JPH0337181A - 希土類金属と遷移金属とからなる巨大磁歪合金ロツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、音響素子、振動素子および固体アクチュエ
ーターの駆動素子等に使用される、磁歪量の大きい、希
土類金属と遷移金属とからなる巨大磁歪合金ロッドの製
造方法に関するものである。

〔従来の技術］ 近年、音響素子、振動素子、固体アクチュエーターの駆
動素子その他種々の磁歪材料用として、磁歪量の大きい
巨大磁歪合金ロッドが注目されており、一部は実用化さ
れている。

巨大磁歪合金として、米国特許Ｎｏ、４，３０８，４７
４に開示されている、下記からなる、ターフエノールと
呼ばれている合金が知られている。

ＴｂＸＤｙＶＦｅｚ 但し、Ｘ、Ｙ、Ｚは原子数比であって、Ｘ　：　０．２
５〜０．３５ Ｙ　：　０．６０〜０．８０ Ｚ　：　１．５〜２．Ｏｏ 上述した磁歪材料としてのＴ　ｂ　ｘ　Ｄ　ｙ　ｙ　ｐ
　６２合金は、通常円柱状のロッドに底形して使、用さ
れるが、その磁歪特性の向上のためには、溶融状態の前
記合金をロッド状に凝固させる際、または、前記合金の
ロッド状素材を熱処理して、その組織を、巨大磁歪特性
が生ずる、一方向的な凝固組織または単結晶にすること
が必要である。

特開昭５３−６４７９８号公報には、下記からなる、巨
大磁歪合金ロッドの製造方法が開示されている。

アーク溶解法により、上述したＴｂｘＤｙｙＦｅｚ合金
を型内において溶製しそして円柱形状のロッドに形成す
る。このようにして得られたロッド状素材を、その軸線
方向に移動させなから、その融点よりもやや低い温度に
より、全長にわたり熱処理して、その組織を、巨大磁歪
特性が生ずる一方向的な凝固組織に変える。かくして、
巨大磁歪合金ロッドが得られる。（以下、先行技術１と
いう）特開昭６２−１０９９４６号公報には、下記から
なる、巨大磁歪合金ロッドの製造方法が開示されている
。

ルツボによって、上述したＴｂｘＤＶＶＦｅｚ合金を溶
製し、そして、溶融状態の前記合金をロッド状に形成す
る。次いで、得られたロッド状素材を石英チャンバー内
に収容し、石英チャンバーを囲むように、その外周に垂
直方向に移動可能に配置した高周波加熱コイルにより、
前記ロッド状素材をその全長にわたり連続的に熱処理し
て、その組織を、巨大磁歪特性が生ずる一方向的な凝固
組織に変える。かくして、巨大磁歪合金ロッドが得られ
る。

（以下、先行技術２という） 一般的な磁歪合金ロッドの製造方法として、ブリッジマ
ン法と称されている下記からなる方法が知られている。

固体状の磁歪合金を、垂直方向に移動可能な、上端が開
放されそして下端が閉じられている円筒状のルツボ内に
収容し、前記ルツボを加熱機構により加熱して、前記ル
ツボ内の前記磁歪合金を溶融し、次いで、前記ルツボを
垂直方向に移動し、この間に前記ルツボを冷却して、前
記ルツボ内の溶融した磁歪合金をロッド状に凝固させそ
して結晶化させる。（以下、先行技術３という） 第６図は、上述のブリッジマン法に使用される装置の一
例を示す概略垂直断面図である。第６図において、１６
は垂直に配置された管状炉であって、管状炉１６の加熱
機構として、その外側を所定長さにわたって囲むように
、電気抵抗加熱器１７が設けられている。

管状炉１６内には、その上端にルツボ受け１８を有する
ルツボ支持軸１９が垂直方向に移動可能に配置されてい
る。ルツボ支持軸１９の下部は、管状炉１６の下端から
下方に突出しており、管状炉１６の下端には、ルツボ支
持軸１９との間の隙間に、Ｏリング等のシール材２０が
取付けられている。管状炉１６の上端は、図示しない蓋
によって開閉可能になっている。ルツボ受け１８上には
、円筒状のルツボ２１が載置されている。

ルツボ２１内に薄片状の磁歪合金を収容した上、電気抵
抗加熱器１７によってルツボ２１を加熱し、ルツボ２１
内の磁歪合金を溶融する０次いで、ルツボ支持軸１９に
よりルツボ２１を下方に移動し、ルツボ２１を冷却する
。かくして、ルツボ２１内の溶融状態の磁歪合金２４は
凝固し、磁歪合金ロッドが得られる。

第７図は、上述のブリッジマン法に使用される装置の他
の例を示す概略垂直断面図である。この例においては、
管状炉１６の加熱＠構として、その外側を所定長さにわ
たって囲むように、高周波加熱コイル２２が設けられて
いる。そして、高周波加熱コイル２２で囲まれた部分の
管状炉１６内には、カーボン、モリブデン、タンタル等
の高融点金属からなる筒状のサセプター２３が設けられ
ている。ルツボ２１は、高周波加熱コイル２２によって
加熱されたサセプター２３の輻射熱により加熱される。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した先行技術ｌには、次のような問題がある。

（１）　　アーク溶解法によって円柱状のロッドを調製
することは容易ではなく、その歩留りも悪い。

（２）　　アーク溶解により型内において溶製されたＴ
ｂ＊ＤｙｖＰｅｚ合金は、溶解後、型内において急速に
冷却されてロッドとなる。ＴｂｘＤｙｙＦｅｚ合金から
なるロッドは、一般に脆弱である。従って、上述した型
内における急速な冷却時に、前記ロッドに多くの割れが
発生しやすい。

（３）　　ロッド状素材に対し、その融点よりもやや低
い温度により熱処理を施して、その組織を、一方向力的
な凝固組織に変える効率が極めて悪い。

上述した先行技術２には、次のような問題がある。

（１）　　先行技術２によって製造し得るＴｂｘＤｙＪ
６ｚ合金ロッドの最大直ロッ約１０ｍａ＋である。即ち
、溶融状態のＴｂ、ＤｙｙＦｅ、合金の表面張力は小さ
く且つその密度は大きい。従って、前記合金のロッド状
素材を高周波加熱コイルによって加熱したときに、その
直径が約１０ｍｍを超えると、溶融状態を保持すること
ができなくなり、液滴の落下が生ずる。

前記合金のロッド状素材を高周波加熱コイルにより加熱
したときに溶融状態を保持し得る、ロッド状素材の直径
の限界は、上述した表面張力および密度のほか、高周波
加熱コイルの周波数およびその出力電力にもよるが、本
発明者等の経験によれば、これらの要因を考慮しても、
最大１０叩である。

上述した先行技術３によれば、直径がＩＯＭ超の大径の
磁歪合金ロッドが得られるが、一方、先行技術３には、
次のような問題がある。

第６図および第７図から明らかなように、電気抵抗加熱
器１７、または、サセプター２３を介し高周波加熱コイ
ル２２で加熱された、ルツボ２１内の溶融状態の磁歪合
金２４は、ルツボ２１の移動と共に冷却されて凝固する
。その際に、磁歪合金２４の熱は、その中心から外周に
向って流れ、第６図および第７図に矢印で示すような、
外側に向けた斜め下方の熱演となる。この結果、溶融状
態の磁歪合金２４と、凝固した磁歪合金２４′との界面
は、凝固した磁歪合金２４′側において凹状となり、凝
固した磁歪合金２４′は、その中心から外側に向けた斜
め下方の結晶＆［Ｉ織となって、＄−Ｑ向的な凝固組織
とはならない、従って、磁歪量の大きい巨大磁歪合金ロ
ッドを得ることができない。

近年、大出力の巨大磁歪合金ロッドの要求が多く、この
要求に応えるためには、ＴｂｘＤｙｖＦｅｚ合金ロッド
の大径化がロッ欠である。

従って、この発明の目的は、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｆｅ、合金（
但し、ｘ、ｙ、ｚは原子数比であって、Ｘ　：　０．２
５〜０．３５．　　Ｙ　：　０．５０〜０．８０．　　
Ｚ　：　１．５〜２．０）のように、少なくともディス
プロシウム（Ｄｙ）とテルビウム（Ｔｂ）を含む２種類
以上の希土類金属と、１種類以上の遷移金属とからなる
、直径１０圏超の大径で且つ高特性の巨大磁歪合金ロッ
ドを、割れ等が生ぜず、容易に安定して歩留り高く製造
するための方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

この発明は、固体状の磁歪合金素材を、垂直方向に移動
可能な、上端が開放されそして下端が閉じられている円
筒状のルツボ内に収容し、前記ルツボを加熱ｍ構により
加熱して、前記ルツボ内の前記磁歪合金素材を溶融し、
次いで、前記ルツボを垂直方向に移動し、この間に前記
ルツボを冷却して前記ルツボ内の溶融した磁歪合金素材
をロッド状に凝固させそして結晶化させることからなる
、磁歪合金ロッドの製造方法において、 前記磁歪合金素材として、少なくともディスプロシウム
（Ｄｙ）およびテルビウム（Ｔｂ）を含む２種類以上の
希土類金属と、１種類以上の′ａ移金金属からなる合金
製のロッド状素材を使用し、前記加熱機構として、前記
ルツボを囲むように配置された高周波の周波数が０．１
から３　Ｍｌ（ｚの範囲内であり、且つ、その内径が前
記ルツボの外径の１．１〜１．６倍である環状の高周波
加熱コイルを使用し、 前記ルツボ内に前記合金からなるロッド状素材を挿入し
、０．２から１０気圧の範囲内の圧力に保たれた不活性
ガス雰囲気下において、前記高周波加熱コイルにより、
前記ルツボ内の前記ロッド状素材を局部的に加熱してこ
れを溶融し、前記ルツボを、０，２から８．５　ｍＩｌ
／ｗｉｎの速度で下方に移動し、そして、前記ロッド状
素材を前記ルツボの移動速度に対応する所定速度で下方
に移動し、かくして、溶融状態の前記ロッド状素材を連
続的に凝固させ、一方向的な凝固組織または単結晶にす
ることに特徴を有するものである。

次に、この発明を、図面を参照しなから説明する。

第１図は、この発明の方法を実施するための装置の一例
を示す概略垂直断面図である。第１図において、１は、
セラ藁ツクス製の、上端が開放されそして下端が閉じら
れている円筒状のルツボである。ルツボｌは、図示しな
い駆動機構により、垂直方向に移動可能且つその軸線を
中心として回転可能なルツボ支持軸２の上端に設けられ
た、窒化ボロン製のルツボ受け３上に載置されている。

ルツボ１の下部１ａは、３０から１００度の角度で円錐
状に形成されており、ルツボ受け３の上面には、上述し
た円錐状の下部１ａが装入される凹部が形成されている
。

上述のように、ルツボ１の下部１ａを円錐状に形成する
ことは、下部ｌａ内において微小結晶の核を生成せしめ
、生成した微小結晶の核を成長させて単結晶を育成する
上において好ましい。

円錐状の下部１ａの角度は、３０から１００度の範囲内
に限定することが好ましい。前記角度が３０度未満では
、円錐状の下部１ａの長さが長くなる０円錐状の下部１
ａ内で形成された円錐状のロッドは切り捨てなければな
らない。従って、上述のように円錐状の下部１ａの長さ
が長くなると、製品歩留りの低下を招く。一方、前記角
度が１００度を超えると、上述した単結晶育成の効果が
失われる。

ルツボ１の円錐状に形成された下部１ａの下端に、例え
ば、直径ｌ〜５ａｍ、深さ１０〜５０閤の細穴１ｂを設
け、細穴１ｂ内に単結晶を育成するための種結晶１５を
充填してもよい、磁歪特性がもっとも優れている＜　１
１１　＞方位に結晶を配向させるために、使用する種結
晶１５として、＜　１１１　＞方位の種結晶を使用する
ことが好ましい。種結晶１５を充填せずに凝固させると
、＜１１２＞方位の結晶が優先的に成長する。従って、
　＜　１１２　＞方位の種結晶を充填してもよい。

４は、ルツボｌ内にその下半部が挿入されている、Ｔｂ
ＸＤｙｙＦｅｚ合金（但し、Ｘ、ＹおよびＺは原子数比
Ｔ！　１　つ”’Ｃ１Ｘ　：　０．２５〜０．３５．　
Ｙ　：　０．６０〜０．８０．　　Ｚ　：１．５〜２．
０）のような、少なくともディスプロシウム（Ｄｙ）と
テルビウム（Ｔｂ）を含む２種類以上の希土類金属と、
１種類以上の遷移金属とからなる合金製の、円柱状のロ
ッド状素材である。

ロッド状素材４の上部は、チャック５を介し、図示しな
い駆動機構の駆動軸６に接続されている。

ロッド状素材４は、駆動軸６により、垂直方向に移動可
能且つその軸線を中心として回転可能である。

ルツボ１を囲む所定位置に、ルツボ１内のロッド状素材
４を加熱するための、環状の高周波加熱コイル７が配置
されている。高周波加熱コイル７は、停止状態のルツボ
１内のロッド状素材４を、局部的に加熱する。高周波加
熱コイル７の高周波の周波数は、０．１から３　ＭＨｚ
の範囲内とすべきである。周波数が０．１旧１２未満で
は、停止状態のルツボｌ内のロッド状素材４を、局部的
に加熱することができない。一方、周波数が３ＭＩＩｚ
を超えると、電気的ロスが大になる。高周波加熱コイル
７の内径は、ルツボｌの外径の１．１から１．６倍の範
囲内とすべきである。高周波加熱コイル７の内径がルツ
ボｌの外径の１．６倍を超えると、停止状態のルツボ１
内のロッド状素材４を、局部的に加熱することができな
い。一方、高周波加熱コイル７の内径がルツボ１の外径
の１．１　倍未満では、ルツボ１を円滑に移動させるた
めの間隙が得られない。

第２図は、高周波加熱コイル７の一例を示す斜視図、第
３図は、第２図のＡ−Ａ線断面図である。

この例においては、高周波加熱コイル７は、中央に孔７
ａが形成された円盤状であり、その内部には冷却水の循
環孔８が設けられている。

第４図は、高周波加熱コイル７の他の例を示す斜視図、
第５図は、第４図のＢ−Ｂ線断面図である。この例にお
いては、高周波加熱コイル７は、中央に孔９ａが形成さ
れた円盤状の短絡板９と、短絡板９の下面に絶縁板１１
を介して取り付けられた渦巻状コイル１０とからなって
いる。短絡板９の内部には、冷却水の循環孔８が設けら
れている。

ルツボ１の移動速度は、０．２から８　、５　ｍ　／　
ｍ　ｉ　ｎの範囲内とすべきである。ルツボｌの移動速
度が０　、２　ａｍ　／　ｍ　ｉ　ｎ未満では、生産性
を阻害し、実操業上問題が生ずる。一方、ルツボ１の移
動速度が８．５ｍ　／　ｔａ　’ｒ　ｎを超えると、溶
融状態のロッド状素材４を、同一方向の単結晶組織に凝
固させることはできない。

ロッド状素材４は、ルツボ１の移動速度に対応する所定
速度、即ち、ルツボ１の内容積に対して、ロッド状素材
４の熔融量が過不足にならないような速度で、駆動軸６
により移動させることが必要である。

即ち、定常状態におけるルツボ１の移動速度を■９、ル
ツボｌの内径をＲ１ロッド状素材４の直径をＲ８とした
とき、ロッド状素材４の移動速度■２を、下記式で求め
られる値に制御すれば、ロッド状素材４の溶融量が過不
足にならず、所定径の巨大磁歪合金ロッドを製造するこ
とができる。

Ｖ　ｚ　＝　Ｖ　＋　Ｒ＋　”　／　Ｒｚなお、このと
き、高周波加熱コイルの出力も、ロッド状素材４の溶融
量が過不足にならないように制御する必要がある。

上述のようにして、高周波加熱コイル７によりルツボｌ
内のロッド状素材４を直接局部的に加熱し、且つ、ルツ
ボｌおよびロッド状素材４を所定速度で下方に移動させ
ることにより、ロッド状素材４は局部的な溶融と凝固と
が連続的に進行し、溶融部分４ａと凝固部分４ｂとの界
面は、凝固部分４ｂ側において凸状となり、そして、凝
固部分４ｂは、同一方向の単結晶＆ｌｌ織となる。

上述した溶融部分４ａと凝固部分４ｂとの界面の形状お
よび界面付近の温度勾配が不適切で、満足し得る結晶［
＋１が得られない場合には、高周波加熱コイル７の下方
に、ルツボ１を囲むように、銅製で水冷構造のショーテ
イングリング１２を設けてもよい。

上述したルツボｌ、ルツボ支持ロッド２、ロッド状素材
４、高周波加熱コイル７等は、密閉された室１３内に収
容されており、室１３内は不活性ガス雰囲気に保たれて
いる。

即ち、この発明において使用するＴｂ、１ＤｙｙＦｅｚ
合金（但し、Ｘ、Ｙ、およびＺは原子数比であって、ｘ
：ｏ、２ｓ〜０．３５．　　Ｙ　：　０．６０〜０．８
０．　　Ｚ　：　１．５〜２．０）のような、少なくと
もディスプロシウム（Ｄｒ）とテルビウム（Ｔｂ）を含
む２種類以上の希土類金属と、１種類以上の遷移金属と
からなる合金は、極めて活性である。従って、ルツボｌ
内の磁歪合金の溶融、凝固および結晶化を、不活性ガス
雰囲気下において行なうことが不可欠である。室１３の
雰囲気圧力は、０．２から１０気圧の範囲内に限定すべ
きである。雰囲気圧力が０．２気圧未満では、溶融した
前記合金が蒸発して、その成分組成が変動する問題が生
ずる。一方、雰囲気圧力が１０気圧を超えると、その操
作および安全上から問題が生ずる。

ＴｂｘＤｙｙＦｅｚ合金は、上述したように極めて・活
性であるから、このような合金を溶融しそして結晶化さ
せるためのルツボ１の材質として、熱分解窒化ボロン（
Ｐ−ＢＮ）　、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化イツト
リウム（ＹｚＯｓ）、酸化ジルコニウム（Ｚ「０□）お
よび酸化マグネシウム（ＭｇＯ）の少なくとも１つを主
成分とするセラミックスを使用することが望ましい。

前述したように、ロッド状素材４の溶融および凝固が適
切に行なわれるように、ルツボ１およびロッド状素材４
の移動速度を制御することが必要である。このために、
赤外線カメラ１４を設置し、赤外線カメラ１４によって
、ロッド状素材４の溶融状態を監視することが好ましい
。窒化ボロン製のルツボ１は、赤外線を通すから、赤外
線カメラ１４によれば、ロッド状素材４の溶融部分４ａ
を画像として見ることができる。なお、上述の画像を処
理したデータを、ルツボ１およびロッド状素材４の移動
機構にフィードバックし、その少なくとも一方の移動速
度を自動的に制御することも可能である。

次に、この発明を、実施例により更に詳細に説明する。

〔実施例］ 原子数比でＴｂｏ、　ｓＤ’！ｏ、　Ｊｅ＋１からなる
成分ｍ戒の磁歪合金を、アーク溶解法によって溶製し、
直径２５ａｍ＋、長さ２５００１１６のロッド状素材４
を調製し、得られたロッド状素材４を、第１図に示す装
置によって溶解しそして凝固させた。

即ち、アルゴンガス雰囲気で２気圧に保たれた室１３内
に、内径３２ａａ、外径３４謹、長さ２００ｍで、その
下部１ａが６０度の角度の円錐状に形成され、且つ、下
端に直径３．５１１Ｉ１１、長さ２５ｍｍの細穴１ｂを
有する窒化ボロン製のルツボ１をセットした。

高周波加熱コイル７として、第２図および第３図に示す
、内径：４０閣、周波数：　１．２ＭＨｚ、出カニ　１
８．５＋［Ｈの円盤状コイルを使用した。

ルツボ１の細穴１ｂ内に、直径３閤、長さ２５閣の１１
１方位の種結晶１５を充填した上、その上部が駆動軸６
によって支持されているロッド状素材４を、ルツボ１内
に挿入した。そして、種結晶１５が充填された細穴１ｂ
部分が高周波加熱コイル７の直下に、そして、ルツボ１
内のロッド状素材４の下端が高周波加熱コイル７よりも
やや上方に位置するように、ルツボ１および高周波加熱
コイル７を位置させた。

高周波加熱コイル７に通電し、ロッド状素材４の下部を
溶解させた後、ロッド状素材４を僅かに降下させ、細穴
１６内の種結晶１５に溶着させた。

次いで、ルツボ１を、２．４　ｍｍ／＋ｉｎの速度で降
下させ且つ時計回りに５　ｒ、ｐ、ｍの回転数で回転さ
せた。

そして、ロッド状素材４を、３．９　ｍｍ／ｌｌｌ１ｎ
の速度で降下させ且つ反時計回りに２　ｒ、ｐ、ｍの回
転数で回転させた。

赤外線カメラ１４によって、ロッド状素材４の溶融状態
を監視し、ロッド状素材４の降下速度を微調整した。な
お、ショーテイングリング１２は使用しなかった。

かくして、ルツボｌ内のロッド状素材４は溶融し次いで
凝固し、＜　１１１　＞位の単結晶組織からなる極めて
高い磁歪特性を有する、巨大磁歪合金ロッドを製造する
ことができた。

上述した実施例においては、ロッド１の細穴１ｂ内に、
　＜　１１１　＞方位の種結晶１５を充填したが、種結
晶は必ずしも使用しなくてもよい。即ち、この発明で使
用するロッド状素材４の成分であるＴｂＸＤｙｙＦｅｚ
合金は、優先的に＜１１２＞方位の結晶が族長する。＜
１１２＞方位の結晶は、もっとも磁歪特性の良好なく　
１１１　＞方位の結晶に近似している。従って、＜１１
１　＞方位の種結晶を使用しなくても、＜１１２＞方位
の単結晶組織からなる、はぼ満足し得る磁歪特性を有す
る巨大磁歪合金ロッドを製造することができる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、この発明によれば、ルツボ内におい
て、ＴｂＸＤｙｙＦｅｚ合金のような、少なくともディ
スプロシウム（Ｄｙ）とテルビウム（Ｔｂ）を含む２種
類以上の希土類金属と、１種類以上の遷移金属とからな
る合金製のロッド状素材を、高周波による直接加熱によ
って溶解し次いで前記ルツボ内において凝固させ、ロッ
ド状にするものであるから、その直径が１０ａｍ超の大
径であっても液滴の落下が生せず、且つ、その組織を巨
大磁歪特性が生ずる一方向的な凝固組織または単結晶に
することができ、直径１０ｍｍ超の大径で且つ高特性の
巨大磁歪合金ロッドを、割れ等が生ぜず容易に安定して
歩留り高く製造し得る工業上有用な効果がもたらされる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の方法を実施するための装置の一例を
示す概略垂直断面図、第２図はこの発明において使用す
る高周波加熱コイルの一例を示す斜視図、第３図は第２
図のＡ−Ａ線断面図、第４図はこの発明において使用す
る高周波加熱コイルの他の例を示す斜視図、第５図は第
４図のＢ−Ｂ線断面図、第６図および第７図は従来の方
法に使用される装置の一例を示す概略垂直断面図である
０図面において、 １・・・ルツボ、 １ｂ・・・ルツボの細穴、 ３・・・ルツボ受け、 ５・・・チャック、 ７・・・高周波加熱コイル、 ９・・・短絡板、 １１・・・絶縁板、 １２・・・シボ−ティ １３・・・室、 １５・・・種結晶、 １７・・・電気抵抗加熱器、 １９・・・ルツボ支持軸、 ２１・・・ルツボ、 ２３・・・サセプター ングリング、 １４・・・赤外線カメラ、 １６・・・管状炉、 １８・・・ルツボ受け、 ２０・・・シール材 ２２・・・高周波加熱コイル、 ２４．２４′・・・磁歪合金。 １ａ・・・ルツボの下部、 ２・・・ルツボ支持軸、 ４・・・ロッド状素材、 ６・・・駆動軸、 ８・・・冷却水循環孔 １０・・・渦巻状コイル、

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　固体状の磁歪合金素材を、垂直方向に移動可能な、
   上端が開放されそして下端が閉じられている円筒状のル
   ツボ内に収容し、前記ルツボを加熱機構により加熱して
   、前記ルツボ内の前記磁歪合金素材を溶融し、次いで、
   前記ルツボを垂直方向に移動し、この間に前記ルツボを
   冷却して前記ルツボ内の溶融した磁歪合金素材をロッド
   状に凝固させそして結晶化させることからなる、磁歪合
   金ロッドの製造方法において、 前記磁歪合金素材として、少なくともディスプロシウム
   （Ｄ＿ｙ）およびテルビウム（Ｔｂ）を含む２種類以上
   の希土類金属と、１種類以上の遷移金属とからなる合金
   製のロッド状素材を使用し、 前記加熱機構として、前記ルツボを囲むように配置され
   た、高周波の周波数が０．１から３ＭＨｚの範囲内であ
   り、且つ、その内径が前記ルツボの外径の１．１〜１．
   ６倍である環状の高周波加熱コイルを使用し、 前記ルツボ内に前記合金からなるロッド状素材を挿入し
   、０．２から１０気圧の範囲内の圧力に保たれた不活性
   ガス雰囲気下において、前記高周波加熱コイルにより、
   前記ルツボ内の前記ロッド状素材を局部的に加熱してこ
   れを溶融し、前記ルツボを、０．２から８．５ｍｍ／ｍ
   ｉｎの速度で下方に移動し、そして、前記ロッド状素材
   を前記ルツボの移動速度に対応する所定速度で下方に移
   動し、 かくして、溶融状態の前記ロッド状素材を連続的に凝固
   させ、一方向的な凝固組織または単結晶にすることを特
   徴とする、希土類金属と遷移金属とからなる巨大磁歪合
   金ロッドの製造方法。 ２　前記ルツボとして、その下部が３０から１００度の
   角度の円錐状に形成された、セラミックス製のルツボを
   使用する、請求項１記載の製造方法。 ３　前記ルツボの前記円錐状の下端に細穴を設け、前記
   細穴内に、〈１１１〉方位および〈１１２〉方位のいず
   れかの種結晶を充填する、請求項２記載の製造方法。 ４　前記ルツボが、熱分解窒化ボロン（Ｐ−ＢＮ）、酸
   化カルシウム（ＣａＯ）、酸化イットリウム（Ｙ＿２Ｏ
   ＿３）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ＿２）および酸化マ
   グネシウム（ＭｇＯ）の少なくとも１つを主成分とする
   セラミックス製である、請求項１から３の何れか１つに
   記載の製造方法。 ５　前記ロッド状素材を、下記式によって求められる速
   度によって移動する、請求項１記載の製造方法。 Ｖ＿２＝Ｖ＿１Ｒ＿１＾２／Ｒ＿２＾２ 但し、Ｖ＿１：ルツボの移動速度、 Ｖ＿２：ロッド状素材の移動速度、 Ｒ＿１：ルツボの内径、 Ｒ＿２：ロッド状素材の直径。 ６　前記ロッド状素材の溶融状態を赤外線カメラによっ
   て監視し、その溶融状態によって、前記ルツボおよび前
   記ロッド状素材の少なくとも一方の移動速度を制御する
   、請求項１記載の製造方法。