする金属蒸着フィルムで
ある。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の金属蒸着フィルム
と該金属蒸着フィルムの製造方法、さらに該フィルムを
用いてなるコンデンサについて、さらに詳しく説明をす
る。
と該金属蒸着フィルムの製造方法、さらに該フィルムを
用いてなるコンデンサについて、さらに詳しく説明をす
る。
【００１２】本発明の一実施態様例である金属蒸着フィ
ルムの概略図を図１に示す。
ルムの概略図を図１に示す。
【００１３】なお、本発明は本実施態様例に限定される
ものではない。
ものではない。
【００１４】図１において、１は本発明の金属蒸着フィ
ルムであり、２は基材、３は金属蒸着層、４は有機化合
物層、５は金属蒸着層が形成されていないか、あるいは
金属酸化物等から形成された絶縁層でコンデンサにした
ときの金属蒸着層と対極との絶縁を保持するための絶縁
部（「耳幅」または「マージン」と呼称されるが、以
下、マージンと呼ぶ）である。なお、６はマージンを形
成するためのマージンオイルである。
ルムであり、２は基材、３は金属蒸着層、４は有機化合
物層、５は金属蒸着層が形成されていないか、あるいは
金属酸化物等から形成された絶縁層でコンデンサにした
ときの金属蒸着層と対極との絶縁を保持するための絶縁
部（「耳幅」または「マージン」と呼称されるが、以
下、マージンと呼ぶ）である。なお、６はマージンを形
成するためのマージンオイルである。
【００１５】なお、図１では金属蒸着層３、有機化合物
層４、マージン５は基材２の片側しか設けられていない
が、基材２の両側に設けてもよい。また、マージン５は
金属蒸着フィルム１の幅方向の金属蒸着層３の片側の端
に設けられているが、特公平１−３０２８５号公報のご
とく、シリーズコンデンサでは両側、あるいは中央、特
公平４−２２５５０８号公報（ＵＳＰ５１３６４６２号
明細書）のごとく保安機構付コンデンサでは種々のパタ
ーンをしたマージン５を金属蒸着層３中に設けることが
できる。
層４、マージン５は基材２の片側しか設けられていない
が、基材２の両側に設けてもよい。また、マージン５は
金属蒸着フィルム１の幅方向の金属蒸着層３の片側の端
に設けられているが、特公平１−３０２８５号公報のご
とく、シリーズコンデンサでは両側、あるいは中央、特
公平４−２２５５０８号公報（ＵＳＰ５１３６４６２号
明細書）のごとく保安機構付コンデンサでは種々のパタ
ーンをしたマージン５を金属蒸着層３中に設けることが
できる。
【００１６】有機化合物層の厚さは、１オングストロー
ム以上１０００オングストローム未満がよい。１０００
オングストローム以上になると界面分極が発生し、ｔａ
ｎδが上昇する。より好ましくは５オングストローム以
上５００オングストローム以下、より好ましくは１０オ
ングストローム以上１００オングストローム以下であ
る。１０オングストローム以上になると十分な耐湿効果
が認められ、かつ１００オングストローム以下であれ
ば、プレス性も極めて良好である。
ム以上１０００オングストローム未満がよい。１０００
オングストローム以上になると界面分極が発生し、ｔａ
ｎδが上昇する。より好ましくは５オングストローム以
上５００オングストローム以下、より好ましくは１０オ
ングストローム以上１００オングストローム以下であ
る。１０オングストローム以上になると十分な耐湿効果
が認められ、かつ１００オングストローム以下であれ
ば、プレス性も極めて良好である。
【００１７】有機化合物層は金属蒸着フィルムの断面を
電子顕微鏡で観察するか、Ａｒイオンにてイオンエッチ
ングしながらオージェ電子分光法（ＡＥＳ）にて、例え
ば炭素原子などの有機化合物を形成する原子量を測定
し、有機化合物表面から金属蒸着層に至るエッチング時
間から有機化合物の既知のエッチング速度を用いて有機
化合物層の厚さを算出することによって、定量できる。
電子顕微鏡で観察するか、Ａｒイオンにてイオンエッチ
ングしながらオージェ電子分光法（ＡＥＳ）にて、例え
ば炭素原子などの有機化合物を形成する原子量を測定
し、有機化合物表面から金属蒸着層に至るエッチング時
間から有機化合物の既知のエッチング速度を用いて有機
化合物層の厚さを算出することによって、定量できる。
【００１８】有機化合物層を構成する物質は、有機の化
合物であればよく、特に限定されないが、架橋した有機
高分子層であることがより好ましい。そのような架橋し
た有機高分子層を用いれば、コンデンサを形成する際の
プレス加工などによる変形、熱処理に伴う収縮などの変
形にて架橋膜に亀裂等を生じさせることなく変形し、耐
湿性能の悪化を招くことが少ないのである。本発明者ら
の知見によれば、中でも架橋したシリコーン樹脂が好ま
しく、特に、下記式１の二官能シロキサン結合、式２の
三官能シロキサン結合、
合物であればよく、特に限定されないが、架橋した有機
高分子層であることがより好ましい。そのような架橋し
た有機高分子層を用いれば、コンデンサを形成する際の
プレス加工などによる変形、熱処理に伴う収縮などの変
形にて架橋膜に亀裂等を生じさせることなく変形し、耐
湿性能の悪化を招くことが少ないのである。本発明者ら
の知見によれば、中でも架橋したシリコーン樹脂が好ま
しく、特に、下記式１の二官能シロキサン結合、式２の
三官能シロキサン結合、
【化１】
【化２】 または／および下記式３の四官能シロキサン結合
【化３】 を有するシリコーン樹脂が耐湿性能に特に優れ、プレス
性も良好である。この原因は、三官能シロキサン結合、
および四官能シロキサン結合が耐湿性能、プレス性を向
上させ、プレス加工、熱処理などに伴う変形応力に二官
能シロキサン結合部分が対応しているものと考えられ
る。
性も良好である。この原因は、三官能シロキサン結合、
および四官能シロキサン結合が耐湿性能、プレス性を向
上させ、プレス加工、熱処理などに伴う変形応力に二官
能シロキサン結合部分が対応しているものと考えられ
る。
【００１９】中でも、本発明者らの知見によれば、ジメ
チルポリシロキサン、あるいはメチルフェニルシリコー
ンオイルよりなり、かつ上記のごとく二、三、四官能の
シロキサン結合を有する架橋したシリコーン樹脂である
ことがより好ましい。
チルポリシロキサン、あるいはメチルフェニルシリコー
ンオイルよりなり、かつ上記のごとく二、三、四官能の
シロキサン結合を有する架橋したシリコーン樹脂である
ことがより好ましい。
【００２０】さらに、本発明者らの知見によれば、有機
化合物層表面の表面張力が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であ
ることがプレス性に有効で、中でも二、三、四官能のシ
ロキサン結合を有するシリコーン樹脂で、かつ該表面の
表面張力が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上の架橋シリコーン樹
脂層であることが、耐湿性能、プレス性の点から最も好
ましい。
化合物層表面の表面張力が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であ
ることがプレス性に有効で、中でも二、三、四官能のシ
ロキサン結合を有するシリコーン樹脂で、かつ該表面の
表面張力が３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上の架橋シリコーン樹
脂層であることが、耐湿性能、プレス性の点から最も好
ましい。
【００２１】基材２を構成する物質は特に限定されない
が、紙、有機高分子フィルムなどを好ましく用いること
ができる。特に有機高分子フィルムが可撓性、電気絶縁
性に優れより好ましい。
が、紙、有機高分子フィルムなどを好ましく用いること
ができる。特に有機高分子フィルムが可撓性、電気絶縁
性に優れより好ましい。
【００２２】本発明でいう有機高分子フィルムとは天
然、半合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型したも
ので、中でも合成高分子樹脂からなる有機高分子フィル
ムが耐熱性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点
からより好ましい。
然、半合成、合成高分子樹脂をフィルム状に成型したも
ので、中でも合成高分子樹脂からなる有機高分子フィル
ムが耐熱性、機械特性、電気特性、物理化学的特性の点
からより好ましい。
【００２３】好ましい高分子樹脂としては、ポリオレフ
ィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイ
ミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネイト樹
脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリア
リレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリア
リレン樹脂などを用いることができる。特にポリプロピ
レン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネ
リト、ポリスチレンが機械特性、電気特性の点からより
好ましい。中でもポリプロピレン、ポリエチレンテレフ
タレート、およびポリエチレンナフタレートが交流耐電
圧（ＡＣ耐電圧）が高いことから好ましい。
ィン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイ
ミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリカーボネイト樹
脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリア
リレート樹脂、フッ素樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリア
リレン樹脂などを用いることができる。特にポリプロピ
レン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリカーボネ
リト、ポリスチレンが機械特性、電気特性の点からより
好ましい。中でもポリプロピレン、ポリエチレンテレフ
タレート、およびポリエチレンナフタレートが交流耐電
圧（ＡＣ耐電圧）が高いことから好ましい。
【００２４】また、ＤＣ用途ではポリエチレンナフタレ
ート、ポリエチレンテレフタレート、およびポリフェニ
レンサルファイドが特に好ましい。
ート、ポリエチレンテレフタレート、およびポリフェニ
レンサルファイドが特に好ましい。
【００２５】さらに有機高分子フィルムの表面の表面張
力を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上に上げることは、蒸着金属
の付着性あるいは含浸剤の含浸性を上げることができる
ことができるのでより好ましい。
力を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上に上げることは、蒸着金属
の付着性あるいは含浸剤の含浸性を上げることができる
ことができるのでより好ましい。
【００２６】金属蒸着層３の金属は、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃ
ｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｕ、Ｆｅあるいはこれらの合金等で
導電性を有するものであれば特に限定されることなく使
用することができるが、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｓｕなどが
耐コロナ劣化性が少なく好ましい。中でもＡｌ−Ｚｎの
合金が耐湿性能、耐コロナ劣化性および自己回復特性の
点でより好ましく、中でも蒸着合金膜中のＡｌ含有量比
｛（Ａｌ含有量×１００）／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有
量）｝が、金属蒸着層表面Ｃ1 、金属蒸着層中央Ｃ2 、
高分子フィルム界面でＣ3 とすると、図２のごとくＣ2
＜Ｃ1 、かつＣ2 ＜Ｃ3 と連続的に変化する金属蒸着層
が好ましい。さらに金属蒸着層全体のＡｌの含有量比が
０．５〜１５ｗｔ％、より好ましくは８〜１２ｗｔ％と
なるＡｌ−Ｚｎの合金からなる金属蒸着層が特に好まし
い。中でもＡｌの含有量比Ｃ2 ＜Ｃ1≦Ｃ3 となる分布
をするＡｌ−Ｚｎの合金が自己回復性の劣化が少なくよ
り好ましい。
ｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｕ、Ｆｅあるいはこれらの合金等で
導電性を有するものであれば特に限定されることなく使
用することができるが、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｓｕなどが
耐コロナ劣化性が少なく好ましい。中でもＡｌ−Ｚｎの
合金が耐湿性能、耐コロナ劣化性および自己回復特性の
点でより好ましく、中でも蒸着合金膜中のＡｌ含有量比
｛（Ａｌ含有量×１００）／（Ａｌ含有量＋Ｚｎ含有
量）｝が、金属蒸着層表面Ｃ1 、金属蒸着層中央Ｃ2 、
高分子フィルム界面でＣ3 とすると、図２のごとくＣ2
＜Ｃ1 、かつＣ2 ＜Ｃ3 と連続的に変化する金属蒸着層
が好ましい。さらに金属蒸着層全体のＡｌの含有量比が
０．５〜１５ｗｔ％、より好ましくは８〜１２ｗｔ％と
なるＡｌ−Ｚｎの合金からなる金属蒸着層が特に好まし
い。中でもＡｌの含有量比Ｃ2 ＜Ｃ1≦Ｃ3 となる分布
をするＡｌ−Ｚｎの合金が自己回復性の劣化が少なくよ
り好ましい。
【００２７】本発明の金属蒸着フィルムを製造する方法
は特に限定されないが、真空蒸着機内で基材に金属を蒸
着後、次いで、該蒸着金属層上に有機化合物を蒸着し、
さらに該有機化合物表面をグロー放電処理することによ
って著しく耐湿性能を向上させることができ、さらにプ
レス性を改善することができる。
は特に限定されないが、真空蒸着機内で基材に金属を蒸
着後、次いで、該蒸着金属層上に有機化合物を蒸着し、
さらに該有機化合物表面をグロー放電処理することによ
って著しく耐湿性能を向上させることができ、さらにプ
レス性を改善することができる。
【００２８】例えば、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムにＡｌを蒸着膜抵抗２Ω／□の厚さに蒸着後、特公
昭６３−１５７３７号公報の方法にてシリコーンオイル
（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製 ＳＨ７
０２）を蒸着した場合、耐湿性能が向上するが、さらに
シリコーンオイル蒸着後、酸素ガスを用いたグロー放電
処理を行うと、１３０℃×９０％ＲＨ中（オートクレー
ブ中）に放置してさえも蒸着膜の消失もなく、蒸着膜抵
抗の増加も５０％以内におさまるほど、著しく耐湿性が
向上することは驚くべき知見である。
ルムにＡｌを蒸着膜抵抗２Ω／□の厚さに蒸着後、特公
昭６３−１５７３７号公報の方法にてシリコーンオイル
（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）製 ＳＨ７
０２）を蒸着した場合、耐湿性能が向上するが、さらに
シリコーンオイル蒸着後、酸素ガスを用いたグロー放電
処理を行うと、１３０℃×９０％ＲＨ中（オートクレー
ブ中）に放置してさえも蒸着膜の消失もなく、蒸着膜抵
抗の増加も５０％以内におさまるほど、著しく耐湿性が
向上することは驚くべき知見である。
【００２９】従来においては、一般に、シリコーンオイ
ルを蒸着していないＡｌ蒸着フィルム、あるいはシリコ
ーン蒸着したのみのＡｌ蒸着フィルムでは、１３０℃×
９０％ＲＨの雰囲気に放置すると１時間以内に蒸着膜が
消失（蒸着膜が透明になる）してしまっていたのに対し
て、上述の如く蒸着膜の消失もないことは驚くべきこと
である。
ルを蒸着していないＡｌ蒸着フィルム、あるいはシリコ
ーン蒸着したのみのＡｌ蒸着フィルムでは、１３０℃×
９０％ＲＨの雰囲気に放置すると１時間以内に蒸着膜が
消失（蒸着膜が透明になる）してしまっていたのに対し
て、上述の如く蒸着膜の消失もないことは驚くべきこと
である。
【００３０】さらにシリコーンオイルを蒸着したのみの
蒸着フィルムではプレス性が悪化し、Ａｌ蒸着のみの金
属蒸着フィルムに比べ、より高温で長時間プレスする必
要があるが、シリコーンオイル蒸着後グロー放電処理し
た金属蒸着フィルムの表面をＸ線光電子分光法（ＸＰ
Ｓ、あるいはＥＳＣＡと一般的に呼称される）にて表面
を分析するとシリコーンオイル固有の二官能シロキサン
結合に加え、三および四官能シロキサン結合成分が生成
しており、該シリコーンオイルが架橋していることがわ
かった（なお、一部のシロキサン結合はＡｌ蒸着膜と化
学反応しているものと考えられる。）。このことが耐湿
性能を著しく改善していると考えられる。さらにシリコ
ーンオイル蒸着後、グロー放電処理した金属蒸着フィル
ムの表面張力は３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上になっており、
このことがプレス性を著しく改善していると考えられ
る。
蒸着フィルムではプレス性が悪化し、Ａｌ蒸着のみの金
属蒸着フィルムに比べ、より高温で長時間プレスする必
要があるが、シリコーンオイル蒸着後グロー放電処理し
た金属蒸着フィルムの表面をＸ線光電子分光法（ＸＰ
Ｓ、あるいはＥＳＣＡと一般的に呼称される）にて表面
を分析するとシリコーンオイル固有の二官能シロキサン
結合に加え、三および四官能シロキサン結合成分が生成
しており、該シリコーンオイルが架橋していることがわ
かった（なお、一部のシロキサン結合はＡｌ蒸着膜と化
学反応しているものと考えられる。）。このことが耐湿
性能を著しく改善していると考えられる。さらにシリコ
ーンオイル蒸着後、グロー放電処理した金属蒸着フィル
ムの表面張力は３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上になっており、
このことがプレス性を著しく改善していると考えられ
る。
【００３１】金属蒸着層上に蒸着する有機化合物の厚さ
は１０００オングストローム未満が好ましく、１０００
オングストロームを超えると金属蒸着フィルムのｔａｎ
δが上昇し、また有機化合物の下層の架橋が起こらず、
さらにプレス性の改善効果も少ない。
は１０００オングストローム未満が好ましく、１０００
オングストロームを超えると金属蒸着フィルムのｔａｎ
δが上昇し、また有機化合物の下層の架橋が起こらず、
さらにプレス性の改善効果も少ない。
【００３２】本発明でいうグロー放電（低温プラズマ）
とは真空中で電磁場の印加によって開始、持続する放電
で、真空中で放電開始または／および放電持続ガスに直
流電圧、低、中、高周波電圧、マイクロ波を印加するこ
とによって形成できる。また磁場を併用印加することに
よって、放電をより低い電圧でより安定化できる。
とは真空中で電磁場の印加によって開始、持続する放電
で、真空中で放電開始または／および放電持続ガスに直
流電圧、低、中、高周波電圧、マイクロ波を印加するこ
とによって形成できる。また磁場を併用印加することに
よって、放電をより低い電圧でより安定化できる。
【００３３】本発明で用いられるガスの種類は限定され
ないが、酸素原子を含むガスがより好ましい。例えばＯ
2 、ＣＯ、ＣＯ2 、あるいはこれらと他のガスとの混合
ガスなどを好ましく用いることができる。
ないが、酸素原子を含むガスがより好ましい。例えばＯ
2 、ＣＯ、ＣＯ2 、あるいはこれらと他のガスとの混合
ガスなどを好ましく用いることができる。
【００３４】コンデンサ用の金属蒸着フィルムでは通常
マージンを形成する。マージンの形成方法にはテープを
用いるテープマージン法とオイルを蒸発させて作るオイ
ルマージン法があり、オイルマージン法で作った金属蒸
着フィルムの方が耐電圧が高くなるが、プレス性が低下
する欠点がある。しかるに、本発明方法のように金属蒸
着層上に有機化合物を蒸着後、グロー放電処理した金属
蒸着フィルムはオイルマージン法でマージンを形成して
もプレス性を低下させない特徴がある。また、本発明方
法においてマージンを形成するオイル（マージンオイ
ル）としてはシリコーンオイルを用いることが特に好ま
しい。中でも、重量平均分子量ＭＷが３００≦ＭＷ≦８
００のジメチルポリシロキサンオイル、あるいはメチル
フェニルシリコーンオイルが好ましく、特に数平均分子
量ＭＮとの比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１のメチルフ
ェニルシリコーンオイルが好ましい。また、このシリコ
ーンオイルは金属蒸着層上に蒸着する有機化合物として
も好ましく使用できるものである。
マージンを形成する。マージンの形成方法にはテープを
用いるテープマージン法とオイルを蒸発させて作るオイ
ルマージン法があり、オイルマージン法で作った金属蒸
着フィルムの方が耐電圧が高くなるが、プレス性が低下
する欠点がある。しかるに、本発明方法のように金属蒸
着層上に有機化合物を蒸着後、グロー放電処理した金属
蒸着フィルムはオイルマージン法でマージンを形成して
もプレス性を低下させない特徴がある。また、本発明方
法においてマージンを形成するオイル（マージンオイ
ル）としてはシリコーンオイルを用いることが特に好ま
しい。中でも、重量平均分子量ＭＷが３００≦ＭＷ≦８
００のジメチルポリシロキサンオイル、あるいはメチル
フェニルシリコーンオイルが好ましく、特に数平均分子
量ＭＮとの比が１．０≦ＭＷ／ＭＮ≦１．１のメチルフ
ェニルシリコーンオイルが好ましい。また、このシリコ
ーンオイルは金属蒸着層上に蒸着する有機化合物として
も好ましく使用できるものである。
【００３５】基材の金属蒸着層を設けた反対面をコロナ
放電処理、あるいはグロー放電処理し、該表面の表面張
力を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上にするとプレス性がさらに
向上し、またコンデンサを含浸する際の含浸剤の含浸性
が良くなり好ましい。
放電処理、あるいはグロー放電処理し、該表面の表面張
力を３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上にするとプレス性がさらに
向上し、またコンデンサを含浸する際の含浸剤の含浸性
が良くなり好ましい。
【００３６】本発明の金属蒸着フィルムを積層または巻
回、あるいはさらにプレスし、場合によっては含浸し、
外装することによって良好なコンデンサを作ることがで
きる。なお、本発明の金属蒸着フィルムを用いるコンデ
ンサの含浸剤としては特に限定されないが、エポキシ樹
脂、ウレタン樹脂、またはシリコーン樹脂等を好ましく
使用することができる。
回、あるいはさらにプレスし、場合によっては含浸し、
外装することによって良好なコンデンサを作ることがで
きる。なお、本発明の金属蒸着フィルムを用いるコンデ
ンサの含浸剤としては特に限定されないが、エポキシ樹
脂、ウレタン樹脂、またはシリコーン樹脂等を好ましく
使用することができる。
【００３７】なお、本発明の金属蒸着フィルムの用途は
コンデンサに限定されるものではない。
コンデンサに限定されるものではない。
【００３８】
（１）Ａｌ−Ｚｎ合金の組成分析 金属蒸着フィルムサンプル９ｃｍ2 を希硝酸で溶解した
後、２０ｍｌに定溶し、この定溶液をＩＣＰ発光分光分
析法にてＡｌおよびＺｎを定量した。ＩＣＰ発光分光分
析装置はセイコー電子工業（株）製ＳＰＳ１２００ＶＲ
型を用いた。
後、２０ｍｌに定溶し、この定溶液をＩＣＰ発光分光分
析法にてＡｌおよびＺｎを定量した。ＩＣＰ発光分光分
析装置はセイコー電子工業（株）製ＳＰＳ１２００ＶＲ
型を用いた。
【００３９】（２）ＡｌおよびＺｎの組成分布 ＪＥＯＬ製ＪＡＭＰ−１０Ｓ型のオージェ電子分光分析
装置にて、蒸着層の表面よりＡｒイオンエッチングしな
がらＡｌおよびＺｎの定量分析を行った。
装置にて、蒸着層の表面よりＡｒイオンエッチングしな
がらＡｌおよびＺｎの定量分析を行った。
【００４０】Ａｒイオンエッチング条件 加速電圧：３ｋＶ 試料電流：１×１０-6 Ａ エッチング速度：ＳｉＯ2 換算で１９０オングストロ
ーム／ｍｉｎ 測定条件 加速電圧：３ｋＶ スリットＮｏ．：５ 試料電流：８×１０-8 Ａ 試料傾斜角度：７２度 ビーム径：１０μｍ なお、フィルム界面とは蒸着膜中央よりフィルム界面に
かけＡｌ含有量が多くなり、最大になった後減少してい
く、最大点の位置をフィルム界面とし、最大点の含有量
比をＣ3とする。
ーム／ｍｉｎ 測定条件 加速電圧：３ｋＶ スリットＮｏ．：５ 試料電流：８×１０-8 Ａ 試料傾斜角度：７２度 ビーム径：１０μｍ なお、フィルム界面とは蒸着膜中央よりフィルム界面に
かけＡｌ含有量が多くなり、最大になった後減少してい
く、最大点の位置をフィルム界面とし、最大点の含有量
比をＣ3とする。
【００４１】（３）蒸着膜上の有機化合物の有無 ＸＰＳ（ＥＳＣＡ）にて蒸着膜表面を観察することによ
って、有機化合物の存在を確認できる。
って、有機化合物の存在を確認できる。
【００４２】装置：ＳＳＩ社製ＳＳＸ−１００−２０６ 励起Ｘ先：ｍｏｎｏｃｈｒｏｍａｔｉｚｅｄ Ａｌ Ｋ
α１．２線（１４８６．６ｅｖ） 光電子脱出角度（θ）：３５度 エネルギー補正：Ｃ1S メインピークの結合エネルギー
値を２８４．６ｅｖに合わせた。
α１．２線（１４８６．６ｅｖ） 光電子脱出角度（θ）：３５度 エネルギー補正：Ｃ1S メインピークの結合エネルギー
値を２８４．６ｅｖに合わせた。
【００４３】なお、ＸＰＳは感度が良いため汚染による
有機物を検出することがあるが、蒸着表面上に形成され
た架橋有機化合物からの信号が著しく高く、汚染の有機
物とは区別できる。
有機物を検出することがあるが、蒸着表面上に形成され
た架橋有機化合物からの信号が著しく高く、汚染の有機
物とは区別できる。
【００４４】（４）シリコーンオイルの分子量分布測定 ゲル浸透クロマトグラフＧＰＣ−２４４（ＷＡＴＥＲ
Ｓ）、検出器：示差屈折率検出器Ｒ−４０１（ＷＡＴＥ
ＲＳ）を用い測定し、分子量校正はポリスチレンで行っ
た。
Ｓ）、検出器：示差屈折率検出器Ｒ−４０１（ＷＡＴＥ
ＲＳ）を用い測定し、分子量校正はポリスチレンで行っ
た。
【００４５】なお、メチルフェニルシリコーンオイルの
場合はカラムはＴＳＫ−ｇｅｌ−Ｇ３０００ＨＸＬ
（１）、Ｇ２５００ＨＸＬ（１）（東ソー（株））を用
いた。 （５）耐湿性能 タバイ（株）製ＰＲＥＳＳＵＲＥ ＣＯＯＫＥＲ ＴＰ
Ｃ−２１１に金属蒸着フィルムを入れ、１３０℃×９０
％ＲＨで１時間、または３時間高温高圧水蒸気中に放置
し、放置前後の蒸着膜の抵抗変化、あるいは蒸着膜の消
失具合を目視にて判断した。
場合はカラムはＴＳＫ−ｇｅｌ−Ｇ３０００ＨＸＬ
（１）、Ｇ２５００ＨＸＬ（１）（東ソー（株））を用
いた。 （５）耐湿性能 タバイ（株）製ＰＲＥＳＳＵＲＥ ＣＯＯＫＥＲ ＴＰ
Ｃ−２１１に金属蒸着フィルムを入れ、１３０℃×９０
％ＲＨで１時間、または３時間高温高圧水蒸気中に放置
し、放置前後の蒸着膜の抵抗変化、あるいは蒸着膜の消
失具合を目視にて判断した。
【００４６】（６）表面張力 ＪＩＳ Ｋ ６７６８−１９７１ポリエチレンおよびポリ
プロピレンフィルムのぬれ試験方法に準じた。
プロピレンフィルムのぬれ試験方法に準じた。
【００４７】（７）プレス性評価 ２枚の金属蒸着フィルムを重ねて巻回し、プレス成形し
た素子にテンシロンにて荷重をかけ、巻芯が開いた（成
型が崩れた）時の荷重を読みとった。荷重が大きいほ
ど、プレス性は良い。
た素子にテンシロンにて荷重をかけ、巻芯が開いた（成
型が崩れた）時の荷重を読みとった。荷重が大きいほ
ど、プレス性は良い。
【００４８】
実施例１、比較例１、比較例２ 厚さ５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムにＡ
ｌを蒸着し、マージン５の幅＝２ｍｍ、金属蒸着層の抵
抗値２Ω／□のコンデンサ用蒸着フィルムを作成した。
ｌを蒸着し、マージン５の幅＝２ｍｍ、金属蒸着層の抵
抗値２Ω／□のコンデンサ用蒸着フィルムを作成した。
【００４９】実施例１では真空蒸着機内においてＡｌ蒸
着後、次いでフェニル・メチル・ジメチル・ポリシロキ
サンオイル（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）
製ＳＨ７０２）を加熱し、Ａｌの上に蒸着し、さらにそ
の表面を１次側電圧２８０Ｖ、電流１．１Ａ、２次側周
波数１５ｋＨｚ、出力０．３２ｋＷの条件でＯ2ガスを
用いてグロー放電を行った後巻き取った。比較例１では
Ａｌを蒸着後、同様にシリコーンオイルを蒸着した。比
較例２では従来の方法であるＡｌ蒸着のみとした。
着後、次いでフェニル・メチル・ジメチル・ポリシロキ
サンオイル（東レ・ダウコーニング・シリコーン（株）
製ＳＨ７０２）を加熱し、Ａｌの上に蒸着し、さらにそ
の表面を１次側電圧２８０Ｖ、電流１．１Ａ、２次側周
波数１５ｋＨｚ、出力０．３２ｋＷの条件でＯ2ガスを
用いてグロー放電を行った後巻き取った。比較例１では
Ａｌを蒸着後、同様にシリコーンオイルを蒸着した。比
較例２では従来の方法であるＡｌ蒸着のみとした。
【００５０】これらの金属蒸着フィルムを３０ｍｍ幅に
スリットした後、１３０℃、９０％ＲＨの圧力釜に３時
間入れ耐湿性能の評価を行った。その結果を表１に示
す。
スリットした後、１３０℃、９０％ＲＨの圧力釜に３時
間入れ耐湿性能の評価を行った。その結果を表１に示
す。
【００５１】表１のごとく実施例１の本発明の金属蒸着
フィルムは、他が膜抵抗が測定できないまで蒸着金属が
消失（透明化）したにもかかわらず、約１４％の抵抗値
上昇にとどまっており良好な耐湿性能を示した。
フィルムは、他が膜抵抗が測定できないまで蒸着金属が
消失（透明化）したにもかかわらず、約１４％の抵抗値
上昇にとどまっており良好な耐湿性能を示した。
【００５２】次にこれらの蒸着フィルム２枚を重ねて巻
回、１２５℃、３０ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で５分間プレ
スし１．６μＦのコンデンサ素子を作成した。このコン
デンサ素子のプレス性を評価した。
回、１２５℃、３０ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で５分間プレ
スし１．６μＦのコンデンサ素子を作成した。このコン
デンサ素子のプレス性を評価した。
【００５３】プレス性評価の結果を表１に示す。表１の
ごとく本発明の金属蒸着フィルムは従来の蒸着フィルム
（比較例２）同様の良好なプレス性を示していることが
わかる。
ごとく本発明の金属蒸着フィルムは従来の蒸着フィルム
（比較例２）同様の良好なプレス性を示していることが
わかる。
【００５４】
【表１】 実施例２、比較例３、比較例４ 厚さ４μｍのポリフェニレンスルファイドフィルムにＡ
ｌを蒸着し、図１の金属蒸着フィルムを作成した。なお
マージン幅（スリット後）＝０．４ｍｍ、金属蒸着層の
抵抗値２Ω／□とした。
ｌを蒸着し、図１の金属蒸着フィルムを作成した。なお
マージン幅（スリット後）＝０．４ｍｍ、金属蒸着層の
抵抗値２Ω／□とした。
【００５５】実施例２では真空蒸着機内においてＡｌ蒸
着後、次いでＭＷ＝５２０、ＭＷ／ＭＮ＝１．０のフェ
ニル・メチル・ジメチル・ポリシロキサンオイル（東レ
・ダウコーニング・シリコーン（株）製 ＳＨ７０２）
を加熱し、Ａｌ蒸着膜の上に約７０オングストローム厚
さで蒸着し、さらに１３．５６ＭＨｚ、５００Ｗの条件
でＡｒとＯ2の混合ガス（４０：６０ｖ％）を用いてグ
ロー放電を行った後巻き取った。この金属蒸着フィルム
の表面をＸＰＳで観察したところ、２官能シロキサン結
合以外に３官能シロキサン結合、４官能シロキサン結合
が多量に観測された。また表面張力は５６ｄｙｎｅ／ｃ
ｍ以上であった。
着後、次いでＭＷ＝５２０、ＭＷ／ＭＮ＝１．０のフェ
ニル・メチル・ジメチル・ポリシロキサンオイル（東レ
・ダウコーニング・シリコーン（株）製 ＳＨ７０２）
を加熱し、Ａｌ蒸着膜の上に約７０オングストローム厚
さで蒸着し、さらに１３．５６ＭＨｚ、５００Ｗの条件
でＡｒとＯ2の混合ガス（４０：６０ｖ％）を用いてグ
ロー放電を行った後巻き取った。この金属蒸着フィルム
の表面をＸＰＳで観察したところ、２官能シロキサン結
合以外に３官能シロキサン結合、４官能シロキサン結合
が多量に観測された。また表面張力は５６ｄｙｎｅ／ｃ
ｍ以上であった。
【００５６】比較として、Ａｌ蒸着後、同様にフェニル
・メチル・ジメチル・ポリシロキサンオイルを蒸着した
金属蒸着フィルム（比較例３）と、従来のＡｌ蒸着のみ
の金属蒸着フィルム（比較例４）を実施例２と同一条件
で作成した。
・メチル・ジメチル・ポリシロキサンオイルを蒸着した
金属蒸着フィルム（比較例３）と、従来のＡｌ蒸着のみ
の金属蒸着フィルム（比較例４）を実施例２と同一条件
で作成した。
【００５７】これらの金属蒸着フィルムを４ｍｍ幅にス
リットし、各々２枚を重ね積層し、０．０１μＦのコン
デンサを作成した。なお、含浸剤としてはエポキシ樹脂
を用いた。
リットし、各々２枚を重ね積層し、０．０１μＦのコン
デンサを作成した。なお、含浸剤としてはエポキシ樹脂
を用いた。
【００５８】各々のコンデンサを８５℃、８５％ＲＨの
高温、湿度雰囲気下に置き、１００ＶＤＣの電圧をかけ
１０００時間後の容量変化（△Ｃ＝｛（Ｃ1000−Ｃ0）
／Ｃ0｝×１００（％））を調べた。この結果を表２に
示した。表２のごとく、実施例２にかかる本発明の金属
蒸着フィルムを用いたコンデンサは最も容量変化が少な
く、良好な耐湿性能を示すことがわかる。
高温、湿度雰囲気下に置き、１００ＶＤＣの電圧をかけ
１０００時間後の容量変化（△Ｃ＝｛（Ｃ1000−Ｃ0）
／Ｃ0｝×１００（％））を調べた。この結果を表２に
示した。表２のごとく、実施例２にかかる本発明の金属
蒸着フィルムを用いたコンデンサは最も容量変化が少な
く、良好な耐湿性能を示すことがわかる。
【００５９】
【表２】 実施例３、比較例５、比較例６ 厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムに
Ａｌを蒸着し、すぐにＺｎを蒸着して、Ａｌの平均含有
量＝８ｗｔ％、Ｃ1＝１６ｗｔ％、Ｃ2＝０．５ｗｔ％、
Ｃ3＝２５ｗｔ％のＡｌ−Ｚｎ合金蒸着フィルムを作成
した。なお、幅２ｍｍのマージン（スリット後）をシリ
コーンオイルにて形成した。金属蒸着層はヘビーエッジ
タイプで各々の膜抵抗値はヘビーエッジ部３Ω／□、高
膜抵抗部９Ω／□とした。
Ａｌを蒸着し、すぐにＺｎを蒸着して、Ａｌの平均含有
量＝８ｗｔ％、Ｃ1＝１６ｗｔ％、Ｃ2＝０．５ｗｔ％、
Ｃ3＝２５ｗｔ％のＡｌ−Ｚｎ合金蒸着フィルムを作成
した。なお、幅２ｍｍのマージン（スリット後）をシリ
コーンオイルにて形成した。金属蒸着層はヘビーエッジ
タイプで各々の膜抵抗値はヘビーエッジ部３Ω／□、高
膜抵抗部９Ω／□とした。
【００６０】実施例３では真空蒸着機内においてＡｌ蒸
着後、次いでジメチルポリシロキサンオイル（東レ・ダ
ウコーニング・シリコーン（株）製 ＳＨ２００ １０
ｃｓｔ）を蒸発器内の圧力が一定になるように加熱し、
Ａｌ−Ｚｎ蒸着膜の上に約１０オングストローム厚さで
蒸着し、次いでＡｒとＯ2の混合ガスを用いてマイクロ
波にてグロー放電を開始、持続させマイクロ波プラズマ
にて処理した。
着後、次いでジメチルポリシロキサンオイル（東レ・ダ
ウコーニング・シリコーン（株）製 ＳＨ２００ １０
ｃｓｔ）を蒸発器内の圧力が一定になるように加熱し、
Ａｌ−Ｚｎ蒸着膜の上に約１０オングストローム厚さで
蒸着し、次いでＡｒとＯ2の混合ガスを用いてマイクロ
波にてグロー放電を開始、持続させマイクロ波プラズマ
にて処理した。
【００６１】比較例５、６は各々Ａｌ−Ｚｎ蒸着後、同
様にジメチルポリシロキサンオイルを蒸着した金属蒸着
フィルム（比較例５）とＡｌ−Ｚｎ蒸着のみの金属蒸着
フィルム（比較例６）である。これらの金属蒸着フィル
ムを１４ｍｍ幅にスリットした。さらに、各々スリット
後の金属蒸着フィルムを１３０℃、９０％ＲＨの高温高
水蒸気圧中に３時間放置し、放置後の蒸着膜抵抗を測定
した結果を表３に示す。また各々の金属蒸着フィルムを
巻回し、１２０℃で２５ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力をかけ５
分間プレスし、コンデンサ素子を作成した。各々のコン
デンサ素子のプレス性を測定した結果を表３に示す。
様にジメチルポリシロキサンオイルを蒸着した金属蒸着
フィルム（比較例５）とＡｌ−Ｚｎ蒸着のみの金属蒸着
フィルム（比較例６）である。これらの金属蒸着フィル
ムを１４ｍｍ幅にスリットした。さらに、各々スリット
後の金属蒸着フィルムを１３０℃、９０％ＲＨの高温高
水蒸気圧中に３時間放置し、放置後の蒸着膜抵抗を測定
した結果を表３に示す。また各々の金属蒸着フィルムを
巻回し、１２０℃で２５ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力をかけ５
分間プレスし、コンデンサ素子を作成した。各々のコン
デンサ素子のプレス性を測定した結果を表３に示す。
【００６２】表３のごとく、実施例３の本発明の金属蒸
着フィルムは極めて優れた耐湿性能を有し、かつ比較例
６と同じ良好なプレス性を有していた。
着フィルムは極めて優れた耐湿性能を有し、かつ比較例
６と同じ良好なプレス性を有していた。
【００６３】
【表３】 実施例４、比較例７、比較例８ 厚さ６μｍのポリプロピレンフィルムの両面を真空蒸着
機中でＣＯ2ガスを用いたグロー放電によって表面処理
した後、次いで核付金属としてＣｕを蒸着、引き続きＺ
ｎを蒸着し、金属蒸着フィルムを作成した。なお、マー
ジン幅（スリット後）３ｍｍ、金属蒸着層はヘビーエッ
ジタイプで各々の膜抵抗値はヘビーエッジ部２Ω／□、
高膜抵抗部８Ω／□とした。
機中でＣＯ2ガスを用いたグロー放電によって表面処理
した後、次いで核付金属としてＣｕを蒸着、引き続きＺ
ｎを蒸着し、金属蒸着フィルムを作成した。なお、マー
ジン幅（スリット後）３ｍｍ、金属蒸着層はヘビーエッ
ジタイプで各々の膜抵抗値はヘビーエッジ部２Ω／□、
高膜抵抗部８Ω／□とした。
【００６４】実施例４では真空蒸着機内においてＺｎ蒸
着後ジメチルポリシロキサンオイル（東レ・ダウコーニ
ング・シリコーン（株）製 ＳＨ２００ １０ｃｓｔ）
を蒸発器内の圧力を制御しながら加熱し、Ｚｎ蒸着膜の
上に約５０オングストローム厚さで蒸着し、さらに１１
０ｋＨｚ、４００Ｗの条件でＡｒとＯ2の混合ガスを用
いてグロー放電処理した。
着後ジメチルポリシロキサンオイル（東レ・ダウコーニ
ング・シリコーン（株）製 ＳＨ２００ １０ｃｓｔ）
を蒸発器内の圧力を制御しながら加熱し、Ｚｎ蒸着膜の
上に約５０オングストローム厚さで蒸着し、さらに１１
０ｋＨｚ、４００Ｗの条件でＡｒとＯ2の混合ガスを用
いてグロー放電処理した。
【００６５】該金属蒸着フィルムの金属蒸着層側表面の
表面張力は５６ｄｙｎｅ／ｃｍ以上、反対のフィルム表
面の表面張力は４２ｄｙｎｅ／ｃｍであった。
表面張力は５６ｄｙｎｅ／ｃｍ以上、反対のフィルム表
面の表面張力は４２ｄｙｎｅ／ｃｍであった。
【００６６】これらの金属蒸着フィルムを５０ｍｍ幅に
スリットした後、１３０℃、９０％ＲＨの圧力釜に３時
間入れ耐湿性能の評価を行った。その結果を表４に示
す。
スリットした後、１３０℃、９０％ＲＨの圧力釜に３時
間入れ耐湿性能の評価を行った。その結果を表４に示
す。
【００６７】また、これらの金属蒸着フィルムどおしを
巻回して、９５℃で２５ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で５分間
プレスし、５μＦのコンデンサ素子を作成した。これら
のプレス特性を表４に示す。
巻回して、９５℃で２５ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で５分間
プレスし、５μＦのコンデンサ素子を作成した。これら
のプレス特性を表４に示す。
【００６８】これらのコンデンサ素子にメタリコン、熱
処理、リード付け、エポキシ樹脂を真空含浸後、ウレタ
ン樹脂をポッティングしてコンデンサを作成した。これ
らのコンデンサの絶縁破壊電圧、コロナ開始電圧を測定
したところ、実施例４の本発明のコンデンサは比較例に
比べていずれも２割高かった。
処理、リード付け、エポキシ樹脂を真空含浸後、ウレタ
ン樹脂をポッティングしてコンデンサを作成した。これ
らのコンデンサの絶縁破壊電圧、コロナ開始電圧を測定
したところ、実施例４の本発明のコンデンサは比較例に
比べていずれも２割高かった。
【００６９】また表４のごとく、実施例４の本発明の金
属蒸着フィルムは耐湿性能に優れ、さらにプレス性は従
来のＺｎ蒸着品と同等のものであった。
属蒸着フィルムは耐湿性能に優れ、さらにプレス性は従
来のＺｎ蒸着品と同等のものであった。
【００７０】
【表４】
【００７１】
【発明の効果】本発明は、金属蒸着フィルムの基材上の
少なくとも片面に金属蒸着層を有し、かつ該蒸着層上に
厚さ１オングストローム以上１０００オングストローム
以下の有機化合物層を有することによって、プレス成形
性、あるいは積層性を損うことなく、耐湿性を改善する
ものである。また本発明の付随効果として、Ａｌ蒸着フ
ィルムが季節によりＩＲ（絶縁抵抗）が低下する問題点
も改善するものである。
少なくとも片面に金属蒸着層を有し、かつ該蒸着層上に
厚さ１オングストローム以上１０００オングストローム
以下の有機化合物層を有することによって、プレス成形
性、あるいは積層性を損うことなく、耐湿性を改善する
ものである。また本発明の付随効果として、Ａｌ蒸着フ
ィルムが季節によりＩＲ（絶縁抵抗）が低下する問題点
も改善するものである。
【図１】本発明の金属蒸着層上に架橋した有機化合物を
有する金属蒸着フィルムの一例を示した概略断面図であ
る。
有する金属蒸着フィルムの一例を示した概略断面図であ
る。
【図２】本発明の蒸着フィルムのＡｌとＺｎの蒸着膜の
ＡｌとＺｎの組成量分布の一例を示した概略図である。
ＡｌとＺｎの組成量分布の一例を示した概略図である。
１：金属蒸着フィルム ２：高分子フィルム ３：金属蒸着層 ４：有機化合物層 ５：マージン部 ６：マージンオイル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｇ 4/24 ３３１Ａ
Claims (20)
- 【請求項１】基材上の少なくとも片面に金属蒸着層を有
し、かつ該金属蒸着層上に厚さ１オングストローム以上
１０００オングストローム未満の有機化合物層を有する
ことを特徴とする金属蒸着フィルム。 - 【請求項２】有機化合物層の厚さが、５オングストロー
ム以上５００オングストローム以下であることを特徴と
する請求項１記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項３】有機化合物層の厚さが、１０オングストロ
ーム以上１００オングストローム以下であることを特徴
とする請求項記載１の金属蒸着フィルム。 - 【請求項４】有機化合物層が、架橋した有機高分子層で
あることを特徴とする請求項１、２または３記載の金属
蒸着フィルム。 - 【請求項５】架橋した有機高分子層を構成する有機高分
子が、シリコーン樹脂であることを特徴とする請求項４
記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項６】シリコーン樹脂が、二官能シロキサン結合
と三官能シロキサン結合または／および四官能シロキサ
ン結合とを有するものであることを特徴とする請求項５
記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項７】架橋した有機高分子層が、ジメチルポリシ
ロキサン、あるいはメチルフェニルシリコーンオイルの
架橋物よりなることを特徴とする請求項４記載の金属蒸
着フィルム。 - 【請求項８】架橋した有機化合物層の表面の表面張力が
３８ｄｙｎｅ／ｃｍ以上であることを特徴とする請求項
４、５、６または７記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項９】基材が有機高分子フィルムからなることを
特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７または８
記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項１０】有機高分子フィルムの片面に金属層を有
し，かつ金属層を有する反対面の表面張力が３８ｄｙｎ
ｅ／ｃｍ以上であることを特徴とする請求項９記載の金
属蒸着フィルム。 - 【請求項１１】金属蒸着層の金属が、Ａｌ、Ｚｎ、Ｃ
ｕ、Ｓｎ、Ａｎ、Ａｇ、Ｆｅから選ばれた一種以上の金
属、あるいは該一種以上の金属の合金からなることを特
徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９ま
たは１０記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項１２】金属蒸着層がＡｌ、またはＡｌとＺｎの
合金からなることを特徴とする請求項１１記載の金属蒸
着フィルム。 - 【請求項１３】金属蒸着層がＡｌとＺｎの合金からな
り、かつ金属層表層のＡｌ濃度をＣ1 、基材との界面の
Ａｌ濃度をＣ3 、金属表層と基材との界面の金属蒸着層
の中間位置のＡｌ濃度をＣ2 、とした場合、金属蒸着層
中でＡｌの濃度が厚さ方向に実質的に連続的に変化し、
かつＣ1 ＞Ｃ2 、Ｃ3 ＞Ｃ2 の関係が成立するものであ
ることを特徴とする請求項１２記載の金属蒸着フィル
ム。 - 【請求項１４】基材表面の少なくとも片側にシリコーン
オイルによって形成された金属蒸着層のない部分（マー
ジン部）を有することを特徴とする請求項１、２、３、
４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２または１３
記載の金属蒸着フィルム。 - 【請求項１５】真空蒸着機内において基材上に金属を蒸
着し、次いで該金属蒸着層上に所定の厚さの有機化合物
または有機高分子を蒸着した後、該有機化合物または有
機高分子層をグロー放電にさらすことを特徴とする金属
蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項１６】グロー放電を維持するガスが酸素原子を
有するガスまたは酸素原子を有するガスを含む混合ガス
であることを特徴とする請求項１５記載の金属蒸着フィ
ルムの製造方法。 - 【請求項１７】基材として、少なくとも金属蒸着層を設
ける反対の面をコロナ放電処理に供した有機高分子フィ
ルムを用いることを特徴とする請求項１５または１６記
載の金属蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項１８】グロー放電処理が、真空蒸着機内で行な
われ、有機高分子フィルムの少なくとも片面に対して処
理されるものであることを特徴とする請求項１５または
１６記載の金属蒸着フィルムの製造方法。 - 【請求項１９】請求項１、２、３、４、５、６、７、
８、９、１０、１１、１２、１３または１４記載の金属
蒸着フィルムが、積層または巻回されてなることを特徴
とするコンデンサ。 - 【請求項２０】請求項１、２、３、４、５、６、７、
８、９、１０、１１、１２、１３または１４記載の金属
蒸着フィルムが、積層または巻回されてなり、かつ、含
浸剤として、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂またはシリコ
ーン樹脂が用いられてなることを特徴とするコンデン
サ。
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|---|---|---|---|
| JP29250396A JP3769842B2 (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | 金属蒸着フィルム、その製造方法、およびそれを用いたコンデンサ |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JPH10128908A true JPH10128908A (ja) | 1998-05-19 |
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| JP29250396A Expired - Lifetime JP3769842B2 (ja) | 1996-11-05 | 1996-11-05 | 金属蒸着フィルム、その製造方法、およびそれを用いたコンデンサ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-11-05 JP JP29250396A patent/JP3769842B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP3769842B2 (ja) | 2006-04-26 |
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