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JPH03190624A - Precisely finishing device for minute hole - Google Patents

Precisely finishing device for minute hole

Info

Publication number
JPH03190624A
JPH03190624A JP33173089A JP33173089A JPH03190624A JP H03190624 A JPH03190624 A JP H03190624A JP 33173089 A JP33173089 A JP 33173089A JP 33173089 A JP33173089 A JP 33173089A JP H03190624 A JPH03190624 A JP H03190624A
Authority
JP
Japan
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wire electrode
ultra
fine wire
arm
hole
Prior art date
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Granted
Application number
JP33173089A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH07106499B2 (en
Inventor
Masakazu Kakimoto
政計 柿本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ushio Inc
Original Assignee
Ushio Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ushio Inc filed Critical Ushio Inc
Priority to JP1331730A priority Critical patent/JPH07106499B2/en
Publication of JPH03190624A publication Critical patent/JPH03190624A/en
Publication of JPH07106499B2 publication Critical patent/JPH07106499B2/en
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve operation efficiency and machining accuracy for boring by providing a guide mechanism which seizes a minute wire electrode cut between a cutting mechanism and the arm of the minute wire electrode supply side of a supporting frame to guide the cut end of the minute wire electrode to the prepared hole of a bored material. CONSTITUTION:A work mechanism 2 is operated to locate the next prepared hole of a bored material P right under a minute wire electrode T, and a guide mechanism 8 is operated to lower the cutting end of the minute wire electrode T. The minute wire electrode T is inserted into the prepared hole of the bored material P and the insulator of the arm 32 of the supporting frame 3 to be connected to the fluid cyclone 91 and the bringing roller 92 of a recovery mechanism 9. Under this condition, after the guide mechanism 8 is moved upward for standby high voltage is applied to the minute wire electrode T from an electric source supply mechanism 5 so that the minute bore-finishing of the prepared hole of the bored material P may be carried out by discharging machining using high voltage energy.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、微細孔の精密仕上げ装置に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a precision finishing device for fine holes.

さらに詳しくは、穿孔直径が極めて小さくこの穿孔直径
に対する穿孔深度が相対的に大きな微細孔を連続的に精
密に穿孔仕上げするのに好適な装置に関する。
More specifically, the present invention relates to an apparatus suitable for continuously and accurately drilling and finishing fine holes having an extremely small diameter and a relatively large depth relative to the diameter.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

微細孔としては、例えば、セラミックグリーンシートに
1ギヤングづつ1工程で同時に穿孔するために供せられ
る金型ダイのダイホールがある。
Examples of the fine holes include die holes of a mold die used for simultaneously perforating a ceramic green sheet in one process, one gigantic at a time.

このダイホールの形成では、約50mmX 50mmの
平面内に1. Qmm程度の間隔て厚さ 1.0〜2.
Ommに対し穿孔直径が0.1mmの穿孔が行なわれる
In forming this die hole, 1. Thickness at intervals of about Qmm 1.0 to 2.
A hole with a hole diameter of 0.1 mm is made with respect to 0.0 mm.

従来、このような微細孔の穿孔手段としては、例えば、
一般的にはCNC放電加工機を用いることが知られてい
る。なお、この外に、電子ビーム、レーザ加工等も行な
われている。
Conventionally, such microhole drilling means include, for example,
Generally, it is known to use a CNC electric discharge machine. In addition to this, electron beam processing, laser processing, etc. are also used.

さらに−船釣なドリル穿孔による手段も行なわれている
In addition, drilling by boat is also used.

C発明が解決しようとする課題〕 前述の従来の微細孔の穿孔手段では、装置構造が複雑性
等により装置価格が高価であるという問題点を有してい
る。
C. Problems to be Solved by the Invention The above-described conventional microhole drilling means has a problem in that the device is expensive due to the complexity of the device structure.

さらに、連続的に多数個の微細孔を穿孔工作する場合に
穿孔の作業効率が低いという問題点を有している。
Furthermore, there is a problem in that the efficiency of drilling is low when continuously drilling a large number of fine holes.

さらに、穿孔された微細孔の壁面がテーパ形となり孔径
が均一にならない等穿孔の工作精度が低いという問題点
を有している。
Further, there is a problem that the drilling accuracy is low, such as the wall surface of the drilled microhole being tapered and the hole diameter not being uniform.

さらに、上記ドリル穿孔方式においては、3枚刃のドリ
ルを使用した場合でも所定位置からの芯ずれを回避する
ことが困難であり、また壁面の仕上げも所望の仕上面を
得ることが困難であった。
Furthermore, in the above-mentioned drilling method, it is difficult to avoid misalignment from a predetermined position even when using a three-blade drill, and it is also difficult to obtain the desired finished surface on the wall surface. Ta.

本発明は、このような問題点を考慮してなされたもので
、穿孔の作業効率、工作精度が良好で価格が安価な微細
孔の精密仕上げ装置を提供することを課題とする。
The present invention has been made in consideration of these problems, and an object of the present invention is to provide a precision finishing device for fine holes that has good drilling efficiency and machining accuracy and is inexpensive.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

前述の目的を達成するため、本発明に係る微細孔の精密
仕上げ装置は、下孔加工された穿孔材料を移動するワー
ク機構と、穿孔位置に移動した穿孔材料を介して相対し
て固定的に配置されるアームを有する支持フレームと、
支持フレームの両アームに支持され穿孔材料の下孔に挿
通される極細ワイヤ電極と、支持フレームの片側のアー
ムの外側に設けられ極細ワイヤ電極を間欠並びに連続的
に供給する極細ワイヤ電極供給機構と、穿孔材料の下孔
に挿通された極細ワイヤ電極に高電圧を印加する電源供
給機構と、穿孔材料の下孔に挿通され電源供給機構によ
り高電圧を印加される極細ワイヤ電極周りを冷却する冷
却機構と、穿孔材料と支持フレームの極細ワイヤ電極供
給側のアームとの間で極細ワイヤ電極を切断する切断機
構と、切断機構と支持フレームの極細ワイヤ電極供給側
のアームとの間で切断された極細ワイヤ電極を掴んで極
細ワイヤ電極の切断端を穿孔材料の下孔に案内するガイ
ド機構とを備えてなる手段を採用する。
In order to achieve the above-mentioned object, the microhole precision finishing device according to the present invention includes a work mechanism that moves the perforated material that has undergone preliminary hole processing, and a work mechanism that moves the perforated material that has been moved to the perforated position in a fixed manner relative to each other. a support frame having an arm disposed;
An ultra-fine wire electrode supported by both arms of a support frame and inserted into a pilot hole of a perforated material, and an ultra-fine wire electrode supply mechanism provided on the outside of one arm of the support frame to supply the ultra-fine wire electrode intermittently and continuously. , a power supply mechanism that applies high voltage to the ultra-fine wire electrode inserted into the pilot hole of the perforated material, and a cooling system that cools the area around the ultra-fine wire electrode that is inserted through the pilot hole of the perforated material and is applied with high voltage by the power supply mechanism. a cutting mechanism for cutting the ultra-fine wire electrode between the perforation material and the arm on the ultra-fine wire electrode supply side of the support frame; A means comprising a guide mechanism that grips the ultra-fine wire electrode and guides the cut end of the ultra-fine wire electrode to the pilot hole of the drilling material is adopted.

〔作用〕[Effect]

前述の手段によると、穿孔材料の下孔加工は一般的なド
リル加工等で粗穿孔すればよく、粗穿孔された下孔はこ
れに挿通された極細ワイヤ電極による放電加工によって
均一な孔径に精密仕上げされることになり、下孔1個の
穿孔仕上げが完了した後には極細ワイヤ電極を切断して
次の下孔に挿通するため効率的に穿孔工作することがで
きる。
According to the above-mentioned method, the hole in the material to be drilled can be rough-drilled using general drilling, etc., and the rough-drilled hole is precisely made into a uniform hole diameter by electrical discharge machining using an ultra-fine wire electrode inserted into the hole. After finishing the drilling of one pilot hole, the ultra-fine wire electrode is cut and inserted into the next pilot hole, so that the drilling operation can be carried out efficiently.

さらに、極細ワイヤ電極周りの構造は従来の一般的なワ
イヤカット構造を利用したものであるため、構造が簡素
で構成部材単価も安価であり装置全体を安価に製造する
ことができる。
Furthermore, since the structure around the ultra-fine wire electrode utilizes a conventional general wire cutting structure, the structure is simple and the unit cost of the constituent parts is low, making it possible to manufacture the entire device at low cost.

このため、穿孔の作業効率、工作精度が良好で価格が安
価な微細孔の精密仕上げ装置を提供するという課題が解
決される。
Therefore, the problem of providing a precision finishing device for fine holes that has good drilling efficiency and machining accuracy and is inexpensive is solved.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明に係る微細孔の精密仕上げ装置の実施例を
図面に基いて説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Examples of the precision finishing apparatus for fine holes according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

この実施例では、水平に設置されたベース1の水平面上
を移動する穿孔材料(ワーク)Pに対し、直交する垂直
方向へ極細ワイヤ電極Tが供給されるようにした構造か
らなるものが示されている。
In this embodiment, a structure is shown in which an ultra-fine wire electrode T is supplied in a perpendicular direction to a perforated material (work) P that moves on the horizontal plane of a horizontally installed base 1. ing.

ベース1上には、ワーク機構2が設備されている。A work mechanism 2 is installed on the base 1.

このワーク機構2は、モータ、ネジ棒等の組合せからな
るX軸移動部21.Y軸柱動部22を備えてワークテー
ブル23をベース1の平面上で縦横方向(X軸、Y軸方
向)へ移動自在にしており、ワークテーブル23の先端
に取付けられた箱形のワークホルダ24内に穿孔材料P
をセットすることができるようになっている。このワー
クホルダ24は、第3図に詳細に示されるように、上面
が開放され下面にドレンホール24aが開口され側面に
オーバフロー孔24bが開孔された箱形であり、下面近
くに設けられた位置決めピン24cに穿孔材料Pが差込
みセットされるようになっている。
This work mechanism 2 includes an X-axis moving section 21. A work table 23 is provided with a Y-axis column moving part 22 and is movable in vertical and horizontal directions (X-axis, Y-axis directions) on the plane of the base 1, and a box-shaped work holder is attached to the tip of the work table 23. Perforated material P in 24
can now be set. As shown in detail in FIG. 3, the work holder 24 is box-shaped with an open top, a drain hole 24a in the bottom, and an overflow hole 24b in the side. The perforated material P is inserted and set into the positioning pin 24c.

このワーク機構2は、図示しないコントローラによって
駆動制御されるようになっている。
This work mechanism 2 is driven and controlled by a controller (not shown).

なお、ワークホルダ24にセットされる穿孔材料Pは、
予めドリル加工等によって下孔P°が粗穿孔される。
Note that the perforated material P set in the work holder 24 is
A pilot hole P° is roughly drilled in advance by drilling or the like.

ベース1上のワーク機構2から若干前れた位置には、支
持フレーム3が設備されている。
A support frame 3 is installed on the base 1 at a position slightly in front of the work mechanism 2.

この支持フレーム3は、上下に相対するアーム31、3
2を有してコ字形に形成されており、コ字形の開放部が
穿孔材料Pの穿孔位置となるように設定されベース1に
固定されている。この各アーム31、32には、夫々第
2図(A)(B)に示すような絶縁性の2組のアイドラ
ー31a 、 31a及び2本のローラ31b 、 3
1bからなる位置決め機構30が設けられ、穿孔材料P
の下孔P1 に挿通された極細ワイヤ電極Tを穿孔材料
Pの上下両側で絶縁支持することができるようになって
いる。
This support frame 3 has vertically opposing arms 31, 3.
2 and is formed in a U-shape, and is fixed to the base 1 so that the opening of the U-shape is the perforation position of the perforation material P. Each arm 31, 32 has two sets of insulating idlers 31a, 31a and two rollers 31b, 3 as shown in FIGS. 2(A) and 2(B), respectively.
A positioning mechanism 30 consisting of 1b is provided, and the perforated material P
The ultrafine wire electrode T inserted through the pilot hole P1 can be insulated and supported on both the upper and lower sides of the perforated material P.

なお、位置決め機構30を介して支持される極細ワイヤ
電極Tは、真鍮またはタングステンを素材として直径が
0.lO〜0.05mmに形成されたものである。因に
、−船釣なワイヤカッタで使用されるワイヤは、真鍮を
素材として直径が0.30〜0.20mmに形成された
ものである。
The ultra-fine wire electrode T supported via the positioning mechanism 30 is made of brass or tungsten and has a diameter of 0. It is formed to have a thickness of 10 to 0.05 mm. Incidentally, the wire used in wire cutters for boat fishing is made of brass and has a diameter of 0.30 to 0.20 mm.

支持フレーム3の上側のアーム31の上部側には、極細
ワイヤ電極供給機構4が設備されている。
An ultrafine wire electrode supply mechanism 4 is installed on the upper side of the arm 31 on the upper side of the support frame 3 .

この極細ワイヤ電極供給機構4は、極細ワイヤ電極Tを
長尺に捲回した収納ボビン41と、回転駆動して極細ワ
イヤ電極Tを間欠的に一定長づつあるいは連続的に支持
フレーム3側へ繰出す繰出しローラ42と、収納ボビン
41.繰出しローラ42の間に設けられたアイドラ43
とからなる。なお、この繰出しローラ42は、支持フレ
ーム3のアーム31の位置決め機構30の直上に配置さ
れており、このローラ42が前記位置決め機構30のア
イドラー31aを兼用することもよい。
This ultra-fine wire electrode supply mechanism 4 includes a storage bobbin 41 in which an ultra-fine wire electrode T is wound into a long length, and a storage bobbin 41 that is rotatably driven to intermittently feed the ultra-fine wire electrode T to the support frame 3 in a fixed length or continuously. A feeding roller 42 and a storage bobbin 41. Idler 43 provided between feeding rollers 42
It consists of Note that this feeding roller 42 is arranged directly above the positioning mechanism 30 of the arm 31 of the support frame 3, and this roller 42 may also serve as the idler 31a of the positioning mechanism 30.

この極細ワイヤ電極供給機構4(繰出しローラ42)は
、図示しないコントローラによって駆動制御されるよう
になっている。
This ultra-fine wire electrode supply mechanism 4 (feeding roller 42) is driven and controlled by a controller (not shown).

極細ワイヤ電極供給機構4から繰出される極細ワイヤ電
極Tには、電源供給機構5が接続している。
A power supply mechanism 5 is connected to the ultrafine wire electrode T fed out from the ultrafine wire electrode supply mechanism 4 .

この電源供給機構5は、穿孔材料Pの下孔P゛に挿通さ
れた極細ワイヤ電極Tに高電圧を印加して高電圧エネル
ギを供給し下孔P゛に放電を行なわせる電源本体51と
、電源本体51の電極と極細ワイヤ電極供給機構4の繰
出しローラ42とを接続するフィーダ線52と、電源本
体51の一極とワーク機構2のワークホルダ24にセッ
トされている穿孔材料Pとを接続するフィーダ線53と
からなる。
This power supply mechanism 5 includes a power supply main body 51 that applies a high voltage to an ultra-fine wire electrode T inserted through a pilot hole P'' of a perforated material P, supplies high voltage energy, and causes discharge to occur in the pilot hole P''; A feeder wire 52 connects the electrode of the power source main body 51 and the feeding roller 42 of the ultra-fine wire electrode supply mechanism 4, and one pole of the power source main body 51 and the perforated material P set in the work holder 24 of the work mechanism 2 are connected. It consists of a feeder line 53.

この電源供給機構5は、図示しないコントローラによっ
て制御されるようになっている。
This power supply mechanism 5 is controlled by a controller (not shown).

放電を行ない発熱する極細ワイヤ電極Tに対しては、冷
却機構6が設けられている。
A cooling mechanism 6 is provided for the ultrafine wire electrode T that generates heat by discharging.

この冷却機構は、図示しない送水ポンプに接続し穿孔材
料Pの下孔P°に挿通された極細ワイヤ電極Tに向けら
れたノズルからなり、冷却水を噴射して発熱した極細ワ
イヤ電極Tを冷却するようになっている。なお、この冷
却水は、ワーク機構2の箱形のワークホルダ24内へ噴
射されて外部へ飛散するのを防止されており、ワークホ
ルダ24のドレンホール24gから排出または過滞留し
た場合オーバフロー孔24bから溢流するようになって
いる。
This cooling mechanism consists of a nozzle that is connected to a water pump (not shown) and is directed toward an ultra-fine wire electrode T that is inserted into a lower hole P° of a perforated material P, and cools the ultra-fine wire electrode T that generates heat by injecting cooling water. It is supposed to be done. Note that this cooling water is injected into the box-shaped work holder 24 of the work mechanism 2 and is prevented from scattering to the outside, and if it is discharged from the drain hole 24g of the work holder 24 or excessively stagnates, it will be discharged from the overflow hole 24b. It is starting to overflow from

支持フレーム3の極細ワイヤ電極Tの供給側である上側
のアーム31とその下方に位置することになる穿孔材料
Pとの間には、切断機構7が設備されている。
A cutting mechanism 7 is installed between the upper arm 31 of the support frame 3, which is the supply side of the ultrafine wire electrode T, and the perforated material P located below the upper arm 31.

この切断機構7は、穿孔材料Pの下孔P′に挿通され放
電加工の終了した極細ワイヤ電極Tを別の下孔P′に挿
通するために切断するカッタ71と、カッタ71を動作
するシリンダ72とからなる。なお、これ等カッタ71
.シリンダ72を極細ワイヤ電極Tに近接、離間させる
シリンダ(図示せず)をも有しており、切断時以外は極
細ワイヤ電極Tから離間した位置に待機するようになっ
ている。
This cutting mechanism 7 includes a cutter 71 that cuts the ultra-fine wire electrode T that has been inserted into a prepared hole P' of the drilling material P and has undergone electrical discharge machining in order to be inserted into another prepared hole P', and a cylinder that operates the cutter 71. It consists of 72. In addition, these cutters 71
.. It also has a cylinder (not shown) that moves the cylinder 72 close to and away from the ultra-fine wire electrode T, and is placed on standby at a position separated from the ultra-fine wire electrode T except when cutting.

この切断機構7は、図示しないコントローラによって駆
動制御されるようになっている。
The cutting mechanism 7 is driven and controlled by a controller (not shown).

切断機構7と支持フレーム3の上側のアーム31との間
には、ガイド機構8が設備されている。
A guide mechanism 8 is provided between the cutting mechanism 7 and the upper arm 31 of the support frame 3.

このガイド機構8は、極細ワイヤ電極Tを掴むハンド8
1と図示しないアクチュエータによりハンド81を上下
動するアーム82とを有し、切断機構7により切断され
た極細ワイヤ電極Tを掴んで下動し切断端を穿孔材料P
の新な下孔P′に挿通するようになっている。なお、極
細ワイヤ電極Tを穿孔材料Pの下孔P゛に挿通した後に
は、極細ワイヤ電極Tを離して支持フレーム3の上側の
アーム31側に待機するようになっている。
This guide mechanism 8 includes a hand 8 that grips the ultra-fine wire electrode T.
1 and an arm 82 that moves a hand 81 up and down by an actuator (not shown), which grasps the ultra-fine wire electrode T cut by the cutting mechanism 7 and moves it down, so that the cut end is cut into the perforated material P.
It is inserted into the new pilot hole P'. In addition, after the ultra-fine wire electrode T is inserted into the prepared hole P' of the perforated material P, the ultra-fine wire electrode T is released and placed on standby on the arm 31 side above the support frame 3.

このガイド機構8は、図示しないコントローラによって
駆動制御されるようになっている。
This guide mechanism 8 is driven and controlled by a controller (not shown).

支持フレーム3の下側のアーム32の下部側には、回収
機構9が設備されている。
A recovery mechanism 9 is installed on the lower side of the arm 32 on the lower side of the support frame 3.

この回収機構9は、支持フレーム3のアーム32の碍子
32a 、 32bの直下に配置され極細ワイヤ電極T
の切断端を垂直に下方へ水流等で案内するロート形の流
体サイクロン91と、流体サイクロン91の下方に設け
られ極細ワイヤ電極Tを噛込むようにして極細ワイヤ電
極供給機構4の繰出しローラ43との間で極細ワイヤ電
極Tに張力を付与しながら間欠的に一定長づつ引下げる
引込みローラ92と、引込みローラ92の下方に設けら
れ切断され降下する極細ワイヤ電極Tを細断するスクラ
ップカッタ93と、スクラップカッタ93の下方に設け
られ細断された極細ワイヤ電極片T゛を収納する回収箱
94とからなる。
This recovery mechanism 9 is arranged directly below the insulators 32a and 32b of the arm 32 of the support frame 3, and is equipped with ultra-fine wire electrodes T.
between a funnel-shaped fluid cyclone 91 that guides the cut end vertically downward by a water stream or the like, and a feeding roller 43 of the extremely fine wire electrode supply mechanism 4 that is provided below the fluid cyclone 91 and bites the fine wire electrode T. a pull-in roller 92 that applies tension to the ultra-fine wire electrode T while intermittently pulling it down by a constant length; a scrap cutter 93 that is provided below the pull-in roller 92 and cuts the ultra-fine wire electrode T into pieces as it cuts and descends; It consists of a collection box 94 which is provided below the cutter 93 and stores the chopped ultra-fine wire electrode pieces T'.

この回収機構9(引込みローラ92)は、図示しないコ
ントローラによって駆動制御されるようになっている。
This collection mechanism 9 (drawing roller 92) is driven and controlled by a controller (not shown).

このような実施例では、従来の一般的なワイヤカッタ構
造を利用して放電加工構造を具備した構成となっている
ことから、特殊な構成部材が要求されたり構造が複雑に
なったりすることはなく、安価に製造することが可能で
ある。
In such an embodiment, since the structure is equipped with an electric discharge machining structure using a conventional general wire cutter structure, there is no need for special components or a complicated structure. , and can be manufactured at low cost.

また、このような実施例によると、第4図〜第9図に示
すような動作態様が採られることになる。
Further, according to such an embodiment, the operating modes shown in FIGS. 4 to 9 are adopted.

即ち、第4図は切断機構7によって極細ワイヤ電極Tが
切断された直後を示すものであり、換言すれば穿孔材料
Pの1個の下孔P゛の穿孔仕上げが終了した直後を示す
ものである。このように切断された極細ワイヤ電極Tは
、第4図〜第7図に示すように、回収機構9の流体サイ
クロン91に案内されて引込みローラ92に引下げられ
、さらにスクラップカッタ93で細断されて極細ワイヤ
電極片T″ トナって回収箱94に集積収納される。こ
のため、使用済みの極細ワイヤ電極Tの廃棄を容易に行
うことができる。なお、この極細ワイヤ電極Tの切断の
際には、既にガイド機構8のハンド81が極細ワイヤ電
極Tを掴んでいる。
That is, FIG. 4 shows the state immediately after the ultrafine wire electrode T is cut by the cutting mechanism 7, or in other words, it shows the state immediately after finishing the drilling of one pilot hole P' in the drilling material P. be. As shown in FIGS. 4 to 7, the ultra-fine wire electrode T cut in this way is guided by the hydrocyclone 91 of the recovery mechanism 9, pulled down by the pull-in roller 92, and further shredded by a scrap cutter 93. The ultra-fine wire electrode pieces T'' are collected and stored in the collection box 94. Therefore, the used ultra-fine wire electrode T can be easily disposed of. , the hand 81 of the guide mechanism 8 has already grasped the ultra-fine wire electrode T.

第4図に示す極細ワイヤ電極Tの切断の後には、第5図
に示すように切断機構7が極細ワイヤ電極Tから離間し
た位置に移動待機して後述の動作の邪魔にならないよう
になる。
After cutting the ultra-fine wire electrode T shown in FIG. 4, the cutting mechanism 7 moves to a standby position separated from the ultra-fine wire electrode T as shown in FIG. 5, so that it does not interfere with the operation described later.

第5図に示す切断機構7の移動待機の後には、第6図に
示すように、ワーク機構2を動作して極細ワイヤ電極T
の直下に穿孔材料Pの次の下孔P゛を位置させ、ガイド
機構8を動作して極細ワイヤ電極Tの切断端を降下させ
る。なお、この極細ワイヤ電極Tの切断端の降下の際に
は、極細ワイヤ電極供給機構4の繰出しローラ42も駆
動される。また、ワーク機構2の移動の量、方向は、画
像処理法等による図示しないコントローラの制御で確実
に行なうことができる。
After waiting for movement of the cutting mechanism 7 shown in FIG. 5, as shown in FIG. 6, the work mechanism 2 is operated to
The next pilot hole P' in the perforated material P is positioned directly below the hole P', and the guide mechanism 8 is operated to lower the cut end of the ultra-fine wire electrode T. Note that when the cut end of the ultra-fine wire electrode T is lowered, the feeding roller 42 of the ultra-fine wire electrode supply mechanism 4 is also driven. Further, the amount and direction of movement of the work mechanism 2 can be reliably controlled by a controller (not shown) using an image processing method or the like.

第6図に示す極細ワイヤ電極Tの切断端の降下は、第7
図、第8図に示すように、穿孔材料Pの下孔P°および
支持フレーム3のアーム32の碍子32a 、 32b
への挿通でガイド機構8の関与が終了し、その後は回収
機構9の流体サイクロン91、引込みローラ92が関与
することになる。
The descent of the cut end of the ultra-fine wire electrode T shown in FIG.
As shown in FIG.
The involvement of the guide mechanism 8 ends when it is inserted into the body, and thereafter the hydrocyclone 91 and the retraction roller 92 of the recovery mechanism 9 become involved.

第8図に示すように極細ワイヤ電極Tが穿孔材料Pの下
孔P°、支持フレーム3のアーム32の碍子32a 、
 32bへ挿通され回収機構9の流体サイクロン91.
引込みローラ92に連係した状態で、第9図に示すよう
にガイド機構8を上方へ移動待機させた後に、電源供給
機構5から高電圧を極細ワイヤ電極Tに印加し、高電圧
エネルギによる放電加工で穿孔材料Pの下孔P′を精密
に穿孔仕上げする。この放電加工による穿孔仕上げでは
、冷却機構6によって発熱に伴なう不具合が回避される
と共に、冷却機構6の冷却水により加工屑等が除去され
、より精密な仕上げとなる。
As shown in FIG. 8, the ultra-fine wire electrode T is connected to the lower hole P° of the perforated material P, the insulator 32a of the arm 32 of the support frame 3,
32b of the recovery mechanism 9.
After moving the guide mechanism 8 upward in a state linked to the retracting roller 92 and standing by as shown in FIG. The pilot hole P' of the drilling material P is finished with precision. In this drilling finishing by electric discharge machining, the cooling mechanism 6 avoids problems caused by heat generation, and the cooling water of the cooling mechanism 6 removes machining debris, resulting in a more precise finish.

この後には、第4図に示す極細ワイヤ電極Tの切断以下
が繰返され、穿孔材料Pの所定個数の小孔P°が連続的
に効率良く穿孔仕上げされることになる。
After this, the cutting of the ultra-fine wire electrode T shown in FIG. 4 is repeated, and a predetermined number of small holes P° in the perforated material P are continuously and efficiently completed.

なお、このような穿孔仕上げは、微細深孔以外の単なる
ドリル孔等にも勿論有効である。
Note that such drilling finishing is of course effective for simple drill holes other than fine deep holes.

以上、図示した実施例の外に、極細ワイヤ電極Tの供給
方向、穿孔材料Pの移動方向を垂直、水平方向以外の方
向とする実施例も可能である。
In addition to the embodiments shown above, embodiments in which the direction of supply of the ultrafine wire electrode T and the direction of movement of the perforated material P are directions other than the vertical and horizontal directions are also possible.

さらに、回収機構9についは、切断された極細ワイヤ電
極Tを単に下方へ落下させるだけの構造の実施例とする
ことも可能である。
Furthermore, the recovery mechanism 9 may be configured to simply drop the cut ultra-fine wire electrode T downward.

尚、第1図に示す+00は、ベース1上の装置部分を覆
う恒温ボックスであり、装、置の加工精度を確保すると
ともに工場全体を一定温度にする必要がなくなる。又、
第6図に示した1G2はCODカメラであって、線通し
の際に画像処理によるロボットハンドの制御を行なうも
のである。
In addition, +00 shown in FIG. 1 is a constant temperature box that covers the device part on the base 1, which ensures the processing accuracy of the device and eliminates the need to keep the entire factory at a constant temperature. or,
1G2 shown in FIG. 6 is a COD camera that controls the robot hand by image processing during wire threading.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように本発明に係る微細孔の精密仕上げ装置は、
ドリル加工等で粗穿孔された下孔をこれに挿通された極
細ワイヤ電極による放電加工によって均一な孔径に精密
仕上げし、下孔1個の穿孔仕上げが完了した後には極細
ワイヤ電極を切断して次の下孔に挿通し連続して効率的
に穿孔工作することができるため、穿孔の作業効率、工
作精度が良好である効果がある。また、この効果により
、穿孔コストが低減される効果を生ずる。
As described above, the microhole precision finishing device according to the present invention has the following features:
A pilot hole roughly drilled by drilling etc. is precisely finished to a uniform hole diameter by electrical discharge machining using an ultra-fine wire electrode inserted into the hole, and after completing the drilling of one pilot hole, the ultra-fine wire electrode is cut. Since the hole can be inserted into the next pilot hole and drilled continuously and efficiently, it has the effect of improving the efficiency and accuracy of drilling. Moreover, this effect produces an effect of reducing the drilling cost.

さらに、構造は従来−船釣なワイヤカッタ構造を利用し
、かつ電極支持を一体構造としであるため、構造が簡素
で熱膨張等の影響をうけにくく、構成部材単価も安価で
あり装置全体を精度よく、かつ安価に製造することがで
きる効果がある。
Furthermore, since the structure uses a conventional wire cutter structure, and the electrode support is an integral structure, the structure is simple and less susceptible to thermal expansion, etc., and the unit cost of component parts is low, and the overall accuracy of the device can be improved. It has the advantage of being able to be manufactured easily and at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係る微細孔の精密仕上げ装置の実施例
を示す正面断面図、第2図(A)は位置決め機構の正面
図、第2図(B)はその側面図、第3図は第1図の要部
拡大斜視図、第4図〜第9図は第1図の動作を順に示す
図である。 2:ワーク機構      3:支持フレーム4、極細
ワイヤ電極供給機構 5:電源供給機構     6:冷却機構7:切断機構
       8ニガイド機構31、32  アーム P゛:下孔 T:極細ワイヤ電極 P:穿孔材料 第1図
Fig. 1 is a front cross-sectional view showing an embodiment of the microhole precision finishing device according to the present invention, Fig. 2 (A) is a front view of the positioning mechanism, Fig. 2 (B) is its side view, and Fig. 3 1 is an enlarged perspective view of the main part of FIG. 1, and FIGS. 4 to 9 are views sequentially showing the operation of FIG. 1. 2: Work mechanism 3: Support frame 4, ultra-fine wire electrode supply mechanism 5: Power supply mechanism 6: Cooling mechanism 7: Cutting mechanism 8 Guide mechanisms 31, 32 Arm P゛: Prepared hole T: Ultra-fine wire electrode P: Perforated material No. Figure 1

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  下孔加工された穿孔材料を移動するワーク機構と、穿
孔位置に移動した穿孔材料を介して相対して固定的に配
置されるアームを有する支持フレームと、支持フレーム
の両アームに支持され穿孔材料の下孔に挿通される極細
ワイヤ電極と、支持フレームの片側のアームの外側に設
けられ極細ワイヤ電極を間欠並びに連続的に供給する極
細ワイヤ電極供給機構と、穿孔材料の下孔に挿通された
極細ワイヤ電極に高電圧を印加する電源供給機構と、穿
孔材料の下孔に挿通され電源供給機構により高電圧を印
加される極細ワイヤ電極周りを冷却する冷却機構と、穿
孔材料と支持フレームの極細ワイヤ電極供給側のアーム
との間で極細ワイヤ電極を切断する切断機構と、切断機
構と支持フレームの極細ワイヤ電極供給側のアームとの
間で切断された極細ワイヤ電極を掴んで極細ワイヤ電極
の切断端を穿孔材料の下孔に案内するガイド機構とを備
えてなる微細孔の精密仕上げ装置。
a work mechanism for moving the perforated material that has been prepared with a prepared hole; a support frame having arms that are fixedly arranged relative to each other through the perforated material that has been moved to the perforated position; and a perforated material that is supported by both arms of the support frame. An ultra-fine wire electrode is inserted into the pilot hole of the drilling material, an ultra-fine wire electrode supply mechanism is installed on the outside of one arm of the support frame and supplies the ultra-fine wire electrode intermittently and continuously, and the micro-wire electrode is inserted into the pilot hole of the drilling material. A power supply mechanism that applies high voltage to the ultra-fine wire electrode, a cooling mechanism that cools the area around the ultra-fine wire electrode that is inserted into the lower hole of the perforated material and is applied with high voltage by the power supply mechanism, and A cutting mechanism that cuts the ultra-fine wire electrode between the arm on the wire electrode supply side, and a cutting mechanism that cuts the ultra-fine wire electrode between the cutting mechanism and the arm on the ultra-fine wire electrode supply side of the support frame. A precision finishing device for fine holes, comprising a guide mechanism that guides the cut end to the pilot hole of the drilling material.
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