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JPH01136112A - 顕微鏡のホトメータ鏡筒および測光用顕微鏡 - Google Patents

顕微鏡のホトメータ鏡筒および測光用顕微鏡

Info

Publication number
JPH01136112A
JPH01136112A JP63263040A JP26304088A JPH01136112A JP H01136112 A JPH01136112 A JP H01136112A JP 63263040 A JP63263040 A JP 63263040A JP 26304088 A JP26304088 A JP 26304088A JP H01136112 A JPH01136112 A JP H01136112A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
barrel
photometer
microscope
eyepiece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63263040A
Other languages
English (en)
Inventor
Bernd Faltermeier
ベルント・フアルターマイアー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of JPH01136112A publication Critical patent/JPH01136112A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0096Microscopes with photometer devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野: 本発明は顕微鏡の対物レンズからくる光路を接眼レンズ
と光電受光器の間で分割するプリズムおよび受光器の前
に配置した測定視野絞りを接眼レンズへ反射する装置を
有する顕微鏡のホトメータ鏡筒に関する。
従来の技術: このようなホトメータ鏡筒はたとえば米国特許第34 
21 806号、スイス特許第615 762号および
西独特許第3446728号から公知である。測定視野
絞りを反射する装置は観測者に双眼鏡筒内に物体と測定
視野絞りが同時に見えるようにするために役立つ。この
目的で背後から照明し比測定視野絞りが双眼鏡筒内の物
体中間像へ重なるように結像される。
前記技術水準に挙げた装置の場合、測定視野絞りの双眼
鏡筒への結像は分割プリズムの一般に使用されていない
第2出口の後方にミラー光学系を配置することによって
行われ、このミラー系は測定視野絞りのそれ自体および
双眼鏡筒内の測定視野絞りの平面と共役の中間像面への
とくに正立像結像に作用する。この目的で結像光−学系
を前置したコーナーキューブプリズムまたは平面ミラー
が使用される。
公知解決法は光学構成部材に比較的高い費用を必要とす
る。さらに反射装置の構成部材をプリズムの第2出口後
方に配置するため、2つの出口を有する分割プリズムお
よびスペースが必要になる。しかしこのスペースはしば
しば得られない。それゆえ既存の鏡筒をホトメータ鏡筒
に改装することは公知法では容易に可能でない。
発明が解決しようとする課題: 本発明の目的は既存の鏡筒にも問題なく組込みうるよう
にできるだけ部署に形成したホトメータ鏡筒用の反射装
置を得ることである。
課題を解決するための手段: この目的は請求項1の特徴部に記載の手段すなわち測定
視野絞りの反射のため分割プリズムの対物レンズ側入口
の前に配置しt部分ミラー化したまたは反射防止処理を
していない表面を備え、この表面から測定視野絞りがオ
ートコリメーションによりそれ自体に結像することによ
って解決される。
作用: この手段の利点は分割プリズムの第2出口を必要としな
いことにある。部分ミラー化したまたは反射防止処理を
していないただ1つの表面を必要とするだけであり、こ
の表面は丁ぺての顕微鏡に対物レンズと分割プリズムの
間の光路に支障なく収容することができる。したがって
既存の鏡筒も顕微鏡測光のため測定視野絞りが物体の像
内に見えるように容易に改造することができる。
上記手段によれば測定視野絞りの正立結像は達成されず
、反射に使用した表面または測定視野絞りの反射像は絞
り自体に対し調節可能でなければならない。しかしこの
状態は測定視野絞りの反射のため付加的光学要素を最大
でもただ1つしか、他の実施例ではまつ几く必要としな
い利点によって十分に補償される。中間像をつくるため
1つの鏡筒レンズまたは1つの鏡筒レンズ系金偏える顕
微鏡の場合、既存の鏡筒レンズ自体の表面の1つを測定
視野絞りの反射に使用することができる。
測定視野絞り全双眼鏡筒内に十分なコントラストtもっ
て見えるようにするため、前記表面に非常に低い反射率
しか必要としないことが明らかになった。たとえば反射
防止処理されていないがラス−空気界面に入射光の約4
チの高さでいずれにせよ存在する自然反射はこの目的に
十分である。
実施例: 次に本発明の実施例を図面により説明する。
第1〜3図はそれぞれ顕微鏡ホトメータの主要部の全党
路を示す。この6つの実施例の光路はかつこした範囲1
1,12,13までは同一なので、第1図により1回説
明するだけで足りる。
ここに示した顕微鏡ホトメータは測光する物体Oを結像
するための対物レンズ1を含む。対物レンズ1は無限大
に計算した背面焦点距離を有し、鏡筒レンズ2とともに
物体の中間像5f。
つくり、これを観測者が接眼レンズ4により観測する。
接眼レンズ4と鏡筒レンズ2の間の光路に分割プリズム
3が配置され、このプリズムは対物レンズ1からくる光
線の大部分を後方に配置した測定視野絞り6の方向へ通
過させる。光線の約20チのみがプリズムの分割面で反
射され、もう1度反射した後接眼レンズ4へ入る。
測定視野絞り6は中間像5に対し共役の平面内にある。
測定視野絞り6に旋回ミラー7が続き、このミラーは図
示の位置で白熱ランプ9および集光レンズ8からなる゛
補助照明光路の光線を測定視野絞り6へ反射し、したが
ってこの絞りを背面から照明する。本来の測光測定の開
旋回ミラー7は外側へ旋回しているので、対物レンズ1
から出て測定視野絞り6を通過する光線は10で示す光
電子増倍管へ当る。光電子増倍管10の前に補助レンズ
20が配置される。このレンズは対物レンズ射出ひとみ
を光電子増倍管10の光電陰極へ結像させるために役立
つ。
照明しt測定視野絞り6を双眼鏡筒内の中間像面5へ反
射するため、鏡筒レンズ2の前の対物レンズ側の光路へ
挿入した平面板21が備えられる。平面板21の鏡筒レ
ンズ2側の面は反射防止処理がされていない。このガラ
ス−空気界面26は測定視野絞りから出て板21へ当る
光線の約4チを反射する。板21は鏡筒レンズの下側に
配置されるので、測定視野絞り6は平面板21の表面2
6での反射によってオートコリメーションによりそれ自
体に結像し、プリズム3での光線分割により中間像5に
重なり、したがって観測者には物体Oの像内に見える。
平面板21は中間像5および自体へ左右および上下反対
に結像する測定視野絞り6の調節を可能にするため矢印
で示すように摺動または旋回することができる。平面板
21の対物レンズ側表面は装置のすべての他の光学系と
同様に反射防止処理されている。結像光路内のこの1つ
の表面26が反射防止処理されていないことは物体0の
顕微鏡的結像の品質にほとんど影響をおよぼさない。
第2図の実施例によれば鏡筒レンズ2の前の対物レンズ
側に配置し次子面板21の代りに屈折力のないすなわち
無焦点メニスカス22が鏡筒レンズ2と光線分割器3の
間に挿入される。
このメニスカスの接眼レンズ側表面27は反射防止処理
全せず、またはたとえば10チの反射率を有する僅かに
反射を増大する層によって被覆され、メニスカスの対物
レンズ側表面は再び1反射防止処理される。メニスカス
220白字半径は測定絞り6と表面27の間の光路長に
相当するので、表面27によって形成された残留反射率
4%の凹面ミラーは測定視野絞り6を再びそれ自体およ
び中間像面5へ結像する。絞りの像を調節するためメニ
スカス27は顕微鏡の光軸に対し垂直に摺動可能であり
、または旋回可能である。
第1および2図に示した実施例によれば友とえは既存の
鏡筒は鏡筒レンズ2の前方または後方に簡単な光学部材
を付加的に挿入することによって測定絞りの反射のため
に改装することができる。その際第2図に示す手段は中
間像をつくるため鏡筒レンズを使用しない有限の背面焦
点距離を有する顕微鏡にも適することが指摘され為。そ
れは第2図の実施例では鏡筒レンズが測定視野絞り6の
反射の几めに必要でないからである。
鏡筒レンズを有する顕微鏡の1つの実施例が第6図に示
される。この実施例では鏡筒レンズ23の接眼レンズ側
凹面が絞りの反射に利用され、この目的のために他の部
材を必要としない。
鏡筒レンズ23の第4図に示す拡大詳細図により接眼レ
ンズ側表面は反射防止処理されず、対物レンズ側表面は
顕微鏡のその他の全光学系のように反射防止膜33によ
り被覆されていることが明らかである。鏡筒レンズ23
は2成分L1およびL2からなる接合部材であり、16
0酎の焦点距離を有し、すなわちこの距離に対物レンズ
1および鏡筒レンズ23によってつくられた中間像が発
生する。鏡筒レンズの反射防止処理されていない表面の
半径は同様160朋なので、このガラス−空気界面に発
生する光の強さ約4俤の反射は測定視野絞りを中間像面
5へ結像する。
反射手段のない既存鏡筒はたとえばこれまでの鏡筒レン
ズを系の焦点距離へ調節した接眼レンズ側の特殊半径を
有する鏡筒レンズと置替え、この表面を反射防止処理し
ないことによって改造することができる。
この場合も鏡筒レンズを矢印で示すように心合せ可能ま
kは旋回可能の調節鏡筒へ組込むことが望まれる。
第4図に示した鏡筒レンズ23に対して選択的に第5図
に示す平凸レンズ25を使用することもできる。この鏡
筒レンズ25の場合対物レンズ側平面29は反射防止処
理されていない。
この表面は反射に関しては第1図実施例の平面26と同
様に作用する。
鏡筒レンズ23の代りに使用しうる多レンズの鏡筒レン
ズ系のとくに有利な実施例が第6図に示される。鏡筒レ
ンズ系30は両凸接合部材31atbおよび接眼レンズ
側平凹レンズ32からなる。ガラス−空気界面rl、r
3およびr4はこれまでのように反射防止処理されてい
るけれど、レンズ32の凹面r5は反射防止処理されて
いない。この表面r5の半径は160.79−であり、
ここで発生する反射により測定視野絞りを鏡筒レンズ系
30が物体の中間像をつくる平面へ結像するように選択
される。鏡筒レンズ系の屈折率n、アツベ数νおよび半
径rよ〜r5ならびに距離または厚さdl−d、は下記
のとおりである: ”1 =  124−098    d、 = 3.5
 amr2− −29.00#    d2 = 2.
5 /1”s ”−−66,355+m    a3=
 1,3 pr4 =   oeld、 −2,51”
s =  16.079tn n31 a=1.50137     ν3ia = 
56.41n31 t)=1.62588     &
’31 t) = 35.70n32 ==1.522
49     ν32  =59.48鏡筒レンズ30
を両凸レンズ31a、bおよび平凹レンズ32に分割す
ることにより多数の利点が生ずる:系の屈折力は主とし
て両凸レンズ31a、bによって得られるので、このレ
ンズを中間像が鏡筒内の所定の位置に生ずるように調節
することができる。測定視野絞りの反射の調節はその際
中間像の位置に影響を与えずに平凹レンズ32の運動に
よって実施することができる。この利点は第2図の実施
例でも得られ、この場合鏡筒レンズ2および屈折力のな
いメニスカス22を中間像面および測定視野絞りの反射
の調節のため互いに独立に動かすことができる。
しかし半径が凹面27のそれに相当するメニスカスの凸
面が十分良好に反射防止処理されていない場合、測定視
野絞りの2重像が発生することがある。これは第6図の
実施例では確実に避けられる。というのは平面r4も接
合部材の残りの表面r工〜r3も中間像の付近に反射像
をつくらないからである。
第6図の手段はさらに第2.3.4図の実施例のように
測定視野絞りの結像の際色収差が発生しない利点を有す
る。それは反射光路に鏡筒レンズが含まれないからであ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図および第゛6図は本発明によるホトメー
タを有する顕微鏡の6つの実施例の光路図、第4図は第
6図の鏡筒レンズの拡大図、第5図および第6図は鏡筒
レンズの他の実施例の断面図である。 1・・・対物レンズ、2・・・鏡筒レンズ、3・・・分
割プリズム、4・・・接眼レンズ、5・・・中間像、6
・・・視野絞り、7・・・旋回ミラー、8・・・集光レ
ンズ、9・・・白熱ランプ、10・・・光電子増倍管、
20・・・補助レンズ、21・・・平面板、26・・・
ガラス−空気界面

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、顕微鏡の対物レンズ(1)からくる光路を接眼レン
    ズ(4)と光電受光器(10)の間で分割するプリズム
    (3)および受光器の前に配置した測定視野絞り(6)
    を接眼レンズへ反射する装置を有する顕微鏡のホトメー
    タ鏡筒において、測定視野絞り(6)を反射するため分
    割プリズム(3)の対物レンズ側入口の前に配置した部
    分ミラー化したまたは反射防止処理されていない表面(
    26、27、28、29、r_5)を備え、この表面に
    よつて測定視野絞り(6)がオートコリメーションでこ
    の絞り自体に結像することを特徴とする顕微鏡のホトメ
    ータ鏡筒。 2、表面(26、27)が対物レンズと光線分割器の間
    の光路へ挿入した付加的光学要素 (21、22)に存在する請求項1記載のホトメータ鏡
    筒。 3、付加的光学要素が顕微鏡の対物レンズと鏡筒レンズ
    系の間に配置した平面板(21)である請求項2記載の
    ホトメータ鏡筒。 4、付加的光学要素が光線分割器(3)の入口直前に配
    置した屈折力のないメニスカス (22)である請求項2記載のホトメータ鏡筒。 5、部分ミラー化したまたは反射防止処理されていない
    表面(28、29、r_5)が顕微鏡の鏡筒レンズ系(
    23、25、30)の表面の1つである請求項1記載の
    ホトメータ鏡筒。 6、部分ミラー化したまたは反射防止処理されていない
    表面が鏡筒レンズ系(23、30)の接眼レンズ側の凹
    面(28、r_5)である請求項5記載のホトメータ鏡
    筒。 7、鏡筒レンズ系(30)が接眼レンズ側に平凹レンズ
    (32)を有し、その表面(r_5)が部分ミラー化さ
    れ、または反射防止処理されていない請求項6記載のホ
    トメータ鏡筒。 8、表面の曲率半径(r_5)と鏡筒レンズ系(30)
    の焦点距離がほぼ等しい請求項6または7記載のホトメ
    ータ鏡筒。 9、部分ミラー化したまたは反射防止処理されていない
    表面が鏡筒レンズ系の対物レンズ側平面(29)である
    請求項5記載のホトメータ鏡筒。 10、部分ミラー化したまたは反射防止処理されていな
    い表面が顕微鏡の鏡筒内に心合せ可能または旋回可能に
    収容した構成部材に存在する請求項1記載のホトメータ
    鏡筒。 11、対物レンズ(1)、接眼レンズ(4)、光電受光
    器(10)、この受光器の前に配置した測定視野絞り(
    6)、対物レンズ(1)からくる光路を接眼レンズ(4
    )と光電受光器(10)の間で分割するプリズム(3)
    、対物レンズ(1)とともに被検物体(O)を双眼鏡筒
    内の中間像面(5)および測定絞り (6)へ結像させる鏡筒レンズ系(2)、ならびに測定
    視野絞りを双眼鏡筒へ反射する装置を有する測光用顕微
    鏡において、鏡筒レンズ系(11、12、13、25、
    30)が反射防止処理をしていない表面(26;27;
    28;29;r_5)を有し、その反射によつて測定視
    野絞り(6)がそれ自体へオートコリメーションにより
    結像することを特徴とする測光用顕微鏡。 12、表面の反射率が0.1より小さい請求項11記載
    の顕微鏡。
JP63263040A 1987-10-22 1988-10-20 顕微鏡のホトメータ鏡筒および測光用顕微鏡 Pending JPH01136112A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3735784A DE3735784C2 (de) 1987-10-22 1987-10-22 Mikroskop für photometrische Messungen
DE3735784.0 1987-10-22

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01136112A true JPH01136112A (ja) 1989-05-29

Family

ID=6338869

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63263040A Pending JPH01136112A (ja) 1987-10-22 1988-10-20 顕微鏡のホトメータ鏡筒および測光用顕微鏡

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US (1) US4889426A (ja)
JP (1) JPH01136112A (ja)
AT (1) AT398006B (ja)
DE (1) DE3735784C2 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
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ATA189488A (de) 1993-12-15
DE3735784A1 (de) 1989-05-03
AT398006B (de) 1994-08-25
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