JPH03251801A - 反射防止膜 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は反射防止膜に関する。

［従来の技術］ 反射防止膜はレンズやプリズム等の透明な光学部品の表
面による反射を防止するために用いられ、従来から種々
のものが提案されている。

可視光領域で比較的に低く且つ平坦な反射率を持つ反射
防止膜としては従来から、中心波長λに対しλ／２の光
学的厚さを持った層を、λ／４の光学的厚さをもった層
で挟むようにした３層構造のものが知られている（特開
昭５８−６０７０１号公報）。

また近来、プラスチックレンズを初めとしてプラスチッ
クの光学部品が広く実用化されつつあるがプラスチック
の光学部品は帯電しやすく、微塵等が静電的に吸着され
て汚れやすいという問題がある。

このような帯電の問題を解消するために上記３層構造の
反射防止膜の真中の層を、Ｉｎ２Ｏ３，ＩＴＯ，５ｎ０
２、ＺｎＯ等の導電性材料で形成することが提案されて
いる（特開平１−１８０５０１号公報）。

［発明が解決しようとする課題］ 上記３層構造の反射防止膜は、真中の層の光学的厚さが
中心波長λ。の１／２倍と大きく、この層を形成するの
に長時間を要し、結果的に反射防止膜形成のコストが高
くなる。

また帯電防止のために上記真中の層に導電性の材料を用
いると、この真中の層の光吸収率が大きくなるため光学
部品の光透過率は６０〜７０％程度と低くなり反射防止
膜の効果を十分に生かすことができない。

本発明は上述した事情に艦みてなされたものであって、
比較的低コストで作製でき、しかも光学部品の帯電の問
題を有効に解決でき、尚且つ可視光全領域で良好な反射
防止機能を持つ新規な反射防止膜の提供を目的とする。

［課題を解決するための手段］ 以下、本発明を説明する。

本発明の反射防止膜は「１．４〜１．９の範囲内の屈折
率を有する透明な光学部品の入射面および／または射出
面に設けられる反射防止膜」であって、光学部品の表面
側から順次、第１乃至第３層を積層してなる。従って第
１層は光学部品表面に接し、第３層は空気に接する。

「第１層」は屈折率１．２〜１．９の低屈折率材料によ
り光学的厚さが、中心波長をλ０として（λ。／４）の
１．０〜１．６倍であるように形成される。

「第２層」は金属を含み屈折率１．５〜２．５の高屈折
率材料により光学的厚さが、（λ。／４）の０．１〜１
．５倍であるように形成される。

「第３層Ｊは屈折率１．２〜１．９の低屈折率材料によ
り光学的厚さが（λ。／４）の０．９〜１．６倍である
ように形成される。

本発明の反射防止膜は、一般には光学部品の入射面と射
出面とに設けられる。このようにすることにより光学部
品の光透過率を高めることができる。光学部品の用途に
よっては入射面・射出面のうちの一方にのみ設ける場合
もあり得る。また光学部品がコーナーキューブのような
場合には入射面が同じに射出面であるのでこの場合は射
出面を兼ねた入射面に設けることになる。

［作　　用］ 本発明の反射防止膜は上述のように３層構造であるが、
各層の光学的厚さは中心波長λ。の１／４倍を単位とし
て平均して上記単位の０．１〜１．６倍程度であるから
各層の形成に然程の長時間を要しない。

また第２層は金属を含む材料で構成されるから反射防止
膜を低電気抵抗に形成できる。

本発明の反射防止膜の基本的構成を第１．第３図と第５
図を参照して具体的に説明する。

第１図で、符号１は透明な平行平板を示す。この平行平
板は具体的には屈折率１．４９の透明ポリメチルメタア
クリレート（以下ＰＭＭＡと略記する）で形成されてい
る。

平行平板１の両面には本発明の反射防止膜８゜９が形成
されている。これら反射防止膜８，９は３層構造であり
、反射防止膜８は第１層２．第２層３．第３層４により
構成され、反射防止膜９は第１層５．第２層６．第３層
７により構成されている。

第１層２．５は、屈折率１．５〜１．８の屈折率を持つ
ＳｉＯを材料として形成され光学的厚さは中心波長λ。

＝４２０〜４３０ｎｍに対して（λ。／４）の１．３〜
１．４倍に形成される。

なお第１層の材料中には主材料たるＳｉＯの他に８１が
混入しており、このＳｉの混入量の変動により屈折率が
１．５〜１．９の範囲で変動する。

第２層３，６は屈折率１．９５〜２．０５を持ツ■ｎ２
０３の薄膜であり、光学的厚さは中心波長λ。＝４００
〜６００ｎｍに対しくλ。／４）の０．１〜１．５倍で
ある。

第２層の材料が「金属」を含むとは、このような酸化物
の形で含む場合をも包含する。

第３層４，７は屈折率１．２〜１．５の屈折率を持つ５
１０２を材料として形成され光学的厚さは中心波長λｏ
・５４０〜５６０ｎｍに対して（λ。／４）の０．９〜
１．２倍に形成される。

従って屈折率の大小関係は、第１層が低屈折率、第２層
が高屈折率、第３層が低屈折率である。

第１図のように反射防止膜８，９を形成されたＰＭ島の
平行平板に光を照射した場合の分光反射率は第３図に示
す如くであり、分光透過率は第５図に示す如くである。

これらの図から明かなように、可視光の全域にわたって
反射率は１％以下、透過率は９８％以上である。表面電
気抵抗率は１０８Ω／口以下である。

［実施例コ 以下、具体的な実施例を説明する。

第２図に於いて符号１１はＰＭＭＡで形成されたレンズ
を示している。

レンズ１１の両面に反射防止膜１８．１９が形成されて
いる。

反射防止膜１８は、第１層１２．第２層１３．第３層１
４により構成され、反射防止膜１９は、第１層１５．第
２層１６．第３層１７により構成されている。

第１層１２．１５は、屈折率１．６０〜１．８０の屈折
率を持つＳｉＯを材料として形成され光学的厚さは中心
波長λ。＝４２０〜４３０ｎｍに対して（λ（、／４）
の１．３〜１．５倍に形成される。

第２層１３．１６は屈折率１．９５〜２．０５を持つＩ
ｎ２Ｏ：＋の薄膜であり、光学的厚さは中心波長λ。＝
４００〜６００ｎｍに対しくλ。／４）の０．３〜０．
５倍である。

第３層１４．１７は屈折率１．３０〜１．５０の屈折率
を持つＳｉＯ□を材料として形成され光学的厚さは中心
波長λ。＝５４０〜５８００ｍに対して（λ。／４）の
１．０〜１．２倍に形成される。

この実施例光学部品に於ける分光反射率を第４図に示す
。

可視光の広範な領域に於いて反射率は１％以下である。

またこの実施例でも透過率は可視光の広範な領域で９８
％以上で、表面電気抵抗率は１０８Ω／四以下であった
。

［発明の効果〕 以上、本発明によれば新規な反射防止膜を提供できる。

この反射防止膜は上記の如く構成されているから、低コ
ストでの作製が可能であり、光学部品の帯電を良好に防
止でき、尚且つ可視光の広範な領域で極めて高い透過率
と良好な反射防止機能とを実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の反射防止膜の基本構成を説明するため
の図、第２図は本発明の１実施例を説明するための図、
第３図及び第４図は第１図及び第２図に対応した分光反
射率特性を示す図、第５図は第１図に対応した分光透過
率特性を示す図である。 １１、、、光学部品としてのＰＭＭＡのレンズ、１８．
１９．　、　。 反射防止膜、１２．１５．　、　、第１層、１３，１６
．、、第２層、ｈδ 図 艮１年（％） 馬 図 反亭μ！ｙ、） ００ ．５００ ００ ００ 漫を値ｍ） 透過教％） 崖 ρ 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．４〜１．９の範囲内の屈折率を有する透明な光学部
   品の入射面および／または射出面に設けられる反射防止
   膜であつて、 光学部品の表面側から順次、第１乃至第３層を積層して
   なり、 第１層は屈折率１．２〜１．９の低屈折率材料により光
   学的厚さが、中心波長をλ＿０として（λ＿０／４）の
   １．０〜１．６倍であるように形成され、 第２層は金属を含み屈折率１．５〜２．５の高屈折率材
   料により光学的厚さが、（λ＿０／４）の０．１〜１．
   ５倍であるように形成され、 第３層は屈折率１．２〜１．９の低屈折率材料により光
   学的厚さが（λ＿０／４）の０．９〜１．６倍であるよ
   うに形成されたことを特徴とする、反射防止膜。