JPH02149893U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02149893U JPH02149893U JP5958289U JP5958289U JPH02149893U JP H02149893 U JPH02149893 U JP H02149893U JP 5958289 U JP5958289 U JP 5958289U JP 5958289 U JP5958289 U JP 5958289U JP H02149893 U JPH02149893 U JP H02149893U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor chamber
- discharge port
- vacuum pump
- oil
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の第１実施例に係るオイルフリ
ースクリユ式真空ポンプの断面図、第２図は本考
案の第２実施例に係るオイルフリースクリユ式真
空ポンプの断面図、第３図は従来のオイルフリー
スクリユ式真空ポンプの断面図、第４図は吐出温
度、吐出流量と吸込圧力との関係を示す図である
。 １……吸取流路、２……冷却器、３……ガス閉
込み空間、１１……スクリユロータ、１２……吸
込口、１３……吐出口、１４……ロータ室、１５
……ケーシング、１６……吐出ポート。
ースクリユ式真空ポンプの断面図、第２図は本考
案の第２実施例に係るオイルフリースクリユ式真
空ポンプの断面図、第３図は従来のオイルフリー
スクリユ式真空ポンプの断面図、第４図は吐出温
度、吐出流量と吸込圧力との関係を示す図である
。 １……吸取流路、２……冷却器、３……ガス閉
込み空間、１１……スクリユロータ、１２……吸
込口、１３……吐出口、１４……ロータ室、１５
……ケーシング、１６……吐出ポート。
Claims (1)
- 互いに噛み合う雌雄一対のスクリユロータと、
一方が吸込口に、他方が吐出口に開口したロータ
室を有し、このロータ室内に上記スクリユロータ
を回転可能に収納したケーシングとからなるオイ
ルフリースクリユ式真空ポンプにおいて、上記ロ
ータ室の吐出口への開口部である吐出ポートの近
傍からガス冷却手段を経由して吐出口および吸込
口のいずれにも連通すことがない上記ロータ室内
のガス閉込み空間に至る吸取流路を設けたことを
特徴とするオイルフリースクリエ式真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989059582U JPH089437Y2 (ja) | 1989-05-23 | 1989-05-23 | オイルフリースクリュ式真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989059582U JPH089437Y2 (ja) | 1989-05-23 | 1989-05-23 | オイルフリースクリュ式真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02149893U true JPH02149893U (ja) | 1990-12-21 |
| JPH089437Y2 JPH089437Y2 (ja) | 1996-03-21 |
Family
ID=31586204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989059582U Expired - Lifetime JPH089437Y2 (ja) | 1989-05-23 | 1989-05-23 | オイルフリースクリュ式真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH089437Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003031820A1 (fr) * | 2001-09-27 | 2003-04-17 | Taiko Kikai Industries Co,. Ltd. | Pompe a vide |
| JP2006503229A (ja) * | 2002-10-14 | 2006-01-26 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 洗浄設備を備えた回転ピストン型真空ポンプ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6336085A (ja) * | 1986-07-30 | 1988-02-16 | Taiko Kikai Kogyo Kk | スクリユウ型真空ポンプ |
-
1989
- 1989-05-23 JP JP1989059582U patent/JPH089437Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6336085A (ja) * | 1986-07-30 | 1988-02-16 | Taiko Kikai Kogyo Kk | スクリユウ型真空ポンプ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003031820A1 (fr) * | 2001-09-27 | 2003-04-17 | Taiko Kikai Industries Co,. Ltd. | Pompe a vide |
| DE10197270B4 (de) * | 2001-09-27 | 2008-01-24 | Taiko Kikai Industries Co., Ltd. | Vakuumpumpe |
| JP2006503229A (ja) * | 2002-10-14 | 2006-01-26 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 洗浄設備を備えた回転ピストン型真空ポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH089437Y2 (ja) | 1996-03-21 |
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