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JPH01284744A - 電子部品の検査装置 - Google Patents

電子部品の検査装置

Info

Publication number
JPH01284744A
JPH01284744A JP63113369A JP11336988A JPH01284744A JP H01284744 A JPH01284744 A JP H01284744A JP 63113369 A JP63113369 A JP 63113369A JP 11336988 A JP11336988 A JP 11336988A JP H01284744 A JPH01284744 A JP H01284744A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
lead
image pickup
measuring instruments
horizontal plane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63113369A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Okazaki
誠 岡崎
Kenichi Azuma
健一 東
Tatsunori Hibara
火原 辰則
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP63113369A priority Critical patent/JPH01284744A/ja
Publication of JPH01284744A publication Critical patent/JPH01284744A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
この発明は、電子部品をプリント基板に実装する前の前
工程などで、電子部品のリードを検査するために用いる
電子部品の検査装置に関するものである。
【従来の技術】
検査対象となる電子部品の代表例を第5図〜第7図にお
いて説明する。この電子部品1は薄板状の平面が矩形を
なすものであり4つの側面部分(以下4辺という)から
それぞれ複数のり一ド2が突出している。 このような電子部品をプリント基板に実装する前にリー
ド2のピッチPiや長さ(正確にはリード接合面3の長
さ)jilさらにはリードの水平部分が他のリードの水
平部分からどれだけ浮き上ってしまっているかを表す浮
き量hiなどが定められた値を満足するかどうかが検査
される。これらの値は電子部品がプリント基板に正確に
装着されるために必要なものである。 第3図は、例えば特願昭61−247207号に記載さ
れた従来の電子部品の検査装置を示す斜視図である。 11はロポッ1−からなる搬送機構であり、この搬送機
構11は、機台12の後部上に配設した左右方向(y方
向)に直線往復動する第1アーム13と、このアーム1
3上に配設した前後方向(X方向)に直線往復動する第
2アーム14と、第2ア°−ム14の先端部に支持され
て上下方向に往復動する搭載ヘッド15とを備え、この
搭載ヘッド15にこれを縦軸回りに90°ずつ回転させ
る回転モータ16が連結されている。なお、搭載ヘッド
15は後述の位置決め装置18の吸着ヘッド17と同様
に図示しない排気装置に接続されている。 上記位置決め装置18は機台12の高さの低い前部に設
けられ対向する爪19.20の2組がモータによって回
動するねじ軸21,22の互いに反対方向のねじにそれ
ぞれねし嵌合され、爪19゜20が図示しない固定部材
にねじ軸21.22の軸方向に沿う直線移動が可能なよ
うに、係合されている。また、ねじ軸21,22はXp
Y方向に互いに直交して立体交差され、さらに一方の組
の爪19は幅が広く、他方の組の爪20は幅が狭く形成
され、上端部が吸着ヘッド17の外側方にそれぞれ配置
されている。23,24は機台12の前部に設けた画像
計測装置であり、画像計測装置23.24は、第3図に
も示すように、機台12上の位置決め装置18両側方に
固定した支脚25゜26上部にねじ軸27.28が回動
可能に設けられ、ねじ軸27.28に搭載台29.30
がねし嵌合され、ねじ軸27.28の外端部にモータ3
1.32が連結され、モータ31,32の正逆回転によ
ってねじ軸27.28を介して位置決め装置23.24
に対する搭載台29.30の距離が調整されるように構
成されている。搭載台29゜30上には工業用テレビカ
メラからなろ撮像機33.34が下向きに傾斜してそれ
ぞれ固定され、撮像機33.34と対向するランプから
なる光源35.36が支脚25,26に上向きに傾斜し
てそれぞれ固定され、光源35,36の光軸はそれぞれ
固定され、光a35,36の光軸はそれぞれが吸着ヘッ
ド17上に水平に吸着された電子部品1のリード2部を
経て撮像機33,34の光軸と一致している。なお、第
1図中37,38は機台12の前後方向中間部上に設け
られた電子部品1の収納部である。 次に、以上のように構成された従来の電子部品の検査′
装置の動作について説明する。 まず、搬送機構11によって収納部37に収納された第
5図に示す電子部品1の上面4を搭載ヘッド15に吸着
させ、電子部品1を位置決め装置18の吸着へラド1フ
上に搬入、載置し、搭載ヘッド15による吸着を解除す
る。次に、位置決め装置18のモータの正回転によって
開いている爪19.20をねじ軸21.22を介して閉
方向に移動させ、電子部品1の各側辺のリード2を2組
の対向する爪19,20で両側からそれぞれ押付け、電
子部品1の吸着ヘッド17に対する位置ずれ、回転方向
のずれを修正して電子部品1を位置決めする。その後、
電子部品1の下面を吸着へラド17で吸着保持した状態
で搭載ヘッド15が2方向に下降し電子部品1の上面4
を再び吸着し保持する。次に吸着ヘッド17が吸着を解
除すると同時に2組の爪19.20が位置決めを解除し
、搭載ヘッド15は電子部品1を水平に吸着した状態で
検査位置まで上昇する。 さらに電子部品1の形状寸法に応じ、画像計測装置23
,24の撮像機33,34と光源35゜36の光軸上に
電子部品1のリード2が位置するように、電子部品1を
吸着ヘッド17によって移動させ、さらに電子部品1の
寸法に応じ画像計測装置23,24のモータ31,32
の駆動によりねじ軸27.28を介して撮像機33.3
4を搭載台29.30と共に光軸方向の前後に移動させ
て焦点合せを行う。2@の光軸上のリード2ば光源35
,36からの光を遮断するために、撮像機33.34に
陰影を結び、この陰影を撮像機33゜34で検出するこ
とによりリードのピッチPiと浮き量h1を計測する。 4辺のうち2辺のり一ド2の検査後、搭載ヘッド15が
電子部品1を90゜回転させて、残る他の2辺のリード
2の検査を上述した手順と同様にして行う。また、計測
したリード2のピッチPiと浮き量hiを予めプログラ
ムされたピッチの基準値と浮き量の許容量とを比較する
ことでリード2の良否判定を行い、検査後の電子部品1
は搬送機構11の動作により、良品と不良品とに判別さ
れ分けられて収納部38に収納する。
【発明が解決しようとする課題】
従来の電子部品の検査装置は、前述のように構成されて
いるので、第7図に示す電子部品1のリード2の浮きJ
l h iとピッチPiしか検査できず、リード2のリ
ード接合面3の長さJiは検査ができない。よって電子
部品1をプリント基板に実装する工程においてブリッジ
などのはんだ付不良や、リード2とプリント基板の接合
部の強度が低下するなどの実装信頼性を低下させるとい
う問題があった。さらに画像計測装置が2台しかないた
めに、電子部品1の2辺のり一ド2の検査後、搭載ヘッ
ド15が吸着保持した電子部品1を90°回転する必要
がある。このとき、生じる電子部品1の回転ずれが浮き
量とピッチ精度の計測誤差を与え、精度の高い検査がで
きない。また、同時に4辺のり一ド2を検査できないの
で第8図に示すような電子部品1のモールド上面4とリ
ード接合面5が形成する平面とがΔθなる角度で傾いて
いるなどの場合は、リード接合面5の形状精度がよく良
品であっても、第9図に示すモニタ6に映し出される陰
影画像を基にしてリード形状精度を検査するために、傾
きによる計測差Δh = L sinΔθを浮き量hi
として計測してしまうので精度の高い検査ができないと
いう問題点があった。また位置決めの際にリード2に爪
19,20が接触して、リード2を変形させ、はなたば
しい場合には破損させることもあった。 この発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、電子部品1のモールド上面4とリード接合
面5の平行度が悪くても電子部品1のり一ド2の浮き量
とピッチ精度が高精度に検査できるばかりではなく、リ
ード接合面長さも高精度に計測でき、リードを変形等せ
ずに位置決めができる電子部品の検査装置を得ることを
目的とする。
【課題を解決するための手段】
この発明の電子部品の検査装置は、4辺から複数のリー
ドが突出した電子部品の上面を吸着して保持する搭載ヘ
ッドと、前記搭載ヘッドを3次元空間内で移動し水平面
内で回動することにより前記電子部品を慶送し検査位置
に位置決めする搬送機構と、位置決めされた電子部品を
中心にして概略水平面内で4方から囲む4!lの光学的
な計測装置であって各計測装置は前記電子部品を通り電
子部品の上面に対して傾斜した光軸を有しこの先軸の一
端に光源を他端に撮像機を対向して配置した側面計測装
置と、電子部品の下方に光源と電子部品からの反射光を
受ける撮像機とを配置した平面計測装置と、前記平面計
測装置の計測結果により前記電子部品の水平面内位置修
正を前記搬送機構に指令するffi制御装置と、前記側
面計測装置と平面計測装置の計測結果により前記リード
の浮き量、ピッチ、長さの量を計測し電子部品が良品か
不良品かを判別する判別装置とを備えるようにしたもの
である。
【作  用】
4組の計測装置からなる側面計測装置を備えたことによ
り、従来のように電子部品を90”回転する必要がなく
、各リードの浮き量h1が認められるもののこの浮き量
hiが4辺において直線的に連続しており各リードの接
合面が全体として同一面内にある場合には判別装置によ
り電子部品は良品と判別されうる。なお従来は4辺のリ
ードの浮き量hiを同時に計測することができなかった
ので、以上のような判別は困難であった。 また、電子部品の下方に光源と電子部品からの反射光を
受ける撮像機とを配置した平面計測装置を備えたことに
よりリードの長さ (リード接合面の長さ)を計測でき
る。のみならず電子部品の検査位置の修正を、この平面
計測装置の計測結果により制御装置を経て搬送機構に指
令することができ、従来のように爪が電子部品に直接接
触することも避けられる。
【実施例】
以下、この発明の一実施例を図について説明する。 第1図及び第2図において、従来例を示す第3図と同一
符号は同一または相当部分を示す。第1図において、電
子部品の検査装置の機台12上にはX方向に従来と同様
の光学的な計測装置23゜24が設けられている。この
X方向に直交するX方向にさらに2組の計測装置41.
42が設けられている。従って合計4組の光学的な計測
装置が、電子部品1を中心にして概略水平面上で四方に
設けられることになる。この計測装置41,42は従来
の電子部品の検査装置の計測装置23,24と同様に支
#43,44、適宜の手段で直線移動可能な搭載台45
,46、搭載台45.46を直線移動させるためのモー
タ47,48から構成されている。さらに搭載台45.
46には工業用テレビカメラからなる撮像g149,5
0が下向きに傾斜してそれぞれ固定されている。撮像機
49゜50に対向するようにして、ランプからなる光源
51.52が上向きに傾斜してそれぞれ支脚43゜44
に固定されている。従来と同様に組になる光源51.5
2と映像機49.50とは共通の光軸53.54を有す
る。この光軸53,54は、中心の電子部品1を通り、
電子部品1の上面4に対して傾斜したものとなっている
。これら4組の計測装置は全体として側面計測装置を構
成する。 これら4組の計測装置の中央であって電子部品1の下方
には、平面計測装置60が配置されろ。 この平面計測装置60は第2図に示すような’J −ド
接合面3に光を照射するための例丸ば反射板61を有す
る光源62と、リード接合面3からの後述する反射光6
3を受け、適宜手段によって焦点圧f4調整可能な撮像
機64から構成されている。 この平面計測装置は制御装置65に接続され、この制御
装置65から前記搬送機構11に対し電子部品1の水平
面内における位置の修正を行うように指令するようにな
っている。図中66は撮像機のとらえた電子部品1の撮
像を表すモニタである。 なお、この実施例の上述した以外の構成は第3図に示す
従来の電子部品の検査装置と同様である。 次に、以上のように構成された電子部品の検査装置の動
作について説明する。 まず、収納部37に収納された第5図に示す電子部品1
のモールド4の上面を搭載ヘッド15に吸着させる。次
に搬送機構11によって電子部品1を平面計測装置の上
方に移動させる。前記電子部品1に対して撮像機64の
焦点を適宜の手段で合わせるとともに第2図に示される
ように光源62は光を照射する。電子部品1に照射され
た光の反射光63を撮像機64が受光し、電子部品1の
リード2の形状を検査するため予め制御装置65にてプ
ログラムされた基準と比較し、上記吸着された電子部品
1との位置との水平面内のXまたはX方向のずれ量、水
平面内の回転ずれ量を計測する。 制御装置65は前記位置ずれ量と回転ずれlの計測値の
補正情報を基に搬送機構11に指令を与え、搬送機構1
1 (吸着ヘッド15のモータ16を含む)がはたらき
、電子部品1のリード2が対向する光源35,36,5
1,52と撮@@33゜34.45,46の光軸71,
72,53,54を遮断する検査位置へと位置修正を行
う。電子部品1の位置修正後、前記平面計測装置60で
、前記位置ずれ量、回転ずれ量を計測する方法と同様に
して、第9図に示すリード接合面3の長さliを計測す
る。また4組の対向する光源35,36゜51.52と
撮像機33,34,49,50からなる側面計測装置2
3,24,41,42によってリード2のピッチPiと
浮き量h1を従来の検査装置と同様な方法で計測する。 次いでこれらのリード接合面3の長さ11、ピッチPi
及び浮き量hiの計測値から判別装置67が電子部品1
の良品、不良品の判別を行う。このとき、4辺を同時に
計測できるため、各方面の計測結果を総合的に判定する
ことにより従来の方法では検査することのできなかった
リード全体の傾きの方向性の良否の判別もする。すなわ
ち、例えば浮き量h1(i=1.2,3−)が直線的に
変化し、この変化が4辺において連続しているため、全
体として各リードの接合面が同−傾斜回内にあると判定
されるときは、電子部品は良品として判別される。 良品及び不良品に分けて搬送機構11により、それぞれ
収納部38に収納する。 なお、この平面計測装置の60は電子部品の下方に光源
を有するのみならず上方にも光源を有するものとしてよ
い。このとき上方の光源は電子部品の位置ずれ及び回転
ずれのみを計測することに使用される。下方の光源はリ
ード長さを計測するために使用される。また、撮像機は
テレビカメラではな(、適宜のものを用いてもよい。 【発明の効果] 以上説明したように、この発明によれば、対向した撮像
機と光源を4組設けたことにより、電子部品を90°回
転する必要もなく、電子部品のモールド面とリード接合
面の平行度の影響を受けることなく、4辺同時にリード
浮き量とピッチが高精度に検査できるばかりでなく、電
子部品の検査位置下方にさらに111の光源と撮影機を
配置したことによりリード接合面の長さも判別できると
いう効果がある。また上記1組の光源と撮像機により、
基準となる検査位置に対する搭載ヘッドに吸着された電
子部品の位置ずれ、回転ずれも計測できるので、従来の
ような爪によってリードを変形や破損することなく検査
位置の修正が行える効果もある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の電子部品の検査装置の一実施例を示
す斜視図、第2図は第1図の要部を表す説明図、第3図
は従来の電子部品の検査装置を示す斜視図、第4図は第
3図の要部を示す説明図、第5図は検査対象の一例を示
す電子部品の斜視図、第6図は第5図の平面図、第7図
は第6図の側面図、第8図は吸着ヘッドに吸着された電
子部品の側面図、第9図は第8図のモニタ@像を表す図
である。 1・・電子部品、2・リード、4・モールド上面、3・
リード接合面、11−・搬送機構、15 搭載ヘッド、
23,24,41.42・・計測装置、33.34,4
9,50,64−・撮像機、35,36.51,52,
62・・・光源、3?、38・・収納部、66・・モニ
タ、65・制御装置、67−・判別装置。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  4辺から複数のリードが突出した電子部品の上面を吸
    着して保持する搭載ヘッドと、前記搭載ヘッドを3次元
    空間内で移動し水平面内で回動することにより前記電子
    部品を搬送し検査位置に位置決めする搬送機構と、位置
    決めされた電子部品を中心にして概略水平面内で4方か
    ら囲む4組の光学的な計測装置であって、各計測装置は
    前記電子部品を通り電子部品の上面に対して傾斜した光
    軸を有しこの光軸の一端に光源を、他端に撮像機を対向
    して配置した側面計測装置と、電子部品の下方に光源と
    電子部品からの反射光を受ける撮像機とを配置した平面
    計測装置と、前記平面計測装置の計測結果により前記電
    子部品の水平面内位置修正を前記搬送機構に指令する制
    御装置と、前記側面計測装置と平面計測装置の計測結果
    により前記リードの浮き量、ピッチ、長さの値を計測し
    電子部品が良品か不良品かを判別する判別装置とを備え
    た電子部品の検査装置。
JP63113369A 1988-05-10 1988-05-10 電子部品の検査装置 Pending JPH01284744A (ja)

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Cited By (5)

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