JPH034823Y2 - - Google Patents
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- JPH034823Y2 JPH034823Y2 JP1985165830U JP16583085U JPH034823Y2 JP H034823 Y2 JPH034823 Y2 JP H034823Y2 JP 1985165830 U JP1985165830 U JP 1985165830U JP 16583085 U JP16583085 U JP 16583085U JP H034823 Y2 JPH034823 Y2 JP H034823Y2
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 53
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 16
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 15
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 13
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 8
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C27/00—Elastic or yielding bearings or bearing supports, for exclusively rotary movement
- F16C27/04—Ball or roller bearings, e.g. with resilient rolling bodies
- F16C27/045—Ball or roller bearings, e.g. with resilient rolling bodies with a fluid film, e.g. squeeze film damping
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C25/00—Bearings for exclusively rotary movement adjustable for wear or play
- F16C25/06—Ball or roller bearings
- F16C25/08—Ball or roller bearings self-adjusting
- F16C25/083—Ball or roller bearings self-adjusting with resilient means acting axially on a race ring to preload the bearing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Support Of The Bearing (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は、高温回転機械の軸受装置に関するも
ので、詳しくは、車両用、舶用、汎用の過給機、
および小形、汎用のガスタービンなどの高温回転
機械における回転軸の軸受装置として利用される
ものである。
ので、詳しくは、車両用、舶用、汎用の過給機、
および小形、汎用のガスタービンなどの高温回転
機械における回転軸の軸受装置として利用される
ものである。
従来の技術
従来から、高温回転機械の一種である過給機の
軸受は、メタルを使用した浮動ブツシユ型のすべ
り軸受が主流であるが、たまには、玉軸受やコロ
軸受などのころがり軸受も採用されており、いず
れも、潤滑剤として潤滑油を使用している。
軸受は、メタルを使用した浮動ブツシユ型のすべ
り軸受が主流であるが、たまには、玉軸受やコロ
軸受などのころがり軸受も採用されており、いず
れも、潤滑剤として潤滑油を使用している。
考案が解決しようとする問題点
前述のように、従来の過給機の軸受は、高温の
排ガスを利用するタービンに隣接して設けられて
いて、その潤滑には潤滑油を使用しているため、
その高温の排ガスにより潤滑油の劣化が早まり、
オイル交換の頻度が高まるうえ、油漏れのトラブ
ルも生じ、とくに、潤滑油停止の場合には、ヒー
トソークバツク現象により軸受まわりの残留潤滑
油の数百度(℃)の高温に達することが多々あ
り、炭化(カーボンブリツジ)というトラブルに
つながる現象を起し、また高温油中の硫黄などの
添加物がメタル材と反応することにより腐象現象
を起すなどの問題点がある。本考案は、このよう
な問題点を解決しようとするものである。すなわ
ち、本考案は、高温に耐え、かつ、潤滑油に伴な
うトラブルなどがない高温回転機械の軸受装置を
提供することを目的とするものである。
排ガスを利用するタービンに隣接して設けられて
いて、その潤滑には潤滑油を使用しているため、
その高温の排ガスにより潤滑油の劣化が早まり、
オイル交換の頻度が高まるうえ、油漏れのトラブ
ルも生じ、とくに、潤滑油停止の場合には、ヒー
トソークバツク現象により軸受まわりの残留潤滑
油の数百度(℃)の高温に達することが多々あ
り、炭化(カーボンブリツジ)というトラブルに
つながる現象を起し、また高温油中の硫黄などの
添加物がメタル材と反応することにより腐象現象
を起すなどの問題点がある。本考案は、このよう
な問題点を解決しようとするものである。すなわ
ち、本考案は、高温に耐え、かつ、潤滑油に伴な
うトラブルなどがない高温回転機械の軸受装置を
提供することを目的とするものである。
問題点を解決するための手段
軸受を、少なくとも転動体がセラミツク製であ
る無給油式のころがり軸受とし、かつ、水フイル
ムダンパにより、そのころがり軸受を支持するよ
うにした。すなわち、本考案の構成は、高温回転
機械の回転軸を回転可能に支持して少なくとも転
動体がセラミツク製からなる無給油式のころがり
軸受と、軸受ハウジング内に水フイルムを介して
浮動状態に設けられて前記ころがり軸受を支持し
ている水フイルムダンパとを備え、かつ、前記軸
受ハウジングには、該軸受ハウジングの内周面と
該水フイルムダンパの外周面の間に前記水フイル
ムを形成させる水を供給する導水路を備えている
ことを特徴としている。
る無給油式のころがり軸受とし、かつ、水フイル
ムダンパにより、そのころがり軸受を支持するよ
うにした。すなわち、本考案の構成は、高温回転
機械の回転軸を回転可能に支持して少なくとも転
動体がセラミツク製からなる無給油式のころがり
軸受と、軸受ハウジング内に水フイルムを介して
浮動状態に設けられて前記ころがり軸受を支持し
ている水フイルムダンパとを備え、かつ、前記軸
受ハウジングには、該軸受ハウジングの内周面と
該水フイルムダンパの外周面の間に前記水フイル
ムを形成させる水を供給する導水路を備えている
ことを特徴としている。
作 用
ころがり軸受の主要部である転動体がセラミツ
ク製であるため、高温に強く、かつ、前記ころが
り軸受が無給油式であるため、潤滑油を供給する
必要がなくなつて、潤滑油によるトラブルなどが
全くなくなり、また水フイルムダンパが前記ころ
がり軸受の制振作用をし、しかも、該軸受が間接
的に水冷される。
ク製であるため、高温に強く、かつ、前記ころが
り軸受が無給油式であるため、潤滑油を供給する
必要がなくなつて、潤滑油によるトラブルなどが
全くなくなり、また水フイルムダンパが前記ころ
がり軸受の制振作用をし、しかも、該軸受が間接
的に水冷される。
実施例
図面は本考案の一実施例を示している。すなわ
ち、高温回転機械の一例として、過給機を示して
いる。図において、1はタービン車室、2は軸受
車室、3はコンプレツサ車室、4はタービン軸、
5はタービン羽根車、6はコンプレツサ羽根車、
7は後述するタービン側玉軸受、8は後述するコ
ンプレツサ側玉軸受、9は前記軸受車室2に設け
られた軸受ハウジング、10は前記軸受ハウジン
グ9内に水フイルムを介して浮動状態に設けられ
て前記両玉軸受7と8を支持している水フイルム
ダンパ、11はその水フイルム、12は軸受スペ
ーサ、13はコイル状の予圧スプリング、14は
軸端ナツト、15は冷却水入口、16は冷却水出
口、17は冷却水チヤンバ、18は第1導水路、
19は第2導水路、20は第3導水路である。
ち、高温回転機械の一例として、過給機を示して
いる。図において、1はタービン車室、2は軸受
車室、3はコンプレツサ車室、4はタービン軸、
5はタービン羽根車、6はコンプレツサ羽根車、
7は後述するタービン側玉軸受、8は後述するコ
ンプレツサ側玉軸受、9は前記軸受車室2に設け
られた軸受ハウジング、10は前記軸受ハウジン
グ9内に水フイルムを介して浮動状態に設けられ
て前記両玉軸受7と8を支持している水フイルム
ダンパ、11はその水フイルム、12は軸受スペ
ーサ、13はコイル状の予圧スプリング、14は
軸端ナツト、15は冷却水入口、16は冷却水出
口、17は冷却水チヤンバ、18は第1導水路、
19は第2導水路、20は第3導水路である。
さらに説明すると、高速回転するタービン軸4
を回転可能に支持しているタービン側玉軸受7と
コンプレツサ側玉軸受8は、ともに、その転動体
であるボールだけがセラミツク製の場合と、内輪
と外輪をもセラミツク製にしたフルセラミツクス
の場合があるが、過給機の場合は、内輪がタービ
ン軸4の熱膨張による引張力を受けるため、耐熱
合金を使用し、ボールのみをセラミツク化するの
がよい。またボールの保持器に自己潤滑性のある
材料を用いるほうが耐久性やその他の点で適して
いる。一般に、200℃程度までならテフロン系、
それ以上の温度ならばグラフアイト系の保持器を
用いるのがよい。この自己潤滑の原理は、保持器
がボールと回転中に接触して微少量が剥れ落ちて
粉末状の潤滑剤となるからである。
を回転可能に支持しているタービン側玉軸受7と
コンプレツサ側玉軸受8は、ともに、その転動体
であるボールだけがセラミツク製の場合と、内輪
と外輪をもセラミツク製にしたフルセラミツクス
の場合があるが、過給機の場合は、内輪がタービ
ン軸4の熱膨張による引張力を受けるため、耐熱
合金を使用し、ボールのみをセラミツク化するの
がよい。またボールの保持器に自己潤滑性のある
材料を用いるほうが耐久性やその他の点で適して
いる。一般に、200℃程度までならテフロン系、
それ以上の温度ならばグラフアイト系の保持器を
用いるのがよい。この自己潤滑の原理は、保持器
がボールと回転中に接触して微少量が剥れ落ちて
粉末状の潤滑剤となるからである。
また水フイルムダンパ10はタービン側玉軸受
7とコンプレツサ側玉軸受8の制振機構として用
いられるが、水は潤滑油に比較して、粘性が低い
ので、スクイズフイルムの隙間を小かくするな
ど、若干の寸法の考慮で基本作用は油と同様に得
られる。いま粘性をμ、水フイルムダンパ10の
半径をR、水フイルム11の長さをL、水フイル
ム11の厚さをC、減衰値をDとすると、 D≒μπR(L/C)3 で与えられるので、粘性μが小さくなつた分だけ
水フイルム11の厚さCを小さくしてやればよい
のである。
7とコンプレツサ側玉軸受8の制振機構として用
いられるが、水は潤滑油に比較して、粘性が低い
ので、スクイズフイルムの隙間を小かくするな
ど、若干の寸法の考慮で基本作用は油と同様に得
られる。いま粘性をμ、水フイルムダンパ10の
半径をR、水フイルム11の長さをL、水フイル
ム11の厚さをC、減衰値をDとすると、 D≒μπR(L/C)3 で与えられるので、粘性μが小さくなつた分だけ
水フイルム11の厚さCを小さくしてやればよい
のである。
また水フイルム11は油フイルムと比較して、
上記のほかに、漏れ易いことと、蒸発し易いこと
に注意を払う必要がある。漏れ易にことに対して
は、水フイルムダンパ10の軸方向端面の軸受ハ
ウジング9との隙間を小さくして対処するが、漏
れを完全になくすことはできない。ただし、漏れ
た後の水は大きな害を及ぼすものではない。蒸発
したり漏れたりして、水フイルムダンパ10の外
周の水フイルム11がなくなつてしまつては、制
振効果は得られないので、運転中は常に保持する
必要がある。
上記のほかに、漏れ易いことと、蒸発し易いこと
に注意を払う必要がある。漏れ易にことに対して
は、水フイルムダンパ10の軸方向端面の軸受ハ
ウジング9との隙間を小さくして対処するが、漏
れを完全になくすことはできない。ただし、漏れ
た後の水は大きな害を及ぼすものではない。蒸発
したり漏れたりして、水フイルムダンパ10の外
周の水フイルム11がなくなつてしまつては、制
振効果は得られないので、運転中は常に保持する
必要がある。
このため、図示の例では、冷却水は、軸受車室
2の冷却水入口15に供給され、第1導水路18
と第2導水路19を通つて軸受ハウジング9の内
周面と水フイルムダンパ10の外周面の間に供給
され、ここで水フイルム11が形成される。これ
により、スクイズ効果を保つとともに、水フイル
ムダンパ10を介してタービン側玉軸受7とコン
プレツサ側玉軸受9が間接的に冷却される。また
軸受ハウジング9の内周面と水フイルムダンパ1
0の外周面の間に供給された冷却水は該ダンパ1
0の周囲を一循したのち、若干の圧力をもつて第
3導水路20から冷却水チヤンバ17に排出され
るので、前述の水漏れは非常に少ない。そのた
め、図示の過給機は横置ばかりでなく、縦型にし
ても使用できるので、エンジン搭載性が向上す
る。
2の冷却水入口15に供給され、第1導水路18
と第2導水路19を通つて軸受ハウジング9の内
周面と水フイルムダンパ10の外周面の間に供給
され、ここで水フイルム11が形成される。これ
により、スクイズ効果を保つとともに、水フイル
ムダンパ10を介してタービン側玉軸受7とコン
プレツサ側玉軸受9が間接的に冷却される。また
軸受ハウジング9の内周面と水フイルムダンパ1
0の外周面の間に供給された冷却水は該ダンパ1
0の周囲を一循したのち、若干の圧力をもつて第
3導水路20から冷却水チヤンバ17に排出され
るので、前述の水漏れは非常に少ない。そのた
め、図示の過給機は横置ばかりでなく、縦型にし
ても使用できるので、エンジン搭載性が向上す
る。
このように、タービン側玉軸受7とコンプレツ
サ側玉軸受8の、少なくともボールがセラミツク
製であるため、高温に耐え、かつ、両軸受7と8
が無給油式であつて間接的に水冷もされるため、
適当な冷却効果が得られるとともに、潤滑油を供
給する必要がなくなつて、潤滑油による従来のト
ラブルなどが全くなくなり、また水フイルムダン
パ10が水フイルム11を介して浮動状態に設け
られているので、両軸受7と8の振動を確実に制
振してタービン軸4の安定した回転が保証され
る。
サ側玉軸受8の、少なくともボールがセラミツク
製であるため、高温に耐え、かつ、両軸受7と8
が無給油式であつて間接的に水冷もされるため、
適当な冷却効果が得られるとともに、潤滑油を供
給する必要がなくなつて、潤滑油による従来のト
ラブルなどが全くなくなり、また水フイルムダン
パ10が水フイルム11を介して浮動状態に設け
られているので、両軸受7と8の振動を確実に制
振してタービン軸4の安定した回転が保証され
る。
なお上記実施例では、軸受が玉軸受の場合を示
したが、少なくともコロをセラミツク製にしたコ
ロ軸受でも同様にして実施することができる。ま
た冷却水の供給方法を上記実施例とは逆にしたい
場合は、軸受ハウジング9に冷却水入口aを設
け、その冷却水入口aに冷却水を適当な圧力で供
給すれば、やはり、水フイルム11が形成され、
水フイルムダンパ10の周囲を一循したのち、第
1導水路18と第2導水路19を逆に通つて、冷
却水入口15が冷却水出口となつて排出される。
また水フイルム11の水の一部を該軸受7と8に
直接導くために、水フイルムダンパ10に、該軸
受7と8に向けた小孔を設ける場合もある。
したが、少なくともコロをセラミツク製にしたコ
ロ軸受でも同様にして実施することができる。ま
た冷却水の供給方法を上記実施例とは逆にしたい
場合は、軸受ハウジング9に冷却水入口aを設
け、その冷却水入口aに冷却水を適当な圧力で供
給すれば、やはり、水フイルム11が形成され、
水フイルムダンパ10の周囲を一循したのち、第
1導水路18と第2導水路19を逆に通つて、冷
却水入口15が冷却水出口となつて排出される。
また水フイルム11の水の一部を該軸受7と8に
直接導くために、水フイルムダンパ10に、該軸
受7と8に向けた小孔を設ける場合もある。
考案の効果
本考案は、軸受が無給油式のころがり軸受であ
り、該軸受を支持しているダンパが水フイルムダ
ンパであるため、従来の浮動ブツシユ型すべり軸
受に比較して摩擦損失がきわめて小さく、さら
に、潤滑油を使用しないから、潤滑油により撹拌
損失がなくなるので、機械効率が飛躍的に向上
し、また給油のための油配管が不要となり、か
つ、油に伴なう従来のトラブルなどが全くなくな
るうえ、横型ばかりでなく、縦型にもすることが
できるので、据付が自由となる。しかも、少なく
とも軸受の転動体がセラミツク製であるため、耐
熱性が飛躍的に向上し、寿命の延長を図ることが
できる。また油を使用しないで水を使用するの
で、経済的でもある。
り、該軸受を支持しているダンパが水フイルムダ
ンパであるため、従来の浮動ブツシユ型すべり軸
受に比較して摩擦損失がきわめて小さく、さら
に、潤滑油を使用しないから、潤滑油により撹拌
損失がなくなるので、機械効率が飛躍的に向上
し、また給油のための油配管が不要となり、か
つ、油に伴なう従来のトラブルなどが全くなくな
るうえ、横型ばかりでなく、縦型にもすることが
できるので、据付が自由となる。しかも、少なく
とも軸受の転動体がセラミツク製であるため、耐
熱性が飛躍的に向上し、寿命の延長を図ることが
できる。また油を使用しないで水を使用するの
で、経済的でもある。
図は本考案の一実施例を示した一部切欠断面正
面図である。 4……タービン軸、7,8……玉軸受、9……
軸受ハウジング、10……水フイルムダンパ、1
1……水フイルム、18,19……導水路。
面図である。 4……タービン軸、7,8……玉軸受、9……
軸受ハウジング、10……水フイルムダンパ、1
1……水フイルム、18,19……導水路。
Claims (1)
- 高温回転機械の回転軸を回転可能に支持して少
なくとも転動体がセラミツク製からなる無給油式
のころがり軸受と、軸受ハウジング内に水フイル
ムを介して浮動状態に設けられて前記ころがり軸
受を支持している水フイルムダンパとを備え、か
つ、前記軸受ハウジングには、該軸受ハウジング
の内周面と該水フイルムダンパの外周面の間に前
記水フイルムを形成させる水を供給する導水路を
備えていることを特徴とする、高温回転機械の軸
受装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985165830U JPH034823Y2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985165830U JPH034823Y2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6275218U JPS6275218U (ja) | 1987-05-14 |
JPH034823Y2 true JPH034823Y2 (ja) | 1991-02-07 |
Family
ID=31096230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985165830U Expired JPH034823Y2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH034823Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2681182B2 (ja) * | 1987-12-15 | 1997-11-26 | 光洋精工株式会社 | 玉軸受 |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP1985165830U patent/JPH034823Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6275218U (ja) | 1987-05-14 |
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