JPH01307645A - 試料の検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カラーテレビ用ブラウン管に用いられるシャ
ドウマスク、カラー逼像装置用色分解フィルタ、液晶表
示パネル用カラーフィルタ、電子管に用いられるメツシ
ュ状電極、ＶＤＴフィルタ、濾過装置用メツシュ用フィ
ルタ、ロータリーエンコーダ、リニアエンコーダ、ＩＣ
用フォトマスク、フレネルレンズ、レンチキュラーレン
ズなど一定の光学的性質、形状をもつ単位（以下単位パ
ターン）が１次元方向、或いは２次元方向に規則的に繰
り返し配列されている工業製品、或いは単位パターンが
その光学的性質、形状及び１次元方向、２次元方向の配
列ピッチが徐々に変化しながら繰り返し配列されている
工業製品のキズ、ピンホール、黒点、ゴミなどの欠陥や
ムラ、透過率、またパターンを有しないガラス、着色し
たフィルムなどを自動的に検査する試料の検査方法に関
する。

〔従来の技術〕

従来、単位パターンが周期的に繰り返し配列されている
工業製品の欠陥検査は、目視または顕微鏡観察により行
われているのが通例であるが、このような方法では多数
の製品を検査するためには多大の人手を必要とし、また
官能検査であるために検査精度及び信幀性に欠けること
から、さまざまな検査方法が提案されている。

例えば、等ピッチ配列の周期性パターンをもつ工業製品
に関しては、配列単位及び欠陥の形状を十分に解像する
ような顕微鏡撮影装置によって得られたビデオ信号を調
べてパターン認識を行うか、或いは欠陥のないパターン
を同様に撮影して得られた信号と比較する等の手段によ
り欠陥を検出している。

また、周期的開口をもつ製品、例えば電子管用メツシュ
状電極などについては、コヒーレント光を照射したとき
の周期性パターンによる光の回折現象を利用する光学的
フ、−リエ変換空間フィルタリング法により欠陥を検出
している。

次に、第６図により周期性パターンを能率良（、高精度
に検査するために従来提案されている方法について説明
する。

第７図に示すような周期的な開口を単位パターン５１と
して持つパターンの開口面積の異常を検知するため、直
流電ａ！４９で点灯される白熱ランプ４８と拡散機４７
で構成される透過照明部により被検査パターン４６を照
明し、ＴＶカメラ４１で検査領域を撮影する。画像処理
装置４２はＴＶカメラの出力信号をＡ／Ｄ変換してデジ
タル画像データとし、フレームメモリ、及び演算器によ
り画面の加算、減算を含む各種の画像処理を高速で行う
。制御装置４３は画像処理装置４２、及びＸＹステージ
５０と駆動機構４５で構成されるパターン移動機構を制
御してパターンの移動を行う。

なお、第７図において５２．５３は欠陥をもった単位パ
ターンである。

第６図においてＴＶカメラ４１によるビデオ信号の単位
開口による変化が無視できる撮影条件、例えば１画素に
対応するパターン面積に単位開口１１が１０個程度入る
ようにし、パターンを移動変位させる方向がＴＶカメラ
４１の走査線方向で、パターンの変侍距離が画素ピッチ
の整数倍となっている場合について第８図により説明す
る。

パターンの欠陥がある所を通る直線上の光透過率分布は
、例えば第８図（ａ）に示すようになり、第７図の５３
で示すような開口面積が正常なパターン５１よりも大き
い欠陥、即ち白欠陥による光透過率の変化５４や、第７
図の５２で示すように開口面積が正常なパターン５１よ
りも小さい欠陥、即ち黒欠陥による光透過率の変化５５
が検出される。また、第８図（ａ）の場合と同じ線上を
走査したビデオ信号を示すと第８図（ｂ）のようになり
、パターンの照明ムラ、撮像面の感度ムラ等による緩や
かな信号変化（シェーディング）とビデオ信号処理装置
で発生するランダムノイズ、及び光学系に付着したゴミ
などによる信号の局部的な変化５６が現れる。

このようなビデオ信号を複数フレームを加算することに
より、加算回数をＮとしたときランダムノイズ成分の比
率をｔ／、／”ｉにまで減少することができる（第８図
（ｃ））、次に、パターンを変位させて同様の画面加算
処理をした場合、第８図（ｄ）に示すよ、うに、パター
ンの移動と共にパターン上の欠陥による信号も移動して
いるが、撮像系のシェーディングや光学系のゴミ等によ
る信号５６の位置は変化していない。そこで、第８図（
ｃ）で示すデータから第８図（ｄ）に示すデータを減算
すると、両データに含まれるシェーディングやゴミなど
による信号５Ｇは消去され、パターンの光透過率変化に
よる信号と低減されたランダムノイズ成分だけが残り、
この結果、欠陥による信号はパターンの移動量に応じた
画素散乱れた位置でその近傍の平均値に対する値の差が
ほぼ同じで、符号が反転して現れ、反転する順序は欠陥
の種類（白欠陥、黒欠陥）によって逆転する。

以上のような処理をした画像データは欠陥部のみ明るさ
が局部的に変化しているため、モニタで観察すれば容易
に欠陥として認識することができ、また欠陥部での周囲
に対する明暗の反転の順序で欠陥の種類を識別すること
もできる。

また、シャドウマスクの場合には、その開口の水平投影
面での形状だけでなく、開口の断面形状の異常や開口以
外の表面でのキズなども欠陥検出の対象となり、また開
口を覆うように表面に付着しているゴミなどの異物につ
いてもそれを他の欠陥とは区別して検出すべきことが要
求されており、そのための従来の方法について第９図、
第１０図により説明する。

第９図、第１０図において、透過光照明（ｉ３過明視野
照明）を用いれば、開口面積が大きい欠陥開口は白欠陥
として、開口面積が小さい欠陥開口、及び開口を遮るよ
うな位置にある異物６１は黒欠陥としてそれぞれ検出で
き、また反射照明光（反射暗視野照明）を用いれば、シ
ャドウマスク表面上のキズ６２及び異物６１を検出する
ことができ、開口を遮る異物は白欠陥として検出するこ
とができる。そして、これらの互いに異なる照明方法で
欠陥検出を行い、検出した欠陥の位置、種類（白欠陥、
黒欠陥）及び信号レベルなどのデータを調べれば欠陥の
種類をさらに細かく識別することができる。

また、第１１図に示すように、撮影方法を斜め撮影とな
るように設定すれば、垂直方向からの撮影では検出でき
ない開口の断面形状不良を検出することが可能となるの
で、中心線Ｎを回転軸として少なくとも２以上の方向か
ら順次行って複数回、欠陥検出を行い、それらのいずれ
の場合にも欠陥が検出できなかった場合には、そのシャ
ドウマスクには第１０図に示すような欠陥６３がなかっ
たものと判断することができる。

次にパターンの移動方法について説明する。

第１２図に示すように、被検査体位置Ｐ０〜Ｐ酋があり
、前述の移動はこの図のＰ、とＰ、に相当する。この場
合、２箇所から得られる画像データのみで処理を行った
場合、同図のＨ方向に開口率が変化することによって生
じた暇は検出されるが、他の方向、例えばＶ方向に変化
が大きく、Ｈ方向に変化が小さい暇は検出されないとい
う検出感度の異方性を生ずる欠点があるが、例えば同図
のＰ、、Ｐ、　、Ｐ、、Ｐｌ、Ｐ、で撮像して得た画像
データをもとに、Ｐ、とＰ＋　、ＰａとＰｌ、Ｐ、とＰ
ｓ、ＰｏとＰ、の組み合わせで各々について所定の処理
を行って異方性を解消することができる。また、図のＰ
、からＰ、のように円周上に配列した各位置での画像デ
ータの合計を中心位置Ｐ０の画像データから減算して得
られる画像データに基づいて検出を行っても同様に異方
性を回避することができ、しかも視覚的に反応し易い明
るさ分布の曲率を近似した値が得られ、目視検査に、近
い検査結果となる。そして、各位置で撮像して得られる
画像データには前記したランダムノイズ成分とシェーデ
ィング成分、さらに固定ノイズ成分などが含まれており
、ランダムノイズ成分は、各移動位置において複数フレ
ーム分を加算することで抑圧することができ、またシェ
ーディング成分や固定ノイズ成分は画像データのフレー
ム数の総和が「０」となるように画像データの演算をご
なうことによって消去できる。例えば、第１２図のＰ、
の位置で３２フレ一ム分、Ｐ、で８フレ一ム分の加算を
行い、Ｐｌでの画像データを４倍した画像データからＰ
、での画像データを減算すれば両画像データの総和は「
０」となり、シェーディング成分や固定ノイズ成分が消
去される。また、Ｐ、からＰ、の各位置において、それ
ぞれ４フレ一ム分の画面加算を行った場合、ＰｌからＰ
Ｉｌの画像データの加算結果は３２フレ一ム分の画像デ
ータの加算結果に相当するからＰｏの位置で３２フレ一
ム分の画像データを加算した結果から減算すれば、同様
にシェーディング成分や固定ノイズ成分が消去されると
共に、明るさ分布の２次元微分値が得られる。さらに、
以上のような処理によりシェーディング成分や固定ノイ
ズ成分の低減された画像データに対して平滑処理を加え
ると、ランダムノイズ成分がさらに減少し、極めて軽微
なムラ成分の検出が可能になり、また微小欠陥や周期の
短いムラによる画像データの変化を抑制することもでき
る。

以上のような画像処理が施された画像データをもとに製
品の良・不良の判定を自動的に行う方法も提案されてい
る。

第１３図は第８図と同様な条件で測定した例を示し、第
１３図（ａ）〜（ｅ）は第８図と同様であり、Ａは開口
率の変化が緩やかな部分、Ｂは開口率が周期的に変化し
ている部分、Ｃは開口率の変化が大きく、しかも孤立し
ている部分、Ｄは光学系の汚れなどによるビデオ信号の
局部的な変化成分（固定ノイズ成分）である。第１３図
（ｅ）には被検査体の開口率の変化による成分が抽出さ
れていることが分かる。この場合、被検査体の移動量は
、検出しようとするムラの状態により異なるが、ムラの
変化する周期の増大に伴うで被検査体の移動量も増大し
、フレームメモリの画素数に換算して２画素から２０画
素程度に設定する。次に、第１３図（ｅ）の画像データ
に対して、十分広い９ｉ域の画像データの平均値を減算
すると第１３図（ｆ）に示すようになり、また第１３図
（ｅ）の画像データを微分すると第１３図（ｇ）に示す
ようになり、検出しようとするムラの性質に応じて所定
の闇値Ｓ、、Ｓ、を設定することにより自動的にムラを
検出することができる。第１３図（ｈ）は第１３図（ｇ
）の画像データに対して閾値Ｓ＋　、Ｓｔを設定し、閾
値を越えた場合を「１」、越えない場合を「０」として
示した２値化データである。そして、第１３図（ａ）の
Ｃに示すよ−うな孤立したムラを検出し、製品不良とす
る場合は、第１３図（ｆ）または（ｇ）の画像データに
対してＳｌのような闇値を設定すればよい。

また、第１３図（ａ）のＢに示すような周期的に変化す
るムラを検出して製品不良とする場合は、第１３図（ｆ
）または（ｇ）の画像データに対してＳ２のような闇値
を設定し、第１３図（ｈ）に示すような２値化データに
変換した後、近傍画素を加算して第１３図（ｉ）に示す
ような所定の領域内のムラの数、即ち密度データに変換
し、この密度データに対して所定の閾値Ｓ、を設定して
比較することにより周期的に変化しているムラのみを検
出し、その結果から製品の良・不良を判定することがで
きる。

また、光透過性を持つ物品の光透過率やその分布、シャ
ドーマスク、メツシュ、布等の周期開口を持つ工業製品
の開口率やその分布の測定には、第１４図に示すように
投光器７３からの照射光を受光器７１で受光するように
構成し、試料を介在させた場合と介在させない場合、ま
たは遮光状態での受光器出力をもとにして光透過率を測
定していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、顕微鏡撮影装置によって得られたビデオ
信号を調べる方法では、検出しようとする欠陥の大きさ
に応じた機械的精度が必要となるため、装置が高価とな
り、また顕微鏡的な撮影であるために一度に処理できる
画面の大きさが小さくなり、検査すべきパターン全体を
検査するのに多大の時間を要するという問題がある。

また周期性パターンによる光の回折現象を利用する光学
的フーリエ変換空間フィルタリング法では、検査速度、
検出感度には優れているものの、被検査パターン毎に空
間フィルタを作成しなければならず、かつ精密な光学系
が必要となるために装置が高価となり、さらに欠陥は検
出できるが、その欠陥開口の基準値に対する大小関係が
判別できないという問題があった。

また第６図〜第１３図に示す方法では、透過率の変化が
あった場合に、それがパターンの欠陥によるものか、或
いは撮像装置のノイズやゴミ等の付着によるものなのか
分からないので、パターンの移動とフレーム積分を繰り
返し行う必要があるため・測定に時間がかかると共に、
透過率の変化を見ているのみで、透過率の大きさそのも
の、或いはその分布を測定することはできなかった。

また、第１４図に示す方法では、例えば第１５図に示す
ように、ブラウン管に使用されているシ中ドーマスフの
透過率を測定するような場合には、本来、ブラウン管内
でのビーム方向で透過率の測定を行う必要があるが、投
受光器のセットで測定しようとすると、第１６図に示す
ように投受光器を角度をつけてとり付ける必要があり、
そのため構造が複雑になるいう問題があった。

そして何れの方法も個別の項目については検査できるが
一回の撮像による画像データから、全ての項目を検査す
ることはできなかった。

本発明は、上記問題点を解決するためのもので、試料毎
に一回の撮像による画像データから、画像処理によって
種々の項目の検査を短時間に行うことが可能な試料の検
査方法を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

そのために本発明は、照明手段と、撮像手段とを存し、
照明部を撮像して得られた画像データと、照明部により
照明した試料を撮像して得られた画像データとに基づき
試料の透過率の絶対値を求め、該絶対値から試料の良否
を検査することを特徴とし、撮像手段として冷却型ＣＣ
Ｄを使用し、また照明部を撮像して得られた画像データ
を記憶させておいて各試料に対して使用するようにし、
周期性パターンの場合に撮像装置の画素との間でモアレ
が発生しない撮像条件で検出を行い、さらに、各画像デ
ータに微分処理、または平滑化処理を施し、また各画像
データのレベルがほぼ等しくなるように撮像条件を設定
してシャドウマスク等の単位パターンの繰り返し配列か
らなる被検査体の欠陥、パターンのムラ、及び／又は透
過率を検査する。

〔作用〕

本発明は、光源を予め撮像した画像データと、試料を照
明したときの画像データとから透過率分布を求め、透過
率分布の異常から１回の測定で欠陥、パターンのムラ、
透過率等の検査を行うもので、冷却型ＣＣＤカメラを使
用することにより暗電流やノイズを無視できる程度まで
大幅に減少させ、透過率の絶対値測定を行うことができ
るので、従来のようにノイズ成分を消去するために試料
を動かして差をとる必要がなく、検査時間を大幅に短縮
することができると共に、得られた画像データに対して
微分処理、平滑処理等の画像処理を行うことにより１回
の測定であらゆる項目についての検査を行うことが可能
となる。

〔実施例〕

以下、実施例を図面に基づき説明する。

第１図は撮像装置として冷却型ＣＣＤカメラを使用した
本発明の一実施例を示す図で、図中、１は冷却型ＣＣＤ
カメラ、２は画像処理装置、３はレンズ、４はシャッタ
、５はシャッタ駆動装置、６は試料、７は照明装置、８
は電源である。

冷却型ＣＣＤカメラｌは、電子冷却方式等により冷却し
て暗電流やノイズを無視できる程度まで大幅に減少させ
、暗い領域での長時間露光が可能なＣＣＤカメラで、積
算光景に対する映像信号の直線性が良好であることが特
徴であり、従来の高感度テレビカメラでも映し出せなか
った暗い領域を高画質で鮮明に写し出すことができ、１
画素・１秒間当たり数個オーダーの光子まで検出するこ
とが可能である。

このようなＣＣＤカメラ１を使用し、電源８で駆動され
る照明装置７により試料６を照射し、その透過光をレン
ズ３を介して結像させている。この場合、周期パターン
と撮像装置の画素との間でモアレが発生しないような条
件、例えばレンズ３によりフォーカスをぼかしたり、１
画素に対応するパターン面積に複数の単位パターンが入
るようにする。

このとき、試料なしで撮像した画像データを１１、試料
を入れて撮像した画像データを■、シャッター４を閉じ
て撮像した画像データを■。とすると、試料上の点の透
過率Ｔは、 １、−１゜ として計算できる。ここで■、Ｉ６、■１は対応する位
置の画像データであり、シャッター閉（光量＝０）のと
きの画像データが無視できれば、Ｔ−１／Ｔ。

として透過率が得られる。この演算は画像処理装置２に
より各画像データをフレームメモリに記憶した後、画面
間演算で行うことができる。そして、冷却型ＣＣＤカメ
ラの画素数が５１２Ｘ５１２とすれば、この演算で約２
５万点の透過率データが得られることになる。こうして
得られた再像データにはシェーディングや撮像系のゴミ
等の成分は含まれていないため、この画像に対して前述
したような各検査項目に応じた画像処理を行うことによ
り１度の測定で検査を行うことが可能である。

また、光源が安定していれば画像データＩ、をメモリに
記憶させておき、これを使用するようにすれば試料毎に
測定を行う必要がなく、測定時間を短縮することができ
る。

通常の固体撮像素子や撮像管では、光量と映像信号の直
線性が十分でなく、また熱電子の影響が大きく高精度の
測定は困難であり、イメージディセクタ管をフォトンカ
ウト法で用いる場合には、空間分解能や直線性、Ｓ／Ｎ
は良好であるが、撮像時間が長いという問題があった（
１画素当たり１ｍｓ程度、２５万画素として約４分）が
、本発明においては冷却型ＣＣＤカメラｌを使用するこ
とにより、数ｓｅｃ程度で撮像でき直線性も良好となる
。

また、欠陥検出は画像データに対して、微分処理を行う
ことにより、試料移動を行うことなく、従来の撮像（フ
レーム積分）→試料移動→撮像（フレーム積分）を行っ
た結果に相当する画像データが得られその後、同様な画
像処理を行えば欠陥検出を行うことができる。この場合
、例えば第２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のような微分処
理の空間フィルタを使用することにより特徴抽出を行え
ばよい、第２図（ａ）、（ｂ）の空間フィルタを使用す
れば１次元のエツジ抽出を行うことができ、第２図（ｃ
）の空間フ宥ルタを使用すれば２次元のエツジ強調を行
うことができる。そして、画像データのバラツキ、解像
特性、検出すべき欠陥の性質など応じて空間フィルタを
選択すれば良（、また白／黒欠陥の識別は第２図（Ｃ）
の空間フィルタを使用して着目画素の大きさを判別し、
周囲画素に対する着目画素の大きさにより識別すること
かできる。

また、ムラの検出判定も第２図（Ｃ）の空間フィルタを
使用することにより、第１３図で説明したような一連の
撮像動作を行ったのと同じ結果が得られ、第１３図の場
合と同様、画面加算処理、闇値の設定を行うことにより
検出・判定まで行うことができる。

ところで、第１図の透過率測定方法では、−画素毎のデ
ータのバラツキがそのままデータに影響を与えるため高
精度の測定を行うためには測定点を中心とする小領域の
画像データ、例えば５×５ｐｉｘ〜１０Ｘ１０ｐｉｘな
どの平均値を演算する必要がある。測定点が限られてい
る場合には、ＣＰＵによる処理でも演算に要する時間は
少なくてすむが、測定点が多くなるとＣＰＵによる処理
では多くの時間を要するので、その場合には透過率デー
タが得られたフレームメモリに画像処理の１種である平
滑フィルタ処理を行った後、所定の画像データを読み出
すようにすれば高速化することが可能となる。

前述したように、冷却型ＣＯＤは積算光景に対する映像
信号の直線性が良好であることが特徴であるが、透過率
の低い試料を測定する場合には、試料なしで撮像した画
像データ■、をｍａｘに近いイ１σに設定しても試料を
入れて撮像した画像データ■の値が小さくなり直線性の
僅かな誤差や暗電流などが透過率値に影響する。

このため、■及び１１を撮像するときに、これらの二つ
の画像データレベルがほぼ等しく、十分な大きさを持つ
ように撮像した方が情度の高い結果が得られ、その場合
画像処理には、補正演算が必要となる。

そのための一つの方法として！、撮像時の露光時間が、
■の時の１／Ｔとなる様にシャッタを動作させて■と１
１をほぼ同じ値とすることが可能である。

しかし、メカシャッタには、動作時間のバラツキがある
ため、特にシャツタ開時間が短い場合には誤差が大きく
なる欠点があり、この誤差が無視できない場合には、シ
ャツタ開時間を測定し、その値によりデータを補正すれ
ば良い。

第３図はこれを実現するための本発明の他の実施例を示
す図であり、第１図と同一番号は同一内容を示している
。なお、図中、９はハーフミラ−１ｌＯは光センサ、１
１は測定装置である。

本実施例では、ハーフミラ−９により撮像時の光の一部
をセンサ１０で検出し、検出信号が得られている時間を
測定装置１１で測定することにより露光時間を求める。

こうして求めた露光時間によりデータを補正し、■と■
１の二つの画像データレベルをほぼ等しくすることがで
きる。

また、冷却型ＣＣＤの蓄積時間を変化させ、例えば試料
を入れて撮像した画像データ■の方を長くしてＩと１１
のレベルを等しくしてもよい。この場合、時間の設定は
十分な精度で行えるが、光透過率が低い場合、■、を撮
像する時間が■の時の１／Ｔ倍であるため、例えば透過
率が０．１％程度のときには１０００倍の時間を必要と
することになる。

またＩと１．の撮像時に光源の明るさを変えても同様な
結果を得ることができる。

第１４図、第１６図で示した従来の投受光器を用いる方
法では、測定点が限られているため、シャドーマスクな
ど、所定形状の試料の決められた位置の透過率データを
求めるためには、測定系に対して、試料を位置決めした
上で測定しなければならなかった。これに対し、本発明
の方法では透過率データが高分解能の画像データとして
得られるため、この画像データを処理して試料の位置や
回転などを自動的に認識して、所定位置のデータを得る
ことができ容易に自動測定化が可能である。

また測定対称品種の変更も、メカ調整なしでプログラム
の変更だけで対応できる。

第４図は照明光の変動、バラツキ、ドリフト等の測定値
の変化が問題となる場合の測定方法を示す図である。

本実施例では、試料６に対して照明装置７による視野２
１を２図示するように大きくとり、撮像領域に試料によ
って遮られない部分がある様にしてその領域に透過率が
一定の基準板２２を配置し、各撮像データ毎に基準板の
画像データを読み出すようにすれば、例−えば照明光の
強さが変動すれば基準板２２の部分の露光量も同様に変
動するので、ここのデータを用いて補正を行うことによ
り、照明光の変動の影響を除き、再現性を向上させるこ
とができる。

シャドーマスクの透過率測定は、前述したように、本来
、ブラウン管内でのビーム方向で行う必要があるが、こ
の場合の測定方法を第５図により説明する。

第５図は本発明の他の実施例を示す図で、図中、３１は
光源、３２はフレネルレンズ、３３はシャドーマスクで
ある。

図において、光源３１からの光でシャドーマスクを照明
露光し、このとき試料に対する距離と冷却型ＣＯＤカメ
ラの撮影領域との関係で撮影角度を選ぶことにより、ブ
ラウン管内でのシャドーマスクに対するビーム方向に近
似した角度θで測定することができる。

この場合、測定領域各点での照明光の平行度が必要な場
合には、図示するようにフルネルレンズ３２を集光レン
ズとして用いることによりシャドーマスクやアパーチャ
グリルのような大面積の試料も簡単な照明装置で測定す
ることができる。

なお、以上では周期性パターンの検査方法について説明
したが、ガラスや透明なフィルムに着色層を施したもの
等、周期性パターンがなくても撮像したときに信号レベ
ルが−様な画像が得られるものであれば本発明を適用す
ることが可能である。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、光源を予め撮像した画像
データと、試料を照明したときの画像データとから透過
率分布を求め、透過率分布の異常から１回の測定で欠陥
、パターンのムラ、透過率等の検査を行うもので、冷却
型ＣＣＤカメラを使用することにより暗電流やノイズを
無視できる程度まで大幅に減少させ、透過率の絶対値測
定を行うことができるので、従来のようにノイズ成分を
消去するために試料を動かして差をとる必要がなく、検
査時間を大幅に短縮することができると共に、得られた
画像データに対して微分処理、平滑処理等の画像処理を
行うことにより１回の測定であらゆる項目についての検
査を行うことが可能となる。そして、光源が安定してい
れば試料なしの画像データは、記憶したものを使うこと
ができ、種々の検査が出来るため高速の自動検査が可能
になる。シャドウマスクの場合、撮像１ｓｅｃで試料の
交換と検出判定処理が並列で進められるため、数ｓｅｃ
サイクルの自動検査が可能となる。また１画面毎のデー
タ精度を向上させる必要があれば、フレーム積分を行っ
ても良く、シャドウマスクやＡＧ（アバーキャグリル）
に適用した場合、能率良く検査を行うことができる上、
ビーム方向での検査ができる利点がある。また、本発明
の検査方法では周期性パターンと撮像装置の画素との間
にモアレが発生しないように、例えばフォーカスをぼか
しているため焦点深度が問題にならず、そのため成型品
も検査対象とすることが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図空間フィル
タを示す図、第３図は露光時間を測定するようにした本
発明の他の実施例を示す図、第４図は照明光の変動、測
定値の変化を補正するようにした本発明の他の実施例を
示す図、第５図は撮影角度をつけた本発明の他の実施例
を示す閲、第６図は従来の周期性パターンの検査方法を
説明するための図、第７図は周期性パターンとその欠陥
を説明するための図、第８図は従来の検出方法を説明す
るための図、第９図、第１０図、第１１図は照明方法を
説明するための図、第１２図はパターン移動方法を説明
するための図、第１３図は検査を自動化するための方法
を説明するための図、第１４図は投受光器を用いた従来
の透過率測定方法を示す図、第１５図はシャドーマスク
に対するビームの入射角度を示す図、第１６図は投受光
器を試料に対して角度をつけてセットする従来の例を示
す図である。 １・・・冷却型ＣＣＤカメラ、２・・・画像処理装置、
３・・・レンズ、４・・・シャッタ、５・・・シャッタ
駆動装置、６・・・試料、７・・・照明装置、８・・・
電源、９・・・ハーフミラ−，１０・・・光センサ、１
１・・・測定装置、３１・・・光源、３２・・・フレネ
ルレンズ、３３・・・シャドーマスク。 出　　願　　人　　大日本印刷株式会社代理人　弁理士
　　蛭　川　昌　信（外４名）第１図 （ａ　）　　　　　　　　（ｂ　） 第４図 第５図 第６図 第７図 ：ｌｌ’：ｓ１ −　　○Ｏ○○ご− 一−−−○σ○○○− −○○ｑ○○− ：　　　　：　　　：Ｓ：Ｚ：　　　　：第８図 第９図 第１０図 会了戸〒 第１１図　　　　第１２図 第１４図 第１５図 第１６図 区 沫

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）照明手段と、撮像手段とを有し、照明部を撮像し
   て得られた画像データと、照明部により照明した試料を
   撮像して得られた画像データとに基づき試料の透過率の
   絶対値を求め、該絶対値から試料の良否を検査すること
   を特徴とする試料の検査方法。
2. （２）撮像手段が冷却型ＣＣＤである請求項１記載の試
   料の検査方法。
3. （３）欠陥、パターンのムラ、及び／又は透過率を検査
   する請求項１または２記載の試料の検査方法。
4. （４）照明部を撮像して得られた画像データを記憶させ
   ておき、各試料に対して使用するようにした請求項１ま
   たは２記載の試料の検査方法。
5. （５）周期性パターンと撮像装置の画素間でモアレが発
   生しない撮像条件で検出を行う請求項１または２記載の
   試料の検査方法。
6. （６）各画像データに微分処理、または平滑化処理を施
   すようにした請求項１または２記載の試料の検査方法。
7. （７）各画像データのレベルがほぼ等しくなるように撮
   像条件を設定する請求項１または２記載の試料の検査方
   法。
8. （８）試料がシャドウマスクである請求項１記載の試料
   の検査方法。