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JPH01258760A - Roll coater - Google Patents

Roll coater

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Publication number
JPH01258760A
JPH01258760A JP63098730A JP9873088A JPH01258760A JP H01258760 A JPH01258760 A JP H01258760A JP 63098730 A JP63098730 A JP 63098730A JP 9873088 A JP9873088 A JP 9873088A JP H01258760 A JPH01258760 A JP H01258760A
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JP
Japan
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roll
coating
viscosity
coating liquid
substrate
Prior art date
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Application number
JP63098730A
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Japanese (ja)
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JPH0647089B2 (en
Inventor
Toshio Yoshida
敏夫 吉田
Kenichi Nakamura
研一 中村
Yoshihisa Matsuda
松田 嘉久
Eiichiro Hayashi
林 栄一郎
Kazuo Kise
一夫 木瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0647089B2 publication Critical patent/JPH0647089B2/en
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • H05K3/0091Apparatus for coating printed circuits using liquid non-metallic coating compositions

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To uniformly coat a high-viscosity coating liquid at a required film thickness on the surface of a base material by inscribing grooves of a specific groove width and peak width circumferentially to the peripheral face of a coating roll and moving both the coating roll and a doctor bar upward and downward. CONSTITUTION:The high-viscosity coating liquid having >=1,000cp viscosity is coated with the coating roll 1C on the surface of the horizontally carried base plate P. The grooves 21 of <=80mu peak width are inscribed at >=300mu pitch circumferentially on the peripheral face of said coating roll 1C and the roll 1C is disposed freely attachably and detachably in the vertical direction with respect to the carrying path of the plate P. Further, the doctor bar 1D is disposed freely attachably and detachably to the roll 1C. This doctor bar 1D is so supported as to move upward and downward together with the roll 1C. As a result, the high-viscosity coating liquid is evenly and uniformly coated at the required film thickness on the surface of the base plate.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、高粘度の塗布液を薄板状の基板の表面に均
一に塗布するためのロールコータに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a roll coater for uniformly applying a highly viscous coating liquid to the surface of a thin plate-like substrate.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

ロールコータを用いてプリント配線板等の基板表面に所
要の塗布液を塗布する装置としては、従来、例えば特開
昭60−230658号公報(発明の名称[プリント配
線用基板の感光液塗布装置」)に記載されているように
、基板に感光液を塗布する側のロール2C(第11図参
照)の周面に、例えば幅W=0.1〜3ffn、好まし
くは0.51の溝を、間隔F=O,1〜5(1)、好ま
しくは0.5rrIaで(第12図参照)、ロール中央
[こ対して左右対称に螺旋状に刻設し、この溝を有する
ロール周面に形成した感光液層を基板表面に塗布する感
光液塗布装置が知られている。
Conventionally, as an apparatus for applying a required coating liquid to the surface of a substrate such as a printed wiring board using a roll coater, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-230658 (title of invention [Photosensitive liquid coating apparatus for printed wiring board]) is known. ), grooves with a width W of 0.1 to 3ffn, preferably 0.51, are formed on the circumferential surface of the roll 2C (see FIG. 11) on the side on which the photosensitive liquid is applied to the substrate. The interval F=O, 1 to 5 (1), preferably 0.5rrIa (see Fig. 12), the center of the roll is symmetrically carved spirally, and the groove is formed on the circumferential surface of the roll. A photosensitive liquid coating apparatus is known that applies a photosensitive liquid layer onto the surface of a substrate.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

L記特開昭60−230658号公報に記載された塗布
装置において使用されている塗布液は、耐エツチング用
感光液(エツチング用フォトレジスト)であり、粘度は
数10〜数100ap稈度であるが、例えば耐ソルダ用
感光液(ソルダ用フォトレジスト)は、その粘度が液温
20℃で約20 r 000 c p以上であることか
ら、従来のロールコータによっては、基板表Viにその
感光液を均一に塗布することができないばかりでなく、
完全に塗布できない部分が生じた。
The coating liquid used in the coating apparatus described in JP-A No. 60-230658 is an etching-resistant photosensitive liquid (etching photoresist), and has a viscosity of several tens to several hundred ap culm. However, for example, the viscosity of a solder-resistant photosensitive liquid (solder photoresist) is approximately 20 r 000 c p or more at a liquid temperature of 20°C, so some conventional roll coaters do not allow the photosensitive liquid to coat the substrate surface Vi. Not only is it not possible to apply it evenly, but
There were some areas that could not be completely coated.

また、液晶用ガラス基板等にJt’J Iflj絶縁j
模として使用されるポリイミド樹脂は、その粘度が液温
28℃で数1000cpであるが、やはり、従来のロー
ルコータによって、それを均一に塗布することは容易で
なかった。
In addition, Jt'J Iflj insulation is applied to liquid crystal glass substrates, etc.
The polyimide resin used as a resin has a viscosity of several thousand cp at a liquid temperature of 28° C., but it is still difficult to apply it uniformly with a conventional roll coater.

例えば第12図に示すように、%W=0.5nnの溝が
、間隔F=0.5naで刻設されたコーティングロール
2Cを用いて、1000cp以上の粘度のポリイミド樹
脂を基板表面に塗布すると、それを完全に塗布できない
部分が基板表面に発生し、塗布ムラとなる。
For example, as shown in Fig. 12, when a polyimide resin with a viscosity of 1000 cp or more is applied to the substrate surface using a coating roll 2C in which grooves of %W = 0.5 nn are carved at an interval F = 0.5 na. , there are areas on the substrate surface where it cannot be completely coated, resulting in uneven coating.

また、第13図は、第11図に示す従来のロールコータ
2の一部を拡大して示したものであるが。
Moreover, FIG. 13 shows a part of the conventional roll coater 2 shown in FIG. 11 in an enlarged manner.

塗布液4の粘度が高くなると、第13図に示すように、
コーティングロール2Cとドクターロール2Dとの当接
位置の下方において、塗布液4がコーティングロール2
Cのみでなく、ドクターロール2Dの表面にも付着し、
コーティングロール2Cの表面に、必要なだけの塗布液
41の量が付着せず、基板pの表面に所要の膜厚の塗布
液44を形成することができなかった。
As the viscosity of the coating liquid 4 increases, as shown in FIG.
The coating liquid 4 is applied to the coating roll 2 below the contact position between the coating roll 2C and the doctor roll 2D.
It adheres not only to C but also to the surface of doctor roll 2D,
The required amount of the coating liquid 41 did not adhere to the surface of the coating roll 2C, and it was not possible to form the coating liquid 44 with the required thickness on the surface of the substrate p.

さらに、コーティングロール2Cに付着した塗布液41
と、ドクターロール2Dに付着した塗布液42との間で
糸状の塗布液43が発生し、それが、基板Pの表面に塗
布される塗布液44の膜厚にムラを発生させるという問
題があった。
Furthermore, the coating liquid 41 attached to the coating roll 2C
There is a problem in that thread-like coating liquid 43 is generated between the coating liquid 42 and the coating liquid 42 attached to the doctor roll 2D, and this causes unevenness in the film thickness of the coating liquid 44 applied to the surface of the substrate P. Ta.

さらにまた、コーティングロール2Cと基板pとが当接
した後において、第13図に示したように、コーティン
グロール2Cの表面と基板Pの表面の塗布液44との間
でも糸状の塗布液43′が発生し、基板pの表面に塗布
液44が均一に塗41され得ないという問題があった。
Furthermore, after the coating roll 2C and the substrate p come into contact with each other, as shown in FIG. There was a problem in that the coating liquid 44 could not be uniformly coated 41 on the surface of the substrate p.

また、糸状の塗布液43′ が、コーティングロール2
Cの回転と基板Pの進行とに伴い1次第に細くなってや
がて切断される際に、空気をまき込んで基板pの表面に
微小な気泡を発生させるという問題があった。
Further, the thread-like coating liquid 43' is applied to the coating roll 2.
As the substrate P rotates and the substrate P advances, it becomes thinner and thinner, and when it is eventually cut, there is a problem in that air is sucked in and minute bubbles are generated on the surface of the substrate P.

さらには、高粘度の塗布液を基板pに塗布した場合、第
14図に示すように、コーティングロール2Cの表面に
おける塗布液の膜厚の状態は、ノル板Pに転写された部
分45において薄く、その他の部分46においては厚く
なる。そして、コーティングロール2Cの表面における
その膜厚の差は、コーティングロール2Cを1回転させ
ただけでは消失せず、−旦生じた膜厚の差を無くするた
めには、コーティングロール2Cを数回転させることを
要した。このため、連続して基板pをコーティングロー
ル2CとバックアップロールIBとの間に通した場合、
或いはコーティングロール2Cの円周長より長い基板p
をそれらの間に通した場合、コーティングロール2Gの
円周長を超えて基板Pの表面に転写された部分における
塗布液44の膜厚が薄くなるという問題もあった。
Furthermore, when a highly viscous coating liquid is applied to the substrate p, as shown in FIG. , and other portions 46 are thicker. The difference in film thickness on the surface of the coating roll 2C does not disappear just by rotating the coating roll 2C once, and in order to eliminate the difference in film thickness that has already occurred, it is necessary to rotate the coating roll 2C several times. It was necessary to do so. Therefore, when the substrate p is continuously passed between the coating roll 2C and the backup roll IB,
Or the substrate p is longer than the circumferential length of the coating roll 2C.
When the coating liquid 44 is passed between them, there is also a problem that the film thickness of the coating liquid 44 becomes thinner in the portion where the coating liquid 44 is transferred onto the surface of the substrate P beyond the circumferential length of the coating roll 2G.

以上列挙した諸問題は何れも、搬送されてくる基板表面
にロールコータにより塗布液を塗布する場合において、
塗布液の粘度が高いことによって起こるものである。そ
こで、この発明は。
All of the problems listed above arise when applying a coating liquid to the surface of a transported substrate using a roll coater.
This is caused by the high viscosity of the coating liquid. Therefore, this invention.

ソルダ用フォトレジストやポリイミド樹脂などのような
高粘度の塗布液を基板表面に塗布するに際して、前述の
ような種々の問題なく高粘度の塗布液の基板表面への塗
布に好適なロールコータを提供することを技術的課題と
する。
Provides a roll coater that is suitable for applying high viscosity coating liquids such as photoresist for solder or polyimide resin to the substrate surface without the various problems mentioned above. The technical challenge is to do so.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記課題を達成するために、この発明に係るロールコー
タは、水平搬送される基板表面にコーティングロールを
介し、粘度1000cP以上の高粘度の塗布液を塗布す
るロールコータであって、前記コーティングロールの周
面の円周方向に、山幅80μm以下の溝をピッチ300
μm以上で刻設し、そのコーティングロールを基板搬送
路に対し上下方向に接離自在に配設す−るとともに、そ
のコーティングロールにドクターバーを接離自在に配設
し、かつそのドクターバーを前記コーティングロールと
ともに上下動するように支持して構成されている。
In order to achieve the above object, a roll coater according to the present invention is a roll coater that applies a high viscosity coating liquid with a viscosity of 1000 cP or more to the surface of a horizontally conveyed substrate via a coating roll, Grooves with a peak width of 80 μm or less are formed at a pitch of 300 in the circumferential direction of the circumferential surface.
The coating roll is disposed so as to be movable toward and away from the substrate transport path in the vertical direction, and a doctor bar is disposed on the coating roll so as to be movable toward and away from the substrate conveyance path. It is configured to be supported so as to move up and down together with the coating roll.

そして、上記コーティングロール又はドクターバーの少
なくとも一方を所定の温度に加熱する手段を付設するよ
うにしてもよい。
Further, a means for heating at least one of the coating roll or the doctor bar to a predetermined temperature may be provided.

また、別の発明として1周面に円周方向の溝が所定のピ
ッチで刻設されたコーティングロールを基板搬送路に対
し上下方向に接離自在に配設するとともに、そのコーテ
ィングロールにドクターを接離自在に配設してなるロー
ルコータにおいて、前記コーティングロール又はドクタ
ーバーの少なくとも一方を所定の温度に加熱する手段を
具備して構成されている。
In addition, as another invention, a coating roll having circumferential grooves carved at a predetermined pitch on one circumferential surface is disposed so as to be able to move toward and away from the substrate conveyance path in the vertical direction, and a doctor is attached to the coating roll. The roll coater is arranged so as to be movable toward and away from the roll coater, and includes means for heating at least one of the coating roll or the doctor bar to a predetermined temperature.

〔作  用〕[For production]

上記第1の発明に係るロールコータにおいては、コーテ
ィングロールに刻設されている溝幅が山幅のほぼ3倍、
或いはそれ以上であり、高粘度の塗布液は溝内に充分に
充填されるので溝幅に対して比較的山幅が広い従来のコ
ーティングロールを使用した場合に比べて塗布面におい
ては塗布液がその表面張力によってコーティングロール
の軸線方向に拡がり易い。
In the roll coater according to the first invention, the width of the grooves carved in the coating roll is approximately three times the width of the grooves;
or even more, and the high viscosity coating liquid is sufficiently filled in the grooves, so the coating liquid is spread on the coating surface compared to when using a conventional coating roll, which has a relatively wide ridge width compared to the groove width. Due to its surface tension, it tends to spread in the axial direction of the coating roll.

また、ドクターバーをコーティングロールに押圧する力
を調整することにより、コーティングロールの溝内に入
る塗布液量を制御して膜厚を調節するとともに、従来の
ドクターロールのように塗布液を圧するように作用する
In addition, by adjusting the force with which the doctor bar is pressed against the coating roll, the amount of coating liquid that enters the grooves of the coating roll can be controlled and the film thickness can be adjusted. It acts on

そして、コーティングロール又はドクターバーの少なく
とも一方を所定の温度に維持する手段を付設した場合に
は、季節的・場所的な室温変化に拘らず、塗布液の温度
を一定温度に調節し、常に所要の粘度に維持する。
If a means is attached to maintain at least one of the coating roll or the doctor bar at a predetermined temperature, the temperature of the coating liquid can be adjusted to a constant temperature regardless of seasonal or local changes in room temperature, and the temperature of the coating liquid can always be adjusted to the required temperature. maintain a viscosity of

また、以上の構成とは別に、コーティングロール又はド
クターバーの少なくとも一方を所定の温度に加熱する手
段を具備して構成されたロールコータにおいては、コー
ティングロール又はドクターバーを所定の温度に加熱す
ることができるため、高粘度の塗布液の粘度を低下させ
る。
In addition to the above configuration, in a roll coater configured with a means for heating at least one of the coating roll or the doctor bar to a predetermined temperature, the coating roll or the doctor bar may be heated to a predetermined temperature. This reduces the viscosity of high-viscosity coating liquids.

〔実施例〕〔Example〕

以下、この発明の好適な実施例について、図面を参照し
ながら詳細に説明する。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図及び第2図はこの発明の第1の実施例を示し、第
1図はその要部を概略的に示す個所面図、第2図はその
要部斜視図である。
1 and 2 show a first embodiment of the present invention, FIG. 1 is a plan view schematically showing the main parts thereof, and FIG. 2 is a perspective view of the main parts.

これらの図において、ロールRは基板pを所要の定速度
で水平搬送する搬送路を形成し、その搬送路中に、バッ
クアップロールIBがフレーム10に回転自在に軸着さ
れている。バックアップロールIBの上方には、コーテ
ィングロールICが、その両端で一対の昇降板11に回
転自在に軸着されて配設されている。さらに、このコー
ティングロールICの周面と接離自在にドクターバーI
Dが、その両端部でスライダ17を介して昇降板11に
取り付けられている。スライダ17は、一対の水平ガイ
ド18.18’ に、それらに沿って摺動自在に挿嵌さ
れている。そして、ドクターバーIDをコーティングロ
ールICに押圧する力は、ボルト19の回動操作によっ
て調整することができるようになっている。なお、ドク
ターバーIDをコーティングロールICに押圧する力の
調整は、例えばサーボモータ等、適宜の駆動源によりボ
ルト19を回転させて行なうこともできる。
In these figures, the roll R forms a transport path for horizontally transporting the substrate p at a required constant speed, and a backup roll IB is rotatably attached to the frame 10 in the transport path. A coating roll IC is disposed above the backup roll IB, with both ends of the coating roll IC rotatably attached to a pair of elevating plates 11. Furthermore, the doctor bar I can be moved freely into and out of contact with the circumferential surface of the coating roll IC.
D is attached to the elevating plate 11 via sliders 17 at both ends thereof. The slider 17 is fitted into a pair of horizontal guides 18, 18' so as to be slidable along them. The force with which the doctor bar ID is pressed against the coating roll IC can be adjusted by rotating the bolt 19. The force for pressing the doctor bar ID against the coating roll IC can also be adjusted by rotating the bolt 19 using an appropriate drive source such as a servo motor.

ドクターバーID及びコーティングロールICは、昇降
鄭動手段14によって昇降板11とともに、フレーム1
0に立設されたガイド13.13’ に沿って上下動さ
せることができるようになっている。この昇降趣動手段
14は、上部枠12に配設されており、サーボモータ、
エアシリンダ等5公知の離動手段により構成される。ま
た、コーティングロールICは、モータ等の回転即動手
段(図示せず)と連結されており、所要の回転数で回転
するように構成されている。
The doctor bar ID and the coating roll IC are moved to the frame 1 together with the lifting plate 11 by the lifting mechanism 14.
It can be moved up and down along a guide 13.13' erected at 0.0. This elevating and lowering movement means 14 is arranged on the upper frame 12, and is driven by a servo motor,
It is constituted by 5 known separating means such as an air cylinder. Further, the coating roll IC is connected to a quick-rotation means (not shown) such as a motor, and is configured to rotate at a required number of rotations.

第3図は、コーティングロールICを軸線方向に切断し
たときの断面であって、コーティングロールICの周面
に刻設された溝の形状の1例を示す部分拡大図である。
FIG. 3 is a cross section taken when the coating roll IC is cut in the axial direction, and is a partially enlarged view showing an example of the shape of the grooves carved on the circumferential surface of the coating roll IC.

ここでは、溝は、山@Fを80μm以下、山20の形設
ピッチPを300μm以上にして刻設されている。
Here, the grooves are carved with the ridges @F being 80 μm or less and the pitch P of the ridges 20 being 300 μm or more.

なお、第1図において、符号30は、ドクターバーID
の上方に配設された、粘度1000cP以上の塗布液を
供給するノズルを示すが、ドクターバーIDの所要部に
塗布液供給口を設けるように構成してもよい。また、第
2図中の15.16はそれぞれ、コーティングロールI
C及びバックアップロールIBを昇降板11及びフレー
ム10に回転可能に支持するための軸受である。
In addition, in FIG. 1, the code 30 is the doctor bar ID.
Although a nozzle for supplying a coating liquid having a viscosity of 1000 cP or more is shown, which is disposed above the doctor bar ID, a coating liquid supply port may be provided at a required portion of the doctor bar ID. In addition, 15 and 16 in FIG. 2 are respectively coating rolls I
This is a bearing for rotatably supporting C and backup roll IB on the elevating plate 11 and frame 10.

上記構成のロールコータは、次のように動作する。The roll coater having the above configuration operates as follows.

まず、周面を塗布液の粘度に応じた形状に溝加工したコ
ーティングロールICを、所要の回転数であらかじめ回
転させながら、そのコーティングロールICの周面の一
部とドクターバー1Dとの間に塗布液を供給する。そし
て、コーティングロールICの表面、特に各溝21内に
塗布液が均一に充填されたところで、基板Pを搬送ロー
ルR上に載置して水平搬送し、その基板pをバックアッ
プロール】BとコーティングロールIC間に挿入し、コ
ーティングロールICの溝21内に充填された塗布液を
基板pの表面上に転写する。これによって、実用上支障
のない。
First, a coating roll IC whose circumferential surface has been grooved in a shape according to the viscosity of the coating liquid is rotated in advance at the required number of rotations, and a part of the circumferential surface of the coating roll IC is placed between a part of the circumferential surface and the doctor bar 1D. Supply coating liquid. When the coating liquid is uniformly filled on the surface of the coating roll IC, especially in each groove 21, the substrate P is placed on the conveyance roll R and conveyed horizontally, and the substrate P is transferred to the backup roll B and coating. It is inserted between the roll ICs, and the coating liquid filled in the grooves 21 of the coating roll IC is transferred onto the surface of the substrate p. This causes no practical problems.

はぼ均一な塗膜を形成することができる。A very uniform coating film can be formed.

ここに、コーティングロールICの溝21の断面積Sは
、はぼ (ただし、0は溝の開口角度である。)として求められ
る。すなわち、溝21の断面積Sは、溝1!1iT(P
−F)の2乗に比例している。
Here, the cross-sectional area S of the groove 21 of the coating roll IC is determined as a square (where 0 is the opening angle of the groove). That is, the cross-sectional area S of the groove 21 is equal to the groove 1!1iT(P
-F) is proportional to the square of

従って、溝21の開口角度θが一定とすれば、当然なが
ら山@Fが大きいほど断面積Sは小さくなり、ピッチP
が大きいほどWt21の断面積Sは大きくなる。そして
、高粘度の塗布液の塗布テストの結果、山幅Fを小さく
すること、及びピッチPを大きくすることが塗膜の均一
性に関して効果のあることが明確になった。なお、溝2
1の開口角度0を小さくするか、あるいはft21を深
くすると、塗布液は高粘度であるため、溝21内全体に
塗布液が完全に充填できないことがある。従って、溝2
1の開口角度θは液粘度等により一定以上の値が必要と
なる。
Therefore, if the opening angle θ of the groove 21 is constant, the larger the peak @F, the smaller the cross-sectional area S becomes, and the pitch P
The larger the value, the larger the cross-sectional area S of Wt21 becomes. As a result of a coating test using a high viscosity coating liquid, it became clear that reducing the mountain width F and increasing the pitch P is effective in terms of uniformity of the coating film. In addition, groove 2
If the opening angle 0 of 1 is made small or ft21 is made deep, the entire groove 21 may not be completely filled with the coating liquid because the coating liquid has a high viscosity. Therefore, groove 2
The opening angle θ of 1 needs to have a value greater than a certain value depending on the viscosity of the liquid and the like.

例えば、粘度20.0OOcp前後の高粘度の液体ソル
ダーレジストをプリント回路板に塗布する実験では、第
3図中の山114TFを20μm、溝ピッチPを100
0μm、sの開口角度Oを約50〜100’、コーティ
ングロールICのゴム硬度を50°、ドクターバー押込
量を0゜05ao、基板の搬送速度を3m/分とし、液
温か20℃の条件で塗布液を基板表面に塗布したところ
、約40μmの均一な膜厚の液体ソルダーレジストの塗
膜を得ることができた。ここにドクターバーの押込量は
、その押圧力を調節する基準値となるもので、ドクター
バーとコーティングロールとの接触開始位置(線接触の
状態)を基準とするドクターバーの移動設定量を意味す
る。また、高粘度の液体ソルダーレジストでは、山幅F
を80μm以上にすると、基板表面に塗布液を塗布する
ことができない部分、すなわち塗膜が途切れる部分が発
生した。
For example, in an experiment in which a high viscosity liquid solder resist with a viscosity of around 20.0OOcp was applied to a printed circuit board, the peak 114TF in Fig. 3 was 20 μm, and the groove pitch P was 100 μm.
0 μm, s opening angle O of approximately 50 to 100', coating roll IC rubber hardness of 50°, doctor bar depression amount of 0°05ao, substrate conveyance speed of 3 m/min, and liquid temperature of 20°C. When the coating liquid was applied to the surface of the substrate, a coating film of liquid solder resist with a uniform thickness of about 40 μm could be obtained. The pushing amount of the doctor bar here is the reference value for adjusting the pushing force, and means the set amount of movement of the doctor bar based on the contact start position (line contact state) between the doctor bar and the coating roll. do. In addition, in high viscosity liquid solder resist, the mountain width F
When the thickness was 80 μm or more, there were parts where the coating liquid could not be applied to the substrate surface, that is, parts where the coating film was interrupted.

次に、粘度3,200cpの高粘度の感光性ポリイミド
樹脂をセラミック基板表面に塗布する実験では、溝ピッ
チPを350μm、山#XFを20μm、溝の開口角度
Oを約60〜110°、コーティングロールICのゴム
硬度を50°、ドクターパーの押込み量を0.411I
11、基板の搬送速度を5m/分とし、液温が20℃の
条件で塗布液を基板表面に塗布したところ、膜厚が約1
0μmの均一なポリイミド樹脂の塗膜を形成することが
できた。また、同一のコーティングロールにより同一の
条件で、粘度15,000cpのポリイミド樹脂を約2
0μmの均一な膜厚でセラミック基板上に塗布すること
ができた。
Next, in an experiment in which a highly viscous photosensitive polyimide resin with a viscosity of 3,200 cp was applied to the surface of a ceramic substrate, the groove pitch P was 350 μm, the peak #XF was 20 μm, and the opening angle O of the groove was approximately 60 to 110°. The rubber hardness of the roll IC is 50°, and the indentation amount of the doctor par is 0.411I.
11. When the coating liquid was applied to the substrate surface at a substrate conveyance speed of 5 m/min and a liquid temperature of 20°C, the film thickness was approximately 1.
A uniform polyimide resin coating film with a thickness of 0 μm could be formed. In addition, using the same coating roll and under the same conditions, approximately 20% of polyimide resin with a viscosity of 15,000 cp was
It was possible to coat the ceramic substrate with a uniform film thickness of 0 μm.

なお、この場合、ドクターパーIDの、コーティングロ
ールICに対する押込み量を0.3mとすると、塗膜の
膜厚が40μmとなり、その押込み量をO,lanとす
ると、塗膜の膜厚が50μmとなる。これは、コーティ
ングロールICに対するドクターパーIDの押込み量を
大きくすると、コーティングロールICに刻設された溝
21の断面積が小さくなり、基板へ転写される塗布液の
量が少なくなるためである。
In this case, if the amount of indentation of the doctor par ID into the coating roll IC is 0.3 m, the thickness of the coating film will be 40 μm, and if the amount of indentation is O, lan, the thickness of the coating film will be 50 μm. Become. This is because when the amount of pushing of the doctor par ID into the coating roll IC is increased, the cross-sectional area of the groove 21 formed in the coating roll IC becomes smaller, and the amount of the coating liquid transferred to the substrate is reduced.

以上のように、この発明に係るロールコータを使用すれ
ば、1,0OOcp以上の高粘度の。
As described above, if the roll coater according to the present invention is used, high viscosity of 1,000 cp or more can be achieved.

例えばポリイミド樹脂でも基板表面に均一に塗布するこ
とが可能となった。なお、逆に、粘度1.0OOcp以
下の低粘度の塗布液を、この発明に係る、大ピツチで溝
加工されたコーティングロールによって基板上に塗布す
ると、i#!21の中の空気が塗布液中に混入して気泡
となり、基板上の塗膜にピンホールが発生し、膜厚を大
きくできないという実験結果となった。
For example, it has become possible to uniformly apply polyimide resin to the substrate surface. On the other hand, if a low viscosity coating liquid with a viscosity of 1.0OOcp or less is applied onto a substrate using the large pitch grooved coating roll according to the present invention, i#! The experimental result was that the air in No. 21 got mixed into the coating liquid and became bubbles, causing pinholes in the coating film on the substrate and making it impossible to increase the film thickness.

次に、第4図に示した第2の実施例では、第1図に示し
た構成のロールコータ1の周りを保温用ハウジング20
0によって覆い、その保温用ハウジング200の内部に
送風機F、ヒータI−i及びフィルタFLを配置して、
それらを互いに配管で接続している。そして、ハウジン
グ200内部を、測温体TH及び温度制御手段(図示せ
ず)によってヒータHの出力を制御することにより。
Next, in the second embodiment shown in FIG. 4, a heat-retaining housing 20 is installed around the roll coater 1 having the configuration shown in FIG.
0, and a blower F, a heater I-i, and a filter FL are arranged inside the heat-retaining housing 200,
They are connected to each other by piping. Then, by controlling the output of the heater H inside the housing 200 using the temperature measuring element TH and temperature control means (not shown).

所定の温度に維持することができるようになっている。It is possible to maintain a predetermined temperature.

また、ハウジング200内には、ドレンバット201、
排液受202、塗布液貯留槽203、及び塗布液貯留槽
203からノズル30へ塗布液を送るポンプPが内股さ
れている。そして、ハウジング200の出入口には、そ
れぞれ出入口チャンバ204゜205が形設されている
。これら出入口チャンバ204.205により、ハウジ
ング200内の空気が容易に外部へ流出して温度が低下
したりしないようにされている。
Also, inside the housing 200, a drain bat 201,
A drain liquid receiver 202, a coating liquid storage tank 203, and a pump P that sends the coating liquid from the coating liquid storage tank 203 to the nozzle 30 are arranged inside. Further, entrance and exit chambers 204 and 205 are formed at the entrance and exit of the housing 200, respectively. These inlet/outlet chambers 204 and 205 prevent the air inside the housing 200 from easily flowing out to the outside and causing the temperature to drop.

第4図に示した実施例に係るロールコータの動作につい
て説明する。ハウジング200内に配設された測温体T
H及び温度制御手段によってヒータHの出力を制御する
ことにより、ハウジング200内を所定温度、例えば3
0℃に維持する。このとき、ハウジング200内のロー
ルコータ1及び塗布液はいずれも、30℃の温度に維持
される。
The operation of the roll coater according to the embodiment shown in FIG. 4 will be explained. Temperature measuring element T arranged inside the housing 200
By controlling the output of the heater H and the temperature control means, the inside of the housing 200 is kept at a predetermined temperature, for example, 3.
Maintain at 0°C. At this time, both the roll coater 1 and the coating liquid in the housing 200 are maintained at a temperature of 30°C.

ここで、前述の第9図から分かるように、常温20℃で
粘度が約200PSの液体ソルダレジストは、温度が3
0℃では粘度が約100PSに低下する。そして、温度
が20℃以下では。
As can be seen from FIG. 9 above, liquid solder resist with a viscosity of about 200 PS at room temperature of 20°C is
At 0°C the viscosity drops to about 100 PS. And when the temperature is below 20℃.

第13図に示したように、基板pとコーティングロール
2Cとの間で塗布液4が糸状になって。
As shown in FIG. 13, the coating liquid 4 forms a thread between the substrate p and the coating roll 2C.

基板pの表面に塗布された塗布液44に筋ムラを発生す
ることが多いが、温度を30℃前後に維持したハウジン
グ200内においては、糸状塗布液43″の発生が極め
て少なくなり、ムラ及び気泡の発生が無くなる。特に、
寒冷地や冬期において、この実施例に係るロールコータ
は、有効である。
Streaks often occur in the coating liquid 44 applied to the surface of the substrate p, but in the housing 200 where the temperature is maintained at around 30°C, the generation of thread-like coating liquid 43'' is extremely reduced, and unevenness and No more air bubbles.Especially,
The roll coater according to this embodiment is effective in cold regions and in winter.

第5図に示した第3の実施例は、ロールコータにおける
主要な構成は、第1図及び第2図に示したものとほぼ同
様であるが、この第5図に示したロールコータにおいて
は、コーティングロールIG’の内部が空洞化されてお
り、その両端部の両支軸を支持する軸受16.16′に
ロータリージヨイント213.218’ を付設し、そ
れらロータリージヨイント218,218′ に配管2
13,212が接続されている。そして、配管212を
通し、ロータリージヨイント218′  を介してコー
ティングロールIC’内部に熱媒体を流入させ、そのコ
ーティングロール】、C′内部からロータリージヨイン
ト218を介し、配管213を通って熱媒体を流出させ
る構成となっている。
In the third embodiment shown in FIG. 5, the main configuration of the roll coater is almost the same as that shown in FIGS. 1 and 2, but the roll coater shown in FIG. The inside of the coating roll IG' is hollow, and rotary joints 213 and 218' are attached to bearings 16 and 16' that support both supporting shafts at both ends of the coating roll IG'. Piping 2
13,212 are connected. Then, the heat medium flows through the piping 212 and into the coating roll IC' via the rotary joint 218', and the heat medium flows from inside the coating roll IC' through the rotary joint 218 and through the piping 213. The structure is such that it allows the flow of water to flow out.

また、ドクターバーLD’の内部も空調化されており、
そのドクターバーID’の内部空隙に配管214,21
5を連通接続して、ドクターパーID’ の内部に熱媒
体を流通させることができるようにしている。
In addition, the inside of the doctor bar LD' is also air-conditioned,
Pipes 214 and 21 are placed in the internal space of the doctor bar ID'.
5 are connected in communication so that a heat medium can flow inside the doctor par ID'.

さらに、ドクターパー10’ の液溜め槌部に、塗布液
を供給する配管210を連通接続し、その配管210の
外面をジャケット211で被覆して、そのジャケット2
21内にも熱媒体を流通させることができるように、ジ
ャケット211に配管216゜217が接続されている
Further, a pipe 210 for supplying the coating liquid is connected to the liquid reservoir mallet part of the doctor par 10', and the outer surface of the pipe 210 is covered with a jacket 211.
Pipes 216 and 217 are connected to the jacket 211 so that a heat medium can also flow through the jacket 211.

そして、配管213.215.217は熱媒体ポンプP
 oの吸込側へ接続され、その熱媒体ポンプP oの吐
出側は、温度制御手段′rCが内股された加熱手段22
0に連通し、その加熱手段220の出1」側に配管21
2,214,216が接続されている。
And piping 213.215.217 is heat medium pump P
The heating means 22 is connected to the suction side of the heat medium pump Po, and the discharge side of the heat medium pump Po is connected to the heating means 22 in which the temperature control means 'rC is inserted.
0, and a pipe 21 is connected to the output 1'' side of the heating means 220.
2,214,216 are connected.

なお、熱媒体は、オイル又は温水であってもよい9また
、ドクターパー1−D′の加熱に熱媒体を使用せず、そ
の底面に電気ヒータ及び測温体を貼着した構成としても
よい。また、ドクターバーID’ は、汎用されるドク
ターロールに代えて同様に実施することができる。
Note that the heat medium may be oil or hot water.9Also, a structure may be adopted in which no heat medium is used to heat the doctor par 1-D', and an electric heater and a temperature measuring element are attached to the bottom surface of the doctor par 1-D'. . Further, the doctor bar ID' can be similarly implemented in place of the commonly used doctor roll.

この第5図の実施例においては、そのコーティングロー
ルは必ずしも第1図及び第2図のように溝が形成された
ものでなくても、それらと同等の効果を発揮する。無論
、第1図及び第2図のように溝が形成されたコーティン
グロールの場合はより低い温度で同等の効果がある。
In the embodiment shown in FIG. 5, the coating roll does not necessarily have grooves as shown in FIGS. 1 and 2, but the same effect as those shown in FIGS. 1 and 2 can be obtained. Of course, in the case of a coating roll having grooves as shown in FIGS. 1 and 2, the same effect can be obtained at a lower temperature.

第6図は第4の実施例の機略構成図である。FIG. 6 is a schematic diagram of the fourth embodiment.

ロールコータにおける主要な構成は、第1図のものと変
わらないが、その入口側搬送路の上に、基板pを加熱す
るための加熱手段301を付設してあり、搬送ロールR
によって水平移動されてくる基板pを上方から加熱し、
基板pを所定の温度、例えば50℃に昇温させることが
できるようになっている。
The main configuration of the roll coater is the same as that in FIG.
The substrate p, which is being horizontally moved by, is heated from above,
The temperature of the substrate p can be raised to a predetermined temperature, for example, 50°C.

なお、加熱手段としては、電気ヒータや赤外線ランプ等
の他に、熱風を基板に対して噴射させるような構成とし
、その熱風によって基板を昇温させるようにしてもよい
。また、熱板を配設しておき、その熱板表面にベルトコ
ンベアを摺動させながら移動させ、そのベルトコンベア
ー1−に基板を載置して搬送し、その搬送中に基板を昇
温させるような構成としてもよい。さらにまた、熱板表
面に直接基板を一定時間密着させ。
In addition to an electric heater, an infrared lamp, or the like, the heating means may be configured to spray hot air onto the substrate, and the hot air may raise the temperature of the substrate. In addition, a hot plate is provided, a belt conveyor is moved while sliding on the surface of the hot plate, a substrate is placed on the belt conveyor 1- and conveyed, and the temperature of the substrate is raised during the conveyance. It is also possible to have a configuration like this. Furthermore, the substrate is directly attached to the hot plate surface for a certain period of time.

ウオーキングビーム搬送方式により加熱された基板を搬
送することもできる。その他、第4図に示した実施例と
同様に、装置全体をハウジング200′で覆うようにし
てもよい。
A heated substrate can also be transported using a walking beam transport method. Alternatively, the entire device may be covered with a housing 200', similar to the embodiment shown in FIG.

本例では、特に基板pを昇温させて塗布液を塗布するの
で高粘度の液体ソルダレジストに対する基板pの表面の
親液性が高まり、容易に塗布液が基板pに密着し、かつ
レベリングされる。
In this example, the temperature of the substrate p is particularly raised to apply the coating liquid, so the lyophilicity of the surface of the substrate p to the high-viscosity liquid solder resist increases, and the coating liquid easily adheres to the substrate p and is not leveled. Ru.

この第6図に示した実施例は、特に第4図又は第5図に
示した実施例と組み合せると、その効果が大きい。
The embodiment shown in FIG. 6 is especially effective when combined with the embodiment shown in FIG. 4 or 5.

第7図は第5の実施例の概要構成図でロールコータにお
ける主要な構成は、やはり、第1図のものと同じである
。この第7図に示したロールコータ1には、その出口側
に、基板pの表面を加熱する手段303が付設されてい
る。加熱手段303は、ファンF、ヒータH、フィルタ
FL及びエアノズル302から構成されている。もちろ
ん、この加熱手段としては、赤外線等による光照射等に
よるものであってもよい。また、第4図に示した実施例
と同様に、装置全体をハウジング200”で覆うように
してもよい。
FIG. 7 is a schematic configuration diagram of the fifth embodiment, and the main configuration of the roll coater is the same as that in FIG. 1. The roll coater 1 shown in FIG. 7 is provided with means 303 for heating the surface of the substrate p on its exit side. The heating means 303 includes a fan F, a heater H, a filter FL, and an air nozzle 302. Of course, this heating means may also be irradiation with infrared rays or the like. Further, similar to the embodiment shown in FIG. 4, the entire device may be covered with a housing 200''.

この第7図に示した実施例に係るロールコータにおいて
も、第6図に示した上記実施例のものと同様の効果を奏
する。また、この加熱手段303のエアノズル302か
ら吹き出される熱風の一部を、ロールコータ1と基板p
との当接位置に向かって吹き出すようにすると、第10
図に示したような糸状塗布液43′が分離されやすく、
かつ基板表面においてレベリングが促進される。
The roll coater according to the embodiment shown in FIG. 7 also has the same effects as the embodiment shown in FIG. 6. Further, a part of the hot air blown out from the air nozzle 302 of this heating means 303 is transferred to the roll coater 1 and the substrate p.
If the air is blown toward the contact position with the 10th
The filamentous coating liquid 43' as shown in the figure is easily separated,
In addition, leveling is promoted on the substrate surface.

以上、第4〜第7図においては、適宜の加熱手段を配設
することにより、塗布時の液粘度を下げて、均一でスム
ーズな塗布ができるようにしたものである。
As described above, in FIGS. 4 to 7, by providing appropriate heating means, the viscosity of the liquid during coating is lowered and uniform and smooth coating can be achieved.

一方、高粘度の塗布液の粘度を下げるには、塗布液を希
釈するようにしてもよい。例えば、第10図に液体ソル
ダレジストの約25℃における希釈率と粘度との関係を
示したように、液体ソルダレジストをシンナーで1%希
釈すると、約25℃における粘度が125PSから約1
00PSへと低下して、第9図の希釈なし塗布液の温度
と粘度の関係を示す線図から分かるように、30℃にお
ける粘度とほぼ同一の粘度となる。しかしながら、塗布
液を希釈してその粘度を低下させても季節的・場所的な
室温変化によって第9図に示したように本質的に変化す
るため、基板表面に付着する塗布液の状態も変化するこ
ととなる。この場合、粘度を一定にするためには、温度
変化に対応した適宜な希釈率を個々に設定する必要があ
り、非常に厄介である。
On the other hand, in order to lower the viscosity of a highly viscous coating liquid, the coating liquid may be diluted. For example, as shown in Figure 10, which shows the relationship between the dilution rate and viscosity of liquid solder resist at about 25°C, when liquid solder resist is diluted by 1% with thinner, the viscosity at about 25°C changes from 125 PS to about 1
As can be seen from the diagram in FIG. 9 showing the relationship between temperature and viscosity of the undiluted coating liquid, the viscosity becomes almost the same as the viscosity at 30°C. However, even if the viscosity of the coating solution is lowered by diluting it, the state of the coating solution that adheres to the substrate surface will also change, as it will essentially change as shown in Figure 9 due to seasonal and local changes in room temperature. I will do it. In this case, in order to keep the viscosity constant, it is necessary to individually set appropriate dilution rates corresponding to temperature changes, which is extremely troublesome.

これに対し、第4〜第7図に示す実施例のロールコータ
においては、季節的・場所的な室温変化に拘らず、塗布
液の温度を一定温度に調節して塗布液を所要の粘度に簡
易に制御することができる。
On the other hand, in the roll coater of the embodiment shown in Figs. 4 to 7, the temperature of the coating liquid is adjusted to a constant temperature regardless of seasonal and local changes in room temperature, and the coating liquid is maintained at the desired viscosity. Can be easily controlled.

第8図に示した第6の実施例では、第1図に示したロー
ルコータ1のコーティングロールICの表面に第2ドク
ター2Dを付設している。
In the sixth embodiment shown in FIG. 8, a second doctor 2D is attached to the surface of the coating roll IC of the roll coater 1 shown in FIG.

第2ドクター2Dの配設位置は、第1ドクターパーID
の上方が好ましい。また、第2ドクター2Dは、第1ド
クターパーIDと同一構造のものであってもよく、また
図示のようにドクターロールで構成してもよい。いずれ
にしても、第2ドクター2Dは、適宜な圧力でコーティ
ングロールICの表面に当接している。なお、第2ドク
ターをドクターロールにより構成した場合は、そのドク
ターロールを回転自在としても。
The location of the second doctor 2D is the first doctor par ID.
Preferably above. Further, the second doctor 2D may have the same structure as the first doctor par ID, or may be composed of a doctor roll as shown in the figure. In any case, the second doctor 2D is in contact with the surface of the coating roll IC with an appropriate pressure. In addition, when the second doctor is constituted by a doctor roll, the doctor roll may be freely rotatable.

また固定式としてもよい。また、必要に応じて、第2ド
クター2Dの入口側に、第1ドクターパーIDと同様に
塗布液供給ノズルを付設し、第2ドクター2Dからもコ
ーティングロール1cの表面に塗布液を供給するように
してもよい。
It may also be a fixed type. In addition, if necessary, a coating liquid supply nozzle is attached to the inlet side of the second doctor 2D in the same way as the first doctor par ID, so that the coating liquid is also supplied from the second doctor 2D to the surface of the coating roll 1c. You may also do so.

この第8図に示した実施例に係るロールコータにおいて
は、コーティングロールの表面に第14図に示したよう
な塗布液の膜厚差が一時的に生じたとしても、速やかに
塗布液の表面状態は均一化されて膜厚差が無くなる。
In the roll coater according to the embodiment shown in FIG. 8, even if a difference in the film thickness of the coating liquid as shown in FIG. 14 temporarily occurs on the surface of the coating roll, the surface of the coating liquid can be immediately The condition is made uniform and there is no difference in film thickness.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

この発明は以上説明したように構成されかつ作用するの
で、以下に記載するような効果を奏する。
Since the present invention is constructed and operates as described above, it produces the effects described below.

請求項1に係るロールコータは、高粘度の塗布液を基板
表面に、ムラなく均一にかつ所要の膜厚で塗布すること
ができる。また、ドクターバーを使用しているため、膜
厚制御が容易であり、従来のロールコータのようにコー
ティングロールに糸引き現象が生じて塗布ムラを発生し
たりすることがない。
The roll coater according to the first aspect can evenly and uniformly apply a high viscosity coating liquid to a substrate surface with a desired film thickness. Furthermore, since a doctor bar is used, the film thickness can be easily controlled, and unlike conventional roll coaters, there is no possibility of stringiness on the coating roll and uneven coating.

請求項2に係るロールコータは、季節的・場所的な室温
変化に拘らず、塗布液の温度を一定に調節して常に所要
の粘度に維持された塗布液を基板表面に塗布することが
でき、ムラのない均一な塗膜の形成を助長促進する。ま
た、塗布液の基板表面への塗布速度を高速にしても、ム
ラのない均一な塗膜を形成することができ、生産性の向
上が期待できる。
The roll coater according to claim 2 is capable of constantly controlling the temperature of the coating liquid and coating the substrate surface with a coating liquid that is always maintained at a desired viscosity regardless of seasonal and local changes in room temperature. , promotes the formation of an even and uniform coating film. In addition, even if the speed at which the coating liquid is applied to the substrate surface is increased, a uniform coating film can be formed without unevenness, and productivity can be expected to be improved.

また、請求項3に係るロールコータは、高粘度の塗布液
の温度を所定の温度に上げてその粘度を低下させること
により、高粘度の塗布液を基板表面に塗布するに際して
従来起きていた不都合な現象を無くすことができ、高粘
度の塗布液であっても基板表面に、ムラなく均一にかつ
所要の膜厚で塗布することができる。さらに、季節的・
場所的な室温変化に拘らず、塗布液の粘度を所要の粘度
に簡易に制御することができ、操作性が良い。
In addition, the roll coater according to claim 3 increases the temperature of the high viscosity coating liquid to a predetermined temperature and lowers the viscosity thereof, thereby solving the problems that conventionally occur when applying the high viscosity coating liquid to the substrate surface. Even with a high viscosity coating liquid, it is possible to coat the substrate surface evenly and uniformly with the required thickness. In addition, seasonal
The viscosity of the coating liquid can be easily controlled to the required viscosity regardless of local room temperature changes, and has good operability.

そして、この発明は、従来、液体ソルダーレジスト等の
高粘度の塗布液は、スクリーン印刷法によりプリント回
路基板に塗布していたが。
In addition, in the present invention, conventionally, a high viscosity coating liquid such as a liquid solder resist was applied to a printed circuit board by a screen printing method.

ロールコータにより塗布することが可能となり、生産性
および品質の向上に寄与する。
It can be applied using a roll coater, contributing to improved productivity and quality.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、この発明に係るロールコータの1実施例を概
略的に示す要部側断面図、第2図は、上記ロールコータ
の要部斜視図、第3図は、コーティングロールをその軸
線方向に切断した際の部分拡大断面図、第4図ないし第
8図は、この発明のそれぞれ異なる実施例を示す図、第
9図は、液体ソルダレジストの温度と粘度との関係を説
明するための線図、第10図は、液体ツルダレジス1〜
の希釈率と粘度との関係を説明するための線図、第11
図は、従来のロールコータを概略的に示す要部側面図、
第12図は、従来のコーティングロールをその軸線方向
に切断した際の部分拡大断面図、第13図は、第11図
に示したロールコータの一部拡大側面図、第14図は、
従来のロールコータを示す要部斜視図である。 p・・基板、      ■・・ロールコータ、P・ 
ピッチ、     F・・・山幅。 21・・・溝、 IC・・・コーティングロール、 ■D・・・ドクターバー、 200・・・ハウジング、  F・・・ファン、H・・
・ヒータ、     FL・・・フィルタ、212〜2
17・・・配管、 218.218′ ・・・ロータリジヨイント。 220・・・加熱手段、   PO・・・熱媒体ポンプ
、301・・・赤外線ランプ(加熱手段)、303・・
・加熱手段、   2D・・・第2ドクター。 、、;j)lニー、1 代理人 弁理士 間 宮 武 雄・ ・□1 第1図 第3図 第2図 第4図 第7図 第8図 第9図 + 0     20     30     404
/1(℃) 第1C図 2     4      G      8    
 104に*(X)
FIG. 1 is a side sectional view of a main part schematically showing an embodiment of a roll coater according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a main part of the roll coater, and FIG. 3 shows a coating roll along its axis. 4 to 8 are views showing different embodiments of the present invention, and FIG. 9 is a partially enlarged sectional view when cut in the direction of the liquid solder resist. The diagram of FIG.
Diagram for explaining the relationship between dilution rate and viscosity, No. 11
The figure is a side view of the main parts schematically showing a conventional roll coater.
FIG. 12 is a partially enlarged sectional view of a conventional coating roll cut in its axial direction, FIG. 13 is a partially enlarged side view of the roll coater shown in FIG. 11, and FIG. 14 is a partially enlarged side view of the roll coater shown in FIG.
FIG. 2 is a perspective view of main parts of a conventional roll coater. p...Substrate, ■...Roll coater, P...
Pitch, F...Mountain width. 21...Groove, IC...Coating roll, ■D...Doctor bar, 200...Housing, F...Fan, H...
・Heater, FL...filter, 212~2
17...Piping, 218.218'...Rotary joint. 220... Heating means, PO... Heat medium pump, 301... Infrared lamp (heating means), 303...
・Heating means, 2D...second doctor. ,, ;j)lney, 1 Agent Patent Attorney Takeo Mamiya ・□1 Figure 1 Figure 3 Figure 2 Figure 4 Figure 7 Figure 8 Figure 9 + 0 20 30 404
/1 (℃) 1C Figure 2 4 G 8
104 *(X)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.水平搬送される基板表面にコーティングロールを介
し、粘度1000cP以上の高粘度の塗布液を塗布する
ロールコータにおいて、前記コーティングロールの周面
の円周方向に、山幅80μm以下の溝をピッチ300μ
m以上で刻設し、そのコーティングロールを基板搬送路
に対し上下方向に接離自在に配設するとともに、そのコ
ーティングロールにドクターバーを接離自在に配設し、
かつそのドクターバーを前記コーティングロールととも
に上下動するように支持したことを特徴とするロールコ
ータ。
1. In a roll coater that applies a high viscosity coating liquid with a viscosity of 1000 cP or more to the surface of a horizontally transported substrate via a coating roll, grooves with a groove width of 80 μm or less are formed at a pitch of 300 μm in the circumferential direction of the circumferential surface of the coating roll.
m or more, the coating roll is arranged so as to be able to move toward and away from the substrate conveyance path in the vertical direction, and a doctor bar is arranged on the coating roll so that it can move toward and away from the substrate conveyance path.
A roll coater characterized in that the doctor bar is supported so as to move up and down together with the coating roll.
2.コーティングロール又はドクターバーの少なくとも
一方を所定の温度に加熱する手段を付設した請求項1に
記載のロールコータ。
2. The roll coater according to claim 1, further comprising means for heating at least one of the coating roll and the doctor bar to a predetermined temperature.
3.水平搬送される基板表面にコーティングロールを介
し、粘度1000cP以上の高粘度の塗布液を塗布する
ロールコータにおいて、周面に円周方向の溝が所定のピ
ッチで刻設されたコーティングロールを基板搬送路に対
し上下方向に接離自在に配設するとともに、そのコーテ
ィングロールにドクターを接離自在に配設し、かつ前記
コーティングロール又はドクターの少なくとも一方を所
定の温度に加熱する手段を具備し、水平搬送される基板
表面に所要の粘度の塗布液を塗布するようにしたことを
特徴とするロールコータ。
3. In a roll coater that applies a high viscosity coating liquid with a viscosity of 1000 cP or more to the surface of a horizontally transported substrate via a coating roll, a coating roll with circumferential grooves carved at a predetermined pitch on its circumferential surface is transported. disposed so as to be movable toward and away from the path in the vertical direction, a doctor disposed so as to be movable toward and away from the coating roll, and means for heating at least one of the coating roll or the doctor to a predetermined temperature; A roll coater characterized in that a coating liquid of a desired viscosity is applied to the surface of a horizontally conveyed substrate.
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