JPH0253400B2 - - Google Patents
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- JPH0253400B2 JPH0253400B2 JP57002304A JP230482A JPH0253400B2 JP H0253400 B2 JPH0253400 B2 JP H0253400B2 JP 57002304 A JP57002304 A JP 57002304A JP 230482 A JP230482 A JP 230482A JP H0253400 B2 JPH0253400 B2 JP H0253400B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/005—Growth of whiskers or needles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/36—Carbides
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明はβ−炭化珪素ウイスカーを効率良く製
造する方法に関するものである。
造する方法に関するものである。
従来β−炭化珪素ウイスカーの製造方法として
珪酸物質と炭素質物質とをモル比で0.8〜2.6程度
になるよう混合し、これを団塊状に成形し、非酸
化性雰囲気で灼熱して製造する方法が行われてい
る。この場合生成するSiCウイスカーは混合原料
の団塊物の表面や団塊物の間に生成するが、その
収率が悪いので、ウイスカーの製造方法としては
経済的でない。
珪酸物質と炭素質物質とをモル比で0.8〜2.6程度
になるよう混合し、これを団塊状に成形し、非酸
化性雰囲気で灼熱して製造する方法が行われてい
る。この場合生成するSiCウイスカーは混合原料
の団塊物の表面や団塊物の間に生成するが、その
収率が悪いので、ウイスカーの製造方法としては
経済的でない。
本発明者等はこの欠点を克服し、ウイスカーを
経済的に製造する方法について種々研究したとこ
ろ、微粉の珪酸物質と炭素または含炭素物質とを
特定割合に混合した混合物Aと微粉の炭素または
含炭素物質を、原料混合物A中のSiO2に対し特
定割合になるようにした原料Bとを作り、これら
両者を近接して配置し、両者を1300〜1600℃に加
熱すると原料混合物A内での反応により生成する
SiOは原料混合物Aよりガス化揮散して原料B中
の炭素と反応し針状のウイスカーが原料B内に収
率良く生成することを知見した。
経済的に製造する方法について種々研究したとこ
ろ、微粉の珪酸物質と炭素または含炭素物質とを
特定割合に混合した混合物Aと微粉の炭素または
含炭素物質を、原料混合物A中のSiO2に対し特
定割合になるようにした原料Bとを作り、これら
両者を近接して配置し、両者を1300〜1600℃に加
熱すると原料混合物A内での反応により生成する
SiOは原料混合物Aよりガス化揮散して原料B中
の炭素と反応し針状のウイスカーが原料B内に収
率良く生成することを知見した。
β−炭化珪素ウイスカーの生成機構の詳細は未
だ完全に解明されていないが、本発明において
は、原料混合物Aにおいて SiO2+C→SiO+CO (1) の反応によりSiOが生成する。このSiOガスは混
合物Aに近接して配置した原料Bに達し、原料B
において、 SiO+2C→SiC+CO (2) の反応によりSiCが生成し、次第にウイスカーに
成長するものと考えられる。
だ完全に解明されていないが、本発明において
は、原料混合物Aにおいて SiO2+C→SiO+CO (1) の反応によりSiOが生成する。このSiOガスは混
合物Aに近接して配置した原料Bに達し、原料B
において、 SiO+2C→SiC+CO (2) の反応によりSiCが生成し、次第にウイスカーに
成長するものと考えられる。
本発明はこの知見に基づくものであつて、
SiO2:Cのモル比が1:1〜1:2になるよう
に微粉の珪酸物質と炭素または含炭素物質とを混
合した原料混合物Aと微粉の炭素または含炭素物
質よりなる原料Bとを、原料混合物A中のSiO2
モル数:原料B中のCモル数の比が1:2〜1:
10になるように両原料を近接して配置し、両者を
1300〜1600℃の温度範囲で非酸化性雰囲気中にお
いて加熱し、原料B内に炭化珪素ウイスカーを生
成させることを特徴とするβ−炭化珪素ウイスカ
ーの製造方法である。
SiO2:Cのモル比が1:1〜1:2になるよう
に微粉の珪酸物質と炭素または含炭素物質とを混
合した原料混合物Aと微粉の炭素または含炭素物
質よりなる原料Bとを、原料混合物A中のSiO2
モル数:原料B中のCモル数の比が1:2〜1:
10になるように両原料を近接して配置し、両者を
1300〜1600℃の温度範囲で非酸化性雰囲気中にお
いて加熱し、原料B内に炭化珪素ウイスカーを生
成させることを特徴とするβ−炭化珪素ウイスカ
ーの製造方法である。
本発明において珪酸物質はアモルフアス質珪酸
でも結晶質珪酸でも使用されるが何れの場合でも
良質のものが好ましく、粒度は10μ以下程度のも
のが望ましい。また含炭素物質としては樹脂、樹
脂炭化物、セルローズなどの含炭素物質が使用さ
れる。これらの含炭素物質は非酸化性雰囲気にお
ける1300℃以上の加熱により何れも炭化されるの
で、この場合における炭素モル数は加熱後得られ
た炭化物のモル数より計算する。
でも結晶質珪酸でも使用されるが何れの場合でも
良質のものが好ましく、粒度は10μ以下程度のも
のが望ましい。また含炭素物質としては樹脂、樹
脂炭化物、セルローズなどの含炭素物質が使用さ
れる。これらの含炭素物質は非酸化性雰囲気にお
ける1300℃以上の加熱により何れも炭化されるの
で、この場合における炭素モル数は加熱後得られ
た炭化物のモル数より計算する。
本発明において原料混合物A中のSiO2とCと
の混合割合は、SiO2:Cのモル比が1未満のと
きは未反応のSiO2が残り、モル比が2を越える
とSiOの生成よりもSiC粉末の生成が顕著になる
ので、1:1〜1:2とするのが好ましい。
の混合割合は、SiO2:Cのモル比が1未満のと
きは未反応のSiO2が残り、モル比が2を越える
とSiOの生成よりもSiC粉末の生成が顕著になる
ので、1:1〜1:2とするのが好ましい。
本発明において原料混合物Aおよび原料Bは粉
末状態においても、また種々の形状に成形したも
のでも差支えない。次に原料混合物Aと原料Bと
を近接して配置するとは例えば後述の実施例1お
よび2に示すように成形した原料混合物Aと成形
した原料Bとを混合する場合または実施例3で示
すように原料混合物Aに近接して原料Bを層状に
交互に配置する場合、さらにまた原料混合物Aと
原料Bとを数cm程度離して配置しても良いという
意味である。要するに、SiO2とCとの混合物か
ら成る部分と、Cから成る部分が必ず存在する必
要がある。
末状態においても、また種々の形状に成形したも
のでも差支えない。次に原料混合物Aと原料Bと
を近接して配置するとは例えば後述の実施例1お
よび2に示すように成形した原料混合物Aと成形
した原料Bとを混合する場合または実施例3で示
すように原料混合物Aに近接して原料Bを層状に
交互に配置する場合、さらにまた原料混合物Aと
原料Bとを数cm程度離して配置しても良いという
意味である。要するに、SiO2とCとの混合物か
ら成る部分と、Cから成る部分が必ず存在する必
要がある。
このように原料をAとBとを2つに分けた理由
は、SiC+SiO2→2SiO+CなるSiCの分解反応を
防ぎ、SiCの生成効率を高めるためである。
は、SiC+SiO2→2SiO+CなるSiCの分解反応を
防ぎ、SiCの生成効率を高めるためである。
原料混合物Aと原料Bとの割合は、原料混合物
Aから生成するSiOの捕集を効果的にするため、
原料混合物A中のSiO2のモル数と原料B中のC
のモル数との比が1:2〜1:10になるように配
置することが好ましい。何故なら、原料混合物A
中のSiO2のモル数に対する原料B中のCのモル
比が2未満になると原料混合物Aから生成する
SiOが原料BのCに対して過剰になるため、SiO
の捕集効果が低下する。またこのモル比が10を越
えると残留するCが多くなる割りには捕集効果が
上がらないため、経済的でない。
Aから生成するSiOの捕集を効果的にするため、
原料混合物A中のSiO2のモル数と原料B中のC
のモル数との比が1:2〜1:10になるように配
置することが好ましい。何故なら、原料混合物A
中のSiO2のモル数に対する原料B中のCのモル
比が2未満になると原料混合物Aから生成する
SiOが原料BのCに対して過剰になるため、SiO
の捕集効果が低下する。またこのモル比が10を越
えると残留するCが多くなる割りには捕集効果が
上がらないため、経済的でない。
本発明において加熱は急激に行つてもまた緩か
に行つてもよいが、加熱温度は1300〜1600℃程度
で、加熱時間は例えば加熱温度が1500℃のとき数
10分程度で充分である。また加熱は炭素物質の酸
化を防止するためアルゴン、水素などのような非
酸化性雰囲気で行う。
に行つてもよいが、加熱温度は1300〜1600℃程度
で、加熱時間は例えば加熱温度が1500℃のとき数
10分程度で充分である。また加熱は炭素物質の酸
化を防止するためアルゴン、水素などのような非
酸化性雰囲気で行う。
本発明によれば反応終了後は原料混合物A中に
はSiCはほとんど生成されず、原料B中にのみβ
−SiCウイスカーが生成される。本発明により得
られるβ−SiCウイスカーは炭素物質と共存した
状態で得られ、また不純物を含有しているのが普
通であるので得られたβ−SiCウイスカーを空気
中で加熱して炭素物質を除去した後、更に酸処理
すればより高純度のものを得ることができる。
はSiCはほとんど生成されず、原料B中にのみβ
−SiCウイスカーが生成される。本発明により得
られるβ−SiCウイスカーは炭素物質と共存した
状態で得られ、また不純物を含有しているのが普
通であるので得られたβ−SiCウイスカーを空気
中で加熱して炭素物質を除去した後、更に酸処理
すればより高純度のものを得ることができる。
本発明によれば簡単な操作で純度99%以上のβ
−SiCウイスカーを50%以上の収率で得ることが
できる。
−SiCウイスカーを50%以上の収率で得ることが
できる。
実施例 1
アミルフアスシリカ(純度99%)とカーボンブ
ラツク粉末(純度99%、粒度10μ以下)をポツト
ミル中でモル比1:1の割合に、30分間混合した
ものを粒径3mm程度に造粒し、原料混合物Aを造
つた。これとは別にカーボンブラツクを造粒し粒
径3mm程度の原料Bを造つた。
ラツク粉末(純度99%、粒度10μ以下)をポツト
ミル中でモル比1:1の割合に、30分間混合した
ものを粒径3mm程度に造粒し、原料混合物Aを造
つた。これとは別にカーボンブラツクを造粒し粒
径3mm程度の原料Bを造つた。
このようにして得た造粒物を第1図に示すよう
に、反応容器に原料混合物A1.5に対し原料B1の
重量比で装入し、アルゴン雰囲気下で1500℃で1
時間加熱したところ原料B中のみにβ−SiCウイ
スカーが生成した。得られたβ−SiCウイスカー
を空気中で700℃で30分間加熱して炭素を消失せ
しめた後、塩酸処理したところ、純度99%以上の
β−SiCウイスカーを65%の収率で得た。
に、反応容器に原料混合物A1.5に対し原料B1の
重量比で装入し、アルゴン雰囲気下で1500℃で1
時間加熱したところ原料B中のみにβ−SiCウイ
スカーが生成した。得られたβ−SiCウイスカー
を空気中で700℃で30分間加熱して炭素を消失せ
しめた後、塩酸処理したところ、純度99%以上の
β−SiCウイスカーを65%の収率で得た。
比較例
上記実施例1で造つた原料混合物A造粒物と原
料造粒物とを重量比で1.5:1に混合したものを
ポツトミルで1時間粉砕し、SiOとCとの均一混
合物からなる粉体を得た。この粉体をアルゴン雰
囲気下で1500℃で1時間加熱処理して得た反応生
成物を空気中で600℃、30分間加熱後、塩酸処理
して得たものはβ−SiCウイスカーを約10%含ん
だ主にβ−SiC微粉からなるもので、SiC全体と
しての収率は52%、ウイスカーのみの収率は約5
%であつた。
料造粒物とを重量比で1.5:1に混合したものを
ポツトミルで1時間粉砕し、SiOとCとの均一混
合物からなる粉体を得た。この粉体をアルゴン雰
囲気下で1500℃で1時間加熱処理して得た反応生
成物を空気中で600℃、30分間加熱後、塩酸処理
して得たものはβ−SiCウイスカーを約10%含ん
だ主にβ−SiC微粉からなるもので、SiC全体と
しての収率は52%、ウイスカーのみの収率は約5
%であつた。
実施例 2
アモルフアスシリカ(純度99%)とカーボンブ
ラツク粉末(純度99%、粒度10μ以下)ポツトミ
ル中でモル比1:1.2の割合に1時間混合したも
のを粒径5mm程度に造粒し、原料混合物Aを造つ
た。またこれとは別にカーボンブラツクを造粒
し、粒径5mm程度の原料Bを造つた。
ラツク粉末(純度99%、粒度10μ以下)ポツトミ
ル中でモル比1:1.2の割合に1時間混合したも
のを粒径5mm程度に造粒し、原料混合物Aを造つ
た。またこれとは別にカーボンブラツクを造粒
し、粒径5mm程度の原料Bを造つた。
このようにして造つた造粒物を原料混合物A中
のSiO2のモル比と原料B中のCのモル数とが
1:4になるように実施例1と同様に反応容器に
装入し、水素雰囲気下で1480℃で100分間加熱し
たところ、原料B中のみにβ−SiCウイスカーが
生成した。得られたβ−SiCウイスカーを空気中
で750℃で40分間加熱して炭素を消失せしめた後、
塩酸処理したところ、純度98%以上のβ−SiCウ
イスカーを68%の収率で得た。
のSiO2のモル比と原料B中のCのモル数とが
1:4になるように実施例1と同様に反応容器に
装入し、水素雰囲気下で1480℃で100分間加熱し
たところ、原料B中のみにβ−SiCウイスカーが
生成した。得られたβ−SiCウイスカーを空気中
で750℃で40分間加熱して炭素を消失せしめた後、
塩酸処理したところ、純度98%以上のβ−SiCウ
イスカーを68%の収率で得た。
実施例 3
アモルフアスシリカ(純度99%)とカーボンブ
ラツク粉末(純度98.5%、粒度10μ以下)をモル
比で1:1の割合に配合し、ポツトミルで30分間
混合して原料混合物Aの粉末を造つた。これとは
別に無定形炭素(純度98.5%)の粉末(粒度10μ
以下)の原料Bを造つた。
ラツク粉末(純度98.5%、粒度10μ以下)をモル
比で1:1の割合に配合し、ポツトミルで30分間
混合して原料混合物Aの粉末を造つた。これとは
別に無定形炭素(純度98.5%)の粉末(粒度10μ
以下)の原料Bを造つた。
このようにして造つた原料混合物Aと原料Bと
を原料混合物A中のSiO2モル数と原料B中のC
のモル数の比が1:5になるように実施例1と同
じ反応容器中に第2図に示す如く層状に交互に配
置し、アルゴン雰囲気下で1550℃で40分間加熱し
たところ、原料B中のみにβ−SiCウイスカーが
生成した。得られたβ−SiCウイスカーを空気中
で800℃で1時間加熱して炭素を消失せしめたと
ころβ−SiCウイスカーの収率は61%で純度は98
%であつた。次にこのSiCウイスカーを弗酸処理
したところ純度99.5%のβ−SiCウイスカーが得
られた。
を原料混合物A中のSiO2モル数と原料B中のC
のモル数の比が1:5になるように実施例1と同
じ反応容器中に第2図に示す如く層状に交互に配
置し、アルゴン雰囲気下で1550℃で40分間加熱し
たところ、原料B中のみにβ−SiCウイスカーが
生成した。得られたβ−SiCウイスカーを空気中
で800℃で1時間加熱して炭素を消失せしめたと
ころβ−SiCウイスカーの収率は61%で純度は98
%であつた。次にこのSiCウイスカーを弗酸処理
したところ純度99.5%のβ−SiCウイスカーが得
られた。
第1図は実施例1および2における反応容器の
原料混合物Aと原料Bの装入状態を示す模式断面
図であり、第2図は実施例3における反応容器の
原料混合物Aと原料Bの装入状態を示す模式断面
図である。 図において、1……原料混合物A、2……原料
Bである。
原料混合物Aと原料Bの装入状態を示す模式断面
図であり、第2図は実施例3における反応容器の
原料混合物Aと原料Bの装入状態を示す模式断面
図である。 図において、1……原料混合物A、2……原料
Bである。
Claims (1)
- 1 SiO2:Cのモル比が1:1〜1:2になる
ように微粉の珪酸物質と炭素または含炭素物質と
を混合した原料混合物Aと、微粉の炭素または含
炭素物質よりなる原料Bとを、原料混合物A中の
SiO2モル数:原料B中のCモル数の比が1:2
〜1:10になるように近接して配置し、両者を
1300〜1600℃の温度範囲で非酸化性雰囲気中にお
いて加熱し、原料B内に炭化珪素ウイスカーを生
成させることを特徴とするβ−炭化珪素ウイスカ
ーの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57002304A JPS58120599A (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | β−炭化珪素ウイスカ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57002304A JPS58120599A (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | β−炭化珪素ウイスカ−の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58120599A JPS58120599A (ja) | 1983-07-18 |
JPH0253400B2 true JPH0253400B2 (ja) | 1990-11-16 |
Family
ID=11525617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57002304A Granted JPS58120599A (ja) | 1982-01-12 | 1982-01-12 | β−炭化珪素ウイスカ−の製造方法 |
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JP (1) | JPS58120599A (ja) |
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Citations (2)
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1982
- 1982-01-12 JP JP57002304A patent/JPS58120599A/ja active Granted
Patent Citations (2)
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JPS4932719A (ja) * | 1972-07-27 | 1974-03-26 | ||
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Also Published As
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JPS58120599A (ja) | 1983-07-18 |
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