JPH0396898A

JPH0396898A - Ｘ線画像検知器

Info

Publication number: JPH0396898A
Application number: JP23437489A
Authority: JP
Inventors: Yukihisa Osugi; 幸久大杉; Hiroaki Abe; 博明阿部
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 1989-09-08
Filing date: 1989-09-08
Publication date: 1991-04-22
Anticipated expiration: 2010-07-31
Also published as: JPH0769480B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（技術分野）本発明は、工業製品のＸ線透視検査や医用分野等におい
て用いられるＸ線画像検知器に係り、特にＸ線画像変換
素子として、電気光学効果と光伝導効果とを併わせ有す
る単結晶板を用いたＸ線画像検知器に関するものである
。

（背景技術）従来より、ビスマスシリコンオキサイド（ＢＳ○：Ｂｉ
＋２Ｓｊ○２ｏ）、ビスマスゲルマニウムオキサイド（
ＢＧ○：Ｂ＼ｉ　１２Ｇ　ｅ○ｚｏ）等の、電気光学効
果と光伝導効果を併わせ持つ単結晶板は、画像変換素子
、所謂ＦＲＯＭ（ボッヶルス・リードアウト・オプチカ
ル・モジュレータ）素子として、光による二次元画像処
理装置や情報処理装置等への利用が種々研究されてきて
いる。そして、このＦＲＯＭ素子の基本構造は、第１図
に示される如く、例えばＢＳ○単結晶（ウェハー）２の
両面に、それぞれ、絶縁層４．４を設け、更にその上に
酸化インジウム等の透明電極６，６を設けてなる構造と
なっている。

ところで、このようなＰＲＯＭ素子を用いた書込み動作
は、通常、以下のようにして行なわれることとなる。先
ず、ＢＳ○結晶２の両面に設けられた電極６．６間に外
部電源８より所定の電圧を印加し、結晶内部に結晶面に
垂直に均一な電界を形威した状態で、ＢＳ○結晶面上に
青色光（４５０ｎｍ程度）による画像を結像させる。Ｂ
Ｓ○結晶２は、青色域に高い感度を示す光伝導効果を持
つため、この書込み光量に応じて結晶中にキャリアが励
起される。そして、このキャリアは、印加電圧により生
した電界によって結晶内を移動して、絶縁層４に達し、
書込み光量・分布に対応した電荷分布を形成する。この
キャリアの存在する部分では、キャリアの作る電界によ
って結晶内部の電界が減少し、これによって書込み光量
分布に対応した電界分布を形威し、それが、ＢＳ○結晶
２中に記録されるのである。

一方、このように記録された画像の読出し動作は、ＢＳ
Ｏ結晶２の有する電気光学効果を利用することにより行
なわれることとなる。即ち、ＢＳＯ結晶２は、電気光学
効果により結晶内部の電界強度に比例した複屈折を有し
ている。また、屈折率楕円体の二つの主軸の方向は、電
界方向に垂直とされている。従って、第２図に示される
ように、偏光板（偏光子）１０を介して、屈折率楕円体
の二つの主軸の二等分線方向に偏光面を持つ赤色（６　
０　０　ｎｍ程度）の直線偏光光を読出し光として、第
１図の如き構或のＰＲＯＭ素子１２に入射せしめると、
このＰＲＯＭ素子１２のＢＳＯ結晶２の結晶内の局所的
電界に応じて、該読出し光は楕円偏光となるのである。

なお、ＢＳＯ結晶２の光伝導効果は、赤色域では感度を
持たないために、読出し光照射による記録情報の破壊は
ない。そして、出力側に、入力側偏光板１０と直交する
偏光板（検光子）１４を置くことにより、楕円偏光の楕
円率に応した読出し光強度を得ることが出来、以てＦＲ
ＯＭ素子１２に記録されていた入力画像を読み出すこと
が出来るのである。

なお、ＰＲＯＭ素子１２のＢＳＯ結晶２に記録されてい
る画像の消去は、ＢＳ○結晶２の全面に強い青色光を照
射することにより、行なわれている。また、ＦＲＯＭ素
子１２は、ＢＳ○結晶の他にも、ＢＧＯ結晶等を用いて
も構成され、上記と同様な機能を有している。

一方、かかるＦＲＯＭ素子の入力画像の書込み光として
Ｘ線を用いる手法が知られている（Ｍ．Ｇｒａｓｅｒ．
　Ｊｒ．　ｅｔ．　ａｌ．　　「Ａｐｐｌ．　Ｐｈｙｓ
．　Ｌｅｔｔ．　Ｊ　．　３４（８）．１５．Ａｐｒｊ
ｌ　（１９７９））−上記した青色光と同様に、Ｘ線に
対しても、ＢＳ○等の単結晶は感度の高い光伝導効果を
有するものであるところから、Ｘ綿像であっても、その
書込みが出来るからである。なお、この技ｊネテは、書
込み光としてＸ線を用いる他は、第１図と同様な素子構
或を採用するものであり、また画像情報記録後の画像読
出し方法も同様である。

しかしながら、この先に提案されたＦＲＯＭ素子を用い
たＸ線画像検知方式には、実用上において問題点が多く
、未だ実用には至っていないのが現状であり、その大き
な理由の一つとして、光学系構造から、解像度に制限を
受けることがある。

即ち、かかる従来のＸ線画像検知方式では、読出し光が
ＦＲＯＭ素子を透過する光学系構造を採用するものであ
るところから、ＦＲＯＭ素子を中心に、Ｘ線の線源を読
出し光の光源又は画像検知器の何れかと同し側に配置し
なればならず、それ故にそれら光学装置がＸ線を遮って
しまうようになるために、χ線をＦＲＯＭ素子正面から
照射することが出来ないのである。また、被検査物をＰ
Ｒ○Ｍ素子に接して置くと、読出し光が遮られることと
なるために、ＦＲＯＭ素子と被検査物との距離を読出し
光が遮られない程度に離してやらなくてはならない。し
かも、可視光とは異なり、Ｘ線画像を光学系によって結
像させることは不可能であるのである。これらのことよ
り、従来のＸ線画像検知方式では、ＦＲＯＭ素子に対し
て鮮明なＸ線画像を書き込むことが困難であって、ＦＲ
ＯＭ素子の持つ解像度の性能よりも、Ｘ線画像の「ぼや
け」が大きく、ＦＲＯＭ素子の性能を充分に活用するも
のではなかったのである。

（解決課題）ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景にして為さ
れたものであって、その解決課題とするところは、障害
物によって遮られることなく、Ｘ線をＦＲＯＭ素子に照
射することが出来、また画像を読め出すことを可能にし
て、解像度の高い画像を得ることの出来るＸ線画像検知
器を提供しようとすることにある。

（解決手段）そして、本発明は、上述の如き課題を解決するために、
電気光学効果と光伝導効果を有する単結晶板と、該単結
晶板の一方の面に設けられた、光は反射するが、Ｘ線は
透過し得る反射導電層と、前記単結晶板の他方の面に設
けられた、光を透過し得る絶縁層と、該絶縁層上に設け
られて、該絶縁層及び前記単結晶板に、前記反射導電層
と協働して所定の電界を加える透明導電層とを有するＸ
線画像変換素子を用いたＸ線画像検知器において、該画
像変換素子の前記反射導電層が設けられた側に、Ｘ線照
射源を配して、該Ｘ線照射源からのＸ線照射によって該
画像変換素子にＸ線画像が書き込まれるようにする一方
、該画像変換素子の前記透明導電層が設けられた側に、
該画像変換素子に対して所定の読出し光を照射する光源
と、該画像変換素子から反射される該読出し光を結像さ
せるための光学系とを配して、該画像変換素子に書き込
まれた前記Ｘ線画像を、それら光源及び光学系によって
読み出すようにしたことを特徴とするＸ線画像検知器を
、その要旨とするものである。

なお、このようなＸ線画像検知器においては、有利には
、前記光学系の光路中に反射鏡を配し、前記Ｘ線照射源
からのＸ線照射方向と結像系光軸とが直角となるように
構成されたり、また前記光学系の光路中に、Ｘ線を遮蔽
する一方、読出し光は透過せしめ得る媒質が配されたり
、されることとなる。

また、本発明に係るＸ線画像検知器の一つの態様におい
ては、前記画像変換素子の複数個が用いられる一方、Ｘ
線照射源によるＸ線画像の書込み位置と光源及び光学系
によるＸｗＡ画像の読出し位置とＸ線画像の消去位置と
が異ならしめられて、それら画像変換素子を移動させる
ことにより、該書込み位置、該読出し位置、消去位置に
順次配するようにした構戒が採用される。

ｑ１０さらに、本発明にあっては、光源として面発光光源が用
いられたり、前記光学系に、読出し画像の視野範囲を変
化させるレンズ手段を設けたりする構或も採用される。

更にまた、本発明にあっては、Ｘ線照射量を制御して、
最適な照射量を設定し、明瞭な画像を得ることの出来る
Ｘ線画像検知器とするために、有利には、（ａ）Ｘ線照
射源からのＸ線照則線量を測定するＸ線測定手段と、該
Ｘ線測定手段にて測定されたＸ，％Ｉ；！照射線量に基
づいて該Ｘ線照射源によるχ線照射時間を制御するＸ線
照射制御装置を、更に設けた構成や、（ｂ）光源からの
読出し光の強度を測定する光測定手段と、該光測定手段
にて測定された読出し光強度に基づいて前記Ｘ線照射源
によるＸ線照射時間を制御するＸ線照射制御装置を、更
に設けた構或が、採用される。

（具体的構戒・実施例）以下、図面に示す実施例に基づいて、本発明の構成を更
に具体的に明らかにすることとする。

先ず、第３図は、本発明に係るＸ線画像検知器？用いら
れるＸ線画像変換素子の一例を示すものであって、そこ
において、２２は、電気光学効果と光伝導効果とを有す
る単結晶板であり、例えばビスマスシリコンオキザイド
（Ｂ　ｉ　＋ｚＳ　ｉ　０２０）やビスマスゲルマニウ
ムオキサイド（Ｂｉ，■ＧｅＯｚｏ）等の公知の単結晶
材料から構成されている。

なお、この単結晶板２２は、一般に、１０μｍ〜５順程
度の厚さを有するものであって、その両面が公知の適宜
の手法に従って研磨されたものが用いられることとなる
。

そして、このような単結晶板２２の一方の面に対して、
本発明に従う反射導電層としての金属薄膜電極２３が、
所定厚さに、換言すれば光は反射するが、Ｘ線は透過し
得る厚さにおいて形威されている。なお、この金属薄膜
電極２３の材料としては、金，銀，白金，アルミニウム
，金属ベリリウム等のＸ線透過率の優れた導電性のもの
が好適に用いられる。また、かかる金属薄膜電極２３の
膜厚は、Ｘ線を透過し得る程に充分薄くされ、般に１μ
ｍ程度以下とされており、これにより金１１ｌ２属薄膜電極２３の側からＸ線画像を書き込むことが出来
るようになっている一方、この金属薄膜電極２３の面に
て、読出し光が反射せしめられるところから、反射型の
読出し光学系を取ることが出来、読出し光光源と撮像部
分がＸ線画像変換素子を中心にして同し側に位置させら
れ得、以て書込み部分と読出し部分を完全に分離するこ
とが出来るのである。

なお、この読出し光学系の設けられる側となる単結晶板
２２の他方の面には、従来のＦＲＯＭ素子と同様に、光
を透過し得る絶縁層２４が設けられ、更にその上に、酸
化インジウム等の公知の透明な導電性材料からなる透明
電極（導電層）２６が形威されている。そして、この透
明電極２６と前記金属薄膜電極２３との間に外部の電源
２８からの電圧（例えば、０〜３０ＫＶ程度）が印加さ
れることによって、単結晶板２２と絶縁層２４に所定の
電界が加えられ得るようになっている。

ところで、かかる単結晶板２２上に設けられる絶縁層２
４は、公知のポリパラキシレンやポリスチレン等の有機
絶縁物やガラス、マイ力等の無機絶縁物にて形威され得
るものである。

また、単結晶板２２と絶縁層２４に、所定の電界を加え
る透明電極２６の形或にあっては、従来と同様な手法が
採用され、例えば（イ）絶縁層２４の表面に、目的とす
る透明電極を直接に形或する方法や、（口）ガラス等の
所定の板体上に透明電極層を設けてなる透明電極板を、
適当な光学接着剤を用いて、絶縁層２４上に張り付ける
方法等が、適宜に採用される。

本発明は、このような構成のＸ線画像変換素子を用いて
、画像の書込み及び読出しを行なう装置（Ｘ線画像検知
器）を構或したものであって、そのような装置において
は、Ｘ線画像変換素子の一方の側にＸ線線源（Ｘ線照射
源）が、またＸ線画像変換素子の他方の側には読出し系
が、それぞれ配置せしめられることとなるのである。

すなわち、第４図に示されるように、Ｘ線画像変換素子
３０の金属薄膜電極２３が設けられた側にＸ線線源３２
が配置され、このＸ線線源３２か１３１４ら被検査物３４に対してＸ線が照射され、それによって
、記録すべき画像情報を持つＸ線が形威され、そしてそ
れが、Ｘ線画像変換素子３０の金属薄膜電極２３の形戒
側の面に照射せしめられる。

これにより、画像変換素子３０の単結晶板２２には、目
的とするＸ線画像が書き込まれることとなる。

一方、読出し光学系は、かかるＸ線画像変換素子３０の
他方の側、換言すれば透明電極２６の設けられた側に配
置されており、そこでは、所定の読出し光、即ち光伝導
効果を持たない、従って書込み情報を破壊しない光、例
えば赤色光をＸ線画像変換素子３０に照射ずるための光
源３６と、偏光子３８と、照射光をＸ線画像変換素子３
０に垂直に照射せしめ、且つ反射読出し光を結像せしめ
るための凸レンズ４２と、照射光と反射光を分離するた
めのビームスプリック４０と、読出し光の楕円偏光の楕
円率に応した光強度を得るための検光子４４と、この検
光子４４を透過した読出し光を受光する受光手段たる、
ＣＣＤカメラ４６のＣＣＤ撮像素子４８とが、配置され
ている。なお、ここで、ビームスプリンタ４０は、ハー
フ旦ラーによって代用可能であり、また偏光子３８、ビ
ームスプリンタ４０及び検光子４４は、ＰＢＳ（ボーラ
ライズド・ビーム・スプリッタ）によって代用すること
も可能である。

従って、このような構戒のＸ線画像検知器においては、
Ｘ線画像の書込みがＸ線画像変換素子３０の一方の側に
おいて行なわれる一方、該Ｘ線画像変換素子３０に書き
込まれたＸ線画像は、該Ｘ線画像変換素子３０の他方の
側において行なわれることとなるところから、書込み部
分と読出し部分とが完全に分離され、以てＸ線画像書込
み系と読出し光学系との構造的な干渉が効果的に回避さ
れ得るのであり、そしてそれによって、被検査物体（３
４）を可及的にＸ線画像変換素子３０に近接せしめた状
態においてχ線を正面から照射して、そのＸ線画像を書
き込むことが出来るところから、鮮明なＸ線画像を有利
に得ることが出来、例えば２５μｍ程度の微細な金属線
でも充分識別可能な、１５１６解像度の高いＸ線画像検知器を得ることが出来ることと
なったのである。

また、本発明に係るＸ線画像検知器の他の例を示す第５
図においては、読出し光学系の光路中に反射鏡５０が配
置され、Ｘ線画像変換素子３０の金属薄膜電極２３によ
って反射された読出し光が、該反射鏡５０によってＸ線
線源３２からのＸ線の照射方向（図において上下方向）
に対して直角な方向に反射せしめられるようになってお
り、これによってＸ線照射方向と結像系光軸とが直角と
なるようにされて、撮像装置部分（４６．４８）にＸ線
が照射されないように、以てＸ線によるノイズのない、
良好な画像を有利に取り出し得るようになっている。

けだし、Ｘ線を電子部品に照射すると、高いエネルギー
を持ったＸ線ホトンによって、半導体内部に電荷が励起
され、部品に悪影響を及ぼし、最悪の場合には破壊に至
るようになるが、ここで対象とするＸ線画像検知器の場
合にあっても、その読出し画像の検知にＣＣＤカメラや
撮像管等を用いた時は同様であって、カメラ等にＸ線が
照射されると、画像信号にノイズが乗り、モニター上の
画像が乱れてしまうようになるからである。

また、このようなＸ線照射によって読出し画像にノイズ
が入るのを更に良好に防止するには、図示の如く、鉛板
等の遮蔽板５２をＸ線線源３２と読出し光学系との間に
配置し、かかるＸ線線ａ３２からのＸ線が、ＣＣＤカメ
ラ４６や、その撮像素子４８等に到達しないようにする
ことが望ましい。

なお、かかる第５図に示されるＸ線画像検知器において
は、読出し光は、紙面に対して垂直な方向に配置された
光源（３６）から偏光子（３８）を通じてビームスプリ
ック４０に入射され、更にこのビームスプリンタ４０か
ら、凸レンズ４２、反射鏡５０を介して、Ｘ線画像変換
素子３０の透明電極２６が設けられた側に入射せしめら
れるようになっている。また、Ｘ線画像変換素子３０か
ら反射された読出し光は、先述の如く、反射鏡５０にて
反射された後、凸レンズ４２、ビームスプ１７１８リッタ４０、検光子４４を通って、ＣＣＤカメラ４６の
ＣＣＤ撮像素子４８に受光せしめられるのである。

また、このようなＸ線照別による読出し画像へのノイズ
の混入の排除には、上例の如き反射鏡５０を設けて、結
像系光軸をＸ線照射方向と一致しないようにする方式の
他、Ｘ線は遮蔽するが、読出し光は透過せしめ得る媒質
、例えば鉛ガラスを撮像装置部分（４６．４８）よりも
Ｘ線画像変換素子３０側、例えば第４図において、検光
子４４とＣＣＤ撮像素子４８との間に配置するようにす
れば、χ線照射方向と結像系光軸とが一致する場合にあ
っても、χ線によるノイズのない、良好な画像を得るこ
とが可能である。

ところで、Ｘ線画像変換素子は、画像の書込み・読出し
を交互に行なうために、リアルタイムの画像出力は出来
ない。準リアルタイム動作に近づけるには、書込み・読
出し・消去の周期を短《すればよいのであるが、画像変
換素子への印加電圧は通常数ＫＶと高く、容易には高速
化出来ない。

また、書込み速度、消去速度は、画像変換素子の結晶板
（ＢＳＯ等）の物性値で決まってしまうので、或る限界
以上の高速化は不可能である。

このため、本発明に従うＸ線画像検知器においては、従
来に比べて画像の読出し周期を短くするために、第６図
に示される如く、複数のＸ線画像変換素子３０を用い、
それらを回転テーブル５４に配置して回転せしめること
により、各素子３０に対して書込み・読出し・消去の各
々の動作を並行して行なうようにずる構戒が採用される
のである。要するに、Ｘ線画像変換素子３０の複数個を
用いる一方、Ｘ線線ｍ（３２）によるＸ線画像の書込み
位置と、光源（３６）及び光学系（３Ｂ４０，４２．４
４，４６．４８）によるＸ線画像の読出し位置を異なら
しめ、そして、それらＸ線画像変換素子３０を順次移動
せしめて、該書込み位置及び該読出し位置に順次配置さ
れるようにするのである。また、読み出された後のＸ線
画像変換素子３０に対しては、順次、青色光の全面照射
によって、記録された画像が消去せしめられるこ１９２０ととなる。

また、Ｘ線画像検知器においては、読出し画像をカメラ
（４６）で検出し、モニタ画面上に表示する場合におい
て、最終的な像の解像度はモニタ画面の持つ画素数によ
って制限され、従って大有効面積、高解像度の画像変換
素子を作製しても、その全画素をモニタ画面で一度に観
察することは出来ないが、第７図及び第８図に示される
如く、読出し光学系に読出し画像の視野範囲を変化させ
るレンズ手段を設けることによって、画像全体像や一部
分の拡大像を目的に応じて読み出すことが可能となるの
である。なお、かかる第７図に示される例にあっては、
検光子４４とＣＣＤ撮像素子４８との間に視野レンズ５
６が配置され、この視野レンズ５６と凸レンズ４２から
なる二枚レンズによる結像系にて読出し画像が撮像され
るようになっており、視野レンズ５６の焦点距離とその
位置を変更することによって、画像の読出し範囲と拡大
率が容易に変更され得るのである。この視野レンズ５６
の焦点距離とその位置の変更は、例えば第８図に示され
るように、レンズホルダー５８に各種の視野レンズ５６
を取り付け、かかるレンズホルダー５８を回転させるこ
とによって、行なうことが出来る。

さらに、第９図に示される本発明に従うＸ線函像検知器
においては、読出し光学系の光源として面発光光源６０
が用いられており、これによって、かかる光学系が小型
，簡素とされ、以てＸ線画像検知器全体の小型化を可能
ならしめている。反射型の画像変換素子３０においては
、読出し光はコリメートされ、そのために該画像変換素
子３０に垂直に入射する状態が光強度に関して尤も効率
が高く、明るい像を形或することが出来るからである。

これに対して、画像の明るさのムラをなくすために、単
一光源を用いて大面積の照射を行なおうとすると、光源
と画像変換素子間の距離が大きくなり、Ｘ線画像検知器
の小型化を妨げる要因となるのである。なお、面発光光
源６０としては、面発光ＬＥＤ、面発光蛍光灯、エレク
トロル５ネッセント素子（ＥＬ）発光体等が用いられる
。

２１２２また、被検査物体（３４）のＸ線透過光量の差によって
Ｘ線画像を形戊ずるＸ線画像検知器には、画像の階調表
現が良好なことと、広いダイナ旦ツタ・レンジを持つこ
とが要求されるが、現状の画像変換素子のダイナくツタ
・レンジは１５ｄＢ程度と比較的狭いところから、Ｘ線
照射条件によって、未露光、露光オーハーになり易く、
その管理が困難となるものであるが、第１０図に示され
る如く、χ線照射量を制御する制御系を設けることによ
り、明瞭な画像を有利に得ることが出来るのである。

すなわち、第１０図においては、読出し光の結像系光路
中に配したハーフミラー６２によって分離した光を、凸
レンズ６４によって集光させ、その光強度をフォトマル
チプライヤー、フォトダイオード等の光測定器６６によ
って測定し、そしてこの光測定器６６によって測定され
た読出し光強度に基づいて、Ｘ線照別制御装置６８によ
って、書込み量を見積もり、最適Ｘ線照射条件を決定し
、Ｘ線線源３２によるＸ線照射時間を制御せしめるので
ある。

また、このような読出し光強度測定に代えて、χ線線源
３２からのＸ線照射線量を測定し、それに基づいてＸ線
照射時間を制御するようにすることも可能である。即ち
、Ｘ線画像変換素子３０の側部に配された電離箱線量計
、シンチレーション検出器、半導体検出器等のＸ線線量
計７０によって、Ｘ線線源３２からのＸ線照射線量を測
定し、その測定値に基づいて、Ｘ線照射制御装置６８に
おいてＸ線線源３２によるＸ線照射時間を制御するよう
にするのである。

以上、本発明に従う幾つかの好ましい実施形態に基づい
て、本発明の具体的構成について詳細に説明してきたが
、本発明が、そのような実施形態や、それに基づく具体
的説明によって、何等の制限を受けるものでは決してな
く、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の
知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加えた形
態において実施され得るものであり、本発明が、また、
そのような実施形態のものをも含むものであるこ２３２４とが、理解されるべきである。

（発明の効果）以上の説明から明らかなように、本発明に従うＸ線画像
検知器においては、Ｘ線線源と読出し光学系が、Ｘ線画
像変換素子を挟んで互いに反対側に配置されているとこ
ろから、書込み部分と読出し部分を完全に分離すること
が出来、以て被検査物体を可及的に画像変換素子の記録
面に近接せしめて、Ｘ線を正面から照射することが出来
るために、解像度の高い画像を得ることが出来、２５μ
ｍ程度の微細な金属線も充分識別可能なＸ線画像検知器
とすることが出来るのである。

また、本発明にあっては、Ｘ線画像検知器の読出し光学
系の光路中に、反射鏡を介して、Ｘ線照則方向と結像系
光軸とが直角となるように構成したり、χ線を遮蔽する
媒質を配して、撮像装置部分をＸ線から遮蔽するように
することによって、Ｘ線によるノイズの少ない良好な画
像を得ることも出来る。

さらに、本発明に従うＸ線画像検知器において、複数個
の画像変換素子を用い、それら画像変換素子を順次移動
させて、各々の素子に対して書込みや読出し等の動作を
並行して行なうようにすれば、画面一枚の書込み・読出
し時間を短くし、出来るだけリアルタイム動作に近づけ
て、連続した画像を得ることが出来る利点があり、また
読出し光学系に読出し画像の視野範囲を変化させるレン
ズ手段を設けることによって、画像の読出し範囲を切り
換え、全体像と拡大像の両方を任意に読み出し得て、目
的に応して、画像変換素子の有効面積と解像度の両方の
性能を生かすことの出来るＸ線画像検知器と為すことも
可能となったのである。

更にまた、読出し光学系の光源を面発光光源とすれば、
読出し光の光学系が簡素化され、Ｘ線画像検知器として
も、その小型化が有利に達威され得るようになるのであ
り、更にはχ線照射量を制御する制御系を設けることに
よって、その最適なＸ線照射量を設定し、明瞭な画像を
容易に得ることが出来ることとなるのである。

【図面の簡単な説明】

２５２６第１図は、従来のＸ線画像変換素子の概略説明図であり
、また第２図は、そのような画像変換素子を用いた従来
のＸ線画像検知器の概略説明図である。第３図は、本発
明にて用いられるＸ線画像変換素子の一例を示す概略説
明図であり、第４図は、そのようなＸ線画像変換素子を
用いた本発明に従うＸ線画像検知器の一例を示す配置形
態説明図である。また、第５図５第７図，第９図及び第
１０図は、それぞれ、本発明に従うＸ線画像検知器の他
の異なる例を示す配置形態説明図であり、更に第６図は
、回転テーブルに設けた複数のＸ線画像変換素子に対す
る書込み・読出し・消去動作を示す説明図であり、第８
図は、複数の視野レンズを取り付けたレンズホルダーを
示す説明図である。２２：単結晶板　　　２３：金属薄膜電極２４：絶縁層
　　　　２６：透明電極２８：電源３０：Ｘ線画像変換素子２７：Ｘ線線源；光源：ビームスプリ：凸レンズ二ＣＣＤカメラ二反射鏡二回転テーブル：レンズホルダ：ハーフミラー：光測定器＝Ｘ線線量計３４：被検査物体３８；偏光子ツタ４４：４８：５２：５６；６０：６４：６８：検光子ＣＣＤ撮像素子遮蔽板視野レンズ面発光光源凸レンズＸ線照射制御装置

Claims

【特許請求の範囲】

（１）電気光学効果と光伝導効果を有する単結晶板と、
該単結晶板の一方の面に設けられた、光は反射するが、
Ｘ線は透過し得る反射導電層と、前記単結晶板の他方の
面に設けられた、光を透過し得る絶縁層と、該絶縁層上
に設けられて、該絶縁層及び前記単結晶板に、前記反射
導電層と協働して所定の電界を加える透明導電層とを有
するＸ線画像変換素子を用いたＸ線画像検知器にして、該画像変換素子の前記反射導電層が設けられた側に、Ｘ
線照射源を配して、該Ｘ線照射源からのＸ線照射によっ
て該画像変換素子にＸ線画像が書き込まれるようにする
一方、該画像変換素子の前記透明導電層が設けられた側
に、該画像変換素子に対して所定の読出し光を照射する
光源と、該画像変換素子から反射される該読出し光を結
像させるための光学系とを配して、該画像変換素子に書
き込まれた前記Ｘ線画像を、それら光源及び光学系によ
って読み出すようにしたことを特徴とするＸ線画像検知
器。
（２）前記光学系の光路中に反射鏡を配し、前記Ｘ線照
射源からのＸ線照射方向と結像系光軸とが直角となるよ
うに構成したことを特徴とする請求項（１）記載のＸ線
画像検知器。
（３）前記光学系の光路中に、Ｘ線を遮蔽する一方、読
出し光は透過せしめ得る媒質を配したことを特徴とする
請求項（１）記載のＸ線画像検知器。
（４）前記画像変換素子の複数個を用いる一方、前記Ｘ
線照射源によるＸ線画像の書込み位置と前記光源及び光
学系によるＸ線画像の読出し位置とＸ線画像の消去位置
とを異ならしめ、それら画像変換素子を移動せしめて、
該書込み位置、該読出し位置及び該消去位置に順次配す
るようにしたことを特徴とする請求項（１）乃至（３）
の何れかに記載のＸ線画像検知器。
（５）前記光学系に、読出し画像の視野範囲を変化させ
るレンズ手段を設けたことを特徴とする請求項（１）乃
至（４）の何れかに記載のＸ線画像検知器。
（６）前記光源が面発光光源である請求項（１）乃至（
５）の何れかに記載のＸ線画像検知器。
（７）前記Ｘ線照射源からのＸ線照射線量を測定するＸ
線測定手段と、該Ｘ線測定手段にて測定されたＸ線照射
線量に基づいて該Ｘ線照射源によるＸ線照射時間を制御
するＸ線照射制御装置とを、更に設けたことを特徴とす
る請求項（１）乃至（６）の何れかに記載のＸ線画像検
知器。
（８）前記光源からの読出し光の強度を測定する光測定
手段と、該光測定手段にて測定された読出し光強度に基
づいて前記Ｘ線照射源によるＸ線照射時間を制御するＸ
線照射制御装置とを、更に設けたことを特徴とする請求
項（１）乃至（６）の何れかに記載のＸ線画像検知器。