JPH10117116A - Method for sealing vibrator or resonator - Google Patents
Method for sealing vibrator or resonatorInfo
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- JPH10117116A JPH10117116A JP28615396A JP28615396A JPH10117116A JP H10117116 A JPH10117116 A JP H10117116A JP 28615396 A JP28615396 A JP 28615396A JP 28615396 A JP28615396 A JP 28615396A JP H10117116 A JPH10117116 A JP H10117116A
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- JP
- Japan
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- resin
- liquid crystal
- internal element
- sealing
- lead terminal
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- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば水晶振動
子、セラミック発信子などの圧電振動子のように、内部
素子と封止樹脂との間に振動空間を確保するための空隙
を有する電子部品の封止方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component having a gap for securing a vibration space between an internal element and a sealing resin, such as a piezoelectric vibrator such as a quartz oscillator or a ceramic oscillator. The sealing method.
【0002】[0002]
【従来の技術】振動子や共振子は、フィルターや、周波
数または時間の副標準として多様な電子電気機器に広く
使用されており、信頼性、生産効率の向上および低価格
化が望まれている。振動子および共振子は、セラミック
や水晶などの基板(内部素子)の上に電極を配し、電気
信号を印加した際に特定の周波数の電気信号を発信しま
たは通過させるように構成されている。このような振動
子および共振子においては、機械的および熱的衝撃、外
部雰囲気による腐食などの外的影響から内部素子を保護
することが必要である。さらに、内部素子は機械的に振
動して本来の機能を発揮するので、振動を抑圧しないよ
うな空間が必要である。2. Description of the Related Art Resonators and resonators are widely used in filters and various electronic and electrical devices as sub-standards of frequency or time, and there is a demand for improvement in reliability, production efficiency, and cost reduction. . The vibrator and the resonator are configured such that electrodes are arranged on a substrate (internal element) such as ceramic or quartz, and an electric signal of a specific frequency is transmitted or passed when an electric signal is applied. . In such resonators and resonators, it is necessary to protect the internal elements from external influences such as mechanical and thermal shocks and corrosion due to an external atmosphere. Further, since the internal element mechanically vibrates to exhibit its original function, a space that does not suppress the vibration is required.
【0003】これらの必要性から、振動子および共振子
の製造においては、内部素子に電極を設け、別途に支持
部を作製し、中空カバー(パッケージ)に封入するかま
たは内部空間を確保するための処置を施した後に樹脂封
止を行っている。パッケージを利用する方法としては、
例えば、特開平6−132759号公報に、内部素子を
パッケージで覆った後、樹脂により封止する方法が開示
されている。しかしながら、この方法はパッケージを用
いるため内部空間を確保するにはきわめて有効である
が、反面、小型化を図りかつ十分な実装面積を確保する
ことが困難であり、またパッケージ自体のコスト低減に
は限界があるため、低価格化の要望に応えることも困難
である。また、樹脂封止による方法としては、ワックス
などを内部素子に塗布した後に樹脂封止を行い、封止成
形後にワックスを除去して中空部を確保する方法があ
る。しかしこの方法では、リード端子と封止樹脂との間
に水分やガス等が侵入する間隙が生じないようにするた
めに接着性樹脂を用いるが、これに使用する樹脂は金属
に対して接着性を有するエポキシ樹脂などの熱硬化性樹
脂に限定されるため、高速サイクルの成形により低価格
化を図ることが困難である。ここで熱可塑性樹脂を用い
れば、高速サイクルの成形は可能であるが、金属に対し
て接着性がないので、固化時の樹脂の収縮によりリード
端子と封止樹脂との間に水分やガス等が侵入する間隙が
生じ、二次加工によりリード端子の露出境界部を封止し
なければならないため、結果として低価格化は困難であ
る。[0003] In view of these necessities, in the production of a vibrator and a resonator, it is necessary to provide an electrode for an internal element, separately prepare a support portion, enclose it in a hollow cover (package), or secure an internal space. The resin sealing is performed after the above-mentioned treatment is performed. As a way to use the package,
For example, JP-A-6-132759 discloses a method in which an internal element is covered with a package and then sealed with a resin. However, this method is very effective in securing internal space because of the use of a package, but on the other hand, it is difficult to reduce the size and secure a sufficient mounting area, and to reduce the cost of the package itself. Due to limitations, it is also difficult to meet the demand for lower prices. In addition, as a method using resin sealing, there is a method in which wax or the like is applied to an internal element and then resin sealing is performed, and after sealing molding, the wax is removed to secure a hollow portion. However, in this method, an adhesive resin is used in order to prevent a gap between the lead terminal and the sealing resin from invading moisture or gas, and the resin used for this purpose has an adhesive property to metal. Since it is limited to a thermosetting resin such as an epoxy resin having the following properties, it is difficult to reduce the cost by high-speed cycle molding. If a thermoplastic resin is used here, high-speed cycle molding is possible, but since there is no adhesiveness to metal, moisture and gas, etc., between the lead terminals and the sealing resin due to shrinkage of the resin during solidification. As a result, there is a gap into which the lead terminals enter, and the exposed boundary portion of the lead terminal must be sealed by secondary processing. As a result, it is difficult to reduce the cost.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の課題
を解決しようとするものである。すなわち、内部素子を
直接熱可塑性樹脂により被覆し、しかも二次加工を行う
ことなく信頼性の高い製品を得る方法を開発して、生産
効率が高く、かつ小型化および低価格化が可能な振動子
または共振子の封止方法を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is to solve the above-mentioned problems. In other words, we developed a method to cover the internal element directly with a thermoplastic resin and obtain a highly reliable product without performing secondary processing. It is an object of the present invention to provide a method of sealing a resonator or a resonator.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、熱可塑性樹脂を用いる封止成形におい
て、リード端子の任意の位置にホットメルト型接着剤を
塗布した後に樹脂封止を行うことを特徴とするものであ
る。すなわち、本発明は、内部素子、一端が前記内部素
子に接続されたリード端子、および前記内部素子をその
リード端子との接続部と共に被覆する封止樹脂からなる
振動子または共振子の製造において、(1)封止樹脂と
して熱可塑性樹脂を用いることにより、樹脂の固化時の
収縮を利用して内部素子と封止樹脂との間に空隙を形成
し、かつ(2)リード端子の任意の位置にあらかじめホ
ットメルト型接着剤を塗布し、封止樹脂の熱により接着
剤を溶融させることにより、リード端子と封止樹脂との
間に接着部を形成することを特徴とする振動子または共
振子の封止方法に関するものである。さらに、本発明
は、前記熱可塑性樹脂がサーモトロピック液晶樹脂であ
ることを特徴とする振動子または共振子の封止方法に関
する。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a method of sealing a resin by applying a hot melt type adhesive to an arbitrary position of a lead terminal in a sealing molding using a thermoplastic resin. Is performed. That is, the present invention provides an internal element, a lead terminal having one end connected to the internal element, and a resonator or resonator made of a sealing resin that covers the internal element together with a connection portion with the lead terminal. (1) By using a thermoplastic resin as the sealing resin, a gap is formed between the internal element and the sealing resin by utilizing shrinkage during solidification of the resin, and (2) an arbitrary position of the lead terminal A vibrator or a resonator characterized in that a hot-melt type adhesive is applied in advance to the lead terminal and the adhesive is melted by the heat of the sealing resin to form an adhesive portion between the lead terminal and the sealing resin. The sealing method. Further, the present invention relates to a method of sealing a vibrator or a resonator, wherein the thermoplastic resin is a thermotropic liquid crystal resin.
【0006】以下、本発明をさらに説明する。通常、熱
可塑性樹脂は、溶融して冷却固化する過程において、程
度の差はあるが一定の体積収縮を示す。従って、本発明
に用いる熱可塑性樹脂は特に限定されず、射出成形が可
能ならばいずれの樹脂も使用することができる。好まし
くは、強度、耐熱性、耐薬品性等の観点から、ナイロン
−6、−66、−46、ポリフタルアミド等のポリアミ
ド系樹脂;ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレン
テレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリシク
ロヘキシレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂;
ポリカーボネート系樹脂;ポリフェニレンオキサイド系
樹脂;ポリフェニレンサルファイド系樹脂;ポリケトン
系樹脂;ポリサルフォン系樹脂およびサーモトロピック
液晶ポリエステル樹脂等が例示される。半導体素子のパ
ッケージ等に使用するときは、耐熱性、成形性等に優れ
たポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、フェニレン
サルファイド系樹脂、サーモトロピック液晶樹脂等が特
に好ましい。Hereinafter, the present invention will be further described. Usually, the thermoplastic resin shows a certain degree of volume shrinkage in the process of melting and cooling and solidifying, though the degree varies. Therefore, the thermoplastic resin used in the present invention is not particularly limited, and any resin can be used as long as injection molding is possible. Preferably, polyamide-based resins such as nylon-6, -66, -46 and polyphthalamide; polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polycyclohexylene terephthalate from the viewpoint of strength, heat resistance, chemical resistance and the like. Polyester resin such as;
Polycarbonate resins; polyphenylene oxide resins; polyphenylene sulfide resins; polyketone resins; polysulfone resins and thermotropic liquid crystal polyester resins. When used for a package of a semiconductor element or the like, a polyamide resin, a polyester resin, a phenylene sulfide resin, a thermotropic liquid crystal resin, etc., which are excellent in heat resistance and moldability, are particularly preferable.
【0007】これらの中でも、サーモトロピック液晶樹
脂、例えばサーモトロピック液晶ポリエステル樹脂等
は、収縮率が異方性を示し、成形時の樹脂の流れと垂直
な方向の収縮率が大きいため最も好ましいものである。
本発明でいうサーモトロピック液晶樹脂とは、溶融時に
光学的異方性を示し、かつ熱可塑性を有するポリマーで
ある。このように溶融時に光学的異方性を示すポリマー
は、溶融状態でポリマー分子鎖が規則的な平行配列をと
る性質を示す。光学的異方性溶融相の性質は、直交偏光
子を利用した通常の偏光検査法によって確認することが
できる。上記液晶樹脂としては、例えば、液晶性ポリエ
ステル、液晶性ポリカーボネート、液晶性ポリエステル
イミド等、具体的には、(全)芳香族ポリエステル、ポ
リエステルアミド、ポリアミドイミド、ポリエステルカ
ーボネート、ポリアゾメチン等が挙げられる。サーモト
ロピック液晶樹脂は、一般的に細長く、偏平な分子構造
からなり、分子の長鎖に沿って剛性が高い。本発明にお
いて用いるサーモトロピック液晶樹脂には、一つの高分
子鎖の一部が異方性溶融相を形成するポリマーのセグメ
ントから構成されるポリマーも含まれる。また、複数の
サーモトロピック液晶樹脂を複合したものも含まれる。Among these, thermotropic liquid crystal resins, for example, thermotropic liquid crystal polyester resins, are the most preferable because they exhibit anisotropic shrinkage and a large shrinkage in the direction perpendicular to the flow of the resin during molding. is there.
The thermotropic liquid crystal resin referred to in the present invention is a polymer that exhibits optical anisotropy when melted and has thermoplasticity. As described above, a polymer that exhibits optical anisotropy at the time of melting exhibits a property that the polymer molecular chains take a regular parallel arrangement in a molten state. The properties of the optically anisotropic molten phase can be confirmed by a normal polarization inspection method using a crossed polarizer. Examples of the liquid crystal resin include liquid crystalline polyester, liquid crystalline polycarbonate, liquid crystalline polyesterimide and the like, and specifically, (whole) aromatic polyester, polyesteramide, polyamideimide, polyestercarbonate, polyazomethine and the like. A thermotropic liquid crystal resin generally has an elongated and flat molecular structure, and has high rigidity along a long chain of the molecule. The thermotropic liquid crystal resin used in the present invention also includes a polymer in which a part of one polymer chain is composed of a polymer segment forming an anisotropic molten phase. Further, a composite of a plurality of thermotropic liquid crystal resins is also included.
【0008】サーモトロピック液晶樹脂を構成するモノ
マーの代表例としては (A)芳香族ジカルボン酸の少なくとも一種、(B)芳
香族ヒドロキシカルボン酸系化合物の少なくとも1種、
(C)芳香族ジオール系化合物の少なくとも1種、
(D)(D1)芳香族ジチオール、(D2)芳香族チオフ
ェノールおよび(D3)芳香族チオールカルボン酸化合
物の少なくとも1種、(E)芳香族ヒドロキシルアミン
および芳香族ジアミン系化合物の少なくとも1種等の芳
香族化合物が挙げられる。これらは単独で用いられる場
合もあるが、多くは(A)と(C);(A)と(D);
(A)、(B)と(C);(A)、(B)と(E);あ
るいは(A)、(B)、(C)と(E)等のように組み
合わせて構成される。[0008] Representative examples of the monomer constituting the thermotropic liquid crystal resin include (A) at least one kind of aromatic dicarboxylic acid, (B) at least one kind of aromatic hydroxycarboxylic acid compound,
(C) at least one aromatic diol compound;
(D) at least one of (D 1 ) aromatic dithiol, (D 2 ) aromatic thiophenol and (D 3 ) aromatic thiol carboxylic acid compound, and (E) at least one of aromatic hydroxylamine and aromatic diamine compound. One or more aromatic compounds may be mentioned. These may be used alone, but in many cases (A) and (C); (A) and (D);
(A), (B) and (C); (A), (B) and (E); or (A), (B), (C) and (E), and the like.
【0009】上記(A)芳香族ジカルボン酸系化合物と
しては、テレフタル酸、4,4'−ビフェニルジカルボン
酸、4,4'−テルフェニルジカルボン酸、2,6−ナフ
タレンジカルボン酸、1,4−ナフタレンジカルボン
酸、2,7−ナフタレンジカルボン酸、ジフェニルエー
テル−4,4'−ジカルボン酸、ジフェノキシエタン−
4,4'−ジカルボン酸、ジフェノキシブタン−4,4'−
ジカルボン酸、ジフェニルエタン−4,4'−ジカルボン
酸、イソフタル酸、ジフェニルエーテル−3,3'−ジカ
ルボン酸、ジフェノキシエタン−3,3'−ジカルボン
酸、ジフェニルエタン−3,3'−ジカルボン酸、1,6
−ナフタレンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸、ま
たはクロロテレフタル酸、ジクロロテレフタル酸、ブロ
モテレフタル酸、メチルテレフタル酸、ジメチルテレフ
タル酸、エチルテレフタル酸、メトキシテレフタル酸、
エトキシテレフタル酸などで代表される上記芳香族族カ
ルボン酸のアルキル、アルコキシまたはハロゲン置換体
が挙げられる。The aromatic dicarboxylic acid compound (A) includes terephthalic acid, 4,4'-biphenyldicarboxylic acid, 4,4'-terphenyldicarboxylic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, and 1,4- Naphthalenedicarboxylic acid, 2,7-naphthalenedicarboxylic acid, diphenyl ether-4,4'-dicarboxylic acid, diphenoxyethane-
4,4'-dicarboxylic acid, diphenoxybutane-4,4'-
Dicarboxylic acid, diphenylethane-4,4'-dicarboxylic acid, isophthalic acid, diphenylether-3,3'-dicarboxylic acid, diphenoxyethane-3,3'-dicarboxylic acid, diphenylethane-3,3'-dicarboxylic acid, 1,6
Aromatic dicarboxylic acids such as naphthalenedicarboxylic acid, or chloroterephthalic acid, dichloroterephthalic acid, bromoterephthalic acid, methylterephthalic acid, dimethylterephthalic acid, ethylterephthalic acid, methoxyterephthalic acid,
Alkyl, alkoxy or halogen substituents of the above aromatic carboxylic acids represented by ethoxy terephthalic acid and the like.
【0010】(B)芳香族ヒドロキシカルボン酸系化合
物としては、4−ヒドロキシ安息香酸、3−ヒドロキシ
安息香酸、6−ヒドロキシ−2−ナフトエ酸、6−ヒド
ロキシ−1−ナフトエ酸などの芳香族ヒドロキシカルボ
ン酸、または3−メチル−4−ヒドロキシ安息香酸、
3,5−ジメチル−4−ヒドロキシ安息香酸、2,6−ジ
メチル−4−ヒドロキシ安息香酸、3−メトキシ−4−
ヒドロキシ安息香酸、3,5−ジメトキシ−4−ヒドロ
キシ安息香酸、6−ヒドロキシ−5−メチル−2−ナフ
トエ酸、6−ヒドロキシ−5−メトキシ−2−ナフトエ
酸、2−クロロ−4−ヒドロキシ安息香酸、3−クロロ
−4−ヒドロキシ安息香酸、2,3−ジクロロ−4−ヒ
ドロキシ安息香酸、3,5−ジクロロ−4−ヒドロキシ
安息香酸、2,5−ジクロロ−4−ヒドロキシ安息香
酸、3−ブロモ−4−ヒドロキシ安息香酸、6−ヒドロ
キシ−5−クロロ−2−ナフトエ酸、6−ヒドロキシ−
7−クロロ−2−ナフトエ酸、6−ヒドロキシ−5,7
−ジクロロ−2−ナフトエ酸などの芳香族ヒドロキシカ
ルボン酸のアルキル、アルコキシまたはハロゲン置換体
が挙げられる。(B) The aromatic hydroxycarboxylic acid compounds include aromatic hydroxycarboxylic acids such as 4-hydroxybenzoic acid, 3-hydroxybenzoic acid, 6-hydroxy-2-naphthoic acid and 6-hydroxy-1-naphthoic acid. Carboxylic acids, or 3-methyl-4-hydroxybenzoic acid,
3,5-dimethyl-4-hydroxybenzoic acid, 2,6-dimethyl-4-hydroxybenzoic acid, 3-methoxy-4-
Hydroxybenzoic acid, 3,5-dimethoxy-4-hydroxybenzoic acid, 6-hydroxy-5-methyl-2-naphthoic acid, 6-hydroxy-5-methoxy-2-naphthoic acid, 2-chloro-4-hydroxybenzoic acid Acid, 3-chloro-4-hydroxybenzoic acid, 2,3-dichloro-4-hydroxybenzoic acid, 3,5-dichloro-4-hydroxybenzoic acid, 2,5-dichloro-4-hydroxybenzoic acid, 3- Bromo-4-hydroxybenzoic acid, 6-hydroxy-5-chloro-2-naphthoic acid, 6-hydroxy-
7-chloro-2-naphthoic acid, 6-hydroxy-5,7
Alkyl-, alkoxy-, or halogen-substituted aromatic hydroxycarboxylic acids such as -dichloro-2-naphthoic acid.
【0011】(C)芳香族ジオールとして、4,4'−ジ
ヒドロキシビフェニル、3,3'−ジヒドロキシビフェニ
ル、4,4'−ジヒドロキシテルフェニル、ハイドロキノ
ン、レゾルシン、2,6−ナフタレンジオール、4,4'
−ジヒドロキシジフェニルエーテル、ビス(4−ヒドロ
キシフェノキシ)エタン、3,3'−ジヒドロキシジフェ
ニルエーテル、1,6−ナフタレンジオール、2,2'−
ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン、ビス(4−ヒ
ドロキシフェニル)メタン等の芳香族ジオール、または
クロロハイドロキノン、メチルハイドロキノン、tert−
ブチルハイドロキノン、フェニルハイドロキノン、メト
キシハイドロキノン、フェノキシハイドロキノン、4−
クロロレゾルシン、4−メチルレゾルシン等の芳香族ジ
オールのアルキル、アルコキシまたはハロゲン置換体が
挙げられる。(C) As aromatic diols, 4,4'-dihydroxybiphenyl, 3,3'-dihydroxybiphenyl, 4,4'-dihydroxyterphenyl, hydroquinone, resorcinol, 2,6-naphthalenediol, 4,4 '
-Dihydroxydiphenyl ether, bis (4-hydroxyphenoxy) ethane, 3,3'-dihydroxydiphenyl ether, 1,6-naphthalenediol, 2,2'-
Bis (4-hydroxyphenyl) propane, aromatic diol such as bis (4-hydroxyphenyl) methane, or chlorohydroquinone, methylhydroquinone, tert-
Butylhydroquinone, phenylhydroquinone, methoxyhydroquinone, phenoxyhydroquinone, 4-
Alkyl, alkoxy or halogen-substituted aromatic diols such as chlororesorcin and 4-methylresorcin.
【0012】(D1)芳香族ジチオールとしては、ベン
ゼン−1,4−ジチオール、ベンゼン−1,3−ジチオー
ル、2,6−ナフタレン−ジチオール、2,7−ナフタレ
ン−ジチオール等が挙げられる。 (D2)芳香族チオフェノールとしては、4−メルトカ
プトフェノール、3−メルトカプトフェノール、6−メ
ルカプトフェノール等が挙げられる。 (D3)芳香族チオールカルボン酸としては、4−メル
カプト安息香酸、3−メルカプト安息香酸、6−メルカ
プト−2−ナフトエ酸、7−メルカプト−2−ナフトエ
酸などが挙げられる。Examples of (D 1 ) aromatic dithiol include benzene-1,4-dithiol, benzene-1,3-dithiol, 2,6-naphthalene-dithiol, and 2,7-naphthalene-dithiol. (D 2 ) Examples of the aromatic thiophenol include 4-mercaptophenol, 3-mercaptophenol, and 6-mercaptophenol. (D 3 ) Examples of the aromatic thiol carboxylic acid include 4-mercaptobenzoic acid, 3-mercaptobenzoic acid, 6-mercapto-2-naphthoic acid, and 7-mercapto-2-naphthoic acid.
【0013】(E)芳香族ヒドロキシルアミンまたは芳
香族ジアミン系化合物としては、4−アミノフェノー
ル、N−メチル−4−アミノフェノール、1,4−フェ
ニレンジアミン、N−メチル−1,4−フェニレンジア
ミン、N,N'−ジメチル−1,4−フェニレンジアミ
ン、3−アミノフェノール、3−メチル−4−アミノフ
ェノール、2−クロロ−4−アミノフェノール、4−ア
ミノ−1−ナフトール、4−アミノ−4'−ヒドロキシ
ビフェニル、4−アミノ−4'−ヒドロキシジフェニル
エーテル、4−アミノ−4'−ヒドロキシジフェニルメ
タン、4−アミノ−4'−ヒドロキシジフェニルスルフ
ィド、4,4'−ジアミノジフェニルスルフィド(チオジ
アニリン)、4,4'−ジアミノジフェニルスルホン、
2,5−ジアミノトルエン、4,4'−エチレンジアニリ
ン、4,4'−ジアミノジフェノキシエタン、4,4'−ジ
アミノジフェニルメタン(メチレンジアニリン)、4,
4'−ジアミノジフェニルエーテル(オキシジアニリ
ン)等が挙げられる。(E) As the aromatic hydroxylamine or aromatic diamine compound, 4-aminophenol, N-methyl-4-aminophenol, 1,4-phenylenediamine, N-methyl-1,4-phenylenediamine , N, N'-dimethyl-1,4-phenylenediamine, 3-aminophenol, 3-methyl-4-aminophenol, 2-chloro-4-aminophenol, 4-amino-1-naphthol, 4-amino- 4'-hydroxybiphenyl, 4-amino-4'-hydroxydiphenyl ether, 4-amino-4'-hydroxydiphenylmethane, 4-amino-4'-hydroxydiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide (thiodianiline), , 4'-diaminodiphenyl sulfone,
2,5-diaminotoluene, 4,4′-ethylenedianiline, 4,4′-diaminodiphenoxyethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane (methylenedianiline),
4'-diaminodiphenyl ether (oxydianiline) and the like.
【0014】サーモトロピック液晶樹脂は、単独で用い
てもよいが、好ましくは無機または有機充填剤を含むも
のを用いる。通常、無機または有機充填剤の配合量は、
サーモトロピック液晶樹脂と充填剤の合計に対して0〜
90重量%、好ましくは10〜80重量%、より好まし
くは20〜60重量%の範囲である。充填剤の配合は、
従来公知の方法に従って行うことができる。無機または
有機充填剤のうち、特に無機充填剤が重要であって、サ
ーモトロピック液晶樹脂の加工性や成形品の物性などを
改良するためにしばしば用いられる。無機充填剤として
は、従来公知の二硫化モリブテン、タルク、マイカ、ク
レー、セリサイト、炭酸カルシウム、珪酸カルシウム、
シリカ、アルミナ、水酸化アルミニウム、黒鉛、非晶質
炭素、チタン酸カリウム、ガラス繊維、炭酸繊維、各種
ウィスカー等が挙げられる。The thermotropic liquid crystal resin may be used alone, but preferably contains an inorganic or organic filler. Usually, the amount of the inorganic or organic filler is
0 to the total amount of thermotropic liquid crystal resin and filler
It is in the range of 90% by weight, preferably 10-80% by weight, more preferably 20-60% by weight. The composition of the filler
It can be performed according to a conventionally known method. Of the inorganic or organic fillers, inorganic fillers are particularly important, and are often used to improve the processability of the thermotropic liquid crystal resin and the properties of molded articles. As the inorganic filler, conventionally known molybdenum disulfide, talc, mica, clay, sericite, calcium carbonate, calcium silicate,
Examples include silica, alumina, aluminum hydroxide, graphite, amorphous carbon, potassium titanate, glass fiber, carbonated fiber, and various whiskers.
【0015】本発明においては、実用上の物性を改良す
るために、サーモトロピック液晶樹脂に無機または有機
充填剤の他に各種の添加剤をポリマーに配合することが
できる。このような添加剤としては、従来公知の安定
剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、顔料、染料、改質剤な
どが挙げられる。In the present invention, in order to improve physical properties in practical use, various additives can be added to the polymer in addition to the inorganic or organic filler to the thermotropic liquid crystal resin. Examples of such additives include conventionally known stabilizers, antioxidants, ultraviolet absorbers, pigments, dyes, and modifiers.
【0016】なお本発明の効果を奏する限りにおいて、
サーモトロピック液晶樹脂に他の熱可塑性樹脂、例えば
ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデ
ン、PA−6、PA−66、PA−46等の脂肪族ポリ
アミド、ポリフタル酸アミド、PET、PBT等のポリ
エステル、ポリアリレート(PAR)、ポリケトン(P
EK)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポ
リエーテルサルフォン(PES)、ポリイミド(P
I)、ポリアミドイミド(PAI)、ポリエーテルイミ
ド(PEI)、ポリフェニレンサルファイド(PP
S)、ポリサルフォン(PSF)等のほか、さらに天然
ゴム、合成ゴム等のエラストマー等を配合することがで
きる。これらの樹脂類は本発明において必須の成分では
ないが、目的に応じて、その種類および量を適宜選択す
ることができる。As long as the effects of the present invention are exhibited,
Thermotropic liquid crystal resin to other thermoplastic resins, for example, polyolefin, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, PA-6, PA-66, PA-46 and other aliphatic polyamides, polyphthalamide, PET, PBT and other polyesters, Polyarylate (PAR), Polyketone (P
EK), polyetheretherketone (PEEK), polyethersulfone (PES), polyimide (P
I), polyamide imide (PAI), polyether imide (PEI), polyphenylene sulfide (PP
In addition to S), polysulfone (PSF) and the like, elastomers such as natural rubber and synthetic rubber can be further compounded. These resins are not essential components in the present invention, but the types and amounts thereof can be appropriately selected according to the purpose.
【0017】本発明に用いるホットメルト型接着剤と
は、水や溶剤を実質的に含まず、室温で固体の不揮発性
の熱可塑性材料からなる接着性樹脂である。一般にベー
スポリマー、粘着付与剤樹脂、ワックス、酸化防止剤等
の添加剤などからなり、ベースポリマーの種類により分
類されることが多い。本発明で用いるものは、リード端
子と射出成形される熱可塑性樹脂とを接着し得るもので
あれば、特に限定されない。例えば、ポリエチレン系、
エチレン−酢酸ビニル共重合樹脂系、エチレン−エチル
アクリレート共重合樹脂系、エチレン−イソブチルアク
リレート共重合樹脂系、ポリアミド系、ポリエステル
系、ブチラール系、ポリ酢酸ビニル共重合体系、セルロ
ース誘導体系、ポリメチルメタクリレート系、ポリビニ
ルエーテル系、ポリウレタン系、ポリカーボネート系等
の樹脂またはこれらの混合物をベースポリマーとするホ
ットメルト型接着剤から適宜選択される。特に耐熱性が
要求される場合には、ポリアミド系、ポリエステル系、
ポリウレタン系、ポリカーボネート系の樹脂またはこれ
らの混合物をベースポリマーとするホットメルト型接着
剤等が好ましい。The hot-melt adhesive used in the present invention is an adhesive resin made of a non-volatile thermoplastic material which does not substantially contain water or a solvent and is solid at room temperature. Generally, it is composed of a base polymer, a tackifier resin, a wax, an additive such as an antioxidant, and the like, and is often classified according to the type of the base polymer. The material used in the present invention is not particularly limited as long as it can bond the lead terminal and the thermoplastic resin to be injection-molded. For example, polyethylene,
Ethylene-vinyl acetate copolymer resin, ethylene-ethyl acrylate copolymer resin, ethylene-isobutyl acrylate copolymer resin, polyamide, polyester, butyral, polyvinyl acetate copolymer, cellulose derivative, polymethyl methacrylate And a hot-melt adhesive having a base polymer of a resin of a polyether type, a polyvinyl ether type, a polyurethane type, a polycarbonate type or the like, or a mixture thereof. Particularly when heat resistance is required, polyamide-based, polyester-based,
A hot-melt adhesive using a polyurethane-based or polycarbonate-based resin or a mixture thereof as a base polymer is preferable.
【0018】塗布するホットメルト型接着剤は、皮膜
状、糸状、棒状、点状等の任意の形状とすることができ
る。従って、塗布の方法としては、溶剤を用いて行うこ
とも可能であるが、ホットメルト型接着剤であるため溶
融して行うことが好ましい。具体的には、通常のホット
メルトコーター(ロールコーター、エクストルージョン
コーター、スロットオリフィスコーター、カーテンコー
ター等)、ホットメルトアプリケーター等のホットメル
ト型接着剤用塗布装置を使用するか、または溶融したホ
ットメルト型接着剤中へのディッピング等が挙げられ
る。The hot-melt type adhesive to be applied can be in any shape such as a film, a thread, a bar, and a dot. Therefore, as a method of application, it is also possible to use a solvent, but it is preferable to apply it by melting it because it is a hot melt adhesive. Specifically, a normal hot melt coater (a roll coater, an extrusion coater, a slot orifice coater, a curtain coater, etc.), a hot melt type applicator such as a hot melt applicator, or a hot melt melted adhesive is used. And dipping in a mold adhesive.
【0019】本発明でいう振動子または共振子とは、内
部素子が示す圧電効果等による機械的振動またはそれに
より発生する表面弾性波等を利用する電子部品全般を包
含するものであり、具体的には振動子や共振子のほか、
セラミックフィルタ、トラップ素子、ディスクリミネー
タ等が例示される。内部素子は、これらの電子部品の振
動を発生する中心部材であるため、その振動を抑圧しな
いように内部素子の周囲に振動空間を確保することが必
要である。また振動電極には通常2本のリード線または
本発明でいうリード端子が接続されている。封止成形に
おいては、上記内部素子全体が熱可塑性樹脂により覆わ
れるため、リード線は、外部機器との接続のために、封
止樹脂の表面のいずれかの部分において外部へ露出す
る。前記のように、熱可塑性樹脂は、溶融後固化したと
きに通常一定の体積収縮を示すが、それにより内部素子
の周囲に振動空間が確保されると同時に、外部に露出し
たリード線と樹脂との境界部においては間隙が生じ易
い。この間隙を通って水分などが外部から侵入する場合
があるため、ホットメルト型接着剤は、水分などが侵入
する間隙を生じ易い箇所に塗布して接着部を形成するこ
とが必要である。ホットメルト型接着剤は、リード端子
のいずれの位置に塗布してもよいが、通常はリード端子
の内部素子に近接した部分に塗布する。The vibrator or the resonator referred to in the present invention includes all electronic parts utilizing mechanical vibration due to a piezoelectric effect or the like exhibited by an internal element or surface acoustic waves generated thereby. In addition to oscillators and resonators,
Examples include a ceramic filter, a trap element, and a discriminator. Since the internal element is a central member that generates vibration of these electronic components, it is necessary to secure a vibration space around the internal element so as not to suppress the vibration. In addition, two lead wires or lead terminals according to the present invention are usually connected to the vibration electrode. In the encapsulation molding, since the entire internal element is covered with a thermoplastic resin, the lead wire is exposed to the outside at any part of the surface of the encapsulation resin for connection with an external device. As described above, the thermoplastic resin usually shows a constant volume shrinkage when solidified after being melted.However, a vibration space is secured around the internal element, and at the same time, the lead wire and the resin exposed to the outside are removed. A gap is likely to be formed at the boundary of. Since moisture or the like may intrude from the outside through the gap, it is necessary to apply a hot-melt type adhesive to a portion where a gap into which moisture or the like easily enters is likely to form an adhesive portion. The hot melt type adhesive may be applied to any position of the lead terminal, but is usually applied to a portion of the lead terminal close to the internal element.
【0020】本発明で用いる封止成形においては、まず
前記の方法によりリード端子の任意の位置にホットメル
ト型接着剤を塗布した後、これを金型内に設置し、金型
内へ加熱溶融した熱可塑性樹脂を射出することによりイ
ンサート成型体を得る。上記射出成形は、インサート成
形のための常法に従って行うことができる。成形機とし
ては通常の射出成形機が使用される。成形温度(射出成
形機の加熱筒の温度)は、射出すべき熱可塑性樹脂を溶
融させ、かつホットメルト型接着剤を溶融させるに十分
な温度であることが好ましい。この観点から熱可塑性合
成樹脂とホットメルト型接着剤の組み合わせが決定され
る。その目安としては、熱可塑性樹脂の成形温度をホッ
トメルト型接着剤の溶融温度より30℃以上、好ましく
は70℃以上、さらに好ましくは100℃以上高くする
が、最高200℃以下とする。例えば、サーモトロピッ
ク液晶樹脂の射出成形条件は、樹脂温度200〜420
℃、金型温度60〜170℃、より好ましくは60〜1
30℃、射出圧力100〜3,000kg/cm2、射出速度
5〜1,000mm/secの範囲から適宜に選択することが
できる。射出成形によるインサート成形の際、加熱溶融
した熱可塑性樹脂が有する熱によりホットメルト型接着
剤を溶融し、それにより熱可塑性樹脂とリード端子とを
ホットメルト型接着剤により接着することができる。こ
の方法においては、上記のように熱可塑性樹脂の成形温
度、すなわち、溶融樹脂の温度がホットメルト型接着剤
の溶融接着温度より十分高いことが必要である。In the encapsulation molding used in the present invention, a hot-melt type adhesive is first applied to an arbitrary position of a lead terminal by the above-described method, and then placed in a mold and heated and melted in the mold. The molded insert is obtained by injecting the thermoplastic resin thus obtained. The injection molding can be performed according to a conventional method for insert molding. An ordinary injection molding machine is used as the molding machine. The molding temperature (the temperature of the heating cylinder of the injection molding machine) is preferably a temperature sufficient to melt the thermoplastic resin to be injected and to melt the hot melt adhesive. From this viewpoint, the combination of the thermoplastic synthetic resin and the hot melt adhesive is determined. As a guide, the molding temperature of the thermoplastic resin is higher than the melting temperature of the hot melt adhesive by 30 ° C. or higher, preferably 70 ° C. or higher, more preferably 100 ° C. or higher, but is set to 200 ° C. or lower. For example, the injection molding conditions of the thermotropic liquid crystal resin are as follows.
° C, mold temperature 60-170 ° C, more preferably 60-1
It can be appropriately selected from a range of 30 ° C., an injection pressure of 100 to 3,000 kg / cm 2 , and an injection speed of 5 to 1,000 mm / sec. At the time of insert molding by injection molding, the hot-melt adhesive is melted by the heat of the thermoplastic resin that has been melted by heating, whereby the thermoplastic resin and the lead terminals can be bonded by the hot-melt adhesive. In this method, it is necessary that the molding temperature of the thermoplastic resin, that is, the temperature of the molten resin is sufficiently higher than the fusion bonding temperature of the hot melt adhesive as described above.
【0021】本発明の封止方法においては、振動子また
は共振子の内部素子として多用されるセラミック、水
晶、金属および金属酸化物に対して、封止樹脂である熱
可塑性樹脂は接着性あるいは密着性を有しないため、封
止成形において封止樹脂の固化時に生ずる樹脂の体積収
縮により、内部素子と封止樹脂とが容易に剥離し、両者
の間に空隙が形成される。同時に溶融樹脂の熱により、
リード端子に塗布されたホットメルト型接着剤が溶融し
て接着力を発現するため、水分やガスなどが外部から侵
入する経路となる間隙が封止されて、高い信頼性を確保
することができる。In the sealing method of the present invention, the thermoplastic resin as the sealing resin is adhered or adhered to ceramic, crystal, metal and metal oxide which are frequently used as the internal element of the vibrator or the resonator. Since the resin does not have the property, the internal element and the sealing resin are easily separated from each other due to the volume shrinkage of the resin when the sealing resin is solidified in the sealing molding, and a gap is formed between the two. At the same time, due to the heat of the molten resin,
Since the hot-melt adhesive applied to the lead terminals is melted to develop an adhesive force, a gap serving as a path through which moisture, gas, and the like intrudes from the outside is sealed, and high reliability can be secured. .
【0022】サーモトロピック液晶樹脂は、前記のよう
にその特性上、成形時の収縮率に異方性があり、特に成
形時の樹脂の流れと垂直な方向の収縮率が大きいため、
封止成形において樹脂の固化時に起こる体積収縮により
形成される空隙が他の熱可塑性樹脂の場合に比較して大
きく、従って内部素子の振動モードに幅広く対応するこ
とができる。例えば、サーモトロピック液晶樹脂を用い
て封止する際に、確保すべき振動空間が平面である場合
は、溶融樹脂がその平面に平行に流れるように射出成形
を行う。その結果、流れ方向に垂直な方向、すなわち厚
み方向に体積収縮が大きくなるため、平面上に十分な空
間を確保することができる。振動子等の内部素子は通常
平板状である場合が多いので、上記のように射出するこ
とにより、容易に振動空間を確保することができる。As described above, the thermotropic liquid crystal resin has anisotropy in the shrinkage rate during molding due to its characteristics, and particularly has a large shrinkage rate in a direction perpendicular to the flow of the resin during molding.
The voids formed by volume shrinkage occurring during the solidification of the resin in the encapsulation molding are larger than those of other thermoplastic resins, and therefore can widely cope with the vibration mode of the internal element. For example, when sealing is performed using a thermotropic liquid crystal resin, if the vibration space to be secured is a flat surface, injection molding is performed so that the molten resin flows parallel to the flat surface. As a result, the volume shrinkage increases in the direction perpendicular to the flow direction, that is, in the thickness direction, so that a sufficient space can be secured on a plane. Since the internal elements such as the vibrator and the like are usually in the form of a flat plate in many cases, the injection space as described above can easily secure a vibration space.
【0023】[0023]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照して詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【実施例】図1は、本発明の一実施例である振動子の構
造を示す一部切欠き正面図であり、図2は、図1に示し
た振動子の右側面図である。振動子1は、電極3a、3
bを有する内部素子2と、一端が電極3a、3bに接続
され、他端が内部素子2の外部に露出したリード端子4
a、4bと、内部素子2を電極3a、3bおよびリード
端子4a、4bの一部と共に被覆する封止樹脂5とから
なる。さらに、封止樹脂5とリード端子4a、4bの表
面との間には、ホットメルト型接着剤による接着部6
a、6bが形成され、かつ、内部素子2の振動空間を確
保する空隙7が形成されている。1 is a partially cutaway front view showing the structure of a vibrator according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a right side view of the vibrator shown in FIG. The vibrator 1 includes electrodes 3a, 3
b, and a lead terminal 4 having one end connected to the electrodes 3a and 3b and the other end exposed to the outside of the internal element 2.
a, 4b and a sealing resin 5 for covering the internal element 2 together with the electrodes 3a, 3b and a part of the lead terminals 4a, 4b. Further, between the sealing resin 5 and the surfaces of the lead terminals 4a and 4b, an adhesive 6 made of a hot-melt type adhesive is provided.
a, 6b are formed, and a gap 7 for securing a vibration space of the internal element 2 is formed.
【0024】上記振動子の製造に当たっては、まず金型
内にインサート部材としてのリード端子4a、4bを接
続した内部素子2を載置し、上記リード端子の内部素子
2に近接した部分に溶剤に溶解した市販の耐熱性ホット
メルト型接着剤を薄く塗布した。その後、常法により液
晶樹脂を用いて射出成形を行った。用いた液晶樹脂は、
4−ヒドロキシ安息香酸、4,4'−ジヒドロキシビフェ
ニル、テレフタル酸およびイソフタル酸から誘導される
構成単位からなる樹脂成分とガラス繊維25重量%とを
含むサーモトロピック液晶ポリエステルである。上記樹
脂成分は、DSCによる融点が380℃であり、加熱溶
融時に光学的異方性を示した。射出成形は、溶融樹脂が
電極3a、3bの平面上を流れるように行い、その結
果、流れ方向に垂直な方向、すなわち電極3a、3bの
上部空間には、サーモトロピック液晶樹脂特有の体積収
縮により十分な振動空間を確保することができた。ま
た、溶融樹脂の熱によりホットメルト型接着剤が溶融し
て、接着部6a、6bが形成された。In manufacturing the vibrator, first, the internal element 2 to which the lead terminals 4a and 4b as insert members are connected is placed in a mold, and a portion of the lead terminal adjacent to the internal element 2 is exposed to a solvent. A commercially available heat-resistant hot-melt adhesive dissolved was thinly applied. Thereafter, injection molding was performed using a liquid crystal resin by a conventional method. The liquid crystal resin used was
A thermotropic liquid crystal polyester containing a resin component consisting of a structural unit derived from 4-hydroxybenzoic acid, 4,4'-dihydroxybiphenyl, terephthalic acid and isophthalic acid, and 25% by weight of glass fiber. The resin component had a melting point of 380 ° C. determined by DSC, and exhibited optical anisotropy when melted by heating. The injection molding is performed so that the molten resin flows on the plane of the electrodes 3a and 3b. As a result, in the direction perpendicular to the flow direction, that is, in the upper space of the electrodes 3a and 3b, the volume shrinkage specific to the thermotropic liquid crystal resin is caused. A sufficient vibration space could be secured. Further, the hot melt adhesive was melted by the heat of the molten resin, and the bonded portions 6a and 6b were formed.
【0025】本発明の封止方法は、通常のインサート成
形にホットメルト型接着剤を塗布する作業を加えること
のみにより、内部素子を確実に封止し、同時に空隙を形
成することができる点に特徴がある。すなわち、内部素
子2に対して密着性や接着性を示さないポリエステル、
ポリアミド、ポリフェニレンサルファイドなどを用いる
ことにより、封止成形における樹脂固化時の体積収縮に
より空隙7が形成される。ただし、このままでは封止樹
脂5とリード端子4a、4bとの間にも間隙が生じ、外
部から水分やガスなどの侵入を招くので、端子4a、4
bの任意の位置にホットメルト型接着剤を塗布し、封止
成形時の樹脂熱によりホットメルト型接着剤を溶融させ
て接着性を発現させ、接着部6a、6bを形成すること
により間隙を封止する。封止樹脂5と内部素子2との間
に形成される空隙7をより大きくするためには、樹脂固
化時の収縮率に異方性を示し、特に厚み方向の収縮率が
他の方向の収縮率に比して大きい樹脂、例えばサーモト
ロピック液晶樹脂を用いることが望ましく、それにより
内部素子の多様な振動状態に対応することが可能とな
る。The sealing method of the present invention is characterized in that internal elements can be reliably sealed and voids can be formed at the same time only by adding work of applying a hot melt type adhesive to ordinary insert molding. There are features. That is, polyester which does not show adhesion or adhesiveness to the internal element 2,
By using polyamide, polyphenylene sulfide, or the like, voids 7 are formed due to volume shrinkage at the time of resin solidification in sealing molding. However, in this state, a gap is also formed between the sealing resin 5 and the lead terminals 4a and 4b, and the invasion of moisture or gas from the outside is caused.
b. Apply a hot-melt type adhesive to an arbitrary position, melt the hot-melt type adhesive by resin heat at the time of encapsulation molding to develop adhesiveness, and form gaps by forming the bonded portions 6a and 6b. Seal. In order to make the gap 7 formed between the sealing resin 5 and the internal element 2 larger, the shrinkage at the time of solidification of the resin shows anisotropy. It is desirable to use a resin that is larger than the ratio, for example, a thermotropic liquid crystal resin, so that it is possible to cope with various vibration states of the internal element.
【0026】[0026]
【発明の効果】本発明によれば、リード端子と熱可塑性
樹脂からなる封止樹脂との間にホットメルト型接着剤に
よる接着部を形成することにより、従来封止成形におい
て問題とされていた封止樹脂とリード端子との間の間隙
の形成を防止することができ、かつ封止成形において樹
脂固化時に形成される空隙を内部素子が振動を行うため
の内部空間として活用することができるため、簡便な工
程で信頼性の高い振動子および共振子を生産することが
可能となる。According to the present invention, by forming an adhesive portion with a hot-melt type adhesive between a lead terminal and a sealing resin made of a thermoplastic resin, a problem has conventionally been encountered in sealing molding. Since the formation of a gap between the sealing resin and the lead terminal can be prevented, and the gap formed when the resin is solidified in the sealing molding can be used as an internal space for the internal element to vibrate. In addition, it is possible to produce a highly reliable vibrator and resonator with simple steps.
【図1】本発明の振動子の例の一部切欠き正面図であ
る。FIG. 1 is a partially cutaway front view of an example of a vibrator of the present invention.
【図2】図1に示す振動子の右側面図である。FIG. 2 is a right side view of the vibrator shown in FIG.
1 振動子 2 内部素子 3a、3b 電極 4a、4b リード端子 5 封止樹脂 6a、6b 接着部 7 空隙 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Oscillator 2 Internal element 3a, 3b Electrode 4a, 4b Lead terminal 5 Sealing resin 6a, 6b Adhesive part 7 Air gap
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H03H 9/17 H03H 9/17 A // B29L 31:34 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI H03H 9/17 H03H 9/17 A // B29L 31:34
Claims (2)
たリード端子、および該内部素子をリード端子との接続
部と共に被覆する封止樹脂からなる振動子または共振子
の製造において、(1)封止樹脂として熱可塑性樹脂を
用いることにより、該樹脂の固化時の収縮を利用して内
部素子と封止樹脂との間に空隙を形成し、かつ(2)リ
ード端子の任意の位置にあらかじめホットメルト型接着
剤を塗布し、封止樹脂の熱により該接着剤を溶融するこ
とにより、リード端子と封止樹脂との間に接着部を形成
することを特徴とする振動子または共振子の封止方法。In the manufacture of a resonator or a resonator made of an internal element, a lead terminal having one end connected to the internal element, and a sealing resin covering the internal element together with a connection to the lead terminal, ) By using a thermoplastic resin as the sealing resin, a gap is formed between the internal element and the sealing resin by utilizing shrinkage of the resin during solidification, and (2) an arbitrary position of the lead terminal is formed. A vibrator or a resonator characterized in that a hot melt type adhesive is applied in advance, and the adhesive is melted by the heat of the sealing resin to form an adhesive portion between the lead terminal and the sealing resin. Sealing method.
晶樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の振動子
または共振子の封止方法。2. The method according to claim 1, wherein the thermoplastic resin is a thermotropic liquid crystal resin.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28615396A JPH10117116A (en) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | Method for sealing vibrator or resonator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28615396A JPH10117116A (en) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | Method for sealing vibrator or resonator |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10117116A true JPH10117116A (en) | 1998-05-06 |
Family
ID=17700632
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP28615396A Pending JPH10117116A (en) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | Method for sealing vibrator or resonator |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10117116A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003063231A1 (en) * | 2002-01-23 | 2003-07-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Package part and method of manufacturing the part |
JP2015130269A (en) * | 2014-01-07 | 2015-07-16 | 株式会社デンソー | Capacitance operation device and method of manufacturing capacitance operation device |
US10589709B2 (en) | 2008-09-30 | 2020-03-17 | Trw Airbag Systems Gmbh | Inflator, method of manufacturing the same and module including said inflator |
-
1996
- 1996-10-08 JP JP28615396A patent/JPH10117116A/en active Pending
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US10589709B2 (en) | 2008-09-30 | 2020-03-17 | Trw Airbag Systems Gmbh | Inflator, method of manufacturing the same and module including said inflator |
US10960846B2 (en) | 2008-09-30 | 2021-03-30 | Zf Airbag Germany Gmbh | Inflator, method of manufacturing the same and module including said inflator |
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