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JPH0226002Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0226002Y2
JPH0226002Y2 JP1982117826U JP11782682U JPH0226002Y2 JP H0226002 Y2 JPH0226002 Y2 JP H0226002Y2 JP 1982117826 U JP1982117826 U JP 1982117826U JP 11782682 U JP11782682 U JP 11782682U JP H0226002 Y2 JPH0226002 Y2 JP H0226002Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
phase
signal
coil
rod
magnetic material
Prior art date
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Expired
Application number
JP1982117826U
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS5923609U (en
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP11782682U priority Critical patent/JPS5923609U/en
Publication of JPS5923609U publication Critical patent/JPS5923609U/en
Application granted granted Critical
Publication of JPH0226002Y2 publication Critical patent/JPH0226002Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Actuator (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 この考案はシリンダのロツドの直線位置を検出
するための装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The invention relates to a device for detecting the linear position of a cylinder rod.

従来より、シリンダの位置検出装置は種々考え
られているが、移動位置を連続的に検出し得るも
のは数少なく、その中でも特にアブソリユートで
位置検出できるものはなかつた。この考案の目的
は、シリンダの位置検出をアブソリユートで行な
い得る装置を提供することにある。この目的は、
軸方向にずれた所定の配置で配設された複数の1
次コイルと、この1次コイルに対応して設けられ
た2次コイルとを含むコイルアセンブリを、コイ
ル空間がシリンダのロツドとほぼ同心になるよう
な配置で該ロツドを該コイル空間にスライド自在
に貫通させた状態で、該シリンダの所定箇所に固
定し、他方、前記ロツドの周囲に軸方向に所定間
隔で複数の磁性リングを設け、前記1次コイルを
励磁して前記2次コイル側に前記ロツドの直線位
置に応じた出力信号を得るようにしたシリンダ位
置検出装置によつて達成される。ロツドの直線位
置に応じて位相シフトされた信号が2次側に得ら
れるように1次コイルを励磁し、この出力信号の
位相ずれ量を測定する(例えばカウンタでカウン
トする)ことにより直線位置を示すアブソリユー
トデータが得られる。
Although various cylinder position detection devices have been considered in the past, there are only a few that can continuously detect the position of movement, and none of them have been able to detect the position in an absolute manner. The purpose of this invention is to provide a device that can absolutely detect the position of a cylinder. This purpose is
A plurality of 1s arranged in a predetermined arrangement shifted in the axial direction
A coil assembly including a primary coil and a secondary coil provided corresponding to the primary coil is arranged so that the coil space is approximately concentric with the rod of the cylinder, and the rod can be freely slid into the coil space. The rod is fixed at a predetermined location on the cylinder in a state where the rod is penetrated, and on the other hand, a plurality of magnetic rings are provided around the rod at predetermined intervals in the axial direction, and the primary coil is energized so that the rod is attached to the secondary coil side. This is achieved by a cylinder position detection device which obtains an output signal depending on the linear position of the rod. The linear position is determined by exciting the primary coil so that a signal whose phase is shifted according to the linear position of the rod is obtained on the secondary side, and by measuring the amount of phase shift of this output signal (for example, by counting it with a counter). The absolute data shown is obtained.

以下添付図面を参照してこの考案の一実施例を
詳細に説明しよう。
An embodiment of this invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

第1図において、コイルアセンブリ1は、軸方
向にずれた所定の配置で配設された4個の1次コ
イル2,3,4,5と、これに対応して設けられ
た2次コイル6,7,8,9とをケーシング10
内に収納して成るものであり、シリンダ11の一
端11aの所定箇所においてコイルの円筒空間が
ロツド12と同心になるように該ロツド12を該
コイル空間にスライド自在に貫通させた状態で固
定されている。ロツド12は、シリンダ11内の
ピストン13を一端に取付けた円柱形の心棒12
aと、この心棒12aの周囲に軸方向に交互に嵌
着された複数の所定幅の環状の磁性リング12b
及び環状の非磁性スペーサ12cと、これらの最
外周に嵌着された円筒状の非磁性体から成るスリ
ーブ12dとを含んでいる。非磁性スペーサ12
cは固形の非磁性物質または空気である。一例と
して、各磁性リング12bの長さ(幅)は「P/2」 (Pは任意の数)であり、スペーサ12cも同様
であり、交互配列における1ピツチ分の間隔は
「P」である。この実施例において、コイルは4
つの相で動作するように設けられている。これら
の相を便宜上A,B,C,Dなる符号を用いて区
別する。ロツド12の磁性リング12bの位置に
応じて各相A〜Dに生じるリラクタンスが90度づ
つずれるようになつており、例えばA相をコサイ
ン相とすると、B相はサイン相、C相はマイナス
コサイン相、D相はマイナスサイン相、となるよ
うになつている。第1図の実施例では、各相A〜
D毎に個別に1次コイル2〜5及び2次コイル6
〜9が設けられている。各相A〜Dの2次コイル
6〜9は各々に対応する1次コイル2〜5の外側
に夫々巻かれている。各コイルの長さは磁性リン
グ12bの長さにほぼ等しく、「P/2」である。第 1図の例では、A相のコイル2,6とC相のコイ
ル3,7とが隣合つて設けられており、B相のコ
イル4,8とD相のコイル5,9も隣合つて設け
られている。また、A相とB相またはC相とD相
のコイルの間隔は「P(n±1/4)」(nは任意の自 然数)である。この構成によつて、ロツド12
(詳しくは磁性リング)の直線変位に応じて各相
A〜Dにおける磁気回路のリラクタンスが変化
し、しかもそのリラクタンス変化の位相は各相毎
に90度づつずれる(従つてA相とC相では180度
ずれ、B相とD相とでも180度ずれる)ようにな
つている。1次コイル2〜5及び2次コイル6〜
9の結線形式は第2図のようにする。第2図は、
A相とC相の1次コイル2乃び3を正弦信号
sinωtによつて互いに逆相で励磁し、2次コイル
6及び7の出力を同相で加算するようにした結線
形式を示すものである。B相とD相も上述と同様
に、1次コイル4,5を余弦信号cosωtで逆相励
磁し、2次コイル8,9の出力を同相加算する。
2次コイルの出力は最終的に加算され、出力信号
Yを得る。一方、これに限らず、A相とC相の1
次コイル2,3を正弦信号sinωtによつて同相で
励磁し、2次コイル6,7を逆相接続し、B相と
D相の1次コイル4,5を余弦信号cosωtによつ
て同相で励磁し、2次コイル8,9を逆相接続
し、最終的に2次コイル出力を加算するようにし
てもよい。
In FIG. 1, a coil assembly 1 includes four primary coils 2, 3, 4, and 5 arranged in a predetermined arrangement shifted in the axial direction, and a secondary coil 6 provided correspondingly. , 7, 8, 9 and the casing 10
The rod 12 is fixed at a predetermined location of one end 11a of the cylinder 11 in such a manner that the rod 12 is slidably passed through the coil space so that the cylindrical space of the coil is concentric with the rod 12. ing. The rod 12 is a cylindrical shaft 12 with a piston 13 in the cylinder 11 attached to one end.
a, and a plurality of annular magnetic rings 12b having a predetermined width that are alternately fitted in the axial direction around the mandrel 12a.
and an annular non-magnetic spacer 12c, and a cylindrical non-magnetic sleeve 12d fitted on the outermost periphery of these spacers. Non-magnetic spacer 12
c is a solid nonmagnetic substance or air. As an example, the length (width) of each magnetic ring 12b is "P/2" (P is an arbitrary number), the same is true for the spacer 12c, and the interval for one pitch in the alternate arrangement is "P". . In this example, the coils are 4
It is arranged to operate in two phases. For convenience, these phases are distinguished using symbols A, B, C, and D. The reluctance generated in each phase A to D is shifted by 90 degrees depending on the position of the magnetic ring 12b of the rod 12. For example, if phase A is a cosine phase, phase B is a sine phase and phase C is a negative cosine phase. The phase and D phase are designed to be negative sign phases. In the embodiment of FIG. 1, each phase A~
Primary coils 2 to 5 and secondary coil 6 individually for each D
-9 are provided. The secondary coils 6 to 9 of each phase A to D are wound outside the corresponding primary coils 2 to 5, respectively. The length of each coil is approximately equal to the length of the magnetic ring 12b, which is "P/2". In the example shown in Fig. 1, the A-phase coils 2, 6 and the C-phase coils 3, 7 are installed adjacent to each other, and the B-phase coils 4, 8 and the D-phase coils 5, 9 are also installed adjacent to each other. It is set up. Further, the interval between the A-phase and B-phase or C-phase and D-phase coils is "P(n±1/4)" (n is any natural number). With this configuration, the rod 12
The reluctance of the magnetic circuit in each phase A to D changes according to the linear displacement of the magnetic ring (more specifically, the magnetic ring), and the phase of the reluctance change shifts by 90 degrees for each phase (therefore, the phase A and C are There is a 180 degree shift between the B phase and D phase. Primary coils 2-5 and secondary coils 6-
9 is connected as shown in Figure 2. Figure 2 shows
A sine signal for primary coils 2 and 3 of A phase and C phase
This shows a wiring configuration in which the secondary coils 6 and 7 are excited in opposite phases by sinωt, and the outputs of the secondary coils 6 and 7 are added in the same phase. Similarly to the above, for the B phase and D phase, the primary coils 4 and 5 are excited in opposite phases with the cosine signal cosωt, and the outputs of the secondary coils 8 and 9 are added in phase.
The outputs of the secondary coils are finally summed to obtain the output signal Y. On the other hand, the present invention is not limited to this, and one of the A phase and C phase
The secondary coils 2 and 3 are excited in the same phase by the sine signal sinωt, the secondary coils 6 and 7 are connected in opposite phases, and the primary coils 4 and 5 of the B phase and D phase are excited in the same phase by the cosine signal cosωt. The secondary coils 8 and 9 may be connected in reverse phase, and the outputs of the secondary coils may be finally added.

第2図の結線形式は要するに次のように表現で
きる。すなわち、リラクタンス変化が180度ずれ
た2つの相(AとCあるいはBとD)を互いに逆
相で動作させ、かつ、リラクタンス変化が90度ず
れた2つの対(AとCの対とBとDの対)の一方
を正弦信号sinωtによつて励磁し、他方を余弦信
号cosωtによつて励磁する。換言すれば、2つの
対(AとCの対乃びBとDの対)は、そのリラク
タンス変化の位相が90度ずれた2つの差動トラン
スと同じものであり、そのリラクタンス変化の位
相ずれに応じた電気的位相ずれを有する2種類の
交流信号(sinωt,cosωt)によつて各々を個別
に励磁するのである。A,C相の対とB,D相の
対の2次コイル出力を加算したものが出力信号Y
となる。この出力信号Yは、ロツド12における
磁性リング12bの直線位置に応じた位相角φだ
け基準交流信号(sinωtまたはcosωt)を位相シ
フトしたものとなる。その理由は、各相A〜Dの
リラクタンスが90度づつずれており、かつ一方の
対(A,C)と他方の対(B,D)の励磁信号の
電気的位相が90度ずれているためである。この点
を略式で示すと次の通りである。
In short, the wiring format shown in FIG. 2 can be expressed as follows. In other words, two phases (A and C or B and D) whose reluctance changes are shifted by 180 degrees are operated in opposite phases, and two pairs whose reluctance changes are shifted by 90 degrees (a pair of A and C and a pair of B and One of the pair D) is excited by a sine signal sinωt, and the other is excited by a cosine signal cosωt. In other words, the two pairs (the pair A and C or the pair B and D) are the same as two differential transformers whose reluctance changes are out of phase by 90 degrees; Each of them is individually excited by two types of alternating current signals (sinωt, cosωt) having electrical phase shifts corresponding to . The output signal Y is the sum of the secondary coil outputs of the A, C phase pair and the B, D phase pair.
becomes. This output signal Y is obtained by phase-shifting the reference AC signal (sinωt or cosωt) by a phase angle φ corresponding to the linear position of the magnetic ring 12b in the rod 12. The reason for this is that the reluctance of each phase A to D is shifted by 90 degrees, and the electrical phases of the excitation signals of one pair (A, C) and the other pair (B, D) are shifted by 90 degrees. It's for a reason. This point can be expressed briefly as follows.

すなわち、磁性リング12bの直線位置に対応
する位相をφとすると、直線位置に応じたリラク
タンス変化の関数は、A相がcosφ、B相がsinφ、
C相が−cosφ、D相が−sinφなる略式で示すこ
とができる。A相とC相を正弦信号sinωtによつ
て互いに逆相で動作させ、かつB相とD相を余弦
信号cosωtによつて互いに逆相で動作させ、その
結果生じた2次コイル出力を加算的に合成するの
で、出力信号Yは次のような略式で実質的に表現
することができる。
That is, if the phase corresponding to the linear position of the magnetic ring 12b is φ, the function of reluctance change according to the linear position is cosφ for the A phase, sinφ for the B phase,
The C phase can be expressed as -cosφ and the D phase as -sinφ. The A and C phases are operated in opposite phases to each other by a sine signal sinωt, and the B and D phases are operated in opposite phases to each other by a cosine signal cosωt, and the resulting secondary coil output is additively Therefore, the output signal Y can be substantially expressed in the following informal formula.

Y=sinωtcosφ−(−sinωtcosφ) +cosωtsinφ−(−cosωtsinφ) =2sinωtcosφ+2cosωtsinφ =2sin(ωt+φ) 上記式で便宜的に「2」と示された係数を諸種
の条件に応じて定まる定数Kで置換えると、 Y=Ksin(ωt+φ) と表現できる。ここで、リラクタンス変化の位相
φは磁性リング12bの直線位置lに所定の比例
係数(または関数)に従つて比例しているので、
出力信号Yにおける基準信号sinωt(または
cosωt)からの位相ずれφを測定することにより
直線位置lを検出することができる。ただし、位
相ずれ量φが全角2πのとき、直線位置lは前述
の距離Pに相当する。すなわち、信号Yにおける
電気的位相ずれ量φによれば、距離Pの範囲内で
のアブソリユートな直線位置が検出できるのであ
る。距離Pを越えてアブソリユートな直線位置を
求めたい場合は、適宜任意の手段(この検出精度
は距離Pを1単位とする粗いものでよい)を併設
してロツド12における個々の磁性リング12b
の絶対番地を求め、この各リング12bの絶対番
地と上述の位相ずれφにもとづく直線位置検出値
との組合せを用いればよい。電気的位相ずれφの
測定によれば、距離Pの範囲のアブソリユート直
線位置をかなりの高分解度で精度よく割出すこと
ができる。
Y=sinωtcosφ−(−sinωtcosφ) +cosωtsinφ−(−cosωtsinφ) =2sinωtcosφ+2cosωtsinφ =2sin(ωt+φ) If we replace the coefficient indicated as “2” in the above formula with a constant K determined according to various conditions, we get It can be expressed as Y=Ksin(ωt+φ). Here, since the phase φ of the reluctance change is proportional to the linear position l of the magnetic ring 12b according to a predetermined proportionality coefficient (or function),
Reference signal sinωt (or
By measuring the phase shift φ from cosωt), the linear position l can be detected. However, when the phase shift amount φ is 2π in full width, the linear position l corresponds to the distance P described above. That is, according to the electrical phase shift amount φ in the signal Y, an absolute linear position within the range of the distance P can be detected. When it is desired to obtain an absolute linear position beyond the distance P, an appropriate arbitrary means (the detection accuracy may be coarse with the distance P being one unit) is installed to detect each magnetic ring 12b on the rod 12.
It is sufficient to find the absolute address of each ring 12b and use a combination of the absolute address of each ring 12b and the detected linear position value based on the above-mentioned phase shift φ. By measuring the electrical phase shift φ, it is possible to accurately determine the absolute linear position within the range of distance P with fairly high resolution.

出力信号Yと基準交流信号sinωt(または
cosωt)との位相ずれφを求めるための手段は適
宜に構成できる。第3図は位相ずれφをデイジタ
ル量で求めるようにした回路例を示すものであ
る。特に図示しないが、積分回路を用いて基準交
流信号sinωtと出力信号Y=Ksin(ωt+φ)との
所定位相角(例えば0度)の時間差分を求めるこ
とにより、位相ずれφをアナログ量で求めること
もできる。
Output signal Y and reference AC signal sinωt (or
cosωt) can be constructed as appropriate. FIG. 3 shows an example of a circuit in which the phase shift φ is determined as a digital quantity. Although not particularly shown, the phase shift φ can be determined as an analog quantity by determining the time difference of a predetermined phase angle (for example, 0 degrees) between the reference AC signal sinωt and the output signal Y=Ksin(ωt+φ) using an integrating circuit. You can also do it.

第3図において、発振部32は基準の正弦信号
sinωtと余弦信号cosωtを発生する回路、位相差
検出回路37は上記位相ずれφを測定するための
回路である。クロツク発振器33から発振された
クロツクパルスCPがカウンタ30でカウントさ
れる。カウンタ30は例えばモジユロMであり、
そのカウント値がレジスタ31に与えられる。カ
ウンタ30の4/M分周出力からは、クロツクパル スCPを4/M分周したパルスPcが取り出され、1/2 分周用のフリツプフロツプ34のC入力に与えら
れる。このフリツプフロツプ34のQ出力から出
たパルスPbがフリツプフロツプ35に加わり、
Q出力から出たパルスPaがフリツプフロツプ3
6に加わり、これら35及び36の出力がローパ
スフイルタ21,22及び増幅器23,24を経
由して、余弦信号cosωtと正弦信号sinωtが得ら
れる。カウンタ30におけるMカウントがこれら
基準信号cosωt,sinωtの2πラジアン分の位相角
に相当する。すなわち、カウンタ30の1カウン
ト値は2π/Mラジアンの位相角を示している。
In FIG. 3, the oscillation unit 32 is a reference sine signal.
A circuit for generating sinωt and a cosine signal cosωt, and a phase difference detection circuit 37, is a circuit for measuring the phase shift φ. Clock pulses CP generated by a clock oscillator 33 are counted by a counter 30. The counter 30 is, for example, Modillo M,
The count value is given to register 31. From the 4/M frequency-divided output of the counter 30, a pulse Pc obtained by dividing the clock pulse CP by 4/M is taken out and applied to the C input of a flip-flop 34 for 1/2 frequency division. The pulse Pb output from the Q output of this flip-flop 34 is applied to the flip-flop 35,
The pulse Pa from the Q output is the flip-flop 3
6, and the outputs of these 35 and 36 pass through low-pass filters 21, 22 and amplifiers 23, 24 to obtain a cosine signal cosωt and a sine signal sinωt. The M count in the counter 30 corresponds to the phase angle of 2π radians of these reference signals cosωt and sinωt. That is, one count value of the counter 30 indicates a phase angle of 2π/M radians.

コイルアセンブリ1の出力信号Yは増幅器25
を介してコンパレータ26に加わり、該信号Yの
正・負極性に応じた方形波信号が該コンパレータ
26から出力される。このコンパレータ26の出
力信号の立上りに応答して立上り検出回路28か
らパルスTsが出力され、このパルスTsに応じて
カウンタ30のカウント値をレジスタ31にロー
ドする。その結果、位相ずれφに応じたデイジタ
ル値Dφがレジスタ31に取り込まれる。
The output signal Y of the coil assembly 1 is sent to the amplifier 25
A square wave signal corresponding to the positive/negative polarity of the signal Y is outputted from the comparator 26 via the comparator 26 . In response to the rise of the output signal of the comparator 26, a pulse Ts is output from the rise detection circuit 28, and the count value of the counter 30 is loaded into the register 31 in response to this pulse Ts. As a result, a digital value Dφ corresponding to the phase shift φ is taken into the register 31.

尚、各相A〜Dの設け方は上述の方法に限ら
ず、例えば、第4図に示すようにA,B,C,D
相の順で各コイル2〜5,6〜9を所定間隔「P
(n±1/4)」で設けてもよい。また、各相の1次 コイル2〜5と2次コイル6〜9をバイフアイラ
巻きによつて一緒に巻いてもよい。また、第5図
に示すようにA相とC相で1次コイル2(または
2次コイル)を共用するようにし、2次コイル
6,7(または1次コイル)を逆相接続としても
よい。B相とD相も同様に、1次コイル4を共用
し、2次コイル8,9を逆相接続とする。
Note that the method of providing each phase A to D is not limited to the method described above. For example, as shown in FIG.
Each coil 2-5, 6-9 is connected at a predetermined interval "P" in order of phase.
(n±1/4)". Further, the primary coils 2 to 5 and the secondary coils 6 to 9 of each phase may be wound together by bifilar winding. Alternatively, as shown in Fig. 5, the A phase and C phase may share the primary coil 2 (or secondary coil), and the secondary coils 6 and 7 (or primary coils) may be connected in opposite phases. . Similarly, the B phase and the D phase share the primary coil 4, and the secondary coils 8 and 9 are connected in opposite phases.

尚、対を成している相A及びCまたはB及びD
は出力信号レベルを差動的に深めて精度を上げる
のに寄与している。精度を要求しない場合はC相
とD相のコイルを省略することも可能である。ま
た、コイル数(相数)は4組もしくは2組に限ら
ずそれ以上であつてもよい。
In addition, phases A and C or B and D forming a pair
contributes to increasing precision by differentially deepening the output signal level. If accuracy is not required, it is also possible to omit the C-phase and D-phase coils. Further, the number of coils (number of phases) is not limited to four or two, but may be more.

第1図において、ロツド12の心棒12aは磁
性体、非磁性体のどちらでもよい。ロツド12の
心棒12aを磁性体とした場合、この磁性体心棒
の外周部に所定幅の環状突出部を軸方向に所定間
隔で複数形成加工することによりこの環状突出部
を前記磁性リング12bとすることもできる。そ
の場合でも、ロツド12の滑らかなスライドを保
証するために最外周に非磁性スリーブ12dを設
けるのが好ましい。
In FIG. 1, the shaft 12a of the rod 12 may be made of either a magnetic material or a non-magnetic material. When the mandrel 12a of the rod 12 is made of a magnetic material, a plurality of annular protrusions having a predetermined width are formed at predetermined intervals in the axial direction on the outer circumference of the magnetic mandrel, thereby forming the annular protrusions as the magnetic ring 12b. You can also do that. Even in that case, it is preferable to provide a non-magnetic sleeve 12d on the outermost periphery to ensure smooth sliding of the rod 12.

以上説明したようにこの考案によれば、シリン
ダのロツドの直線位置をアブソリユートで、しか
も精度良く検出することができるという優れた効
果を奏する。
As explained above, this invention has the excellent effect of being able to detect the linear position of the cylinder rod absolutely and with high precision.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの考案に係るシリンダ位置検出装置
の一実施例を示す軸方向断面図、第2図は第1図
の実施例におけるコイルの結線形式の一例を示す
回路図、第3図は第1図のコイルアセンブリにお
ける2次コイル出力信号と基準交流信号との位相
ずれをデイジタル量で測定するための回路の一例
を示すブロツク図、第4図及び第5図はこの考案
の他の実施例を夫々示す軸方向断面図、である。 1……コイルアセンブリ、2〜5……1次コイ
ル、6〜9……2次コイル、10……ケーシン
グ、11……シリンダ、12……ロツド、12a
……心棒、12b……磁性リング、12c……非
磁性スペーサ、12d……スリーブ、13……ピ
ストン。
FIG. 1 is an axial sectional view showing an embodiment of the cylinder position detection device according to the invention, FIG. 2 is a circuit diagram showing an example of the coil connection type in the embodiment of FIG. 1, and FIG. A block diagram showing an example of a circuit for measuring the phase shift between the secondary coil output signal and the reference AC signal in the coil assembly shown in FIG. 1 as a digital quantity, and FIGS. 4 and 5 show other embodiments of this invention. FIG. 1...Coil assembly, 2-5...Primary coil, 6-9...Secondary coil, 10...Casing, 11...Cylinder, 12...Rod, 12a
...Mandrel, 12b...Magnetic ring, 12c...Nonmagnetic spacer, 12d...Sleeve, 13...Piston.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 1 シリンダ内のピストンの一端に取り付けられ
た心棒の周囲に、軸方向の長さが互いに等しい
リング状の磁性体と非磁性体とが前記軸方向に
所定ピツチPで交互に配置されたロツドと、 前記ロツドに対して相対的に変位するように
前記シリンダに固定され、180゜又は360゜以外の
所定の位相差(360゜/D)を有する基準交流信
号によつて個別に励磁され、前記軸方向に関し
て所定の距離P×{n±(1/D)}(但し、nは
任意の整数)だけ互いに離隔されて前記ロツド
の周囲に設けられた少なくとも2個の1次コイ
ル、及びこの1次コイルに対応して設けられ、
前記ロツドの前記軸方向の変位に応じて生じる
リラクタンスの変化によつて位相シフトした出
力信号を検出する2次コイルを含むコイルアセ
ンブリとを具備したことを特徴とするシリンダ
位置検出装置。 2 前記心棒は磁性体から成り、この心棒の外周
部に所定幅の環状突出部を前記リング状の磁性
体として軸方向に所定間隔で形成して成るもの
である実用新案登録請求の範囲第1項記載のシ
リンダ位置検出装置。 3 前記ロツドの周囲には非磁性体から成るスリ
ーブが嵌着されている実用新案登録請求の範囲
第1項または第2項記載のシリンダ位置検出装
置。 4 前記1次及び2次コイルは4相のコイルグル
ープから成り、前記リング状の磁性体の直線位
置に応じた各相のリラクタンス変化の位相が90
度づつずれるように配置されており、その中で
前記リラクタンス変化が180度隔たつた2つの
相を前記基準交流信号として正弦波信号を用い
て互いに逆相で動作し、前記リラクタンス変化
が180度隔たつた別の2つの相を前記基準交流
信号として余弦波信号を用いて互いに逆相で動
作するようにした実用新案登録請求の範囲第3
項記載のシリンダ位置検出装置。
[Claims for Utility Model Registration] 1. A ring-shaped magnetic material and a non-magnetic material having equal axial lengths are arranged around a shaft attached to one end of a piston in a cylinder at a predetermined pitch P in the axial direction. and a reference AC signal fixed to the cylinder so as to be displaced relative to the rods and having a predetermined phase difference (360°/D) other than 180° or 360°. Therefore, at least two rods are individually excited and provided around the rod and separated from each other by a predetermined distance P×{n±(1/D)} (where n is an arbitrary integer) in the axial direction. a primary coil, and a primary coil provided corresponding to the primary coil,
A cylinder position detection device comprising: a coil assembly including a secondary coil for detecting an output signal whose phase is shifted due to a change in reluctance caused in response to displacement of the rod in the axial direction. 2. The mandrel is made of a magnetic material, and annular protrusions of a predetermined width are formed on the outer periphery of the mandrel at predetermined intervals in the axial direction as the ring-shaped magnetic material. Cylinder position detection device as described in . 3. The cylinder position detection device according to claim 1 or 2, wherein a sleeve made of a non-magnetic material is fitted around the rod. 4 The primary and secondary coils are composed of 4-phase coil groups, and the phase of reluctance change of each phase according to the linear position of the ring-shaped magnetic body is 90°.
The reluctance changes are arranged so as to be shifted by 180 degrees, and the two phases in which the reluctance change is 180 degrees apart are operated in opposite phases using a sine wave signal as the reference AC signal, and the reluctance change is 180 degrees apart. Utility model registration claim 3 in which two separate phases are operated in opposite phases by using a cosine wave signal as the reference AC signal.
Cylinder position detection device as described in .
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JPS4897561A (en) * 1972-03-27 1973-12-12
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