JPH03216566A - Ｃｃｄリニアイメージセンサのテスト装置 - Google Patents
Ｃｃｄリニアイメージセンサのテスト装置Info
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- JPH03216566A JPH03216566A JP2012241A JP1224190A JPH03216566A JP H03216566 A JPH03216566 A JP H03216566A JP 2012241 A JP2012241 A JP 2012241A JP 1224190 A JP1224190 A JP 1224190A JP H03216566 A JPH03216566 A JP H03216566A
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- image sensor
- linear image
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- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 9
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 3
- 239000000872 buffer Substances 0.000 abstract description 12
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はＣＯＤ（電荷結合素子）リニアイメージセン
サの出力値のばらつきを画素単位でテストするＣＯＤリ
ニアイメージセ／サのテスト装置に関するものである。
サの出力値のばらつきを画素単位でテストするＣＯＤリ
ニアイメージセ／サのテスト装置に関するものである。
第４図は、例えば現在実用化されているＣＯＤリニアイ
メージセンサの電気的，光学的特性を示す図であり、２
１は感度不均一特性（以下、ＰＲＮＵと略称）の値、２
２は前記ＰＲＮＵを定義した注意である。
メージセンサの電気的，光学的特性を示す図であり、２
１は感度不均一特性（以下、ＰＲＮＵと略称）の値、２
２は前記ＰＲＮＵを定義した注意である。
次に、ＰＲＮＵ２１Ｋついて概要を説明する。
注意２２に記述のよ５Ｋ平均出力振幅値又と最大（又は
、最小）出力画素の振幅値マとの差の絶対値１Δｘ１は
最大１０チと規定されている為、感光面に一様な光があ
たった時、平均出力振幅値Ｘｋ対して±５俤の出力ばら
つきが発生することになる。
、最小）出力画素の振幅値マとの差の絶対値１Δｘ１は
最大１０チと規定されている為、感光面に一様な光があ
たった時、平均出力振幅値Ｘｋ対して±５俤の出力ばら
つきが発生することになる。
このばらつきの現象は、実際の素子の場合、感光面に一
様な光を当てると第２図に示すようになだらかな曲線と
なって現れる場合もあれば、第３図に示すように周波数
の高いスパイク状の波形となって現れる場合もある。
様な光を当てると第２図に示すようになだらかな曲線と
なって現れる場合もあれば、第３図に示すように周波数
の高いスパイク状の波形となって現れる場合もある。
従来のＣＯＤリニアイメージセンサの感度不均一性（
Ｐ ＲＮＵ ）は以上のような特性を有しているので、
ＣＯＤリニアイメージセンサの用途がファクシミリ等の
ように２値読取りなどの場合には、実出力値に多少ばら
つきがあっても、機能上、特に問題とはならないが、高
階調のイメージスキャナ等でＣＯＤリニアイメージセン
サを使用する場合等にはスパイク状のばらつきが発生す
ると出力画面には低振幅ではあるが、明確に階調の段差
が現われ、画質が著しく低下するという課題があった。
Ｐ ＲＮＵ ）は以上のような特性を有しているので、
ＣＯＤリニアイメージセンサの用途がファクシミリ等の
ように２値読取りなどの場合には、実出力値に多少ばら
つきがあっても、機能上、特に問題とはならないが、高
階調のイメージスキャナ等でＣＯＤリニアイメージセン
サを使用する場合等にはスパイク状のばらつきが発生す
ると出力画面には低振幅ではあるが、明確に階調の段差
が現われ、画質が著しく低下するという課題があった。
また、装置に組込んだ後で、このばらつきを発見し、セ
ンサを交換しようとしても光学的な制約や機構的な制約
で交換が容易でない等の課題があった。
ンサを交換しようとしても光学的な制約や機構的な制約
で交換が容易でない等の課題があった。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、ＣＣＤリニアイメージセンサを機器に組込む前
に、七〇〇〇Ｄリニアイメージセンサがスパイク状の感
度ばらつきの特性を持ったものであるか否かを自動的に
判定できるＣＣＤＩＪニアイメージセンサのテスト装置
を得ることを目的とする。
もので、ＣＣＤリニアイメージセンサを機器に組込む前
に、七〇〇〇Ｄリニアイメージセンサがスパイク状の感
度ばらつきの特性を持ったものであるか否かを自動的に
判定できるＣＣＤＩＪニアイメージセンサのテスト装置
を得ることを目的とする。
この発明に係るＣＯＤリニアイメージセンサのテスト装
置は、均等な光をＣＯＤリニアイメージセンサに当てた
時の画像出方データをディジタル変換して画素単位ＩＣ
Ｊ１次格納する第１及び第２のデータ格納手段と、前記
第１のデータ格納手段のデータと第２のデータ格納手段
に格納されたそれ以前のデータとを比較するコンパレー
タと、そのコンパレータから出力された異常信号により
異常画素情報を出力する表示器等をもって構成され、画
素単位にスパイク状の感度ばらつきをテストするように
したものである。
置は、均等な光をＣＯＤリニアイメージセンサに当てた
時の画像出方データをディジタル変換して画素単位ＩＣ
Ｊ１次格納する第１及び第２のデータ格納手段と、前記
第１のデータ格納手段のデータと第２のデータ格納手段
に格納されたそれ以前のデータとを比較するコンパレー
タと、そのコンパレータから出力された異常信号により
異常画素情報を出力する表示器等をもって構成され、画
素単位にスパイク状の感度ばらつきをテストするように
したものである。
この発明における第１、及び第２のデータ格納手段は均
等な光をＣＯＤリニアイメージセンナに当てた時に出力
される画素データを画素単位に順次格納するもので、そ
の格納されたデータは、後段のコンパレータに与えられ
差分が取出される。
等な光をＣＯＤリニアイメージセンナに当てた時に出力
される画素データを画素単位に順次格納するもので、そ
の格納されたデータは、後段のコンパレータに与えられ
差分が取出される。
そして、その差分が所定値を超えると異常画素情報を表
示器に出力するので、センサは組込前Ｋ画素単位に電気
的，光学的特性が自動チェックされる。
示器に出力するので、センサは組込前Ｋ画素単位に電気
的，光学的特性が自動チェックされる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、１はＣＯＤリニアイメージセンサ、２はＣ
ＣＤリニアイメージセンサ１の画像出力信号に対してサ
ンプル・ホールド，増幅等の波形処理を施す前処理器、
３はＡ−Ｄコンバータ、４、及び６はＣＯＤリニアイメ
ージセンサ１の出力画像データを画素毎にラッチする第
１、及び第２のデータ格納手段としての２ッチバッファ
、５，７はそれぞれのラッチバッファ４，６の出力値を
表示する７セグメント表示器、８は各ラッチ４，６の出
力値を比較するコンパレータ、９はコンパレータ８に対
してしきい値などの判定条件を設定したり、コンパレー
タ８をリセットするスイッチ群、１０はＣＯＤリニアイ
メージセンサ１の駆動クロックをドライブするドライバ
１１はＣＯＤリニアイメージセンサ１の駆動クロック
パルスをジェネレートするパルスジェネレータ、１２は
パルスジェネレータ１１のパルスをカウントするカウン
タ、１３はカウンタ１２の出力値を表示する７セグメン
ト表示器である。
図において、１はＣＯＤリニアイメージセンサ、２はＣ
ＣＤリニアイメージセンサ１の画像出力信号に対してサ
ンプル・ホールド，増幅等の波形処理を施す前処理器、
３はＡ−Ｄコンバータ、４、及び６はＣＯＤリニアイメ
ージセンサ１の出力画像データを画素毎にラッチする第
１、及び第２のデータ格納手段としての２ッチバッファ
、５，７はそれぞれのラッチバッファ４，６の出力値を
表示する７セグメント表示器、８は各ラッチ４，６の出
力値を比較するコンパレータ、９はコンパレータ８に対
してしきい値などの判定条件を設定したり、コンパレー
タ８をリセットするスイッチ群、１０はＣＯＤリニアイ
メージセンサ１の駆動クロックをドライブするドライバ
１１はＣＯＤリニアイメージセンサ１の駆動クロック
パルスをジェネレートするパルスジェネレータ、１２は
パルスジェネレータ１１のパルスをカウントするカウン
タ、１３はカウンタ１２の出力値を表示する７セグメン
ト表示器である。
次に動作について説明する。まず、ＣＣＤリニアイメー
ジセンサ１から出力された画素データは、前処理器２に
おいてサンプル・ホールドされてリセットノイズやクロ
ック成分が除去された後Ｋ増幅される。そしてＡ−Ｄコ
ンバータ３によってディジタル変換され、各画素毎にラ
ッチバッファ４，６にラッチされる。コンパレータ８は
、常に、前記ラッチバッファ４の出力値ｏＡとラッチバ
ッファ４に格納された画素データのアドレスの１つ前の
画素データが順次シフトされるようにして格納されてい
るラッチバッ７ア６の出力値ＯＢとを比較して、その差
分がスイッチ群９Ｋよって設定されたしきい値を越えた
時に異常信号を出力してパルスジエネレータ１１を停止
させる。
ジセンサ１から出力された画素データは、前処理器２に
おいてサンプル・ホールドされてリセットノイズやクロ
ック成分が除去された後Ｋ増幅される。そしてＡ−Ｄコ
ンバータ３によってディジタル変換され、各画素毎にラ
ッチバッファ４，６にラッチされる。コンパレータ８は
、常に、前記ラッチバッファ４の出力値ｏＡとラッチバ
ッファ４に格納された画素データのアドレスの１つ前の
画素データが順次シフトされるようにして格納されてい
るラッチバッ７ア６の出力値ＯＢとを比較して、その差
分がスイッチ群９Ｋよって設定されたしきい値を越えた
時に異常信号を出力してパルスジエネレータ１１を停止
させる。
パルスジェネレータ１１が停止すると、ラッチバッ７ア
４及び６とカクンタ１２も停止し、その時の異常と判断
した異常画素情報としてのデータや画素アドレスを７セ
グメントの表示器５，７及び１３に表示する。
４及び６とカクンタ１２も停止し、その時の異常と判断
した異常画素情報としてのデータや画素アドレスを７セ
グメントの表示器５，７及び１３に表示する。
なお、上記実施例では異常データとその時の画素アドレ
スをラッチバッファ４もしくは６とカウンタ１２に一時
的に記憶する回路構成について説明したが、メモリ等を
用いて１個のＣＯＤリニアイメージセンサが有するスパ
イク状の感度ばらつき全てを記憶し、表示できるように
しても良い。
スをラッチバッファ４もしくは６とカウンタ１２に一時
的に記憶する回路構成について説明したが、メモリ等を
用いて１個のＣＯＤリニアイメージセンサが有するスパ
イク状の感度ばらつき全てを記憶し、表示できるように
しても良い。
以上のようにこの発明によれば、ＣＣＤリニアイメージ
センサの画像出力データを格納する第１のデータ格納手
段と、その格納ずみの画素データの以前の画素データを
格納する第２のデータ格納手段と、その２つの画素デー
タを比較して差分が所定値を超えると異常信号を出力す
るコンパレータと、その異常信号を異常画素情報として
表示する表示器とをもってＣＣＤリニアイメージセンサ
のテスト装置を構成したので、該センサを機器Ｋ組込む
前にスパイク状の感度ばらつきのテストができて製品検
査の信頼性と歩留りとが向上する効果がある。
センサの画像出力データを格納する第１のデータ格納手
段と、その格納ずみの画素データの以前の画素データを
格納する第２のデータ格納手段と、その２つの画素デー
タを比較して差分が所定値を超えると異常信号を出力す
るコンパレータと、その異常信号を異常画素情報として
表示する表示器とをもってＣＣＤリニアイメージセンサ
のテスト装置を構成したので、該センサを機器Ｋ組込む
前にスパイク状の感度ばらつきのテストができて製品検
査の信頼性と歩留りとが向上する効果がある。
第１図はこの発明の一実施例にょるｃｃＤリニアイメー
ジセンサのテスト装置の構成を示すブロック図、第２図
及び第３図はｃｃＤリニアイメージセンサのＰＲＮＵの
特性例を示す波形図、第４図（Ａｌ ， （Ｂｌは現在
製品化されてぃるＣＣＤＩＪニアイメージセンサの電気
的，光学的特性の説明図である。 図において、１はＣＯＤリニアイメージセンサ、４．６
はラッチバク７ア（第１，第２のデータ格納手段）、５
，７．１３は表示器、８はコンパレー夕である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
ジセンサのテスト装置の構成を示すブロック図、第２図
及び第３図はｃｃＤリニアイメージセンサのＰＲＮＵの
特性例を示す波形図、第４図（Ａｌ ， （Ｂｌは現在
製品化されてぃるＣＣＤＩＪニアイメージセンサの電気
的，光学的特性の説明図である。 図において、１はＣＯＤリニアイメージセンサ、４．６
はラッチバク７ア（第１，第２のデータ格納手段）、５
，７．１３は表示器、８はコンパレー夕である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 均等な光をＣＣＤリニアイメージセンサに当てた時の画
像出力データをディジタル変換し、画素単位に格納する
第１のデータ格納手段と、前記第１のデータ格納手段に
格納ずみの画素データの以前の画素データを格納する第
２のデータ格納手段と、前記第１のデータ格納手段と第
２のデータ格納手段に格納ずみの画素データとを比較し
、差分が所定値を超えると異常信号を出力するコンパレ
ータと、前記コンパレータの異常信号を受けると異常情
報を表示する表示器とを備えたＣＣＤリニアイメージセ
ンサのテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012241A JPH03216566A (ja) | 1990-01-22 | 1990-01-22 | Ｃｃｄリニアイメージセンサのテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012241A JPH03216566A (ja) | 1990-01-22 | 1990-01-22 | Ｃｃｄリニアイメージセンサのテスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03216566A true JPH03216566A (ja) | 1991-09-24 |
Family
ID=11799874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012241A Pending JPH03216566A (ja) | 1990-01-22 | 1990-01-22 | Ｃｃｄリニアイメージセンサのテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03216566A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1088516A2 (en) * | 1999-08-19 | 2001-04-04 | General Electric Company | Apparatus and method for detecting defects in a multi-channel scan driver |
| JP2003151048A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-05-23 | Sick Ag | 監視法および光電子センサー |
| WO2005022931A1 (en) * | 2003-08-22 | 2005-03-10 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for testing image sensors |
| US8084611B2 (en) | 2006-03-30 | 2011-12-27 | Mitsubishi Tanabe Pharma Corporation | Process for preparing tetrahydroquinoline derivatives |
| CN102707220A (zh) * | 2012-05-31 | 2012-10-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种tdi-ccd器件的筛选装置及其使用方法 |
-
1990
- 1990-01-22 JP JP2012241A patent/JPH03216566A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1088516A2 (en) * | 1999-08-19 | 2001-04-04 | General Electric Company | Apparatus and method for detecting defects in a multi-channel scan driver |
| EP1088516B1 (en) * | 1999-08-19 | 2007-03-07 | General Electric Company | Apparatus and method for detecting defects in a multi-channel scan driver |
| JP2003151048A (ja) * | 2001-09-05 | 2003-05-23 | Sick Ag | 監視法および光電子センサー |
| WO2005022931A1 (en) * | 2003-08-22 | 2005-03-10 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for testing image sensors |
| US7136157B2 (en) | 2003-08-22 | 2006-11-14 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for testing image sensors |
| US7400389B2 (en) | 2003-08-22 | 2008-07-15 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for testing image sensors |
| US8084611B2 (en) | 2006-03-30 | 2011-12-27 | Mitsubishi Tanabe Pharma Corporation | Process for preparing tetrahydroquinoline derivatives |
| CN102707220A (zh) * | 2012-05-31 | 2012-10-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种tdi-ccd器件的筛选装置及其使用方法 |
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